JP2020114670A - Release film for manufacturing ceramic green sheet - Google Patents

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Abstract

To provide a release film for manufacturing a ceramic green sheet, which can be peeled with a small uniform force even from an ultra-thin ceramic green sheet having a thickness of 1 μm or less, has no risk of generating defects such as pinholes, and suppresses transfer of a silicone component to the ceramic green sheet.SOLUTION: A release film for manufacturing a ceramic green sheet contains a biaxially oriented polyester film as a base material. The base material has, on at least one surface thereof, a surface layer A containing essentially no inorganic particles. A release layer is laminated directly or across another layer over a surface of the surface layer A on the at least one surface. The release layer is obtained by curing a composition including at least a release agent and a melamine-based compound. The release agent is a polyorganosiloxane comprising a carboxyl group. The content ratio of the melamine-based compound is at least 80 mass% based on the solid content of the composition forming the release layer.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、セラミックグリーンシート製造用離型フィルムに関するものであり、更に詳しくは超薄層のセラミックグリーンシート製造時にピンホール及び厚みムラによる工程不良の発生を抑制でき、離型層中のシリコーン成分が製造されるセラミックグリーンシートへ移行することを抑制することができる、超薄層のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムに関するものである。 The present invention relates to a release film for producing a ceramic green sheet, and more specifically, it is possible to suppress the occurrence of process defects due to pinholes and uneven thickness during the production of an ultrathin layer ceramic green sheet, and the silicone component in the release layer. The present invention relates to an ultrathin layer release film for producing a ceramic green sheet, which is capable of suppressing the shift to the ceramic green sheet produced.

従来ポリエステルフィルムを基材とし、その上に離型層を積層した離型フィルムは、積層セラミックコンデンサ、セラミック基板等のセラミックグリーンシート成型用に使用されている。近年、積層セラミックコンデンサの小型化・大容量化に伴い、セラミックグリーンシートの厚みも薄膜化する傾向にある。セラミックグリーンシートは、離型フィルムに、チタン酸バリウムなどのセラミック成分とバインダー樹脂を含有したスラリーを塗工し乾燥することで成型される。成型したセラミックグリーンシートに電極を印刷し離型フィルムから剥離したのち、セラミックグリーンシートを積層、プレスし、焼成、外部電極を塗布することで積層セラミックコンデンサが製造される。ポリエステルフィルムの離型層表面にセラミックグリーンシートを成型する場合、離型層表面の微小な突起が成型したセラミックグリーンシートに影響を与え、ハジキやピンホール等の欠点を生じやすくなるといった問題点があった。そのため、優れた平坦性を有する離型層表面を実現するための手法が種々開発されてきた(例えば、特許文献1、2参照)。 Conventionally, a release film having a polyester film as a base material and a release layer laminated thereon has been used for molding a ceramic green sheet such as a laminated ceramic capacitor or a ceramic substrate. In recent years, along with the miniaturization and large capacity of monolithic ceramic capacitors, the thickness of ceramic green sheets tends to be reduced. The ceramic green sheet is formed by coating a release film with a slurry containing a ceramic component such as barium titanate and a binder resin and drying the slurry. An electrode is printed on the molded ceramic green sheet and peeled off from the release film, and then the ceramic green sheet is laminated, pressed, fired, and coated with an external electrode to manufacture a laminated ceramic capacitor. When molding the ceramic green sheet on the surface of the release layer of the polyester film, there is a problem that minute protrusions on the surface of the release layer affect the molded ceramic green sheet, and defects such as cissing and pinholes are likely to occur. there were. Therefore, various methods have been developed to realize a release layer surface having excellent flatness (see, for example, Patent Documents 1 and 2).

しかしながら近年、さらなるセラミックグリーンシートの薄膜化が進み、1.0μm以下、特に0.2μm〜1.0μmの厚みのセラミックグリーンシートが要求されるようになってきた。薄膜化が進むとセラミックグリーンシートの強度が低下するため、離型層表面の平滑化だけではなく、セラミックグリーンシートを離型フィルムから剥離するときの剥離力を低くかつ均一にすることが要求されるようになってきた。つまり、離型フィルムからセラミックグリーンシートを剥離するときにセラミックグリーンシートにかかる力を極力少なくし、セラミックグリーンシートにダメージを与えないようにすることがより重要になってきている。 However, in recent years, the thickness of the ceramic green sheet has been further reduced, and a ceramic green sheet having a thickness of 1.0 μm or less, particularly 0.2 μm to 1.0 μm has been required. Since the strength of the ceramic green sheet decreases as the film becomes thinner, it is required not only to smooth the surface of the release layer but also to make the release force of the ceramic green sheet low and uniform when peeling it from the release film. Is coming. That is, it is becoming more important to minimize the force applied to the ceramic green sheet when peeling the ceramic green sheet from the release film so as not to damage the ceramic green sheet.

また、離型層中のシリコーン成分は、製造されるセラミックグリーンシートにおける離型層と接触した面に容易に転移することがある。シリコーンが転移した面は滑り性が生じ、接着性が低下する。このようなシリコーン成分の転移しやすい離型フィルムでセラミックグリーンシートを製造し、さらに当該セラミックグリーンシートを用いて積層セラミック製品を製造すると、積層されたセラミックグリーンシート同士に圧力がかけられたときに、積層セラミック製品の層間において面方向のズレが発生する場合がある。このようなズレが生じると、得られる積層セラミック製品において電極等の位置精度が低下し、積層セラミック製品の製品性能が得られなくなる。このため、セラミックグリーンシートへのシリコーン成分の転移の少ない離型フィルムが求められている。 In addition, the silicone component in the release layer may easily transfer to the surface of the manufactured ceramic green sheet that is in contact with the release layer. The surface to which the silicone is transferred becomes slippery and the adhesiveness is reduced. When a ceramic green sheet is manufactured from a release film in which a silicone component is easily transferred, and a laminated ceramic product is manufactured using the ceramic green sheet, when pressure is applied to the laminated ceramic green sheets, In some cases, a deviation in the surface direction may occur between the layers of the laminated ceramic product. When such a deviation occurs, the positional accuracy of the electrodes and the like in the obtained laminated ceramic product deteriorates, and the product performance of the laminated ceramic product cannot be obtained. For this reason, there is a demand for a release film with less silicone component transfer to the ceramic green sheet.

そこで、1分子中に少なくとも1個のヒドロキシル基を有するポリオルガノシロキサンと、ヒドロキシル基と反応するメラミン系樹脂とを使用することにより、シリコーン移行量の少ない離型フィルムが提案されている(例えば、特許文献3参照)。しかし、移行量は少なくなるものの、ポリオルガノシロキサンのヒドロキシル基が乾燥工程でメラミン系樹脂と強い相互作用を示すため、最終的にできる離型層表面にシリコーンが出にくくなるため、セラミックグリーンシートの剥離力が高くなり、セラミックグリーンシートにダメージを与える場合があった。 Therefore, by using a polyorganosiloxane having at least one hydroxyl group in one molecule and a melamine-based resin that reacts with the hydroxyl group, a release film having a small amount of transferred silicone has been proposed (for example, See Patent Document 3). However, although the transfer amount is small, since the hydroxyl group of the polyorganosiloxane has a strong interaction with the melamine-based resin in the drying step, it is difficult for silicone to appear on the surface of the release layer, which is finally formed. In some cases, the peeling force was increased and the ceramic green sheet was damaged.

特開2000−117899号公報JP 2000-117899 A 国際公開第2013/145864号International Publication No. 2013/145864 特開2017−007227号公報JP, 2017-007227, A

本発明は、かかる従来技術の課題を背景になされたものである。すなわち、離型フィルムの離型層表面の高い平滑性を維持し、剥離力が低く均一であるため厚みが1μm以下の超薄層品でも欠陥が少なくセラミックグリーンシートを成型でき、かつセラミックグリーンシートへのシリコーン成分の移行が抑制されたセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを提供しようとするものである。 The present invention has been made against the background of the problems of the related art. That is, since the surface of the release layer of the release film maintains high smoothness, and the peeling force is low and uniform, even an ultrathin layer product having a thickness of 1 μm or less can be formed into a ceramic green sheet with few defects, and the ceramic green sheet can be formed. An object of the present invention is to provide a release film for producing a ceramic green sheet in which migration of a silicone component to the is suppressed.

本発明者らは上記課題を解決するために鋭意検討した結果、ポリエステルフィルムを用い、少なくとも片面に離型層を設け、離型層に少なくともメラミン系化合物とカルボキシル基を含有したポリオルガノシロキサンを含有する組成物を硬化させた構成にすることでセラミックグリーンシートへのシリコーン成分の移行を抑制でき、剥離性に優れたセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを提供できることを見出した。 As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors have used a polyester film and provided a release layer on at least one side, and the release layer contains a polyorganosiloxane containing at least a melamine compound and a carboxyl group. It has been found that a cured composition of the composition can suppress the migration of the silicone component to the ceramic green sheet and can provide a release film for producing a ceramic green sheet having excellent releasability.

即ち、本発明は以下の構成よりなる。
1. 二軸配向ポリエステルフィルムを基材とし、前記基材が少なくとも片面に無機粒子を実質的に含有していない表面層Aを有し、少なくとも片面の表面層Aの表面上に直接又は他の層を介して離型層が積層されており、前記離型層が少なくとも離型剤とメラミン系化合物を含む組成物が硬化されてなるものであり、離型剤がカルボキシル基を含有したポリオルガノシロキサンであり、かつメラミン系化合物の含有率が前記離型層形成用組成物の固形分に対し80質量%以上であるセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
2. 基材の片面に無機粒子を実質的に含有していない表面層Aを有し、基材の前記表面層Aとは反対側に表面層Bを有し、表面層Bが粒子を含有し、前記粒子の少なくとも一部がシリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子であり、表面層Bの質量に対する粒子の合計含有率が5000〜15000ppmである上記第1に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
3. 前記離型フィルムの離型層の領域表面平均粗さ(Sa)が7nm以下であり、かつ、最大突起高さ(P)が100nm以下である上記第1または第2に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
4. 上記第1〜第3のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを用いてセラミックグリーンシートを成型するセラミックグリーンシートの製造方法であって、成型されたセラミックグリーンシートが0.2μm〜1.0μmの厚みを有するセラミックグリーンシートの製造方法。
5. 上記第4に記載のセラミックグリーンシートの製造方法を採用するセラミックコンデンサの製造方法。
That is, the present invention has the following configurations.
1. A biaxially oriented polyester film is used as a base material, and the base material has a surface layer A which does not substantially contain inorganic particles on at least one surface thereof, and at least one surface of the surface layer A is provided directly or with another layer. The release layer is laminated via, the release layer is obtained by curing a composition containing at least a release agent and a melamine compound, the release agent is a polyorganosiloxane containing a carboxyl group. And a release film for producing a ceramic green sheet, in which the content of the melamine compound is 80% by mass or more based on the solid content of the composition for forming the release layer.
2. The surface layer A having substantially no inorganic particles on one surface of the base material, the surface layer B on the opposite side of the base material from the surface layer A, and the surface layer B containing particles, At least a part of the particles are silica particles and/or calcium carbonate particles, and the total content of the particles with respect to the mass of the surface layer B is 5000 to 15000 ppm.
3. 3. The ceramic green sheet production according to the above 1 or 2, wherein the release surface of the release film has a surface area average roughness (Sa) of 7 nm or less and a maximum protrusion height (P) of 100 nm or less. Release film for.
4. A ceramic green sheet manufacturing method for molding a ceramic green sheet using the release film for manufacturing a ceramic green sheet according to any one of the first to third aspects, wherein the molded ceramic green sheet is 0.2 μm A method for manufacturing a ceramic green sheet having a thickness of 1.0 μm.
5. A method of manufacturing a ceramic capacitor, which employs the method of manufacturing a ceramic green sheet according to the fourth aspect.

本発明の超薄層のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムは、離型層の表面が平滑であり、従来のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムと比較してセラミックグリーンシート製造時にピンホール及び厚みムラによる工程不良の発生を抑制でき、かつ離型層中のシリコーン成分のセラミックグリーンシートへの移行の少なく、0.2〜1.0μmの超薄層のセラミックグリーンシートを好適に製造することができるものである。 The release film for producing a ceramic green sheet of the ultra-thin layer of the present invention has a smooth release layer surface, and has a pinhole and a thickness at the time of producing a ceramic green sheet as compared with a release film for producing a conventional ceramic green sheet. It is possible to suitably produce an ultra-thin ceramic green sheet having a thickness of 0.2 to 1.0 μm, which is capable of suppressing the occurrence of process defects due to unevenness and has less migration of the silicone component in the release layer to the ceramic green sheet. It is possible.

以下、本発明について詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail.

本発明の超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムは、二軸配向ポリエステルフィルムの少なくとも片面に実質的に無機粒子を含有しない表面層Aを有しており、表面層A上には、直接もしくは他の層を介して少なくともメラミン系化合物とカルボキシル基を含有したポリオルガノシロキサンを含む組成物を硬化させてなる離型層が積層されていることが好ましい。 The release film for producing an ultrathin layer ceramic green sheet of the present invention has a surface layer A containing substantially no inorganic particles on at least one surface of a biaxially oriented polyester film, and the surface layer A is directly attached to the surface layer A. Alternatively, it is preferable that a release layer formed by curing a composition containing at least a melamine compound and a polyorganosiloxane containing a carboxyl group is laminated via another layer.

(ポリエステルフィルム)
本発明において基材として用いる二軸配向ポリエステルフィルムを構成するポリエステルは、特に限定されず、離型フィルム用基材として通常一般に使用されているポリエステルをフィルム成形したものを使用することが出来るが、好ましくは、芳香族二塩基酸成分とジオール成分からなる結晶性の線状飽和ポリエステルであるのが良く、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン−2,6−ナフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリトリメチレンテレフタレート又はこれらの樹脂の構成成分を主成分とする共重合体がさらに好適であり、とりわけポリエチレンテレフタレートから形成されたポリエステルフィルムが特に好適である。ポリエチレンテレフタレートは、エチレンテレフタレートの繰り返し単位が好ましくは90モル%以上、より好ましくは95モル%以上であり、他のジカルボン酸成分、ジオール成分が少量共重合されていてもよいが、コストの点から、テレフタル酸とエチレングリコールのみから製造されたものが好ましい。また、本発明のフィルムの効果を阻害しない範囲内で、公知の添加剤、例えば、酸化防止剤、光安定剤、紫外線吸収剤、結晶化剤などを添加してもよい。ポリエステルフィルムは双方向の弾性率の高さ等の理由から二軸配向ポリエステルフィルムであることが好ましい。
(Polyester film)
The polyester constituting the biaxially oriented polyester film used as the substrate in the present invention is not particularly limited, and it is possible to use a film-molded polyester that is generally commonly used as a release film substrate. A crystalline linear saturated polyester composed of an aromatic dibasic acid component and a diol component is preferable, and examples thereof include polyethylene terephthalate, polyethylene-2,6-naphthalate, polybutylene terephthalate, polytrimethylene terephthalate, and these. A copolymer containing the resin component as a main component is more preferable, and a polyester film formed of polyethylene terephthalate is particularly preferable. Polyethylene terephthalate has a repeating unit of ethylene terephthalate of preferably 90 mol% or more, more preferably 95 mol% or more, and a small amount of other dicarboxylic acid component and diol component may be copolymerized, but from the viewpoint of cost. Those produced only from terephthalic acid and ethylene glycol are preferable. Further, known additives such as antioxidants, light stabilizers, ultraviolet absorbers and crystallization agents may be added within the range that does not impair the effects of the film of the present invention. The polyester film is preferably a biaxially oriented polyester film for reasons such as high bidirectional elastic modulus.

