JP6977748B2 - Release film for manufacturing ceramic green sheets - Google Patents

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Description

本発明は、セラミックグリーンシート製造用離型フィルムに関するものであり、更に詳しくは超薄層のセラミックグリーンシート製造時にピンホール及び厚みムラによる工程不良の発生の抑制でき、セラミックグリーンシートの剥離時にセラミックグリーンシートにかかる力を極力少なくし、セラミックグリーンシートにダメージを与えず剥離することのできる超薄層のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムに関するものである。 The present invention relates to a release film for manufacturing a ceramic green sheet, and more specifically, it is possible to suppress the occurrence of process defects due to pinholes and uneven thickness during the manufacture of an ultrathin ceramic green sheet, and the ceramic is ceramic when the ceramic green sheet is peeled off. The present invention relates to an ultra-thin layer ceramic green sheet manufacturing release film that can be peeled off without damaging the ceramic green sheet by minimizing the force applied to the green sheet.

従来ポリエステルフィルムを基材とし、その上に離型層を積層した離型フィルムは、積層セラミックコンデンサ、セラミック基板等のセラミックグリーンシート成型用に使用されている。近年、積層セラミックコンデンサの小型化・大容量化に伴い、セラミックグリーンシートの厚みも薄膜化する傾向にある。セラミックグリーンシートは、離型フィルムに、チタン酸バリウムなどのセラミック成分とバインダー樹脂を含有したスラリーを塗工し乾燥することで成型される。成型したセラミックグリーンシートに電極を印刷し離型フィルムから剥離したのち、セラミックグリーンシートを積層、プレスし、焼成、外部電極を塗布することで積層セラミックコンデンサが製造される。ポリエステルフィルムの離型層表面にセラミックグリーンシートを成型する場合、離型層表面の微小な突起が成型したセラミックグリーンシートに影響を与え、ハジキやピンホール等の欠点を生じやすくなるといった問題点があった。そのため、優れた平坦性を有する離型層表面を実現するための手法が種々開発されてきた(例えば、特許文献1参照)。 Conventionally, a release film having a polyester film as a base material and a release layer laminated on the polyester film has been used for molding ceramic green sheets such as laminated ceramic capacitors and ceramic substrates. In recent years, as the size and capacity of multilayer ceramic capacitors have increased, the thickness of ceramic green sheets has also tended to decrease. The ceramic green sheet is molded by applying a slurry containing a ceramic component such as barium titanate and a binder resin to a release film and drying it. A laminated ceramic capacitor is manufactured by printing an electrode on a molded ceramic green sheet, peeling it from a release film, laminating and pressing the ceramic green sheet, firing, and applying an external electrode. When a ceramic green sheet is molded on the surface of the release layer of a polyester film, there is a problem that minute protrusions on the surface of the release layer affect the molded ceramic green sheet, and defects such as cissing and pinholes are likely to occur. there were. Therefore, various methods for realizing a release layer surface having excellent flatness have been developed (see, for example, Patent Document 1).

しかしながら近年、さらなるセラミックグリーンシートの薄膜化が進み、1.0μm以下、より詳しくは0.2μm〜1.0μmの厚みのセラミックグリーンシートが要求されるようになってきた。そのため、セラミックグリーンシートの強度が低下するため、離型層表面の平滑化だけではなく、セラミックグリーンシートを離型フィルムから剥離するときの剥離力を低くかつ均一にすることが要望されるようになってきた。つまり、離型フィルムからセラミックグリーンシートを剥離するときにセラミックグリーンシートにかかる力を極力少なくし、セラミックグリーンシートにダメージを与えないようにすることがより重要になってきている。 However, in recent years, further thinning of the ceramic green sheet has progressed, and a ceramic green sheet having a thickness of 1.0 μm or less, more specifically 0.2 μm to 1.0 μm, has been required. Therefore, since the strength of the ceramic green sheet is lowered, it is required not only to smooth the surface of the release layer but also to reduce and make the peeling force when the ceramic green sheet is peeled from the release film low and uniform. It has become. That is, it is becoming more important to minimize the force applied to the ceramic green sheet when peeling the ceramic green sheet from the release film so as not to damage the ceramic green sheet.

近年になって、メラミン樹脂を主成分とした組成物を加熱硬化させた離型層とすることで、薄層のセラミックグリーンシートを適度な剥離力で欠陥を生じることなく剥離できることが開示されている(例えば、特許文献2参照)。また、用いるメラミン樹脂の重量平均分子量を1000〜10000の範囲とし、メチロール基(CH−OH)の量を多くすることで、カールの発生を抑制できることが開示されている。 In recent years, it has been disclosed that a thin ceramic green sheet can be peeled off with an appropriate peeling force without causing defects by forming a release layer in which a composition containing a melamine resin as a main component is heat-cured. (See, for example, Patent Document 2). Further, the weight average molecular weight of the melamine resin in the range of 1,000 to 10,000 is used, by increasing the amount of methylol groups (CH 2 -OH), discloses that can suppress the occurrence of curling.

メラミン系化合物の重量平均分子量は、重量平均重合度で表すこともできる。前記のメラミン樹脂の重量平均分子量が1000以上であることは、メラミン系化合物同士が縮合した2量体、3量体、多量体などの多核体の比率が大きいことを意味し、重量平均重合度の値が大きいことを意味するものである。 The weight average molecular weight of the melamine compound can also be expressed by the weight average degree of polymerization. When the weight average molecular weight of the melamine resin is 1000 or more, it means that the ratio of polynuclear bodies such as dimers, trimers and multimers in which melamine compounds are condensed is large, and the degree of weight average polymerization is high. It means that the value of is large.

しかしながら、前記のような重量平均分子量の大きなメラミン樹脂を含む組成物を用いた離型層であると、メラミン系樹脂の反応性が不十分になり易く、超薄層のセラミックグリーンシート、具体的には1μm以下の超薄層品を剥離する時の剥離性が不十分であり、剥離後のセラミックグリーンシートに欠陥が生じるおそれがあった。また、近年、環境負荷低減やコストダウンの観点よりフィルム厚みが薄膜化する傾向にある。そのため、重量平均分子量の大きなメラミン樹脂を含む組成物を離型層に用いた離型フィルムであると、メラミン樹脂の反応性が不十分であるために、加工時に比較的多量の熱を加える必要があり、加工時に平面性や巻き外観が悪化する懸念や、カールが発生する懸念が依然としてあった。さらには、加工速度に制約があるため、より経済的に加工できる離型層が求められていた。 However, if the release layer uses a composition containing a melamine resin having a large weight average molecular weight as described above, the reactivity of the melamine resin tends to be insufficient, and an ultrathin ceramic green sheet, specifically The peelability when peeling an ultrathin layer product of 1 μm or less was insufficient, and there was a possibility that a defect would occur in the ceramic green sheet after peeling. Further, in recent years, the film thickness tends to be reduced from the viewpoint of reducing the environmental load and cost. Therefore, if the release film uses a composition containing a melamine resin having a large weight average molecular weight as the release layer, the reactivity of the melamine resin is insufficient, and therefore it is necessary to apply a relatively large amount of heat during processing. There was still a concern that the flatness and winding appearance would deteriorate during processing, and that curling would occur. Furthermore, since there are restrictions on the processing speed, there has been a demand for a mold release layer that can be processed more economically.

特開2000−117899号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2000-117899 特開2017−007226号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2017-007226

本発明は、かかる従来技術の課題を背景になされたものである。すなわち、離型フィルムの離型層表面の高い平滑性を維持しつつ、剥離力が低く均一であり、厚みが1μm以下の超薄層品でも欠陥が少ないセラミックグリーンシートを成型できるセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを提供しようとするものである。 The present invention has been made in the background of the problems of the prior art. That is, the production of a ceramic green sheet capable of molding a ceramic green sheet having a low peeling force and uniform thickness and having few defects even in an ultrathin layer product having a thickness of 1 μm or less while maintaining high smoothness on the surface of the release layer of the release film. It is intended to provide a release film.

本発明者らは上記課題を解決するために鋭意検討した結果、ポリエステルフィルムを用い、少なくとも片面に直接又は他の層を介して離型層を設け、離型層に少なくともメラミン系化合物及びカルボキシル基を含有したポリオルガノシロキサンを含有する組成物を硬化させ、前記メラミン系化合物の重量平均重合度を2.0以下とすることでセラミックグリーンシートの剥離時にセラミックグリーンシートにかかる力を極力少なくし、セラミックグリーンシートにダメージを与えず剥離することのできる、剥離性に優れたセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを提供できることを見出した。 As a result of diligent studies to solve the above problems, the present inventors have provided a release layer directly on at least one side or via another layer using a polyester film, and at least a melamine compound and a carboxyl group are provided in the release layer. By curing the composition containing the polyorganosiloxane containing the above and setting the weight average degree of polymerization of the melamine compound to 2.0 or less, the force applied to the ceramic green sheet when the ceramic green sheet is peeled off is minimized. It has been found that it is possible to provide a release film for producing a ceramic green sheet having excellent peelability, which can be peeled off without damaging the ceramic green sheet.

即ち、本発明は以下の構成よりなる。
1. 二軸配向ポリエステルフィルムを基材とし、前記基材が少なくとも片面に無機粒子を実質的に含有していない表面層Aを有し、少なくとも片面の表面層Aの表面上に直接又は他の層を介して離型層が積層されており、前記離型層が少なくとも離型剤及びメラミン系化合物を含む組成物が硬化されてなるものであり、前記離型剤がカルボキシル基を含有したポリオルガノシロキサンであり、前記メラミン系化合物の重量平均重合度が2.0以下であり、かつメラミン系化合物の含有率が前記離型層形成用組成物の固形分に対し80質量%以上であるセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
2. 基材の片面に無機粒子を実質的に含有していない表面層Aを有し、基材の前記表面層Aとは反対側に表面層Bを有し、表面層Bが粒子を含有し、前記粒子の少なくとも一部がシリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子であり、表面層Bの質量に対する粒子の合計含有率が5000〜15000ppmである上記第1に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
3. 離型層の領域表面平均粗さ(Sa)が7nm以下であり、かつ、最大突起高さ(P)が100nm以下である上記第1または第2に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
4. 上記第1〜第3のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを用いてセラミックグリーンシートを成型するセラミックグリーンシートの製造方法であって、成型されたセラミックグリーンシートが0.2μm〜1.0μmの厚みを有するセラミックグリーンシートの製造方法。
5. 上記第4に記載のセラミックグリーンシートの製造方法を採用するセラミックコンデンサの製造方法。
That is, the present invention has the following configuration.
1. 1. A biaxially oriented polyester film is used as a base material, and the base material has a surface layer A having substantially no inorganic particles on at least one side thereof, and a layer directly or another layer is formed on the surface of the surface layer A on at least one side. A release layer is laminated therethrough, and the release layer is formed by curing a composition containing at least a release agent and a melamine compound, and the release agent is a polyorganosiloxane containing a carboxyl group. A ceramic green sheet having a weight average polymerization degree of the melamine compound of 2.0 or less and a content of the melamine compound of 80% by mass or more with respect to the solid content of the release layer forming composition. Release film for manufacturing.
2. 2. One side of the substrate has a surface layer A that does not substantially contain inorganic particles, the surface layer B has a surface layer B on the opposite side of the substrate from the surface layer A, and the surface layer B contains particles. The release film for producing a ceramic green sheet according to the first aspect, wherein at least a part of the particles is silica particles and / or calcium carbonate particles, and the total content of the particles with respect to the mass of the surface layer B is 5000 to 15000 ppm.
3. 3. The release film for producing a ceramic green sheet according to the first or second above, wherein the region surface average roughness (Sa) of the release layer is 7 nm or less, and the maximum protrusion height (P) is 100 nm or less.
4. A method for manufacturing a ceramic green sheet by molding a ceramic green sheet using the release film for manufacturing a ceramic green sheet according to any one of the first to third, wherein the molded ceramic green sheet has a thickness of 0.2 μm or more. A method for manufacturing a ceramic green sheet having a thickness of 1.0 μm.
5. A method for manufacturing a ceramic capacitor, which employs the method for manufacturing a ceramic green sheet according to the fourth item.

本発明の超薄層のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムは、離型層の表面が平滑であり、従来のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムと比較して、セラミックグリーンシート製造時にピンホール及び厚みムラによる工程不良の発生を抑制でき、かつセラミックグリーンシートの剥離時にセラミックグリーンシートにかかる力を極力少なくでき、セラミックグリーンシートにダメージを与えず剥離できることで、0.2〜1.0μmの超薄層のセラミックグリーンシートを効率的に製造することができるものである。 The release film for manufacturing an ultrathin ceramic green sheet of the present invention has a smooth surface on the release layer, and has pinholes and pinholes during the production of a ceramic green sheet as compared with the conventional release film for manufacturing a ceramic green sheet. The occurrence of process defects due to uneven thickness can be suppressed, the force applied to the ceramic green sheet when the ceramic green sheet is peeled off can be reduced as much as possible, and the ceramic green sheet can be peeled off without damaging it, resulting in over 0.2 to 1.0 μm. It is possible to efficiently manufacture a thin-layer ceramic green sheet.

以下、本発明について詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail.

本発明のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムは、基材となるポリエステルフィルムの少なくとも片面上に直接もしくは他の層を介して少なくともメラミン系化合物及びカルボキシル基を含有するポリオルガノシロキサンを含む組成物を硬化させてなる離型層が積層されていることが好ましい。そして、基材となるポリエステルフィルムの片面に無機粒子を実質的に含有していない表面層Aを有し、前記表面層A上に直接又は他の層を介して前記組成物が硬化されてなる離型層が積層されていることが好ましい。 The release film for producing a ceramic green sheet of the present invention comprises a composition containing at least a melamine-based compound and a polyorganosiloxane containing a carboxyl group on at least one side of a polyester film as a base material, either directly or via another layer. It is preferable that the cured release layer is laminated. Then, one side of the polyester film as a base material has a surface layer A that does not substantially contain inorganic particles, and the composition is cured on the surface layer A directly or via another layer. It is preferable that the release layer is laminated.

(ポリエステルフィルム)
本発明における基材として用いるポリエステルフィルムを構成するポリエステルは、特に限定されず、離型フィルム用基材として通常一般に使用されているポリエステルをフィルム成形したものを使用することが出来るが、好ましくは、芳香族二塩基酸成分とジオール成分からなる結晶性の線状飽和ポリエステルであるのが良く、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン−2,6−ナフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリトリメチレンテレフタレート又はこれらの樹脂の構成成分を主成分とする共重合体がさらに好適であり、とりわけポリエチレンテレフタレートから形成されたポリエステルフィルムが特に好適である。ポリエチレンテレフタレートは、エチレンテレフタレートの繰り返し単位が好ましくは90モル%以上、より好ましくは95モル%以上であり、他のジカルボン酸成分、ジオール成分が少量共重合されていてもよいが、コストの点から、テレフタル酸とエチレングリコールのみから製造されたものが好ましい。また、本発明のフィルムの効果を阻害しない範囲内で、公知の添加剤、例えば、酸化防止剤、光安定剤、紫外線吸収剤、結晶化剤などを添加してもよい。ポリエステルフィルムは双方向の弾性率の高さ等の理由から二軸配向ポリエステルフィルムであることが好ましい。
(Polyester film)
The polyester constituting the polyester film used as the base material in the present invention is not particularly limited, and a film-molded polyester usually generally used as a base material for a release film can be used, but it is preferable. It is preferably a crystalline linear saturated polyester composed of an aromatic dibasic acid component and a diol component, for example, polyethylene terephthalate, polyethylene-2,6-naphthalate, polybutylene terephthalate, polytrimethylene terephthalate or resins thereof. A copolymer containing a constituent component as a main component is more preferable, and a polyester film formed from polyethylene terephthalate is particularly preferable. The repeating unit of ethylene terephthalate is preferably 90 mol% or more, more preferably 95 mol% or more, and other dicarboxylic acid components and diol components may be copolymerized in a small amount, but from the viewpoint of cost. , Preferably made only from terephthalic acid and ethylene glycol. Further, known additives such as antioxidants, light stabilizers, ultraviolet absorbers, crystallization agents and the like may be added as long as the effects of the film of the present invention are not impaired. The polyester film is preferably a biaxially oriented polyester film because of its high bidirectional elastic modulus and the like.

