KR101191364B1 - 비선형 평가 시스템 및 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 초음파의 비선형 성분을 이용하는 비선형 평가 시스템 및 장치에 관한 것이다. 상기 비선형 평가 장치는 피검사체로 제 1 초음파를 입사시키는 초음파 진행부, 상기 초음파 진행부에 연결되며 상기 제 1 초음파를 상기 초음파 진행부로 출력시키는 제 1 탐촉자, 및 상기 제 1 탐촉자와 분리된 상태로 상기 초음파 진행부에 연결된 제 2 탐촉자를 포함한다. 여기서, 상기 초음파 진행부는 상기 제 1 탐촉자로부터 출력된 제 1 초음파를 반사 및 투과시킨다.

Description

비선형 평가 시스템 및 장치{SYSTEM AND APPARATUS FOR MEASURING NON-LINEARITY OF ULTRASONIC WAVE}
본 발명은 초음파의 비선형 성분을 이용하는 비선형 평가 시스템 및 장치에 관한 것이다.
기계적 구조물은 시간이 경과함에 따라 물리적 손상, 화학적 손상, 열화, 부식 등에 의한 파손이 발생하며, 이러한 파손은 심각한 경제적 손실 및 인적 손실을 유발시킬 수 있다. 따라서, 심각한 파손이 발생하기 전에 기계적 구조물의 결함, 특히 초기 결함을 검출하는 것이 중요하다.
이러한 기계적 구조물의 결함을 검출하기 위하여 비파괴 검사 기술이 등장하였다.
상기 비파괴 검사 기술로는 초음파, X-ray, 와전류 등과 같은 기술들이 주로 사용되었다. 여기서, 상기 초음파 기술로는 초음파의 선형 성분을 이용하여 재료의 결함을 검출하는 선형 평가 시스템이 사용되었다.
그러나, 이러한 선형 평가 시스템은 열린 균열의 검출은 가능하였지만 초기 피로 균열이나 외부 스트레스 및 열팽창으로 인한 부분적인 닫힘 균열을 검출하기는 어려웠다.
또한, 상기 선형 평가 시스템은 미세 조직 변화, 열화, 부식 등도 정밀하게 검사할 수 없었다. 따라서, 재료의 결함을 정밀하게 검사할 수 있는 시스템이 요청된다.
본 발명의 목적은 피검사체의 파손의 초기 상태, 예를 들어 열화, 미세 조직 변화, 닫힘 균열 등을 고감도로 검출할 수 있는 비선형 평가 시스템 및 장치를 제공하는 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 비선형 평가 시스템에 사용되는 비선형 평가 장치는 피검사체로 제 1 초음파를 입사시키는 초음파 진행부; 상기 초음파 진행부에 연결되며, 상기 제 1 초음파를 상기 초음파 진행부로 출력시키는 제 1 탐촉자; 및 상기 제 1 탐촉자와 분리된 상태로 상기 초음파 진행부에 연결된 제 2 탐촉자를 포함한다. 여기서, 상기 초음파 진행부는 상기 제 1 탐촉자로부터 출력된 제 1 초음파를 반사 및 투과시킨다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 비선형 평가 시스템에 사용되는 비선형 평가 장치는 피검사체로 제 1 초음파를 입사시키는 초음파 진행부; 상기 초음파 진행부에 연결되며, 상기 제 1 초음파를 상기 초음파 진행부로 출력시키는 제 1 탐촉자; 및 상기 제 1 탐촉자와 분리된 상태로 상기 초음파 진행부에 연결된 제 2 탐촉자를 포함한다. 여기서, 상기 제 2 탐촉자의 중심축은 상기 피검사체로부터 반사된 제 1 초음파의 빔 축과 일치한다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따른 비선형 평가 시스템에 사용되는 비선형 평가 장치는 피검사체로 초음파를 입사시키는 초음파 진행부; 상기 초음파 진행부에 연결되며, 상기 입사된 초음파를 상기 초음파 진행부로 출력시키는 제 1 탐촉자; 및 상기 제 1 탐촉자와 분리된 상태로 상기 초음파 진행부에 연결된 제 2 탐촉자를 포함한다. 여기서, 상기 피검사체로 입사된 초음파는 상기 피검사체에서 반사되어 상기 제 2 탐촉자로 입사되고, 상기 제 2 탐촉자는 상기 피검사체에서 반사되어 상기 제 2 탐촉자로 입사된 초음파 중 조화파에 해당하는 중심 주파수를 가지며, 상기 조화파는 고조파와 분조파 중 적어도 하나를 포함한다.
