JP2020115155A - Measurement device - Google Patents

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昌史 小林
Masashi Kobayashi
昌史 小林
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Abstract

To make a contact condition between a contact piece and a measurement object better in a measurement device.SOLUTION: A measurement device 100 comprises: a first contact piece 1 and a second contact piece 2 each brought into contact with a measurement object T; a main body 10 provided with the first contact piece 1 and the second contact piece 2; and a transmission substrate 60 provided with a high-frequency transmission track to which the first contact piece 1 and the second contact piece 2 are electrically connected. The transmission substrate 60 includes a first adhesion part 65 and a second adhesion part 66 to which the first contact piece 1 and the second contact piece 2 are respectively attached, and a slit 60a formed so as to separate the first adhesion part 65 and the second adhesion part 66. The first adhesion part 65 and the second adhesion part 66 are configured to be movable independently by the slit 60a.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、測定装置に関するものである。 The present invention relates to a measuring device.

特許文献１には、測定対象である複数の集積回路が形成されたウェハを載置する昇降可能なステージと、集積回路の高周波特性を測定する高周波プローブ装置と、を有する高周波特性測定装置が開示されている。この高周波プローブ装置は、カンチレバーと、カンチレバーの先端部からカンチレバーと略同一方向に伸びている、略同一平面上に並列に所定の間隔をあけて配置されている、シグナル針、グラウンド針と、から構成されるコプレーナ型のプローブを有する。 Patent Document 1 discloses a high-frequency characteristic measuring apparatus having a stage capable of moving up and down on which a wafer having a plurality of integrated circuits to be measured is mounted, and a high-frequency probe device for measuring high-frequency characteristics of the integrated circuits. Has been done. This high-frequency probe device includes a cantilever, a signal needle and a ground needle that extend in the same direction as the cantilever from the tip of the cantilever and are arranged in parallel on a substantially same plane at a predetermined interval. It has a coplanar probe constructed.

特開２００５−２２３１７０号公報JP, 2005-223170, A

高周波特性の測定においては、測定対象の表面に高低差（凹凸）が存在することがある。測定対象に高低差があると、プローブ（接触子）は、高さが高い部位には接触するものの、高さが低い部位とは十分に接触しないおそれがある。 In the measurement of high frequency characteristics, there may be a difference in height (unevenness) on the surface of the measurement target. If there is a difference in height between the objects to be measured, the probe (contactor) may contact a high-height portion, but may not sufficiently contact a low-height portion.

特許文献１に記載の測定装置では、シグナル針とグラウンド針がそれぞれカンチレバーに取り付けられている。このため、測定対象に凹凸があっても、針の撓み分しか高低差を許容できず、測定対象との良好な接触状態を得ることが難しい。 In the measuring device described in Patent Document 1, the signal needle and the ground needle are attached to the cantilevers, respectively. For this reason, even if the object to be measured has irregularities, the height difference can be allowed only by the amount of bending of the needle, and it is difficult to obtain a good contact state with the object to be measured.

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、測定装置において、測定対象との良好な接触状態を得ることを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to obtain a good contact state with a measurement target in a measuring device.

本発明のある態様によれば、それぞれ測定対象に接触する複数の接触子と、複数の接触子が設けられる本体部と、複数の接触子が電気的に接続される高周波伝送線路が設けられ、柔軟性を有する伝送基板と、を備え、伝送基板は、複数の接触子がそれぞれ取り付けられる複数の取付部と、複数の取付部を互いに隔てるように形成されるスリットと、を有し、複数の取付部は、スリットによって独立して移動可能に構成される。 According to an aspect of the present invention, a plurality of contactors respectively contacting the measurement target, a main body portion provided with a plurality of contactors, a high-frequency transmission line electrically connected to the plurality of contactors is provided, A transmission substrate having flexibility, the transmission substrate having a plurality of mounting portions to which a plurality of contacts are respectively mounted, and a slit formed so as to separate the plurality of mounting portions from each other. The mounting portion is configured to be independently movable by the slit.

この態様によれば、複数の接触子は、スリットによって互いに独立して移動可能に構成される伝送基板の複数の取付部にそれぞれ取り付けられる。これにより、複数の接触子は、互いに独立して移動することができる。スリットによって隔てられた複数の取付部が移動することにより、複数の接触子が互いに独立して移動するため、複数の接触子の移動量を大きく確保することができる。したがって、測定対象において高低差が生じる場合であっても、複数の接触子を測定対象に均一に接触させて、接触状態を良好にすることができる。 According to this aspect, the plurality of contacts are attached to the plurality of attachment portions of the transmission board that are configured to be movable independently of each other by the slits. Thereby, the plurality of contacts can move independently of each other. By moving the plurality of mounting portions separated by the slits, the plurality of contacts move independently of each other, so that a large amount of movement of the plurality of contacts can be secured. Therefore, even when the height difference occurs in the measurement target, it is possible to bring the plurality of contacts into uniform contact with the measurement target and improve the contact state.

本発明の実施形態に係る測定装置を示す斜視図である。It is a perspective view showing a measuring device concerning an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係る測定装置を示す正面図である。It is a front view showing a measuring device concerning an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係る測定装置の第一本体部を示す側面図である。It is a side view which shows the 1st main-body part of the measuring device which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る測定装置の第一接触子を示す斜視図である。It is a perspective view showing the 1st contact child of the measuring device concerning the embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係る測定装置の伝送基板を示す平面図である。It is a top view which shows the transmission substrate of the measuring device which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る測定装置の伝送基板を示す底面図である。It is a bottom view showing a transmission substrate of a measuring device concerning an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態の変形例に係る接触子を示す平面図である。It is a top view showing a contact child concerning a modification of an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態の変形例に係る測定装置を示す斜視図である。It is a perspective view showing a measuring device concerning a modification of an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態の変形例に係る伝送基板を示す平面図である。It is a top view which shows the transmission board which concerns on the modification of embodiment of this invention.

以下、図面を参照して、本発明の実施形態に係る測定装置１００について説明する。 Hereinafter, a measurement device 100 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

測定装置１００は、例えば回路基板を電気的に検査する検査装置（図示省略）に用いられる。測定装置１００は、回路基板に含まれる測定対象Ｔ（図２参照）として、配線パターンがプリントされた半導体ウェハや電子回路基板、半導体ウェハや電子回路基板が実装された電子回路実装基板などにおいて発生する電磁波の高周波特性を測定する。 The measuring device 100 is used, for example, in an inspection device (not shown) that electrically inspects a circuit board. The measuring apparatus 100 is generated in a semiconductor wafer or an electronic circuit board on which a wiring pattern is printed, an electronic circuit mounting board on which the semiconductor wafer or the electronic circuit board is mounted, etc. as a measurement target T (see FIG. 2) included in the circuit board. Measure the high frequency characteristics of electromagnetic waves.

図１及び図２に示すように、測定装置１００は、それぞれ測定対象Ｔに押し付けられる複数の接触子としての第一接触子１及び第二接触子２と、第一接触子１及び第二接触子２が取り付けられる本体部１０と、第一接触子１及び第二接触子２が電気的に接続される高周波伝送線路が設けられる伝送基板６０と、を備える。 As shown in FIGS. 1 and 2, the measuring apparatus 100 includes a first contactor 1 and a second contactor 2 as a plurality of contactors that are respectively pressed against a measurement target T, a first contactor 1 and a second contactor. The main body 10 to which the child 2 is attached, and the transmission board 60 provided with a high-frequency transmission line to which the first contact 1 and the second contact 2 are electrically connected are provided.

第一接触子１及び第二接触子２は、測定対象Ｔに押し付けられて測定対象Ｔから高周波信号が入力される電極である。第一接触子１及び第二接触子２は、測定対象Ｔの接触面Ｔｓ（図３参照）に垂直な方向から測定対象Ｔに押し付けられる。第一接触子１及び第二接触子２は、焼結によって形成される焼結金属、より具体的には、工具鋼により形成される。 The first contactor 1 and the second contactor 2 are electrodes that are pressed against the measurement target T and a high-frequency signal is input from the measurement target T. The first contact 1 and the second contact 2 are pressed against the measurement target T from a direction perpendicular to the contact surface Ts (see FIG. 3) of the measurement target T. The first contactor 1 and the second contactor 2 are made of sintered metal formed by sintering, more specifically, tool steel.

