JP2020129854A

JP2020129854A - キャリア及び搬送システム

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Publication number: JP2020129854A
Application number: JP2019020397A
Authority: JP
Inventors: 英和金井; Hidekazu Kanai; 隆志城戸; Takashi Kido; 壮志野村; Soshi Nomura
Original assignee: Fuji Corp
Current assignee: Fuji Corp
Priority date: 2019-02-07
Filing date: 2019-02-07
Publication date: 2020-08-27
Anticipated expiration: 2039-02-07
Also published as: JP7313836B2

Abstract

【課題】搬送路の固定子の配置態様に応じて推力定数を変更できるキャリア、及び搬送システムを提供すること。【解決手段】被位置情報読取部が設けられ複数の固定子が配置された第１搬送路と、被位置情報読取部が設けられ第１搬送路とは異なる態様で複数の固定子が配置された第２搬送路とを移動するキャリアであって、キャリアは、複数の固定子により生じる磁力を利用して推力を発生させる可動子と、被位置情報読取部から位置情報を読み取る位置情報読取部と、可動子へ供給する電力を推力定数に基づいて制御し、第１搬送路から第２搬送路へ移動するのに合わせて、第１搬送路の複数の固定子の配置態様に応じた第１推力定数から、第２搬送路の複数の固定子の配置態様に応じた第２推力定数への変更を位置情報に基づいて行いつつ、可動子へ供給する電力を制御する電力制御装置と、を備える。【選択図】図５

Description

本開示は、推力定数に基づいて推力を制御するキャリア、及びそのキャリアを備える搬送システムに関するものである。

従来、物品を搬送するキャリアを、搬送路に沿って走行させる搬送システムがある（例えば、特許文献１など）。特許文献１に記載の搬送システムでは、搬送路に固定子を配置し、キャリアに可動子を取り付け、固定子と可動子との間に発生する磁力により、キャリアを移動させる。搬送路は、直線搬送路と、その直線搬送路に接続される曲線搬送路とを有している。

国際公開第ＷＯ２０１２／０５６８３８号

直線搬送路に配置された固定子と、曲線搬送路に配置された固定子では、搬送路の形状の違いから配置態様に違いが発生する。例えば、固定子間のピッチや固定子によって生じる磁束密度は、直線搬送路と曲線搬送路とで異なる場合がある。一方で、所謂、ムービングコイル型のリニアモータでは、例えば、キャリアに設けた可動子へ供給する電力を推力定数に基づいて制御する。直線搬送路と曲線搬送路とで固定子の配置態様が異なることで、仮に、直線搬送路と曲線搬送路とで同一の推力定数を用いて制御を実行すると、磁力に基づく推力に変動が発生し、キャリアの走行が不安定となる虞がある。

本開示は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、搬送路の固定子の配置態様に応じて推力定数を変更できるキャリア、及び搬送システムを提供することを課題とする。

上記課題を解決するために、本開示は、被位置情報読取部が設けられ複数の固定子が配置された第１搬送路と、前記被位置情報読取部が設けられ前記第１搬送路とは異なる態様で前記複数の固定子が配置された第２搬送路とを移動するキャリアであって、前記複数の固定子により生じる磁力を利用して推力を発生させる可動子と、前記被位置情報読取部から位置情報を読み取る位置情報読取部と、前記可動子へ供給する電力を推力定数に基づいて制御し、前記第１搬送路から前記第２搬送路へ移動するのに合わせて、前記第１搬送路の前記複数の固定子の配置態様に応じた第１推力定数から、前記第２搬送路の前記複数の固定子の配置態様に応じた第２推力定数への変更を前記位置情報に基づいて行いつつ、前記可動子へ供給する電力を制御する電力制御装置と、を備える、キャリアを開示する。
また、本開示の内容は、キャリアとしての実施だけでなく、キャリアを備える搬送システムとして実施しても有益である。

本開示のキャリア等によれば、電力制御装置は、第１搬送路から第２搬送路へ移動する際に、位置情報読取部で読み取った位置情報に基づいて推力定数を第１推力定数から第２推力定数へ変更し、変更した推力定数に基づいて可動子へ供給する電力を制御する。可動子は、各搬送路の固定子の配置態様に応じた推力定数に基づいて、電力を供給される。これにより、第１及び第２搬送路を移動する際の推力の変動を抑制し、キャリアを安定して走行させることができる。

本実施形態の搬送システムが備える直線固定装置及びキャリアの斜視図である。図１の内部を示した斜視図である。直線固定装置の断面図である。キャリアの側面図である。搬送システムの電気的な構成を示す図である。搬送システムの概要を示す模式図である。直線固定装置及び曲線固定装置の斜視図である。直線固定装置及び曲線固定装置の搬送路を走行するキャリアを示す模式図である。直線固定装置及び曲線固定装置の搬送路を走行するキャリアを示す模式図である。制御データの内容の一部を示す図である。推力定数と位置情報との関係を示すグラフである。比較例の推力定数と位置情報との関係を示すグラフである。別例の推力定数と位置情報との関係を示すグラフである。

以下、本願の搬送システムを具体化した一実施形態について説明する。図１は、後述する搬送システム１０（図６参照）が備える直線固定装置１１及びキャリア１３の斜視図を示している。図１は、直線状の直線固定装置１１に、キャリア１３を配置した状態を示している。搬送システム１０は、リニアモータの駆動によって直線固定装置１１や曲線固定装置１１Ａ（図７参照）においてキャリア１３を移動させるシステムである。まず、図１に示す直線の搬送路を有する直線固定装置１１とキャリア１３について説明する。尚、以下の説明では、図１におけるキャリア１３をスライド移動させる方向をＸ方向、Ｘ方向に垂直で直線固定装置１１を載置する面に平行な方向をＹ方向、Ｘ方向及びＹ方向に垂直な方向をＺ方向と称して説明する。また、図２は、図１に示す直線固定装置１１及びキャリア１３のＹ方向における手前側の部材を取り除いて、内部を一部だけ示している。図３は、Ｘ方向に直交する平面で直線固定装置１１を切断した断面を示している。

図１〜図３に示すように、直線固定装置１１は、Ｘ方向に延設されている。Ｘ方向に直交する平面で切断した直線固定装置１１の断面形状は、Ｚ方向の上部を開口した略Ｕ字形状をなしている。直線固定装置１１は、底部２１と、第１側壁２２と、第２側壁２３を備えている。底部２１の下部には、後述する非接触給電の制御などを実行する制御基板２５が設けられている。制御基板２５は、下部を開口した底部２１内に収納され、底部２１の下面に固定されている。