본 발명에 따른 비선형 평가 시스템 및 장치는 초음파의 비선형 성분을 이용하여 피검사체의 상태를 검사하며, 따라서 상기 피검사체의 초기 파손 상태, 예를 들어 열화, 미세 조직 변질, 닫힘 균열 등을 고감도로 검출할 수 있다. 즉, 상기 비선형 평가 시스템 및 장치는 고감도의 비파괴 검사를 가능하게 한다.
또한, 상기 비선형 평가 시스템 및 장치는 반사 및 투과가 가능한 초음파 진행부, 예를 들어 빔 스플리터를 이용하여 제 2 탐촉자(수신 탐촉자)의 중심축과 반사 초음파의 빔 축을 일치시키며, 그 결과 상기 초음파의 비선형성 평가의 정밀도가 향상될 수 있다.
게다가, 상기 비선형 평가 장치에서 제 1 탐촉자와 제 2 탐촉자가 분리되어 설치되고 상기 제 2 탐촉자의 중심 주파수가 상기 제 2 탐촉자로 입사되는 반사 초음파에 해당하는 주파수를 가지므로, 상기 제 2 탐촉자는 상기 반사 초음파의 조화파에 민감하게 된다. 따라서, 상기 비선형 평가 시스템은 비선형 특성을 가지는 조화파를 고감도로 측정할 수 있다.
더욱이, 초음파가 지연 소자 역할을 수행하는 초음파 진행부를 통하여 진행하므로, main bang 신호와 상기 반사 초음파의 중첩이 발생되지 않아서 상기 초음파의 비선형성 평가가 정밀하게 이루어질 수 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 초음파를 이용한 비선형 평가 시스템을 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 비선형 평가부의 동작 과정을 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 비선형 평가 시스템을 도시한 도면이다.
이하에서는 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 자세히 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 초음파를 이용한 비선형 평가 시스템을 도시한 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 실시예의 비선형 평가 시스템(100)은 초음파의 비선형 성분을 이용하여 피검사체(102)의 물리적 결함, 화학적 결함, 초기 결함 등을 검사하는 시스템으로서, 고안전을 요구하는 발전소, 송전탑, 교량, 항공 분야 등에서 기계적 구조물의 비파괴 검사를 위해 사용될 수 있다. 구체적으로는, 비선형 평가 시스템(100)은 물리적 손상 또는 화학적 손상에 의한 피검사체(102)의 미세 조직 변화, 열화, 부식, 균열 등의 결함, 특히 초기 결함을 검출할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 비선형 평가 시스템(100)은 초음파 발생부(110), 비선형 평가부(112), 증폭부(114) 및 신호 처리부(116)를 포함한다.
초음파 발생부(110)는 협대역의 초음파 신호, 특히 고압, 예를 들어 수백 볼트의 초음파 발생 신호를 발생시킨다. 예를 들어, 초음파 발생부(110)는 여러 주기의 정현파인 tone-burst 신호를 사용하여 초음파 발생 신호를 발생시킨다. 여기서, 상기 초음파 신호는 단일 주파수(f1)를 가진다.
비선형 평가부(112)는 초음파 진행부(120), 제 1 탐촉자(122), 제 2 탐촉자(124), 흡음부(126) 및 임피던스 정합부(128)를 포함한다.
초음파 진행부(120)는 초음파가 진행하는 통로로서 초음파를 반사 및 투과시킬 수 있으며, 상기 초음파를 지연시키는 일종의 지연 소자 역할도 수행한다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 초음파 진행부(120)는 초음파를 반사 및 투과시키는 빔 스플리터일 수 있다.
제 1 탐촉자(122)는 송신 탐촉자로서 초음파 진행부(120)의 일측에 연결되며, 초음파 발생부(110)로부터 출력된 초음파 발생 신호에 따라 초음파를 발생시킨다. 예를 들어, 제 1 탐촉자(122)는 진동자를 가지되, 초음파는 상기 초음파 발생 신호에 따른 역압전 현상에 의해 상기 진동자가 진동함에 의해 발생될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 제 1 탐촉자(122)는 상기 초음파의 주파수에 해당하는 중심 주파수를 가질 수 있다.