上記ポリエチレンテレフタレートフィルムの固有粘度は0.50〜0.70dl/gが好ましく、0.52〜0.62dl/gがより好ましい。固有粘度が0.50dl/g以上の場合、延伸工程で破断が多く発生することがなく好ましい。逆に、0.70dl/g以下の場合、所定の製品幅に裁断するときの裁断性が良く、寸法不良が発生しないので好ましい。また、原料ペレットは十分に真空乾燥することが好ましい。 The intrinsic viscosity of the polyethylene terephthalate film is preferably 0.50 to 0.70 dl/g, more preferably 0.52 to 0.62 dl/g. When the intrinsic viscosity is 0.50 dl/g or more, many breaks do not occur in the stretching step, which is preferable. On the contrary, when it is 0.70 dl/g or less, the cutting property when cutting to a predetermined product width is good, and dimensional defects do not occur, which is preferable. Further, it is preferable that the raw material pellets be sufficiently vacuum dried.

本発明における二軸配向ポリエステルフィルムの製造方法は特に限定されず、従来一般に用いられている方法を用いることが出来る。例えば、前記ポリエステルを押出機にて溶融して、フィルム状に押出し、回転冷却ドラムにて冷却することにより未延伸フィルムを得て、該未延伸フィルムを二軸延伸することにより得ることが出来る。二軸延伸フィルムは、縦方向あるいは横方向の一軸延伸フィルムを横方向または縦方向に逐次二軸延伸する方法、或いは未延伸フィルムを縦方向と横方向に同時二軸延伸する方法で得ることが出来る。 The method for producing the biaxially oriented polyester film in the present invention is not particularly limited, and a method generally used conventionally can be used. For example, the polyester can be obtained by melting the polyester with an extruder, extruding it into a film, cooling it with a rotary cooling drum to obtain an unstretched film, and biaxially stretching the unstretched film. The biaxially stretched film can be obtained by a method of sequentially biaxially stretching a longitudinally or transversely uniaxially stretched film in the transverse direction or the longitudinal direction, or a method of simultaneously biaxially stretching an unstretched film in the longitudinal and transverse directions. I can.

本発明において、ポリエステルフィルム延伸時の延伸温度はポリエステルの二次転移点(Tg)以上とすることが好ましい。縦、横おのおのの方向に1〜8倍、特に2〜6倍の延伸をすることが好ましい。 In the present invention, the stretching temperature at the time of stretching the polyester film is preferably at least the second-order transition point (Tg) of the polyester. It is preferable to stretch 1 to 8 times, particularly 2 to 6 times in each of the longitudinal and transverse directions.

上記ポリエステルフィルムは、厚みが12〜50μmであることが好ましく、さらに好ましくは15〜38μmであり、より好ましくは、19μm〜33μmである。フィルムの厚みが12μm以上であれば、フィルム生産時や離型層の加工工程、セラミックグリーンシートなどの成型の時に、熱により変形するおそれがなく好ましい。一方、フィルムの厚みが50μm以下であれば、使用後に廃棄するフィルムの量が極度に多くならず、環境負荷を小さくする上で好ましい。 The polyester film preferably has a thickness of 12 to 50 μm, more preferably 15 to 38 μm, and still more preferably 19 μm to 33 μm. When the thickness of the film is 12 μm or more, there is no fear of being deformed by heat during the film production, the release layer processing step, or the molding of the ceramic green sheet, which is preferable. On the other hand, when the thickness of the film is 50 μm or less, the amount of the film discarded after use is not extremely large, which is preferable in reducing the environmental load.

上記二軸配向ポリエステルフィルム基材は、単層であっても2層以上の多層であっても構わないが、少なくとも片面には実質的に無機粒子を含まない表面層Aを有することが好ましい。2層以上の多層構成からなる積層ポリエステルフィルムの場合は、実質的に無機粒子を含有しない表面層Aの反対面には、粒子などを含有することができる表面層Bを有することが好ましい。積層構成としては、離型層を塗布する側の層を表面層A、その反対面の層を表面層B、これら以外の芯層を層Cとすると、厚み方向の層構成は離型層/A/B、あるいは離型層/A/C/B等の積層構造が挙げられる。当然ながら層Cは複数の層構成であっても構わない。また、表面層Bには粒子を含まないこともできる。その場合、フィルムをロール状に巻き取るための滑り性付与するため、表面層B上には粒子とバインダーを含んだコート層を設けることが好ましい。 The biaxially oriented polyester film substrate may be a single layer or a multilayer having two or more layers, but it is preferable that at least one surface thereof has a surface layer A substantially containing no inorganic particles. In the case of a laminated polyester film having a multilayer structure of two or more layers, it is preferable to have a surface layer B capable of containing particles or the like on the opposite surface of the surface layer A substantially containing no inorganic particles. As for the laminated structure, when the layer on the side where the release layer is applied is the surface layer A, the layer on the opposite side is the surface layer B, and the core layer other than these is the layer C, the layer structure in the thickness direction is a release layer/ A layered structure of A/B or release layer/A/C/B may be used. Of course, the layer C may have a plurality of layer configurations. Further, the surface layer B may not contain particles. In that case, it is preferable to provide a coat layer containing particles and a binder on the surface layer B in order to impart a slip property for winding the film into a roll.

本発明における二軸配向ポリエステルフィルム基材において、離型層を塗布する面を形成する表面層Aは、実質的に無機粒子を含有しないことが好ましい。このとき、表面層Aの領域表面平均粗さ(Sa)は、7nm以下が好ましい。Saが7nm以下であると、積層する超薄層セラミックグリーンシートの成型時にピンホールなどの発生が起こりにくく好ましい。表面層Aの領域表面平均粗さ(Sa)は小さいほど好ましいと言えるが、0.1nm以上であって構わない。ここで、表面層A上に後述のアンカーコート層などを設ける場合は、コート層に実質的に無機粒子を含まないことが好ましく、コート層積層後の領域表面平均粗さ(Sa)が前記範囲に入ることが好ましい。本発明において、「無機粒子を実質的に含有しない」とは、ケイ光X線分析で無機元素を定量した場合に50ppm以下、好ましくは10ppm以下、最も好ましくは検出限界以下となる含有量を意味する。これは積極的に無機粒子をフィルム中に添加させなくても、外来異物由来のコンタミ成分や、原料樹脂あるいはフィルムの製造工程におけるラインや装置に付着した汚れが剥離して、フィルム中に混入する場合があるためである。 In the biaxially oriented polyester film substrate of the present invention, it is preferable that the surface layer A forming the surface on which the release layer is applied does not substantially contain inorganic particles. At this time, the area surface average roughness (Sa) of the surface layer A is preferably 7 nm or less. When Sa is 7 nm or less, pinholes and the like are less likely to occur during the formation of the super thin ceramic green sheets to be laminated, which is preferable. It can be said that the smaller the area surface average roughness (Sa) of the surface layer A, the more preferable, but it may be 0.1 nm or more. Here, when an anchor coat layer described below is provided on the surface layer A, it is preferable that the coat layer does not substantially contain inorganic particles, and the area surface average roughness (Sa) after laminating the coat layer is within the above range. It is preferable to enter. In the present invention, “substantially free of inorganic particles” means a content of 50 ppm or less, preferably 10 ppm or less, most preferably the detection limit or less when the inorganic element is quantified by fluorescent X-ray analysis. To do. This is because contaminants derived from foreign substances and stains adhering to the raw material resin or the line or equipment in the manufacturing process of the film are peeled off and mixed into the film without actively adding inorganic particles to the film. This is because there are cases.

本発明における二軸配向ポリエステルフィルム基材において、離型層を塗布する面の反対面を形成する表面層Bは、フィルムの滑り性や空気の抜けやすさの観点から、粒子を含有することが好ましく、特にシリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子を用いることが好ましい。含有される粒子含有量は、表面層B中に粒子の合計で5000〜15000ppm含有することが好ましい。このとき、表面層Bのフィルムの領域表面平均粗さ(Sa)は、1〜40nmの範囲であることが好ましい。より好ましくは、5〜35nmの範囲である。シリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子の合計が5000ppm以上、Saが1nm以上の場合には、フィルムをロール状に巻き上げるときに、空気を均一に逃がすことができ、巻き姿が良好で平面性良好により、超薄層セラミックグリーンシートの製造に好適なものとなる。また、シリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子の合計が15000ppm以下、Saが40nm以下の場合には、滑剤の凝集が生じにくく、粗大突起ができないため、超薄層のセラミックグリーンシート製造時に品質が安定し好ましい。 In the biaxially oriented polyester film substrate of the present invention, the surface layer B forming the surface opposite to the surface on which the release layer is applied may contain particles from the viewpoint of the slipperiness of the film and the ease of air escape. It is preferable to use silica particles and/or calcium carbonate particles. The content of particles contained in the surface layer B is preferably 5000 to 15000 ppm in total. At this time, the area average surface roughness (Sa) of the film of the surface layer B is preferably in the range of 1 to 40 nm. More preferably, it is in the range of 5 to 35 nm. When the total amount of silica particles and/or calcium carbonate particles is 5000 ppm or more and Sa is 1 nm or more, when the film is wound into a roll, air can be uniformly released, and the winding shape is good and the flatness is good. , Which is suitable for manufacturing an ultra thin ceramic green sheet. Further, when the total amount of silica particles and/or calcium carbonate particles is 15000 ppm or less and Sa is 40 nm or less, aggregation of the lubricant is difficult to occur and coarse protrusions cannot be formed, so that the quality of the ceramic green sheet of an ultra-thin layer is stable. Is preferable.

上記表面層Bに含有する粒子としては、シリカ及び/又は炭酸カルシウム以外に不活性な無機粒子及び/又は耐熱性有機粒子などを用いることができる。透明性やコストの観点からシリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子を用いることがより好ましいが、他に使用できる無機粒子としては、アルミナ−シリカ複合酸化物粒子、ヒドロキシアパタイト粒子などが挙げられる。また、耐熱性有機粒子としては、架橋ポリアクリル系粒子、架橋ポリスチレン粒子、ベンゾグアナミン系粒子などが挙げられる。またシリカ粒子を用いる場合、多孔質のコロイダルシリカが好ましく、炭酸カルシウム粒子を用いる場合は、ポリアクリル酸系の高分子化合物で表面処理を施した軽質炭酸カルシウムが、滑剤の脱落防止の観点から好ましい。 As the particles contained in the surface layer B, inert inorganic particles and/or heat resistant organic particles other than silica and/or calcium carbonate can be used. It is more preferable to use silica particles and/or calcium carbonate particles from the viewpoint of transparency and cost, but examples of other inorganic particles that can be used include alumina-silica composite oxide particles and hydroxyapatite particles. Examples of the heat resistant organic particles include crosslinked polyacrylic particles, crosslinked polystyrene particles and benzoguanamine particles. Further, when silica particles are used, porous colloidal silica is preferable, and when calcium carbonate particles are used, light calcium carbonate surface-treated with a polyacrylic acid-based polymer compound is preferable from the viewpoint of preventing slipping of the lubricant. ..

上記表面層Bに添加する粒子の平均粒子径は、0.1μm以上2.0μm以下が好ましく、0.5μm以上1.0μm以下が特に好ましい。粒子の平均粒子径が0.1μm以上であれば、離型フィルムの滑り性が良好であり好ましい。また、平均粒子径が2.0μm以下であれば、離型層表面の粗大粒子によるセラミックグリーンシートにピンホールが発生するおそれがなく好ましい。 The average particle diameter of the particles added to the surface layer B is preferably 0.1 μm or more and 2.0 μm or less, and particularly preferably 0.5 μm or more and 1.0 μm or less. When the average particle size of the particles is 0.1 μm or more, the slipperiness of the release film is good, which is preferable. Further, when the average particle diameter is 2.0 μm or less, there is no possibility that pinholes are generated in the ceramic green sheet due to the coarse particles on the surface of the release layer, which is preferable.

上記表面層Bには素材の異なる粒子を2種類以上含有させてもよい。また、同種の粒子で平均粒径の異なるものを含有させてもよい。 The surface layer B may contain two or more kinds of particles made of different materials. Further, particles of the same kind but different in average particle diameter may be contained.

表面層Bに粒子を含まない場合は、表面層B上に粒子を含んだコート層で易滑性を持たせることが好ましい。本コート層は、特に限定されないが、ポリエステルフィルムの製膜中に塗工するインラインコートで設けることが好ましい。表面層Bに粒子を含まず、表面層B上に粒子を含むコート層を有する場合、コート層の表面は、上述の表面層Bの領域表面平均粗さ(Sa)と同様の理由により、領域表面平均粗さ(Sa)が1〜40nmの範囲であることが好ましい。より好ましくは、5〜35nmの範囲である。 When the surface layer B does not contain particles, it is preferable that the surface layer B has a coat layer containing particles to provide slipperiness. The present coating layer is not particularly limited, but it is preferable to provide it by in-line coating which is applied during the formation of the polyester film. In the case where the surface layer B does not contain particles and the surface layer B has a coat layer containing particles, the surface of the coat layer has the same area surface roughness (Sa) of the surface layer B as described above. The surface average roughness (Sa) is preferably in the range of 1 to 40 nm. More preferably, it is in the range of 5 to 35 nm.

上記離型層を設ける側の層である表面層Aには、ピンホール低減の観点から、滑剤などの粒子の混入を防ぐため、再生原料などを使用しないことが好ましい。 From the viewpoint of pinhole reduction, it is preferable not to use recycled raw materials or the like in the surface layer A, which is the layer on the side where the release layer is provided, in order to prevent particles such as a lubricant from being mixed.

