JP2020160067A - 閾値算出装置、閾値算出方法および測定装置 - Google Patents
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Abstract
Description
すなわち、計測部と制御演算部とを備える閾値算出装置であって、以下のように構成される。
すなわち、環境変数を変化させたときの複数の測定値からなる測定データから求められる閾値を、精度よく求めることができる閾値算出手段を備えた測定装置を提供することができ、測定者の知識や経験に依存しない閾値の算出が可能となる。
先ず、本願において開示される代表的な実施の形態について概要を説明する。代表的な実施の形態についての概要説明で括弧を付して参照する図面中の参照符号はそれが付された構成要素の概念に含まれるものを例示するに過ぎない。
本発明の代表的な実施の形態は、試料のおかれている環境を表す量の1つである環境変数を変化させたときに前記試料から得られる測定値をそのときの環境変数に対応付けて構成された測定データ(8)から閾値(9)を算出する閾値算出装置(10)であって、入力部(7)と、測定データ変換部(6)と、回帰分析範囲指定部(3)と、第1及び第2回帰分析部(1,2)と、誤差評価部(4)と、閾値算出部(5)とを備え、以下のように構成される。
〔1〕項の閾値算出装置において、前記所定値は1.414である。ここで前記所定値として適切な理論値は2の平方根であるが、有効数字をはじめ、実際の測定に採用される場合には、その測定で発生する誤差を考慮して調整される。このことは、以下の〔6〕項と〔10〕項についても同様である。
〔1〕項の閾値算出装置において、前記所定値は1.253である。ここで前記所定値として適切な理論値は円周率の2分の1の平方根であるが、有効数字をはじめ、実際の測定に採用される場合には、その測定で発生する誤差を考慮して調整される。このことは、以下の〔7〕項と〔11〕項についても同様である。
〔1〕項から〔3〕項までのいずれか1項に記載の閾値算出装置において、前記環境変数が試料(23)に照射される光のエネルギーであり、前記測定値が前記試料から放出されて検出器によって検出される光電子収量である(図3)。
本発明の代表的な実施の形態は、試料のおかれている環境を表す量の1つである環境変数を変化させたときに前記試料から得られる複数の測定値をそのときの環境変数に対応付けて構成された測定データから閾値を算出する閾値算出方法であって、測定データ入力ステップ(S1)と、測定データ変換ステップ(S2)と、回帰分析範囲指定ステップ(S3)と、第1及び第2回帰分析ステップ(S4,S6)と、第1及び第2誤差算出ステップ(S5,S7)と、誤差比算出ステップ(S8)と、誤差比判定ステップ(S9)と、回帰分析範囲変更ステップ(S10)と、閾値算出ステップ(S11)とを備える(図2)。
〔5〕項の閾値算出方法において、前記所定値は1.414である。
〔5〕項の閾値算出方法において、前記所定値は1.253である、
これにより、誤差が平均0、標準偏差σの正規分布に従う場合に、回帰関数から大きく乖離する測定値の影響を排除することができ、求められる閾値の精度を向上することができる。
〔5〕項から〔7〕項までのいずれか1項の閾値算出方法において、前記環境変数が試料(23)に照射される光のエネルギーであり、前記測定値が前記試料から放出されて検出器(26)によって検出される光電子収量である(図3)。
本発明の代表的な実施の形態は、計測部(21)と制御演算部(11)とを備える測定装置(20)であって、以下のように構成される。
〔9〕項の測定装置において、前記所定値は1.414である。
〔9〕項の測定装置において、前記所定値は1.253である。
〔9〕項から〔11〕項までのいずれか1項の測定装置(20)において、前記環境変数が試料(23)に照射される光のエネルギーであり、前記測定値が前記試料から放出されて検出器(26)によって検出される光電子収量である(図3)。
実施の形態について更に詳述する。
図1は、実施形態1に係る閾値算出装置の構成例を示すブロック図である。
本発明の閾値算出における分析範囲の決定原理について説明する。
