JP2020118608A - measuring device - Google Patents

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建治 林越
Kenji Hayashigoe
建治 林越
吉川 智文
Tomofumi Yoshikawa
智文 吉川
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Abstract

To provide a measuring device with which a shake occurring in a cable is lightened.SOLUTION: The measuring device comprises: a measurement table on which a measurement object equipped with a connector is removably placed; a movable block having a first contact part electrically connected at one end to the connector in contact therewith and a second contact part electrically connected to the first contact part; a movement mechanism for moving the movable block to a measurement position and a retreat position; a fixed contact part connected to one end of the second contact part and fixed to the measurement table when the movable block is located at the measurement position at least; and a cable connected at one end to the fixed contact part and connected at other end to an external apparatus. The movable block has its first contact part connected to the connector of the measurement object when at the measurement position and has its first contact part disconnected from the connector of the measurement object when at the retreat position.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、測定装置に関し、特に通信回路を有するモジュールの特性を測定する測定装置に関する。 The present invention relates to a measuring device, and more particularly to a measuring device that measures the characteristics of a module having a communication circuit.

従来、製造された通信回路を有するモジュールは工場から出荷される前に、仕様で決められた性能を発揮できるかを検査するために、測定装置により必要な特性値が測定される。 Conventionally, before shipment of a module having a manufactured communication circuit from a factory, a characteristic value required by a measuring device is measured by a measuring device in order to inspect whether or not the module can exhibit a performance determined by specifications.

例えば、特許文献1の回路基板検査装置では、上側フィクスチャとパーソナルコンピュータとを接続するケーブルをクランパにて固定保持している。これにより、上側フィクスチャが上下移動する際の、上側フィクスチャとケーブルとの各接続箇所への振動ストレスを低減している。 For example, in the circuit board inspection device of Patent Document 1, a cable connecting the upper fixture and the personal computer is fixedly held by a clamper. This reduces vibration stress to each connection point between the upper fixture and the cable when the upper fixture moves up and down.

特開2001−59857号公報JP 2001-59857 A

しかしながら、従来の測定装置では、上側フィクスチャの移動に伴い、上側フィクスチャからクランパ、クランパからPCと接続しているケーブルは、依然としてフィクスチャの上下移動に追随して上下方向に揺れる。この結果、ケーブルの揺れを原因として、ケーブル内を伝達する測定信号が乱れる場合があり、測定誤差が大きくなる場合や破損する場合がある。 However, in the conventional measuring apparatus, as the upper fixture moves, the cable connecting the upper fixture to the clamper and the cable from the clamper to the PC still sway in the vertical direction following the vertical movement of the fixture. As a result, the measurement signal transmitted through the cable may be disturbed due to the sway of the cable, which may cause a large measurement error or damage.

したがって、本発明の目的は、ケーブルに発生する揺れを軽減した測定装置を提供することにある。 Therefore, an object of the present invention is to provide a measuring device in which the sway generated in the cable is reduced.

上記目的を達成するために、本発明の一態様によれば、
コネクタを備える測定対象物が着脱可能に載置される測定台と、
一端が前記コネクタに接触して電気的に接続される第1接触部と、前記第1接触部に電気的に接続される第2接触部と、を有する可動ブロックと、
前記可動ブロックを測定位置と退避位置とに移動させる移動機構と、
少なくとも前記可動ブロックが測定位置にある際に、前記第2接触部の一端と接続され、前記測定台に固定された固定接触部と、
一端が前記固定接触部と接続され、他端が外部機器と接続されるケーブルと、を備え、
前記可動ブロックは、前記測定位置において、測定対象物のコネクタと前記第1接触部とが接続され、
前記可動ブロックは、前記退避位置において、測定対象物のコネクタと前記第1接触部とが外されている、
測定装置である。
In order to achieve the above object, according to one aspect of the present invention,
A measuring table on which a measuring object having a connector is detachably mounted,
A movable block having a first contact portion whose one end is in contact with and electrically connected to the connector, and a second contact portion which is electrically connected to the first contact portion;
A moving mechanism for moving the movable block to a measurement position and a retracted position,
A fixed contact portion that is connected to one end of the second contact portion and is fixed to the measurement table when at least the movable block is at the measurement position;
A cable having one end connected to the fixed contact portion and the other end connected to an external device,
In the movable block, at the measurement position, the connector of the measurement object and the first contact portion are connected,
In the movable block, the connector of the measuring object and the first contact portion are removed in the retracted position.
It is a measuring device.

本発明に係る測定装置によれば、ケーブルに発生する揺れを軽減した測定装置を提供することができる。 According to the measuring device of the present invention, it is possible to provide the measuring device in which the vibration generated in the cable is reduced.

実施形態1における測定装置の概略側面図1 is a schematic side view of a measuring device according to a first embodiment. 実施形態1における測定装置の測定治具の概略上面図Schematic top view of the measuring jig of the measuring apparatus in Embodiment 1. 測定装置1における可動ブロックの動きを説明する概略図Schematic diagram for explaining the movement of the movable block in the measuring device 1. 測定対象物の一例を示す図Diagram showing an example of the measurement object 実施形態1の変形例における測定装置の概略側面図Schematic side view of the measuring apparatus in the modification of Embodiment 1. 実施形態1の変形例における測定装置の測定治具の概略上面図Schematic top view of the measuring jig of the measuring device in the modification of Embodiment 1. 実施形態2における測定装置の概略側面図Schematic side view of the measuring device in the second embodiment 測定対象物の一例を示す図Diagram showing an example of the measurement object 実施形態3における測定装置の概略側面図Schematic side view of the measuring device in the third embodiment 実施形態4における測定装置の概略側面図Schematic side view of the measuring apparatus in the fourth embodiment 実施形態5における測定装置の概略側面図Schematic side view of the measuring apparatus in the fifth embodiment 実施形態6における測定装置の概略側面図Schematic side view of the measuring device in the sixth embodiment 実施形態7における測定装置の概略側面図Schematic side view of the measuring device in the seventh embodiment

本発明の一態様の測定装置は、コネクタを備える測定対象物が着脱可能に載置される測定台と、一端が前記コネクタに接触して電気的に接続される第1接触部と、前記第1接触部に電気的に接続される第2接触部と、を有する可動ブロックと、前記可動ブロックを測定位置と退避位置とに移動させる移動機構と、少なくとも前記可動ブロックが測定位置にある際に、前記第2接触部の一端と接続され、前記測定台に固定された固定接触部と、一端が前記固定接触部と接続され、他端が外部機器と接続されるケーブルと、を備え、前記可動ブロックは、前記測定位置において、測定対象物のコネクタと前記第1接触部とが接続され、前記可動ブロックは、前記退避位置において、測定対象物のコネクタと前記第1接触部とが外されている、測定装置である。 A measuring device according to one aspect of the present invention includes a measuring table on which a measuring object including a connector is detachably mounted, a first contact portion whose one end is in contact with and electrically connected to the connector, A movable block having a second contact portion electrically connected to the first contact portion, a moving mechanism for moving the movable block between a measurement position and a retracted position, and at least when the movable block is at the measurement position. A fixed contact portion connected to one end of the second contact portion and fixed to the measuring table; and a cable having one end connected to the fixed contact portion and the other end connected to an external device, The movable block is connected to the connector of the measurement object and the first contact portion at the measurement position, and the movable block is disconnected from the connector of the measurement object and the first contact portion at the retracted position. It is a measuring device.