제 2 탐촉자(124)는 수신 탐촉자로서 초음파 진행부(120)의 타측에 연결되며, 즉 도 1에 도시된 바와 같이 제 1 탐촉자(122)와 분리되어 설치된다. 이러한 제 2 탐촉자(124)는 피검사체(102)로부터 반사되어 입사된 반사 초음파를 초음파 신호로 변환시키고, 상기 초음파 신호를 증폭부(114)로 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 제 2 탐촉자(124)는 상기 반사 초음파의 조화파의 주파수에 해당하는 중심 주파수를 가질 수 있다.
흡음부(126)는 제 1 탐촉자(122)로부터 출력된 후 초음파 진행부(120)의 스플리터를 투과하여 진행된 초음파를 제거한다. 만일 흡음부(126)가 없으면, 초음파 진행부(120)의 스플리터를 투과한 초음파가 제 1 탐촉자(122)로 재반사되어 입사되거나 제 2 탐촉자(124)로 반사되어 입사될 수 있으며, 그 결과 비선형성 평가를 정확하게 수행할 수 없게 된다. 따라서, 이러한 초음파의 재반사를 방지하기 위하여 상기 초음파를 재거하는 흡음부(126)를 사용한다.
임피던스 정합부(128)는 초음파 진행부(120)와 피검사체(102)의 임피던스를 정합시켜 피검사체(102)로 입사되는 초음파의 손실을 최소화시킨다.
증폭부(114)는 제 2 탐촉자(124)로부터 출력된 초음파 신호를 증폭시킨 후 신호 처리부(116)로 제공한다.
신호 처리부(116)는 증폭부(114)로부터 제공된 초음파 신호에서 기본파 및 조화파를 분리하고, 그런 후 예를 들어 기본파와 조화파의 진폭 비교를 통하여 피검사체(102)의 비선형성을 평가한다. 여기서, 상기 조화파는 고조파 및 분조파를 포함하는 개념이다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 기본파의 진폭 크기를 A1이라 하고 2차 고조파의 크기를 A2라고 할 경우 비선형 파라미터(β)를 아래의 수학식 1과 같이 정량화시킬 수 있다.
Figure 112010061903048-pat00001
따라서, 신호 처리부(116)는 예를 들어 수학식 1과 같이 정량화된 파라미터를 통하여 비선형 평가를 수행할 수 있으며, 즉 피검사체(102)의 불량을 검출할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 신호 처리부(116)는 오실로스코프 및 컴퓨터를 이용한 주파수 분석 방법을 사용하여 비선형 평가를 수행할 수도 있고, 구적 위상 감지법(Quadrature Phase Sensitive Detection) 또는 Pulse Inversion Technique을 사용하여 비선형 평가를 수행할 수도 있다. 즉, 신호 처리부(116)는 다양한 방법들을 통하여 비선형 평가를 수행할 수 있다.
이하, 도 1에 도시된 구조를 가지는 비선형 평가부(112)의 동작을 첨부된 도면을 참조하여 상술하겠다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 비선형 평가부의 동작 과정을 도시한 도면이다.
도 2를 참조하면, 제 1 탐촉자(122)로부터 출력된 초음파가 초음파 진행부(120)로 입사되면 상기 초음파는 스플리터에 의해 투과 및 반사된다. 즉, 상기 초음파 중 일부는 상기 스플리터를 투과하여 ③ 방향으로 진행하고, 나머지 초음파는 상기 스플리터에 의해 반사되어 ② 방향으로 진행한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 스플리터에 의한 반사율과 투과율은 50%로 동일할 수 있다.
③ 방향으로 진행한 초음파는 흡음부(126)에 의해 제거되고 재반사되지 않으며, ② 방향으로 진행한 초음파는 임피던스 정합부(128)를 통하여 피검사체(102)로 입사된다.
피검사체(102)로 입사된 초음파는 도 2에 도시된 바와 같이 피검사체(104)의 저면 또는 초음파 경로 상의 크랙에 의해 반사된다. 물론, 피검사체(104)가 이중 레이어로 이루어진 경우 경계면에서 반사될 수도 있다. 여기서, 저면에서 반사되는 초음파는 열화나 피로, 손상 등에 의한 피검사체(104)의 결함을 검출하기 위해 사용되며, 균열에서 반사된 초음파는 닫힘 균열 등의 결함을 검출하기 위하여 사용될 수 있다.