上記離型層を設ける側の層である表面層Aの厚み比率は、基材フィルムの全層厚みの20%以上50%以下であることが好ましい。20%以上であれば、表面層Bなどに含まれる粒子の影響をフィルム内部から受けづらく、領域表面平均粗さSaが上記の範囲を満足することが容易であり好ましい。基材フィルムの全層の厚みの50%以下であると、表面層Bにおける再生原料の使用比率を増やすことができ、環境負荷が小さくなり好ましい。 The thickness ratio of the surface layer A, which is the layer on the side where the release layer is provided, is preferably 20% or more and 50% or less of the total layer thickness of the base film. When it is 20% or more, the influence of the particles contained in the surface layer B or the like is not easily received from the inside of the film, and the area surface average roughness Sa easily satisfies the above range, which is preferable. When the thickness is 50% or less of the total thickness of the base film, the use ratio of the recycled raw material in the surface layer B can be increased, and the environmental load is reduced, which is preferable.

また、経済性の観点から上記表面層A以外の層(表面層Bもしくは前述の中間層C)には、50〜90質量%のフィルム屑やペットボトルの再生原料を使用することができる。この場合でも、表面層Bに含まれる滑剤の種類や量、粒径ならびに領域表面平均粗さ(Sa)は、上記の範囲を満足することが好ましい。 Further, from the viewpoint of economic efficiency, 50 to 90% by mass of film scraps and recycled materials of PET bottles can be used for the layers other than the surface layer A (surface layer B or the above-mentioned intermediate layer C). Even in this case, it is preferable that the type and amount of the lubricant contained in the surface layer B, the particle size, and the area surface average roughness (Sa) satisfy the above ranges.

また、後に塗布する離型層などの密着性を向上させたり、帯電を防止するなどのために表面層A及び/または表面層Bの表面に製膜工程内の延伸前または一軸延伸後のフィルムにコート層を設けてもよく、コロナ処理などを施すこともできる。 In addition, the film before or after the uniaxial stretching in the film forming step on the surface of the surface layer A and/or the surface layer B in order to improve adhesion of a release layer or the like to be applied later or to prevent charging. May be provided with a coat layer, or may be subjected to corona treatment or the like.

(離型層の構造)
本発明における離型層には、少なくともメラミン系化合物とカルボキシル基を含有したポリオルガノシロキサンを含む組成物が硬化されてなることが好ましい。本発明の効果を損なわない範囲で、前記樹脂や添加剤以外にも他の成分を添加することができる。
(Structure of release layer)
The release layer in the present invention is preferably formed by curing a composition containing at least a melamine compound and a polyorganosiloxane containing a carboxyl group. Other components can be added in addition to the resin and the additive as long as the effects of the present invention are not impaired.

本発明における離型層に用いるメラミン系化合物としては、一般的なものを使用でき特に限定されないが、メラミンとホルムアルデヒドを縮合して得られ、1分子中にトリアジン環、及びメチロール基及び/又はアルコキシメチル基をそれぞれ1つ以上有していることが好ましい。具体的には、メラミンとホルムアルデヒドを縮合して得られるメチロールメラミン誘導体に、低級アルコールとしてメチルアルコール、エチルアルコール、イソプロピルアルコール、ブチルアルコール等を脱水縮合反応させてエーテル化した化合物などが好ましい。メチロール化メラミン誘導体としては、例えばモノメチロールメラミン、ジメチロールメラミン、トリメチロールメラミン、テトラメチロールメラミン、ペンタメチロールメラミン、ヘキサメチロールメラミンを挙げることができる。1種類を用いても2種類以上も用いても構わない。 As the melamine-based compound used in the release layer in the present invention, general compounds can be used and are not particularly limited, but are obtained by condensing melamine and formaldehyde, and are obtained in one molecule by a triazine ring, and a methylol group and/or an alkoxy. It is preferable to have one or more methyl groups each. Specifically, a compound obtained by etherifying a methylolmelamine derivative obtained by condensing melamine and formaldehyde with a lower alcohol such as methyl alcohol, ethyl alcohol, isopropyl alcohol or butyl alcohol by dehydration condensation reaction is preferable. Examples of the methylolated melamine derivative include monomethylolmelamine, dimethylolmelamine, trimethylolmelamine, tetramethylolmelamine, pentamethylolmelamine, and hexamethylolmelamine. One kind may be used or two or more kinds may be used.

本発明における離型層は、剥離時に生じる離型層の変型を抑制し、剥離力を低く均一にするために架橋密度が高く高弾性率にすることが好ましい。そのため、1分子中により多くの架橋点をもつヘキサメチロールメラミンやヘキサアルコキシメチルメラミンを用いることが好ましいが、反応性により優れるヘキサアルコキシメチルメラミンがより好ましく、特にヘキサメトキシメチルメラミンを用いることが好ましい。この時、ヘキサメチロールメラミンとは、下記式(a)中、Xがメチロール基(−CH−OH)であるものである。ヘキサアルコキシメチルメラミンとは、メチロールメラミン誘導体にアルコールを用いて脱水縮合反応させたものであり、Xが(−CH−OR、Rは炭素数1〜4のアルキル基)であるものである。ヘキサメトキシメチルメラミンとは、Xが(−CH−OMe)であるものである。 The release layer in the present invention preferably has a high crosslink density and a high elastic modulus in order to suppress deformation of the release layer that occurs during peeling and to make the peeling force low and uniform. Therefore, it is preferable to use hexamethylolmelamine or hexaalkoxymethylmelamine having more cross-linking points in one molecule, but hexaalkoxymethylmelamine which is more excellent in reactivity is more preferable, and hexamethoxymethylmelamine is particularly preferable. At this time, the hexamethylolmelamine is one in which X is a methylol group (—CH 2 —OH) in the following formula (a). The hexa-alkoxymethyl melamine, which was allowed to dehydration condensation reaction with an alcohol to methylol melamine derivative, X is (-CH 2 -OR, R is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms) are those wherein. The hexamethoxymethylmelamine are those wherein X is (-CH 2 -OMe).

上記(a)中のXはそれぞれ同じであってもよいし、異なっていても良い。また上記Rは、それぞれ同じであっても良く、異なっていても良い。また、Xは(−H)でも良い。 The X's in (a) above may be the same or different. Further, the above Rs may be the same or different. Further, X may be (-H).

本発明における離型層に用いるメラミン系化合物において、重量平均分子量が250以上、1000以下であることが好ましい。より好ましくは、重量平均分子量が250以上、900以下、更に好ましくは300以上、800以下である。重量平均分子量が1000以下であれば、架橋反応が進行しやすく、より架橋密度の高い膜が形成でき、剥離力を軽くすることができるため好ましい。重量平均分子量が250以上であれば、架橋密度が過剰に高くなりすぎずカールが悪化しないため好ましい。なお、本明細書における重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により測定した標準ポリスチレン換算の値である。 The weight average molecular weight of the melamine compound used in the release layer of the present invention is preferably 250 or more and 1000 or less. The weight average molecular weight is more preferably 250 or more and 900 or less, still more preferably 300 or more and 800 or less. When the weight average molecular weight is 1,000 or less, the crosslinking reaction easily proceeds, a film having a higher crosslinking density can be formed, and the peeling force can be reduced, which is preferable. When the weight average molecular weight is 250 or more, the crosslinking density becomes excessively high and the curl does not deteriorate, which is preferable. In addition, the weight average molecular weight in this specification is the value of standard polystyrene conversion measured by the gel permeation chromatography (GPC) method.

メラミン系化合物の重量平均分子量が250〜1000であるということは、本発明において用いるメラミン系化合物には単核体が多く含まれていることを意味する。単核体は、2個以上のメラミン誘導体が縮合してなる多核体よりも架橋点が多く反応性に優れるため、架橋密度が高く剥離性に優れる離型層とすることができる。単核体の含有量は多いほど好ましく、単核体のみからなるメラミン系化合物を用いることが最も好ましい。 The weight average molecular weight of the melamine-based compound being 250 to 1000 means that the melamine-based compound used in the present invention contains a large amount of mononuclear bodies. Since the mononuclear body has more crosslinking points and is more reactive than the polynuclear body formed by condensing two or more melamine derivatives, it can be a release layer having a high crosslinking density and excellent releasability. The higher the content of the mononuclear body, the more preferable, and it is most preferable to use the melamine compound consisting of the mononuclear body alone.

重量平均分子量は重量平均重合度で表すこともできる。用いるメラミン系化合物の重量平均重合度は2.0以下であることが好ましく、1.5以下であることがより好ましく、小さいほど好適に用いることができる。重量平均重合度が2.0以下であると、メラミン系化合物に含まれる単核体の含有量が多くなり、反応性に優れ、剥離性に優れる離型層とすることができるため好ましい。なお、本明細書における重量平均重合度は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーによって標準ポリスチレン換算により求めた重量平均分子量に基づいて算出した値である。 The weight average molecular weight can also be represented by the weight average polymerization degree. The weight average degree of polymerization of the melamine-based compound used is preferably 2.0 or less, more preferably 1.5 or less, and the smaller the value, the more preferable it is. When the weight average degree of polymerization is 2.0 or less, the content of the mononuclear body contained in the melamine-based compound is increased, and the release layer having excellent reactivity and excellent releasability can be obtained, which is preferable. The weight average degree of polymerization in the present specification is a value calculated based on the weight average molecular weight obtained by gel permeation chromatography in terms of standard polystyrene.

メラミン系化合物はその合成過程において、イミノ基(−NH−)を含有するものや、多核体が混入することがある。これらメラミン誘導体が混合していても、メラミン系化合物の重量平均重合度が上記範囲内であれば反応性に優れ、それぞれ好適に用いることができる。 The melamine compound may contain an imino group (—NH 2 —) or a polynuclear body in the course of its synthesis. Even if these melamine derivatives are mixed, if the weight average polymerization degree of the melamine-based compound is within the above range, the reactivity is excellent and they can be suitably used.

本発明における離型層には、メラミン系化合物が離型層形成用組成物の固形分に対して、80質量%以上99.9質量%以下含まれることが好ましく、より好ましくは90質量%以上99.9質量%以下であり、さらに好ましくは95質量%以上99.9質量%以下である。メラミン系化合物を80質量%以上含むことで離型層がメラミン系化合物の自己架橋により、高い架橋密度を得ることができ、剥離時の離型層の変型を抑えることができる。このとき、離型層形成用組成物の固形分とは、溶媒や酸触媒は乾燥過程で相当部分蒸発してしまうため、実質的にメラミン系化合物の固形分と離型剤の固形分の合計した値とみなして差し支えない。 The release layer in the present invention preferably contains a melamine compound in an amount of 80% by mass or more and 99.9% by mass or less, and more preferably 90% by mass or more, based on the solid content of the composition for forming a releasing layer. It is 99.9 mass% or less, and more preferably 95 mass% or more and 99.9 mass% or less. By containing 80% by mass or more of the melamine-based compound, the release layer can obtain a high crosslinking density due to self-crosslinking of the melamine-based compound and can suppress the deformation of the release layer at the time of peeling. At this time, the solid content of the release layer-forming composition means that the solvent and the acid catalyst are evaporated in a considerable amount in the drying process, so that the solid content of the melamine-based compound and the solid content of the release agent are substantially the same. You can regard it as the value that you did.

本発明における離型層には、メラミン系化合物の架橋反応を促進するために酸触媒を添加することが好ましく、離型層形成用組成物に酸触媒を添加して塗布し、硬化させることが好ましい。用いる酸触媒としては、特に限定されず既存の酸触媒を使用することができるが、スルホン酸系触媒を用いることが好ましい。 In the release layer of the present invention, it is preferable to add an acid catalyst in order to accelerate the crosslinking reaction of the melamine-based compound, and it is possible to add the acid catalyst to the composition for forming the release layer and apply it to cure it. preferable. The acid catalyst used is not particularly limited, and an existing acid catalyst can be used, but it is preferable to use a sulfonic acid catalyst.

スルホン酸系触媒としては、例えば、p−トルエンスルホン酸、キシレンスルホン酸、クメンスルホン酸、ドデシルベンゼンスルホン酸、ジノニルナフタレンスルホン酸、トリフルオロメタンスルホン酸などを好適に使用することができるが、反応性の観点からp−トルエンスルホン酸が特に好適に使用することができる。 As the sulfonic acid catalyst, for example, p-toluene sulfonic acid, xylene sulfonic acid, cumene sulfonic acid, dodecylbenzene sulfonic acid, dinonylnaphthalene sulfonic acid, trifluoromethane sulfonic acid and the like can be preferably used. From the viewpoint of properties, p-toluenesulfonic acid can be particularly preferably used.

本発明において使用するスルホン酸系触媒は市販されているものを用いることもできる。市販品の例としては、ドライヤー(登録商標)900(p−トルエンスルホン酸、日立化成社製)、NACURE(登録商標) DNNDSAシリーズ(ジノニルナフタレンジスルホン酸、楠本化成社製)、同DNNSAシリーズ(ジノニルナフタレン(モノ)スルホン酸、楠本化成社製)、同DDBSAシリーズ(ドデシルベンゼンスルホン酸、楠本化成社製)、同p−TSAシリーズ(p−トルエンスルホン酸、楠本化成社製)などが挙げられる。 The sulfonic acid catalyst used in the present invention may be a commercially available one. Examples of commercially available products include a dryer (registered trademark) 900 (p-toluenesulfonic acid, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), NACURE (registered trademark) DNNDSA series (dinonylnaphthalenedisulfonic acid, manufactured by Kusumoto Kasei Co., Ltd.), and DNNSA series ( Examples include dinonylnaphthalene (mono) sulfonic acid, manufactured by Kusumoto Kasei Co., Ltd., DDBSA series (dodecylbenzene sulfonic acid, manufactured by Kusumoto Kasei Co., Ltd.), p-TSA series (p-toluene sulfonic acid, manufactured by Kusumoto Kasei Co., Ltd.) and the like. To be

スルホン酸系触媒は、カルボン酸系などの他の酸触媒と比較し酸性度が高く反応性に優れるため、より低温で離型層を加工することができる。そのため、加工時の熱によるフィルムの平面性の低下や、巻き外観の悪化を抑制することができるため好ましい。 Since the sulfonic acid-based catalyst has higher acidity and higher reactivity than other acid catalysts such as carboxylic acid-based catalysts, the release layer can be processed at a lower temperature. Therefore, the flatness of the film and the deterioration of the winding appearance due to heat during processing can be suppressed, which is preferable.

