JP2020151806A - 研磨装置及び研磨方法 - Google Patents
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Abstract
Description
第1の実施形態の研磨装置は、研磨テーブルと、研磨テーブルの上に設けられた研磨パッドと、研磨テーブルを第1の回転軸を中心に回転させる第1の回転機構と、基板を保持し、基板を研磨パッドに押し付ける基板保持部と、基板保持部を第2の回転軸を中心に回転させる第2の回転機構と、第1の回転軸と第2の回転軸と間の角度を可変とする傾斜機構と、を備え、基板の研磨中に、基板の外縁は、常に研磨パッドの外縁の内側に維持される。
第2の実施形態の研磨装置は、傾斜機構が、第2の回転軸ではなく第1の回転軸の傾斜を変化させる点で、第1の実施形態と異なっている。以下、第1の実施形態の研磨装置及び研磨方法と重複する内容については、一部記述を省略する。
第3の実施形態の研磨装置は、傾斜機構を制御し、基板の研磨中に第1の回転軸と第2の回転軸と間の角度を変化させる制御部を、更に備える点で、第1の実施形態と異なっている。以下、第1の実施形態の研磨装置及び研磨方法と重複する内容については、一部記述を省略する。
12 研磨パッド
12e 研磨パッドの外縁
18 第1の回転機構
20 トップリング(基板保持部)
24 第2の回転機構
26 トップリング傾斜機構(傾斜機構)
27 ターンテーブル傾斜機構(傾斜機構)
30 傾斜機構制御部(制御部)
100 CMP装置(研磨装置)
200 CMP装置(研磨装置)
300 CMP装置(研磨装置)
RA1 第1の回転軸
RA2 第2の回転軸
W 半導体ウェハ(基板)
We 半導体ウェハの外縁(基板の外縁)
θ 角度
Claims (9)
- 研磨テーブルと、
前記研磨テーブルの上に設けられた研磨パッドと、
前記研磨テーブルを第1の回転軸を中心に回転させる第1の回転機構と、
基板を保持し、前記基板を前記研磨パッドに押し付ける基板保持部と、
前記基板保持部を第2の回転軸を中心に回転させる第2の回転機構と、
前記第1の回転軸と前記第2の回転軸と間の角度を可変とする傾斜機構と、を備え、
前記基板の研磨中に、前記基板の外縁は、常に前記研磨パッドの外縁の内側に維持される研磨装置。 - 前記基板の研磨中に、前記第1の回転軸と前記第2の回転軸との相対位置が固定される請求項1記載の研磨装置。
- 前記傾斜機構は前記角度を0度以上5度以下の範囲で可変とする請求項1又は請求項2記載の研磨装置。
- 前記傾斜機構は、前記第2の回転軸の傾斜を変化させる請求項1ないし請求項3いずれか一項記載の研磨装置。
- 前記傾斜機構を制御し、前記基板の研磨中に前記角度を変化させる制御部を、更に備える請求項1ないし請求項4いずれか一項記載の研磨装置。
- 前記第1の回転機構及び前記第2の回転機構は、前記研磨テーブルと前記基板保持部を同一方向に回転させる請求項1ないし請求項5いずれか一項記載の研磨装置。
- 研磨パッドを第1の回転軸を中心に回転させ、
前記第1の回転軸に対して傾斜する第2の回転軸を中心に回転する基板を、前記基板の外縁が常に前記研磨パッドの外縁の内側に維持されるように前記研磨パッドに押し付けて前記基板を研磨する研磨方法。 - 前記第1の回転軸と前記第2の回転軸との間の角度は0度より大きく5度以下である請求項7記載の研磨方法。
- 前記基板の研磨中に前記第1の回転軸と前記第2の回転軸との間の角度を変化させる請求項7又は請求項8記載の研磨方法。
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