第１及び第２側壁２２，２３は、底部２１の上面に設けられ、Ｚ方向に沿うように立った状態で設けられている。第１及び第２側壁２２，２３は、Ｘ方向に沿って延設されている。直線固定装置１１は、底部２１、第１及び第２側壁２２，２３によって、Ｘ方向に延びる溝を構成している。この溝は、キャリア１３が、移動する搬送路である。第１側壁２２は、壁部２２Ａと、底板部２２Ｂとを有している。同様に、第２側壁２３は、壁部２３Ａと、底板部２３Ｂとを有している。壁部２２Ａ，２３Ａは、Ｚ方向及びＸ方向に沿った略平板状をなし、Ｘ方向に沿って延設されている。壁部２２Ａ，２３ＡのＺ方向の高さは、同一となっている。

底板部２２Ｂは、Ｚ方向における壁部２２Ａの下端部から底部２１の上面に沿ってＹ方向の内側に向かって延びている。同様に、底板部２３Ｂは、壁部２３Ａの下端部からＹ方向の内側に向かって延びている。キャリア１３は、底部２１、第１側壁２２、及び第２側壁２３に囲まれた溝内に収納されている。壁部２２Ａ，２３Ａの各々の内壁には、複数の永久磁石２６が取り付けられている。複数の永久磁石２６は、例えば、Ｚ方向に延びる長方形の板状をなし、第１及び第２側壁２２，２３の各々の内壁において、Ｘ方向に沿って、即ち、キャリア１３の移動方向に沿って所定の磁極ピッチで配列されている。永久磁石２６の各々は、例えば、キャリア１３とＹ方向で対向する内側の面においてＮ極、Ｓ極が交互に現れるように、Ｘ方向において隣り合うものが互いに異なる極性（Ｎ極及びＳ極）となっている。換言すれば、複数の永久磁石２６は、Ｘ方向に沿って交互に異なる極性となるように配置されている。尚、図２及び図３は、永久磁石２６のキャリア１３側を覆うカバー２７（図１参照）を取り外した状態を示している。また、図２は、Ｙ方向の手前側の第２側壁２３を取り外した状態を示している。

また、第１及び第２側壁２２，２３の各々のＺ方向における上部には、レール部２８が設けられている。レール部２８は、例えば、スライド面をＶ字に形成されたＶレールであり、後述するキャリア１３の溝ローラ４３を取り付けられる。また、壁部２２Ａ，２３Ａの各々の内壁には、リニアスケール２９（被位置情報読取装置の一例）が取り付けられている。リニアスケール２９は、Ｚ方向におけるレール部２８と永久磁石２６との間に設けられている。図４に示すように、キャリア１３には、直線固定装置１１のリニアスケール２９の各々とＹ方向で対向する位置にリニアヘッド４０（位置情報読取装置の一例）が取り付けられている。リニアヘッド４０は、キャリア１３のＸ方向への移動にともなって、Ｘ方向におけるキャリア１３の位置を示す位置情報ＰＩ（図５参照）をリニアスケール２９から読み取る。

図５は、搬送システム１０の電気的な構成を示している。図５に示すように、搬送システム１０の管理ＰＣ７３（図５参照）は、キャリア１３に設けられた通信部６０と通信可能となっている。管理ＰＣ７３は、例えば、通信部６０と無線通信を行い、キャリア１３との間で制御に必要なデータ（例えば、制御データＣＴ等）の送受信を行う。リニアヘッド４０は、読み取った位置情報ＰＩをキャリア１３の受電基板５０に出力する。

ここで、例えば、分岐路では、搬送路を分岐させるために、対向する側壁の一部をなくす必要が生じる。このため、少なくとも一方の側壁が存在すれば、キャリア１３の位置を検出できるように、直線固定装置１１には、Ｙ方向の両側にリニアスケール２９が設けられている。また、キャリア１３には、リニアスケール２９に対応して一対のリニアヘッド４０が設けられている。尚、直線固定装置１１は、Ｙ方向の一方側にリニアスケール２９を備える構成でも良い。この場合、キャリア１３は、リニアスケール２９と同様に、リニアヘッド４０をＹ方向の一方側に備える構成でも良い。また、リニアスケール２９及びリニアヘッド４０による位置の検出方法は、特に限定されない。例えば、位置の検出方法は、光学式の検出方法でも良く、あるいは電磁誘導を用いた検出方法でも良い。また、キャリア１３の位置を検出する方法は、リニアスケールに限らず、例えば、ロータリーエンコーダを用いても良い。

また、図１〜図３に示すように、底部２１の上面には、Ｘ方向に延設された走行レール３０が設けられている。走行レール３０をＸ方向に直交する平面で切断した断面形状は、上部を開口した略Ｕ字形状をなしている。尚、図２は、走行レール３０の一部を取り外した状態を示している。また、底板部２２Ｂ，２３Ｂの上には、非接触給電を行う送電コイル部３１が設けられている。送電コイル部３１は、Ｘ方向に延びるコイル保持部３３と、送電コイル３５とを備えている。尚、図１及び図２は、送電コイル３５を取り外した状態を示している。コイル保持部３３は、Ｘ方向に延びる略板状をなしている。コイル保持部３３の材料は、例えば、フェライトや電磁鋼板などの磁性材料である。Ｘ方向に直交する平面で切断したコイル保持部３３の断面形状は、上方に向かって突出する略Ｅ字形状をなしている。送電コイル３５は、Ｙ方向におけるコイル保持部３３の中央部で突出した部分に巻回されている。

また、図１及び図２に示すように、キャリア１３は、本体部４１と、作業台４２とを備えている。本体部４１は、Ｘ方向及びＺ方向に長い箱型形状をなし、内部に様々な機器が内蔵されている。作業台４２は、Ｘ方向に長い略板状をなし、本体部４１の上部に固定されている。図４は、キャリア１３をＸ方向から見た側面図であり、本体部４１の一部を取り除いた状態を示している。図２及び図４に示すように、作業台４２の下面には、複数の溝ローラ４３が取り付けられている。複数の溝ローラ４３は、Ｙ方向における作業台４２の両側のそれぞれに取り付けられている。また、溝ローラ４３の下方には、上記したリニアヘッド４０が取り付けられている。