酸触媒の添加量は、離型層に含まれるメラミン系化合物に対して0.1〜10質量%であることが好ましい。より好ましくは、0.5〜8質量%である。さらに好ましくは0.5〜5質量%である。0.1質量%以上であると、硬化反応が進みやすくなり好ましい。一方10質量%以下であると成型するセラミックグリーンシートへ酸触媒が移行するおそれがなく、悪影響を及ぼすおそれがないことから好ましい。 The addition amount of the acid catalyst is preferably 0.1 to 10 mass% with respect to the melamine-based compound contained in the release layer. More preferably, it is 0.5 to 8 mass %. More preferably, it is 0.5 to 5 mass %. When the content is 0.1% by mass or more, the curing reaction easily proceeds, which is preferable. On the other hand, when the content is 10% by mass or less, there is no possibility that the acid catalyst will migrate to the ceramic green sheet to be molded, and there is no risk of adverse effects, which is preferable.

本発明における離型層に用いる離型剤(離型層の離型性を向上させる添加剤)としては、剥離性と移行量抑制両立の観点からカルボキシル基を含有したポリオルガノシロキサンを用いることが好ましい。ポリオルガノシロキサン構造の中でもポリジメチルシロキサン構造(略称、PDMS)を有するカルボキシル基を含有したポリオルガノシロキサンを好適に使用することができる。 As the release agent used in the release layer of the present invention (additive for improving the release property of the release layer), it is preferable to use a polyorganosiloxane containing a carboxyl group from the viewpoints of both release property and suppression of transfer amount. preferable. Among the polyorganosiloxane structures, a polyorganosiloxane containing a carboxyl group having a polydimethylsiloxane structure (abbreviation: PDMS) can be preferably used.

離型剤であるポリオルガノシロキサンがカルボキシル基を含有することで、離型剤が乾燥工程でメラミン系化合物と強い相互作用を示さず、離型層表面に配向しやすくなり、良好な剥離性が得られる。そのため、カルボキシル基を含有するポリオルガノシロキサンを用いることで、離型剤の添加量が少なくても剥離性を満足することができ好ましい。また、離型剤であるポリオルガノシロキサンがカルボキシル基を含有することは、メラミン系化合物と弱い相互作用を示すため、セラミックグリーンシートへの移行が起こりにくいことがわかっており好ましい。 Since the polyorganosiloxane that is the release agent contains a carboxyl group, the release agent does not show a strong interaction with the melamine-based compound in the drying step, is easily aligned on the surface of the release layer, and has good release properties. can get. Therefore, it is preferable to use a polyorganosiloxane containing a carboxyl group because the releasability can be satisfied even if the amount of the release agent added is small. Further, it is preferable that the polyorganosiloxane, which is a release agent, contains a carboxyl group, since it shows weak interaction with the melamine compound, and thus it is difficult to migrate to the ceramic green sheet.

カルボキシル基はポリオルガノシロキサンの片末端に導入されていてもよいし、両末端でも側鎖でも構わないが、片末端に導入したものの方が剥離性に優れるため好ましい。また、導入される位置は1つでもよいし、複数でも構わない。 The carboxyl group may be introduced at one end of the polyorganosiloxane, or may be at both ends or a side chain, but the one introduced at one end is preferable because of excellent releasability. Further, the introduction position may be one or plural.

カルボキシル基変性のポリオルガノシロキサンについては、ポリオルガノシロキサンのケイ素原子に直接カルボキシル基が結合したものであってもよいが、アルキル基又はアリール基を介してポリオルガノシロキサンにカルボキシル基が結合したものであってもよい。しかし、ポリエーテル、ポリエステル、ポリウレタン等の繰り返し構造を有する有機基を介してポリオルガノシロキサンにカルボキシル基が結合したものはあまり好ましくない。 The carboxyl group-modified polyorganosiloxane may be one in which a carboxyl group is directly bonded to the silicon atom of the polyorganosiloxane, or one in which a carboxyl group is bonded to the polyorganosiloxane through an alkyl group or an aryl group. It may be. However, those in which a carboxyl group is bonded to a polyorganosiloxane through an organic group having a repeating structure such as polyether, polyester, and polyurethane are not very preferable.

離型剤であるポリオルガノシロキサンに導入する官能基としては、1分子中にカルボキシル基以外の別の官能基を有してもよいが、カルボキシル基のみの方が好ましい。カルボキシル基以外の官能基を含むとメラミン系化合物との分子間相互作用が必要以上に増大し離型層表面へ配向しにくくなる恐れがあるため好ましくない。 The functional group to be introduced into the polyorganosiloxane as the release agent may have another functional group other than the carboxyl group in one molecule, but the carboxyl group alone is preferable. When a functional group other than the carboxyl group is contained, the intermolecular interaction with the melamine-based compound increases more than necessary and the orientation on the surface of the release layer becomes difficult, which is not preferable.

メラミン系化合物と強い相互作用を示すヒドロキシル基などで変性されたポリオルガノシロキサンは、乾燥工程でメラミン系化合物と迅速に反応するため、離型層表面に配向しにくく離型性が発現しにくい場合がある。そのため十分な離型性を持たせるために添加量を増やす必要があるが、その場合離型層の弾性率が低下し剥離時の離型層の変形が起こりやすくなり剥離力が高くなるおそれがある。また、ポリオルガノシロキサンの添加量を増やす場合、セラミックグリーンシートへの移行量も増える傾向があり好ましくない。 When a polyorganosiloxane modified with a hydroxyl group that has a strong interaction with a melamine-based compound reacts rapidly with the melamine-based compound in the drying process, it is difficult to be oriented on the surface of the release layer and the releasability is difficult to develop. There is. Therefore, it is necessary to increase the addition amount in order to have sufficient release properties, but in that case the elastic modulus of the release layer decreases and deformation of the release layer during peeling tends to occur, and the peeling force may increase. is there. In addition, when the amount of polyorganosiloxane added is increased, the amount transferred to the ceramic green sheet tends to increase, which is not preferable.

本発明において用いるカルボキシル基を含有したポリオルガノシロキサンは、分子量が40000以下であることが好ましい。より好ましくは、30000以下であり、10000以下であることがより好ましく、分子量が小さいほど好適に用いることができる。分子量が40000以下であるとカルボキシル基を含有したポリオルガノシロキサンが離型層表面に偏析しやすく剥離性が良く好ましい。 The polyorganosiloxane containing a carboxyl group used in the present invention preferably has a molecular weight of 40,000 or less. It is more preferably 30,000 or less, more preferably 10,000 or less, and the smaller the molecular weight, the more suitably used. When the molecular weight is 40,000 or less, the polyorganosiloxane containing a carboxyl group is easily segregated on the surface of the release layer, and the releasability is good, which is preferable.

前述のように、カルボキシル基を含有したポリオルガノシロキサンは、カルボキシル基を含有したポリジメチルシロキサンであることがより好ましい。カルボキシル基を含有したポリジメチルシロキサンとしては、X22−3701E(側鎖カルボキシル変性ポリジメチルシロキサン、信越化学工業社製)、X22−3710(片末端カルボキシル変性ポリジメチルシロキサン、信越化学工業社製)、X22−162C(両末端カルボキシル変性ポリジメチルシロキサン、信越化学工業社製)、BY16−750(両末端カルボキシル変性ポリジメチルシロキサン、東レダウコーニング社製)、BY16−880(側鎖カルボキシル変性ポリジメチルシロキサン、東レダウコーニング社製)、Magnasoft 800L(両末端カルボキシル変性ポリジメチルシロキサン、モメンティブ社製)などを使用することができる。 As described above, the carboxyl group-containing polyorganosiloxane is more preferably a carboxyl group-containing polydimethylsiloxane. Examples of the polydimethylsiloxane containing a carboxyl group include X22-3701E (side chain carboxyl-modified polydimethylsiloxane, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), X22-3710 (single-terminal carboxyl-modified polydimethylsiloxane, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), X22. -162C (both-terminal carboxyl-modified polydimethylsiloxane, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), BY16-750 (both-terminal carboxyl-modified polydimethylsiloxane, manufactured by Toray Dow Corning), BY16-880 (side-chain carboxyl-modified polydimethylsiloxane, Toray) Dow Corning), Magnasoft 800L (carboxyl-modified polydimethylsiloxane at both ends, manufactured by Momentive), and the like can be used.

本発明におけるカルボキシル基を含有したポリジメチルシロキサンとしては、カルボキシル基を含有するアクリル主鎖にポリジメチルシロキサンが側鎖に導入されたアクリル樹脂であっても構わない。カルボキシル基を含有するアクリル主鎖にポリジメチルシロキサンが側鎖に導入されたアクリル樹脂としては、サイマック(登録商標)US−350、US−352、US−380(以上、東亞合成社製)などを使用することができる。また、一分子中にカルボキシル基とヒドロキシル基を含有するアクリル主鎖にポリジメチルシロキサンが側鎖に導入されたアクリル樹脂であっても構わない。一分子中にカルボキシル基とヒドロキシル基を含有するアクリル主鎖にポリジメチルシロキサンが側鎖に導入されたアクリル樹脂としては、サイマック(登録商標)US−450、US−480(以上、東亞合成社製)などを使用することができる The polydimethylsiloxane containing a carboxyl group in the present invention may be an acrylic resin having a side chain of polydimethylsiloxane introduced into an acrylic main chain containing a carboxyl group. As the acrylic resin in which polydimethylsiloxane is introduced into the side chain of the acrylic main chain containing a carboxyl group, Cymac (registered trademark) US-350, US-352, US-380 (above, manufactured by Toagosei Co., Ltd.), etc. Can be used. Further, it may be an acrylic resin in which polydimethylsiloxane is introduced into a side chain in an acrylic main chain containing a carboxyl group and a hydroxyl group in one molecule. As an acrylic resin in which polydimethylsiloxane is introduced into a side chain in an acrylic main chain containing a carboxyl group and a hydroxyl group in one molecule, Cymac (registered trademark) US-450, US-480 (above, manufactured by Toagosei Co., Ltd. ) Etc. can be used

本発明における離型層には、離型剤が離型層形成用組成物の固形分に対して0.1質量%以上、20質量%以下含まれることが好ましい。より好ましくは、0.1質量%以上、10質量%以下、さらに好ましくは、0.1質量%以上、5質量%以下である。0.1質量%以上であると、離型性が向上し、セラミックグリーンシートの剥離性が向上するため好ましい。一方、20質量%以下であると、離型層の弾性率が低下し過ぎることがなく、セラミックグリーンシート剥離時に離型層の変形が生じて剥離力が高くなることを抑制できるため好ましい。また、20質量%以下であると、離型剤の移行量が高くなり過ぎない点からも好ましい。このとき、離型層形成用組成物の固形分とは、溶媒や酸触媒は乾燥過程で相当部分蒸発してしまうため、実質的にメラミン系化合物と離型剤の固形分の合計した値とみなして差し支えない。 The release layer in the present invention preferably contains a release agent in an amount of 0.1% by mass or more and 20% by mass or less based on the solid content of the composition for forming a release layer. It is more preferably 0.1% by mass or more and 10% by mass or less, and further preferably 0.1% by mass or more and 5% by mass or less. When the content is 0.1% by mass or more, the releasability is improved and the releasability of the ceramic green sheet is improved, which is preferable. On the other hand, when the content is 20% by mass or less, the elastic modulus of the release layer does not decrease excessively, and it is possible to suppress deformation of the release layer at the time of peeling the ceramic green sheet and to suppress an increase in release force, which is preferable. Further, it is preferably 20% by mass or less from the viewpoint that the transfer amount of the release agent does not become too high. At this time, the solid content of the composition for forming the release layer, since the solvent and the acid catalyst will be evaporated a considerable portion in the drying process, substantially the total value of the solid content of the melamine compound and the release agent and You can consider it.

本発明における離型層には、粒径が1μm以下の粒子などを含有することができるが、ピンホール発生の観点から粒子など突起を形成するものは含有しないほうが好ましい。 The release layer according to the present invention may contain particles having a particle diameter of 1 μm or less, but it is preferable not to contain particles that form protrusions such as particles from the viewpoint of pinholes.

本発明における離型層には、本発明の効果を阻害しない範囲であれば、密着向上剤や、帯電防止剤などの添加剤などを添加してもよい。また、基材との密着性を向上させるために、離型塗布層を設ける前にポリエステルフィルム表面に、アンカーコート、コロナ処理、プラズマ処理、大気圧プラズマ処理等の前処理をすることも好ましい。 In the release layer of the present invention, additives such as an adhesion improver and an antistatic agent may be added as long as the effects of the present invention are not impaired. Further, in order to improve the adhesion to the substrate, it is also preferable to perform pretreatment such as anchor coating, corona treatment, plasma treatment, atmospheric pressure plasma treatment, etc. on the surface of the polyester film before providing the release coating layer.

(離型層の特性)
本発明において、離型層の厚みは、その使用目的に応じて設定すれば良く、特に限定されないが、好ましくは、硬化後の離型塗布層重量が0.01〜2.0μmとなる範囲がよく、0.01〜1.0μmであることがより好ましく、0.01〜0.8μmであることが更に好ましく、0.02〜0.5μmであることが更に好ましく、0.02〜0.3μmであることが最も好ましい。離型層の厚みが0.01μm以上であると剥離性能が得られ好ましい。また、2.0μm以下であると、硬化時間を短くでき、離型フィルムの平面性が保たれてセラミックグリーンシートの厚みムラを抑制できて好ましい。
(Characteristic of release layer)
In the present invention, the thickness of the release layer may be set according to the purpose of use and is not particularly limited, but preferably the range where the weight of the release coating layer after curing is 0.01 to 2.0 μm. Well, more preferably 0.01 to 1.0 μm, further preferably 0.01 to 0.8 μm, further preferably 0.02 to 0.5 μm, and 0.02 to 0. Most preferably, it is 3 μm. When the thickness of the release layer is 0.01 μm or more, peeling performance is obtained, which is preferable. Further, when it is 2.0 μm or less, the curing time can be shortened, the flatness of the release film can be maintained, and the uneven thickness of the ceramic green sheet can be suppressed, which is preferable.

本発明の離型フィルムの離型層面は、その上で塗布・成型するセラミックグリーンシートに欠陥を発生させないために、平坦であることが望ましく、領域表面平均粗さ(Sa)が7nm以下かつ最大突起高さ(P)が100nm以下であることが好ましい。さらには領域表面平均粗さ5nm以下かつ最大突起高さ80nm以下であることがより好ましい。領域表面粗さが7nm以下、且つ、最大突起高さが100nm以下であれば、セラミックグリーンシート形成時に、ピンホールなどの欠点の発生がなく、歩留まりが良好で好ましい。領域表面平均粗さ(Sa)は小さいほど好ましいと言えるが、0.1nm以上であっても構わず、0.3nm以上であっても構わない。最大突起高さ(P)も小さいほど好ましいと言えるが、1nm以上でも構わず、3nm以上であっても構わない。 The release layer surface of the release film of the present invention is preferably flat so as not to cause defects in the ceramic green sheet applied/molded thereon, and the area surface average roughness (Sa) is 7 nm or less and maximum. The protrusion height (P) is preferably 100 nm or less. Further, it is more preferable that the average surface roughness of the region is 5 nm or less and the maximum protrusion height is 80 nm or less. When the area surface roughness is 7 nm or less and the maximum protrusion height is 100 nm or less, defects such as pinholes do not occur when forming the ceramic green sheet, and the yield is good, which is preferable. It can be said that the smaller the area surface average roughness (Sa), the more preferable, but it may be 0.1 nm or more, or 0.3 nm or more. It can be said that the smaller the maximum protrusion height (P) is, the more preferable it is, but it may be 1 nm or more, or 3 nm or more.