上記ポリエステルフィルムの固有粘度は0.50〜0.70dl/gが好ましく、0.52〜0.62dl/gがより好ましい。固有粘度が0.50dl/g以上の場合、延伸工程で破断が多く発生することがなく好ましい。逆に、0.70dl/g以下の場合、所定の製品幅に裁断するときの裁断性が良く、寸法不良が発生しないので好ましい。また、原料ペレットは十分に真空乾燥することが好ましい。 The intrinsic viscosity of the polyester film is preferably 0.50 to 0.70 dl / g, more preferably 0.52 to 0.62 dl / g. When the intrinsic viscosity is 0.50 dl / g or more, it is preferable because many breaks do not occur in the stretching step. On the contrary, when it is 0.70 dl / g or less, it is preferable because the cutability when cutting to a predetermined product width is good and dimensional defects do not occur. Further, it is preferable that the raw material pellets are sufficiently vacuum dried.

本発明におけるポリエステルフィルムの製造方法は特に限定されず、従来一般に用いられている方法を用いることが出来る。例えば、前記ポリエステルを押出機にて溶融して、フィルム状に押出し、回転冷却ドラムにて冷却することにより未延伸フィルムを得て、該未延伸フィルムを一軸又は二軸延伸することにより得ることが出来る。二軸延伸フィルムは、縦方向あるいは横方向の一軸延伸フィルムを横方向または縦方向に逐次二軸延伸する方法、或いは未延伸フィルムを縦方向と横方向に同時二軸延伸する方法で得ることが出来る。 The method for producing a polyester film in the present invention is not particularly limited, and a method generally used in the past can be used. For example, the polyester can be melted by an extruder, extruded into a film, cooled by a rotary cooling drum to obtain an unstretched film, and the unstretched film can be obtained by uniaxially or biaxially stretching. You can. The biaxially stretched film can be obtained by a method of sequentially biaxially stretching a uniaxially stretched film in a vertical or horizontal direction in a horizontal or vertical direction, or a method of simultaneously biaxially stretching an unstretched film in the vertical and horizontal directions. I can.

本発明において、ポリエステルフィルム延伸時の延伸温度はポリエステルの二次転移点(Tg)以上とすることが好ましい。縦、横おのおのの方向に1〜8倍、特に2〜6倍の延伸をすることが好ましい。 In the present invention, the stretching temperature at the time of stretching the polyester film is preferably set to be equal to or higher than the secondary transition point (Tg) of the polyester. It is preferable to stretch 1 to 8 times, particularly 2 to 6 times in each of the vertical and horizontal directions.

上記ポリエステルフィルムは、厚みが12〜50μmであることが好ましく、さらに好ましくは15〜38μmであり、より好ましくは、19μm〜33μmである。フィルムの厚みが12μm以上であれば、フィルム生産時や離型層の加工工程、セラミックグリーンシートなどの成型の時に、熱により変形するおそれがなく好ましい。一方、フィルムの厚みが50μm以下であれば、使用後に廃棄するフィルムの量が極度に多くならず、環境負荷を小さくする上で好ましい。 The thickness of the polyester film is preferably 12 to 50 μm, more preferably 15 to 38 μm, and even more preferably 19 μm to 33 μm. When the thickness of the film is 12 μm or more, it is preferable because there is no possibility of deformation due to heat during film production, a process of processing a release layer, and molding of a ceramic green sheet or the like. On the other hand, when the thickness of the film is 50 μm or less, the amount of the film discarded after use does not become extremely large, which is preferable in reducing the environmental load.

上記ポリエステルフィルム基材は、単層であっても2層以上の多層であっても構わないが、少なくとも片面には実質的に無機粒子を含まない表面層Aを有することが好ましい。2層以上の多層構成からなる積層ポリエステルフィルムの場合は、実質的に無機粒子を含有しない表面層Aの反対面には、粒子などを含有することができる表面層Bを有することが好ましい。積層構成としては、離型層を塗布する側の層を表面層A、その反対面の層を表面層B、これら以外の芯層を層Cとすると、厚み方向の層構成は離型層/A/B、あるいは離型層/A/C/B等の積層構造が挙げられる。当然ながら層Cは複数の層構成であっても構わない。また、表面層Bには粒子を含まないこともできる。その場合、フィルムをロール状に巻き取るための滑り性付与するため、表面層B上には粒子とバインダーを含んだコート層を設けることが好ましい。 The polyester film base material may be a single layer or a multilayer of two or more layers, but it is preferable that the surface layer A having substantially no inorganic particles on at least one surface thereof. In the case of a laminated polyester film having a multilayer structure of two or more layers, it is preferable to have a surface layer B capable of containing particles or the like on the opposite surface of the surface layer A which does not substantially contain inorganic particles. As for the laminated structure, if the layer on the side to which the release layer is applied is the surface layer A, the layer on the opposite surface thereof is the surface layer B, and the core layer other than these is the layer C, the layer structure in the thickness direction is the release layer / A laminated structure such as A / B or a release layer / A / C / B can be mentioned. As a matter of course, the layer C may have a plurality of layer configurations. Further, the surface layer B may not contain particles. In that case, it is preferable to provide a coat layer containing particles and a binder on the surface layer B in order to impart slipperiness for winding the film into a roll.

本発明におけるポリエステルフィルム基材において、離型層を塗布する面を形成する表面層Aは、実質的に無機粒子を含有しないことが好ましい。このとき、表面層Aの領域表面平均粗さ(Sa)は、7nm以下が好ましい。Saが7nm以下であると、積層する超薄層セラミックグリーンシートの成型時にピンホールなどの発生が起こりにくく好ましい。表面層Aの領域表面平均粗さ(Sa)は小さいほど好ましいと言えるが、0.1nm以上であって構わない。ここで、表面層A上に後述のアンカーコート層などを設ける場合は、コート層に実質的に無機粒子を含まないことが好ましく、コート層積層後の領域表面平均粗さ(Sa)が前記範囲に入ることが好ましい。本発明において、「無機粒子を実質的に含有しない」とは、ケイ光X線分析で無機元素を定量した場合に50ppm以下、好ましくは10ppm以下、最も好ましくは検出限界以下となる含有量を意味する。これは積極的に無機粒子をフィルム中に添加させなくても、外来異物由来のコンタミ成分や、原料樹脂あるいはフィルムの製造工程におけるラインや装置に付着した汚れが剥離して、フィルム中に混入する場合があるためである。 In the polyester film base material of the present invention, it is preferable that the surface layer A forming the surface to which the release layer is applied does not substantially contain inorganic particles. At this time, the region surface average roughness (Sa) of the surface layer A is preferably 7 nm or less. When Sa is 7 nm or less, pinholes and the like are less likely to occur during molding of the ultrathin layer ceramic green sheet to be laminated, which is preferable. It can be said that the smaller the region surface average roughness (Sa) of the surface layer A is, the more preferable it is, but it may be 0.1 nm or more. Here, when an anchor coat layer or the like, which will be described later, is provided on the surface layer A, it is preferable that the coat layer does not substantially contain inorganic particles, and the region surface average roughness (Sa) after laminating the coat layer is in the above range. It is preferable to enter. In the present invention, "substantially free of inorganic particles" means a content of 50 ppm or less, preferably 10 ppm or less, and most preferably detection limit or less when the inorganic element is quantified by the optical X-ray analysis. do. This means that even if inorganic particles are not actively added to the film, contamination components derived from foreign substances and stains attached to raw material resins or lines and devices in the film manufacturing process are peeled off and mixed into the film. This is because there are cases.

本発明におけるポリエステルフィルム基材において、離型層を塗布する面の反対面を形成する表面層Bは、フィルムの滑り性や空気の抜けやすさの観点から、粒子を含有することが好ましく、特にシリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子を用いることが好ましい。含有される粒子含有量は、表面層B中に粒子の合計で5000〜15000ppm含有することが好ましい。このとき、表面層Bのフィルムの領域表面平均粗さ(Sa)は、1〜40nmの範囲であることが好ましい。より好ましくは、5〜35nmの範囲である。シリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子の合計が5000ppm以上、Saが1nm以上の場合には、フィルムをロール状に巻き上げるときに、空気を均一に逃がすことができ、巻き姿が良好で平面性良好により、超薄層セラミックグリーンシートの製造に好適なものとなる。また、シリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子の合計が15000ppm以下、Saが40nm以下の場合には、滑剤の凝集が生じにくく、粗大突起ができないため、超薄層のセラミックグリーンシート製造時に品質が安定し好ましい。 In the polyester film base material of the present invention, the surface layer B forming the opposite surface to the surface to which the release layer is applied preferably contains particles from the viewpoint of the slipperiness of the film and the ease with which air can escape. It is preferable to use silica particles and / or calcium carbonate particles. The particle content is preferably 5,000 to 15,000 ppm in total in the surface layer B. At this time, the region surface average roughness (Sa) of the film of the surface layer B is preferably in the range of 1 to 40 nm. More preferably, it is in the range of 5 to 35 nm. When the total amount of silica particles and / or calcium carbonate particles is 5000 ppm or more and Sa is 1 nm or more, air can be uniformly released when the film is rolled into a roll shape, and the rolled shape is good and the flatness is good. , Suitable for the production of ultra-thin layer ceramic green sheet. Further, when the total amount of silica particles and / or calcium carbonate particles is 15,000 ppm or less and Sa is 40 nm or less, the lubricant is less likely to aggregate and coarse protrusions cannot be formed, so that the quality is stable during the production of an ultrathin ceramic green sheet. It is preferable.

上記表面層Bに含有する粒子としては、シリカ及び/又は炭酸カルシウム以外に不活性な無機粒子及び/又は耐熱性有機粒子などを用いることができる。透明性やコストの観点からシリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子を用いることがより好ましいが、他に使用できる無機粒子としては、アルミナ−シリカ複合酸化物粒子、ヒドロキシアパタイト粒子などが挙げられる。また、耐熱性有機粒子としては、架橋ポリアクリル系粒子、架橋ポリスチレン粒子、ベンゾグアナミン系粒子などが挙げられる。またシリカ粒子を用いる場合、多孔質のコロイダルシリカが好ましく、炭酸カルシウム粒子を用いる場合は、ポリアクリル酸系の高分子化合物で表面処理を施した軽質炭酸カルシウムが、滑剤の脱落防止の観点から好ましい。 As the particles contained in the surface layer B, inert inorganic particles and / or heat-resistant organic particles other than silica and / or calcium carbonate can be used. From the viewpoint of transparency and cost, it is more preferable to use silica particles and / or calcium carbonate particles, but other inorganic particles that can be used include alumina-silica composite oxide particles and hydroxyapatite particles. Examples of the heat-resistant organic particles include crosslinked polyacrylic particles, crosslinked polystyrene particles, and benzoguanamine particles. When silica particles are used, porous colloidal silica is preferable, and when calcium carbonate particles are used, light calcium carbonate surface-treated with a polyacrylic acid-based polymer compound is preferable from the viewpoint of preventing the lubricant from falling off. ..

上記表面層Bに添加する粒子の平均粒子径は、0.1μm以上2.0μm以下が好ましく、0.5μm以上1.0μm以下が特に好ましい。粒子の平均粒子径が0.1μm以上であれば、離型フィルムの滑り性が良好であり好ましい。また、平均粒子径が2.0μm以下であれば、離型層表面の粗大粒子によるセラミックグリーンシートにピンホールが発生するおそれがなく好ましい。 The average particle size of the particles added to the surface layer B is preferably 0.1 μm or more and 2.0 μm or less, and particularly preferably 0.5 μm or more and 1.0 μm or less. When the average particle size of the particles is 0.1 μm or more, the slipperiness of the release film is good, which is preferable. Further, when the average particle size is 2.0 μm or less, pinholes are not likely to occur in the ceramic green sheet due to the coarse particles on the surface of the release layer, which is preferable.

上記表面層Bには素材の異なる粒子を2種類以上含有させてもよい。また、同種の粒子で平均粒径の異なるものを含有させてもよい。 The surface layer B may contain two or more types of particles having different materials. Further, particles of the same type having different average particle sizes may be contained.

表面層Bに粒子を含まない場合は、表面層B上に粒子を含んだコート層で易滑性を持たせることが好ましい。本コート層は、特に限定されないが、ポリエステルフィルムの製膜中に塗工するインラインコートで設けることが好ましい。表面層Bに粒子を含まず、表面層B上に粒子を含むコート層を有する場合、コート層の表面は、上述の表面層Bの領域表面平均粗さ(Sa)と同様の理由により、領域表面平均粗さ(Sa)が1〜40nmの範囲であることが好ましい。より好ましくは、5〜35nmの範囲である。 When the surface layer B does not contain particles, it is preferable to provide slipperiness with a coat layer containing particles on the surface layer B. The coating layer is not particularly limited, but is preferably provided by an in-line coating applied during the formation of the polyester film. When the surface layer B does not contain particles and has a coat layer containing particles on the surface layer B, the surface of the coat layer has a region for the same reason as the above-mentioned region surface average roughness (Sa) of the surface layer B. The surface average roughness (Sa) is preferably in the range of 1 to 40 nm. More preferably, it is in the range of 5 to 35 nm.

上記離型層を設ける側の層である表面層Aには、ピンホール低減の観点から、滑剤などの粒子の混入を防ぐため、再生原料などを使用しないことが好ましい。 From the viewpoint of reducing pinholes, it is preferable not to use a recycled material or the like in the surface layer A, which is the layer on which the release layer is provided, in order to prevent particles such as lubricant from being mixed.

上記離型層を設ける側の層である表面層Aの厚み比率は、基材フィルムの全層厚みの20%以上50%以下であることが好ましい。20%以上であれば、表面層Bなどに含まれる粒子の影響をフィルム内部から受けづらく、領域表面平均粗さSaが上記の範囲を満足することが容易であり好ましい。基材フィルムの全層の厚みの50%以下であると、表面層Bにおける再生原料の使用比率を増やすことができ、環境負荷が小さくなり好ましい。 The thickness ratio of the surface layer A, which is the layer on which the release layer is provided, is preferably 20% or more and 50% or less of the total thickness of the base film. If it is 20% or more, it is not easily affected by the particles contained in the surface layer B or the like from the inside of the film, and it is easy for the region surface average roughness Sa to satisfy the above range, which is preferable. When it is 50% or less of the thickness of all the layers of the base film, the ratio of the recycled raw material used in the surface layer B can be increased, and the environmental load is small, which is preferable.