第一接触子１と第二接触子２は、図２及び図３に示すように、所定の間隔をあけて互いに平行に延び、測定対象Ｔの接触面Ｔｓに対して傾斜するように本体部１０に取り付けられる。第一接触子１及び第二接触子２は、矩形断面を有するピンであり、その先端部が先細りの形状に形成されて測定対象Ｔに接触する。第一接触子１及び第二接触子２の基端部は、伝送基板６０に接着される。第一接触子１と第二接触子２とは、同一形状である。よって、以下では、第一接触子１を例に具体的構造について説明し、第二接触子２の構造の詳細な説明は、適宜省略する。図４中の括弧内の符号は、第一接触子１の各構成に対応する第二接触子２の構成を示すものである。 As shown in FIGS. 2 and 3, the first contactor 1 and the second contactor 2 extend in parallel with each other at a predetermined interval and are inclined with respect to the contact surface Ts of the measuring object T. It is attached to 10. Each of the first contactor 1 and the second contactor 2 is a pin having a rectangular cross section, and its tip portion is formed in a tapered shape and contacts the measurement target T. The base ends of the first contactor 1 and the second contactor 2 are bonded to the transmission board 60. The first contactor 1 and the second contactor 2 have the same shape. Therefore, hereinafter, a specific structure will be described by taking the first contactor 1 as an example, and detailed description of the structure of the second contactor 2 will be appropriately omitted. Reference numerals in parentheses in FIG. 4 indicate the configuration of the second contactor 2 corresponding to each configuration of the first contactor 1.

第一接触子１の先端部は、図４に示すように、測定対象Ｔに接触する先端Ｐから基端側に向けて離れるにつれて、幅Ｗ及び厚さＴｈが増加する。ここで、「幅」とは、図２中左右方向であって第一接触子１と第二接触子２とが隣接する方向（隣接方向）の長さである。また、「厚さ」とは、第一接触子１及び第二接触子２が延びる方向（延在方向）と隣接方向とに垂直な方向の長さである。 As shown in FIG. 4, the distal end portion of the first contactor 1 has a width W and a thickness Th that increase as the distance from the distal end P that contacts the measurement target T increases toward the proximal end side. Here, the “width” is the length in the left-right direction in FIG. 2 and in the direction (adjacent direction) in which the first contactor 1 and the second contactor 2 are adjacent to each other. Further, the "thickness" is a length in a direction perpendicular to the direction in which the first contactor 1 and the second contactor 2 extend (extending direction) and the adjacent direction.

以下では、第一接触子１において、伝送基板６０に接着される面を「下面１ａ」、下面１ａに平行な面を「上面１ｂ」、下面１ａ及び上面１ｂに垂直であって互いに平行な面をそれぞれ「側面１ｃ」、「側面１ｄ」と称する。側面１ｃは、第二接触子２に対向する対向面である。 In the following, in the first contactor 1, the surface bonded to the transmission substrate 60 is the “lower surface 1a”, the surface parallel to the lower surface 1a is the “upper surface 1b”, and the surfaces perpendicular to the lower surface 1a and the upper surface 1b and parallel to each other. Are referred to as "side surface 1c" and "side surface 1d", respectively. The side surface 1c is a facing surface that faces the second contactor 2.

第一接触子１の先端Ｐは、図２及び図４に示すように、第一接触子１の隣接方向の中央に位置するように設けられる。第一接触子１は、先端Ｐから離れるにつれて、幅Ｗが増加すると共に、下面１ａに向けて厚さＴｈが増加する。第一接触子１の先端部には、下面１ａに接続され測定対象Ｔの接触面Ｔｓに対して傾斜する第一テーパ面１ｅと、それぞれ側面１ｃ及び１ｄに対して傾斜して接続されると共に第一テーパ面１ｅに接続される第二テーパ面１ｆ及び第三テーパ面１ｇと、が形成される。先端Ｐは、上面１ｂ、第一テーパ面１ｅ、第二テーパ面１ｆ、及び第三テーパ面１ｇにより形成される。 As shown in FIGS. 2 and 4, the tip P of the first contactor 1 is provided so as to be located at the center of the first contactor 1 in the adjacent direction. The width W of the first contactor 1 increases as the distance from the tip P increases, and the thickness Th increases toward the lower surface 1a. A first taper surface 1e connected to the lower surface 1a and inclined with respect to the contact surface Ts of the object T to be measured is connected to the tip of the first contactor 1, and inclined with respect to the side surfaces 1c and 1d, respectively. A second tapered surface 1f and a third tapered surface 1g connected to the first tapered surface 1e are formed. The tip P is formed by the upper surface 1b, the first tapered surface 1e, the second tapered surface 1f, and the third tapered surface 1g.

第二接触子２の先端部には、第一接触子１と同様に、接触面Ｔｓに対して傾斜する第一テーパ面２ｅと、それぞれ側面２ｃ及び２ｄに対して傾斜して接続されると共に第一テーパ面２ｅに接続される第二テーパ面２ｆ及び第三テーパ面２ｇと、が形成される。第二接触子２も、先端Ｐから離れるにつれて、幅Ｗが増加すると共に、下面２ａに向けて厚さＴｈが増加する。 Similar to the first contactor 1, the tip end of the second contactor 2 is connected to a first taper surface 2e that is inclined with respect to the contact surface Ts, and is inclined with respect to the side surfaces 2c and 2d, respectively. A second taper surface 2f and a third taper surface 2g connected to the first taper surface 2e are formed. The width W of the second contactor 2 increases as the distance from the tip P increases, and the thickness Th increases toward the lower surface 2a.

このように、第一接触子１及び第二接触子２は、それぞれ先端Ｐに向かうにつれ断面積が小さくなる先細りの形状の先端部を有するため、先端Ｐを測定対象Ｔに接触させやすい。また、第一接触子１及び第二接触子２の下面１ａ，２ａには、測定対象Ｔから離れるように傾斜する第一テーパ面１ｅ，２ｅが形成されるため、先端Ｐ以外での第一接触子１及び第二接触子２と測定対象Ｔとの接触（干渉）を回避できる。 As described above, each of the first contactor 1 and the second contactor 2 has a tapered tip portion whose cross-sectional area decreases toward the tip P, so that the tip P is easily brought into contact with the measurement target T. In addition, since the first tapered surfaces 1e and 2e that are inclined away from the measurement target T are formed on the lower surfaces 1a and 2a of the first contactor 1 and the second contactor 2, the first taper surface other than the tip P is formed. The contact (interference) between the contactor 1 and the second contactor 2 and the measurement target T can be avoided.

図１から３に示すように、本体部１０は、ベース部２０と、第一接触子１及び第二接触子２を保持する保持部３０と、ベース部２０に取り付けられ保持部３０を支持する支持部４０と、を有する。 As shown in FIGS. 1 to 3, the main body unit 10 supports the base unit 20, the holding unit 30 that holds the first contactor 1 and the second contactor 2, and the holding unit 30 that is attached to the base unit 20. And a support portion 40.

図１に示すように、ベース部２０は、互いにボルト２０ａにより結合される第一ベース部２１及び第二ベース部２５により構成される。ベース部２０は、検査装置の昇降装置（図示省略）によって鉛直上下方向（測定対象Ｔの接触面Ｔｓに垂直な方向）に移動される。ベース部２０が上下に移動することで、第一接触子１及び第二接触子２が測定対象Ｔに対して接触・離間する。 As shown in FIG. 1, the base portion 20 is composed of a first base portion 21 and a second base portion 25 which are coupled to each other by bolts 20a. The base unit 20 is moved in the vertical vertical direction (direction perpendicular to the contact surface Ts of the measurement target T) by an elevating device (not shown) of the inspection device. As the base 20 moves up and down, the first contact 1 and the second contact 2 come into contact with and separate from the measurement target T.

保持部３０は、第一接触子１及び第二接触子２（複数の接触子）のそれぞれを個別に保持する複数のホルダ部として第一保持部３１及び第二保持部３５を有する。第一保持部３１は、第一接触子１を保持する。第二保持部３５は、第二接触子２を保持する。また、支持部４０は、第一保持部３１及び第二保持部３５（複数のホルダ部）のそれぞれを個別に支持する複数のホルダ支持部として第一支持部４１及び第二支持部４５を有する。第一支持部４１は、第一ベース部２１に取り付けられ第一保持部３１を支持する。第二支持部４５は、第二ベース部２５に取り付けられ第二保持部３５を支持する。 The holding unit 30 has a first holding unit 31 and a second holding unit 35 as a plurality of holder units that individually hold the first contactor 1 and the second contactor 2 (a plurality of contactors), respectively. The first holding unit 31 holds the first contactor 1. The second holding unit 35 holds the second contactor 2. Moreover, the support part 40 has the 1st support part 41 and the 2nd support part 45 as a some holder support part which respectively supports each of the 1st holding part 31 and the 2nd holding part 35 (a plurality of holder parts). .. The first support portion 41 is attached to the first base portion 21 and supports the first holding portion 31. The second support portion 45 is attached to the second base portion 25 and supports the second holding portion 35.

第一ベース部２１、第一保持部３１、及び第一支持部４１は、樹脂によって互いに一体成形され、第一本体部１１を構成する。第二ベース部２５、第二保持部３５、及び第二支持部４５は、樹脂によって互いに一体成形され、第二本体部１５を構成する。つまり、第一本体部１１と第二本体部１５とによって本体部１０が構成される。 The first base portion 21, the first holding portion 31, and the first support portion 41 are integrally molded of resin to form the first main body portion 11. The second base portion 25, the second holding portion 35, and the second support portion 45 are integrally formed of resin to form the second main body portion 15. That is, the first body 11 and the second body 15 constitute the body 10.

