JP2020148567A - 接合部品の検査装置および接合部品の検査方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】超音波を利用して接合部品の接合箇所における密着性を検査する改良技術を提供する。【解決手段】接合部品Pは、柱状の第1部材の側面の少なくとも一部に第1部材とは音響インピーダンスの異なる第2部材を接合させた部品である。送受信制御回路20は、接合部品Pの第1部材の長手方向の上端から下端に向かって伝搬する超音波を送波するように超音波探触子10を制御し、反射された超音波の受信信号を超音波探触子10から受信する。これにより、金属ピンP1と樹脂P2の接合箇所における密着の程度を示す情報として、金属ピンP1の下端から反射された超音波が得られる時刻とその近傍時刻の少なくとも一方を含む注目時間帯の受信信号が取得される。【選択図】図1
Description
本発明は、接合部品の検査装置および接合部品の検査方法に関する。
特許文献1には、真空計より下流側の排気管に遮断弁が設けられ、遮断弁よりも下流側に排気細管が設けられたエアリーク検査装置が記載されている。特許文献1のエアリーク検査装置を利用した検査では、遮断弁を開いて排気管と排気細管を介して被検査体を排気し、その後に遮断弁を閉じたときの真空計の検出圧力の大きさに応じて、リークの有無が判定される。
また、特許文献2には、リークテストモードと第1設定モードと第2設定モードの各モードに対応した工程を実行することにより、工程時間や閾値の設定を自動化して簡易化するエアリークテスト方法が記載されている。
また、特許文献3には、密封部分の漏れ(リーク)を検出するにあたり、検査部分においてヘリウム等のトレースガスを要しない装置が記載されている。
例えばエアリーク検査により、部材同士を接合させた接合部品の接合箇所における密着性(例えば剥離の有無など)を検査することができる。しかし、エアリーク検査では、密着性を評価したい部位に気圧差を付与して圧力差を計測することから、計測に時間がかかってしまう。そのため、多数の部品の全数検査が困難であり、検査のためのコストの増加も懸念される。
また、接合部材の接合箇所における密着性を検査するために、例えば超音波を利用することも可能である。しかし、従来から知られる超音波を利用した検査では、部材同士の接合界面に対して垂直な方向に超音波を伝搬させるのが一般的である。部材同士の接合界面に対して垂直な方向に超音波を伝搬させると、接合界面に到達するまでに部材内を超音波が伝搬することになる。したがって、例えばその部材内で超音波が反射されてしまうと、接合界面に到達する超音波の強度が低下し、接合界面から反射される超音波の強度も低下してしまう。
このように、従来から知られる接合部品の検査には問題点があり、接合部品の検査に係る改良技術の登場が期待されている。
本発明の目的は、超音波を利用して接合部品の接合箇所における密着性を検査する改良技術を提供することにある。
本発明の具体例の一つである接合部品の検査装置は、柱状の第1部材の側面の少なくとも一部に当該第1部材とは音響インピーダンスの異なる第2部材を接合させた接合部品を検査する検査装置であって、前記接合部品に対して超音波を送波して反射された超音波を受波する超音波送受部と、前記第1部材の長手方向の上端から下端に向かって伝搬する超音波を送波するように前記超音波送受部を制御して反射された超音波の受信信号を得る送受信制御部と、を有し、前記第1部材と前記第2部材の接合箇所における密着の程度を示す情報として、前記第1部材の下端から反射された超音波が得られる規準時刻とその近傍時刻の少なくとも一方を含む注目時間帯の受信信号を取得することを特徴とする。
上記構成において、第1部材の長手方向の上端とは、長手方向の両端のうち超音波が送波される起点からみて近い方の端部であり、第1部材の長手方向の下端とは、長手方向の両端のうち超音波が送波される起点からみて遠い方の端部である。例えば、第1部材の上端と下端がそれぞれ鉛直方向の上側と下側になるように配置された状態で検査が行われてもよいし、その逆に、第1部材の上端と下端がそれぞれ鉛直方向の下側と上側になるように配置された状態で検査が行われてもよい。また、第1部材の上端と下端が鉛直方向の同じ高さで左右(右左)に配置された状態で検査が行われてもよい。
例えば、前記送受信制御部は、前記第1部材の上端またはその近傍を焦点として集束する超音波を送波するように前記超音波送受部を制御してもよい。