このような構成によれば、外部機器と接続されるケーブルは、測定台に固定された固定接触部と接続され、測定対象物のコネクタと接続される第1接触部を有する可動ブロックとは直接的に接続されていない。したがって、可動ブロックとケーブルとは連動していないので、測定対象物の測定の際にケーブルが揺れるのを低減することができる。 According to such a configuration, the cable connected to the external device is connected to the fixed contact portion fixed to the measuring table, and is directly connected to the movable block having the first contact portion connected to the connector of the measurement object. Not connected. Therefore, since the movable block and the cable are not interlocked with each other, it is possible to reduce the sway of the cable during the measurement of the measurement object.

また、前記固定接触部は、前記第2接触部の一端と接触および分離可能でもよい。 The fixed contact portion may be in contact with and separable from one end of the second contact portion.

また、前記固定接触部を支持する治具基板を備え、前記治具基板は前記測定台に固定されてもよい。 Further, a jig substrate that supports the fixed contact portion may be provided, and the jig substrate may be fixed to the measurement table.

また、前記第1接触部および前記第2接触部は、それぞれ、プローブであり、前記固定接触部は、コネクタでもよい。 The first contact portion and the second contact portion may be probes, respectively, and the fixed contact portion may be a connector.

また、前記第1接触部および前記固定接触部は、それぞれ、プローブであり、前記第2接触部は、コネクタでもよい。 The first contact portion and the fixed contact portion may be probes, respectively, and the second contact portion may be a connector.

また、前記プローブが高周波プローブであり、前記コネクタが高周波コネクタでもよい。 Further, the probe may be a high frequency probe and the connector may be a high frequency connector.

また、前記第1接触部の他端と前記第2接触部の他端とを接続し、前記可動ブロックに固定される導体を有してもよい。 Further, a conductor may be provided that connects the other end of the first contact portion and the other end of the second contact portion and is fixed to the movable block.

また、前記移動機構は、前記測定対象物に対して、前記可動ブロックを上下方向および水平方向に接近および離隔する搬送ユニットを備えてもよい。 Further, the moving mechanism may include a transport unit that moves the movable block toward and away from the object to be measured in a vertical direction and a horizontal direction.

また、前記移動機構は、前記測定対象物に対して、前記可動ブロックを上下方向に接近および離隔するスライダを備えてもよい。 Further, the moving mechanism may include a slider that vertically moves the movable block toward and away from the measurement target.

また、前記移動機構は、前記測定対象物に対して、前記可動ブロックを回転方向に接近および離隔するロータリジョイントを備えてもよい。 Further, the moving mechanism may include a rotary joint that moves the movable block toward and away from the measurement target in the rotation direction.

また、前記移動機構は、前記測定対象物に対して、前記可動ブロックを斜め方向に接近および離隔するスライダを備えてもよい。 The moving mechanism may include a slider that diagonally moves the movable block toward and away from the measurement target.

また、前記測定対象物は、高周波回路モジュールでもよい。 Further, the measurement object may be a high frequency circuit module.

以下、本発明に係る測定装置について、図面を参照しながら説明する。なお、図面において、実質的に同じ機能、構成を有する部材については同一の符号を付して、明細書においてはその説明を省略する場合がある。また、図面は理解しやすくするために、それぞれの構成要素を主体に模式的に示している。 Hereinafter, the measuring apparatus according to the present invention will be described with reference to the drawings. In the drawings, members having substantially the same function and configuration are denoted by the same reference numerals, and the description thereof may be omitted in some cases. In addition, the drawings schematically show the respective constituent elements mainly for the sake of easy understanding.

なお、以下で説明する実施形態は、いずれも本発明の一具体例を示すものであり、本発明がこの構成に限定されるものではない。また、以下の実施形態において具体的に示される数値、形状、構成、ステップ、ステップの順序などは、一例を示すものであり、本発明を限定するものではない。以下の実施形態における構成要素のうち、最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。また、全ての実施形態において、各変形例における構成も同様であり、各変形例に記載した構成をそれぞれ組み合わせてもよい。 It should be noted that each of the embodiments described below shows one specific example of the present invention, and the present invention is not limited to this configuration. In addition, numerical values, shapes, configurations, steps, order of steps, and the like specifically shown in the following embodiments are examples and do not limit the present invention. Among the constituent elements in the following embodiments, constituent elements that are not described in the independent claims showing the highest concept are described as arbitrary constituent elements. In addition, in all of the embodiments, the configurations in the modified examples are the same, and the configurations described in the modified examples may be combined with each other.

(実施形態1)
以下に、本発明の実施形態1にかかる測定装置1について説明する。図1は、実施形態1における測定装置1を示す概略側面図である。図2は、実施形態1における測定装置1を示す概略上面図である。
(Embodiment 1)
The measuring apparatus 1 according to the first embodiment of the present invention will be described below. FIG. 1 is a schematic side view showing a measuring device 1 according to the first embodiment. FIG. 2 is a schematic top view showing the measuring device 1 according to the first embodiment.

測定装置1は、測定対象である測定対象物3が載置される測定治具5と、測定対象物3に測定用の信号を供給する信号供給部7と、測定対象物3からの出力信号を測定する測定器9とを備える。 The measurement device 1 includes a measurement jig 5 on which a measurement target 3 as a measurement target is placed, a signal supply unit 7 that supplies a measurement signal to the measurement target 3, and an output signal from the measurement target 3. And a measuring device 9 for measuring.

信号供給部7は、モジュールを制御する信号やモジュールへの電源を供給する。 The signal supply unit 7 supplies signals for controlling the module and power to the module.

測定器9は、測定対象物3からの信号出力、例えば、10GHz以上の高周波信号を測定する。測定用の信号は、高周波信号に限られず、種々の信号であってもよい。これにより、測定対象物3の性能が仕様基準内にあるかどうかを判別することができる。 The measuring instrument 9 measures a signal output from the measuring object 3, for example, a high frequency signal of 10 GHz or higher. The signal for measurement is not limited to the high frequency signal and may be various signals. Thereby, it is possible to determine whether or not the performance of the measuring object 3 is within the specification standard.

測定治具5は、測定対象物3と電気的に接続される治具基板11と、測定対象物3が着脱可能に載置され、治具基板11が固定される測定台13と、測定対象物3と治具基板11との接続を入り切りする可動ブロック15と、可動ブロック15を測定位置と退避位置として移動させる移動機構としての搬送ユニット17とを備える。搬送ユニット17は、可動ブロック15を上下方向および水平方向に搬送する。 The measurement jig 5 includes a jig substrate 11 electrically connected to the measurement object 3, a measurement table 13 on which the measurement object 3 is removably mounted, and the jig substrate 11 is fixed, and a measurement object. A movable block 15 for connecting and disconnecting the object 3 and the jig substrate 11 is provided, and a transport unit 17 as a moving mechanism for moving the movable block 15 as a measurement position and a retracted position. The transport unit 17 transports the movable block 15 vertically and horizontally.