第一本体部１１と第二本体部１５とは、図２に示すように、所定の間隔（隙間）をあけて隣接して設けられる。第一本体部１１と第二本体部１５とは、第一接触子１及び第二接触子２に平行であって両者の中間にある仮想の基準面Ｒに対して対称構造を有する。よって、以下では、第一本体部１１の具体的構造について主に説明し、第二本体部１５の構造についての詳細な説明は適宜省略する。図３中の括弧内の符号は、第一本体部１１の構成に対応する第二本体部１２の構成を示すものである。 As shown in FIG. 2, the first main body 11 and the second main body 15 are provided adjacent to each other with a predetermined gap (gap). The first main body portion 11 and the second main body portion 15 have a symmetrical structure with respect to an imaginary reference plane R that is parallel to the first contactor 1 and the second contactor 2 and that is intermediate between them. Therefore, hereinafter, the specific structure of the first main body 11 will be mainly described, and the detailed description of the structure of the second main body 15 will be appropriately omitted. The reference numerals in parentheses in FIG. 3 indicate the configuration of the second main body 12 corresponding to the configuration of the first main body 11.

図３に示すように、第一保持部３１には、第一接触子１が挿入される第一挿入孔３２が形成される。第一挿入孔３２は、第一保持部３１において第二保持部３５に対向する面に開口するスリット状に形成される。第一挿入孔３２の内周には、第一接触子１に形成される段差面１ｈに接触する第一規制部としてのストッパ面３２ａが形成される。ストッパ面３２ａが第一接触子１の段差面１ｈに接触することで、先端Ｐが第一挿入孔３２内へ向かうような第一接触子１の移動、言い換えれば、測定対象Ｔから離間する方向への移動が規制される。このように、第一接触子１は、ストッパ面３２ａに接触して、位置決めされる。 As shown in FIG. 3, the first holding portion 31 has a first insertion hole 32 into which the first contact 1 is inserted. The first insertion hole 32 is formed in a slit shape that opens in the surface of the first holding portion 31 facing the second holding portion 35. A stopper surface 32 a is formed on the inner periphery of the first insertion hole 32 as a first restriction portion that contacts the step surface 1 h formed on the first contact 1. When the stopper surface 32a comes into contact with the step surface 1h of the first contact 1, the movement of the first contact 1 such that the tip P moves toward the inside of the first insertion hole 32, in other words, the direction away from the measurement target T. Is restricted to travel. In this way, the first contactor 1 contacts the stopper surface 32a and is positioned.

第一保持部３１によって第一接触子１を保持させるには、まず、第一接触子１が、伝送基板６０に接着される基端部から第一挿入孔３２に挿入される。第一接触子１は、段差面１ｈがストッパ面３２ａに接触するまで基端部から第一挿入孔３２に挿入される。この状態で第一接触子１と第一保持部３１に接着剤が塗布され、第一接触子１は第一保持部３１に接着される。これにより、第一接触子１は、第一保持部３１から測定対象Ｔに向けて先端Ｐが突出した状態で第一保持部３１によって保持される。 In order to hold the first contactor 1 by the first holding portion 31, first, the first contactor 1 is inserted into the first insertion hole 32 from the base end portion bonded to the transmission board 60. The first contact 1 is inserted into the first insertion hole 32 from the base end portion until the step surface 1h contacts the stopper surface 32a. In this state, an adhesive is applied to the first contactor 1 and the first holding part 31, and the first contactor 1 is bonded to the first holding part 31. As a result, the first contactor 1 is held by the first holding unit 31 with the tip P protruding from the first holding unit 31 toward the measurement target T.

なお、第一保持部３１と同様に、第二保持部３５には、第二接触子２が挿入される第二挿入孔３７が形成される。第二挿入孔３７の内周には、第二接触子２に形成される段差面２ｈに接触する第二規制部としてのストッパ面３７ａが形成される。ストッパ面３７ａが第二接触子２の段差面２ｈに接触することで、先端Ｐが第二挿入孔３７内へ向かうような第二接触子２の移動が規制される。 As with the first holding portion 31, the second holding portion 35 has a second insertion hole 37 into which the second contact 2 is inserted. On the inner circumference of the second insertion hole 37, a stopper surface 37a is formed as a second restriction portion that contacts the step surface 2h formed on the second contactor 2. When the stopper surface 37a contacts the step surface 2h of the second contact 2, the movement of the second contact 2 such that the tip P moves toward the inside of the second insertion hole 37 is restricted.

第一支持部４１は、一対のリンク部４２，４３を有するリンク機構により構成される。一対のリンク部４２，４３は、それぞれ接触面Ｔｓに対して平行に延び、測定対象Ｔの接触面Ｔｓに垂直方向に並ぶ。一方のリンク部４２は、矩形断面を有するロッド部４２ａと、ロッド部４２ａの一端と第一保持部３１とを接続するジョイント部４２ｂと、ロッド部４２ａの他端と第一ベース部２１とを接続するジョイント部４２ｃと、を有する。同様に、他方のリンク部４３は、矩形断面を有するロッド部４３ａと、ロッド部４３ａの一端と第一保持部３１とを接続するジョイント部４３ｂと、ロッド部４３ａの他端と第一ベース部２１とを接続するジョイント部４３ｃと、を有する。一方のリンク部４２のロッド部４２ａは、他方のリンク部４３のロッド部４３ａよりも短く形成される。 The first support portion 41 is composed of a link mechanism having a pair of link portions 42 and 43. The pair of link portions 42 and 43 extend parallel to the contact surface Ts and are arranged in the direction perpendicular to the contact surface Ts of the measurement target T. The one link part 42 includes a rod part 42a having a rectangular cross section, a joint part 42b connecting one end of the rod part 42a and the first holding part 31, and the other end of the rod part 42a and the first base part 21. And a joint portion 42c to be connected. Similarly, the other link part 43 includes a rod part 43a having a rectangular cross section, a joint part 43b connecting one end of the rod part 43a and the first holding part 31, another end of the rod part 43a and the first base part. 21 and a joint portion 43c for connecting to 21. The rod portion 42a of the one link portion 42 is formed shorter than the rod portion 43a of the other link portion 43.

一方のリンク部４２におけるロッド部４２ａと第一ベース部２１及び第一保持部３１との間には、半円状の切り欠きが形成される。同様に、他方のリンク部４３におけるロッド部４３ａと第一ベース部２１及び第一保持部３１との間には、半円状の切り欠きが形成される。各切り欠きは、測定対象Ｔの接触面Ｔｓに平行で長手方向（図３中左右方向）に対して垂直に延びる。これにより、ロッド部４２ａ，４３ａと第一ベース部２１及び第一保持部３１との間に、ジョイント部４２ｂ，４２ｃ，４３ｂ，４３ｃが設けられる。各ジョイント部４２ｂ，４２ｃ，４３ｂ，４３ｃは、ロッド部４２ａ，４３ａの長手方向に直交する断面積がロッド部４２ａ，４３ａよりも小さく、ロッド部４２ａ，４３ａと比較して弾性変形しやすく構成される。 A semicircular cutout is formed between the rod portion 42a of the one link portion 42 and the first base portion 21 and the first holding portion 31. Similarly, a semicircular cutout is formed between the rod portion 43a of the other link portion 43 and the first base portion 21 and the first holding portion 31. Each notch is parallel to the contact surface Ts of the measurement target T and extends perpendicularly to the longitudinal direction (left-right direction in FIG. 3 ). As a result, the joint portions 42b, 42c, 43b, 43c are provided between the rod portions 42a, 43a and the first base portion 21 and the first holding portion 31. Each of the joint portions 42b, 42c, 43b, 43c has a cross-sectional area orthogonal to the longitudinal direction of the rod portions 42a, 43a smaller than that of the rod portions 42a, 43a, and is configured to be elastically deformed more easily than the rod portions 42a, 43a. It

第一ベース部２１を鉛直方向下方に移動させて第一接触子１が測定対象Ｔに押し付けられると、その反力（以下、「押し付け反力」とも称する。）によってリンク部４２のジョイント部４２ｂ，４２ｃ及びリンク部４３のジョイント部４３ｂ，４３ｃが弾性変形し、各ロッド部４２ａ，４３ａが第一保持部３１及び第一ベース部２１に対して傾動（相対回転）する。一方のリンク部４２を例に説明すると、一方のジョイント部４２ｂを中心としてロッド部４２ａが第一保持部３１に対して相対回転し、他方のジョイント部４２ｃを中心としてロッド部４２ａが第一ベース部２１に対して相対回転する。このように、第一接触子１を測定対象Ｔに押し付ける際、第一支持部４１が変形することにより、鉛直方向における第一ベース部２１と第一保持部３１との相対移動が許容される。また、一方のロッド部４２ａが他方のロッド部４３ａより短いため、より直線的に第一ベース部２１と第一保持部３１とを鉛直方向へ相対移動させることができる。 When the first base portion 21 is moved vertically downward and the first contact 1 is pressed against the measurement target T, the joint portion 42b of the link portion 42 is caused by the reaction force (hereinafter, also referred to as “pressing reaction force”). , 42c and the joint portions 43b and 43c of the link portion 43 elastically deform, and the rod portions 42a and 43a tilt (relatively rotate) with respect to the first holding portion 31 and the first base portion 21. Explaining the one link part 42 as an example, the rod part 42a rotates relative to the first holding part 31 about one joint part 42b, and the rod part 42a rotates about the other joint part 42c as the first base. It rotates relative to the part 21. As described above, when the first contactor 1 is pressed against the measurement target T, the first support portion 41 is deformed, so that the relative movement between the first base portion 21 and the first holding portion 31 in the vertical direction is allowed. .. Further, since the one rod portion 42a is shorter than the other rod portion 43a, the first base portion 21 and the first holding portion 31 can be relatively linearly moved in the vertical direction.