また、本体部４１の下面には、複数の走行ローラ４５が取り付けられている。複数の走行ローラ４５の各々は、走行レール３０に内側から接触して回転する。キャリア１３は、作業台４２を直線固定装置１１の上方に配置した状態で、略Ｕ字状をなす直線固定装置１１の溝内に本体部４１を挿入している。直線固定装置１１に挿入された本体部４１は、直線固定装置１１の第１及び第２側壁２２，２３との間に一定の隙間を設けている。複数の溝ローラ４３の各々は、第１及び第２側壁２２，２３の上部に設けられたレール部２８に対して回転可能に取り付けられている。キャリア１３は、溝ローラ４３及び走行ローラ４５を直線固定装置１１に対して回転可能に取り付けられることでＸ方向へ移動可能となり、作業台４２に物品（部品など）を載置して移動する。本実施形態では、例えば、後述する図６の搬送システム１０に示すように、複数の直線固定装置１１や曲線固定装置１１Ａを連結して構成した搬送路８７上でキャリア１３を移動させ、作業工程位置９３等においてキャリア１３を停止させ、物品８９の供給や組み立てなどの作業を実行する。

また、図４に示すように、本体部４１の下面には、非接触給電を行う受電コイル部４７が設けられている。受電コイル部４７は、コイル保持部４８と、受電コイル４９とを備えている。コイル保持部４８は、Ｘ方向に延びる略板状をなしている。Ｘ方向に直交する平面で切断したコイル保持部４８の断面形状は、下方に向かって突出する略Ｅ字形状をなしている。コイル保持部４８の材料は、例えば、フェライトや電磁鋼板などの磁性材料である。受電コイル４９は、Ｙ方向におけるコイル保持部４８の中央部で突出した部分に巻回されている。キャリア１３を直線固定装置１１内に配置した状態では、受電コイル部４７は、Ｚ方向において送電コイル部３１と所定の間隔を間に設けて対向して配置されている。

図５に示すように、直線固定装置１１の制御基板２５は、送電コイル３５と接続され、送電コイル３５に供給する交流電圧を変更する。制御基板２５は、送電コイル３５に供給する交流電圧を変更することで、送電コイル３５からキャリア１３の受電コイル４９へ非接触による電力供給を行う。なお、キャリア１３への電力の供給は、非接触給電に限らず、接触型の給電方法を用いても良い。

また、図２及び図４に示すように、本体部４１内には、受電基板５０と、サーボアンプ５１と、巻線部５３と、が内蔵されている。従って、本実施形態の搬送システム１０は、直線固定装置１１に永久磁石２６を配置し、キャリア１３に巻線部５３を配置した、所謂、ムービングコイル方式のリニアモータを構成している。

また、図５に示すように、キャリア１３の受電基板５０は、リニアヘッド４０で検出した位置情報ＰＩを、通信部６０を介して管理ＰＣ７３へ送信可能となっている。管理ＰＣ７３は、受信した位置情報ＰＩに基づいて、キャリア１３の制御内容を決定する。受電基板５０は、管理ＰＣ７３から通信部６０を介して受信した制御データＣＴに応じてサーボアンプ５１へ出力する推力定数Ｋや電力Ｗ１を制御する。ここでいう推力定数Ｋとは、例えば、巻線部５３に通電する電流値に対する推力の比率を示すものである。推力定数Ｋの単位は、Ｎ／Ａ（ニュートン／アンペア）である。

サーボアンプ５１は、受電基板５０から供給された電力Ｗ１に基づいて巻線部５３に通電する駆動電流を生成する。例えば、受電基板５０は、制御データＣＴに基づいて目標位置座標を設定する。受電基板５０は、目標位置座標、位置情報ＰＩが示す現在の位置座標、推力定数Ｋを、サーボアンプ５１へ出力する。サーボアンプ５１は、受電基板５０から入力した目標位置座標、現在の位置座標、推力定数Ｋに基づいて巻線部５３へ通電する交流電流Ｉａｃの電流値を演算する。電流値の演算方法としては、推力定数Ｋを用いる公知の技術を採用できる。従って、巻線部５３に通電される交流電流Ｉａｃは、受電基板５０から入力される推力定数Ｋに応じて変更される。

また、図２及び図４に示すように、巻線部５３は、Ｙ方向における本体部４１の両側にそれぞれ設けられ、Ｙ方向において永久磁石２６と対向する位置に設けられている。Ｙ方向の一方側の巻線部５３は、例えば、３つのヨーク５３Ａのそれぞれにコイル５３Ｂが巻回されている（図２参照）。この３つのコイル５３Ｂの各々は、例えば、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相の各相に対応している。各相のヨーク５３Ａ及びコイル５３Ｂは、Ｘ方向、即ち、キャリア１３の移動方向に並んで配置されている。サーボアンプ５１は、駆動電流として、三相の交流電流Ｉａｃ（図５参照）を各コイル５３Ｂに通電する。

巻線部５３は、サーボアンプ５１からコイル５３Ｂに交流電流Ｉａｃを通電されると磁界を発生させ（Ｎ極及びＳ極を誘起され）、直線固定装置１１の永久磁石２６との間に推力（磁気吸引力や磁気反発力）を発生させる。キャリア１３は、巻線部５３と永久磁石２６との間に生じる推力により、Ｘ方向へ移動する。本実施形態では、Ｙ方向の両側に設けられた永久磁石２６及び巻線部５３により両側式のリニアモータを構成している。サーボアンプ５１は、巻線部５３に通電する三相の交流電流Ｉａｃを制御することで、コイル５３Ｂによって形成する磁界、即ち、キャリア１３を移動させる方向や速度を制御する。これにより、キャリア１３は、管理ＰＣ７３の制御データＣＴに応じて移動、停止、加速等をする。なお、本実施形態のキャリア１３は、コイル５３Ｂに発生する極性に応じて、前後方向のどちらにも移動できる。即ち、キャリア１３は、コイル５３Ｂの極性に応じて、Ｘ方向の一方（前方）又は他方（後方）へ移動可能となっている。