本実施形態1における閾値算出装置10の動作について説明する。図4と図5は、本実施形態1における閾値算出装置10の動作についての説明図であり、図4は分析範囲を狭める前、図5は狭めた後である。図4と図5は、影響変数を横軸xにとり、測定値に所定の変換処理を行った変換データを縦軸yとしたグラフで、丸印は測定データ、曲線31は最小絶対誤差法による回帰分析で求めた回帰関数、曲線32は最小二乗法による回帰分析で求めた回帰関数である。曲線31の直線部分をx軸方向に延長したときのx軸との交点が最小絶対誤差法によって求めた閾値33であり、曲線32の直線部分をx軸方向に延長したときのx軸との交点が最小二乗法によって求めた閾値34である。図4に示すように、分析範囲を限定しない場合には、最小二乗法による回帰関数の曲線32が、最小絶対誤差法による回帰関数の曲線31よりも、影響変数xの大きい領域まで比較的忠実に測定データに合うように近似される。上述したように、絶対誤差MAEが二乗誤差の平方根RMSEに対して、誤差が大きいほど誤差評価の重み付けを小さくするものとなっているためである。その結果、最小二乗法によって求めた閾値34は、最小絶対誤差法によって求めた閾値33よりも大きめの値となっている。
本発明の閾値算出装置10は、プロセッサにインストールされるプログラムの動作として機能構築することができるので、本発明は、記憶装置と計算機を備えたハードウェアシステムを利用する閾値算出方法と位置付けることができる。
本発明の閾値算出装置10は、実施形態1で述べたように、種々の測定装置に組み込むことができる。
図6は、実施形態4に係る閾値算出装置の構成例を示すブロック図である。
本発明の閾値算出装置50は、プロセッサにインストールされるプログラムの動作として機能構築することができるので、本発明は、実施の形態2と同様に、記憶装置と計算機を備えたハードウェアシステムを利用する閾値算出方法と位置付けることができる。
本発明の閾値算出装置50は、実施形態3と同様に、種々の測定装置に組み込むことができる。
図9は、実施形態7に係る閾値算出装置の構成例を示すブロック図である。
本発明の閾値算出装置70は、プロセッサにインストールされるプログラムの動作として機能構築することができるので、本発明は、実施の形態5と同様に、記憶装置と計算機を備えたハードウェアシステムを利用する閾値算出方法と位置付けることができる。
本発明の閾値算出装置80は、実施形態6と同様に、種々の測定装置に組み込むことができる。
分光された光を試料に照射して光電子収量を測定する光電子収量測定装置の測定に、実施の形態4から6の閾値算出方法を適用し、最小二乗法によるFitting算出値を比較に用いて、本発明の効果を検証した。
2 最小二乗法による回帰分析部
3 回帰分析範囲指定部
4 誤差評価部
5 閾値算出部
6 測定データ変換部
7 入力部
8 測定データ
9 閾値
10 閾値算出装置
11 制御演算部
12 光電子収量測定部
13 照射光制御部
14 波長制御部
20 測定装置
21 計測部
22 試料ステージ
23 試料
24 紫外線光源
25 分光器
26 光電子検出器
30 実測値
31 最小絶対誤差法による回帰関数
32 最小二乗法による回帰関数
33 最小絶対誤差法による閾値
34 最小二乗法による閾値
50 閾値算出装置
60 測定装置
70 閾値算出装置
80 測定装置
101 回帰分析部
102 誤差評価部
103 回帰分析範囲指定部
104 回帰分析範囲判定部
105 閾値算出部
110 認値不定
111 回帰分析部
112 決定係数算出、判定部
113 誤差評価部
114 回帰分析範囲指定部
201 制御演算部
202 制御演算部
Claims (20)
- 試料のおかれている環境を表す量の1つである環境変数を変化させたときに前記試料から得られる測定値をそのときの環境変数に対応付けて構成された測定データから閾値を算出する閾値算出装置であって、入力部と、測定データ変換部と、回帰分析範囲指定部と、第1及び第2回帰分析部と、誤差評価部と、閾値算出部とを備え、
前記測定データ変換部は、前記入力部に入力された前記複数の測定値に所定の変換処理を施すことにより、複数の変換値からなる変換データを生成することができ、
前記回帰分析範囲指定部は、前記第1及び第2回帰分析部における環境変数の範囲である分析範囲を指定することができ、
前記第1回帰分析部は、前記分析範囲における前記変換データを対象として最小絶対誤差法による回帰分析を行って第1回帰関数を求め、前記第1回帰関数による予測値と前記変換データとの差の絶対値を前記分析範囲で平均することより第1誤差を算出することができ、
前記第2回帰分析部は、前記分析範囲における前記変換データを対象として最小二乗法による回帰分析を行って第2回帰関数を求め、前記第2回帰関数による予測値と前記変換データとの差を二乗した値を前記分析範囲で平均して平方根をとることより第2誤差を算出することができ、