第一支持部４１と同様に、第二支持部４５は、一対のリンク部４６，４７を有するリンク機構により構成される。一方のリンク部４６は、矩形断面を有するロッド部４６ａと、ロッド部４６ａの一端と第二保持部３５とを接続するジョイント部４６ｂと、ロッド部４６ａの他端と第二ベース部２５とを接続するジョイント部４６ｃと、を有する。他方のリンク部４７は、矩形断面を有するロッド部４７ａと、ロッド部４７ａの一端と第二保持部３５とを接続するジョイント部４７ｂと、ロッド部４７ａの他端と第二ベース部２５とを接続するジョイント部４７ｃと、を有する。 Similar to the first support portion 41, the second support portion 45 is composed of a link mechanism having a pair of link portions 46 and 47. The one link portion 46 includes a rod portion 46a having a rectangular cross section, a joint portion 46b connecting one end of the rod portion 46a and the second holding portion 35, the other end of the rod portion 46a and the second base portion 25. And a joint portion 46c to be connected. The other link part 47 includes a rod part 47a having a rectangular cross section, a joint part 47b connecting one end of the rod part 47a and the second holding part 35, the other end of the rod part 47a and the second base part 25. And a joint part 47c to be connected.

第二接触子２が測定対象Ｔに押し付けられると、第一支持部４１と同様に、第二支持部４５が弾性変形し、第二保持部３５と第二ベース部２５との鉛直方向における相対移動が許容される。第一支持部４１と第二支持部４５とは、両者の間に隙間が設けられそれぞれ独立して第一ベース部２１と第二ベース部２５とに接続されるため、第一保持部３１と第二保持部３５とは、互いに独立して移動することができる。 When the second contactor 2 is pressed against the measurement target T, the second supporting portion 45 is elastically deformed similarly to the first supporting portion 41, and the second holding portion 35 and the second base portion 25 are relative to each other in the vertical direction. Movement is allowed. Since the first support portion 41 and the second support portion 45 are provided with a gap between them and are independently connected to the first base portion 21 and the second base portion 25, respectively. The second holding portion 35 can move independently of each other.

また、第一支持部４１及び第二支持部４５は、第一接触子１及び第二接触子２を測定対象Ｔに押し付ける際、第一接触子１及び第二接触子２に対して優先して弾性変形する。言い換えれば、第一接触子１及び第二接触子２は、測定対象Ｔに押し付けられる際、第一支持部４１及び第二支持部４５が優先して弾性変形する程度の耐久性を有する。 In addition, the first support 41 and the second support 45 have priority over the first contact 1 and the second contact 2 when pressing the first contact 1 and the second contact 2 against the measurement target T. Elastically deforms. In other words, the first contactor 1 and the second contactor 2 have such durability that the first support 41 and the second support 45 preferentially elastically deform when pressed against the measurement target T.

伝送基板６０は、柔軟性を有する帯状のフレキシブルプリント基板である。伝送基板６０は、外力により変形が可能である。伝送基板６０の一端部（図５中上端部）には、図１及び図２に示すように、第一接触子１及び第二接触子２が接着される。伝送基板６０の図示しない他端部は、ベース部２０と共に移動するコネクタ（図示省略）を通じて、同軸ケーブル（図示省略）に電気的に接続される。第一接触子１及び第二接触子２から入力される電気信号は、伝送基板６０の高周波伝送線路によって伝送され、同軸ケーブルを通じて制御装置に入力される。 The transmission board 60 is a flexible belt-shaped flexible printed board having flexibility. The transmission board 60 can be deformed by an external force. As shown in FIGS. 1 and 2, the first contactor 1 and the second contactor 2 are bonded to one end portion (upper end portion in FIG. 5) of the transmission board 60. The other end (not shown) of the transmission board 60 is electrically connected to a coaxial cable (not shown) through a connector (not shown) that moves together with the base unit 20. The electric signals input from the first contactor 1 and the second contactor 2 are transmitted by the high frequency transmission line of the transmission substrate 60 and input to the control device through the coaxial cable.

伝送基板６０は、高周波伝送線路としてマイクロストリップ線路を形成する積層構造を有する基板である。伝送基板６０では、図５及び図６に示すように、絶縁層である基材６１の一方の面（表面）に導体層であるシグナル線６２がプリントされ、他方の面（裏面）には導体層であるグランド線６３がプリントされる。 The transmission substrate 60 is a substrate having a laminated structure that forms a microstrip line as a high frequency transmission line. In the transmission substrate 60, as shown in FIGS. 5 and 6, a signal line 62, which is a conductor layer, is printed on one surface (front surface) of a base material 61, which is an insulating layer, and a conductor is formed on the other surface (back surface). The ground line 63, which is a layer, is printed.

伝送基板６０は、第一接触子１及び第二接触子２のそれぞれが接着される複数の接着部（取付部）として第一接着部６５及び第二接着部６６を有する。第一接着部６５には、第一接触子１が接着される。第二接着部６６には、第二接触子２が接着される。第一接着部６５と第二接着部６６との間には、伝送基板６０の長手方向に延びるスリット６０ａが形成される。第一接着部６５と第二接着部６６とは、スリット６０ａによって隔てられることで、互いに独立して移動可能（変形可能）に構成される。 The transmission board 60 has a first bonding portion 65 and a second bonding portion 66 as a plurality of bonding portions (mounting portions) to which the first contact 1 and the second contact 2 are bonded. The first contact 1 is bonded to the first bonding portion 65. The second contactor 2 is bonded to the second bonding portion 66. A slit 60 a extending in the longitudinal direction of the transmission substrate 60 is formed between the first adhesive portion 65 and the second adhesive portion 66. The first adhesive part 65 and the second adhesive part 66 are configured to be movable (deformable) independently of each other by being separated by the slit 60a.

基材６１は、柔軟性を有する材質で形成される。伝送基板６０の裏面には、図６に示すように、基材６１を露出させる矩形の複数の凹部６１ａが規則的に並んで設けられている。言い換えれば、伝送基板６０の裏面のグランド線６３は、格子状（メッシュ状）に設けられる。これにより、裏面の全面にグランド線６３が設けられる場合と比較して、伝送基板６０が撓みやすくなる。 The base material 61 is formed of a flexible material. As shown in FIG. 6, a plurality of rectangular concave portions 61a exposing the base material 61 are regularly arranged on the back surface of the transmission substrate 60. In other words, the ground lines 63 on the back surface of the transmission substrate 60 are provided in a lattice shape (mesh shape). As a result, the transmission board 60 is more likely to bend than when the ground wire 63 is provided on the entire back surface.

シグナル線６２は、伝送基板６０の幅方向（図５中左右方向）の中央において、所定の幅を有して長手方向に沿って延びて設けられる。シグナル線６２の一端部は、第一接着部６５上に位置する。第一接着部６５上のシグナル線６２の一端部は、他の部位と比較して幅広に設けられ、第一接触子１が電気的に接続される。第一接触子１は、シグナル線６２と電気的に接続された状態で、接着剤により第一接着部６５に接着される。 The signal line 62 is provided in the center of the transmission board 60 in the width direction (left-right direction in FIG. 5) and has a predetermined width and extends along the longitudinal direction. One end of the signal line 62 is located on the first adhesive portion 65. One end portion of the signal line 62 on the first adhesive portion 65 is provided wider than other portions, and the first contact 1 is electrically connected. The first contactor 1 is bonded to the first bonding portion 65 with an adhesive while being electrically connected to the signal line 62.