また、経済性の観点から上記表面層A以外の層(表面層Bもしくは前述の中間層C)には、50〜90質量%のフィルム屑やペットボトルの再生原料を使用することができる。この場合でも、表面層Bに含まれる滑剤の種類や量、粒径ならびに領域表面平均粗さ(Sa)は、上記の範囲を満足することが好ましい。 Further, from the viewpoint of economic efficiency, 50 to 90% by mass of film waste or recycled raw material for PET bottles can be used for the layers other than the surface layer A (surface layer B or the above-mentioned intermediate layer C). Even in this case, it is preferable that the type and amount of the lubricant contained in the surface layer B, the particle size, and the region surface average roughness (Sa) satisfy the above ranges.

また、後に塗布する離型層などの密着性を向上させたり、帯電を防止するなどのために表面層A及び/または表面層Bの表面に製膜工程内の延伸前または一軸延伸後のフィルムにコート層を設けてもよく、コロナ処理などを施すこともできる。 Further, a film before or after uniaxial stretching in the film forming process on the surface of the surface layer A and / or the surface layer B in order to improve the adhesion of the release layer to be applied later and prevent charging. A coat layer may be provided on the surface, or a corona treatment or the like may be applied.

(離型層の構造)
本発明における離型層には、少なくともメラミン系化合物及びカルボキシル基を含有したポリオルガノシロキサンを含む組成物が硬化されてなることが好ましい。本発明の効果を損なわない範囲で、前記樹脂や添加剤以外にも他の成分を添加することができる。
(Structure of release layer)
It is preferable that the release layer in the present invention is formed by curing a composition containing at least a melamine-based compound and a polyorganosiloxane containing a carboxyl group. In addition to the resin and additives, other components can be added as long as the effects of the present invention are not impaired.

本発明における離型層に用いるメラミン系化合物としては、一般的なものを使用でき特に限定されないが、メラミンとホルムアルデヒドを縮合して得られ、1分子中にトリアジン環、及びメチロール基及び/又はアルコキシメチル基をそれぞれ1つ以上有していることが好ましい。具体的には、メラミンとホルムアルデヒドを縮合して得られるメチロールメラミン誘導体に、低級アルコールとしてメチルアルコール、エチルアルコール、イソプロピルアルコール、ブチルアルコール等を脱水縮合反応させてエーテル化した化合物などが好ましい。メチロール化メラミン誘導体としては、例えばモノメチロールメラミン、ジメチロールメラミン、トリメチロールメラミン、テトラメチロールメラミン、ペンタメチロールメラミン、ヘキサメチロールメラミンを挙げることができる。1種類を用いても2種類以上も用いても構わない。 As the melamine-based compound used for the release layer in the present invention, a general compound can be used and is not particularly limited, but it is obtained by condensing melamine and formaldehyde, and a triazine ring and a methylol group and / or an alkoxy are contained in one molecule. It is preferable to have one or more methyl groups each. Specifically, a compound obtained by dehydrating and condensing a methylalcohol melamine derivative obtained by condensing melamine and formaldehyde with methyl alcohol, ethyl alcohol, isopropyl alcohol, butyl alcohol and the like as lower alcohols to etherify them is preferable. Examples of the methylolated melamine derivative include monomethylol melamine, dimethylol melamine, trimethylol melamine, tetramethylol melamine, pentamethylol melamine, and hexamethylol melamine. One type may be used or two or more types may be used.

本発明における離型層は、剥離時に生じる離型層の変型を抑制し、剥離力を低く均一にするために架橋密度が高く高弾性率にすることが好ましい。そのため、1分子中により多くの架橋点をもつヘキサメチロールメラミンやヘキサアルコキシメチルメラミンを用いることが好ましいが、反応性により優れるヘキサアルコキシメチルメラミンがより好ましく、特にヘキサメトキシメチルメラミンを用いることが好ましい。この時、ヘキサメチロールメラミンとは、下記式(a)中、Xがメチロール基(−CH−OH)であるものである。ヘキサアルコキシメチルメラミンとは、メチロールメラミン誘導体にアルコールを用いて脱水縮合反応させたものであり、Xが(−CH−OR、Rは炭素数1〜4のアルキル基)であるものである。ヘキサメトキシメチルメラミンとは、Xが(−CH−OMe)であるものである。 The release layer in the present invention preferably has a high crosslink density and a high elastic modulus in order to suppress the deformation of the release layer that occurs at the time of peeling and to make the peeling force low and uniform. Therefore, it is preferable to use hexamethylol melamine or hexaalkoxymethyl melamine having more cross-linking points in one molecule, but hexaalkoxymethyl melamine having better reactivity is more preferable, and hexamethoxymethyl melamine is particularly preferable. At this time, the hexamethylol melamine is one in which X is a methylol group (−CH 2- OH) in the following formula (a). Hexaalkoxymethylmelamine is obtained by subjecting a methylol melamine derivative to a dehydration condensation reaction using an alcohol, and X is (-CH 2- OR, R is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms). The hexamethoxymethylmelamine are those wherein X is (-CH 2 -OMe).

Figure 0006977748
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上記(a)中のXはそれぞれ同じであってもよいし、異なっていても良い。また上記Rは、それぞれ同じであっても良く、異なっていても良い。また、Xは(−H)でも良い。 The Xs in the above (a) may be the same or different. Further, the above Rs may be the same or different from each other. Further, X may be (−H).

本発明における離型層に用いるメラミン系化合物において、重量平均分子量が250以上、1000以下であることが好ましい。より好ましくは、重量平均分子量が250以上、900以下、更に好ましくは300以上、800以下である。重量平均分子量が1000以下であれば、架橋反応が進行しやすく、より架橋密度の高い膜が形成でき、剥離力を軽くすることができるため好ましい。重量平均分子量が250以上であれば、架橋密度が過剰に高くなりすぎずカールが悪化しないため好ましい。なお、本明細書における重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により測定した標準ポリスチレン換算の値である。 The melamine compound used for the release layer in the present invention preferably has a weight average molecular weight of 250 or more and 1000 or less. More preferably, the weight average molecular weight is 250 or more and 900 or less, and more preferably 300 or more and 800 or less. When the weight average molecular weight is 1000 or less, the cross-linking reaction easily proceeds, a film having a higher cross-linking density can be formed, and the peeling force can be reduced, which is preferable. When the weight average molecular weight is 250 or more, the crosslink density does not become excessively high and the curl does not deteriorate, which is preferable. The weight average molecular weight in the present specification is a value in terms of standard polystyrene measured by a gel permeation chromatography (GPC) method.

メラミン系化合物の重量平均分子量が250〜1000であるということは、本発明において用いるメラミン系化合物には単核体が多く含まれていることを意味する。単核体は、2個以上のメラミン誘導体が縮合してなる多核体よりも架橋点が多く反応性に優れるため、架橋密度が高く剥離性に優れる離型層とすることができる。単核体の含有量は多いほど好ましく、単核体のみからなるメラミン系化合物を用いることが最も好ましい。 The fact that the weight average molecular weight of the melamine-based compound is 250 to 1000 means that the melamine-based compound used in the present invention contains a large amount of mononuclear compounds. Since the mononuclear body has more cross-linking points and is excellent in reactivity than the polynuclear body formed by condensing two or more melamine derivatives, it can be a release layer having a high cross-linking density and excellent peelability. The larger the content of the mononuclear body, the more preferable, and it is most preferable to use a melamine-based compound composed of only the mononuclear body.

重量平均分子量は重量平均重合度で表すこともできる。用いるメラミン系化合物の重量平均重合度は2.0以下であることが好ましく、1.5以下であることがより好ましく、小さいほど好適に用いることができる。重量平均重合度が2.0以下であると、メラミン系化合物に含まれる単核体の含有量が多くなり、反応性に優れ、剥離性に優れる離型層とすることができるため好ましい。なお、本明細書における重量平均重合度は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーによって標準ポリスチレン換算により求めた重量平均分子量に基づいて算出した値である。 The weight average molecular weight can also be expressed by the weight average degree of polymerization. The weight average degree of polymerization of the melamine-based compound used is preferably 2.0 or less, more preferably 1.5 or less, and the smaller the weight average polymerization degree, the more preferably it can be used. When the weight average degree of polymerization is 2.0 or less, the content of the mononuclear body contained in the melamine compound increases, and the release layer having excellent reactivity and peelability can be obtained, which is preferable. The weight average degree of polymerization in the present specification is a value calculated based on the weight average molecular weight obtained by gel permeation chromatography in terms of standard polystyrene.

メラミン系化合物はその合成過程において、イミノ基(−NH−)を含有するものや、多核体が混入することがある。これらメラミン誘導体が混合していても、メラミン系化合物の重量平均分子量(すなわち重量平均重合度)が上記範囲内であれば反応性に優れ、それぞれ好適に用いることができる。 Melamine-based compounds may contain imino groups (-NH 2- ) or polynuclear compounds in the process of their synthesis. Even if these melamine derivatives are mixed, if the weight average molecular weight (that is, the weight average degree of polymerization) of the melamine compound is within the above range, the reactivity is excellent and each of them can be suitably used.

本発明における離型層には、メラミン系化合物が離型層形成用組成物の固形分に対して、80質量%以上99.9質量%以下含まれることが好ましく、より好ましくは90質量%以上99.9質量%以下であり、さらに好ましくは95質量%以上99.9質量%以下である。メラミン系化合物を80質量%以上含むことで離型層がメラミン系化合物の自己架橋により、高い架橋密度を得ることができ、剥離時の離型層の変型を抑えることができる。このとき、離型層形成用組成物の固形分とは、溶媒や酸触媒は乾燥過程で相当部分蒸発してしまうため、実質的にメラミン系化合物と離型剤の固形分の合計した値とみなして差し支えない。 The release layer in the present invention preferably contains a melamine compound in an amount of 80% by mass or more and 99.9% by mass or less, more preferably 90% by mass or more, based on the solid content of the release layer forming composition. It is 99.9% by mass or less, more preferably 95% by mass or more and 99.9% by mass or less. By containing 80% by mass or more of the melamine-based compound, the release layer can obtain a high cross-linking density by self-crosslinking of the melamine-based compound, and the deformation of the release layer at the time of peeling can be suppressed. At this time, the solid content of the release layer forming composition is substantially the total value of the solid content of the melamine-based compound and the release agent because the solvent and the acid catalyst partially evaporate during the drying process. It can be regarded as.

本発明における離型層には、メラミン系化合物の架橋反応を促進するために酸触媒を添加することが好ましく、離型層形成用組成物に酸触媒を添加して塗布し、硬化させることが好ましい。用いる酸触媒としては、スルホン酸系触媒を用いることが好ましい。 It is preferable to add an acid catalyst to the release layer in the present invention in order to promote the cross-linking reaction of the melamine compound, and it is possible to add an acid catalyst to the release layer forming composition, apply it, and cure it. preferable. As the acid catalyst to be used, it is preferable to use a sulfonic acid-based catalyst.

スルホン酸系触媒としては、例えば、p−トルエンスルホン酸、キシレンスルホン酸、クメンスルホン酸、ドデシルベンゼンスルホン酸、ジノニルナフタレンスルホン酸、トリフルオロメタンスルホン酸などを好適に使用することができるが、反応性の観点からp−トルエンスルホン酸が特に好適に使用することができる。 As the sulfonic acid-based catalyst, for example, p-toluene sulfonic acid, xylene sulfonic acid, cumene sulfonic acid, dodecylbenzene sulfonic acid, dinonylnaphthalene sulfonic acid, trifluoromethanesulfonic acid and the like can be preferably used, but the reaction From the viewpoint of sex, p-toluenesulfonic acid can be particularly preferably used.

本発明において使用するスルホン酸系触媒は市販されているものを用いることもできる。市販品の例としては、ドライヤー(登録商標)900(p−トルエンスルホン酸、日立化成社製)、NACURE(登録商標) DNNDSAシリーズ(ジノニルナフタレンジスルホン酸、楠本化成社製)、同DNNSAシリーズ(ジノニルナフタレン(モノ)スルホン酸、楠本化成社製)、同DDBSAシリーズ(ドデシルベンゼンスルホン酸、楠本化成社製)、同p−TSAシリーズ(p−トルエンスルホン酸、楠本化成社製)などが挙げられる。 As the sulfonic acid-based catalyst used in the present invention, commercially available ones can also be used. Examples of commercially available products include dryer (registered trademark) 900 (p-toluenesulfonic acid, manufactured by Hitachi Kasei), NACURE (registered trademark) DNNDSA series (dinonylnaphthalenedisulfonic acid, manufactured by Kusumoto Kasei), and DNNSA series (registered trademark). Dinonylnaphthalene (mono) sulfonic acid, manufactured by Kusumoto Kasei Co., Ltd.), DDBSA series (dodecylbenzene sulfonic acid, manufactured by Kusumoto Kasei Co., Ltd.), p-TSA series (p-toluenesulfonic acid, manufactured by Kusumoto Kasei Co., Ltd.), etc. Be done.

スルホン酸系触媒は、カルボン酸系などの他の酸触媒と比較し酸性度が高く反応性に優れるため、より低温で離型層を加工することができる。そのため、加工時の熱によるフィルムの平面性の低下や、巻き外観の悪化を抑制することができるため好ましい。 Since the sulfonic acid-based catalyst has higher acidity and excellent reactivity than other acid catalysts such as carboxylic acid-based catalysts, the release layer can be processed at a lower temperature. Therefore, it is preferable because it is possible to suppress deterioration of the flatness of the film due to heat during processing and deterioration of the rolled appearance.

酸触媒の添加量は、離型層に含まれるメラミン系化合物に対して0.1〜10質量%であることが好ましい。より好ましくは、0.5〜8質量%である。さらに好ましくは0.5〜7質量%である。0.1質量%以上であると、硬化反応が進みやすくなり好ましい。一方10質量%以下であると成型するセラミックグリーンシートへ酸触媒が移行するおそれがなく、悪影響を及ぼすおそれがないことから好ましい。 The amount of the acid catalyst added is preferably 0.1 to 10% by mass with respect to the melamine-based compound contained in the release layer. More preferably, it is 0.5 to 8% by mass. More preferably, it is 0.5 to 7% by mass. When it is 0.1% by mass or more, the curing reaction tends to proceed, which is preferable. On the other hand, when it is 10% by mass or less, there is no possibility that the acid catalyst is transferred to the ceramic green sheet to be molded, and there is no possibility of adverse effects, which is preferable.

本発明における離型層に用いる離型剤(離型層の離型性を向上させる添加剤)としては、剥離性と移行量抑制両立の観点からカルボキシル基を含有したポリオルガノシロキサンを用いることが好ましい。ポリオルガノシロキサン構造の中でもポリジメチルシロキサン構造(略称、PDMS)を有するカルボキシル基を含有したポリオルガノシロキサンを好適に使用することができる。 As the release agent (additive for improving the release property of the release layer) used for the release layer in the present invention, polyorganosiloxane containing a carboxyl group may be used from the viewpoint of achieving both releasability and suppression of transfer amount. preferable. Among the polyorganosiloxane structures, polyorganosiloxane containing a carboxyl group having a polydimethylsiloxane structure (abbreviation, PDMS) can be preferably used.