本発明の離型フィルムは、高度に平坦化された基材フィルムを用いているため、離型層の厚みが0.5μmより薄く、さらには0.2μmより薄くしても離型層表面を平滑にすることができる。そのため、反応性の高いメラミン系化合物を用いた離型層であっても、カールの発生を抑制することができる。また、使用する溶剤量や樹脂量を少なくすることができ環境にやさしく、安価に超薄層セラミックグリーンシート成型用の離型フィルムを作成することができる。 Since the release film of the present invention uses a highly flattened base film, even if the release layer has a thickness of less than 0.5 μm, and even less than 0.2 μm, the release layer surface is Can be smooth. Therefore, it is possible to suppress the occurrence of curl even in a release layer using a highly reactive melamine compound. In addition, the amount of solvent and resin used can be reduced, which is environmentally friendly and can inexpensively produce a release film for forming an ultrathin ceramic green sheet.

本発明の離型層フィルムの離型層表面の表面自由エネルギー(γs)は、18mJ/m以上35mJ/m以下であることが好ましい。より好ましくは、23mJ/m以上35mJ/m以下であり、さらに好ましくは23mJ/m以上30mJ/m以下である。18mJ/m以上であるとセラミックスラリーを塗工したときにハジキが発生しづらく均一に塗工することができ好ましい。また35mJ/m以下であるとセラミックグリーンシートの離型性が低下するおそれがなく好ましい。上記範囲とすることで塗工時にハジキがなく、離型性に優れた離型フィルムを提供できる。 Surface free energy of the release layer surface of the release layer film of the present invention (gamma] s) is preferably 18 mJ / m 2 or more 35 mJ / m 2 or less. More preferably, 23 mJ / m 2 or more 35 mJ / m 2 or less, further preferably 23 mJ / m 2 or more 30 mJ / m 2 or less. When it is 18 mJ/m 2 or more, cissing is less likely to occur when the ceramic slurry is applied, and uniform coating is preferable. Further, when it is 35 mJ/m 2 or less, there is no fear that the releasability of the ceramic green sheet is deteriorated, which is preferable. When the content is within the above range, it is possible to provide a release film which is free from cissing during coating and has excellent releasability.

本発明の離型フィルムは、セラミックグリーンシートを剥離するときの剥離力が0.5mN/mm以上、2.5mN/mm以下であることが好ましい。より好ましくは、0.8mN/mm以上、2.0mN/mm以下である。剥離力が0.5mN/mm以上であると、剥離力が軽すぎず搬送時にセラミックグリーンシートが浮き上がるおそれがなく好ましい。剥離力が2.5mN/mm以下であると剥離時にセラミックグリーンシートがダメージを受けるおそれがなく好ましい。 The release film of the present invention preferably has a peeling force of 0.5 mN/mm 2 or more and 2.5 mN/mm 2 or less when peeling the ceramic green sheet. More preferably, it is 0.8 mN/mm 2 or more and 2.0 mN/mm 2 or less. When the peeling force is 0.5 mN/mm 2 or more, the peeling force is not too light, and there is no fear that the ceramic green sheet will float during transportation, which is preferable. When the peeling force is 2.5 mN/mm 2 or less, the ceramic green sheet is not damaged at the time of peeling, which is preferable.

本発明の離型フィルムは、張力をかけずに100℃で15分加熱したあとのカールが3mm以下であることが好ましく、より好ましくは1mm以下である。もちろん、全くカールしないことも好ましい。3mm以下にすることでセラミックグリーンシートを成型し電極を印刷するときにカールが少なく印刷精度を高めることができるため好ましい。 The release film of the present invention preferably has a curl of 3 mm or less after heating at 100° C. for 15 minutes without applying tension, and more preferably 1 mm or less. Of course, it is also preferable not to curl at all. When the thickness is 3 mm or less, curling is small when printing a ceramic green sheet to print an electrode, and printing accuracy can be improved, which is preferable.

本発明の離型フィルムは、剥離後のセラミックグリーンシートへのシリコーン成分の移行量が少ないほど好ましい。シリコーン成分の移行量は、セラミックグリーンシートに含まれるバインダー成分の1種であるPVBを離型フィルム上に疑似的に塗布、成型し、剥離した前後の離型層のSi強度を蛍光X線で測定することで評価することができる。より具体的に述べると、離型層表面のSi強度をSi(前)、PVBシートを塗工・剥離後の離型フィルムの離型面のSi強度をSi(後)としたとき、Si(前)−Si(後)の値を移行量とした。このときの移行量が0.10kcps以下であることが好ましく、0.04kcps以下であることがより好ましい。移行量が0.10kcps以下であると、積層ズレや接着不良といった工程不良の発生が抑えられ、セラミックコンデンサの信頼性を低下させるおそれがなく好ましい。 In the release film of the present invention, the smaller the amount of silicone component transferred to the ceramic green sheet after peeling, the more preferable. The migration amount of the silicone component was determined by applying PVB, which is one of the binder components contained in the ceramic green sheet, on the release film in a pseudo manner, molding it, and measuring the Si intensity of the release layer before and after peeling with fluorescent X-rays. It can be evaluated by measuring. More specifically, when the Si strength of the release layer surface is Si (front) and the Si strength of the release surface of the release film after coating/peeling the PVB sheet is Si (rear), Si(rear) The value of (before)-Si (after) was taken as the transfer amount. The transfer amount at this time is preferably 0.10 kcps or less, and more preferably 0.04 kcps or less. When the transfer amount is 0.10 kcps or less, the occurrence of process defects such as stacking deviation and defective adhesion is suppressed, and there is no fear of reducing the reliability of the ceramic capacitor, which is preferable.

本発明において、離型層の形成方法は、特に限定されず、離型性の樹脂を溶解もしくは分散させた塗液を、基材のポリエステルフィルムの一方の面に塗布等により展開し、溶媒等を乾燥により除去後、加熱乾燥、熱硬化させる方法が用いられる。このとき、溶媒乾燥、熱硬化時の乾燥温度は、100℃以上、180℃以下であることが好ましく、100℃以上、160℃以下であることがより好ましく、100℃以上、140℃以下であることがもっとも好ましい。その加熱時間は、30秒以下が好ましく、20秒以下がより好ましい。180℃以下の場合、フィルムの平面性が保たれ、セラミックグリーンシートの厚みムラを引き起こす恐れが小さく好ましい。140℃以下であるとフィルムの平面性を損なうことなく加工することができ、セラミックグリーンシートの厚みムラを引き起こす恐れが更に低下するので特に好ましい。100℃よりも低いとメラミンの硬化反応が十分に進行せず離型層の弾性率が低下してしまうため好ましくない。 In the present invention, the method for forming the release layer is not particularly limited, and a coating liquid in which a release resin is dissolved or dispersed is spread on one surface of the polyester film of the substrate by coating or the like, and a solvent, etc. After removing by drying, a method of heating and drying and heat curing is used. At this time, the drying temperature during solvent drying and heat curing is preferably 100° C. or higher and 180° C. or lower, more preferably 100° C. or higher and 160° C. or lower, and 100° C. or higher and 140° C. or lower. Is most preferred. The heating time is preferably 30 seconds or less, more preferably 20 seconds or less. When the temperature is 180° C. or lower, the flatness of the film is maintained, and the thickness of the ceramic green sheet is less likely to be uneven, which is preferable. When the temperature is 140° C. or less, the film can be processed without impairing the flatness of the film, and the possibility of causing uneven thickness of the ceramic green sheet is further reduced, which is particularly preferable. If the temperature is lower than 100°C, the curing reaction of melamine does not proceed sufficiently and the elastic modulus of the release layer decreases, which is not preferable.

本発明において、離型層を塗布するときの塗液の表面張力は、特に限定されないが30mN/m以下であることが好ましい。表面張力を前記のようにすることで、塗工後の塗れ性が向上し、乾燥後の塗膜表面の凹凸を低減することができる。 In the present invention, the surface tension of the coating liquid when applying the release layer is not particularly limited, but is preferably 30 mN/m or less. By adjusting the surface tension as described above, the wettability after coating can be improved and the unevenness of the coating film surface after drying can be reduced.

本発明において、離型塗布層を塗布するときの塗液には、特に限定されないが、沸点が90℃以上の溶剤を添加することが好ましい。沸点が90℃以上の溶剤を添加することで、乾燥時の突沸を防ぎ、塗膜がレベリングさせることができ、乾燥後の塗膜表面の平滑性を向上させることができる。その添加量としては、塗液全体に対し、10〜80質量%程度添加することが好ましい。 In the present invention, the coating liquid for applying the release coating layer is not particularly limited, but it is preferable to add a solvent having a boiling point of 90°C or higher. By adding a solvent having a boiling point of 90° C. or higher, bumping during drying can be prevented, the coating film can be leveled, and the smoothness of the coating film surface after drying can be improved. The amount of addition thereof is preferably about 10 to 80% by mass with respect to the entire coating liquid.

上記塗液の塗布法としては、公知の任意の塗布法が適用出来、例えばグラビアコート法やリバースコート法などのロールコート法、ワイヤーバーなどのバーコート法、ダイコート法、スプレーコート法、エアーナイフコート法、等の従来から知られている方法が利用できる。 As the coating method of the coating liquid, any known coating method can be applied, for example, a roll coating method such as a gravure coating method or a reverse coating method, a bar coating method such as a wire bar, a die coating method, a spray coating method, an air knife. A conventionally known method such as a coating method can be used.

(セラミックグリーンシートとセラミックコンデンサ)
一般に、積層セラミックコンデンサは、直方体状のセラミック素体を有する。セラミック素体の内部には、第1の内部電極と第2の内部電極とが厚み方向に沿って交互に設けられている。第1の内部電極は、セラミック素体の第1の端面に露出している。第1の端面の上には第1の外部電極が設けられている。第1の内部電極は、第1の端面において第1の外部電極と電気的に接続されている。第2の内部電極は、セラミック素体の第2の端面に露出している。第2の端面の上には第2の外部電極が設けられている。第2の内部電極は、第2の端面において第2の外部電極と電気的に接続されている。
(Ceramic green sheet and ceramic capacitor)
Generally, a monolithic ceramic capacitor has a rectangular parallelepiped ceramic body. Inside the ceramic body, first internal electrodes and second internal electrodes are provided alternately along the thickness direction. The first internal electrode is exposed on the first end surface of the ceramic body. A first external electrode is provided on the first end surface. The first inner electrode is electrically connected to the first outer electrode at the first end face. The second internal electrode is exposed on the second end surface of the ceramic body. A second external electrode is provided on the second end surface. The second inner electrode is electrically connected to the second outer electrode at the second end face.

本発明のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムは、このような積層セラミックコンデンサを製造するために用いられる。例えば、以下のようにして製造される。まず、本発明の離型フィルムをキャリアフィルムとして用い、セラミック素体を構成するためのセラミックスラリーを塗布、乾燥させる。セラミックグリーンシートの厚みは、0.2〜1.0μmの極薄品が求められてきている。塗布、乾燥したセラミックグリーンシートの上に、第1又は第2の内部電極を構成するための導電層を印刷する。セラミックグリーンシート、第1の内部電極を構成するための導電層が印刷されたセラミックグリーンシート及び第2の内部電極を構成するための導電層が印刷されたセラミックグリーンシートを適宜積層し、プレスすることにより、マザー積層体を得る。マザー積層体を複数に分断し、生のセラミック素体を作製する。生のセラミック素体を焼成することによりセラミック素体を得る。その後、第1及び第2の外部電極を形成することにより積層セラミックコンデンサを完成させることができる。 The release film for producing a ceramic green sheet of the present invention is used for producing such a laminated ceramic capacitor. For example, it is manufactured as follows. First, using the release film of the present invention as a carrier film, a ceramic slurry for forming a ceramic body is applied and dried. An extremely thin ceramic green sheet having a thickness of 0.2 to 1.0 μm is required. A conductive layer for forming the first or second internal electrode is printed on the coated and dried ceramic green sheet. A ceramic green sheet, a ceramic green sheet on which a conductive layer for forming a first internal electrode is printed, and a ceramic green sheet on which a conductive layer for forming a second internal electrode is printed are appropriately laminated and pressed. By doing so, a mother laminate is obtained. The mother laminated body is divided into a plurality of pieces to produce a raw ceramic body. A ceramic body is obtained by firing a raw ceramic body. After that, the first and second external electrodes are formed to complete the monolithic ceramic capacitor.

以下に、実施例を用いて本発明についてさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によりなんら限定されるものではない。本発明で用いた特性値は下記の方法を用いて評価した。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples, but the present invention is not limited to these Examples. The characteristic values used in the present invention were evaluated by the following methods.

(表面粗さ)
非接触表面形状計測システム(VertScan R550H−M100)を用いて、下記の条件で測定した値である。領域表面平均粗さ(Sa)は、5回測定の平均値を採用し、最大突起高さ(P)は7回測定し最大値と最小値を除いた5回の最大値を使用した。
(測定条件)
・測定モード:WAVEモード
・対物レンズ:10倍
・0.5×Tubeレンズ
・測定面積 936μm×702μm
(解析条件)
・面補正: 4次補正
・補間処理: 完全補間
(Surface roughness)
It is a value measured under the following conditions using a non-contact surface shape measuring system (VertScan R550H-M100). As the area surface average roughness (Sa), the average value of 5 measurements was adopted, and the maximum projection height (P) was measured 7 times, and the maximum value of 5 times excluding the maximum value and the minimum value was used.
(Measurement condition)
・Measurement mode: WAVE mode ・Objective lens: 10 times ・0.5×Tube lens ・Measurement area: 936 μm×702 μm
(Analysis conditions)
・Face correction: Quaternary correction ・Interpolation process: Complete interpolation

(表面自由エネルギー)
25℃、50%RHの条件下で接触角計(協和界面科学株式会社製: 全自動接触角計
DM−701)を用いて離型フィルムの離型面に水(液滴量1.8μL)、ジヨードメタン(液適量0.9μL)、エチレングリコール(液適量0.9μL)の液滴を作成しその接触角を測定した。接触角は、各液を離型フィルムに滴下後10秒後の接触角を採用した。前記方法で得られた、水、ジヨードメタン、エチレングリコールの接触角データを「北崎−畑」理論より計算し離型フィルムの表面自由エネルギーの分散成分γsd、極性成分γsp、水素結合成分γshを求め、各成分を合計したものを表面自由エネルギーγsとした。本計算には、本接触角計ソフトウェア(FAMAS)内の計算ソフトを用いて行った。
(Surface free energy)
Water (droplet amount 1.8 μL) was applied to the release surface of the release film using a contact angle meter (manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.: fully automatic contact angle meter DM-701) under the conditions of 25° C. and 50% RH. , And liquid droplets of diiodomethane (liquid proper amount 0.9 μL) and ethylene glycol (liquid proper amount 0.9 μL) were prepared and the contact angles thereof were measured. As the contact angle, the contact angle 10 seconds after each liquid was dropped on the release film was adopted. Obtained by the above method, water, diiodomethane, contact angle data of ethylene glycol was calculated from the "Kitasaki-Hata" theory to obtain the dispersion component γsd of the surface free energy of the release film, the polar component γsp, and the hydrogen bonding component γsh, The surface free energy γs was the sum of the components. For this calculation, calculation software in this contact angle meter software (FAMAS) was used.