第二接着部６６の表面には、グランド線６３と電気的に接続される接続層６４が設けられる。第二接着部６６には、表面と裏面とに開口する貫通孔６６ａが設けられる。貫通孔６６ａの内周面には、第二接着部６６の表面の接続層６４と裏面のグランド線６３とを電気的に接続する貫通層６７が設けられる。第二接触子２は、第二接着部６６の接続層６４に電気的に接続され、接着剤によって第二接着部６６に接着される。第二接触子２は、接続層６４及び貫通層６７を通じてグランド線６３と電気的に接続される。 A connection layer 64 that is electrically connected to the ground line 63 is provided on the surface of the second adhesive portion 66. The second adhesive portion 66 is provided with a through hole 66a that opens to the front surface and the back surface. A through layer 67 that electrically connects the connection layer 64 on the front surface of the second adhesive portion 66 and the ground wire 63 on the back surface is provided on the inner peripheral surface of the through hole 66a. The second contactor 2 is electrically connected to the connection layer 64 of the second adhesive portion 66 and adhered to the second adhesive portion 66 with an adhesive. The second contactor 2 is electrically connected to the ground line 63 through the connection layer 64 and the through layer 67.

次に、測定装置１００の作用について説明する。 Next, the operation of the measuring device 100 will be described.

測定対象Ｔの高周波特性を測定するには、測定対象Ｔに対して垂直に（本実施形態では鉛直方向に）ベース部２０を移動させ、第一接触子１及び第二接触子２を測定対象Ｔの接触面Ｔｓに接触させる。この状態からベース部２０をさらに下方へ移動させることで、所定の押し付け力により第一接触子１及び第二接触子２を測定対象Ｔに押し付けて電気的に接続させる。測定対象Ｔに接触した状態から第一接触子１及び第二接触子２をさらに押し付けるのに伴い、第一接触子１及び第二接触子２に優先して第一支持部４１及び第二支持部４５が弾性変形する。よって、第一支持部４１及び第二支持部４５の弾性変形によって生じる弾性力により、第一接触子１及び第二接触子２を測定対象Ｔに押し付ける押し付け力が確保される。 In order to measure the high frequency characteristics of the measurement target T, the base unit 20 is moved vertically (in the present embodiment, in the vertical direction) with respect to the measurement target T, and the first contact 1 and the second contact 2 are measured. The contact surface Ts of T is contacted. By further moving the base portion 20 downward from this state, the first contact piece 1 and the second contact piece 2 are pressed against the measurement target T by a predetermined pressing force and electrically connected. As the first contact 1 and the second contact 2 are further pressed from the state of being in contact with the measurement target T, the first support part 41 and the second support are given priority over the first contact 1 and the second contact 2. The portion 45 elastically deforms. Therefore, the pressing force for pressing the first contactor 1 and the second contactor 2 against the measurement target T is ensured by the elastic force generated by the elastic deformation of the first support part 41 and the second support part 45.

このように、第一接触子１及び第二接触子２に対して第一支持部４１及び第二支持部４５が優先的に弾性変形して押し付け力が確保されるため、第一接触子１及び第二接触子２を積極的に弾性変形させなくてもよい。よって、第一接触子１及び第二接触子２の材質選択の自由度が向上する。測定装置１００では、第一接触子１及び第二接触子２は、焼結金属である工具鋼によって形成されるため、高い耐久性を有する。 In this way, the first supporter 41 and the second supporter 45 are elastically deformed preferentially with respect to the first contactor 1 and the second contactor 2 to secure the pressing force, so that the first contactor 1 Also, the second contactor 2 does not have to be positively elastically deformed. Therefore, the degree of freedom in selecting the material of the first contactor 1 and the second contactor 2 is improved. In the measuring device 100, the first contactor 1 and the second contactor 2 are formed of tool steel, which is a sintered metal, and thus have high durability.

また、一般に、測定装置の測定対象は、測定面に高低差（凹凸）が生じることがある。特に、測定対象が電子回路基板である場合には、半導体ウェハである場合よりも大きな凹凸が生じやすい。測定対象に高低差がある場合、高さが相対的に高い部位に対して一方の接触子が先に接触してしまい、高さが相対的に低い部位には他方の接触子が充分に接触しないおそれがある。このように、測定対象に凹凸が生じる場合には、第一接触子及び第二接触子と測定対象との接触状態が不均一になり、良好な接触状態を得られないおそれがある。 Further, in general, the measurement target of the measurement device may have a height difference (unevenness) on the measurement surface. In particular, when the measurement target is an electronic circuit board, larger unevenness is more likely to occur than when it is a semiconductor wafer. When there is a difference in height between the objects to be measured, one of the contactors comes into contact with the relatively high area first, and the other contact sufficiently contacts the relatively low area. May not. As described above, when the measurement target is uneven, the contact state between the first contactor and the second contactor and the measurement target becomes uneven, and a good contact state may not be obtained.

これに対し、測定装置１００では、第一接触子１を保持する第一保持部３１と第二接触子２を保持する第二保持部３５とは、互いに独立して移動可能に構成される。また、伝送基板６０は変形可能に構成されるものであるため、第一接触子１と第二接触子２とが独立して移動することを妨げない。よって、測定装置１００によれば、測定対象Ｔ（特に回路基板）に凹凸が生じているような場合であっても、第一接触子１及び第二接触子２の一方が測定対象Ｔに接触し、さらに他方が移動して測定対象Ｔに接触することができる。つまり、第一接触子１と第二接触子２とは、測定対象Ｔの高さの差を許容するように、互いに異なる移動量で独立して移動することができるため、第一接触子１及び第二接触子２と測定対象Ｔとの接触状態を均一にすることができる。これにより、第一接触子１及び第二接触子２を所定の押し付け力により測定対象Ｔに押し付けて、良好な接触状態を得ることができる。 On the other hand, in the measuring device 100, the first holding part 31 holding the first contactor 1 and the second holding part 35 holding the second contactor 2 are configured to be movable independently of each other. Further, since the transmission board 60 is configured to be deformable, it does not prevent the first contact 1 and the second contact 2 from moving independently. Therefore, according to the measurement device 100, even when the measurement target T (particularly the circuit board) has irregularities, one of the first contactor 1 and the second contactor 2 contacts the measurement target T. Then, the other can move and come into contact with the measurement target T. That is, the first contactor 1 and the second contactor 2 can independently move with different moving amounts so as to allow the height difference of the measurement target T, and thus the first contactor 1 Also, the contact state between the second contact piece 2 and the measurement target T can be made uniform. Thereby, the first contactor 1 and the second contactor 2 can be pressed against the measurement target T with a predetermined pressing force, and a good contact state can be obtained.

次に、本実施形態の作用効果についてまとめて説明する。 Next, the operation and effect of this embodiment will be described collectively.

本実施形態では、測定装置１００は、それぞれ測定対象Ｔに接触する第一接触子１及び第二接触子２と、第一接触子１及び第二接触子２が設けられる本体部１０と、第一接触子１及び第二接触子２が電気的に接続される高周波伝送線路が設けられる伝送基板６０と、を備え、伝送基板６０は、第一接触子１及び第二接触子２がそれぞれ取り付けられる第一接着部６５及び第二接着部６６と、第一接着部６５及び第二接着部６６を互いに隔てるように形成されるスリット６０ａと、を有し、第一接着部６５及び第二接着部６６は、スリット６０ａによって独立して移動可能に構成される。 In the present embodiment, the measuring apparatus 100 includes a first contactor 1 and a second contactor 2 that are in contact with the measurement target T, a main body 10 provided with the first contactor 1 and the second contactor 2, and a first contactor 1 and a second contactor 2, respectively. A transmission board 60 provided with a high-frequency transmission line to which the one contactor 1 and the second contactor 2 are electrically connected, and the transmission board 60 has the first contactor 1 and the second contactor 2 attached thereto, respectively. A first adhesive portion 65 and a second adhesive portion 66, and a slit 60a formed so as to separate the first adhesive portion 65 and the second adhesive portion 66 from each other. The section 66 is configured to be independently movable by the slit 60a.

このような本実施形態によれば、第一接触子１及び第二接触子２は、スリット６０ａによって互いに独立して移動可能に構成される伝送基板６０の第一接着部６５及び第二接着部６６にそれぞれ取り付けられる。これにより、第一接触子１及び第二接触子２は、互いに独立して移動することができる。スリット６０ａによって隔てられた第一接着部６５及び第二接着部６６が移動することにより、第一接触子１及び第二接触子２が互いに独立して移動するため、第一接触子１及び第二接触子２の移動量を大きく確保することができる。したがって、測定対象Ｔにおいて高低差が生じる場合であっても、第一接触子１及び第二接触子２を測定対象Ｔに均一に接触させて、接触状態を良好にすることができる。よって、測定装置１００の測定精度が向上する。 According to this embodiment, the first contact 1 and the second contact 2 are configured to be movable independently of each other by the slit 60a. 66 attached to each. As a result, the first contactor 1 and the second contactor 2 can move independently of each other. By moving the first adhesive portion 65 and the second adhesive portion 66 separated by the slit 60a, the first contactor 1 and the second contactor 2 move independently of each other. A large amount of movement of the second contactor 2 can be secured. Therefore, even if the height difference occurs in the measurement target T, the first contact piece 1 and the second contact piece 2 can be brought into uniform contact with the measurement target T to improve the contact state. Therefore, the measurement accuracy of the measuring device 100 is improved.