（搬送システム１０について）
次に、上記した本実施形態の直線固定装置１１や図７に示す曲線固定装置１１Ａを用いて構成した搬送システム１０について図５及び図６を参照しつつ説明する。図５は、本実施形態の搬送システム１０の電気的な構成を示している。図６は、搬送システム１０の概要を模式的に示している。図６に示すように、搬送システム１０は、例えば、図１に示す直線の搬送路８７を有する直線固定装置１１や、曲線の搬送路８７を有する曲線固定装置１１Ａ、分岐点を有する分岐固定装置１１Ｃなどを互いに連結し、環状の搬送路８７を構成している。なお、図５は、複数の固定装置（直線固定装置１１、曲線固定装置１１Ａ、分岐固定装置１１Ｃ）を１つの固定装置として図示している。また、以下の説明では、図５及び図６に示すように、直線固定装置１１、曲線固定装置１１Ａ、分岐固定装置１１Ｃを総称して固定装置８０と記載する場合がある。

図５に示すように、搬送システム１０は、例えば、環状の搬送路８７を構成する複数の固定装置８０（直線固定装置１１等）やキャリア１３を統括的に制御する管理ＰＣ７３を備えている。管理ＰＣ７３は、例えば、ＣＰＵを主体とするコンピュータである。管理ＰＣ７３は、各固定装置８０の制御基板２５と接続されている。管理ＰＣ７３は、制御基板２５へ供給する電力を制御する。制御基板２５は、管理ＰＣ７３から供給された電力に基づいて送電コイル３５からキャリア１３へ非接触給電を行う。これにより、固定装置８０は、自身の搬送路８７に配置されたキャリア１３へ電力供給を行う。

また、管理ＰＣ７３は、通信部６０を介して、キャリア１３との間で無線通信が可能となっている。管理ＰＣ７３は、例えば、通信部６０を介して各キャリア１３の受電基板５０へ制御データＣＴを送信する。この制御データＣＴには、上記したキャリア１３の移動する先である目標位置座標、推力定数Ｋ、推力定数Ｋの演算式（図１０参照）、目標推力等のデータが含まれる。受電基板５０は、管理ＰＣ７３から通信部６０を介して受信した制御データＣＴに基づいてサーボアンプ５１に対する制御を行う。サーボアンプ５１は、受電基板５０の制御に基づいて、コイル５３Ｂに供給する交流電流Ｉａｃの向きや大きさ等を制御する。例えば、サーボアンプ５１は、受電基板５０の制御に基づいて、交流電流Ｉａｃのフィードバック制御を実行する。サーボアンプ５１は、巻線部５３の電流値を検出し、検出した電流値に推力定数Ｋを乗算した結果と目標推力を比較し、現状の推力と目標推力との差に応じて電流値を制御する。

また、図５に示すように、管理ＰＣ７３は、メモリ８３を備えている。メモリ８３は、例えば、フラッシュメモリなどの不揮発性メモリである。メモリ８３には、推力データ８５が記憶されている。推力データ８５には、搬送路８７の位置に応じて用いる推力定数Ｋのデータが設定されている。推力データ８５には、例えば、上記した現在位置、目標位置、推力定数Ｋ、推力定数Ｋの演算式、目標推力などが関連付けて記憶されている。

また、メモリ８３には、制御プログラムＰＧが記憶されている。管理ＰＣ７３は、制御プログラムＰＧをＣＰＵで実行することで、搬送システム１０を統括的に制御する。管理ＰＣ７３は、例えば、制御プログラムＰＧをＣＰＵで実行することで、後述する推力定数Ｋを用いたキャリア１３の制御を実行する。

図６に示すように、搬送システム１０は、複数の固定装置８０を接続して環状の搬送路８７を構成している。例えば、管理ＰＣ７３は、図中の搬送路８７の矢印の方向に向かって、搬送路８７上で複数のキャリア１３を移動させる。また、搬送システム１０の搬送路８７には、複数の作業ロボット９１が配置されている。作業ロボット９１は、例えば、多関節ロボットであり、各種の作業を行う。複数の作業ロボット９１の各々は、管理ＰＣ７３と接続され、管理ＰＣ７３の制御に基づいて作業を行う。キャリア１３は、各作業ロボット９１の作業工程位置９３で停止する。作業ロボット９１は、管理ＰＣ７３の制御に基づいて、例えば、キャリア１３の作業台４２に物品８９を載置する。あるいは、作業ロボット９１は、例えば、作業台４２に載置された物品８９に対する作業を行う。管理ＰＣ７３は、各キャリア１３の移動や、作業ロボット９１の作業を制御し、物品８９を用いた組み立てや、物品８９に対する加工等を実行する。

（曲線固定装置１１Ａについて）
次に、曲線固定装置１１Ａの構成について説明する。図７は、直線固定装置１１、及び曲線固定装置１１Ａの斜視図を示している。なお、図７は、図面が煩雑となるのを避けるため、カバー２７、送電コイル３５などの一部の部材の図示を省略している。また、曲線固定装置１１Ａや分岐固定装置１１Ｃは、搬送路８７の形状が直線固定装置１１と異なっているが、概ね直線固定装置１１と同様の構成となっている。このため、以下の曲線固定装置１１Ａの説明では、上記した直線固定装置１１と同様の構成については、同一符号を付し、その説明を適宜省略する。また、分岐固定装置１１Ｃについては、詳細な説明を省略する。また、図７に示すＸＹＺ方向は、直線の搬送路８７を基準とした方向を示している。

図７に示すように、曲線固定装置１１Ａは、直線固定装置１１の第１側壁２２に接続される第３側壁１２１を有する。第３側壁１２１は、直線固定装置１１の壁部２２Ａと接続され直線固定装置１１から延設される壁部２２Ａを有する。曲線固定装置１１Ａの壁部２２Ａは、所定の方向へ湾曲し、湾曲した内壁に永久磁石２６が配置されている。

また、曲線固定装置１１Ａは、直線固定装置１１の第２側壁２３から延設される位置に配置された第４側壁１２３を有する。第４側壁１２３は、搬送路８７を間に挟んで、即ち、キャリア１３を間に挟んで第３側壁１２１と対向する位置に配置されている。第４側壁１２３は、その一部に不連続となる不連続部９５，９６を有する。曲線固定装置１１Ａは、直線固定装置１１の第２側壁２３と接続される部分に、第４側壁１２３の一部である不連続部９５を有する。また、第４側壁１２３は、キャリア１３の移動方向における不連続部９５とは反対側の端部に、その一部である不連続部９６を有する。第４側壁１２３は、不連続部９５と、不連続部９６との間において、壁部２３Ａ、底板部２３Ｂ、永久磁石２６などを取り除かれている。このため、第４側壁１２３は、不連続部９５，９６の間において不連続となっている。不連続部９５，９６の間には、キャリア１３が、曲線固定装置１１Ａの外側に脱線するのを防止するための、脱落防止部材１０１が配置されている。なお、第４側壁１２３は、不連続部９５と不連続部９６とを接続し、不連続な部分を有さない構成でも良い。また、曲線固定装置１１Ａは、第４側壁１２３を有さない構成でも良い。