(セラミックスラリーの塗工性評価)
下記、材料からなる組成物を攪拌混合し、ビーズミルを用いて直径0.5mmのジルコニアビーズで30分間分散し、セラミックスラリーを得た。
トルエン 76.3質量部
エタノール 76.3質量部
チタン酸バリウム(富士チタン社製 HPBT−1) 35.0質量部
ポリビニルブチラール(積水化学社製 エスレックBM−S)
3.5質量部
DOP(フタル酸ジオクチル) 1.8質量部
次いで得られた離型フィルムサンプルの離型面にアプリケーターを用いて乾燥後のスラリーが1μmになるように塗工し90℃で1分乾燥後、以下の基準で塗工性を評価した。
○:ハジキなどがなく全面に塗工できている。
△:塗工端部でややハジキがあるが、ほぼ全面に塗工できている。
×:ハジキが多く、塗工できていない。
(Evaluation of coatability of ceramic slurry)
The composition consisting of the following materials was stirred and mixed, and dispersed with zirconia beads having a diameter of 0.5 mm for 30 minutes using a bead mill to obtain a ceramic slurry.
Toluene 76.3 parts by mass Ethanol 76.3 parts by mass Barium titanate (Fujititanium Co., Ltd. HPBT-1) 35.0 parts by mass Polyvinyl butyral (Sekisui Chemical Co., Ltd. S-REC BM-S)
3.5 parts by mass DOP (dioctyl phthalate) 1.8 parts by mass The resulting release film sample was coated on the release surface with an applicator so that the dried slurry would have a thickness of 1 μm, and at 90° C. 1 After minute drying, the coatability was evaluated according to the following criteria.
○: There is no cissing and the entire surface can be coated.
Δ: There is some cissing at the coating end, but coating is almost complete.
X: There is a lot of cissing, and coating cannot be performed

(セラミックグリーンシートのピンホール評価)
前記セラミックスラリーの塗工性評価と同様にして離型フィルムの離型面に厚さ1μmのセラミックグリーンシートを成型した。次いで、成型したセラミックグリーンシート付き離型フィルムから離型フィルムを剥離し、セラミックグリーンシートを得た。得られたセラミックグリーンシートのフィルム幅方向の中央領域において25cmの範囲でセラミックスラリーの塗布面の反対面から光を当て、光が透過して見えるピンホールの発生状況を観察し、下記基準で目視判定した。
○:ピンホールの発生なし
△:ピンホールの発生がほぼなし
×:ピンホールの発生が多数あり
(Pinhole evaluation of ceramic green sheet)
A ceramic green sheet having a thickness of 1 μm was formed on the release surface of the release film in the same manner as in the coating property evaluation of the ceramic slurry. Then, the release film was peeled off from the molded release film with the ceramic green sheet to obtain a ceramic green sheet. In the center area of the obtained ceramic green sheet in the width direction of the film, light was applied from the surface opposite to the ceramic slurry application surface within a range of 25 cm 2 , and the occurrence of pinholes that were seen through the light was observed. It was visually judged.
○: Pinholes were not generated △: Pinholes were not generated ×: Many pinholes were generated

(セラミックグリーンシートの剥離性評価)
下記、材料からなる組成物を攪拌混合し、ビーズミルを用いて直径0.5mmのジルコニアビーズで60分間分散し、セラミックスラリーを得た。
トルエン 38.3質量部
エタノール 38.3質量部
チタン酸バリウム(富士チタン社製 HPBT−1) 64.8質量部
ポリビニルブチラール(積水化学社製 エスレックBM−S)
6.5質量部
DOP(フタル酸ジオクチル) 3.3質量部
次いで得られた離型フィルムサンプルの離型面にアプリケーターを用いて乾燥後のスラリーが10μmの厚みになるように塗布し90℃で1分乾燥しセラミックグリーンシートを離型フィルム上に成型した。得られたセラミックグリーンシート付き離型フィルムを除電機(キーエンス社製、SJ−F020)を用いて除電した後に30mmの幅で剥離角度90度、剥離速度10m/minで剥離した。剥離時にかかる応力を測定し剥離力とした。得られた剥離力の数値から下記の基準で判定した。
○:0.5mN/mm以上、2.0mN/mm以下
△:2.0mN/mmより大きく、2.5mN/mm以下
×:2.5mN/mmより大きい
(Peelability evaluation of ceramic green sheets)
The composition consisting of the following materials was stirred and mixed, and dispersed with zirconia beads having a diameter of 0.5 mm for 60 minutes using a bead mill to obtain a ceramic slurry.
Toluene 38.3 parts by mass Ethanol 38.3 parts by mass Barium titanate (Fujititanium Co., Ltd. HPBT-1) 64.8 parts by mass Polyvinyl butyral (Sekisui Chemical Co., Ltd. S-REC BM-S)
6.5 parts by mass DOP (dioctyl phthalate) 3.3 parts by mass The resulting release film sample was coated on the release surface with an applicator so that the dried slurry had a thickness of 10 μm, and at 90° C. After drying for 1 minute, a ceramic green sheet was molded on a release film. The obtained release film with a ceramic green sheet was destaticized using a static eliminator (Keyence Corp., SJ-F020), and then delaminated at a width of 30 mm at a peeling angle of 90 degrees and a peeling speed of 10 m/min. The stress applied during peeling was measured and used as the peeling force. Judgment was made based on the obtained peeling force values according to the following criteria.
○: 0.5mN / mm 2 or more, 2.0 mN / mm 2 or less △: greater than 2.0mN / mm 2, 2.5mN / mm 2 or less ×: larger than 2.5 mN / mm 2

(離型層のシリコーン成分移行量評価)
下記、材料からなる組成物を攪拌混合し、ポリビニルブチラール(PVB)溶解液を得た。
トルエン 45.0質量部
エタノール 45.0質量部
ポリビニルブチラール(積水化学社製 エスレックBM−S)
10.0質量部
次いで得られた離型フィルムサンプルの離型面にアプリケーターを用いて乾燥後のポリビニルブチラール(PVB)シートが10μmになるように塗工し90℃で1分乾燥後、離型フィルムを剥離し、剥離したPVBシートの離型フィルムが接触していた面(離型層)および、PVBシートを塗工する前の離型フィルムの離型層を蛍光X線装置(Rigaku製ZSX Primus2)にてSi強度を測定し、シリコーン成分の移行量を定量した。蛍光X線装置の測定条件は下記の通りとした。
分析線:Si−KA、 ターゲット:Rh4.0kW
管電圧:50kV、 管電流:60mA
フィルタ:OUT、 アッテネータ:1/1、 スリット:S4、 分光結晶:PET
検出器:PC、 PHA条件:100(下限)-300(上限)
測定径:30mm、雰囲気:真空
シリコーン成分の移行量は、PVBシートを塗工する前の離型フィルムの離型面のSi強度をSi(前)、PVBシートを塗工・剥離後の離型フィルムの離型面のSi強度をSi(後)として、Si(前)からSi(後)を引いた値をシリコーン成分の移行量とした。得られたシリコーン成分の移行量の数値から下記の基準で判断した。
○:0.04kcps以下
△:0.04kcpsより大きく、0.10kcpsより小さい。
×:0.10kcps以上
(Evaluation of transfer amount of silicone component in release layer)
The following composition of materials was stirred and mixed to obtain a polyvinyl butyral (PVB) solution.
Toluene 45.0 parts by mass Ethanol 45.0 parts by mass Polyvinyl butyral (Sekisui Chemical Co., Ltd. S-REC BM-S)
10.0 parts by mass The release film sample thus obtained is coated on the release surface with an applicator so that the polyvinyl butyral (PVB) sheet after drying is 10 μm, dried at 90° C. for 1 minute, and then released. The film was peeled off, and the surface of the peeled PVB sheet that was in contact with the release film (release layer) and the release layer of the release film before coating the PVB sheet were treated with a fluorescent X-ray device (ZSX manufactured by Rigaku). The Si intensity was measured with a Primus 2) to quantify the transferred amount of the silicone component. The measurement conditions of the fluorescent X-ray apparatus were as follows.
Analysis line: Si-KA, Target: Rh 4.0 kW
Tube voltage: 50kV, tube current: 60mA
Filter: OUT, Attenuator: 1/1, Slit: S4, Spectroscopic crystal: PET
Detector: PC, PHA condition: 100 (lower limit)-300 (upper limit)
Measurement diameter: 30 mm, atmosphere: vacuum The transfer amount of the silicone component is Si (before) the Si strength of the release surface of the release film before coating the PVB sheet, and release after coating/peeling the PVB sheet. The Si strength of the release surface of the film was defined as Si (rear), and the value obtained by subtracting Si (rear) from Si (front) was defined as the transfer amount of the silicone component. Judgment was made according to the following criteria from the obtained numerical value of the amount of transferred silicone component.
◯: 0.04 kcps or less Δ: greater than 0.04 kcps and less than 0.10 kcps
×: 0.10 kcps or more

(離型フィルムのカール評価)
離型フィルムサンプルを10cm×10cmサイズにカットし、離型フィルムに張力がかからないようにして熱風オーブンで100℃15分間熱処理を行った。その後、オーブンから取り出し室温まで冷却したのち、離型面が上になるようにガラス板の上に離型フィルムサンプルを置いて、4隅のガラス板から浮いている部分の高さを測定した。この時測定した4隅の浮き量の平均値をカール量とした。以下の基準でカール性の評価を行った。◎:カールが1mm以下であり、ほとんどカールしていない
○:カールが1mmよりも大きく、3mm以下であり、少しカールが見られた。
△:カールが3mmよりも大きく、10mm以下であり、カールが見られた。
×:カールが10mmよりも大きくカールしていた。
(Curl evaluation of release film)
The release film sample was cut into a size of 10 cm×10 cm, and heat-treated at 100° C. for 15 minutes in a hot air oven so that tension was not applied to the release film. Then, after taking out from an oven and cooling to room temperature, the mold release film sample was put on the glass plate so that the mold release surface faced up, and the heights of the portions floating from the glass plate at the four corners were measured. The average value of the floating amounts at the four corners measured at this time was defined as the curl amount. The curl property was evaluated according to the following criteria. ⊚: The curl is 1 mm or less, and almost no curl is observed. ◯: The curl is larger than 1 mm and 3 mm or less, and a little curl is observed.
Δ: The curl was larger than 3 mm and 10 mm or less, and the curl was observed.
C: The curl was greater than 10 mm.

(重量平均重合度の測定方法)
分析条件
試料16mgを秤量し、クロロホルム8mlに溶解させた。0.2μmのメンブランフィルターで濾過し、得られた試料溶液のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)分析を
以下の条件で実施した。

装置:TOSOH HLC-8320GPC
カラム:K-G+ K-802(排除限界分子量5×103)+ K-801(排除限界分子量1.5×103)(Shodex)、
溶媒:クロロホルム100%
流速:1.0ml/min
濃度:0.2%
注入量:50μL 温度:40℃
検出器:RI
重量平均分子量をポリスチレン換算で算出し、その値を基に重量平均重合度を算出した。ポリスチレンは、PStQuickシリーズのPStQuick C(TOSOH)を使用した。PStQuick C(TOSOH)に添加されているポリスチレンのうち、カラムの排除限界分子量を大きく超えているポリスチレンMw2110000、427000、37900については、検量線作成から外した。
(Measurement method of weight average degree of polymerization)
Analytical conditions 16 mg of a sample was weighed and dissolved in 8 ml of chloroform. After filtration through a 0.2 μm membrane filter, gel permeation chromatography (GPC) analysis of the obtained sample solution was carried out under the following conditions.

Equipment: TOSOH HLC-8320GPC
Column: K-G+K-802 (Exclusion limit molecular weight 5×10 3 )+ K-801 (Exclusion limit molecular weight 1.5×10 3 )(Shodex),
Solvent: 100% chloroform
Flow rate: 1.0 ml/min
Concentration: 0.2%
Injection volume: 50 μL Temperature: 40°C
Detector: RI
The weight average molecular weight was calculated in terms of polystyrene, and the weight average polymerization degree was calculated based on the calculated value. As the polystyrene, PStQuick C (TOSOH) of PStQuick series was used. Among polystyrenes added to PStQuick C (TOSOH), polystyrenes Mw2110000, 427000, and 37900 that greatly exceeded the exclusion limit molecular weight of the column were excluded from the calibration curve preparation.