また、例えば、前記超音波送受部は、周波数が5〜30MHzの範囲内である超音波を送波してもよい。
また、例えば、前記検査装置は、前記規準時刻よりも時間的に後の近傍時刻における受信信号の強度に基づいて、前記第1部材と前記第2部材の接合箇所に剥離が発生しているかどうかを判定する剥離判定部をさらに有してもよい。
また、例えば、前記検査装置が検査対象とする前記接合部品は、前記第1部材である金属ピンの側面の少なくとも一部に前記第2部材である樹脂を接合させた部品であってもよい。
また、本発明の具体例の一つである接合部品の検査方法は、柱状の第1部材の側面の少なくとも一部に当該第1部材とは音響インピーダンスの異なる第2部材を接合させた接合部品を検査する検査方法であって、前記接合部品に対して前記第1部材の長手方向の上端から下端に向かって伝搬する超音波を送波して反射された超音波を受波し、前記第1部材の下端から反射された超音波が得られる規準時刻とその近傍時刻の少なくとも一方を含む注目時間帯の超音波の受信信号を取得し、前記注目時間帯の受信信号に基づいて前記第1部材と前記第2部材の接合箇所における密着性を検査することを特徴とする。
本発明により、超音波を利用して接合部品の接合箇所における密着性を検査する改良技術が提供される。例えば、本発明の具体例の一つによれば、柱状の第1部材の長手方向の上端から下端に向かって伝搬する超音波を送波して、第1部材と前記第2部材の接合箇所における密着の程度を示す情報を取得する技術が提供される。
図1は、本発明の具体的な実施態様の一例を示す図である。図1には、接合部品Pを検査する検査システムの具体例が図示されている。図1に例示する検査システムは、接合部品検査装置100を備えている。接合部品検査装置100は、接合部品Pを検査する検査装置の具体例の一つである。また、接合部品検査装置100が検査対象とする接合部品Pは、柱状の第1部材の側面の少なくとも一部に、その第1部材とは音響インピーダンスの異なる第2部材を接合させた部品である。
図1に示す具体例において、接合部品検査装置100は、超音波探触子10と送受信制御回路20と中央制御部30を備えている。超音波探触子10は、超音波送受部の具体例の一つであり、接合部品Pに対して超音波を送波して反射された超音波を受波する。超音波探触子10は、例えば、超音波を送受する1つ以上の超音波振動素子を備えている。
また、送受信制御回路20は、送受信制御部の具体例の一つである。送受信制御回路20は、接合部品Pの第1部材の長手方向の上端から下端に向かって伝搬する超音波を送波するように超音波探触子10を制御し、反射された超音波の受信信号を超音波探触子10から受信する。送受信制御回路20は、例えば電気回路や電子回路などを利用して実現することができる。また、その実現において、必要に応じて半導体デバイスなどのハードウェアが利用されてもよい。
そして、中央制御部30は、図1に例示する接合部品検査装置100内を全体的に制御する。中央制御部30は、後に詳述する剥離判定機能などを備えている。中央制御部30は、例えば、CPUやプロセッサやメモリ等のハードウェアと、そのCPUやプロセッサの動作を規定するソフトウェア(プログラム)との協働により実現することができる。
図1に示す具体例では、検査対象となる接合部品Pが媒体槽200内に貯められた水などの音響伝達媒体L内に沈められて検査される。接合部品Pは、例えばベルトコンベアやロボットアームなどの搬送機構を利用して、図1に例示する音響伝達媒体L内の計測位置まで搬送されてもよい。なお、図1の検査システムでは、超音波の伝搬方向が重要であるため、検査時には、接合部品Pが予め定められた正しい向きで計測位置に配置されるように搬送される。もちろん、計測位置まで搬送された後に接合部品Pの向きを修正(微調整)してから検査が実行されてもよい。また、接合部品Pは、例えば、図1に示す搬送経路(黒矢印)に沿って音響伝達媒体L内の計測位置まで搬送され、計測終了後に音響伝達媒体L内から外に搬出される。搬出された接合部材Pが図1の検査システムによる検査の次の工程に搬送されてもよい。
図1に例示する検査システムの全体構成は以上のとおりである。次に、図1に示す検査システムによって実現される検査の具体例について説明する。なお、図1に示した構成(符号を付した各部)については、以下の説明において図1の符号を利用する。
図2は、接合部品Pの具体例を示す図である。図2には、接合部品検査装置100が検査対象とする接合部品Pの一例が例示されている。図2(A)は、接合部品Pを上端側から見た上面図である。また、図2(B)は、接合部品Pの中心軸Cを含む断面を側方から見た側断面図である。