（推力定数Ｋに基づく制御）
次に、推力定数Ｋに基づく制御について説明する。図８は、図７に示す直線固定装置１１と曲線固定装置１１Ａとの搬送路８７を走行するキャリア１３の様子を模式的に示している。ここで、本実施形態のキャリア１３のサーボアンプ５１は、上記したように、受電基板５０から入力した推力定数Ｋに基づいて、巻線部５３に通電する電流値を演算し、巻線部５３の通電制御を実行する。

一方で、図８に示すように、直線の直線固定装置１１に配置された永久磁石２６と、曲線固定装置１１Ａに配置された永久磁石２６では、配置態様が相違する。例えば、板状の永久磁石２６を、直線の第１側壁２２の内側に配置した場合、隣り合う２つの永久磁石２６の隙間（例えば、Ｘ方向における隙間）は、同一の幅となっている。一方で、曲線の第３側壁１２１の内側に配置された２つの永久磁石２６の隙間は、内壁側（第３側壁１２１側）から開口側（内壁から離れる側）に向かうに従って広がっている。つまり、隣り合う２つの永久磁石２６は、湾曲した内壁に配置されているため、隙間を徐々に広げるように配置される。従って、隣り合う２つの永久磁石２６の隙間は、直線路と曲線路とで異なっている。

また、永久磁石２６の磁束によって生じる磁束密度も、永久磁石２６の微妙な配置の違い（向きや隙間の違い）によって、直線路と曲線路で異なっている。さらに、本実施形態の曲線固定装置１１Ａでは、曲線路の外側に設けられた第４側壁１２３が不連続となっており、永久磁石２６が配置されていない部分がある。このため、仮に、直線固定装置１１と曲線固定装置１１Ａとで同一の推力定数Ｋを用いて通電制御を実行すると、永久磁石２６の配置態様の違いから所望の推力を得られない可能性がある。結果として、キャリア１３の走行が不安定となる。キャリア１３の走行が不安定になると振動や異音が生じる場合がある。そこで、本実施形態のキャリア１３では、走行位置に応じて推力定数Ｋを変更することで、所望の推力を得ることができる。これにより、キャリア１３の走行を安定させ、振動や異音の発生を抑制できる。

図１０は、図８に示す搬送路８７を走行する際に、管理ＰＣ７３からキャリア１３へ送信する制御データＣＴの一例を示している。図１０に示すように、制御データＣＴには、位置情報ＰＩと推力定数Ｋとが関連付けられている。キャリア１３の受電基板５０は、リニアヘッド４０から位置情報ＰＩを入力し、通信部６０から制御データＣＴを入力する。受電基板５０は、位置情報ＰＩに基づいて制御データＣＴを参照し、サーボアンプ５１へ出力する推力定数Ｋを決定する。サーボアンプ５１は、受電基板５０から入力した推力定数Ｋに基づいて巻線部５３の通電制御を実行する。これにより、位置情報ＰＩが示す位置、即ち、キャリア１３の走行位置に応じて適切な推力定数Ｋに切り替えることができる。

図１０の推力定数Ｋ１は、例えば、直線固定装置１１を走行するのに適した推力定数Ｋである。推力定数Ｋ２は、例えば、曲線固定装置１１Ａを走行するのに適した推力定数Ｋである。推力定数Ｋ１，Ｋ２は、例えば、直線固定装置１１や曲線固定装置１１Ａの永久磁石２６の配置や、各搬送路８７で要求される推力等に基づいて予め設定される。例えば、本実施形態の直線固定装置１１は、Ｙ方向において対象な構造となっている。Ｙ方向の両側に配置された永久磁石２６が、Ｘ方向に沿って所定のピッチで配置されている。このため、例えば、直線の搬送路８７において、所望の推力を得るための推力定数Ｋ１を設定することができる。同様に、曲線固定装置１１Ａの第３側壁１２１は、例えば、一定の曲率で連続して形成されている。第３側壁１２１に配置された永久磁石２６は、所定のピッチで、且つ一定の曲率で配置されている。このため、例えば、曲線の搬送路８７において、所望の推力を得るための推力定数Ｋ２を設定することができる。キャリア１３は、直線固定装置１１では推力定数Ｋ１を用いて走行し、曲線固定装置１１Ａでは推力定数Ｋ２を用いて走行することで、所望の推力を発生させ走行することができる。なお、キャリア１３は、直線路の途中や、曲線路の途中で推力定数Ｋを変更する制御を実行しても良い。例えば、キャリア１３は、直線路中の微妙な永久磁石２６の配置の違いに応じて推力定数Ｋを切り替えても良い。

また、図１０に示す進入開始位置Ｌ１は、図８に示すように、キャリア１３の巻線部５３が曲線固定装置１１Ａに進入する位置である。図２に示すように、巻線部５３は、Ｘ方向に３組のヨーク５３Ａ及びコイル５３Ｂが配置されている。進入開始位置Ｌ１は、このＸ方向に並ぶ３組のヨーク５３Ａ及びコイル５３Ｂのうち、移動方向における先頭側の１組が曲線固定装置１１Ａの永久磁石２６と対向する位置である。本実施形態の曲線固定装置１１Ａでは、図７に示すように、キャリア１３の移動方向における一端から他端に至るまで永久磁石２６が配置されている。従って、巻線部５３が、曲線固定装置１１Ａの永久磁石２６と対向する位置、即ち、進入開始位置Ｌ１は、キャリア１３が曲線固定装置１１Ａに進入を開始する位置と同一である。換言すれば、進入開始位置Ｌ１は、直線上の永久磁石２６から曲線上の永久磁石２６に切り替わることで、永久磁石２６の配置態様の変化が開始される位置である。