(ポリエチレンテレフタレートペレット(PET (I))の調製)
エステル化反応装置として、攪拌装置、分縮器、原料仕込口及び生成物取出口を有する3段の完全混合槽よりなる連続エステル化反応装置を用いた。TPA(テレフタル酸)を2トン/時とし、EG(エチレングリコール)をTPA1モルに対して2モルとし、三酸化アンチモンを生成PETに対してSb原子が160ppmとなる量とし、これらのスラリーをエステル化反応装置の第1エステル化反応缶に連続供給し、常圧にて平均滞留時間4時間、255℃で反応させた。次いで、第1エステル化反応缶内の反応生成物を連続的に系外に取り出して第2エステル化反応缶に供給し、第2エステル化反応缶内に第1エステル化反応缶から留去されるEGを生成PETに対して8質量%供給し、さらに、生成PETに対してMg原子が65ppmとなる量の酢酸マグネシウム四水塩を含むEG溶液と、生成PETに対してP原子が40ppmのとなる量のTMPA(リン酸トリメチル)を含むEG溶液を添加し、常圧にて平均滞留時間1時間、260℃で反応させた。次いで、第2エステル化反応缶の反応生成物を連続的に系外に取り出して第3エステル化反応缶に供給し、高圧分散機(日本精機社製)を用いて39MPa(400kg/cm)の圧力で平均処理回数5パスの分散処理をした平均粒径が0.9μmの多孔質コロイダルシリカ0.2質量%と、ポリアクリル酸のアンモニウム塩を炭酸カルシウムあたり1質量%付着させた平均粒径が0.6μmの合成炭酸カルシウム0.4質量%とを、それぞれ10%のEGスラリーとして添加しながら、常圧にて平均滞留時間0.5時間、260℃で反応させた。第3エステル化反応缶内で生成したエステル化反応生成物を3段の連続重縮合反応装置に連続的に供給して重縮合を行い、95%カット径が20μmのステンレススチール繊維を焼結したフィルターで濾過を行ってから、限外濾過を行って水中に押出し、冷却後にチップ状にカットして、固有粘度0.60dl/gのPETチップを得た(以後、PET(I)と略す)。PETチップ中の滑剤含有量は0.6質量%であった。
(Preparation of polyethylene terephthalate pellets (PET (I)))
As the esterification reaction device, a continuous esterification reaction device consisting of a three-stage complete mixing tank having a stirrer, a partial condenser, a raw material charging port and a product outlet was used. TPA (terephthalic acid) was 2 tons/hour, EG (ethylene glycol) was 2 mol per 1 mol of TPA, and antimony trioxide was produced in an amount such that Sb atom was 160 ppm with respect to the produced PET. It was continuously supplied to the first esterification reaction can of the oxidization reaction apparatus, and was allowed to react at an atmospheric pressure and an average residence time of 4 hours at 255°C. Then, the reaction product in the first esterification reaction can is continuously taken out of the system and supplied to the second esterification reaction can, and is distilled off from the first esterification reaction can in the second esterification reaction can. 8 mass% of EG is supplied to the produced PET, and further, an EG solution containing magnesium acetate tetrahydrate in an amount of 65 ppm of Mg atoms to the produced PET, and 40 ppm of P atoms to the produced PET. An EG solution containing an amount of TMPA (trimethyl phosphate) was added and reacted at 260° C. under atmospheric pressure for an average residence time of 1 hour. Then, the reaction product of the second esterification reaction can is continuously taken out of the system and supplied to the third esterification reaction can, and 39 MPa (400 kg/cm 2 ) using a high pressure disperser (manufactured by Nippon Seiki Co., Ltd.). 0.2% by mass of porous colloidal silica having an average particle size of 0.9 μm, which has been subjected to a dispersion treatment with an average number of treatments of 5 passes under pressure of 1% by mass, and an ammonium salt of polyacrylic acid per 1% by mass of calcium carbonate. 0.4% by mass of synthetic calcium carbonate having a diameter of 0.6 μm was added as 10% EG slurry, respectively, and reacted at atmospheric pressure at an average residence time of 0.5 hours at 260° C. The esterification reaction product produced in the third esterification reaction vessel was continuously supplied to a three-stage continuous polycondensation reactor to perform polycondensation, and a 95% cut diameter of stainless steel fiber having a diameter of 20 μm was sintered. After filtering with a filter, ultrafiltration was performed and extruded into water, and after cooling, cut into chips to obtain PET chips with an intrinsic viscosity of 0.60 dl/g (hereinafter abbreviated as PET(I)). .. The lubricant content in the PET chips was 0.6% by mass.

(ポリエチレンテレフタレートペレット(PET(II))の調製)
一方、上記PET(I)チップの製造において、炭酸カルシウム、シリカ等の粒子を全く含有しない固有粘度0.62dl/gのPETチップを得た(以後、PET(II)と略す。)。
(Preparation of polyethylene terephthalate pellets (PET(II)))
On the other hand, in the production of the PET(I) chip, a PET chip having an intrinsic viscosity of 0.62 dl/g containing no particles of calcium carbonate, silica or the like was obtained (hereinafter abbreviated as PET(II)).

(ポリエチレンテレフタレートペレット(PET(III))の調製)
PET(I)の粒子の種類、含有量をポリアクリル酸のアンモニウム塩を炭酸カルシウムあたり1質量%付着させた平均粒径が0.9μmの合成炭酸カルシウム0.75質量%に変更した以外は、PET(I)と同様にしてPETチップを得た(以後、PET(III)と略す)。PETチップ中の滑剤含有量は0.75質量%であった。
(Preparation of polyethylene terephthalate pellets (PET(III)))
Except that the type and content of PET (I) particles are changed to 0.75% by mass of synthetic calcium carbonate having an average particle size of 0.9 μm in which 1% by mass of ammonium salt of polyacrylic acid is adhered per calcium carbonate. A PET chip was obtained in the same manner as PET (I) (hereinafter abbreviated as PET (III)). The lubricant content in the PET chips was 0.75% by mass.

(積層フィルムX1の製造)
これらのPETチップを乾燥後、285℃で溶融し、別個の溶融押出し機押出機により290℃で溶融し、95%カット径が15μmのステンレススチール繊維を焼結したフィルターと、95%カット径が15μmのステンレススチール粒子を焼結したフィルターの2段の濾過を行って、フィードブロック内で合流して、PET(I)を表面層B(反離型面側層)、PET(II)を表面層A(離型面側層)となるように積層し、シート状に45m/分のスピードで押出(キャスティング)し、静電密着法により30℃のキャスティングドラム上に静電密着・冷却させ、固有粘度が0.59dl/gの未延伸ポリエチレンテレフタレートシートを得た。層比率は各押出機の吐出量計算でPET(I)/(II)=60質量%/40質量%となるように調整した。次いで、この未延伸シートを赤外線ヒーターで加熱した後、ロール温度80℃でロール間のスピード差により縦方向に3.5倍延伸した。その後、テンターに導き、140℃で横方向に4.2倍の延伸を行なった。次いで、熱固定ゾーンにおいて、210℃で熱処理した。その後、横方向に170℃で2.3%の緩和処理をして、厚さ31μmの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムX1を得た。得られたフィルムX1の表面層AのSaは2nm、表面層BのSaは28nmであった。
(Production of laminated film X1)
After drying these PET chips, they were melted at 285° C., melted at 290° C. by a separate melt extruder, and a filter made by sintering stainless steel fibers having a 95% cut diameter of 15 μm and a 95% cut diameter Two stages of filtration with a filter made by sintering stainless steel particles of 15 μm are performed, and they are merged in a feed block to make PET (I) a surface layer B (releasing surface side layer) and PET (II) a surface. Layer A (releasing surface side layer) is laminated, and extruded (casting) into a sheet at a speed of 45 m/min, and electrostatically adhered and cooled on a casting drum at 30° C. by an electrostatic adhesion method. An unstretched polyethylene terephthalate sheet having an intrinsic viscosity of 0.59 dl/g was obtained. The layer ratio was adjusted so that PET(I)/(II)=60% by mass/40% by mass was calculated by calculating the discharge amount of each extruder. Next, this unstretched sheet was heated by an infrared heater and then stretched 3.5 times in the machine direction at a roll temperature of 80° C. due to the speed difference between the rolls. Then, it was introduced into a tenter and stretched 4.2 times in the transverse direction at 140°C. Then, heat treatment was performed at 210° C. in the heat setting zone. Then, a relaxation treatment of 2.3% was performed in the transverse direction at 170° C. to obtain a biaxially stretched polyethylene terephthalate film X1 having a thickness of 31 μm. The Sa of the surface layer A of the obtained film X1 was 2 nm, and the Sa of the surface layer B was 28 nm.

(積層フィルムX2の製造)
積層フィルムX1と同様の層構成、延伸条件は変更せずに、キャスティング時の速度を変更することで厚みを調整し、25μmの厚みの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムX2を得た。得られたフィルムX2の表面層AのSaは3nm、表面層BのSaは29nmであった。
(Production of laminated film X2)
The thickness was adjusted by changing the speed during casting without changing the layer structure and the stretching conditions similar to those of the laminated film X1 to obtain a biaxially stretched polyethylene terephthalate film X2 having a thickness of 25 μm. The Sa of the surface layer A of the obtained film X2 was 3 nm, and the Sa of the surface layer B was 29 nm.

(積層フィルムX3)
積層フィルムX3としては、厚み25μmのA4100(コスモシャイン(登録商標)、東洋紡社製)を使用した。A4100は、フィルム中に粒子を実質的に含有せず、表面層B側にインラインコートで粒子を含んだコート層を設けた構成をしている。積層フィルムX3の表面層AのSaは1nm、表面層BのSaは2nmであった。
(Laminated film X3)
As the laminated film X3, A4100 (Cosmoshine (registered trademark), manufactured by Toyobo Co., Ltd.) having a thickness of 25 μm was used. A4100 has a structure in which particles are not substantially contained in the film and a coating layer containing particles is provided by in-line coating on the surface layer B side. The Sa of the surface layer A of the laminated film X3 was 1 nm, and the Sa of the surface layer B was 2 nm.

(積層フィルムX4)
積層フィルムX4としては、厚み25μmのE5101(東洋紡エステル(登録商標)フィルム、東洋紡社製)を使用した。E5101は、フィルム中に粒子を含有した構成になっている。積層フィルムX4の表面層AのSaは24nm、表面層BのSaは24nmであった。
(Laminated film X4)
As the laminated film X4, E5101 (Toyobo Ester (registered trademark) film, manufactured by Toyobo Co., Ltd.) having a thickness of 25 μm was used. E5101 has a structure in which particles are contained in the film. The Sa of the surface layer A of the laminated film X4 was 24 nm, and the Sa of the surface layer B was 24 nm.

(実施例1)
積層フィルムX1の表面層A上に以下の組成の塗布液をリバースグラビアを用いて乾燥後の離型層膜厚が50nmになるように塗工し、140℃で15秒乾燥することで超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。得られた離型フィルムにセラミックスラリーを塗工し塗工性、剥離性、シリコーン成分の移行量、ピンホール、カールなどを評価したところ、良好な評価結果が得られた。
メチルエチルケトン 49.45質量部
トルエン 49.45質量部
メラミン系化合物 0.95質量部
(フルエーテル型メチル化メラミン、固形分100%、三和ケミカル社製、商品名MW−30M、重量平均重合度1.3)
離型剤 0.05質量部
(片末端カルボキシル変性ポリジメチルシロキサン、X22−3710、固形分100%、信越化学工業社製、ジメチルシロキサンとカルボキシル基の間にアルキル基が介在)
酸触媒 0.10質量部
(p−トルエンスルホン酸、日立化成社製、商品名 ドライヤー(登録商標)900、固形分50%)
(Example 1)
A coating solution having the following composition is applied on the surface layer A of the laminated film X1 by using reverse gravure so that the release layer thickness after drying becomes 50 nm, and dried at 140° C. for 15 seconds to obtain an ultrathin film. A release film for producing a multilayer ceramic green sheet was obtained. When a ceramic slurry was applied to the obtained release film and the coating properties, releasability, transfer amount of silicone components, pinholes, curls, etc. were evaluated, good evaluation results were obtained.
Methyl ethyl ketone 49.45 parts by mass Toluene 49.45 parts by mass Melamine compound 0.95 parts by mass (Full ether type methylated melamine, solid content 100%, Sanwa Chemical Co., Ltd., trade name MW-30M, weight average degree of polymerization 1 .3)
Release agent 0.05 part by mass (polydimethylsiloxane modified with carboxyl carboxyl at one end, X22-3710, solid content 100%, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., with an alkyl group interposed between the dimethylsiloxane and the carboxyl group)
Acid catalyst 0.10 parts by mass (p-toluenesulfonic acid, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name Dryer (registered trademark) 900, solid content 50%)

(実施例2)
実施例1の塗布液のフルエーテル型メチル化メラミンの含有量を0.98質量部とし、離型剤(X22−3710)の添加量を0.02質量部に変更した塗布液を用いた以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 2)
The content of the full-ether-type methylated melamine in the coating liquid of Example 1 was set to 0.98 parts by mass, and the amount of the release agent (X22-3710) added was changed to 0.02 parts by mass, except that the coating liquid was used. In the same manner as in Example 1, a release film for producing an ultrathin layer ceramic green sheet was obtained.

(実施例3)
実施例1の塗布液のフルエーテル型メチル化メラミンの含有量を0.9質量部とし、離型剤(X22−3710)の添加量を0.1質量部に変更した塗布液を用いた以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 3)
The content of the full-ether-type methylated melamine in the coating liquid of Example 1 was set to 0.9 parts by mass, and the amount of the release agent (X22-3710) added was changed to 0.1 parts by mass except that the coating liquid was used. In the same manner as in Example 1, a release film for producing an ultrathin layer ceramic green sheet was obtained.

(実施例4)
実施例1の塗布液のフルエーテル型メチル化メラミンの含有量を0.8質量部とし、離型剤(X22−3710)の添加量を0.2質量部に変更した塗布液を用いた以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 4)
Other than using the coating liquid in which the content of the full-ether type methylated melamine in the coating liquid of Example 1 was 0.8 parts by mass and the amount of the release agent (X22-3710) added was changed to 0.2 parts by mass. In the same manner as in Example 1, a release film for producing an ultrathin layer ceramic green sheet was obtained.

(実施例5〜8)
実施例1の離型層の膜厚を表1に記載の膜厚に変更した以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Examples 5 to 8)
A release film for producing an ultrathin layer ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the release layer in Example 1 was changed to the thickness shown in Table 1.

(実施例9)
実施例1の基材フィルムを、フィルム厚みが25μmの積層フィルムX2に変更した以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 9)
A release film for producing an ultrathin layer ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the substrate film of Example 1 was changed to the laminated film X2 having a film thickness of 25 μm.

(実施例10)
実施例1の積層フィルムを、積層フィルムX3に変更した以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 10)
A release film for producing an ultrathin layer ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the laminated film of Example 1 was changed to the laminated film X3.

(実施例11)
実施例1の乾燥条件を、90℃15秒に変更した以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 11)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the drying conditions in Example 1 were changed to 90° C. for 15 seconds.

(実施例12)
実施例1の乾燥条件を、110℃15秒に変更した以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 12)
A release film for producing an ultrathin layer ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the drying conditions in Example 1 were changed to 110° C. for 15 seconds.

(実施例13)
実施例1の離型剤をX22−3701E(側鎖型カルボキシル変性ポリジメチルシロキサン、信越化学工業社製)に変更した塗布液を用いた以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 13)
Ultra thin ceramic green sheet was prepared in the same manner as in Example 1 except that the release agent of Example 1 was changed to X22-3701E (side chain type carboxyl-modified polydimethylsiloxane, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.). A release film for production was obtained.