可動ブロック15は、一端21k(図3参照)が測定対象物3のコネクタ19に接触して電気的に接続される第1接触部21を有する。また、可動ブロック15は、一端23kが第1接触部21の他端21mに接続される導体23と、一端25mと導体23の他端23mと接続される他端25kとを有する第2接触部25を有する。可動ブロック15は、測定対象物3に対して接近および離隔可能に可動する。測定治具5は、さらに、第2接触部25の一端25mと接触および分離可能に接続され、測定台13に治具基板11を介して固定された固定接触部27と、一端が固定接触部27と電気的に接続され、他端が信号供給部7または測定器9、および電源等の外部機器と接続されるケーブル29と、を備える。 The movable block 15 has a first contact portion 21 whose one end 21k (see FIG. 3) contacts the connector 19 of the measurement target 3 and is electrically connected thereto. In addition, the movable block 15 has a second contact portion having one end 23k connected to the other end 21m of the first contact portion 21 and the other end 25k connected to one end 25m and the other end 23m of the conductor 23. 25. The movable block 15 is movable so as to be close to and away from the measurement target 3. The measuring jig 5 is further connected to one end 25m of the second contact portion 25 so as to be in contact with and separable from the one end, and a fixed contact portion 27 fixed to the measuring table 13 via the jig substrate 11 and one fixed contact portion. A cable 29 that is electrically connected to the external terminal 27 and has the other end connected to the signal supply unit 7 or the measuring device 9 and an external device such as a power supply.

測定台13は、例えば、床または床に固定された別のテーブルに固定されている。測定台13は、工業用樹脂素材から作られている。測定台13の上面には下方に凹んだ領域であるワークポケット14が形成されている。ワークポケット14は、測定対象物3のサイズと、測定対象物3の公差と、クリアランスとを合計した広さを有する。 The measuring table 13 is fixed to, for example, the floor or another table fixed to the floor. The measuring table 13 is made of an industrial resin material. A work pocket 14 that is a region that is recessed downward is formed on the upper surface of the measurement table 13. The work pocket 14 has a total size of the size of the measurement object 3, the tolerance of the measurement object 3, and the clearance.

可動ブロック15は、測定台13と同様に、工業用樹脂素材から作られている。可動ブロック15の第1接触部21は、プローブ21aと多ピンプローブ21bとをそれぞれ備えている。プローブ21aおよび多ピンプローブ21bはどちらも金属製の導体である。プローブ21aとプローブ25aとは、互いに、導体23aにより接続されている。このように、第1接触部21は、複数のプローブを有していてもよいし、1本だけのプローブを有していてもよい。 The movable block 15 is made of an industrial resin material like the measuring table 13. The first contact portion 21 of the movable block 15 includes a probe 21a and a multi-pin probe 21b, respectively. Both the probe 21a and the multi-pin probe 21b are conductors made of metal. The probe 21a and the probe 25a are connected to each other by a conductor 23a. As described above, the first contact portion 21 may have a plurality of probes or may have only one probe.

また、可動ブロック15の第2接触部25は、プローブ25aと多ピンプローブ25bとをそれぞれ備えている。プローブ25aおよび多ピンプローブ25bはどちらも金属製の導体である。また、多ピンプローブ21bと多ピンプローブ25bとは、互いに、導体23bにより接続されている。このように、第2接触部25は、複数のプローブを有していてもよいし、1本だけのプローブを有していてもよい。また、プローブ21a、25aは、例えば、信号線と接地線とを有する高周波プローブである。 The second contact portion 25 of the movable block 15 includes a probe 25a and a multi-pin probe 25b, respectively. Both the probe 25a and the multi-pin probe 25b are conductors made of metal. The multi-pin probe 21b and the multi-pin probe 25b are connected to each other by a conductor 23b. As described above, the second contact portion 25 may have a plurality of probes or may have only one probe. The probes 21a and 25a are, for example, high frequency probes having a signal line and a ground line.

第1接触部21と第2接触部25とを接続する導体23(23a、23b)は、可動ブロック15内に配置された金属線でもよいし、ケーブルでもよい。導体23の一端は第1接触部21を介して、導体23の他端は第2接触部25を介してそれぞれ可動ブロック15に固定されている。導体23としてのケーブルは硬くてもよいし、柔らかくてもよい。導体23の長さは短く、またそれぞれの両端が可動ブロック15に固定されているので、導体23に大きな揺れが発生しない構造になっている。 The conductor 23 (23a, 23b) that connects the first contact portion 21 and the second contact portion 25 may be a metal wire arranged in the movable block 15 or a cable. One end of the conductor 23 is fixed to the movable block 15 via the first contact portion 21, and the other end of the conductor 23 is fixed to the movable block 15 via the second contact portion 25. The cable as the conductor 23 may be hard or soft. Since the length of the conductor 23 is short and both ends of the conductor 23 are fixed to the movable block 15, the conductor 23 has a structure in which a large swing does not occur.

治具基板11には、第2接触部25と接触および分離可能な固定接触部27が取り付けられている。固定接触部27は、導体33を介して接続コネクタ31と接続されている。なお、固定接触部27は、例えば、コネクタでもよいし、治具基板11の表面に電極を形成したランドであってもよい。固定接触部27の上面の高さは測定対象物の高さと異なっていてもよい。また、固定接触部27と第2接触部25との接続方向は、上方向に限らず斜め方向や横方向であってもよい。接続コネクタ31は、治具基板11に固定されており、ケーブル29と接続されている。信号供給部7および測定器9と接続されるケーブル29は、接続コネクタ31および導体33を介して測定の際に不動の固定接触部27に接続されている。 A fixed contact portion 27 that can contact and separate from the second contact portion 25 is attached to the jig substrate 11. The fixed contact portion 27 is connected to the connection connector 31 via the conductor 33. The fixed contact portion 27 may be, for example, a connector or a land having electrodes formed on the surface of the jig substrate 11. The height of the upper surface of the fixed contact portion 27 may be different from the height of the measuring object. Further, the connection direction between the fixed contact portion 27 and the second contact portion 25 is not limited to the upward direction and may be an oblique direction or a lateral direction. The connector 31 is fixed to the jig substrate 11 and connected to the cable 29. The cable 29 connected to the signal supply unit 7 and the measuring instrument 9 is connected to the fixed contact unit 27 that does not move during measurement, via the connection connector 31 and the conductor 33.

固定接触部27は、高周波コネクタ27aと、多ピンコネクタ27bとを有する。高周波コネクタ27aはプローブ25aと接触および分離可能であり、多ピンコネクタ27bは多ピンプローブ25bと接触および分離可能である。固定接触部27は、例えば、信号線と接地線とを有する高周波コネクタである。 The fixed contact portion 27 has a high frequency connector 27a and a multi-pin connector 27b. The high frequency connector 27a can contact and separate from the probe 25a, and the multi-pin connector 27b can contact and separate from the multi-pin probe 25b. The fixed contact portion 27 is, for example, a high frequency connector having a signal line and a ground line.

接続コネクタ31は、ケーブル29を介して測定器9に接続される高周波接続コネクタ31aと、ケーブル29を介して信号供給部7に接続される多ピン接続コネクタ31bとを有する。高周波接続コネクタ31aは、測定器9と接続されるケーブル29と高周波コネクタ27aとを接続する中継機器である。また、多ピン接続コネクタ31bは、信号供給部7と接続されるケーブル29と多ピンコネクタ27bとを接続する中継機器である。 The connection connector 31 has a high-frequency connection connector 31 a connected to the measuring instrument 9 via the cable 29, and a multi-pin connection connector 31 b connected to the signal supply unit 7 via the cable 29. The high frequency connector 31a is a relay device that connects the cable 29 connected to the measuring instrument 9 and the high frequency connector 27a. The multi-pin connector 31b is a relay device that connects the cable 29 connected to the signal supply unit 7 and the multi-pin connector 27b.