例えば、管理ＰＣ７３は、進入開始位置Ｌ１と推力定数Ｋ１を関連付けて制御データＣＴに設定し、キャリア１３へ送信する。受電基板５０は、直線固定装置１１内で移動を開始してから、進入開始位置Ｌ１に到達するまでの間は、推力定数Ｋとして推力定数Ｋ１を用いる。例えば、受電基板５０は、図８に示す移動開始位置Ｌ０から進入開始位置Ｌ１までの間、推力定数Ｋ１をサーボアンプ５１へ出力する。サーボアンプ５１は、推力定数Ｋ１による通電制御を実行する。これにより、直線路に適した推力定数Ｋ１による制御が実行される。

また、図１０に示す進入完了位置Ｌ２は、図９に示すキャリア１３の位置である。進入完了位置Ｌ２は、キャリア１３の移動方向における最も後方側のヨーク５３Ａ及びコイル５３Ｂが曲線固定装置１１Ａの永久磁石２６と対向する位置、即ち、全ての巻線部５３が曲線固定装置１１Ａの永久磁石２６と対向する状態となる位置である。キャリア１３は、進入開始位置Ｌ１から進入完了位置Ｌ２へ移動する際、巻線部５３の先頭側から曲線固定装置１１Ａへ進入する。そして、進入完了位置Ｌ２において、全ての巻線部５３は、曲線固定装置１１Ａへの進入を完成させ、曲線固定装置１１Ａの永久磁石２６と対向する。従って、進入完了位置Ｌ２は、進入開始位置Ｌ１で開始された永久磁石２６の配置態様の変化が終了する位置である。

例えば、管理ＰＣ７３は、進入完了位置Ｌ２と推力定数Ｋ２を関連付けて制御データＣＴに設定し、キャリア１３へ送信する。受電基板５０は、リニアヘッド４０から入力する位置情報ＰＩが示す位置が進入完了位置Ｌ２と一致すると判断すると、推力定数Ｋとして推力定数Ｋ２を用いる。例えば、受電基板５０は、図９に示す進入完了位置Ｌ２以降において、推力定数Ｋ２をサーボアンプ５１へ出力する。これにより、曲線路に適した推力定数Ｋ２による制御が実行される。

従って、本実施形態の受電基板５０は、位置情報ＰＩに基づいて巻線部５３（可動子の一例）の曲線固定装置１１Ａの搬送路８７（第２搬送路の一例）への進入完了を検出し、巻線部５３の曲線固定装置１１Ａへの進入が完了したのに合わせて、推力定数Ｋ２に基づいて巻線部５３へ供給する電力の制御を開始する。全ての巻線部５３（ヨーク５３Ａ及びコイル５３Ｂ）が曲線固定装置１１Ａの永久磁石２６と対向する位置まで進入すれば、永久磁石２６の配置態様に変化（磁力によって生じる推力の変動）がなくなる。このため、全ての巻線部５３が曲線固定装置１１Ａへ進入するのを完了したのに合わせて、曲線固定装置１１Ａに応じた推力定数Ｋ２による制御を開始することで、適切なタイミングで推力定数Ｋの変更を完了できる。

また、図１０に示すように、進入開始位置Ｌ１と進入完了位置Ｌ２との間である中間位置Ｌ３には、推力定数Ｋ３の演算式が関連付けられている。ここでいう中間位置Ｌ３は、進入開始位置Ｌ１と進入完了位置Ｌ２との間における複数の位置である。中間位置Ｌ３で用いる推力定数Ｋ３は、例えば、以下の演算式で演算される。
Ｋ３＝Ｋ１＋（（Ｋ２−Ｋ１）／（Ｌ２−Ｌ１））＊Ｌｘ＋Ａ
Ｌｘは、進入開始位置Ｌ１から進入完了位置Ｌ２への移動中における位置情報ＰＩが示す位置、即ち、中間位置Ｌ３の位置である。Ａは、係数である。

受電基板５０は、中間位置Ｌ３において、上記した演算式で演算した推力定数Ｋ３をサーボアンプ５１へ出力する。例えば、受電基板５０は、数十μｓ間隔で推力定数Ｋを用いた制御を繰り返し実行することができる。この場合、受電基板５０は、数十μｓごとに推力定数Ｋ３を演算し、演算した推力定数Ｋ３をサーボアンプ５１に出力することで、サーボアンプ５１の用いる推力定数Ｋを変更できる。受電基板５０は、リニアヘッド４０から入力した位置情報ＰＩが示す位置と進入開始位置Ｌ１が一致すると判断すると、演算式を用いて推力定数Ｋ３を演算し、演算した推力定数Ｋ３を推力定数Ｋとして用いる。推力定数Ｋは、推力定数Ｋ１から推力定数Ｋ２までの間において、キャリア１３の移動にともなって一定の変化量（（Ｋ２−Ｋ１）／（Ｌ２−Ｌ１））で線形的に変化する。

従って、本実施形態の受電基板５０は、位置情報ＰＩに基づいて巻線部５３の曲線固定装置１１Ａの搬送路８７（第２搬送路の一例）への進入を検出し、巻線部５３が曲線固定装置１１Ａの搬送路８７へ進入するのに合わせて、推力定数Ｋ１（第１推力定数の一例）から推力定数Ｋ２（第２推力定数の一例）への変更を開始する。永久磁石２６の配置態様の変化は、巻線部５３が曲線固定装置１１Ａの永久磁石２６と対向する位置に進入するタイミングで生じる。このため、巻線部５３が曲線固定装置１１Ａへ進入するのに合わせて、推力定数Ｋの変更を開始することで、適切なタイミングで推力定数Ｋの変更を開始できる。

また、受電基板５０は、推力定数Ｋ１と推力定数Ｋ２との間の値である推力定数Ｋ３（第３推力定数の一例）を用いて、推力定数Ｋ１、少なくとも１つの推力定数Ｋ３、推力定数Ｋ２を切り替えて、切り替えた推力定数Ｋに基づいて巻線部５３へ供給する電力を制御する。これによれば、受電基板５０は、２つの異なる値である推力定数Ｋ１，Ｋ２の間の値である推力定数Ｋ３を少なくとも１つ用いて、推力定数Ｋ１、少なくとも１つの推力定数Ｋ３、推力定数Ｋ２を切り替え、電力を制御する。これにより、推力定数Ｋの大きな変動を低減して、段階的に推力定数Ｋを切り替えることで、推力の変動を抑制できる。