離型剤であるポリオルガノシロキサンがカルボキシル基を含有することで、離型剤が乾燥工程でメラミン系化合物と強い相互作用を示さず、離型層表面に配向しやすくなり、良好な剥離性が得られる。そのため、カルボキシル基を含有するポリオルガノシロキサンを用いることで、離型剤の添加量が少なくても剥離性を満足することができ好ましい。また、離型剤であるポリオルガノシロキサンがカルボキシル基を含有することは、メラミン系化合物と弱い相互作用を示すため、セラミックグリーンシートへの移行が起こりにくいことがわかっており好ましい。 Since the release agent polyorganosiloxane contains a carboxyl group, the release agent does not show a strong interaction with the melamine-based compound in the drying process, and easily orients to the surface of the release layer, resulting in good release. can get. Therefore, it is preferable to use a polyorganosiloxane containing a carboxyl group because the release property can be satisfied even if the amount of the release agent added is small. Further, it is preferable that the polyorganosiloxane, which is a release agent, contains a carboxyl group because it shows a weak interaction with a melamine-based compound, and therefore it is difficult to transfer to a ceramic green sheet.

カルボキシル基はポリオルガノシロキサンの片末端に導入されていてもよいし、両末端でも側鎖でも構わないが、片末端に導入したものの方が剥離性に優れるため好ましい。また、導入される位置は1つでもよいし、複数でも構わない。 The carboxyl group may be introduced at one end of the polyorganosiloxane, or may be at both ends or a side chain, but the one introduced at one end is preferable because it has excellent peelability. Further, the number of positions to be introduced may be one or a plurality.

カルボキシル基変性のポリオルガノシロキサンについては、ポリオルガノシロキサンのケイ素原子に直接カルボキシル基が結合したものであってもよいが、アルキル基又はアリール基を介してポリオルガノシロキサンにカルボキシル基が結合したものであってもよい。しかし、ポリエーテル、ポリエステル、ポリウレタン等の繰り返し構造を有する有機基を介してポリオルガノシロキサンにカルボキシル基が結合したものはあまり好ましくない。 The carboxyl group-modified polyorganosiloxane may be one in which a carboxyl group is directly bonded to the silicon atom of the polyorganosiloxane, but one in which a carboxyl group is bonded to the polyorganosiloxane via an alkyl group or an aryl group. There may be. However, those in which a carboxyl group is bonded to polyorganosiloxane via an organic group having a repeating structure such as polyether, polyester, and polyurethane are not so preferable.

離型剤であるポリオルガノシロキサンに導入する官能基としては、1分子中にカルボキシル基以外の別の官能基を有してもよいが、カルボキシル基のみの方が好ましい。カルボキシル基以外の官能基を含むとメラミン系化合物との分子間相互作用が必要以上に増大し離型層表面へ配向しにくくなる恐れがあるため好ましくない。 As the functional group to be introduced into the polyorganosiloxane which is a release agent, one molecule may have another functional group other than the carboxyl group, but only the carboxyl group is preferable. If a functional group other than the carboxyl group is contained, the intermolecular interaction with the melamine compound may be increased more than necessary and it may be difficult to orient the release layer on the surface, which is not preferable.

メラミン系化合物と強い相互作用を示すヒドロキシル基などで変性されたポリオルガノシロキサンは、乾燥工程でメラミン系化合物と迅速に反応するため、離型層表面に配向しにくく離型性が発現しにくい場合がある。そのため十分な離型性を持たせるために添加量を増やす必要があるが、その場合離型層の弾性率が低下し剥離時の離型層の変形が起こりやすくなり剥離力が高くなるおそれがある。また、ポリオルガノシロキサンの添加量を増やす場合、セラミックグリーンシートへの移行量も増える傾向があり好ましくない。 Polyorganosiloxane modified with a hydroxyl group that has a strong interaction with the melamine compound reacts rapidly with the melamine compound in the drying step, so it is difficult to align with the surface of the release layer and it is difficult to develop releasability. There is. Therefore, it is necessary to increase the amount added in order to have sufficient releasability, but in that case, the elastic modulus of the release layer may decrease, the release layer may be easily deformed at the time of peeling, and the release force may increase. be. Further, when the amount of polyorganosiloxane added is increased, the amount transferred to the ceramic green sheet tends to increase, which is not preferable.

本発明において用いるカルボキシル基を含有したポリオルガノシロキサンは、分子量が40000以下であることが好ましい。より好ましくは、30000以下である。分子量が40000以下であるとカルボキシル基を含有したポリオルガノシロキサンが離型層表面に偏析しやすく剥離性が良く好ましい。 The carboxyl group-containing polyorganosiloxane used in the present invention preferably has a molecular weight of 40,000 or less. More preferably, it is 30,000 or less. When the molecular weight is 40,000 or less, the polyorganosiloxane containing a carboxyl group is easily segregated on the surface of the release layer and has good peelability, which is preferable.

前述のように、カルボキシル基を含有したポリオルガノシロキサンは、カルボキシル基を含有したポリジメチルシロキサンであることがより好ましい。カルボキシル基を含有したポリジメチルシロキサンとしては、X22−3701E(側鎖カルボキシル変性ポリジメチルシロキサン、信越化学工業社製)、X22−3710(片末端カルボキシル変性ポリジメチルシロキサン、信越化学工業社製)、X22−162C(両末端カルボキシル変性ポリジメチルシロキサン、信越化学工業社製)、BY16−750(両末端カルボキシル変性ポリジメチルシロキサン、東レダウコーニング社製)、BY16−880(側鎖カルボキシル変性ポリジメチルシロキサン、東レダウコーニング社製)、Magnasoft 800L(両末端カルボキシル変性ポリジメチルシロキサン、モメンティブ社製)などを使用することができる。 As described above, the polyorganosiloxane containing a carboxyl group is more preferably a polydimethylsiloxane containing a carboxyl group. Examples of the polydimethylsiloxane containing a carboxyl group include X22-3701E (side chain carboxyl-modified polydimethylsiloxane, manufactured by Shin-Etsu Chemical Industry Co., Ltd.), X22-3710 (one-ended carboxyl-modified polydimethylsiloxane, manufactured by Shin-Etsu Chemical Industry Co., Ltd.), and X22. -162C (both-terminal carboxyl-modified polydimethylsiloxane, manufactured by Shinetsu Chemical Industry Co., Ltd.), BY16-750 (both-terminal carboxyl-modified polydimethylsiloxane, manufactured by Toray Dow Corning), BY16-880 (side chain carboxyl-modified polydimethylsiloxane, manufactured by Toray) Dow Corning), Magnasoft 800L (both-terminal carboxyl-modified polydimethylsiloxane, Momentive) and the like can be used.

本発明におけるカルボキシル基を含有したポリジメチルシロキサンとしては、カルボキシル基を含有するアクリル主鎖にポリジメチルシロキサンが側鎖に導入されたアクリル樹脂であっても構わない。カルボキシル基を含有するアクリル主鎖にポリジメチルシロキサンが側鎖に導入されたアクリル樹脂としては、サイマック(登録商標)US−350、US−352、US−380(以上、東亞合成社製)などを使用することができる。また、一分子中にカルボキシル基とヒドロキシル基を含有するアクリル主鎖にポリジメチルシロキサンが側鎖に導入されたアクリル樹脂であっても構わない。一分子中にカルボキシル基とヒドロキシル基を含有するアクリル主鎖にポリジメチルシロキサンが側鎖に導入されたアクリル樹脂としては、サイマック(登録商標)US−450、US−480(以上、東亞合成社製)などを使用することができる。 The carboxyl group-containing polydimethylsiloxane in the present invention may be an acrylic resin in which polydimethylsiloxane is introduced into a side chain of a carboxyl group-containing acrylic main chain. As the acrylic resin in which polydimethylsiloxane is introduced into the side chain of the acrylic main chain containing a carboxyl group, Cymac (registered trademark) US-350, US-352, US-380 (all manufactured by Toagosei Co., Ltd.) and the like are used. Can be used. Further, it may be an acrylic resin in which polydimethylsiloxane is introduced into a side chain of an acrylic main chain containing a carboxyl group and a hydroxyl group in one molecule. As acrylic resins in which polydimethylsiloxane is introduced into the side chain of an acrylic main chain containing a carboxyl group and a hydroxyl group in one molecule, Cymac® US-450 and US-480 (all manufactured by Toagosei Co., Ltd.) ) Etc. can be used.

本発明における離型層には、離型剤が離型層形成用組成物の固形分に対して0.1質量%以上、20質量%以下含まれることが好ましい。より好ましくは、0.1質量%以上、10質量%以下、さらに好ましくは、0.1質量%以上、5質量%以下である。0.1質量%以上であると、離型性が向上し、セラミックグリーンシートの剥離性が向上するため好ましい。一方、20質量%以下であると、離型層全体の弾性率が低下し過ぎることがなく、セラミックグリーンシート剥離時に離型層の変形が生じて剥離力が高くなることを抑制できるため好ましい。また、20質量%以下であると、離型剤の移行量が高くなり過ぎない点からも好ましい。このとき、離型層形成用組成物の固形分とは、溶媒や酸触媒は乾燥過程で相当部分蒸発してしまうため、実質的にメラミン系化合物と離型剤の固形分の合計した値とみなして差し支えない。 The release layer in the present invention preferably contains a release agent in an amount of 0.1% by mass or more and 20% by mass or less with respect to the solid content of the composition for forming the release layer. More preferably, it is 0.1% by mass or more and 10% by mass or less, and further preferably 0.1% by mass or more and 5% by mass or less. When it is 0.1% by mass or more, the releasability is improved and the peelability of the ceramic green sheet is improved, which is preferable. On the other hand, when it is 20% by mass or less, the elastic modulus of the entire release layer does not decrease too much, and it is possible to suppress the deformation of the release layer and the increase in the release force when the ceramic green sheet is peeled off, which is preferable. Further, when it is 20% by mass or less, it is preferable from the viewpoint that the transfer amount of the release agent does not become too high. At this time, the solid content of the release layer forming composition is substantially the total value of the solid content of the melamine-based compound and the release agent because the solvent and the acid catalyst partially evaporate during the drying process. It can be regarded as.

本発明における離型層には、粒径が1μm以下の粒子などを含有することができるが、ピンホール発生の観点から粒子など突起を形成するものは含有しないほうが好ましい。 The release layer in the present invention may contain particles having a particle size of 1 μm or less, but it is preferable not to contain particles or the like that form protrusions from the viewpoint of pinhole generation.

本発明における離型層には、本発明の効果を阻害しない範囲であれば、密着向上剤や、帯電防止剤などの添加剤などを添加してもよい。また、基材との密着性を向上させるために、離型塗布層を設ける前にポリエステルフィルム表面に、アンカーコート、コロナ処理、プラズマ処理、大気圧プラズマ処理等の前処理をすることも好ましい。 An adhesion improver, an additive such as an antistatic agent, or the like may be added to the release layer in the present invention as long as the effect of the present invention is not impaired. Further, in order to improve the adhesion to the substrate, it is also preferable to perform pretreatment such as anchor coating, corona treatment, plasma treatment, and atmospheric pressure plasma treatment on the surface of the polyester film before providing the release coating layer.

(離型層の特性)
本発明において、離型層の厚みは、その使用目的に応じて設定すれば良く、特に限定されないが、好ましくは、硬化後の離型塗布層重量が0.01〜2.0μmとなる範囲がよく、より好ましくは、0.01〜1.7μmであり、さらに好ましくは0.01〜1.5μmであり、0.02〜1.3μmであればより好ましい。離型層の厚みが0.01μm以上であると剥離性能が得られ好ましい。また、2.0μm以下であると、硬化時間を短くでき、離型フィルムの平面性が保たれてセラミックグリーンシートの厚みムラを抑制できて好ましい。
(Characteristics of release layer)
In the present invention, the thickness of the release layer may be set according to the purpose of use, and is not particularly limited, but preferably, the weight of the release coating layer after curing is in the range of 0.01 to 2.0 μm. It is better, more preferably 0.01 to 1.7 μm, still more preferably 0.01 to 1.5 μm, and even more preferably 0.02 to 1.3 μm. When the thickness of the release layer is 0.01 μm or more, peeling performance can be obtained, which is preferable. Further, when it is 2.0 μm or less, the curing time can be shortened, the flatness of the release film can be maintained, and the uneven thickness of the ceramic green sheet can be suppressed, which is preferable.

本発明の離型フィルムの離型層面は、その上で塗布・成型するセラミックグリーンシートに欠陥を発生させないために、平坦であることが望ましく、領域表面平均粗さ(Sa)が7nm以下かつ最大突起高さ(P)が100nm以下であることが好ましい。さらには領域表面平均粗さ5nm以下かつ最大突起高さ80nm以下であることがより好ましい。領域表面粗さが7nm以下、且つ、最大突起高さが100nm以下であれば、セラミックグリーンシート形成時に、ピンホールなどの欠点の発生がなく、歩留まりが良好で好ましい。領域表面平均粗さ(Sa)は小さいほど好ましいと言えるが、0.1nm以上であっても構わず、0.3nm以上であっても構わない。最大突起高さ(P)も小さいほど好ましいと言えるが、1nm以上でも構わず、3nm以上であっても構わない。 The release layer surface of the release film of the present invention is preferably flat so as not to cause defects in the ceramic green sheet coated and molded on the release layer surface, and the region surface average roughness (Sa) is 7 nm or less and the maximum. The protrusion height (P) is preferably 100 nm or less. Further, it is more preferable that the region surface average roughness is 5 nm or less and the maximum protrusion height is 80 nm or less. When the region surface roughness is 7 nm or less and the maximum protrusion height is 100 nm or less, defects such as pinholes do not occur when the ceramic green sheet is formed, and the yield is good, which is preferable. It can be said that the smaller the region surface average roughness (Sa) is, the more preferable it is, but it may be 0.1 nm or more, or 0.3 nm or more. It can be said that the smaller the maximum protrusion height (P) is, the more preferable it is, but it may be 1 nm or more, or 3 nm or more.

本発明の離型フィルムは、高度に平坦化された基材フィルムを用いているため、離型層の厚みが0.5μmより薄く、さらには0.2μmより薄くしても離型層表面を平滑にすることができる。そのため、反応性の高いメラミン系化合物を用いた離型層であっても、カールの発生を抑制することができる。また、使用する溶剤量や樹脂量を少なくすることができ環境にやさしく、安価に超薄層セラミックグリーンシート成型用の離型フィルムを作成することができる。 Since the release film of the present invention uses a highly flattened base film, the release layer has a thickness of less than 0.5 μm, and even if the thickness of the release layer is thinner than 0.2 μm, the surface of the release layer can be obtained. Can be smoothed. Therefore, even in the release layer using a highly reactive melamine compound, the generation of curl can be suppressed. In addition, the amount of solvent and resin used can be reduced, which is environmentally friendly, and a release film for molding an ultra-thin ceramic green sheet can be produced at low cost.

本発明の離型層フィルムの離型層表面の表面自由エネルギー(γs)は、18mJ/m以上35mJ/m以下であることが好ましい。より好ましくは、23mJ/m以上35mJ/m以下であり、さらに好ましくは23mJ/m以上30mJ/m以下である。18mJ/m以上であるとセラミックスラリーを塗工したときにハジキが発生しづらく均一に塗工することができ好ましい。また35mJ/m以下であるとセラミックグリーンシートの離型性が低下するおそれがなく好ましい。上記範囲とすることで塗工時にハジキがなく、離型性に優れた離型フィルムを提供できる。 Surface free energy of the release layer surface of the release layer film of the present invention (gamma] s) is preferably 18 mJ / m 2 or more 35 mJ / m 2 or less. More preferably, 23 mJ / m 2 or more 35 mJ / m 2 or less, further preferably 23 mJ / m 2 or more 30 mJ / m 2 or less. When it is 18 mJ / m 2 or more, it is preferable that the ceramic slurry is not easily generated when the ceramic slurry is applied and can be applied uniformly. Further, when it is 35 mJ / m 2 or less, there is no possibility that the releasability of the ceramic green sheet is deteriorated, which is preferable. Within the above range, it is possible to provide a release film having excellent releasability without repelling during coating.