本実施形態では、測定装置１００は、それぞれ測定対象Ｔに接触する第一接触子１及び第二接触子２と、第一接触子１及び第二接触子２が設けられる本体部１０と、第一接触子１及び第二接触子２が電気的に接続される高周波伝送線路が設けられ、柔軟性を有する伝送基板６０と、を備え、本体部１０は、ベース部２０と、ベース部２０に接続され第一接触子１を保持する第一保持部３１と、ベース部２０に接続され第二接触子２を保持する第二保持部３５と、を有し、第一保持部３１と第二保持部３５とは、互いに独立して移動可能にベース部２０に取り付けられる。 In the present embodiment, the measuring apparatus 100 includes a first contactor 1 and a second contactor 2, which are in contact with the measurement target T, a main body 10 provided with the first contactor 1 and the second contactor 2, and a first contactor 1 and a second contactor 2, respectively. A high-frequency transmission line to which the one contactor 1 and the second contactor 2 are electrically connected is provided, and a flexible transmission substrate 60 is provided, and the main body part 10 includes a base part 20 and a base part 20. It has the 1st holding part 31 connected and holding the 1st contact child 1, and the 2nd holding part 35 connected to the base part 20 and holding the 2nd contact child 2, and the 1st holding part 31 and the 2nd The holding portion 35 is attached to the base portion 20 so as to be movable independently of each other.

このような本実施形態によれば、第一接触子１及び第二接触子２は、柔軟性を有する伝送基板６０に電気的に接続されると共に、互いに独立して移動可能な第一保持部３１及び第二保持部３５によって保持される。これにより、第一接触子１と第二接触子２とが、互いに独立して移動することができる。このように、第一保持部３１及び第二保持部３５の移動により、第一接触子１と第二接触子２とが互いに独立して移動するため、第一接触子１と第二接触子２の移動量を大きく確保することができる。したがって、測定対象Ｔにおいて高低差が生じる場合であっても、第一接触子１及び第二接触子２を測定対象Ｔに均一に接触させて、接触状態を良好にすることができる。よって、測定装置１００の測定精度が向上する。 According to the present embodiment as described above, the first contactor 1 and the second contactor 2 are electrically connected to the flexible transmission board 60 and are movable independently of each other. It is held by 31 and the second holding portion 35. As a result, the first contactor 1 and the second contactor 2 can move independently of each other. In this way, the first contact piece 1 and the second contact piece 2 move independently of each other by the movement of the first holding part 31 and the second holding part 35, so that the first contact piece 1 and the second contact piece A large movement amount of 2 can be secured. Therefore, even if the height difference occurs in the measurement target T, the first contact piece 1 and the second contact piece 2 can be brought into uniform contact with the measurement target T to improve the contact state. Therefore, the measurement accuracy of the measuring device 100 is improved.

また、本実施形態では、伝送基板６０は、第一接触子１に接着される第一接着部６５と、第二接触子２に接着される第二接着部６６と、を有し、第一接着部６５と第二接着部６６とは、スリット６０ａによって隔てられ互いに独立して移動可能に構成される。 In addition, in the present embodiment, the transmission substrate 60 has a first adhesive portion 65 that is adhered to the first contactor 1 and a second adhesive portion 66 that is adhered to the second contactor 2. The adhesive portion 65 and the second adhesive portion 66 are separated by a slit 60a and are movable independently of each other.

このような本実施形態によれば、第一接着部６５と第二接着部６６が独立して移動可能であるため、第一接触子１と第二接触子２とがより大きく相対移動することができる。このため、測定対象Ｔの凹凸が大きくても、精度よく測定が可能となる。つまり、本実施形態によれば、精度よく測定するために許容できる測定対象Ｔの凹凸量（高さの差）が大きくなる。 According to the present embodiment as described above, since the first adhesive portion 65 and the second adhesive portion 66 can be independently moved, the first contactor 1 and the second contactor 2 can relatively move relatively. You can Therefore, even if the unevenness of the measurement target T is large, the measurement can be performed with high accuracy. That is, according to the present embodiment, the amount of unevenness (height difference) of the measurement target T that can be allowed for accurate measurement becomes large.

また、本実施形態では、本体部１０は、ベース部２０に設けられ第一保持部３１を支持する第一支持部４１と、ベース部２０に設けられ第二保持部３５を支持する第二支持部４５と、をさらに有し、第一支持部４１は、測定対象Ｔへの第一接触子１の押し付けに伴って弾性変形し、第二支持部４５は、測定対象Ｔへの第二接触子２の押し付けに伴って弾性変形する。 Further, in the present embodiment, the main body portion 10 includes the first support portion 41 provided on the base portion 20 for supporting the first holding portion 31, and the second support portion provided on the base portion 20 for supporting the second holding portion 35. The first support part 41 elastically deforms as the first contact piece 1 is pressed against the measurement target T, and the second support part 45 makes a second contact with the measurement target T. It is elastically deformed as the child 2 is pressed.

このような実施形態によれば、第一支持部４１と第二支持部４５とが独立し、それぞれ弾性変形可能であるため、第一接触子１と第二接触子２とが互いに独立して移動することができる。このため、第一接触子１と第二接触子２を撓ませる場合よりも、第一支持部４１及び第二支持部４５の弾性変形によって、より大きな移動量で第一接触子１と第二接触子２とを独立して移動させることができる。つまり、本体部１０は、第一接触子１及び第二接触子２と比べて大きな部材であるため、独立して移動させる移動量を容易に確保することができる。 According to such an embodiment, since the first support portion 41 and the second support portion 45 are independent and elastically deformable, the first contactor 1 and the second contactor 2 are independent of each other. You can move. Therefore, as compared with the case where the first contactor 1 and the second contactor 2 are bent, the elastic deformation of the first support portion 41 and the second support portion 45 causes the movement of the first contactor 1 and the second contactor 2 with a larger movement amount. The contactor 2 can be moved independently. That is, since the main body 10 is a member larger than the first contactor 1 and the second contactor 2, it is possible to easily secure the amount of movement to move independently.

また、本明細書には、以下の形態も含まれる。 In addition, the following forms are also included in the present specification.

本実施形態では、測定装置１００は、それぞれ測定対象Ｔに押し付けられる第一接触子１及び第二接触子２と、第一接触子１及び第二接触子２が取り付けられる本体部１０と、第一接触子１及び第二接触子２が電気的に接続される高周波伝送線路（マイクロストリップ線路）が設けられる伝送基板６０と、を備え、本体部１０は、ベース部２０と、第一接触子１及び第二接触子２を保持する保持部３０と、ベース部２０に取り付けられ保持部３０を支持する支持部４０と、を有し、支持部４０は、測定対象Ｔへの第一接触子１及び第二接触子２の押し付けに伴って弾性変形する。 In the present embodiment, the measuring apparatus 100 includes a first contactor 1 and a second contactor 2 which are respectively pressed against the measurement target T, a main body portion 10 to which the first contactor 1 and the second contactor 2 are attached, and A transmission substrate 60 provided with a high-frequency transmission line (microstrip line) to which the one contactor 1 and the second contactor 2 are electrically connected, the main body part 10 includes a base part 20, and a first contactor. 1 and the 2nd contact child 2 It has the holding part 30 holding, and the support part 40 attached to the base part 20 and supporting the holding part 30. The support part 40 is the 1st contact child to the measuring object T. It is elastically deformed as the first and second contactors 2 are pressed.

また、本実施形態に係る測定装置１００では、支持部４０は、測定対象Ｔへの第一接触子１及び第二接触子２の押し付けに伴い、第一接触子１及び第二接触子２に対して優先して弾性変形するように構成される。 In addition, in the measuring apparatus 100 according to the present embodiment, the support part 40 is attached to the first contactor 1 and the second contactor 2 as the first contactor 1 and the second contactor 2 are pressed against the measurement target T. On the other hand, the elastic deformation is preferentially performed.

このような本実施形態によれば、第一接触子１及び第二接触子２を測定対象Ｔに押し付ける際には、本体部１０の支持部４０が弾性変形することにより所定の押し付け力で第一接触子１及び第二接触子２を接触させることができる。よって、第一接触子１及び第二接触子２を積極的に撓ませなくてもよく、第一接触子１及び第二接触子２の耐久性を向上させることができる。 According to the present embodiment as described above, when the first contactor 1 and the second contactor 2 are pressed against the measurement target T, the support part 40 of the main body part 10 is elastically deformed so that the first contactor 1 and the second contact part 2 are pressed by a predetermined pressing force. The one contactor 1 and the second contactor 2 can be contacted. Therefore, it is not necessary to positively bend the first contactor 1 and the second contactor 2, and the durability of the first contactor 1 and the second contactor 2 can be improved.