また、受電基板５０は、（Ｋ２−Ｋ１）／（Ｌ２−Ｌ１）の変化率で、推力定数Ｋ１から推力定数Ｋ２へ推力定数Ｋを変化させる。これによれば、推力定数Ｋを、推力定数Ｋ１から推力定数Ｋ２へ線形的に変化させることで、推力の大きな変動を抑制できる。

図１１は、本実施形態の推力定数Ｋと位置情報ＰＩとの関係を示している。図１１に示す例では、一例として、直線路の推力定数Ｋ１の値が、曲線路の推力定数Ｋ２の値よりも大きい場合を示している。なお、推力定数Ｋの値は、永久磁石２６の配置態様や、推力定数Ｋを用いる制御の方法などによって異なる。従って、直線路の推力定数Ｋ１の値が、曲線路の推力定数Ｋ２の値よりも小さくても良い。また、図１１は、図面が繁雑となるのを避けるため、推力定数Ｋ１と推力定数Ｋ２との間における複数の中間位置Ｌ３のつち、１つの中間位置Ｌ３のみを図示している。

図１１に示す例では、推力定数Ｋは、進入開始位置Ｌ１から進入完了位置Ｌ２へキャリア１３が移動すると、一定の変化率（（Ｋ２−Ｋ１）／（Ｌ２−Ｌ１））で低下している。そして、キャリア１３が進入完了位置Ｌ２に到達すると、推力定数Ｋは、推力定数Ｋ２となる。また、本実施形態のキャリア１３は、曲線固定装置１１Ａ（曲線路）への進入と同様に、曲線固定装置１１Ａから直線固定装置１１（直線路）へ移動する際も、推力定数Ｋを線形的に変更する（図１１中の進入開始位置Ｌ４参照）。

一方、図１２は、比較例の推力定数Ｋと位置情報ＰＩとの関係を示している。図１２に示す例では、受電基板５０は、進入開始位置Ｌ１と進入完了位置Ｌ２との間における複数の中間位置Ｌ３のうち、１つの中間位置Ｌ３で、推力定数Ｋを推力定数Ｋ１から推力定数Ｋ２へ変更している。この場合、推力定数Ｋ１の値と推力定数Ｋ２の値の差が大きくなればなるほど、中間位置Ｌ３において、推力定数Ｋが大きく変動する。その結果、キャリア１３の推力に大きな変動が発生し、キャリア１３の走行が不安定となる。

これに対し、図１１に示すように、本実施形態のキャリア１３は、直線路の推力定数Ｋ１と、曲線路の推力定数Ｋ２との切り替えにおいて、推力定数Ｋを徐々に減らし、滑らかに推力定数Ｋを変更することができる。これにより、推力の変動を抑制し、キャリア１３を安定して走行させることができる。

また、本実施形態の搬送システム１０は、キャリア１３と、直線形状の搬送路８７を有する直線固定装置１１（第１搬送路装置の一例）と、曲線形状の搬送路８７を有する曲線固定装置１１Ａ（第２搬送路装置の一例）と、を備えている。直線形状の搬送路８７を有する直線固定装置１１と、曲線形状の搬送路８７を有する曲線固定装置１１Ａとでは、搬送路８７の形状の違いから複数の永久磁石２６の配置態様に差異が生じる。受電基板５０は、直線固定装置１１から曲線固定装置１１Ａへ移動する際に、推力定数Ｋを変更し巻線部５３へ供給する電力を制御する。これにより、推力の変動を抑制し、直線路から曲線路へキャリア１３を安定して走行させることができる。

また、直線固定装置１１は、キャリア１３を間に挟んで対向する位置に配置される第１側壁２２及び第２側壁２３を有する。第１側壁２２及び第２側壁２３の各々は、複数の永久磁石２６が配置されている。曲線固定装置１１Ａは、直線固定装置１１の第１側壁２２から延設され複数の永久磁石２６が配置される第３側壁１２１と、第２側壁２３から延設される位置においてその少なくとも一部が不連続となる第４側壁１２３と、を有する。

これによれば、第４側壁１２３は、その少なくとも一部が不連続となり、複数の永久磁石２６の少なくとも一部が配置されていない状態となる。第４側壁１２３の少なくとも一部をなくすことで、曲線形状の搬送路８７でキャリア１３が傾いても第４側壁１２３との衝突を回避できる。その一方で、第４側壁１２３をなくし永久磁石２６を非対称とすることで、磁力により生じる推力に変動が生じる。そこで、直線固定装置１１から曲線固定装置１１Ａへ移動する際に、推力定数Ｋを変更することで、このような第４側壁１２３（永久磁石２６）の一部がない搬送路８７であっても、キャリア１３を安定して走行させることができる。

因みに、直線固定装置１１は、第１搬送路装置の一例である。曲線固定装置１１Ａは、第２搬送路装置の一例である。リニアスケール２９は、被位置情報読取部の一例である。永久磁石２６は、固定子の一例である。リニアヘッド４０は、位置情報読取部の一例である。受電基板５０及びサーボアンプ５１は、電力制御装置の一例である。巻線部５３は、可動子の一例である。直線固定装置１１の搬送路８７は、第１搬送路の一例である。曲線固定装置１１Ａの搬送路８７は、第２搬送路の一例である。推力定数Ｋ１は、第１推力定数の一例である。推力定数Ｋ２は、第２推力定数の一例である。推力定数Ｋ３は、第３推力定数の一例である。

以上、上記した本実施例によれば以下の効果を奏する。
本実施例の一態様では、受電基板５０は、直線固定装置１１から曲線固定装置１１Ａへ移動するのに合わせて、推力定数Ｋ１から推力定数Ｋ２への変更を位置情報ＰＩに基づいて行いつつ、巻線部５３へ供給する電力を制御する。これによれば、巻線部５３は、各搬送路８７の永久磁石２６の配置態様に応じた推力定数Ｋ１，Ｋ２に基づいて、電力を供給される。これにより、直線固定装置１１から曲線固定装置１１Ａへ移動する際の推力の変動を抑制し、キャリア１３を安定して走行させることができる。