本発明の離型フィルムは、セラミックグリーンシートを剥離するときの剥離力が0.5mN/mm以上、2.5mN/mm以下であることが好ましい。より好ましくは、0.8mN/mm以上、2.0mN/mm以下である。剥離力が0.5mN/mm以上であると、剥離力が軽すぎず搬送時にセラミックグリーンシートが浮き上がるおそれがなく好ましい。剥離力が2.5mN/mm以下であると剥離時にセラミックグリーンシートがダメージを受けるおそれがなく好ましい。 The release film of the present invention preferably has a peeling force of 0.5 mN / mm or more and 2.5 mN / mm or less when peeling the ceramic green sheet. More preferably, it is 0.8 mN / mm or more and 2.0 mN / mm or less. When the peeling force is 0.5 mN / mm or more, the peeling force is not too light and there is no possibility that the ceramic green sheet will be lifted during transportation, which is preferable. When the peeling force is 2.5 mN / mm or less, the ceramic green sheet is not likely to be damaged at the time of peeling, which is preferable.

本発明の離型フィルムは、剥離後のセラミックグリーンシートへのシリコーン成分の移行量が少ないほど好ましい。シリコーン成分の移行量は、セラミックグリーンシートに含まれるバインダー成分の1種であるPVBを離型フィルム上に疑似的に塗布、成型し、剥離した前後の離型層のSi強度を蛍光X線で測定することで評価することができる。より具体的に述べると、離型層表面のSi強度をSi(前)、PVBシートを塗工・剥離後の離型フィルムの離型面のSi強度をSi(後)としたとき、Si(前)−Si(後)の値を移行量とした。このときの移行量が0.10kcps以下であることが好ましく、0.04kcps以下であることがより好ましい。移行量が0.10kcps以下であると、積層ズレや接着不良といった工程不良の発生が抑えられ、セラミックコンデンサの信頼性を低下させるおそれがなく好ましい。 In the release film of the present invention, it is preferable that the amount of the silicone component transferred to the ceramic green sheet after peeling is small. The amount of transfer of the silicone component is determined by applying PVB, which is one of the binder components contained in the ceramic green sheet, onto the release film in a pseudo manner, molding it, and measuring the Si strength of the release layer before and after peeling with fluorescent X-rays. It can be evaluated by measuring. More specifically, when the Si strength of the release layer surface is Si (front) and the Si strength of the release surface of the release film after coating / peeling the PVB sheet is Si (rear), Si (rear). The value of front) -Si (rear) was used as the transfer amount. The transfer amount at this time is preferably 0.10 kcps or less, and more preferably 0.04 kcps or less. When the transfer amount is 0.10 kcps or less, the occurrence of process defects such as stacking misalignment and poor adhesion is suppressed, and there is no risk of deteriorating the reliability of the ceramic capacitor, which is preferable.

本発明の離型フィルムは、張力をかけずに80℃で5分加熱したあとのカールが3mm以下であることが好ましく、より好ましくは1mm以下である。もちろん、全くカールしないことも好ましい。3mm以下にすることでセラミックグリーンシートを成型し電極を印刷するときにカールが少なく印刷精度を高めることができるため好ましい。 The release film of the present invention preferably has a curl of 3 mm or less, more preferably 1 mm or less, after being heated at 80 ° C. for 5 minutes without applying tension. Of course, it is also preferable not to curl at all. It is preferable that the thickness is 3 mm or less because curl is reduced and printing accuracy can be improved when the ceramic green sheet is molded and the electrodes are printed.

本発明において、離型層の形成方法は、特に限定されず、離型性の樹脂を溶解もしくは分散させた塗液を、基材のポリエステルフィルムの一方の面に塗布等により展開し、溶媒等を乾燥により除去後、加熱乾燥、熱硬化させる方法が用いられる。このとき、溶媒乾燥、熱硬化時の乾燥温度は、100℃以上、180℃以下であることが好ましく、100℃以上、160℃以下であることがより好ましく、100℃以上、140℃以下であることがもっとも好ましい。その加熱時間は、30秒以下が好ましく、20秒以下がより好ましい。180℃以下の場合、フィルムの平面性が保たれ、セラミックグリーンシートの厚みムラを引き起こす恐れが小さく好ましい。140℃以下であるとフィルムの平面性を損なうことなく加工することができ、セラミックグリーンシートの厚みムラを引き起こす恐れが更に低下するので特に好ましい。100℃よりも低いとメラミンの硬化反応が十分に進行せず離型層の弾性率が低下してしまうため好ましくない。 In the present invention, the method for forming the release layer is not particularly limited, and a coating liquid in which a releaseable resin is dissolved or dispersed is developed by coating or the like on one surface of a polyester film of a base material, and a solvent or the like is used. Is removed by drying, and then heat-dried and heat-cured. At this time, the drying temperature at the time of solvent drying and thermosetting is preferably 100 ° C. or higher and 180 ° C. or lower, more preferably 100 ° C. or higher and 160 ° C. or lower, and 100 ° C. or higher and 140 ° C. or lower. Is most preferable. The heating time is preferably 30 seconds or less, more preferably 20 seconds or less. When the temperature is 180 ° C. or lower, the flatness of the film is maintained and the risk of causing uneven thickness of the ceramic green sheet is small, which is preferable. When the temperature is 140 ° C. or lower, the film can be processed without impairing the flatness of the film, and the risk of causing uneven thickness of the ceramic green sheet is further reduced, which is particularly preferable. If it is lower than 100 ° C., the curing reaction of melamine does not proceed sufficiently and the elastic modulus of the release layer decreases, which is not preferable.

本発明において、離型層を塗布するときの塗液の表面張力は、特に限定されないが30mN/m以下であることが好ましい。表面張力を前記のようにすることで、塗工後の塗れ性が向上し、乾燥後の塗膜表面の凹凸を低減することができる。 In the present invention, the surface tension of the coating liquid when the release layer is applied is not particularly limited, but is preferably 30 mN / m or less. By setting the surface tension as described above, the coatability after coating can be improved, and the unevenness of the coating film surface after drying can be reduced.

本発明において、離型塗布層を塗布するときの塗液には、特に限定されないが、沸点が90℃以上の溶剤を添加することが好ましい。沸点が90℃以上の溶剤を添加することで、乾燥時の突沸を防ぎ、塗膜がレベリングさせることができ、乾燥後の塗膜表面の平滑性を向上させることができる。その添加量としては、塗液全体に対し、10〜80質量%程度添加することが好ましい。 In the present invention, the coating liquid for applying the release coating layer is not particularly limited, but it is preferable to add a solvent having a boiling point of 90 ° C. or higher. By adding a solvent having a boiling point of 90 ° C. or higher, bumping during drying can be prevented, the coating film can be leveled, and the smoothness of the coating film surface after drying can be improved. The amount to be added is preferably about 10 to 80% by mass with respect to the entire coating liquid.

上記塗液の塗布法としては、公知の任意の塗布法が適用出来、例えばグラビアコート法やリバースコート法などのロールコート法、ワイヤーバーなどのバーコート法、ダイコート法、スプレーコート法、エアーナイフコート法、等の従来から知られている方法が利用できる。 Any known coating method can be applied as the coating method, for example, a roll coating method such as a gravure coating method or a reverse coating method, a bar coating method such as a wire bar, a die coating method, a spray coating method, or an air knife. Conventionally known methods such as the coat method can be used.

(セラミックグリーンシートとセラミックコンデンサ)
一般に、積層セラミックコンデンサは、直方体状のセラミック素体を有する。セラミック素体の内部には、第1の内部電極と第2の内部電極とが厚み方向に沿って交互に設けられている。第1の内部電極は、セラミック素体の第1の端面に露出している。第1の端面の上には第1の外部電極が設けられている。第1の内部電極は、第1の端面において第1の外部電極と電気的に接続されている。第2の内部電極は、セラミック素体の第2の端面に露出している。第2の端面の上には第2の外部電極が設けられている。第2の内部電極は、第2の端面において第2の外部電極と電気的に接続されている。
(Ceramic green sheet and ceramic capacitor)
Generally, a monolithic ceramic capacitor has a rectangular parallelepiped ceramic element. Inside the ceramic body, first internal electrodes and second internal electrodes are alternately provided along the thickness direction. The first internal electrode is exposed on the first end face of the ceramic element. A first external electrode is provided on the first end face. The first internal electrode is electrically connected to the first external electrode at the first end face. The second internal electrode is exposed on the second end face of the ceramic element. A second external electrode is provided on the second end face. The second internal electrode is electrically connected to the second external electrode at the second end face.

本発明のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムは、このような積層セラミックコンデンサを製造するために用いられる。例えば、以下のようにして製造される。まず、本発明の離型フィルムをキャリアフィルムとして用い、セラミック素体を構成するためのセラミックスラリーを塗布、乾燥させる。セラミックグリーンシートの厚みは、0.2〜1.0μmの極薄品が求められてきている。塗布、乾燥したセラミックグリーンシートの上に、第1又は第2の内部電極を構成するための導電層を印刷する。セラミックグリーンシート、第1の内部電極を構成するための導電層が印刷されたセラミックグリーンシート及び第2の内部電極を構成するための導電層が印刷されたセラミックグリーンシートを適宜積層し、プレスすることにより、マザー積層体を得る。マザー積層体を複数に分断し、生のセラミック素体を作製する。生のセラミック素体を焼成することによりセラミック素体を得る。その後、第1及び第2の外部電極を形成することにより積層セラミックコンデンサを完成させることができる。 The release film for manufacturing a ceramic green sheet of the present invention is used for manufacturing such a multilayer ceramic capacitor. For example, it is manufactured as follows. First, the release film of the present invention is used as a carrier film, and a ceramic slurry for forming a ceramic element is applied and dried. An ultra-thin product having a thickness of 0.2 to 1.0 μm is required for the ceramic green sheet. A conductive layer for forming the first or second internal electrode is printed on the coated and dried ceramic green sheet. A ceramic green sheet, a ceramic green sheet on which a conductive layer for forming a first internal electrode is printed, and a ceramic green sheet on which a conductive layer for forming a second internal electrode is printed are appropriately laminated and pressed. Thereby, a mother laminated body is obtained. The mother laminate is divided into a plurality of pieces to prepare a raw ceramic element body. A ceramic element is obtained by firing a raw ceramic element. After that, the multilayer ceramic capacitor can be completed by forming the first and second external electrodes.

以下に、実施例を用いて本発明についてさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によりなんら限定されるものではない。本発明で用いた特性値は下記の方法を用いて評価した。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples, but the present invention is not limited to these Examples. The characteristic values used in the present invention were evaluated using the following method.

(表面粗さ)
非接触表面形状計測システム(VertScan R550H−M100)を用いて、下記の条件で測定した値である。領域表面平均粗さ(Sa)は、5回測定の平均値を採用し、最大突起高さ(P)は7回測定し最大値と最小値を除いた5回の最大値を使用した。
(測定条件)
・測定モード:WAVEモード
・対物レンズ:10倍
・0.5×Tubeレンズ
・測定面積 936μm×702μm
(解析条件)
・面補正: 4次補正
・補間処理: 完全補間
(Surface roughness)
It is a value measured under the following conditions using a non-contact surface shape measurement system (VertScan R550H-M100). For the region surface average roughness (Sa), the average value of 5 measurements was adopted, and for the maximum protrusion height (P), the maximum value of 5 times excluding the maximum value and the minimum value was used after measuring 7 times.
(Measurement condition)
・ Measurement mode: WAVE mode ・ Objective lens: 10x ・ 0.5 × Tube lens ・ Measurement area 936μm × 702μm
(Analysis conditions)
・ Surface correction: 4th correction ・ Interpolation processing: Complete interpolation

(表面自由エネルギー)
25℃、50%RHの条件下で接触角計(協和界面科学株式会社製: 全自動接触角計 DM−701)を用いて離型フィルムの離型面に水(液滴量1.8μL)、ジヨードメタン(液適量0.9μL)、エチレングリコール(液適量0.9μL)の液滴を作成しその接触角を測定した。接触角は、各液を離型フィルムに滴下後10秒後の接触角を採用した。前記方法で得られた、水、ジヨードメタン、エチレングリコールの接触角データを「北崎−畑」理論より計算し離型フィルムの表面自由エネルギーの分散成分γsd、極性成分γsp、水素結合成分γshを求め、各成分を合計したものを表面自由エネルギーγsとした。本計算には、本接触角計ソフトウェア(FAMAS)内の計算ソフトを用いて行った。
(Surface free energy)
Water (droplet volume 1.8 μL) on the release surface of the release film using a contact angle meter (manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd .: fully automatic contact angle meter DM-701) under the conditions of 25 ° C and 50% RH. , Diiodomethane (appropriate amount of liquid 0.9 μL) and ethylene glycol (appropriate amount of liquid 0.9 μL) were prepared and their contact angles were measured. As the contact angle, the contact angle 10 seconds after dropping each liquid on the release film was adopted. The contact angle data of water, diiodomethane, and ethylene glycol obtained by the above method were calculated from the "Kitasaki-Hata" theory to obtain the dispersion component γsd, polar component γsp, and hydrogen bond component γsh of the surface free energy of the release film. The sum of each component was defined as the surface free energy γs. This calculation was performed using the calculation software in the contact angle meter software (FAMAS).

(セラミックスラリーの塗工性評価)
下記、材料からなる組成物を攪拌混合し、ビーズミルを用いて直径0.5mmのジルコニアビーズで30分間分散し、セラミックスラリーを得た。
トルエン 76.3質量部
エタノール 76.3質量部
チタン酸バリウム(富士チタン社製 HPBT−1) 35.0質量部
ポリビニルブチラール(積水化学社製 エスレックBM−S) 3.5質量部
DOP(フタル酸ジオクチル) 1.8質量部
次いで得られた離型フィルムサンプルの離型面にアプリケーターを用いて乾燥後のスラリーが1μmになるように塗工し90℃で1分乾燥後、以下の基準で塗工性を評価した。○:ハジキなどがなく全面に塗工できている。
△:塗工端部でややハジキがあるが、ほぼ全面に塗工できている。
×:ハジキが多く、塗工できていない。
(Evaluation of coatability of ceramic rally)
The composition composed of the following materials was stirred and mixed, and dispersed with zirconia beads having a diameter of 0.5 mm for 30 minutes using a bead mill to obtain a ceramic slurry.
Toluene 76.3 parts by mass Ethanol 76.3 parts by mass Barium titanate (HPBT-1 manufactured by Fuji Titanium Industry Co., Ltd.) 35.0 parts by mass Polyvinyl butyral (Eslek BM-S manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd.) 3.5 parts by mass DOP (phthalic acid) Dioctyl) 1.8 parts by mass Next, apply an applicator to the release surface of the obtained release film sample so that the dried slurry is 1 μm, dry at 90 ° C for 1 minute, and then apply according to the following criteria. The workability was evaluated. ○: There is no repellent and the entire surface can be coated.
Δ: There is some cissing at the end of the coating, but the coating can be done on almost the entire surface.
×: There are many repellents and the coating has not been completed.