前記誤差評価部は、前記第1誤差に対する前記第2誤差の比を所定値と比較し、前記誤差比が前記所定値よりも大きい場合に、前記回帰分析範囲指定部に前記分析範囲における環境変数の上端を小さくするように分析範囲を変更させ、前記第1及び第2回帰分析部に変更された分析範囲での回帰分析をそれぞれ実行させることができ、
前記閾値算出部は、前記誤差比が前記所定値よりも小さくなったときに、前記第1回帰関数に基づいて閾値を算出することができる、
閾値算出装置。 - 試料のおかれている環境を表す量の1つである環境変数を変化させたときに前記試料から得られる測定値をそのときの環境変数に対応付けて構成された測定データから閾値を算出する閾値算出装置であって、入力部と、測定データ変換部と、回帰分析範囲指定部と、回帰分析範囲判定部と、回帰分析部と、誤差評価部と、閾値算出部とを備え、
前記測定データ変換部は、前記入力部に入力された前記複数の測定値に所定の変換処理を施すことにより、複数の変換値からなる変換データを生成することができ、
前記回帰分析範囲指定部は、前記回帰分析部における環境変数の範囲である分析範囲を指定することができ、
前記回帰分析範囲判定部は、前記回帰分析範囲指定部で指定された分析範囲では認値不定と指定することができ、
前記回帰分析部は、前記分析範囲における前記変換データを対象として最小絶対誤差法による回帰分析を行って第1の回帰関数を求め、前記第1の回帰関数による第1の予測値と前記変換データとの差の絶対値を前記分析範囲で平均することより第1の誤差を算出し、また、前記第1の予測値と前記変換データとの差を二乗した値を前記分析範囲で平均して平方根をとることより第2の誤差を算出することができ、
あるいは、前記分析範囲における前記変換データを対象として最小二乗法による回帰分析を行って第2の回帰関数を求め、前記第2の回帰関数による第2の予測値と前記変換データとの差を二乗した値を前記分析範囲で平均して平方根をとることより第3の誤差を算出し、また、前記第2の予測値と前記変換データとの差の絶対値を前記分析範囲で平均することより第4の誤差を算出することができ、
前記誤差評価部は、前記第1の誤差に対する前記第2の誤差の比である第1の誤差比、あるいは前記第4の誤差に対する前記第3の誤差の比である第2の誤差比を求め、
前記第1の誤差比または第2の誤差比と所定値と比較し、
前記誤差比が前記所定値よりも大きい場合に、前記回帰分析範囲指定部に前記分析範囲における環境変数の上端を小さくするように分析範囲を変更させ、前記回帰分析部に変更された分析範囲での回帰分析をそれぞれ実行させることができ、
前記閾値算出部は、前記第1の誤差比が前記所定値よりも小さくなったときに、前記第3の回帰関数に基づいて閾値を算出することができる、あるいは、第2の誤差比が前記所定値よりも小さくなったときに、前記第4の回帰関数に基づいて閾値を算出することができる、
閾値算出装置。 - 請求項1または請求項2において、前記所定値が1.414である、
閾値算出装置。 - 請求項1または請求項2において、前記所定値が1.253である、
閾値算出装置。 - 試料のおかれている環境を表す量の1つである環境変数を変化させたときに前記試料から得られる測定値をそのときの環境変数に対応付けて構成された測定データから閾値を算出する閾値算出装置であって、入力部と、測定データ変換部と、回帰分析部と、決定係数算出、判定部と、誤差評価部と、回帰分析範囲指定部と、閾値算出部とを備え、
前記測定データ変換部は、前記入力部に入力された前記複数の測定値に所定の変換処理を施すことにより、複数の変換値からなる変換データを生成することができ、
前記回帰分析部は、前記変換データを対象として最小絶対誤差法による回帰分析を行って第1の回帰関数を求め、前記第1の回帰関数による第1の予測値と前記変換データとの差の絶対値を前記分析範囲で平均することより第1の誤差を算出し、また、前記第1の予測値と前記変換データとの差を二乗した値を前記分析範囲で平均して平方根をとることより第2の誤差を算出することができ、
あるいは、前記分析範囲における前記変換データを対象として最小二乗法による回帰分析を行って第2の回帰関数を求め、前記第2の回帰関数による第2の予測値と前記変換データとの差を二乗した値を前記分析範囲で平均して平方根をとることより第3の誤差を算出し、また、前記第2の予測値と前記変換データとの差の絶対値を前記分析範囲で平均することより第4の誤差を算出することができ、