피검사체(102)에서 반사되어 ④ 방향으로 진행하는 초음파(이하, "반사 초음파"라 함)는 스플리터를 투과하여 ⑤ 방향으로 진행하여 제 2 탐촉자(124)로 입사되거나 상기 스플리터에 의해 반사되어 ⑥ 방향으로 진행하여 제 1 탐촉자(122)로 입사된다.
여기서, 제 2 탐촉자(124)로 입사하는 반사 초음파를 살펴보면, 도 2에 도시된 바와 같이 상기 반사 초음파의 빔 축과 제 2 탐촉자(124)의 중심축이 일치하게 된다. 따라서, 초음파의 비선형 평가 측정 신뢰도가 향상될 수 있다.
또한, 제 2 탐촉자(124)가 상기 반사 초음파 중 조화파에 해당하는 중심 주파수를 가지므로, 즉 제 2 탐촉자(124)가 상기 반사 초음파 중 비선형 특성을 가지는 조화파에 민감하므로, 비선형 평가 시스템(100)은 상기 초음파의 비선형 특성을 정밀하게 평가할 수 있다.
정리하면, 본 실시예의 비선형 평가 시스템(100)은 초음파의 비선형 성분을 이용하며, 따라서 미세 열화 손상이나 닫혀진 균열에 대하여 낮은 민감도를 가졌던 종래의 선형 평가 시스템과 달리 피검사체(102)의 초기 파손 상태, 예를 들어 열화, 미세 조직 변질, 닫힘 균열 등을 고감도로 검출할 수 있다.
또한, 비선형 평가 시스템(100)이 반사 및 투과가 가능한 초음파 진행부(120)를 이용하여 제 2 탐촉자(124)의 중심축과 상기 반사 초음파의 빔 축을 일치시키므로, 비선형성 평가의 정밀도가 향상될 수 있다.
게다가, 제 1 탐촉자(122)와 제 2 탐촉자(124)를 분리하여 설치하고, 제 2 탐촉자(124)의 중심 주파수를 제 2 탐촉자(124)로 입사되는 반사 초음파, 특히 조화파에 해당하는 주파수로 설정시킨다. 따라서, 비선형 평가 시스템(100)은 비선형 특성을 가지는 조화파에 대한 측정 민감도를 향상시킬 수 있다.
더욱이, 제 1 탐촉자(122)로 입력되는 반사파 발생 신호와 진동자의 여진에 의해 main bang 신호가 발생될 수 있다. 이 경우, 상기 main bang 신호와 반사 초음파가 중첩될 수 있으며, 상기 중첩으로 인하여 정확한 비선형 평가를 수행하기가 어려울 수 있다. 따라서, 본 발명의 비선형 평가 시스템(100)은 상기 main bang 신호와 상기 반사 초음파의 중첩을 방지하기 위하여 초음파 진행부(120)를 사용하였다. 구체적으로는, 일종의 지연 소자 역할을 수행하는 초음파 진행부(120)를 사용하여 상기 main bang 신호와 상기 반사 초음파의 진행을 방지하였으며, 그 결과 상기 초음파의 비선형성 평가가 정밀하게 이루어질 수 있다.
도 3은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 비선형 평가 시스템을 도시한 도면이다.
도 3을 참조하면, 본 실시예의 비선형 평가 시스템(300)은 제 1 초음파 발생부(310), 제 2 초음파 발생부(312), 비선형 평가부(314), 증폭부(316) 및 신호 처리부(318)를 포함한다.
즉, 본 실시예의 비선형 평가 시스템(300)은 제 1 실시예에서보다 제 2 초음파 발생부(312)를 더 포함한다.
제 2 초음파 발생부(312)는 제 2 초음파 발생 신호를 제 2 탐촉자(324)로 출력하며, 제 2 탐촉자(324)는 상기 제 2 초음파 발생 신호에 따라 제 2 초음파를 초음파 진행부(320)로 출력시킨다. 결과적으로, 상기 제 2 초음파 중 스플리터를 투과한 초음파가 임피던스 정합부(328)를 통하여 피검사체(302)로 입사된다.