(セラミックグリーンシートのピンホール評価)
前記セラミックスラリーの塗工性評価と同様にして離型フィルムの離型面に厚さ1μmのセラミックグリーンシートを成型した。次いで、成型したセラミックグリーンシート付き離型フィルムから離型フィルムを剥離し、セラミックグリーンシートを得た。得られたセラミックグリーンシートのフィルム幅方向の中央領域において25cmの範囲でセラミックスラリーの塗布面の反対面から光を当て、光が透過して見えるピンホールの発生状況を観察し、下記基準で目視判定した。
○:ピンホールの発生なし
△:ピンホールの発生がほぼなし
×:ピンホールの発生が多数あり
(Pinhole evaluation of ceramic green sheet)
A ceramic green sheet having a thickness of 1 μm was molded on the release surface of the release film in the same manner as in the evaluation of the coatability of the ceramic slurry. Then, the release film was peeled off from the molded release film with a ceramic green sheet to obtain a ceramic green sheet. In the central region of the obtained ceramic green sheet in the film width direction , light is applied from the opposite surface of the coated surface of the ceramic slurry within a range of 25 cm 2 , and the state of occurrence of pinholes through which light appears is observed, and the following criteria are used. It was judged visually.
○: No pinholes occurred △: Almost no pinholes occurred ×: Many pinholes occurred

(セラミックグリーンシートの剥離性評価)
下記、材料からなる組成物を攪拌混合し、ビーズミルを用いて直径0.5mmのジルコニアビーズで60分間分散し、セラミックスラリーを得た。
トルエン 38.3質量部
エタノール 38.3質量部
チタン酸バリウム(富士チタン社製 HPBT−1) 64.8質量部
ポリビニルブチラール(積水化学社製 エスレックBM−S) 6.5質量部
DOP(フタル酸ジオクチル) 3.3質量部
次いで得られた離型フィルムサンプルの離型面にアプリケーターを用いて乾燥後のスラリーが0.8μmの厚みになるように塗布し60℃で1分乾燥しセラミックグリーンシートを離型フィルム上に成型した。得られたセラミックグリーンシート付き離型フィルムを除電機(キーエンス社製、SJ−F020)を用いて除電した後に剥離試験機(協和界面科学社製、VPA−3)を用いて、剥離角度90度、剥離温度25℃、剥離速度10m/minで剥離した。剥離する向きとしては、剥離試験機付属のSUS板上に両面接着テープ(日東電工社製、No.535A)を貼りつけ、その上にセラミックグリーンシート側を両面テープと接着する形で離型フィルムを固定し、離型フィルム側を引っ張る形で剥離した。得られた測定値のうち、剥離距離20mm〜70mmの剥離力の平均値を算出し、その値を剥離力とした。測定は計5回実施し、その剥離力の平均値の値を採用し、評価を行った。得られた剥離力の数値から下記の基準で判定した。
○:0.5mN/mm以上、1.0mN/mm以下
△:1.0mN/mmより大きく、2.5mN/mm以下
×:2.5mN/mmより大きい
(Evaluation of peelability of ceramic green sheet)
The composition composed of the following materials was stirred and mixed, and dispersed with zirconia beads having a diameter of 0.5 mm for 60 minutes using a bead mill to obtain a ceramic slurry.
Toluene 38.3 parts by mass Ethanol 38.3 parts by mass Barium titanate (HPBT-1 manufactured by Fuji Titanium Industry Co., Ltd.) 64.8 parts by mass Polyvinyl butyral (Eslek BM-S manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd.) 6.5 parts by mass DOP (phthalic acid) Dioctyl) 3.3 parts by mass Next, apply the dried slurry to a thickness of 0.8 μm on the release surface of the obtained release film sample using an applicator, and dry at 60 ° C for 1 minute to obtain a ceramic green sheet. Was molded on a release film. The obtained release film with a ceramic green sheet is statically removed using an electric eliminator (Keyence, SJ-F020), and then a peeling tester (Kyowa Interface Science, VPA-3) is used to remove the peeling angle of 90 degrees. The peeling was performed at a peeling temperature of 25 ° C. and a peeling speed of 10 m / min. As for the direction of peeling, a double-sided adhesive tape (Nitto Denko Co., Ltd., No. 535A) is attached on the SUS plate attached to the peeling tester, and the ceramic green sheet side is bonded to the double-sided tape on the release film. Was fixed and peeled off by pulling on the release film side. Among the obtained measured values, the average value of the peeling force having a peeling distance of 20 mm to 70 mm was calculated, and the value was used as the peeling force. The measurement was carried out a total of 5 times, and the value of the average value of the peeling force was adopted and evaluated. Judgment was made according to the following criteria from the obtained numerical values of the peeling force.
◯: 0.5 mN / mm or more, 1.0 mN / mm or less Δ: Greater than 1.0 mN / mm, 2.5 mN / mm or less ×: Greater than 2.5 mN / mm

(離型層のシリコーン成分移行量評価)
下記、材料からなる組成物を攪拌混合し、ポリビニルブチラール(PVB)溶解液を得た。
トルエン 45.0質量部
エタノール 45.0質量部
ポリビニルブチラール(積水化学社製 エスレックBM−S) 10.0質量部
次いで得られた離型フィルムサンプルの離型面にアプリケーターを用いて乾燥後のポリビニルブチラール(PVB)シートが10μmになるように塗工し90℃で1分乾燥後、離型フィルムを剥離し、剥離したPVBシートの離型フィルムが接触していた面(離型層)および、PVBシートを塗工する前の離型フィルムの離型層を蛍光X線装置(Rigaku製ZSX Primus2)にてSi強度を測定し、シリコーン成分の移行量を定量した。蛍光X線装置の測定条件は下記の通りとした。
分析線:Si−KA、 ターゲット:Rh4.0kW
管電圧:50kV、 管電流:60mA
フィルタ:OUT、 アッテネータ:1/1、 スリット:S4、 分光結晶:PET
検出器:PC、 PHA条件:100(下限)-300(上限)
測定径:30mm、雰囲気:真空
シリコーン成分の移行量は、PVBシートを塗工する前の離型フィルムの離型面のSi強度をSi(前)、PVBシートを塗工・剥離後の離型フィルムの離型面のSi強度をSi(後)として、Si(前)からSi(後)を引いた値をシリコーン成分の移行量とした。得られたシリコーン成分の移行量の数値から下記の基準で判断した。
○:0.04kcps以下
△:0.04kcpsより大きく、0.10kcpsより小さい。
×:0.10kcps以上
(Evaluation of transfer amount of silicone component in mold release layer)
The composition consisting of the following materials was stirred and mixed to obtain a polyvinyl butyral (PVB) solution.
Toluene 45.0 parts by mass Ethanol 45.0 parts by mass Polyvinyl butyral (ESREC BM-S manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd.) 10.0 parts by mass Next, the release surface of the obtained release film sample is dried using an applicator. The butyral (PVB) sheet was coated to a size of 10 μm, dried at 90 ° C. for 1 minute, and then the release film was peeled off. The Si strength of the release layer of the release film before coating the PVB sheet was measured with a fluorescent X-ray device (ZSX Primus2 manufactured by Rigaku), and the amount of transfer of the silicone component was quantified. The measurement conditions of the fluorescent X-ray apparatus were as follows.
Analysis line: Si-KA, Target: Rh4.0kW
Tube voltage: 50kV, tube current: 60mA
Filter: OUT, Attenuator: 1/1, Slit: S4, Spectral crystal: PET
Detector: PC, PHA condition: 100 (lower limit) -300 (upper limit)
Measurement diameter: 30 mm, atmosphere: vacuum The amount of silicone component transferred is the Si strength of the release surface of the release film before coating the PVB sheet to Si (front), and the release after coating and peeling the PVB sheet. The Si strength of the release surface of the film was defined as Si (rear), and the value obtained by subtracting Si (rear) from Si (front) was defined as the transfer amount of the silicone component. Judgment was made according to the following criteria from the numerical value of the transfer amount of the obtained silicone component.
◯: 0.04 kcps or less Δ: Greater than 0.04 kcps and smaller than 0.10 kcps.
X: 0.10 kcps or more

(離型フィルムのカール評価)
離型フィルムサンプルを10cm×10cmサイズにカットし、離型フィルムに張力がかからないようにして熱風オーブンで80℃5分間熱処理を行った。その後、オーブンから取り出し室温まで冷却したのち、離型面が上になるようにガラス板の上に離型フィルムサンプルを置いて、4隅のガラス板から浮いている部分の高さを測定した。この時測定した4隅の浮き量の平均値をカール量とした。以下の基準でカール性の評価を行った。
◎:カールが1mm以下であり、ほとんどカールしていない。
○:カールが1mmよりも大きく、3mm以下であり、少しカールが見られた。
△:カールが3mmよりも大きく、10mm以下であり、カールが見られた。
×:カールが10mmよりも大きくカールしていた。
(Curl evaluation of release film)
The release film sample was cut into a size of 10 cm × 10 cm, and heat-treated at 80 ° C. for 5 minutes in a hot air oven so that tension was not applied to the release film. Then, after taking out from the oven and cooling to room temperature, the mold release film sample was placed on the glass plate so that the mold release surface was facing up, and the heights of the portions floating from the glass plates at the four corners were measured. The average value of the floating amounts of the four corners measured at this time was taken as the curl amount. The curl property was evaluated according to the following criteria.
⊚: The curl is 1 mm or less, and there is almost no curl.
◯: The curl was larger than 1 mm and 3 mm or less, and some curl was observed.
Δ: The curl was larger than 3 mm and 10 mm or less, and curl was observed.
X: The curl was larger than 10 mm.

(重量平均重合度の測定方法)
分析条件
試料16mgを秤量し、クロロホルム8mlに溶解させた。0.2μmのメンブランフィルターで濾過し、得られた試料溶液のGPC分析を以下の条件で実施した。

装置:TOSOH HLC-8320GPC
カラム:K-G+ K-802(排除限界分子量5×103)+ K-801(排除限界分子量1.5×103)(Shodex)、
溶媒:クロロホルム100%
流速:1.0ml/min
濃度:0.2%
注入量:50μL
温度:40℃
検出器:RI
重量平均分子量をポリスチレン換算で算出し、その値を基に重量平均重合度を算出した。ポリスチレンは、PStQuickシリーズのPStQuick C(TOSOH)を使用した。PStQuick C(TOSOH)に添加されているポリスチレンのうち、カラムの排除限界分子量を大きく超えているポリスチレンMw2110000、427000、37900については、
検量線作成から外した。
(Measuring method of weight average degree of polymerization)
Analytical conditions 16 mg of sample was weighed and dissolved in 8 ml of chloroform. Filtration was performed with a 0.2 μm membrane filter, and GPC analysis of the obtained sample solution was performed under the following conditions.

Equipment: TOSOH HLC-8320GPC
Column: K-G + K-802 (exclusion limit molecular weight 5 × 10 3 ) + K-801 (exclusion limit molecular weight 1.5 × 10 3 ) (Shodex),
Solvent: 100% chloroform
Flow velocity: 1.0 ml / min
Concentration: 0.2%
Injection volume: 50 μL
Temperature: 40 ℃
Detector: RI
The weight average molecular weight was calculated in terms of polystyrene, and the weight average degree of polymerization was calculated based on the value. For polystyrene, PStQuick C (TOSOH) of the PStQuick series was used. Among the polystyrenes added to PStQuick C (TOSOH), polystyrenes Mw2110000, 427000, and 37900 that greatly exceed the exclusion limit molecular weight of the column are
Removed from calibration curve creation.

(ポリエチレンテレフタレートペレット(PET (I))の調製)
エステル化反応装置として、攪拌装置、分縮器、原料仕込口及び生成物取出口を有する3段の完全混合槽よりなる連続エステル化反応装置を用いた。TPA(テレフタル酸)を2トン/時とし、EG(エチレングリコール)をTPA1モルに対して2モルとし、三酸化アンチモンを生成PETに対してSb原子が160ppmとなる量とし、これらのスラリーをエステル化反応装置の第1エステル化反応缶に連続供給し、常圧にて平均滞留時間4時間、255℃で反応させた。次いで、第1エステル化反応缶内の反応生成物を連続的に系外に取り出して第2エステル化反応缶に供給し、第2エステル化反応缶内に第1エステル化反応缶から留去されるEGを生成PETに対して8質量%供給し、さらに、生成PETに対してMg原子が65ppmとなる量の酢酸マグネシウム四水塩を含むEG溶液と、生成PETに対してP原子が40ppmのとなる量のTMPA(リン酸トリメチル)を含むEG溶液を添加し、常圧にて平均滞留時間1時間、260℃で反応させた。次いで、第2エステル化反応缶の反応生成物を連続的に系外に取り出して第3エステル化反応缶に供給し、高圧分散機(日本精機社製)を用いて39MPa(400kg/cm)の圧力で平均処理回数5パスの分散処理をした平均粒径が0.9μmの多孔質コロイダルシリカ0.2質量%と、ポリアクリル酸のアンモニウム塩を炭酸カルシウムあたり1質量%付着させた平均粒径が0.6μmの合成炭酸カルシウム0.4質量%とを、それぞれ10%のEGスラリーとして添加しながら、常圧にて平均滞留時間0.5時間、260℃で反応させた。第3エステル化反応缶内で生成したエステル化反応生成物を3段の連続重縮合反応装置に連続的に供給して重縮合を行い、95%カット径が20μmのステンレススチール繊維を焼結したフィルターで濾過を行ってから、限外濾過を行って水中に押出し、冷却後にチップ状にカットして、固有粘度0.60dl/gのPETチップを得た(以後、PET(I)と略す)。PETチップ中の滑剤含有量は0.6質量%であった。
(Preparation of polyethylene terephthalate pellets (PET (I)))
As the esterification reaction device, a continuous esterification reaction device consisting of a stirrer, a splitter, a raw material charging port, and a three-stage complete mixing tank having a raw material charging port and a product outlet was used. TPA (terephthalic acid) is 2 tons / hour, EG (ethylene glycol) is 2 mol per 1 mol of TPA, antimony trioxide is an amount of 160 ppm of Sb atom with respect to the PET produced, and these slurrys are esterified. It was continuously supplied to the first esterification reaction can of the chemical reaction apparatus and reacted at normal pressure with an average residence time of 4 hours and 255 ° C. Next, the reaction product in the first esterification reaction can is continuously taken out of the system and supplied to the second esterification reaction can, and distilled off from the first esterification reaction can in the second esterification reaction can. EG is supplied in an amount of 8% by mass with respect to the produced PET, and an EG solution containing magnesium acetate tetrahydrate in an amount of 65 ppm of Mg atoms with respect to the produced PET and 40 ppm of P atoms with respect to the produced PET. An EG solution containing an amount of TMPA (trimethyl phosphate) was added, and the reaction was carried out at normal pressure for an average residence time of 1 hour and 260 ° C. Next, the reaction product of the second esterification reaction can was continuously taken out of the system and supplied to the third esterification reaction can, and 39 MPa (400 kg / cm 2 ) was used using a high-pressure disperser (manufactured by Nippon Seiki Co., Ltd.). 0.2 mass% of porous colloidal silica having an average particle size of 0.9 μm and 1 mass% of ammonium salt of polyacrylic acid attached per calcium carbonate after dispersion treatment with an average number of treatments of 5 passes under the pressure of 0.4% by mass of synthetic calcium carbonate having a diameter of 0.6 μm was added as an EG slurry of 10% each, and the reaction was carried out at normal pressure for an average residence time of 0.5 hours and at 260 ° C. The esterification reaction product produced in the third esterification reaction can was continuously supplied to a three-stage continuous polycondensation reaction apparatus to perform polycondensation, and a stainless steel fiber having a 95% cut diameter of 20 μm was sintered. After filtering with a filter, it was subjected to ultracondensation, extruded into water, cooled, and then cut into chips to obtain PET chips with an intrinsic viscosity of 0.60 dl / g (hereinafter abbreviated as PET (I)). .. The lubricant content in the PET chip was 0.6% by mass.