尚、本願は、上記実施形態に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。
例えば、上記実施形態では、受電基板５０は、進入開始位置Ｌ１で推力定数Ｋ１から推力定数Ｋ３へ変更し、進入完了位置Ｌ２で推力定数Ｋ３から推力定数Ｋ２へ変更したが、これに限らない。図１３は、別例の推力定数Ｋと位置情報ＰＩとの関係を示すグラフである。例えば、図１３に示すように、受電基板５０は、進入開始位置Ｌ１よりも手前で、推力定数Ｋ１から推力定数Ｋ３へ変更しても良い。また、受電基板５０は、進入完了位置Ｌ２よりも後で推力定数Ｋ３から推力定数Ｋ２へ変更しても良い。あるいは、受電基板５０は、進入開始位置Ｌ１よりも後で、推力定数Ｋ１から推力定数Ｋ３へ変更しても良く。受電基板５０は、進入完了位置Ｌ２よりも手前で推力定数Ｋ３から推力定数Ｋ２へ変更しても良い。

また、上記実施形態では、キャリア１３は、推力定数Ｋ１と推力定数Ｋ２との間における推力定数Ｋ３を数十μｓごとに演算し、複数の推力定数Ｋ３を制御に用いたが、これに限らない。キャリア１３は、１つの推力定数Ｋ３のみを制御に用いても良い。例えば、受電基板５０は、推力定数Ｋ１、１つの推力定数Ｋ３、推力定数Ｋ２の順に、推力定数Ｋを変更する制御を実行しても良い。この場合、１つの推力定数Ｋ３へ変更する中間位置Ｌ３を、進入開始位置Ｌ１と進入完了位置Ｌ２の中点となる位置に設定しても良い。また、推力定数Ｋ３を、推力定数Ｋ１と推力定数Ｋ２の平均値に設定しても良い。
また、受電基板５０は、推力定数Ｋ３を演算しなくとも良い。例えば、受電基板５０は、位置情報ＰＩと推力定数Ｋ３とを対応付けたテーブルを備えても良い。そして、受電基板５０は、位置情報ＰＩに基づいて、その位置情報ＰＩが示す位置に対応した推力定数Ｋ３をテーブルから検出して制御に用いても良い。
また、上記実施形態では、直線路から曲線路における制御を説明したが、これに限らない。例えば、直線路、曲線路、分岐路、Ｙ字路などの各搬送路８７間の移動においても、上記した方法と同様に、推力定数Ｋの変更を実行しても良い。即ち、推力定数Ｋの異なる２つの搬送路８７間の移動において、上記した推力定数Ｋを変更する方法を適用しても良い。
また、図６に示す搬送システム１０の構成は、一例である。例えば、搬送システム１０は、作業ロボット９１を備えなくとも良い。
また、上記実施形態では、本願のキャリアとして、物品８９を搬送するキャリア１３を採用したが、これに限らない。本願のキャリアは、例えば、電子部品の装着を行う部品装着装置に電子部品や電子部品を収容したテープフィーダを補充するキャリアでも良い。この場合、キャリアは、複数の部品装着装置を連結して構成した搬送路８７を走行し、各部品装着装置へ電子部品を適宜供給しても良い。

１０搬送システム、１１直線固定装置（第１搬送路装置）、１１Ａ曲線固定装置（第２搬送路装置）、１３キャリア、２２第１側壁、２３第２側壁、２６永久磁石（固定子）、２９リニアスケール（被位置情報読取部）４０リニアヘッド（位置情報読取部）、５３巻線部（可動子）、８７搬送路（第１搬送路、第２搬送路）、１２１第３側壁、１２３第４側壁、Ｋ推力定数、Ｋ１推力定数（第１推力定数）、Ｋ２推力定数（第２推力定数）、Ｋ３推力定数（第３推力定数）、ＰＩ位置情報。

Claims

被位置情報読取部が設けられ複数の固定子が配置された第１搬送路と、前記被位置情報読取部が設けられ前記第１搬送路とは異なる態様で前記複数の固定子が配置された第２搬送路とを移動するキャリアであって、
前記複数の固定子により生じる磁力を利用して推力を発生させる可動子と、
前記被位置情報読取部から位置情報を読み取る位置情報読取部と、
前記可動子へ供給する電力を推力定数に基づいて制御し、前記第１搬送路から前記第２搬送路へ移動するのに合わせて、前記第１搬送路の前記複数の固定子の配置態様に応じた第１推力定数から、前記第２搬送路の前記複数の固定子の配置態様に応じた第２推力定数への変更を前記位置情報に基づいて行いつつ、前記可動子へ供給する電力を制御する電力制御装置と、
を備える、キャリア。
前記電力制御装置は、
前記位置情報に基づいて前記可動子の前記第２搬送路への進入を検出し、前記可動子が前記第２搬送路へ進入するのに合わせて、前記第１推力定数から前記第２推力定数への変更を開始する、請求項１に記載のキャリア。
前記電力制御装置は、
前記位置情報に基づいて前記可動子の前記第２搬送路への進入完了を検出し、前記可動子の前記第２搬送路への進入が完了したのに合わせて、前記第２推力定数に基づいて前記可動子へ供給する電力の制御を開始する、請求項１又は請求項２に記載のキャリア。
前記電力制御装置は、
前記第１推力定数と前記第２推力定数との間の値である第３推力定数を用いて、前記第１推力定数、少なくとも１つの前記第３推力定数、前記第２推力定数を切り替えて、切り替えた前記推力定数に基づいて前記可動子へ供給する電力を制御する、請求項１乃至請求項３の何れか１項に記載のキャリア。
前記第１推力定数をＫ１、前記第２推力定数をＫ２、前記可動子が前記第２搬送路へ進入する位置をＬ１、前記可動子の前記第２搬送路への進入が完了する位置をＬ２とした場合に、
前記電力制御装置は、
（Ｋ２−Ｋ１）／（Ｌ２−Ｌ１）の変化率で、前記第１推力定数から前記第２推力定数へ前記推力定数を変化させる、請求項１乃至請求項４の何れか１項に記載のキャリア。
請求項１乃至請求項５の何れか１項に記載の前記キャリアと、
直線形状の搬送路を有する第１搬送路装置と、
曲線形状の搬送路を有する第２搬送路装置と、
を備える搬送システム。
前記第１搬送路装置は、
前記キャリアを間に挟んで対向する位置に配置される第１側壁及び第２側壁を有し、
前記第１側壁及び前記第２側壁の各々は、
前記複数の固定子が配置され、
前記第２搬送路装置は、
前記第１搬送路装置の前記第１側壁から延設され前記複数の固定子が配置される第３側壁と、前記第２側壁から延設される位置においてその少なくとも一部が不連続となる第４側壁と、を有する、請求項６に記載の搬送システム。