前記決定係数算出、判定部は、決定係数R2を下記式(1)により求め、
前記決定係数R2の値が0以上1以下の場合は前記誤差評価部にて前記第1または第2の誤差比を算出し、前記決定係数R2の値がマイナスの場合は認知不定と判定することができ、
また、前記回帰分析範囲を変化させたときの前記決定係数R2の値の大小を比較することができ、
前記誤差評価部は、前記第1の誤差に対する前記第2の誤差の比である第1の誤差比、あるいは前記第4の誤差に対する前記第3の誤差の比である第2の誤差比を求め、
前記第1の誤差比または第2の誤差比と所定値と比較することができ、
前記回帰分析範囲指定部は、前記分析範囲における環境変数の上端を小さくするように分析範囲を変更させることができ、
前記閾値算出部は、前記第1の回帰関数または前記第2の回帰関数に基づいて閾値を算出することができる、
閾値算出装置。
- 請求項1から請求項5までのいずれか1項において、前記環境変数が試料に照射される光のエネルギーであり、前記測定値が前記試料から放出されて検出器によって検出される光電子収量である、
閾値算出装置。 - 試料のおかれている環境を表す量の1つである環境変数を変化させたときに前記試料から得られる複数の測定値をそのときの環境変数に対応付けて構成された測定データから閾値を算出する閾値算出方法であって、測定データ入力ステップと、測定データ変換ステップと、回帰分析範囲指定ステップと、第1及び第2回帰分析ステップと、第1及び第2誤差算出ステップと、誤差比算出ステップと、誤差比判定ステップと、回帰分析範囲変更ステップと、閾値算出ステップとを備え、
前記測定データ入力ステップは、前記複数の測定値を入力し、
前記測定データ変換ステップは、前記複数の測定値に所定の変換処理を施すことにより、複数の変換値からなる変換データを生成し、
前記回帰分析範囲指定ステップは、前記第1及び第2回帰分析ステップにおける環境変数の範囲である分析範囲を指定し、
前記第1回帰分析ステップは、前記分析範囲における前記変換データを対象として最小絶対誤差法による回帰分析を行って第1回帰関数を求め、
前記第1誤差算出ステップは、前記第1回帰関数による予測値と前記変換データとの差の絶対値を前記分析範囲で平均することより第1誤差を算出し、
前記第2回帰分析ステップは、前記分析範囲における前記変換データを対象として最小二乗法による回帰分析を行って第2回帰関数を求め、
前記第2誤差算出ステップは、前記第2回帰関数による予測値と前記変換データとの差を二乗した値を前記分析範囲で平均して平方根をとることより第2誤差を算出し、
前記誤差比算出ステップは、前記第1誤差に対する前記第2誤差の比を求めて誤差比とし、
前記誤差比判定ステップは、前記誤差比を所定値と比較し、
前記誤差比が前記所定値よりも小さくなるまで、前記回帰分析範囲変更ステップにおいて、前記分析範囲における環境変数の上端を小さくする分析範囲の変更を行いながら、前記第1及び第2回帰分析ステップと、前記第1及び第2誤差算出ステップと、前記誤差比算出ステップとを繰り返させ、
前記閾値算出ステップは、前記誤差比が前記所定値よりも小さくなったときに、前記第1回帰関数に基づいて閾値を算出する、
閾値算出方法。 - 請求項7において、前記所定値が1.414である、
閾値算出方法。 - 請求項7において、前記所定値が1.253である、
閾値算出方法。 - 試料のおかれている環境を表す量の1つである環境変数を変化させたときに前記試料から得られる複数の測定値をそのときの環境変数に対応付けて構成された測定データから閾値を算出する閾値算出方法であって、測定データ入力ステップと、測定データ変換ステップと、回帰分析範囲指定ステップと、第1誤差比算出ステップ及び第2誤差比算出ステップの何れか1を選択する選択ステップと、前記第1誤差比及び前記第2誤差比の少なくとも何れか1の誤差比を算出する誤差比算出ステップと、誤差比判定ステップと、回帰分析範囲変更ステップと、閾値算出ステップとを備え、
前記測定データ入力ステップは、前記複数の測定値を入力し、
前記測定データ変換ステップは、前記複数の測定値に所定の変換処理を施すことにより、複数の変換値からなる変換データを生成し、
前記回帰分析範囲指定ステップは、前記誤差比算出ステップにおける環境変数の範囲である分析範囲を指定し、