図2に例示する接合部品Pは、第1部材の具体例である金属ピンP1の側面に、第2部材の具体例である樹脂P2を接合させた部品である。図2に示す具体例では、四角柱形状の金属ピンP1の側面を取り囲むように、全体として円柱形状の樹脂P2が接合されている。なお、樹脂P2には、例えば、ガラス繊維(GF),炭素繊維(CF),セルロースナノファイバー(CNF)などのうちの少なくとも一つで構成されるフィラーが混入されてもよい。
接合部品検査装置100は、例えば図2に示す接合部品Pに対して、金属ピンP1の長手方向の上端側から下端側に向かって伝搬する超音波を送波する。
図3は、接合部品Pに送波される超音波の具体例を示す図である。送受信制御回路20は、接合部品Pの第1部材の長手方向の上端から下端に向かって伝搬する超音波を送波するように超音波探触子10を制御し、反射された超音波の受信信号を超音波探触子10から受信する。
図3(A)には伝搬方向の具体例が図示されている。例えば図3(A)に例示するように、超音波探触子10から接合部品Pに対して、第1部材の具体例である金属ピンP1の長手方向の上端から下端に向かって伝搬する超音波が送波される。
また、送受信制御回路20は、第1部材の上端またはその近傍を焦点として集束する超音波を送波するように超音波探触子10を制御してもよい。これにより、例えば図3(B)に例示する集束型超音波のように、金属ピンP1の上端付近、例えば音響伝達媒体Lと金属ピンP1上端の境界近傍を焦点(フォーカス点)とする超音波が送波されてもよい。図3(B)に示す集束型超音波は、全体としての平均的な伝搬方向が金属ピンP1の長手方向となっている。
ちなみに、図3(C)には平面型超音波の具体例が図示されている。図3(C)には、超音波探触子10から接合部品Pに対して、焦点を持たない(集束しない)平面型超音波を送波する具体例が図示されている。
接合部品検査装置100は、媒体槽200内の音響伝達媒体Lに沈められた接合部品Pに対して、例えば図3に例示するように金属ピンP1の長手方向の上端から下端に向かって伝搬する超音波を送波して、反射された超音波の受信信号を受信する。
図4から図7には、接合部品検査装置100によって受信される受信信号の具体例が図示されている。図4から図7の各図には、シール性が低いサンプルから得られる受信信号(A)と、シール性が中程度のサンプルから得られる受信信号(B)と、シール性が高いサンプルから得られる受信信号(C)が例示されている。
シール性が低いサンプルとは、金属ピンP1と樹脂P2の接合箇所における密着の程度が低い接合部品Pであり、シール性が中程度のサンプルとは、金属ピンP1と樹脂P2の接合箇所における密着の程度が中程度の接合部品Pであり、シール性が高いサンプルとは金属ピンP1と樹脂P2の接合箇所における密着の程度が高い接合部品Pである。なお、図4から図7の各図の横軸は、超音波を発振(送波)してからの経過時間である。
図4から図6は、集束型超音波により得られる受信信号の具体例を示す図である。図4から図6には、それぞれ、周波数30MHz(図4),周波数10MHz(図5),周波数5MHz(図6)の集束型超音波により得られる受信信号の具体例が図示されている。また、図7は、平面型超音波により得られる受信信号の具体例を示す図である。図7には周波数2.5MHzの平面型超音波により得られる受信信号の具体例が図示されている。
図4から図6に示す集束型超音波によるシール性が低いサンプルから得られる受信信号(A)では、金属ピンP1の下端(図2,図3参照)で反射した超音波が検出される時刻Tdの付近で、特に時刻Tdよりも時間的に後の近傍時刻(例えば図4に示す時刻A)において、受信信号の強度が比較的大きい。
超音波探触子10から見て金属ピンP1の下端よりも遠い箇所(例えば図4に示す時刻Aに対応した箇所)は、音響インピーダンスが一様な音響伝達媒体L内であり、超音波の反射体が存在しない。超音波の反射体が存在しないにも関わらず、時刻Tdよりも時間的に後の近傍時刻において受信信号の強度が大きい原因としては、次の理由が考えられる。
つまり、集束型超音波には、金属ピンP1の側面に対して平行に伝搬しない超音波成分が含まれており(図3参照)、その超音波成分が、金属ピンP1の側面で反射しながら金属ピンP1の長手方向を上端から下端に向かって伝搬し、金属ピンP1の下端で反射した後、金属ピンP1の側面で反射しながら金属ピンP1の長手方向を下端から上端に向かって伝搬し、超音波探触子10まで戻ってきて検出されたためであると考えられる。