(ポリエチレンテレフタレートペレット(PET(II))の調製)
一方、上記PET(I)チップの製造において、炭酸カルシウム、シリカ等の粒子を全く含有しない固有粘度0.62dl/gのPETチップを得た(以後、PET(II)と略す。)。
(Preparation of polyethylene terephthalate pellets (PET (II)))
On the other hand, in the production of the PET (I) chip, a PET chip having an intrinsic viscosity of 0.62 dl / g containing no particles such as calcium carbonate and silica was obtained (hereinafter abbreviated as PET (II)).

(ポリエチレンテレフタレートペレット(PET(III))の調製)
PET(I)の粒子の種類、含有量をポリアクリル酸のアンモニウム塩を炭酸カルシウムあたり1質量%付着させた平均粒径が0.9μmの合成炭酸カルシウム0.75質量%に変更した以外は、PET(I)と同様にしてPETチップを得た(以後、PET(III)と略す)。PETチップ中の滑剤含有量は0.75質量%であった。
(Preparation of polyethylene terephthalate pellets (PET (III)))
The type and content of PET (I) particles were changed to 0.75% by mass of synthetic calcium carbonate having an average particle size of 0.9 μm, to which 1% by mass of ammonium salt of polyacrylic acid was attached per calcium carbonate. PET chips were obtained in the same manner as PET (I) (hereinafter abbreviated as PET (III)). The lubricant content in the PET chip was 0.75% by mass.

(積層フィルムX1の製造)
これらのPETチップを乾燥後、285℃で溶融し、別個の溶融押出し機押出機により290℃で溶融し、95%カット径が15μmのステンレススチール繊維を焼結したフィルターと、95%カット径が15μmのステンレススチール粒子を焼結したフィルターの2段の濾過を行って、フィードブロック内で合流して、PET(I)を表面層B(反離型面側層)、PET(II)を表面層A(離型面側層)となるように積層し、シート状に45m/分のスピードで押出(キャスティング)し、静電密着法により30℃のキャスティングドラム上に静電密着・冷却させ、固有粘度が0.59dl/gの未延伸ポリエチレンテレフタレートシートを得た。層比率は各押出機の吐出量計算でPET(I)/(II)=60質量%/40質量%となるように調整した。次いで、この未延伸シートを赤外線ヒーターで加熱した後、ロール温度80℃でロール間のスピード差により縦方向に3.5倍延伸した。その後、テンターに導き、140℃で横方向に4.2倍の延伸を行なった。次いで、熱固定ゾーンにおいて、210℃で熱処理した。その後、横方向に170℃で2.3%の緩和処理をして、厚さ31μmの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムX1を得た。得られたフィルムX1の表面層AのSaは2nm、表面層BのSaは28nmであった。
(Manufacturing of laminated film X1)
After drying these PET chips, they were melted at 285 ° C, melted at 290 ° C by a separate melt extruder extruder, and a filter obtained by sintering stainless steel fibers having a 95% cut diameter of 15 μm and a filter having a 95% cut diameter. Two-stage filtration of a filter obtained by sintering 15 μm stainless steel particles is performed and merged in the feed block, and PET (I) is surfaced with surface layer B (anti-separable surface side layer) and PET (II) is surfaced. It is laminated so as to be layer A (separation surface side layer), extruded (casting) into a sheet at a speed of 45 m / min, and electrostatically adhered and cooled on a casting drum at 30 ° C. by the electrostatic adhesion method. An unstretched polyethylene terephthalate sheet having an intrinsic viscosity of 0.59 dl / g was obtained. The layer ratio was adjusted so that PET (I) / (II) = 60% by mass / 40% by mass in the discharge amount calculation of each extruder. Next, the unstretched sheet was heated with an infrared heater and then stretched 3.5 times in the vertical direction at a roll temperature of 80 ° C. due to the speed difference between the rolls. Then, it was guided to a tenter and stretched 4.2 times in the lateral direction at 140 ° C. Then, in the heat fixing zone, heat treatment was performed at 210 ° C. Then, a 2.3% relaxation treatment was carried out laterally at 170 ° C. to obtain a biaxially stretched polyethylene terephthalate film X1 having a thickness of 31 μm. The Sa of the surface layer A of the obtained film X1 was 2 nm, and the Sa of the surface layer B was 28 nm.

(積層フィルムX2の製造)
積層フィルムX1と同様の層構成、延伸条件は変更せずに、キャスティング時の速度を変更することで厚みを調整し、25μmの厚みの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムX2を得た。得られたフィルムX2の表面層AのSaは3nm、表面層BのSaは29nmであった。
(Manufacturing of laminated film X2)
The thickness was adjusted by changing the casting speed without changing the layer structure and stretching conditions similar to those of the laminated film X1, to obtain a biaxially stretched polyethylene terephthalate film X2 having a thickness of 25 μm. The Sa of the surface layer A of the obtained film X2 was 3 nm, and the Sa of the surface layer B was 29 nm.

(積層フィルムX3)
積層フィルムX3としては、厚み25μmのA4100(コスモシャイン(登録商標)、東洋紡社製)を使用した。A4100は、フィルム中に粒子を実質的に含有せず、表面層B側にインラインコートで粒子を含んだコート層を設けた構成をしている。積層フィルムX3の表面層AのSaは1nm、表面層BのSaは2nmであった。
(Laminated film X3)
As the laminated film X3, A4100 (Cosmo Shine (registered trademark), manufactured by Toyobo Co., Ltd.) having a thickness of 25 μm was used. A4100 has a structure in which particles are not substantially contained in the film, and a coat layer containing particles is provided on the surface layer B side by an in-line coat. The Sa of the surface layer A of the laminated film X3 was 1 nm, and the Sa of the surface layer B was 2 nm.

(積層フィルムX4の製造)
PET(III)を表面層B(反離型面側層)、PET(II)を表面層A(離型面側層)となるように積層し、層比率を各押出機の吐出量計算でPET(III)/(II) = 80質量% / 2 0質量%にした以外は積層フィルムX1と同様の方法で厚さ31μmの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムX4を得た。得られたフィルムX4の表面層AのSaは2nm、表面層BのSaは30nmであった。
(Manufacturing of laminated film X4)
PET (III) is laminated so as to be a surface layer B (release type surface side layer), and PET (II) is laminated to be a surface layer A (release type surface side layer), and the layer ratio is calculated by the discharge amount calculation of each extruder. A biaxially stretched polyethylene terephthalate film X4 having a thickness of 31 μm was obtained in the same manner as the laminated film X1 except that PET (III) / (II) = 80% by mass / 20% by mass. The Sa of the surface layer A of the obtained film X4 was 2 nm, and the Sa of the surface layer B was 30 nm.

(実施例1)
積層フィルムX1の表面層A上に以下組成の塗布液をリバースグラビアを用いて乾燥後の離型層膜厚が500nmになるように塗工し、120℃で15秒乾燥することで超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。得られた離型フィルムにセラミックスラリーを塗工し表面粗さ、表面自由エネルギー、塗工性、剥離性、シリコーン成分の移行量、ピンホール、カールを評価したところ、良好な評価結果が得られた。
メチルエチルケトン 44.50質量部
トルエン 44.50質量部
メラミン系化合物 9.50質量部
(フルエーテル型メチル化メラミン、固形分100%、三和ケミカル社製、商品名MW−30M、重量平均重合度1.3)
離型剤 0.50質量部(片末端カルボキシル変性ポリジメチルシロキサン、X22−3710、固形分100%、信越化学工業社製、ジメチルシロキサンとカルボキシル基の間にアルキル基が介在)
酸触媒 1.00質量部
(p−トルエンスルホン酸、日立化成社製、商品名 ドライヤー(登録商標)900、固形分50%)
(Example 1)
A coating liquid having the following composition is applied onto the surface layer A of the laminated film X1 using reverse gravure so that the release layer thickness after drying is 500 nm, and dried at 120 ° C. for 15 seconds to form an ultrathin layer. A release film for manufacturing a ceramic green sheet was obtained. When a ceramic slurry was applied to the obtained release film and the surface roughness, surface free energy, coatability, peelability, amount of transfer of silicone component, pinholes, and curl were evaluated, good evaluation results were obtained. rice field.
Methyl ethyl ketone 44.50 parts by mass Toluene 44.50 parts by mass Melamine compound 9.50 parts by mass (full ether type methylated melamine, solid content 100%, manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd., trade name MW-30M, weight average degree of polymerization 1 .3)
Release agent 0.50 parts by mass (one-ended carboxyl-modified polydimethylsiloxane, X22-3710, solid content 100%, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., alkyl group intervenes between dimethylsiloxane and carboxyl group)
Acid catalyst 1.00 parts by mass (p-toluenesulfonic acid, manufactured by Hitachi Kasei Co., Ltd., trade name: Dryer (registered trademark) 900, solid content: 50%)

(実施例2)
実施例1の塗布液のフルエーテル型メチル化メラミンの含有量を9.80質量部とし、離型剤(X22−3710)の添加量を0.20質量部に変更した塗布液を用いた以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 2)
Except for using the coating liquid in which the content of the full ether type methylated melamine in the coating liquid of Example 1 was 9.80 parts by mass and the addition amount of the release agent (X22-3710) was changed to 0.20 parts by mass. Obtained a release film for producing an ultrathin ceramic green sheet in the same manner as in Example 1.

(実施例3)
実施例1の塗布液のフルエーテル型メチル化メラミンの含有量を9.00質量部とし、離型剤(X22−3710)の添加量を1.00質量部に変更した塗布液を用いた以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 3)
Except for using the coating liquid in which the content of the full ether type methylated melamine in the coating liquid of Example 1 was 9.00 parts by mass and the addition amount of the release agent (X22-3710) was changed to 1.00 parts by mass. Obtained a release film for producing an ultrathin ceramic green sheet in the same manner as in Example 1.

(実施例4)
実施例1の塗布液のフルエーテル型メチル化メラミンの含有量を8.00質量部とし、離型剤(X22−3710)の添加量を2.00質量部に変更した塗布液を用いた以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(実施例5〜8)
離型層の膜厚を表1に記載の膜厚に変更した以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 4)
Except for using the coating liquid in which the content of the full ether type methylated melamine in the coating liquid of Example 1 was 8.00 parts by mass and the addition amount of the release agent (X22-3710) was changed to 2.00 parts by mass. Obtained a release film for producing an ultrathin ceramic green sheet in the same manner as in Example 1.
(Examples 5 to 8)
A mold release film for manufacturing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the film thickness of the release layer was changed to the film thickness shown in Table 1.

(実施例9)
実施例1の基材フィルムを、フィルム厚みが25μmの積層フィルムX2に変更した以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 9)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the base film of Example 1 was changed to a laminated film X2 having a film thickness of 25 μm.

(実施例10)
実施例1の積層フィルムを、積層フィルムX3に変更した以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 10)
A release film for producing an ultra-thin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the laminated film of Example 1 was changed to the laminated film X3.

(実施例11)
実施例1の積層フィルムを、積層フィルムX4に変更した以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 11)
A release film for manufacturing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the laminated film of Example 1 was changed to the laminated film X4.

(実施例12)
実施例1の塗布液の酸触媒(ドライヤー(登録商標)900)の含有量を0.20質量部(メラミン系化合物に対する割合が重量比で1%となる)とした塗布液を用いた以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 12)
Except for the use of the coating liquid in which the content of the acid catalyst (dryer (registered trademark) 900) of the coating liquid of Example 1 was 0.20 parts by mass (the ratio to the melamine-based compound was 1% by weight). A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1.

(実施例13)
実施例1の塗布液1の酸触媒(ドライヤー(登録商標)900)の含有量を1.80質量部(メラミン系化合物に対する割合が重量比で9%となる)とした塗布液を用いた以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 13)
Except for using a coating liquid in which the content of the acid catalyst (dryer (registered trademark) 900) of the coating liquid 1 of Example 1 was 1.80 parts by mass (the ratio to the melamine-based compound was 9% by weight). Obtained a release film for producing an ultrathin ceramic green sheet in the same manner as in Example 1.

(実施例14)
塗布液を以下の組成に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックシート製造用離型フィルムを得た。US−350は、カルボキシル基を有するアクリル主鎖にシリコーン側鎖が導入されたアクリル樹脂である。
メチルエチルケトン 43.91質量部
トルエン 43.91質量部
メラミン系化合物 9.50質量部
(フルエーテル型メチル化メラミン、固形分100%、三和ケミカル社製、商品名MW−30M、重量平均重合度1.3)
離型剤 1.68質量部
(カルボキシル基含有シリコーン共重合アクリル樹脂、US−350、固形分30%、東亞合成社製)
酸触媒 1.00質量部
(p−トルエンスルホン酸、日立化成社製、商品名 ドライヤー(登録商標)900、固形分50%)
(Example 14)
A release film for producing an ultrathin ceramic sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid was changed to the following composition. US-350 is an acrylic resin in which a silicone side chain is introduced into an acrylic main chain having a carboxyl group.
Methyl ethyl ketone 43.91 parts by mass Toluene 43.91 parts by mass Melamine compound 9.50 parts by mass (full ether type methylated melamine, solid content 100%, manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd., trade name MW-30M, weight average degree of polymerization 1 .3)
Release agent 1.68 parts by mass (carboxyl group-containing silicone copolymer acrylic resin, US-350, solid content 30%, manufactured by Toagosei Co., Ltd.)
Acid catalyst 1.00 parts by mass (p-toluenesulfonic acid, manufactured by Hitachi Kasei Co., Ltd., trade name: Dryer (registered trademark) 900, solid content: 50%)

(実施例15)
塗布液を以下の組成に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックシート製造用離型フィルムを得た。US−450は、1分子中に2種類の官能基(カルボキシル基およびヒドロキシル基)を有するアクリル主鎖にシリコーン側鎖が導入されたアクリル樹脂である。
メチルエチルケトン 43.91質量部
トルエン 43.91質量部
メラミン系化合物 9.50質量部
(フルエーテル型メチル化メラミン、固形分100%、三和ケミカル社製、商品名MW−30M、重量平均重合度1.3)
離型剤 1.68質量部
(カルボキシル基/OH基含有シリコーン共重合アクリル樹脂、US−450、固形分30%、東亜合成社製)
酸触媒 1.00質量部
(p−トルエンスルホン酸、日立化成社製、商品名 ドライヤー(登録商標)900、固形分50%)
(Example 15)
A release film for producing an ultrathin ceramic sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid was changed to the following composition. US-450 is an acrylic resin in which a silicone side chain is introduced into an acrylic main chain having two types of functional groups (carboxyl group and hydroxyl group) in one molecule.
Methyl ethyl ketone 43.91 parts by mass Toluene 43.91 parts by mass Melamine compound 9.50 parts by mass (full ether type methylated melamine, solid content 100%, manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd., trade name MW-30M, weight average degree of polymerization 1 .3)
Release agent 1.68 parts by mass (carboxyl group / OH group-containing silicone copolymer acrylic resin, US-450, solid content 30%, manufactured by Toagosei Corporation)
Acid catalyst 1.00 parts by mass (p-toluenesulfonic acid, manufactured by Hitachi Kasei Co., Ltd., trade name: Dryer (registered trademark) 900, solid content: 50%)

(実施例16)
実施例1の塗布液のフルエーテル型メチル化メラミンを三和ケミカル社製、MW−30(重量平均重合度1.5)に変更した塗布液を用いた以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 16)
The same as in Example 1 except that the full ether type methylated melamine of Example 1 was changed to MW-30 (weight average degree of polymerization 1.5) manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd. A release film for manufacturing a thin ceramic green sheet was obtained.