図3は、測定装置1における可動ブロック15の動きを説明する概略図である。測定対象物3がワークポケット14内に載置される前は、可動ブロック15は測定台13の上方および側方に退避した退避位置に位置する。したがって、ワークポケット14の上方は開放されており視認可能な状態である。このように、可動ブロック15が測定対象物3から離隔した状態において、測定対象物3が測定台13のワークポケット14内に載置される。この後、搬送ユニット17により、可動ブロック15が上下方向(Z方向)および水平方向(X軸方向)に移動し、測定対象物3および治具基板11に接近するように搬送される。そして、測定位置において可動ブロック15の第1接触部21と測定対象物3のコネクタ19が電気的に接続され、可動ブロック15の第2接触部25と固定接触部27とが電気的に接続される。 FIG. 3 is a schematic diagram for explaining the movement of the movable block 15 in the measuring device 1. Before the measuring object 3 is placed in the work pocket 14, the movable block 15 is located at the retracted position retracted above and to the side of the measuring table 13. Therefore, the upper portion of the work pocket 14 is open and visible. In this way, the measurement object 3 is placed in the work pocket 14 of the measurement table 13 in a state where the movable block 15 is separated from the measurement object 3. After that, the movable block 15 is moved in the vertical direction (Z direction) and the horizontal direction (X axis direction) by the transport unit 17, and is transported so as to approach the measurement target 3 and the jig substrate 11. Then, at the measurement position, the first contact portion 21 of the movable block 15 and the connector 19 of the measurement object 3 are electrically connected, and the second contact portion 25 and the fixed contact portion 27 of the movable block 15 are electrically connected. It

図4は、測定対象物3の一例を示す図である。測定対象物3は、例えば、複数の電子部品から構成される通信回路を有するモジュールである。測定対象物3は、コネクタ19として高周波コネクタ19aと多ピンコネクタ19bとを備える。高周波コネクタ19aは測定器9と電気的に接続されている。多ピンコネクタ19bは、信号供給部7と電気的に接続されており、制御信号が多ピンコネクタ19bを介して測定対象物3に供給される。また、外部電源からの電力が多ピンコネクタ19bを介して測定対象物3の測定対象の通信回路へ供給される。測定対象物3の出力値は、高周波コネクタ19aから測定器9へ送られる。このようにして、測定対象物3に対して種々の測定が実施される。 FIG. 4 is a diagram showing an example of the measurement object 3. The measurement object 3 is, for example, a module having a communication circuit including a plurality of electronic components. The measuring object 3 includes a high-frequency connector 19a and a multi-pin connector 19b as the connector 19. The high frequency connector 19a is electrically connected to the measuring instrument 9. The multi-pin connector 19b is electrically connected to the signal supply unit 7, and a control signal is supplied to the measurement object 3 via the multi-pin connector 19b. In addition, the power from the external power supply is supplied to the communication circuit of the measurement target of the measurement target 3 through the multi-pin connector 19b. The output value of the measuring object 3 is sent from the high frequency connector 19a to the measuring instrument 9. In this way, various measurements are performed on the measuring object 3.

測定対象物3の測定が終了すると、可動ブロック15が搬送ユニット17により上方および水平方向横方向に離れ、退避位置に搬送される。これにより、可動ブロック15の第1接触部21と測定対象物3のコネクタ19との接続が外され、可動ブロック15の第2接触部25と固定接触部27との接続が外される。可動ブロック15が測定対象物3から離れることにより、測定対象物3が上方から視認可能な状態となる。その後、測定台13のワークポケット14から測定対象物3が取り出され、別の測定対象物3と交換される。 When the measurement of the measuring object 3 is completed, the movable block 15 is separated upward and horizontally in the horizontal direction by the conveying unit 17, and is conveyed to the retracted position. As a result, the first contact portion 21 of the movable block 15 and the connector 19 of the measuring object 3 are disconnected, and the second contact portion 25 of the movable block 15 and the fixed contact portion 27 are disconnected. When the movable block 15 moves away from the measurement target 3, the measurement target 3 becomes visible from above. After that, the measuring object 3 is taken out from the work pocket 14 of the measuring table 13 and is replaced with another measuring object 3.

実施形態1の測定装置1によれば、コネクタ19を備える測定対象物3が着脱可能に載置される測定台13と、一端21kがコネクタ19に接触して電気的に接続される第1接触部21と、第1接触部21に電気的に接続される第2接触部25と、を有する可動ブロック15と、可動ブロック15を測定位置と退避位置とに移動させる搬送ユニット17と、少なくとも可動ブロック15が測定位置にある際に、第2接触部25の一端25mと接続され、測定台13に固定された固定接触部27と、一端が固定接触部27と接続され、他端が外部機器である信号供給部7および測定器9と接続されるケーブル29と、を備え、可動ブロック15は、測定位置において、測定対象物3のコネクタ19と第1接触部21とが接続され、可動ブロック15は、退避位置において、測定対象物3のコネクタ19と第1接触部21とが外されている。これだけの構成により、信号供給部7および測定器9と接続されるケーブル29は、測定の際に動きの少ない固定接触部27に接続されている。すなわち、第1接触部21を有する可動ブロック15の動きに、信号供給部7と接続されるケーブル29や、測定器9と接続されるケーブル29が追随しない。したがって、可動ブロック15の移動時に、ケーブル29が揺れるのを低減し、ケーブル29に応力負荷がかからない。 According to the measuring device 1 of the first embodiment, the measurement table 13 on which the measurement object 3 including the connector 19 is detachably mounted, and the first contact where one end 21k contacts the connector 19 and is electrically connected thereto. A movable block 15 having a part 21 and a second contact part 25 electrically connected to the first contact part 21, a transport unit 17 for moving the movable block 15 to a measurement position and a retracted position, and at least a movable part When the block 15 is at the measurement position, it is connected to the one end 25m of the second contact part 25 and is fixed to the measuring stand 13, and one end is connected to the fixed contact part 27 and the other end is an external device. And the cable 29 connected to the measuring device 9 and the movable block 15 is connected to the connector 19 of the measurement object 3 and the first contact portion 21 at the measurement position, and the movable block 15 is connected to the movable block 15. In the retracted position 15, the connector 19 and the first contact portion 21 of the measuring object 3 are removed. With this configuration alone, the cable 29 connected to the signal supply unit 7 and the measuring instrument 9 is connected to the fixed contact unit 27, which does not move much during measurement. That is, the movement of the movable block 15 having the first contact portion 21 is not followed by the cable 29 connected to the signal supply portion 7 or the cable 29 connected to the measuring instrument 9. Therefore, when the movable block 15 is moved, the cable 29 is prevented from swaying, and no stress load is applied to the cable 29.