물론, 제 1 탐촉자(322)로부터 출력된 제 1 초음파 중 상기 스플리터에 의해 반사된 제 1 초음파가 임피던스 정합부(328)를 통하여 피검사체(302)로 입사된다.
즉, 2개의 초음파들이 피검사체(302)로 입사되며, 그런 후 상기 초음파들이 피검사체(302)에서 반사되어 제 2 탐촉자(324)로 입사된다.
정리하면, 제 2 탐촉자(324)는 송신 탐촉자 뿐만 아니라 수신 탐촉자로서의 역할도 수행하고, 비선형 평가 시스템(300)은 상기 초음파들의 주파수 합차에 해당하는 성분을 이용하여 비선형성을 평가한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제 1 초음파의 주파수(f1)와 상기 제 2 초음파의 주파수(f2)를 다르게 설정한다.
상기한 본 발명의 실시예는 예시의 목적을 위해 개시된 것이고, 본 발명에 대한 통상의 지식을 가지는 당업자라면 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가가 가능할 것이며, 이러한 수정, 변경 및 부가는 하기의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.
100 : 비선형 평가 시스템 102 : 피검사체
110 : 초음파 발생부 112 : 비선형 평가부
114 : 증폭부 116 : 신호 처리부
120 : 초음파 진행부 122 : 제 1 탐촉자
124 : 제 2 탐촉자 126 : 흡음부
128 : 임피던스 정합부 300 : 비선형 평가 시스템
302 : 피검사체 310 : 제 1 초음파 발생부
312 : 제 2 초음파 발생부 314 : 비선형 평가부
316 : 증폭부 318 : 신호 처리부
320 : 초음파 진행부 322 : 제 1 탐촉자
324 : 제 2 탐촉자 326 : 흡음부
328 : 임피던스 정합부

Claims (15)

  1. 피검사체로 제 1 초음파를 입사시키는 초음파 진행부;
    상기 초음파 진행부에 연결되며, 상기 제 1 초음파를 상기 초음파 진행부로 출력시키는 제 1 탐촉자; 및
    상기 제 1 탐촉자와 분리된 상태로 상기 초음파 진행부에 연결된 제 2 탐촉자를 포함하되,
    상기 초음파 진행부는 상기 제 1 탐촉자로부터 출력된 제 1 초음파를 반사 및 투과시키는 것을 특징으로 하는 비선형 평가 시스템에 사용되는 비선형 평가 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 초음파 진행부는 빔 스플리터이고, 상기 제 2 탐촉자의 중심축은 상기 피검사체로부터 반사된 제 1 초음파의 빔 축과 일치하는 것을 특징으로 하는 비선형 평가 시스템에 사용되는 비선형 평가 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 비선형 평가 장치는,
    상기 제 1 초음파로부터 상기 제 1 초음파 진행부로 출력된 제 1 초음파 중 투과된 초음파를 제거하는 흡음부; 및
    상기 초음파 진행부와 상기 피검사체 사이의 임피던스를 정합시키는 임피던스 정합부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비선형 평가 시스템에 사용되는 비선형 평가 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 피검사체로부터 반사된 제 1 초음파는 상기 제 2 탐촉자로 입사되고, 상기 제 2 탐촉자는 상기 피검사체로부터 반사되어 입사된 제 1 초음파를 초음파 신호로 변환하여 상기 비선형 평가 장치와 전기적으로 연결된 신호 처리부로 전송하며, 상기 신호 처리부는 상기 초음파 신호에서 기본파 및 조화파를 분리시키고 상기 기본파와 상기 조화파를 분석하여 상기 피검사체의 결함을 검출하되,
    상기 조화파는 고조파 및 분조파를 포함하는 것을 특징으로 하는 비선형 평가 시스템에 사용되는 비선형 평가 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제 2 탐촉자의 주파수는 상기 제 1 탐촉자의 주파수와 다르며, 상기 제 2 탐촉자는 상기 피검사체로부터 반사된 제 1 초음파 중 조화파의 주파수에 해당하는 중심 주파수를 가지는 것을 특징으로 하는 비선형 평가 시스템에 사용되는 비선형 평가 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제 2 탐촉자는 제 2 초음파를 상기 초음파 진행부로 출력하되,
    상기 제 2 초음파의 주파수는 상기 제 1 초음파의 주파수와 다른 것을 특징으로 하는 비선형 평가 시스템에 사용되는 비선형 평가 장치.