また、本実施形態に係る測定装置１００では、第一接触子１及び第二接触子２は、それぞれ焼結金属によって形成される。 Moreover, in the measuring apparatus 100 according to the present embodiment, the first contact 1 and the second contact 2 are each formed of a sintered metal.

また、本実施形態に係る測定装置１００では、第一接触子１及び第二接触子２は、それぞれ工具鋼によって形成される。 Further, in the measuring device 100 according to the present embodiment, the first contact 1 and the second contact 2 are each formed of tool steel.

このような本実施形態によれば、第一接触子１及び第二接触子２は、耐久性が高く、耐摩耗性に優れた材質によって形成されるため、摩耗に伴う測定装置１００の測定精度の低下が抑制される。 According to the present embodiment as described above, since the first contactor 1 and the second contactor 2 are formed of a material having high durability and excellent wear resistance, the measurement accuracy of the measuring device 100 due to wear is high. Is suppressed.

次に、本実施形態の変形例について説明する。以下のような変形例も本発明の範囲内であり、以下の変形例と上記実施形態の各構成とを組み合わせたり、以下の変形例同士を組み合わせたりすることも可能である。また、上記実施形態の説明において記載された変形例についても同様に、他の変形例と任意に組み合わせることが可能である。 Next, a modified example of the present embodiment will be described. The following modified examples are also within the scope of the present invention, and it is possible to combine the following modified examples with the configurations of the above-described embodiments, or to combine the following modified examples. Further, similarly, the modified example described in the above description of the embodiment can be arbitrarily combined with other modified examples.

上記実施形態では、伝送基板６０は、柔軟性を有するフレキシブルプリント基板である。これに対し、伝送基板６０は、柔軟性を有する部位と有していない部位とを含むフレックスリジット基板であってもよい。特許請求の範囲における「柔軟性を有する伝送基板」とは、全体が柔軟性を有するフレキシブルプリント基板に限らず、一部が柔軟性を有するフレックスリジット基板も含む意味である。伝送基板６０が柔軟性を有することにより、第一保持部３１及び第二保持部３５が独立して移動（互いに相対移動）することが許容される。 In the above embodiment, the transmission board 60 is a flexible printed board having flexibility. On the other hand, the transmission substrate 60 may be a flex-rigid substrate including a flexible portion and a flexible portion. The "flexible transmission board" in the claims means not only a flexible printed board having flexibility as a whole but also a flex-rigid board having a part of flexibility. The flexibility of the transmission substrate 60 allows the first holding unit 31 and the second holding unit 35 to move independently (relatively move to each other).

また、上記実施形態では、本体部１０は、互いに対称構造を有する第一本体部１１及び第二本体部１５により構成される分割構造である。これに対し、本体部１０は、第一保持部３１と第二保持部３５とが独立して移動可能に構成される限り、任意の構成とすることができる。例えば、第一ベース部２１と第二ベース部２５とが分割構造ではなく一体に形成されてもよい。 Further, in the above-described embodiment, the main body portion 10 has a divided structure including the first main body portion 11 and the second main body portion 15 having a symmetrical structure. On the other hand, the main body portion 10 may have any configuration as long as the first holding portion 31 and the second holding portion 35 are independently movable. For example, the first base portion 21 and the second base portion 25 may be integrally formed instead of the divided structure.

また、上記実施形態では、第一保持部３１と第二保持部３５とは、リンク機構により構成される第一支持部４１と第二支持部４５とによって支持されることで、互いに独立して移動可能に構成される。これに対し、第一支持部４１及び第二支持部４５は、第一保持部３１と第二保持部３５が独立して移動可能に構成される限り、リンク機構に限らず任意の構成とすることができる。 Further, in the above-described embodiment, the first holding portion 31 and the second holding portion 35 are independently supported by the first support portion 41 and the second support portion 45 that are configured by the link mechanism. It is configured to be movable. On the other hand, the first support portion 41 and the second support portion 45 are not limited to the link mechanism and may have any configuration as long as the first holding portion 31 and the second holding portion 35 are independently movable. be able to.

また、上記実施形態では、第一接触子１及び第二接触子２は、矩形断面を有する四角柱状の端子である。これに対し、第一接触子１及び第二接触子２は、これに限られず、例えば、円形断面を有する円柱や、四角形以外の多角形断面を有する角柱（多角柱）に形成されてもよい。なお、いずれの場合であっても、先端部は、上記実施形態のように先細りの形状に形成することが望ましい。 Moreover, in the said embodiment, the 1st contactor 1 and the 2nd contactor 2 are square column-shaped terminals which have a rectangular cross section. On the other hand, the first contactor 1 and the second contactor 2 are not limited to this, and may be formed, for example, in a cylinder having a circular cross section or a prism (polygonal prism) having a polygonal cross section other than a quadrangle. .. In any case, it is desirable that the tip portion is formed in a tapered shape as in the above embodiment.

また、上記実施形態では、第一接触子１及び第二接触子２は、互いに同一形状である。第一接触子１及び第二接触子２の先端Ｐは、それぞれの幅方向（隣接方向）の中央に設けられる。これに対し、第一接触子１及び第二接触子２は、互いに同一形状に限られず、任意の形状とすることができる。第一接触子１及び第二接触子２の先端Ｐは、幅方向の中央に限らず、例えば、図７（ａ）に示すように、それぞれの先端Ｐは、互いに近接するように、互いに対向する側面１ｃ，２ｃ（対向面）上に配置されてもよいし、図７（ｂ）に示すように、互いに離間するように、側面１ｄ，２ｄ上に配置されてもよい。図７（ａ）や（ｂ）に示す形状では、第一接触子１と第二接触子２とは、基準面Ｒに対して面対称の構造となる。 Moreover, in the said embodiment, the 1st contactor 1 and the 2nd contactor 2 are mutually the same shape. The tips P of the first contactors 1 and the second contactors 2 are provided at the centers in the respective width directions (adjacent directions). On the other hand, the first contactor 1 and the second contactor 2 are not limited to the same shape as each other, and may have any shape. The tips P of the first contactor 1 and the second contactor 2 are not limited to the center in the width direction, but for example, as shown in FIG. 7A, the tips P face each other so as to be close to each other. It may be arranged on the side faces 1c, 2c (opposing faces) to be formed, or may be arranged on the side faces 1d, 2d so as to be separated from each other, as shown in FIG. 7(b). In the shapes shown in FIGS. 7A and 7B, the first contactor 1 and the second contactor 2 have a plane-symmetrical structure with respect to the reference plane R.

また、上記実施形態では、高周波伝送線路は、マイクロストリップ線路である。これに対し、高周波伝送線路は、コプレーナ線路やストリップ線路など、その他のものであってもよい。測定装置１００は、高周波伝送線路の種類に応じた数の接触子を備えるように構成すればよい。つまり、測定装置１００は、高周波伝送線路の種類に応じて、三つ以上の接触子を備えるものでもよい。この場合には、測定装置１００の本体部１０は、接触子の数に応じて、接触子が互いに独立して移動可能となるように構成されていればよい。 Further, in the above embodiment, the high frequency transmission line is a microstrip line. On the other hand, the high frequency transmission line may be another line such as a coplanar line or a strip line. The measuring apparatus 100 may be configured to include a number of contacts according to the type of high frequency transmission line. That is, the measuring apparatus 100 may include three or more contacts depending on the type of the high frequency transmission line. In this case, the main body 10 of the measuring apparatus 100 may be configured so that the contacts can move independently of each other according to the number of contacts.

また、上記実施形態では、高周波伝送線路はマイクロストリップ線路であり、測定装置１００は、シグナル線６２に電気的に接続される第一接触子１とグランド線６３に電気的に接続される第二接触子２との二つの接触子を備える。これに対し、マイクロストリップ線路が高周波伝送線路として設けられる場合には、測定装置は、三つの接触子を備えていてもよい。以下、図８及び図９を参照して、変形例に係る測定装置１０１について具体的に説明する。 Further, in the above-described embodiment, the high frequency transmission line is a microstrip line, and the measurement device 100 includes the first contactor 1 electrically connected to the signal line 62 and the second contactor electrically connected to the ground line 63. Two contacts with the contact 2 are provided. On the other hand, when the microstrip line is provided as a high frequency transmission line, the measuring device may include three contacts. Hereinafter, the measuring apparatus 101 according to the modification will be specifically described with reference to FIGS. 8 and 9.