また、従来の測定装置では、可動する測定フィクスチャから測定値が出力されるケーブルに負荷がかかる。特に、上側フィクスチャが上下移動する際、上側フィクスチャからクランパ、クランパからPCに接続されるケーブルのコネクタ部分には、ケーブル荷重による揺れ応力がかかる。また、ケーブルにおいても、測定フィクスチャの上下移動に伴い伸びと曲がりを繰り返すことになるので、ケーブル内の導体線が疲労し、ケーブル破断になる場合がある。そこで、測定装置のケーブルとして、疲労破断に強く耐久性のあるケーブルを選定していた。実施形態1のケーブル29は固定されているので、通常のケーブルを使用することができ、ケーブルのコストダウンを図ることができる。また、曲げ等のケーブル負荷が緩和されるので、ケーブル29として、例えば、高周波同軸ケーブル、極太ケーブル、導波管等も用いることができる。 Further, in the conventional measuring device, a load is applied to the cable from which the measurement value is output from the movable measurement fixture. In particular, when the upper fixture moves up and down, a swaying stress due to the cable load is applied to the connector portion of the cable connected from the upper fixture to the clamper and from the clamper to the PC. Further, in the cable as well, since the extension and bending are repeated as the measurement fixture moves up and down, the conductor wire in the cable may be fatigued and the cable may be broken. Therefore, as the cable of the measuring device, a cable that is resistant to fatigue breakage and durable is selected. Since the cable 29 of the first embodiment is fixed, a normal cable can be used and the cost of the cable can be reduced. Further, since the cable load such as bending is alleviated, for example, a high frequency coaxial cable, a very thick cable, a waveguide or the like can be used as the cable 29.

また、ケーブル29の疲労破断限界評価をしなくてもよいので、測定装置1の開発スピードを速めることができる。また、従来の測定装置では、ケーブルの曲がり具合で信号特性が変わる事があったが、実施形態1の測定装置ではケーブル29が固定されているので信号特性劣化が大幅に低減される。 Further, since it is not necessary to evaluate the fatigue breakage limit of the cable 29, it is possible to accelerate the development speed of the measuring device 1. Further, in the conventional measuring apparatus, the signal characteristic may change depending on the bending degree of the cable, but in the measuring apparatus of the first embodiment, the cable 29 is fixed, so that the signal characteristic deterioration is significantly reduced.

また、従来の測定装置では、ケーブルは破損しやすいので、消耗品として品質管理対象品に選定され、ケーブル交換の管理をしなければならなかった。ケーブルの交換頻度は、接触プローブの約10倍の交換頻度となるので、メンテナンス作業、作業費用が発生していたが、この管理や費用を不要にすることができる。 Further, in the conventional measuring device, the cable is easily damaged, so that the cable has to be selected as a consumable item for quality control, and the cable exchange must be managed. Since the frequency of exchanging the cable is about 10 times as high as that of the contact probe, maintenance work and work cost were required, but this management and cost can be eliminated.

また、従来の測定装置では、ケーブル個体ごとに信号ロスなどの信号伝達性能が異なるので、ケーブルを交換する度にケーブルそれぞれの信号ロス性能確認や測定系の設定変更を行っていた。実施形態1の測定装置1ではケーブルの破損が著しく低減されるので、このような作業を大幅に減らすことができ、治具メンテナンス作業量を軽減することができる。 Further, in the conventional measuring device, since the signal transmission performance such as signal loss differs for each individual cable, the signal loss performance of each cable is checked and the setting of the measurement system is changed every time the cable is replaced. In the measuring apparatus 1 of the first embodiment, the damage of the cable is significantly reduced, so that such work can be significantly reduced and the jig maintenance work amount can be reduced.

また、信号供給部7が測定対象物3へ高周波信号の代わりに直流電流を供給する場合において、測定対象物3の測定される消費電流値が、例えば、μAオーダーである場合、ケーブルが揺れると出力値が変動する場合がある。したがって、実施形態1の測定装置1を用いれば、ケーブルの揺れを低減することができるので、低消費電流モジュールの測定にも有益である。 When the signal supply unit 7 supplies a direct current to the measurement target 3 instead of a high frequency signal, if the measured current consumption value of the measurement target 3 is, for example, in the order of μA, the cable shakes. The output value may fluctuate. Therefore, by using the measuring apparatus 1 of the first embodiment, it is possible to reduce the sway of the cable, which is also useful for the measurement of the low current consumption module.

なお、上述した実施形態1では、固定接触部27は治具基板11に取り付けられていたが、図5および図6に示すように、測定台13に直接取り付ける構成でもよい。図5は、実施形態1の変形例における測定装置の概略側面図であり、図6は、実施形態1の変形例における測定装置の測定治具の概略上面図である。 Although the fixed contact portion 27 is attached to the jig substrate 11 in the above-described first embodiment, the fixed contact portion 27 may be attached directly to the measurement table 13 as shown in FIGS. 5 and 6. FIG. 5 is a schematic side view of the measuring apparatus according to the modification of the first embodiment, and FIG. 6 is a schematic top view of the measuring jig of the measuring apparatus according to the modification of the first embodiment.

また、図5、6に示すように、導体33および接続コネクタ31を省略して、ケーブル29を固定接触部27に直接接続してもよい。この構成によれば、部品数を低減することができるので、コストダウンを図ることができる。 Further, as shown in FIGS. 5 and 6, the conductor 33 and the connector 31 may be omitted and the cable 29 may be directly connected to the fixed contact portion 27. According to this configuration, the number of parts can be reduced, so that the cost can be reduced.

(実施形態2)
次に、本発明の実施形態2の測定装置1Bについて図7および図8を参照して説明する。図7は、実施形態2における測定装置1Bの概略側面図である。図8は、測定対象物3Bの一例を示す図である。なお、以下に記載した事項以外の構成は、実施形態1の測定装置1と実施形態2の測定装置1Bと共通である。
(Embodiment 2)
Next, the measuring device 1B according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 7 and 8. FIG. 7 is a schematic side view of the measuring device 1B according to the second embodiment. FIG. 8 is a diagram showing an example of the measurement object 3B. The configurations other than those described below are common to the measuring apparatus 1 of the first embodiment and the measuring apparatus 1B of the second embodiment.

実施形態2における測定対象物3Bは、例えば、アンテナ回路45を有するアンテナモジュールである。また、実施形態2における固定接触部27の高周波コネクタ27aは、導体33a、高周波接続コネクタ31a、および、高周波信号の入出力を行うための同軸形状の高周波用のケーブル29を経由して外部の測定器9Bと電気的に接続されている。固定接触部27の多ピンコネクタ27bは、導体33b、多ピン接続コネクタ31b、および、ケーブル29を経由して、制御信号を送る制御部39および電力を供給する電源と電気的に接続されている。制御部39は、例えば、パーソナルコンピュータである。 The measurement object 3B in the second embodiment is, for example, an antenna module having an antenna circuit 45. Further, the high frequency connector 27a of the fixed contact portion 27 in the second embodiment is externally measured via the conductor 33a, the high frequency connection connector 31a, and the coaxial high frequency cable 29 for inputting and outputting a high frequency signal. It is electrically connected to the container 9B. The multi-pin connector 27b of the fixed contact portion 27 is electrically connected, via the conductor 33b, the multi-pin connection connector 31b, and the cable 29, to the control unit 39 that sends a control signal and the power supply that supplies electric power. .. The control unit 39 is, for example, a personal computer.

実施形態2における測定装置1Bは、信号供給部7からケーブル29および可動ブロック15を経由して測定対象物3Bの高周波コネクタ19aに高周波信号を供給する。また、測定装置1Bは、制御部39および電源からケーブル29および可動ブロック15を経由して、測定対象物3Bの多ピンコネクタ19bに、測定対象のアンテナ回路45を特定する制御信号および電力を供給する。この制御信号によって、測定対象物3のモジュールが起動され、測定モードに切り替えられ、無線信号が放射されるアンテナ回路45が選択される。 The measuring apparatus 1B according to the second embodiment supplies a high frequency signal from the signal supply unit 7 to the high frequency connector 19a of the measuring object 3B via the cable 29 and the movable block 15. In addition, the measuring apparatus 1B supplies a control signal and power for specifying the antenna circuit 45 of the measurement object to the multi-pin connector 19b of the measurement object 3B from the control unit 39 and the power supply via the cable 29 and the movable block 15. To do. The control signal activates the module of the measurement object 3, switches to the measurement mode, and selects the antenna circuit 45 that radiates a radio signal.