(実施例14)
実施例1の離型剤をX22−162C(両末端型カルボキシル変性ポリジメチルシロキサン、信越化学工業社製)に変更した塗布液を用いた以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 14)
Ultra thin ceramic green sheet was prepared in the same manner as in Example 1 except that the release agent of Example 1 was changed to X22-162C (both terminal type carboxyl-modified polydimethylsiloxane, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.). A release film for production was obtained.

(実施例15)
実施例1のフルエーテル型メチル化メラミンをMW−30(フルエーテル型メチル化メラミン、三和ケミカル社製、重量平均重合度1.5)に変更した塗布液を用いた以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 15)
Example 1 except that a coating liquid in which the full ether type methylated melamine of Example 1 was changed to MW-30 (full ether type methylated melamine, manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd., weight average polymerization degree: 1.5) was used. Similarly, a release film for producing an ultrathin layer ceramic green sheet was obtained.

(実施例16)
実施例1のフルエーテル型メチル化メラミンをMS−21(フルエーテル型メチル化メラミン、三和ケミカル社製、重量平均重合度1.8)に変更した塗布液を用いた以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 16)
Example 1 except that a coating solution in which the full-ether type methylated melamine of Example 1 was changed to MS-21 (full-ether type methylated melamine, manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd., weight average degree of polymerization 1.8) was used. Similarly, a release film for producing an ultrathin layer ceramic green sheet was obtained.

(実施例17)
実施例1のフルエーテル型メチル化メラミンをMX−730(イミノ型メチル化メラミン、固形分80%、三和ケミカル社製、重量平均重合度2.4)に変更した塗布液を用いた以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 17)
Except that the coating liquid in which the full-ether type methylated melamine of Example 1 was changed to MX-730 (imino type methylated melamine, solid content 80%, Sanwa Chemical Co., Ltd., weight average polymerization degree 2.4) was used. A release film for producing an ultrathin layer ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1.

(比較例1)
実施例1の塗布層に対して離型剤を入れない塗布液を用いた以外は実施例1と同様の方法で超薄層セラミックシート製造用離型フィルムを得た。離型剤が入っていないため、剥離力が重くなった。
(Comparative Example 1)
A release film for producing an ultrathin layer ceramic sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that a coating solution containing no release agent was used in the coating layer of Example 1. Since the release agent was not contained, the peeling force became heavy.

(比較例2)
積層フィルムX1の代わりに、積層フィルムX4(E5101−25μm、東洋紡製)に変更した以外は、実施例1と同様の方法で超薄層セラミックシート製造用離型フィルムを得た。E5101は、表面層A、表面層Bともに粒子を含有しており、表面層A、表面層Bの両層のSaがともに24nmであった。表面粗さが大きいため、セラミックグリーンシートにピンホールが発生した。
(Comparative example 2)
A release film for producing an ultrathin layer ceramic sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the laminated film X4 (E5101-25 μm, manufactured by Toyobo) was used instead of the laminated film X1. E5101 contained particles in both the surface layer A and the surface layer B, and the Sa of both the surface layer A and the surface layer B was 24 nm. Due to the large surface roughness, pinholes were generated in the ceramic green sheet.

(比較例3)
塗布液を以下の組成の塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックシート製造用離型フィルムを得た。離型剤を多く添加し、メラミン系化合物が離型層の70質量%しかない比較例3ではセラミックグリーンシートへのPDMS移行量が大きくなった。
メチルエチルケトン 49.45質量部
トルエン 49.45質量部
メラミン系化合物 0.70質量部
(フルエーテル型メチル化メラミン、固形分100%、三和ケミカル社製、商品名MW−30M、重量平均重合度1.3)
離型剤 0.30質量部
(片末端カルボキシル変性ポリジメチルシロキサン、X22−3710、固形分100%、信越化学工業社製)
酸触媒 0.10質量部
(p−トルエンスルホン酸、日立化成社製、商品名 ドライヤー(登録商標)900、固形分50%)
(Comparative example 3)
A release film for producing an ultrathin layer ceramic sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid had the following composition. In Comparative Example 3 in which a large amount of the release agent was added and the melamine compound was only 70% by mass of the release layer, the amount of PDMS transferred to the ceramic green sheet was large.
Methyl ethyl ketone 49.45 parts by mass Toluene 49.45 parts by mass Melamine compound 0.70 parts by mass (Full ether type methylated melamine, solid content 100%, Sanwa Chemical Co., Ltd., trade name MW-30M, weight average degree of polymerization 1 .3)
Release agent 0.30 parts by weight (carboxyl-modified polydimethylsiloxane at one end, X22-3710, solid content 100%, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)
Acid catalyst 0.10 parts by mass (p-toluenesulfonic acid, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name Dryer (registered trademark) 900, solid content 50%)

(比較例4)
塗布液を以下の組成の塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックシート製造用離型フィルムを得た。BYK−370は、1分子中に2種類の官能基(エステル基およびヒドロキシル基)を有するポリジメチルシロキサンである。PDMS移行量は低く良好であるが、ヒドロキシル基とメラミン系化合物の相互作用が強く、PDMSが表面に出ていないためか、剥離力が重くなった。
メチルエチルケトン 48.38質量部
トルエン 48.37質量部
メラミン 0.95質量部
(フルエーテル型メチル化メラミン、固形分100%、三和ケミカル社製、商品名MW−30M、重量平均重合度1.3)
離型剤 0.20質量部
(ポリエステル変性OH基含有ポリジメチルシロキサン、BYK−370、固形分25%、ビックケミージャパン社製) 酸触媒 0.10質量部
(p−トルエンスルホン酸、日立化成社製、商品名 ドライヤー(登録商標)900、固形分50%)
(Comparative Example 4)
A release film for producing an ultrathin layer ceramic sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid had the following composition. BYK-370 is a polydimethylsiloxane having two kinds of functional groups (ester group and hydroxyl group) in one molecule. Although the amount of PDMS transferred was low and good, the peeling force was heavy probably because PDMS was not exposed on the surface because the interaction between the hydroxyl group and the melamine compound was strong.
Methyl ethyl ketone 48.38 parts by mass Toluene 48.37 parts by mass Melamine 0.95 parts by mass (Full ether type methylated melamine, solid content 100%, Sanwa Chemical Co., Ltd., trade name MW-30M, weight average degree of polymerization 1.3. )
Release agent 0.20 parts by mass (polyester-modified OH group-containing polydimethylsiloxane, BYK-370, solid content 25%, manufactured by BYK Japan KK) Acid catalyst 0.10 parts by mass (p-toluenesulfonic acid, Hitachi Chemical Co., Ltd.) Made, product name Dryer (registered trademark) 900, solid content 50%)

(比較例5)
実施例1の離型剤を、片末端エポキシ変性ポリジメチルシロキサン(X22−173DX、信越化学工業社製)に変更した塗布液を用いた以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。メラミン系化合物とエポキシ基の相互作用が弱いためかPDMSの移行量が多くなった。
(Comparative example 5)
Ultra-thin layer ceramic green sheet was prepared in the same manner as in Example 1 except that the releasing agent of Example 1 was changed to a coating liquid in which one end-epoxy modified polydimethylsiloxane (X22-173DX, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was used. A release film for production was obtained. The migration amount of PDMS increased because the interaction between the melamine compound and the epoxy group was weak.

(比較例6)
実施例1の離型剤を、片末端ヒドロキシ変性ポリジメチルシロキサン(X22−170DX、信越化学工業社製)に変更した塗布液を用いた以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。PDMS移行量は低く良好であるが、カルビノール基とメラミン系化合物の相互作用が強く、PDMSが表面に出ていないためか、剥離力が重くなった。
(Comparative example 6)
Ultra-thin layer ceramic green sheet was prepared in the same manner as in Example 1 except that the releasing agent of Example 1 was changed to a hydroxy-modified polydimethylsiloxane having one end (X22-170DX, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.). A release film for production was obtained. The amount of PDMS transferred was low and good, but the peeling force was heavy probably because PDMS was not exposed on the surface due to the strong interaction between the carbinol group and the melamine compound.

(比較例7)
塗布液を以下の組成の塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックシート製造用離型フィルムを得た。PDMS移行量は低く良好であるが、ヒドロキシル基とメラミン系化合物の相互作用が強く、PDMSが表面に出ていないためか、剥離力が重くなった。
メチルエチルケトン 49.32質量部
トルエン 49.32質量部
メラミン系化合物 1.25質量部
(イミノ型メチル化メラミン、固形分80%、三和ケミカル社製、商品名 MX−730、重量平均重合度2.4)
離型剤 0.005質量部
(ポリエーテル変性OH基含有ポリジメチルシロキサン、BYK−377、固形分100%、ビックケミージャパン社製)
酸触媒 0.10質量部
(p−トルエンスルホン酸、日立化成社製、商品名 ドライヤー(登録商標)900、固形分50%)
(Comparative Example 7)
A release film for producing an ultrathin layer ceramic sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid had the following composition. Although the amount of PDMS transferred was low and good, the peeling force was heavy probably because PDMS was not exposed on the surface because the interaction between the hydroxyl group and the melamine compound was strong.
Methyl ethyl ketone 49.32 parts by mass Toluene 49.32 parts by mass Melamine-based compound 1.25 parts by mass (imino-type methylated melamine, solid content 80%, Sanwa Chemical Co., Ltd., trade name MX-730, weight average degree of polymerization 2. 4)
Release agent 0.005 parts by mass (polyether-modified OH group-containing polydimethylsiloxane, BYK-377, solid content 100%, manufactured by BYK Japan KK)
Acid catalyst 0.10 parts by mass (p-toluenesulfonic acid, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name Dryer (registered trademark) 900, solid content 50%)

(比較例8)
塗布液を以下の組成の塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックシート製造用離型フィルムを得た。PDMS移行量は低く良好であるが、ヒドロキシル基とメラミン系化合物の相互作用が強く、PDMSが表面に出ていないためか、剥離力が重くなった。
メチルエチルケトン 49.26質量部
トルエン 49.26質量部
メラミン系化合物 1.18質量部
(イミノ型メチル化メラミン、固形分80%、三和ケミカル社製、商品名 MX−730、重量平均重合度2.4)
離型剤 0.20質量部
(ポリエステル変性OH基含有ポリジメチルシロキサン、BYK−370、固形分25%、ビックケミージャパン社製)
酸触媒 0.10質量部
(p−トルエンスルホン酸、日立化成社製、商品名 ドライヤー(登録商標)900、固形分50%)
(Comparative Example 8)
A release film for producing an ultrathin layer ceramic sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid had the following composition. Although the amount of PDMS transferred was low and good, the peeling force was heavy probably because PDMS was not exposed on the surface because the interaction between the hydroxyl group and the melamine compound was strong.
Methyl ethyl ketone 49.26 parts by mass Toluene 49.26 parts by mass Melamine-based compound 1.18 parts by mass (imino-type methylated melamine, solid content 80%, Sanwa Chemical Co., Ltd., trade name MX-730, weight average degree of polymerization 2. 4)
Release agent 0.20 parts by mass (polyester-modified OH group-containing polydimethylsiloxane, BYK-370, solid content 25%, manufactured by BYK Japan KK)
Acid catalyst 0.10 parts by mass (p-toluenesulfonic acid, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name Dryer (registered trademark) 900, solid content 50%)

本発明によれば、離型層の表面が平滑であり、従来のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムと比較して、セラミックグリーンシートにピンホール等の欠点を実質上生じることがなく、ポリオルガノシロキサンの移行が少ない0.2〜1.0μmの超薄層のセラミックグリーンシートを製造することができる。 According to the present invention, the surface of the release layer is smooth, and compared with the conventional release film for producing a ceramic green sheet, the ceramic green sheet does not substantially suffer from defects such as pinholes, and the polyorgano It is possible to manufacture a ceramic green sheet having an ultrathin layer of 0.2 to 1.0 μm in which migration of siloxane is small.

Claims (5)

二軸配向ポリエステルフィルムを基材とし、前記基材が少なくとも片面に無機粒子を実質的に含有していない表面層Aを有し、少なくとも片面の表面層Aの表面上に直接又は他の層を介して離型層が積層されており、前記離型層が少なくとも離型剤とメラミン系化合物を含む組成物が硬化されてなるものであり、離型剤がカルボキシル基を含有したポリオルガノシロキサンであり、かつメラミン系化合物の含有率が前記離型層形成用組成物の固形分に対し80質量%以上であるセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。 A biaxially oriented polyester film is used as a base material, and the base material has a surface layer A which does not substantially contain inorganic particles on at least one surface thereof, and at least one surface of the surface layer A is provided directly or with another layer. The release layer is laminated via, the release layer is obtained by curing a composition containing at least a release agent and a melamine compound, the release agent is a polyorganosiloxane containing a carboxyl group. And a release film for producing a ceramic green sheet, in which the content of the melamine compound is 80% by mass or more based on the solid content of the composition for forming the release layer. 基材の片面に無機粒子を実質的に含有していない表面層Aを有し、基材の前記表面層Aとは反対側に表面層Bを有し、表面層Bが粒子を含有し、前記粒子の少なくとも一部がシリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子であり、表面層Bの質量に対する粒子の合計含有率が5000〜15000ppmである請求項1に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。 The surface layer A having substantially no inorganic particles on one surface of the base material, the surface layer B on the opposite side of the base material from the surface layer A, and the surface layer B containing particles, The release film for producing a ceramic green sheet according to claim 1, wherein at least a part of the particles are silica particles and/or calcium carbonate particles, and the total content of the particles with respect to the mass of the surface layer B is 5000 to 15000 ppm. 前記離型フィルムの離型層の領域表面平均粗さ(Sa)が7nm以下であり、かつ、最大突起高さ(P)が100nm以下である請求項1または2に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。 3. The ceramic green sheet according to claim 1, wherein the release layer has a release layer having a surface area average roughness (Sa) of 7 nm or less and a maximum protrusion height (P) of 100 nm or less. Release film. 請求項1〜3のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを用いてセラミックグリーンシートを成型するセラミックグリーンシートの製造方法であって、成型されたセラミックグリーンシートが0.2μm〜1.0μmの厚みを有するセラミックグリーンシートの製造方法。 It is a manufacturing method of the ceramic green sheet which shape|molds a ceramic green sheet using the release film for ceramic green sheet manufacture in any one of Claims 1-3, Comprising: The molded ceramic green sheet is 0.2 micrometer-1. A method for producing a ceramic green sheet having a thickness of 0.0 μm. 請求項4に記載のセラミックグリーンシートの製造方法を採用するセラミックコンデンサの製造方法。 A method of manufacturing a ceramic capacitor, which employs the method of manufacturing a ceramic green sheet according to claim 4.
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