前記第1誤差比算出ステップは、前記分析範囲における前記変換データを対象として最小絶対誤差法による回帰分析を行って第1の回帰関数を求め、前記第1の回帰関数による第1の予測値と前記変換データとの差の絶対値を前記分析範囲で平均することより第1の誤差を算出し、また、前記第1の予測値と前記変換データとの差を二乗した値を前記分析範囲で平均して平方根をとることより第2の誤差を算出して、前記第1の誤差に対する前記第2の誤差の比である第1の誤差比を算出し、
前記第2誤差比算出ステップは、前記分析範囲における前記変換データを対象として最小二乗法による回帰分析を行って第2の回帰関数を求め、前記第2の回帰関数による第2の予測値と前記変換データとの差を二乗した値を前記分析範囲で平均して平方根をとることより第3の誤差を算出し、また前記第2の予測値と前記変換データとの差の絶対値を前記分析範囲で平均することより第4の誤差を算出して、前記第4の誤差に対する前記第3の誤差の比である第2の誤差比を算出し、
前記誤差比判定ステップは、前記誤差比を所定値と比較して前記誤差比が前記所定値よりも小さくなるまで、前記回帰分析範囲変更ステップにおいて、前記分析範囲における環境変数の上端を小さくする分析範囲の変更を行い、前記分析範囲が指定値以上の場合前記誤差比算出ステップを繰り返させ、前記分析範囲が指定値未満の場合は認知不定と判定し、
前記閾値算出ステップは、前記誤差比が前記所定値よりも小さくなったときに、前記選択を行った第1の回帰関数又は第2の回帰関数に基づいて閾値を算出する、
閾値算出方法。 - 請求項10において、前記所定値は、前記所定値との比較を行う前記誤差比として前記第1の誤差比を使用する場合は1.414であり、前記第2の誤差比を使用する場合は1.253である、
閾値算出方法。 - 試料のおかれている環境を表す量の1つである環境変数を変化させたときに前記試料から得られる複数の測定値をそのときの環境変数に対応付けて構成された測定データから閾値を算出する閾値算出方法であって、測定データ入力ステップと、測定データ変換ステップと、選択ステップと、損失変数指定ステップと、回帰分析範囲指定ステップと、第1誤差比及び第2誤差比の少なくとも何れか1の誤差比を算出する誤差比算出ステップと、決定係数算出、判定ステップと、誤差比判定ステップと、回帰分析範囲変更ステップと、閾値算出ステップとを備え、
前記測定データ入力ステップは、前記複数の測定値を入力するステップであり、
前記測定データ変換ステップは、前記複数の測定値に所定の変換処理を施すことにより、複数の変換値からなる変換データを生成し、
前記選択ステップは、前記第1誤差比算出ステップ及び前記第2誤差比算出ステップの何れか1を選択するステップであり、
前記損失変数指定ステップは、損失変数の値reを、前記第1誤差比算出ステップが選択された場合は1.414、前記第2誤差比算出ステップが選択された場合は1.253に自動的にセットするステップであり、
前記回帰分析範囲指定ステップは、前記誤差比算出ステップにおける環境変数の範囲である分析範囲を指定し、
前記第1誤差比算出ステップは、前記分析範囲における前記変換データを対象として最小絶対誤差法による回帰分析を行って第1の回帰関数を求め、前記第1の回帰関数による第1の予測値と前記変換データとの差の絶対値を前記分析範囲で平均することより第1の誤差を求めた後、前記第1の予測値と前記変換データとの差を二乗した値を前記分析範囲で平均して平方根をとることより第2の誤差を算出して、前記第1の誤差に対する前記第2の誤差の比である第1の誤差比を算出し、
前記第2誤差比算出ステップは、前記分析範囲における前記変換データを対象として最小二乗法による回帰分析を行って第2の回帰関数を求め、前記第2の回帰関数による第2の予測値と前記変換データとの差を二乗した値を前記分析範囲で平均して平方根をとることより第3の誤差を求めた後、前記第2の予測値と前記変換データとの差の絶対値を前記分析範囲で平均することより第4の誤差を算出して、前記第4の誤差に対する前記第3の誤差の比である第2の誤差比を算出し、
前記決定係数算出、判定ステップは、下記式(2)で表される決定係数R2を算出し、決定係数R2が0より大きいか0以下であるかを判定し、決定係数R2が0以下の場合、認知不定と判定し、また、前記回帰分析範囲を変化させたときの前記決定係数R2の値の大小を比較し、分析範囲が狭い場合の方が広い場合より前記決定係数R2の値が小さいか等しい場合には、前記分析範囲が広い場合の分析範囲を用いて前記閾値算出ステップを実行し、