測定装置1Bは、それぞれのアンテナ回路45と無線信号を送受信するアンテナ43を備える。アンテナ43は、測定器9Bと接続されている。測定器9Bは、アンテナ43によりそれぞれのアンテナ回路45からの受信した無線信号を測定する。また逆に、信号供給部7が、アンテナ43へ高周波信号を供給し、アンテナ43から測定対象物3Bへ無線信号が送信される。測定対象物3Bのそれぞれのアンテナ回路45は、多ピンコネクタ19bから受信する制御信号にしたがって、選択されたアンテナ回路45が受信した無線信号を高周波コネクタ19aから出力し、測定器9Bにより測定される。 The measuring apparatus 1B includes an antenna 43 that transmits and receives radio signals to and from each antenna circuit 45. The antenna 43 is connected to the measuring device 9B. The measuring instrument 9B measures the radio signal received from each antenna circuit 45 by the antenna 43. On the contrary, the signal supply unit 7 supplies the high frequency signal to the antenna 43, and the radio signal is transmitted from the antenna 43 to the measurement object 3B. Each antenna circuit 45 of the measuring object 3B outputs the radio signal received by the selected antenna circuit 45 from the high frequency connector 19a according to the control signal received from the multi-pin connector 19b, and is measured by the measuring instrument 9B. ..

このように、実施形態2の測定装置1Bによれば、高周波信号が送られるケーブル29の揺れが低減されているので、測定対象物3としてのアンテナモジュールの送受信特性や減衰特性を高精度で測定することができる。 As described above, according to the measuring apparatus 1B of the second embodiment, the sway of the cable 29 to which the high frequency signal is sent is reduced, so that the transmission/reception characteristics and the attenuation characteristics of the antenna module as the measurement object 3 are measured with high accuracy. can do.

(実施形態3)
次に、本発明の実施形態3の測定装置について図9を参照して説明する。図9は、実施形態2における測定装置1Cの側面図である。なお、以下に記載した事項以外の構成は、実施形態1の測定装置1と実施形態2の測定装置1Cと共通である。
(Embodiment 3)
Next, a measuring device according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 9 is a side view of the measuring apparatus 1C according to the second embodiment. The configuration other than the matters described below is common to the measuring apparatus 1 of the first embodiment and the measuring apparatus 1C of the second embodiment.

実施形態3の測定装置1Cは、実施形態1の測定装置1のよりも、ズレ量に対する許容度の大きいプローブ用の固定接触部27Cを用いる。また、第2接触部25のプローブ25aの先端部はテーパ状になっている。実施形態3の測定装置1Cによれば、測定対象物3と治具基板11とが分離されているので、治具基板11に取り付けられた固定接触部27Cに接続するプローブ25aは特殊な小さなコネクタ用ではなく、汎用のコネクタ用を用いることができるので、安価となる。 The measuring device 1C of the third embodiment uses the fixed contact portion 27C for the probe, which has a larger tolerance for the amount of deviation than the measuring device 1 of the first embodiment. The tip of the probe 25a of the second contact portion 25 is tapered. According to the measuring apparatus 1C of the third embodiment, since the measurement object 3 and the jig substrate 11 are separated, the probe 25a connected to the fixed contact portion 27C attached to the jig substrate 11 has a special small connector. Since it is possible to use a general-purpose connector instead of a general-purpose connector, it becomes inexpensive.

一般的に複数のコネクタへの嵌合は位置ズレの問題から、治具設計の困難性が向上するが、プローブの一方をズレ許容度の大きいプローブ・コネクタを用いることで、治具設計の難度が上がるのを抑制することができる。また、第2接触部25として小さいコネクタ用のプローブを用いる必要がないので、固定接触部27Cとのコンタクト面積が大きく、電気的ロスの小さい、プローブまたは接触端子を用いることができ、測定特性が向上する。 Generally, fitting to multiple connectors makes the jig design more difficult due to the problem of misalignment, but using one of the probes with a connector that has a large tolerance for misalignment makes the jig design more difficult. Can be suppressed. Further, since it is not necessary to use a probe for a small connector as the second contact portion 25, it is possible to use a probe or a contact terminal that has a large contact area with the fixed contact portion 27C and a small electrical loss, and the measurement characteristics are improves.

(実施形態4)
次に、本発明の実施形態4の測定装置1Dについて図10を参照して説明する。図10は、実施形態4における測定装置1Dの概略側面図である。なお、以下に記載した事項以外の構成は、実施形態1の測定装置1と実施形態4の測定装置1Dと共通である。
(Embodiment 4)
Next, a measuring device 1D of Embodiment 4 of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 10 is a schematic side view of the measuring device 1D according to the fourth embodiment. The configuration other than the matters described below is common to the measuring apparatus 1 of the first embodiment and the measuring apparatus 1D of the fourth embodiment.

実施形態4の測定装置1Dは、固定接触部27Dがプローブ25aおよび多ピンプローブ25bであり、可動ブロック15の第2接触部25がコネクタ26である構成である。プローブ25aおよび多ピンプローブ25bとコネクタ26とは、接触および分離可能である。プローブ25aおよび多ピンプローブ25bが測定台13または治具基板11に固定され、可動する可動ブロック15から外されているので、プローブ25aおよび多ピンプローブ25bに接続されるケーブルのテンションを気にする必要がない。可動ブロック15の小型化と軽量化が図れる。これにより、可動ブロック15の設計をさらに簡素化することができる。 The measuring device 1D of the fourth embodiment is configured such that the fixed contact portion 27D is the probe 25a and the multi-pin probe 25b, and the second contact portion 25 of the movable block 15 is the connector 26. The probe 25a and the multi-pin probe 25b and the connector 26 can be contacted and separated. Since the probe 25a and the multi-pin probe 25b are fixed to the measurement table 13 or the jig substrate 11 and removed from the movable block 15 that moves, care is taken about the tension of the cables connected to the probe 25a and the multi-pin probe 25b. No need. It is possible to reduce the size and weight of the movable block 15. Thereby, the design of the movable block 15 can be further simplified.

(実施形態5)
次に、本発明の実施形態5の測定装置1Eについて図11を参照して説明する。図11は、実施形態5における実施形態5における測定装置の概略側面図である。なお、以下に記載した事項以外の構成は、実施形態1の測定装置1と実施形態5の測定装置1Eと共通である。
(Embodiment 5)
Next, a measuring device 1E according to the fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 11 is a schematic side view of the measuring apparatus according to the fifth embodiment. The configurations other than those described below are common to the measuring apparatus 1 of the first embodiment and the measuring apparatus 1E of the fifth embodiment.