例えば、シール性が中程度のサンプルから得られる受信信号(B)と、シール性が高いサンプルから得られる受信信号(C)では、シール性が低いサンプルから得られる受信信号(A)に比べて、時刻Aに対応した箇所における受信信号の強度が小さい。
シール性が低いサンプルでは、金属ピンP1の側面、つまり金属ピンP1と樹脂P2の接合箇所に剥離が発生しており、超音波が金属ピンP1(金属)と剥離部分(空気)との界面でほぼ全反射しながら、金属ピンP1の長手方向に伝搬する。
一方、シール性が中程度またはシール性が高いサンプルでは、シール性が低いサンプルに比べて、金属ピンP1と樹脂P2の接合箇所における剥離が少ない(剥離が全く無い場合を含む)ため、金属ピンP1(金属)と樹脂P2との界面で超音波の一部が金属ピンP1から樹脂P2側へ透過してしまい、超音波探触子10まで戻ってくる超音波の強度が低下する。
このように、図4から図6に示す集束型超音波の具体例では、シール性が低いサンプルの場合に、金属ピンP1の下端で反射した超音波が検出される時刻Tdの付近で、特に時刻Tdよりも時間的に後の近傍時刻(例えば図4に示す時刻A)において、受信信号の強度が比較的大きくなる。
これに対し、図7に示す平面型超音波の具体例では、シール性が低いサンプルから得られる受信信号(A)でも、金属ピンP1の下端よりも遠い箇所(例えば図4の時刻Aに対応した箇所)において受信信号の強度に大きな変化が確認できない。平面型超音波では、超音波のほぼ全ての成分が金属ピンP1の側面に対して平行に伝搬し、金属ピンP1の側面で反射しながら金属ピンP1の長手方向を伝搬する超音波の成分が少ない(または全く無い)ためであると考えられる。
そこで、図1の接合部品検査装置100は、金属ピンP1と樹脂P2の接合箇所における密着の程度を示す情報として、金属ピンP1の下端から反射された超音波が得られる規準時刻(例えば図4に示す時刻Td)とその近傍時刻の少なくとも一方を含む注目時間帯の受信信号を取得する。
なお、送受信制御回路20は、例えば金属ピンP1の上端またはその近傍を焦点として集束する集束型超音波を送波するように超音波探触子10を制御する。また、超音波探触子10は、例えば周波数が5〜30MHzの範囲内である超音波を送波する。
そして、例えば、接合部品検査装置100の中央制御部30は、規準時刻(例えば図4に示す時刻Td)よりも時間的に後の近傍時刻(例えば図4に示す時刻A)における受信信号の強度に基づいて、金属ピンP1と樹脂P2の接合箇所に剥離が発生しているかどうかを判定する剥離判定機能を実現する。
中央制御部30は、例えば、接合部品Pから得られる規準時刻よりも時間的に後の近傍時刻における受信信号の強度が、判定閾値以下の場合にその接合部品Pが良品であると判定し、判定閾値を超える場合にその接合部品Pが不良品であると判定する剥離判定機能を実現してもよい。判定閾値は、受信信号の最大強度(例えば図4に示す金属ピン上端で反射した超音波が検出される時刻Tuにおける強度)の十数パーセント程度(例えば15パーセントなど)に設定されてもよい。
また、判定閾値は、検査対象となる接合部品Pの複数試料に関する計測結果に応じて決定されてもよい。例えば互いに同じ部品として形成された複数の接合部品Pに関する計測結果から、その接合部品Pに関する判定閾値が決定されてもよい。また、例えば互いに異なる部品を含んだ複数の接合部品Pに関する計測結果から、それらの互いに異なる部品に利用できる汎用的な判定閾値が決定されてもよい。なお、判定閾値は、例えば、図1の接合部品検査装置100を利用した検査の責任者が最終決定するようにしてもよい。
図1の接合部品検査装置100は、接合部品Pに関する良否の判定結果をディスプレイなどに表示してもよいし、接合部品Pに関する良否の判定結果を検査の次の工程を管理する装置などに送信してもよい。
また、図1の接合部品検査装置100は、金属ピンP1と樹脂P2の接合箇所における密着の程度を示す情報を表示するようにしてもよい。例えば、接合部品Pから得られる受信信号(図4から図6参照)をディスプレイなどに表示してもよい。この場合には、例えば、表示された受信信号を見た検査の責任者が、接合部品Pの良否を判定するようにしてもよい。
図8は、金属ピンP1の形状例を示す図である。図1の接合部品検査装置100が検査対象とする接合部品Pは、柱状の金属ピンP1を備えている。図8には、柱状の金属ピンP1に関する様々な具体例が例示されている。