変形例に係る測定装置１０１は、図８に示すように、シグナル線６２に電気的に接続される第一接触子１と、グランド線６３に電気的に接続される第二接触子２及び第三接触子３と、を有する。 As shown in FIG. 8, the measuring apparatus 101 according to the modified example includes a first contactor 1 electrically connected to the signal line 62, a second contactor 2 electrically connected to the ground line 63, and a first contactor 2. And three contactors 3.

測定装置１０１の本体部１０は、第一本体部１１、第二本体部１５、及び第三本体部１９を有する。第一本体部１１及び第二本体部１５は、上記実施形態と同様の構成である。第三接触子３が取り付けられる第三本体部１９は、第二本体部１５と共に第一本体部１１を挟むようにして並んで設けられる。第三本体部１９は、第一本体部１１及び第二本体部１５と同様の構成を有するものである。このため、詳細な説明及び図示は省略するが、第三本体部１９は、第三ベース部２９と、第三接触子３を保持するホルダ部である第三保持部３９と、第三保持部３９を移動可能に支持するホルダ支持部である第三支持部４９と、を有する。第一ベース部２１、第二ベース部２５、及び第三ベース部２９は、ボルト２０ａにより結合されベース部２０を構成する。第三保持部３９は、第一保持部３１及び第二保持部３５と共に保持部３０を構成する。第三支持部４９は、第一支持部４１及び第二支持部４５と共に支持部４０を構成し、第一接触子１及び第二接触子２とは独立して第三接触子３を移動可能に支持する。 The main body 10 of the measuring device 101 has a first main body 11, a second main body 15, and a third main body 19. The first main body portion 11 and the second main body portion 15 have the same configurations as in the above embodiment. The third main body 19 to which the third contactor 3 is attached is provided side by side with the second main body 15 so as to sandwich the first main body 11. The third body portion 19 has the same configuration as the first body portion 11 and the second body portion 15. Therefore, although detailed description and illustration are omitted, the third main body portion 19 includes the third base portion 29, the third holding portion 39 that is a holder portion that holds the third contactor 3, and the third holding portion. And a third support portion 49 that is a holder support portion that movably supports 39. The first base portion 21, the second base portion 25, and the third base portion 29 are coupled by a bolt 20a to form the base portion 20. The third holding unit 39 constitutes the holding unit 30 together with the first holding unit 31 and the second holding unit 35. The third support part 49 constitutes the support part 40 together with the first support part 41 and the second support part 45, and can move the third contactor 3 independently of the first contactor 1 and the second contactor 2. To support.

伝送基板６０では、上記実施形態と同様に、絶縁層である基材６１の一方の面（表面）に導体層であるシグナル線６２がプリントされ、他方の面（裏面）には導体層であるグランド線６３がプリントされる。 In the transmission board 60, as in the above-described embodiment, the signal line 62 that is a conductor layer is printed on one surface (front surface) of the base material 61 that is an insulating layer, and the other surface (back surface) is a conductor layer. The ground wire 63 is printed.

伝送基板６０は複数の接着部として、図９に示すように、第一接触子１が接触される第一接着部６５、第二接触子２が接触される第二接着部６６、及び第三接触子３が接着される第三接着部６８を有する。第一接着部６５と第二接着部６６との間、及び、第二接着部６６と第三接着部６８との間には、伝送基板６０の長手方向に延びるスリット６０ａが形成される。第一接着部６５、第二接着部６６、及び第三接着部６８は、スリット６０ａによって互いに隔てられることで独立して移動可能（変形可能）に構成される。 As shown in FIG. 9, the transmission substrate 60 has a plurality of adhesive parts, a first adhesive part 65 with which the first contactor 1 is in contact, a second adhesive part 66 with which the second contactor 2 is in contact, and a third adhesive part. It has a third adhesive portion 68 to which the contactor 3 is adhered. Slits 60 a extending in the longitudinal direction of the transmission substrate 60 are formed between the first adhesive portion 65 and the second adhesive portion 66 and between the second adhesive portion 66 and the third adhesive portion 68. The first adhesive portion 65, the second adhesive portion 66, and the third adhesive portion 68 are independently movable (deformable) by being separated from each other by the slit 60a.

第二接着部６６は、上記実施形態と同様であり、接続層６４ａ（上記実施形態における接続層６４に相当）と、貫通孔６６ａと、貫通層６７と、を有する。第二接触子２は、第二接着部６６の接続層６４ａに電気的に接続され、接着剤によって第二接着部６６に接着される。第二接触子２は、接続層６４ａ及び貫通層６７を通じてグランド線６３と電気的に接続される。 The second adhesive portion 66 is the same as in the above-described embodiment, and has a connection layer 64a (corresponding to the connection layer 64 in the above-described embodiment), a through hole 66a, and a through layer 67. The second contactor 2 is electrically connected to the connection layer 64a of the second adhesive portion 66 and adhered to the second adhesive portion 66 with an adhesive. The second contactor 2 is electrically connected to the ground line 63 through the connection layer 64a and the through layer 67.

第三接着部６８は、第二接着部６６と同様に、グランド線６３と電気的に接続される接続層６４ｂと、表面と裏面とに開口する貫通孔６８ａと、貫通孔６８ａの内周面に設けられ、第三接着部６８の表面の接続層６４ｂと裏面のグランド線６３とを電気的に接続する貫通層６９と、を有する。第三接触子３は、第三接着部６８の接続層６４ｂに電気的に接続され、接着剤によって第三接着部６８に接着される。第三接触子３は、接続層６４ｂ及び貫通層６９を通じてグランド線６３と電気的に接続される。 Similar to the second adhesive portion 66, the third adhesive portion 68 has a connection layer 64b electrically connected to the ground wire 63, a through hole 68a opening to the front surface and the back surface, and an inner peripheral surface of the through hole 68a. And a through layer 69 that electrically connects the connection layer 64b on the front surface of the third adhesive portion 68 and the ground line 63 on the back surface. The third contact 3 is electrically connected to the connection layer 64b of the third adhesive portion 68 and is adhered to the third adhesive portion 68 with an adhesive. The third contactor 3 is electrically connected to the ground line 63 through the connection layer 64b and the through layer 69.

このような変形例においても、上記実施形態と同様の効果を奏する。 Also in such a modified example, the same effect as that of the above-described embodiment is obtained.

以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態は本発明の適用例の一部を示したに過ぎず、本発明の技術的範囲を上記実施形態の具体的構成に限定する趣旨ではない。 Although the embodiment of the present invention has been described above, the above embodiment merely shows a part of the application example of the present invention, and the technical scope of the present invention is limited to the specific configuration of the above embodiment. Absent.

１ 第一接触子（接触子）
２ 第二接触子（接触子）
３ 第三接触子（接触子）
１０ 本体部
２０ ベース部
３１ 第一保持部（ホルダ部）
３５ 第二保持部（ホルダ部）
３９ 第三保持部（ホルダ部）
４１ 第一支持部（ホルダ支持部）
４５ 第二支持部（ホルダ支持部）
４９ 第三支持部（ホルダ支持部）
６０ 伝送基板
６０ａ スリット
６５ 第一接着部（接着部）
６６ 第二接着部（接着部）
６８ 第三接着部（接着部）
１００ 測定装置
１０１ 測定装置 1 first contactor (contactor)
2 Second contact (contact)
3 Third contactor (contactor)
10 main body part 20 base part 31 first holding part (holder part)
35 Second holding part (holder part)
39 Third holding part (holder part)
41 First Support (Holder Support)
45 Second support (holder support)
49 Third support part (holder support part)
60 Transmission board 60a Slit 65 First adhesive part (adhesive part)
66 Second adhesive part (adhesive part)
68 Third adhesive part (adhesive part)
100 measuring device 101 measuring device

Claims (2)

測定装置であって、
それぞれ測定対象に接触する複数の接触子と、
前記複数の接触子が設けられる本体部と、
前記複数の接触子が電気的に接続される高周波伝送線路が設けられ、柔軟性を有する伝送基板と、を備え、
前記伝送基板は、
前記複数の接触子がそれぞれ取り付けられる複数の取付部と、
前記複数の取付部を互いに隔てるように形成されるスリットと、を有し、
前記複数の取付部は、前記スリットによって独立して移動可能に構成される、
測定装置。 A measuring device,
A plurality of contactors, each of which contacts the measuring object,
A main body provided with the plurality of contacts,
A high-frequency transmission line to which the plurality of contacts are electrically connected is provided, and a flexible transmission substrate,
The transmission board is
A plurality of mounting portions to which the plurality of contacts are respectively mounted,
A slit formed so as to separate the plurality of mounting portions from each other,
The plurality of mounting portions are configured to be independently movable by the slit,
measuring device. 請求項１に記載の測定装置であって、
前記伝送基板は、帯状に形成されており、
前記スリットは、前記伝送基板の長手方向に延びるように形成される、
測定装置。 The measuring device according to claim 1, wherein
The transmission board is formed in a strip shape,
The slit is formed so as to extend in the longitudinal direction of the transmission substrate,
measuring device.
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