実施形態5における測定治具5Eは、移動機構として、可動ブロック15を回転方向に接近および離隔するロータリジョイント61を備える。可動ブロック15は、ロータリジョイント61の回転軸を中心に回転する。この回転により、可動ブロック15は測定位置と退避位置とを移動し、可動ブロック15の第1接触部21と測定対象物3のコネクタ19との接触および分離をすることができる。 The measuring jig 5E in the fifth embodiment includes a rotary joint 61 that moves the movable block 15 toward and away from the movable block 15 as a moving mechanism. The movable block 15 rotates around the rotary shaft of the rotary joint 61. By this rotation, the movable block 15 moves between the measurement position and the retracted position, and the first contact portion 21 of the movable block 15 and the connector 19 of the measurement object 3 can be brought into contact with and separated from each other.

実施形態5の測定装置1Eによれば、可動ブロック15が上下方向(Z方向)と水平方向(X方向)の2軸で動かなくてよいので、精度よく第1接触部21を測定対象物3のコネクタ19に接続することできる。これにより、測定誤差を低減することができる。また、可動ブロック15の移動が回転方向の1軸移動となるので、可動ブロック15の移動時間を短くすることができる。これにより、測定時の待ち時間(非測定時間)を短くすることができ、測定の効率化を図ることができる。 According to the measuring apparatus 1E of the fifth embodiment, since the movable block 15 does not have to move in two axes of the vertical direction (Z direction) and the horizontal direction (X direction), the first contact portion 21 can be accurately moved to the measurement target 3 Can be connected to the connector 19. Thereby, the measurement error can be reduced. Moreover, since the movement of the movable block 15 is a uniaxial movement in the rotation direction, the movement time of the movable block 15 can be shortened. As a result, the waiting time (non-measurement time) at the time of measurement can be shortened, and the efficiency of measurement can be improved.

(実施形態6)
次に、本発明の実施形態6の測定装置1Fについて図12を参照して説明する。図12は、実施形態6における測定装置の概略側面図である。なお、以下に記載した事項以外の構成は、実施形態1の測定装置1と実施形態6の測定装置1Fと共通である。
(Embodiment 6)
Next, a measuring device 1F according to a sixth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 12 is a schematic side view of the measuring device according to the sixth embodiment. The configurations other than those described below are common to the measuring apparatus 1 of the first embodiment and the measuring apparatus 1F of the sixth embodiment.

実施形態6における測定治具5Fは、移動機構として、可動ブロック15Fを上下方向(Z方向)に昇降するスライダジョイント65を備える。すなわち、第2接触部25の代わりにスライダジョイント65を介して、可動ブロック15Fの導体23Fとケーブル29とが常に電気的に接続されている。可動ブロック15Fは、上下方向の移動により、測定位置と退避位置とを移動し、可動ブロック15Fの第1接触部21と測定対象物3のコネクタ19との接触および分離をすることができる。 The measurement jig 5F according to the sixth embodiment includes a slider joint 65 that moves up and down the movable block 15F in the vertical direction (Z direction) as a moving mechanism. That is, the conductor 23F of the movable block 15F and the cable 29 are always electrically connected via the slider joint 65 instead of the second contact portion 25. The movable block 15F moves between the measurement position and the retracted position by moving in the vertical direction, so that the first contact portion 21 of the movable block 15F and the connector 19 of the measurement target 3 can be brought into contact with each other and separated from each other.

実施形態6の測定装置1Fによれば、可動ブロック15Fが上下方向と水平方向の2軸で動かなくてよいので、精度よく第1接触部21を測定対象物3のコネクタ19に接続することできる。これにより、測定誤差を低減することができる。また、可動ブロック15Fの移動が上下方向の1軸移動となるので、可動ブロック15Fの移動時間を短くすることができる。これにより、測定時の待ち時間(非測定時間)を短くすることができ、測定の効率化を図ることができる。 According to the measuring apparatus 1F of the sixth embodiment, since the movable block 15F does not have to move in the two axes of the vertical direction and the horizontal direction, the first contact portion 21 can be accurately connected to the connector 19 of the measurement object 3. .. Thereby, the measurement error can be reduced. Moreover, since the movement of the movable block 15F is a vertical uniaxial movement, the movement time of the movable block 15F can be shortened. Thereby, the waiting time (non-measurement time) at the time of measurement can be shortened, and the efficiency of measurement can be improved.

(実施形態7)
次に、本発明の実施形態7の測定装置1Gについて図13を参照して説明する。図13は、実施形態7における測定装置の概略側面図である。なお、以下に記載した事項以外の構成は、実施形態1の測定装置1と実施形態7の測定装置1Gと共通である。
(Embodiment 7)
Next, a measuring device 1G according to a seventh embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 13 is a schematic side view of the measuring device according to the seventh embodiment. The configurations other than those described below are common to the measuring apparatus 1 of the first embodiment and the measuring apparatus 1G of the seventh embodiment.

実施形態7の測定治具5Gは、可動ブロック15Gを斜め方向にスライド可能に支持する支持部71を備える。支持部71は、斜め方向に延びるガイド溝71aを有する。ガイド溝71aは、上端から測定対象物3の方へ接近するように斜め下方に延び、下部において、下方に延びている。 The measurement jig 5G of the seventh embodiment includes a support portion 71 that slidably supports the movable block 15G. The support portion 71 has a guide groove 71a extending in an oblique direction. The guide groove 71a extends obliquely downward so as to approach the measurement target 3 from the upper end, and extends downward at the lower part.

可動ブロック15Gは、実施形態1の可動ブロック15の構成に加えて、支持部71のガイド溝71aに嵌合されるガイドピン73を有する。可動ブロック15Gのガイドピン73が、支持部71に設けられたガイド溝71aに沿って、斜めにスライドして降下する。ガイドピン73およびガイド溝71aを有する支持部71により移動機構としてのスライダを構成している。可動ブロック15Gは、斜め方向の移動により、測定位置と退避位置とを移動し、可動ブロック15Gの第1接触部21と測定対象物3のコネクタ19との接触および分離をすることができる。 The movable block 15G has a guide pin 73 fitted into the guide groove 71a of the support portion 71 in addition to the configuration of the movable block 15 of the first embodiment. The guide pin 73 of the movable block 15G slides obliquely along the guide groove 71a provided in the support portion 71 and descends. The support portion 71 having the guide pin 73 and the guide groove 71a constitutes a slider as a moving mechanism. The movable block 15G moves between the measurement position and the retracted position by moving in an oblique direction, so that the first contact portion 21 of the movable block 15G and the connector 19 of the measurement object 3 can be brought into contact with and separated from each other.

実施形態7の測定装置1Gによれば、可動ブロック15Gが上下方向と水平方向の2軸で動かなくてよいので、精度よく第1接触部21を測定対象物3のコネクタ19に接続することできる。これにより、測定誤差を低減することができる。また、可動ブロック15Gの移動がスライド溝に沿った方向の1軸移動となるので、可動ブロック15Gの移動時間を短くすることができる。これにより、測定時の待ち時間(非測定時間)を短くすることができ、測定の効率化を図ることができる。 According to the measuring apparatus 1G of the seventh embodiment, since the movable block 15G does not have to move in the two axes of the vertical direction and the horizontal direction, the first contact portion 21 can be accurately connected to the connector 19 of the measurement target object 3. .. Thereby, the measurement error can be reduced. Further, since the movement of the movable block 15G is a uniaxial movement in the direction along the slide groove, the movement time of the movable block 15G can be shortened. As a result, the waiting time (non-measurement time) at the time of measurement can be shortened, and the efficiency of measurement can be improved.