  7. 피검사체로 제 1 초음파를 입사시키는 초음파 진행부;
    상기 초음파 진행부에 연결되며, 상기 제 1 초음파를 상기 초음파 진행부로 출력시키는 제 1 탐촉자; 및
    상기 제 1 탐촉자와 분리된 상태로 상기 초음파 진행부에 연결된 제 2 탐촉자를 포함하되,
    상기 제 2 탐촉자의 중심축은 상기 피검사체로부터 반사된 제 1 초음파의 빔 축과 일치하는 것을 특징으로 하는 비선형 평가 시스템에 사용되는 비선형 평가 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 초음파 진행부는 빔 스플리터로서 상기 제 1 탐촉자로부터 출력된 제 1 초음파를 반사 및 투과시키되,
    상기 빔 스플리터의 반사율과 투과율은 1 : 1인 것을 특징으로 하는 비선형 평가 시스템에 사용되는 비선형 평가 장치.
  9. 제7항에 있어서, 상기 비선형 평가 장치는,
    상기 제 1 초음파로부터 상기 제 1 초음파 진행부로 출력된 제 1 초음파 중 투과된 초음파를 제거하는 흡음부; 및
    상기 초음파 진행부와 상기 피검사체 사이의 임피던스를 정합시키는 임피던스 정합부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비선형 평가 시스템에 사용되는 비선형 평가 장치.
  10. 제7항에 있어서, 상기 피검사체로부터 반사된 제 1 초음파는 상기 제 2 탐촉자로 입사되고, 상기 제 2 탐촉자는 상기 피검사체로부터 반사되어 입사된 제 1 초음파를 초음파 신호로 변환하여 상기 초음파 평가 장치와 전기적으로 연결된 신호 처리부로 전송하며, 상기 신호 처리부는 상기 초음파 신호에서 기본파 및 조화파를 분리시키고 상기 기본파와 상기 조화파를 분석하여 상기 피검사체의 결함을 검출하되,
    상기 조화파는 고조파 및 분조파를 포함하는 것을 특징으로 하는 비선형 평가 시스템에 사용되는 비선형 평가 장치.
  11. 제7항에 있어서, 상기 제 2 탐촉자의 주파수는 상기 제 1 탐촉자의 주파수와 다르며, 상기 제 2 탐촉자는 상기 피검사체로부터 반사된 제 1 초음파 중 조화파에 해당하는 중심 주파수를 가지는 것을 특징으로 하는 비선형 평가 시스템에 사용되는 비선형 평가 장치.
  12. 제7항에 있어서, 상기 제 2 탐촉자는 제 2 초음파를 상기 초음파 진행부로 출력하되,
    상기 제 2 초음파의 주파수는 상기 제 1 초음파의 주파수와 다른 것을 특징으로 하는 비선형 평가 시스템에 사용되는 비선형 평가 장치.
  13. 피검사체로 초음파를 입사시키는 초음파 진행부;
    상기 초음파 진행부에 연결되며, 상기 입사된 초음파를 상기 초음파 진행부로 출력시키는 제 1 탐촉자; 및
    상기 제 1 탐촉자와 분리된 상태로 상기 초음파 진행부에 연결된 제 2 탐촉자를 포함하되,
    상기 피검사체로 입사된 초음파는 상기 피검사체에서 반사되어 상기 제 2 탐촉자로 입사되고, 상기 제 2 탐촉자는 상기 피검사체에서 반사되어 상기 제 2 탐촉자로 입사된 초음파 중 조화파에 해당하는 중심 주파수를 가지며, 상기 조화파는 고조파와 분조파 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 비선형 평가 시스템에 사용되는 비선형 평가 장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 초음파 진행부는 빔 스플리터이고, 상기 탐촉자들의 주파수들은 서로 다른 것을 특징으로 하는 비선형 평가 시스템에 사용되는 비선형 평가 장치.
  15. 제13항에 있어서, 상기 제 2 탐촉자의 중심축은 상기 피검사체에서 반사되어 상기 제 2 탐촉자로 입사되는 초음파의 빔 축과 일치하는 것을 특징으로 하는 비선형 평가 시스템에 사용되는 비선형 평가 장치.


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