例えば、図8に例示するように、金属ピンP1の長手方向に垂直な断面(垂直断面)の形状は、三角形,四角形,五角以上の多角形,円形,楕円形などの基本形状の他に、星形などの特殊形状(形状に限定なし)でもよい。
また、例えば、図8に例示するように、金属ピンP1の長手方向に連続的に垂直断面の大きさや形状が変化してもよいし、金属ピンP1の脱落を避けるための突起などが金属ピンP1の側面に設けられてもよい。例えば、金属ピンP1の垂直断面を構成する辺,対角線,直径などに比べて長手方向の長さが長ければ、その金属ピンP1は柱状である。
図9は、接合部品Pの形状例を示す図である。図1の接合部品検査装置100が検査対象とする接合部品Pは、柱状の金属ピンP1の側面の少なくとも一部に樹脂P2を接合させた部品である。図9には、接合部品Pに関する様々な具体例が例示されている。
金属ピンP1の長手方向の両端(上端と下端)のうちの少なくとも一方は、超音波の伝搬経路となるように、樹脂P2の表面上に存在するか又は表面から突出していることが望ましい。金属ピンP1の長手方向の両端のうちの一方が樹脂P2の表面上に存在するか又は表面から突出していれば、他方は樹脂P2に埋め込まれた状態であってもよい。
また、1本の金属ピンP1で1つの接合部品Pが形成されてもよいし、複数の金属ピンP1で1つの接合部品Pが形成されてもよい。例えば、複数の金属ピンP1を備えた接合部品Pを検査する場合には、1本の金属ピンP1ごとにその金属ピンP1と樹脂P2の密着性(例えば剥離の有無)が検査される。なお、樹脂P2の形状は、図1の接合部品検査装置100による検査への影響が極めて小さい(または完全に影響がない)ため、どのような形状であってもよい。
以上、本発明の具体的な実施態様の一例を説明したが、上述した具体例はあらゆる点で単なる例示にすぎず、本発明の範囲を限定するものではない。本発明は、その本質を逸脱しない範囲で各種の変形形態を包含する。
10 超音波探触子、20 送受信制御回路、30 中央制御部、100 接合部品検査装置。
Claims (6)
- 柱状の第1部材の側面の少なくとも一部に当該第1部材とは音響インピーダンスの異なる第2部材を接合させた接合部品を検査する検査装置であって、
前記接合部品に対して超音波を送波して反射された超音波を受波する超音波送受部と、
前記第1部材の長手方向の上端から下端に向かって伝搬する超音波を送波するように前記超音波送受部を制御して反射された超音波の受信信号を得る送受信制御部と、
を有し、
前記第1部材と前記第2部材の接合箇所における密着の程度を示す情報として、前記第1部材の下端から反射された超音波が得られる規準時刻とその近傍時刻の少なくとも一方を含む注目時間帯の受信信号を取得する、
ことを特徴とする接合部品の検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記送受信制御部は、前記第1部材の上端またはその近傍を焦点として集束する超音波を送波するように前記超音波送受部を制御する、
ことを特徴とする接合部品の検査装置。 - 請求項1または2に記載の検査装置において、
前記超音波送受部は、周波数が5〜30MHzの範囲内である超音波を送波する、
ことを特徴とする接合部品の検査装置。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の検査装置において、
前記規準時刻よりも時間的に後の近傍時刻における受信信号の強度に基づいて、前記第1部材と前記第2部材の接合箇所に剥離が発生しているかどうかを判定する剥離判定部をさらに有する、
ことを特徴とする接合部品の検査装置。 - 請求項1から4のいずれか1項に記載の検査装置において、
当該検査装置が検査対象とする前記接合部品は、前記第1部材である金属ピンの側面の少なくとも一部に前記第2部材である樹脂を接合させた部品である、
ことを特徴とする接合部品の検査装置。 - 柱状の第1部材の側面の少なくとも一部に当該第1部材とは音響インピーダンスの異なる第2部材を接合させた接合部品を検査する検査方法であって、
前記接合部品に対して前記第1部材の長手方向の上端から下端に向かって伝搬する超音波を送波して反射された超音波を受波し、
前記第1部材の下端から反射された超音波が得られる規準時刻とその近傍時刻の少なくとも一方を含む注目時間帯の超音波の受信信号を取得し、
前記注目時間帯の受信信号に基づいて前記第1部材と前記第2部材の接合箇所における密着性を検査する、
ことを特徴とする接合部品の検査方法。
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