本発明は、上記実施形態のものに限らず、次のように変形実施することができる。 The present invention is not limited to the above embodiment, but can be modified as follows.

(1)上記各実施形態において、可動ブロック15は移動機構により移動されていたが、移動機構は駆動動力源を有するものであってもよいし、作業者が手動で可動ブロック15を動かす移動機構でもよい。 (1) In each of the above-described embodiments, the movable block 15 is moved by the moving mechanism, but the moving mechanism may have a driving power source, or a moving mechanism in which an operator manually moves the movable block 15. But it's okay.

(2)上記各実施形態において、第1接触部21および第2接触部25としてプローブを用いていたがこれに限られない。第1接触部21および第2接触部25として、例えば、テストパッドやピンプローブを用いてもよい。 (2) In each of the above embodiments, the probe is used as the first contact portion 21 and the second contact portion 25, but the present invention is not limited to this. As the first contact portion 21 and the second contact portion 25, for example, a test pad or a pin probe may be used.

本発明は、ケーブルを備える測定装置に適用可能である。 INDUSTRIAL APPLICATION This invention is applicable to the measuring device provided with a cable.

1−1E 測定装置
3、3B 測定対象物
5−5F 測定治具
7 信号供給部
9 測定器
11 治具基板
13 測定台
14 ワークポケット
15、15F、15G 可動ブロック
17 搬送ユニット
19 コネクタ
19a 高周波コネクタ
19b 多ピンコネクタ
21 第1接触部
21a プローブ
21b 多ピンプローブ
21k 一端
21m 他端
23 導体
23k 一端
23m 他端
25 第2接触部
25a プローブ
25b 多ピンプローブ
25m 一端
25k 他端
26 コネクタ
27、27C 固定接触部
27a 高周波コネクタ
27b 多ピンコネクタ
29 ケーブル
31 接続コネクタ
31a 高周波接続コネクタ
31b 多ピン接続コネクタ
33 導体
33a 導体
33b 導体
39 制御部
41 アンテナ回路
43 アンテナ
1-1E Measuring device 3, 3B Measuring object 5-5F Measuring jig 7 Signal supply unit 9 Measuring instrument 11 Jig board 13 Measuring stand 14 Work pocket 15, 15F, 15G Movable block 17 Transport unit 19 Connector 19a High frequency connector 19b Multi-pin connector 21 First contact part 21a Probe 21b Multi-pin probe 21k One end 21m Other end 23 Conductor 23k One end 23m Other end 25 Second contact part 25a Probe 25b Multi-pin probe 25m One end 25k Other end 26 Connector 27, 27C Fixed contact part 27a High-frequency connector 27b Multi-pin connector 29 Cable 31 Connection connector 31a High-frequency connection connector 31b Multi-pin connection connector 33 Conductor 33a Conductor 33b Conductor 39 Control unit 41 Antenna circuit 43 Antenna

Claims (12)

コネクタを備える測定対象物が着脱可能に載置される測定台と、
一端が前記コネクタに接触して電気的に接続される第1接触部と、前記第1接触部に電気的に接続される第2接触部と、を有する可動ブロックと、
前記可動ブロックを測定位置と退避位置とに移動させる移動機構と、
少なくとも前記可動ブロックが測定位置にある際に、前記第2接触部の一端と接続され、前記測定台に固定された固定接触部と、
一端が前記固定接触部と接続され、他端が外部機器と接続されるケーブルと、を備え、
前記可動ブロックは、前記測定位置において、前記測定対象物のコネクタと前記第1接触部とが接続され、
前記可動ブロックは、前記退避位置において、前記測定対象物のコネクタと前記第1接触部とが外されている、
測定装置。
A measuring table on which a measuring object having a connector is detachably mounted,
A movable block having a first contact portion whose one end is in contact with and electrically connected to the connector, and a second contact portion which is electrically connected to the first contact portion;
A moving mechanism for moving the movable block to a measurement position and a retracted position,
A fixed contact portion that is connected to one end of the second contact portion and is fixed to the measurement table when at least the movable block is at the measurement position;
A cable having one end connected to the fixed contact portion and the other end connected to an external device,
In the movable block, at the measurement position, the connector of the measurement object and the first contact portion are connected,
In the retracted position of the movable block, the connector of the measurement object and the first contact portion are removed.
measuring device.
前記固定接触部は、前記第2接触部の一端と接触および分離可能である、
請求項1に記載の測定装置。
The fixed contact portion is capable of contacting and separating from one end of the second contact portion,
The measuring device according to claim 1.
前記固定接触部を支持する治具基板を備え、
前記治具基板は前記測定台に固定される、
請求項2に記載の測定装置。
A jig substrate for supporting the fixed contact portion,
The jig substrate is fixed to the measuring table,
The measuring device according to claim 2.
前記第1接触部および前記第2接触部は、それぞれ、プローブであり、
前記固定接触部は、コネクタである、
請求項1から3のいずれか1つに記載の測定装置。
Each of the first contact portion and the second contact portion is a probe,
The fixed contact portion is a connector,
The measuring device according to any one of claims 1 to 3.
前記第1接触部および前記固定接触部は、それぞれ、プローブであり、
前記第2接触部は、コネクタである、
請求項1から3のいずれか1つに記載の測定装置。
Each of the first contact portion and the fixed contact portion is a probe,
The second contact portion is a connector,
The measuring device according to any one of claims 1 to 3.
前記プローブは高周波プローブであり、
前記コネクタは高周波コネクタである、
請求項4または5に記載の測定装置。
The probe is a high frequency probe,
The connector is a high frequency connector,
The measuring device according to claim 4 or 5.
前記第1接触部の他端と前記第2接触部の他端とを接続し、前記可動ブロックに固定される導体を有する、請求項1から6のいずれか1つに記載の測定装置。 The measuring device according to claim 1, further comprising a conductor that connects the other end of the first contact portion and the other end of the second contact portion and is fixed to the movable block. 前記移動機構は、前記測定対象物に対して、前記可動ブロックを上下方向および水平方向に接近および離隔する搬送ユニットを備える、
請求項1から7のいずれか1つに記載の測定装置。
The moving mechanism includes a transport unit that moves the movable block toward and away from the object to be measured in the vertical and horizontal directions.
The measuring device according to any one of claims 1 to 7.
前記移動機構は、前記測定対象物に対して、前記可動ブロックを上下方向に接近および離隔するスライダを備える、
請求項1から7のいずれか1つに記載の測定装置。
The moving mechanism includes a slider that vertically moves the movable block toward and away from the measurement target.
The measuring device according to any one of claims 1 to 7.
前記移動機構は、前記測定対象物に対して、前記可動ブロックを回転方向に接近および離隔するロータリジョイントを備える、
請求項1から7のいずれか1つに記載の測定装置。
The moving mechanism includes a rotary joint that moves the movable block toward and away from the object to be measured in a rotational direction.
The measuring device according to any one of claims 1 to 7.
前記移動機構は、前記測定対象物に対して、前記可動ブロックを斜め方向に接近および離隔するスライダを備える、
請求項1から7のいずれか1つに記載の測定装置。
The moving mechanism includes a slider that diagonally approaches and separates the movable block with respect to the measurement object.
The measuring device according to any one of claims 1 to 7.
前記測定対象物は、高周波回路モジュールである、
請求項1から11のいずれか1つに記載の測定装置。
The measurement object is a high frequency circuit module,
The measuring device according to any one of claims 1 to 11.
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