前記誤差比判定ステップは、前記誤差比を前記所定値reと比較するステップであって、前記誤差比が前記所定値reより小さい場合は前記閾値算出ステップを実行し、前記誤差比が前記所定値reと等しいか大きい場合は前記回帰分析範囲変更ステップを実行し、
前記回帰分析範囲変更ステップは、前記分析範囲における環境変数の上端を小さくする分析範囲の変更を行い、前記回帰分析範囲変更ステップを実行した後は、前記変更後の分析範囲で前記誤差比算出ステップおよび/または前記決定係数算出、判定ステップを実行し、
前記閾値算出ステップは、前記選択を行った第1の回帰関数又は第2の回帰関数に基づいて閾値を算出する、
閾値算出方法。
- 請求項7から請求項12までのいずれか1項において、前記環境変数が試料に照射される光のエネルギーであり、前記測定値が前記試料から放出されて検出器によって検出される光電子収量である、
閾値算出方法。 - 計測部と制御演算部とを備える測定装置であって、
前記計測部は、試料から得られる複数の測定値を取得して前記制御演算部に供給することができ、
前記制御演算部は、前記試料のおかれている環境を表す量の1つである環境変数を変化させたときに得られる複数の測定値を、そのときの環境変数の値と対応づけて測定データとして取得することができ、前記環境変数について定めた同一の分析範囲に含まれる前記測定データを対象として、絶対誤差が最小となる第1回帰関数を求める第1回帰分析と、二乗誤差が最小となる第2回帰関数を求める第2回帰分析とを行い、前記第2回帰分析における平均二乗誤差の前記第1回帰分析における絶対誤差の平均に対する比が、所定値よりも小さくなる分析範囲において、前記第1回帰関数に基づいて前記測定データの閾値を算出することができる、
測定装置。 - 請求項14において、前記所定値が1.414である、
測定装置。 - 請求項14において、前記所定値が1.253である、
測定装置。 - 計測部と制御演算部とを備える測定装置であって、
前記計測部は、試料から得られる複数の測定値を取得して前記制御演算部に供給することができ、
前記制御演算部は、前記試料のおかれている環境を表す量の1つである環境変数を変化させたときに得られる複数の測定値を、そのときの環境変数の値と対応づけて測定データとして取得することができ、前記環境変数について定めた同一の分析範囲に含まれる前記測定データを対象として、最小絶対誤差法による回帰分析を行って第1の回帰関数を求め、前記第1の回帰関数による第1の予測値と前記変換データとの差の絶対値を前記分析範囲で平均することより第1の誤差を算出し、また、前記第1の予測値と前記変換データとの差を二乗した値を前記分析範囲で平均して平方根をとることより第2の誤差を算出することができ、
あるいは、前記分析範囲における前記変換データを対象として最小二乗法による回帰分析を行って第2の回帰関数を求め、前記第2の回帰関数による第2の予測値と前記変換データとの差を二乗した値を前記分析範囲で平均して平方根をとることより第3の誤差を算出し、また、前記第2の予測値と前記変換データとの差の絶対値を前記分析範囲で平均することより第4の誤差を算出することができ、
前記誤差評価部は、前記第1の誤差に対する前記第2の誤差の比である第1の誤差比、あるいは前記第4の誤差に対する前記第3の誤差の比である第2の誤差比を求め、
前記第1の誤差比が、所定値よりも小さくなる分析範囲において、前記第1の回帰関数に基づいて前記測定データの閾値を算出することができ、
または、前記第2の誤差比が、所定値よりも小さくなる分析範囲において、前記第2の回帰関数に基づいて前記測定データの閾値を算出することができる、
測定装置。 - 請求項17において、前記所定値は、前記所定値との比較を行う前記誤差比として前記第1の誤差比を使用する場合は1.414であり、前記第2の誤差比を使用する場合は1.253である、
測定装置。 - 計測部と制御演算部とを備える測定装置であって、
前記計測部は、試料から得られる複数の測定値を取得して前記制御演算部に供給することができ、
前記制御演算部は、測定データ変換部と、回帰分析部と、決定係数算出、判定部と、誤差評価部と、回帰分析範囲指定部と、閾値算出部とを備えた請求項5記載の閾値算出装置を備えた、
測定装置。 - 請求項14から請求項19までのいずれか1項において、前記環境変数が試料に照射される光のエネルギーであり、前記測定値が前記試料から放出されて検出器によって検出される光電子収量である、
測定装置。
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