(実施例17)
塗布液を以下の組成に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 42.46質量部
トルエン 42.47質量部
メラミン系化合物 13.57質量部
(フルエーテル型メチル化メラミン、固形分70%、三和ケミカル社製、商品名 MS−21、重量平均重合度1.8)
離型剤 0.50質量部
(両末端型カルボキシル変性ポリジメチルシロキサン、X22−162C、固形分100%、信越化学工業社製)
酸触媒 1.00質量部
(p−トルエンスルホン酸、日立化成社製、商品名 ドライヤー(登録商標)900、固形分50%)
(Example 17)
A release film for producing an ultrathin ceramic sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid was changed to the following composition.
Methyl ethyl ketone 42.46 parts by mass Toluene 42.47 parts by mass Melamine compound 13.57 parts by mass (full ether type methylated melamine, solid content 70%, manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd., trade name MS-21, weight average degree of polymerization 1 .8)
Release agent 0.50 parts by mass (both-terminal carboxyl-modified polydimethylsiloxane, X22-162C, solid content 100%, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)
Acid catalyst 1.00 parts by mass (p-toluenesulfonic acid, manufactured by Hitachi Kasei Co., Ltd., trade name: Dryer (registered trademark) 900, solid content: 50%)

(実施例18)
塗布液を以下の組成に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 41.34質量部
トルエン 41.33質量部
メラミン系化合物 15.83質量部
(メチロール型メチル化メラミン、固形分60%、三和ケミカル社、商品名 MS−11、重量平均重合度1.8)
離型剤 0.50質量部
(両末端型カルボキシル変性ポリジメチルシロキサン、X22−162C、固形分100%、信越化学工業社製)
酸触媒 1.00質量部
(p−トルエンスルホン酸、日立化成社製、商品名 ドライヤー(登録商標)900、固形分50%)
(Example 18)
A release film for producing an ultrathin ceramic sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid was changed to the following composition.
Methyl ethyl ketone 41.34 parts by mass Toluene 41.33 parts by mass Melamine compound 15.83 parts by mass (methylol-type methylated melamine, solid content 60%, Sanwa Chemical Co., Ltd., trade name MS-11, weight average degree of polymerization 1.8 )
Release agent 0.50 parts by mass (both-terminal carboxyl-modified polydimethylsiloxane, X22-162C, solid content 100%, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)
Acid catalyst 1.00 parts by mass (p-toluenesulfonic acid, manufactured by Hitachi Kasei Co., Ltd., trade name: Dryer (registered trademark) 900, solid content: 50%)

(実施例19)
塗布液を以下の組成に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 44.50質量部
トルエン 44.50質量部
メラミン系化合物 9.50質量部
(フルエーテル型メチル化メラミン、固形分100%、三和ケミカル社製、商品名MW−30M、重量平均重合度1.3)
離型剤 0.50質量部
(側鎖型カルボキシル変性ポリジメチルシロキサン、X22−3701E、固形分100%、信越化学工業社製)
酸触媒 1.00質量部
(p−トルエンスルホン酸、日立化成社製、商品名 ドライヤー(登録商標)900、固形分50%)
(Example 19)
A release film for producing an ultrathin ceramic sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid was changed to the following composition.
Methyl ethyl ketone 44.50 parts by mass Toluene 44.50 parts by mass Melamine compound 9.50 parts by mass (full ether type methylated melamine, solid content 100%, manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd., trade name MW-30M, weight average degree of polymerization 1 .3)
Release agent 0.50 parts by mass (side chain type carboxyl-modified polydimethylsiloxane, X22-3701E, solid content 100%, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)
Acid catalyst 1.00 parts by mass (p-toluenesulfonic acid, manufactured by Hitachi Kasei Co., Ltd., trade name: Dryer (registered trademark) 900, solid content: 50%)

(実施例20)
塗布液を以下の組成に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 44.50質量部
トルエン 44.50質量部
メラミン系化合物 9.50質量部
(フルエーテル型メチル化メラミン、固形分100%、三和ケミカル社製、商品名MW−30M、重量平均重合度1.3)
離型剤 0.50質量部
(両末端型カルボキシル変性ポリジメチルシロキサン、X22−162C、固形分100%、信越化学工業社製)
酸触媒 1.00質量部
(p−トルエンスルホン酸、日立化成社製、商品名 ドライヤー(登録商標)900、固形分50%)
(Example 20)
A release film for producing an ultrathin ceramic sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid was changed to the following composition.
Methyl ethyl ketone 44.50 parts by mass Toluene 44.50 parts by mass Melamine compound 9.50 parts by mass (full ether type methylated melamine, solid content 100%, manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd., trade name MW-30M, weight average degree of polymerization 1 .3)
Release agent 0.50 parts by mass (both-terminal carboxyl-modified polydimethylsiloxane, X22-162C, solid content 100%, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)
Acid catalyst 1.00 parts by mass (p-toluenesulfonic acid, manufactured by Hitachi Kasei Co., Ltd., trade name: Dryer (registered trademark) 900, solid content: 50%)

(実施例21)
実施例1の塗布液の酸触媒をジノニルナフタレンジスルホン酸(楠木化成社製、商品名 NACURE(登録商標)155、有効成分55%)に変更した塗布液を用いた以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 21)
Same as Example 1 except that the acid catalyst of the coating liquid of Example 1 was changed to dinonylnaphthalenedisulfonic acid (manufactured by Kusunoki Kasei Co., Ltd., trade name NACURE (registered trademark) 155, active ingredient 55%). Then, a release film for manufacturing an ultra-thin ceramic green sheet was obtained.

(実施例22)
実施例1の塗布液の酸触媒をジノニルナフタレン(モノ)スルホン酸(楠木化成社製、商品名 NACURE(登録商標)1051、有効成分50%)に変更した塗布液を用いた以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 22)
Examples except that the acid catalyst of the coating liquid of Example 1 was changed to dinonylnaphthalene (mono) sulfonic acid (manufactured by Kusunoki Kasei Co., Ltd., trade name NACURE (registered trademark) 1051, active ingredient 50%). In the same manner as in No. 1, a release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained.

(比較例1)
実施例1の塗布液に対して離型剤を入れない塗布液を用いた以外は実施例1と同様の方法で超薄層セラミックシート製造用離型フィルムを得た。離型剤が入っていないため、剥離力が重く、ピンホールが多数発生していた。
(Comparative Example 1)
A mold release film for producing an ultra-thin ceramic sheet was obtained by the same method as in Example 1 except that a coating liquid containing no mold release agent was used for the coating liquid of Example 1. Since the release agent was not contained, the peeling force was heavy and many pinholes were generated.

(比較例2)
塗布液を以下の組成に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックシート製造用離型フィルムを得た。離型剤を多く添加し、メラミン系化合物が離型層の70質量%しかない比較例2ではセラミックグリーンシートへのシリコーン移行量が大きくなった。
メチルエチルケトン 44.50質量部
トルエン 44.50質量部
メラミン系化合物 7.00質量部
(フルエーテル型メチル化メラミン、固形分100%、三和ケミカル社製、商品名MW−30M、重量平均重合度1.3)
離型剤 3.00質量部
(片末端カルボキシル変性ポリジメチルシロキサン、X22−3710、固形分100%、信越化学工業社製)
酸触媒 1.00質量部
(p−トルエンスルホン酸、日立化成社製、商品名 ドライヤー(登録商標)900、固形分50%)
(Comparative Example 2)
A release film for producing an ultrathin ceramic sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid was changed to the following composition. In Comparative Example 2 in which a large amount of mold release agent was added and the melamine compound was only 70% by mass of the mold release layer, the amount of silicone transferred to the ceramic green sheet was large.
Methyl ethyl ketone 44.50 parts by mass Toluene 44.50 parts by mass Melamine compound 7.00 parts by mass (full ether type methylated melamine, solid content 100%, manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd., trade name MW-30M, weight average degree of polymerization 1 .3)
Release agent 3.00 parts by mass (one-ended carboxyl-modified polydimethylsiloxane, X22-3710, solid content 100%, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)
Acid catalyst 1.00 parts by mass (p-toluenesulfonic acid, manufactured by Hitachi Kasei Co., Ltd., trade name: Dryer (registered trademark) 900, solid content: 50%)

(比較例3)
塗布液を以下の組成に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックシート製造用離型フィルムを得た。シリコーン移行量は低く良好であるが、ヒドロキシル基とメラミン系化合物の相互作用が強く、シリコーンが表面に出ていないこととメラミン系化合物の重量平均分子量が高いことで架橋密度が低くなったためか、剥離力が重くなった。
メチルエチルケトン 43.33質量部
トルエン 43.33質量部
メラミン系化合物 12.49質量部
(イミノ型メチル化メラミン、固形分80%、三和ケミカル社製、商品名 MX−730、重量平均重合度2.4)
離型剤 0.05質量部
(ポリエーテル変性OH基含有ポリジメチルシロキサン、BYK−377、固形分100%、ビックケミージャパン社製)
酸触媒 0.80質量部
(p−トルエンスルホン酸、日立化成社製、商品名 ドライヤー(登録商標)900、固形分50%)
(Comparative Example 3)
A release film for producing an ultrathin ceramic sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid was changed to the following composition. The amount of silicone transfer is low and good, but the interaction between the hydroxyl group and the melamine compound is strong, and the crosslink density is low probably because the silicone is not exposed on the surface and the weight average molecular weight of the melamine compound is high. The peeling force became heavy.
Methyl ethyl ketone 43.33 parts by mass Toluene 43.33 parts by mass Melamine compound 12.49 parts by mass (imino-type methylated melamine, solid content 80%, manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd., trade name MX-730, weight average degree of polymerization 2. 4)
Release agent 0.05 parts by mass (polyether-modified OH group-containing polydimethylsiloxane, BYK-377, solid content 100%, manufactured by Big Chemie Japan)
Acid catalyst 0.80 parts by mass (p-toluenesulfonic acid, manufactured by Hitachi Kasei Co., Ltd., trade name dryer (registered trademark) 900, solid content 50%)

(比較例4)
塗布液を以下の組成の塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックシート製造用離型フィルムを得た。メラミン系化合物の重量平均分子量が高いことで架橋密度が低くなったためか、剥離力が重くなった。
メチルエチルケトン 43.32質量部
トルエン 43.32質量部
メラミン 11.86質量部
(イミノ型メチル化メラミン、固形分80%、三和ケミカル社製、商品名 MX−730、重量平均重合度2.4)
離型剤 0.50質量部
(片末端カルボキシル変性ポリジメチルシロキサン、X22−3710、固形分100%、信越化学工業社製、ジメチルシロキサンとカルボキシル基の間にアルキル基が介在)
酸触媒 1.00質量部
(p−トルエンスルホン酸、日立化成社製、商品名 ドライヤー(登録商標)900、固形分50%)
(Comparative Example 4)
A release film for producing an ultrathin ceramic sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid was changed to a coating liquid having the following composition. The peeling force became heavier probably because the crosslink density was low due to the high weight average molecular weight of the melamine compound.
Methyl ethyl ketone 43.32 parts by mass Toluene 43.32 parts by mass Melamine 11.86 parts by mass (imino-type methylated melamine, solid content 80%, manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd., trade name MX-730, weight average degree of polymerization 2.4)
Release agent 0.50 parts by mass (one-ended carboxyl-modified polydimethylsiloxane, X22-3710, solid content 100%, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., alkyl group intervenes between dimethylsiloxane and carboxyl group)
Acid catalyst 1.00 parts by mass (p-toluenesulfonic acid, manufactured by Hitachi Kasei Co., Ltd., trade name: Dryer (registered trademark) 900, solid content: 50%)

(比較例5)
塗布液を以下の組成の塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックシート製造用離型フィルムを得た。メラミン系化合物の重量平均分子量が高いことで架橋密度が低くなったためか、剥離力が重くなった。
メチルエチルケトン 41.34質量部
トルエン 41.34質量部
メラミン 15.82質量部
(イミノ・メチロール型メチル化メラミン、固形分60%、三和ケミカル社製、商品名 MS−001、重量平均重合度5.7)
離型剤 0.50質量部
(片末端カルボキシル変性ポリジメチルシロキサン、X22−3710、固形分100%、信越化学工業社製、ジメチルシロキサンとカルボキシル基の間にアルキル基が介在)
酸触媒 1.00質量部
(p−トルエンスルホン酸、日立化成社製、商品名 ドライヤー(登録商標)900、固形分50%)
(Comparative Example 5)
A release film for producing an ultrathin ceramic sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid was changed to a coating liquid having the following composition. The peeling force became heavier probably because the crosslink density was low due to the high weight average molecular weight of the melamine compound.
Methyl ethyl ketone 41.34 parts by mass Toluene 41.34 parts by mass Melamine 15.82 parts by mass (imino-methylol type methylated melamine, solid content 60%, manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd., trade name MS-001, weight average degree of polymerization 5. 7)
Release agent 0.50 parts by mass (one-ended carboxyl-modified polydimethylsiloxane, X22-3710, solid content 100%, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., alkyl group intervenes between dimethylsiloxane and carboxyl group)
Acid catalyst 1.00 parts by mass (p-toluenesulfonic acid, manufactured by Hitachi Kasei Co., Ltd., trade name: Dryer (registered trademark) 900, solid content: 50%)

Figure 0006977748
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Figure 0006977748
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本発明によれば、離型層の表面が平滑であり、従来のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムと比較して、低く均一な力でセラミックグリーンシートを剥離することができるため、厚み1μm以下の超薄層セラミックグリーンシートでもピンホール等の欠点を実質上生じることがなく製造することができる。 According to the present invention, the surface of the release layer is smooth, and the ceramic green sheet can be peeled off with a low and uniform force as compared with the conventional release film for manufacturing a ceramic green sheet, so that the thickness is 1 μm or less. Even the ultra-thin layer ceramic green sheet can be manufactured without causing defects such as pinholes.

Claims (6)

二軸配向ポリエステルフィルムを基材とし、前記基材が少なくとも片面に無機粒子を実質的に含有していない表面層Aを有し、少なくとも片面の表面層Aの表面上に直接、離型層が積層されており、
前記表面層Aは、ポリエチレンテレフタレート樹脂を含み、
前記表面層Aは、表面平均粗さ(Sa)が1〜7nmであり、
前記離型層が少なくとも離型剤及びメラミン系化合物を含む組成物が硬化されてなるものであり、前記離型剤がカルボキシル基を含有したポリオルガノシロキサンであり、
前記メラミン系化合物の重量平均重合度が2.0以下であり、かつメラミン系化合物の含有率が前記離型層形成用組成物の固形分に対し80質量%以上である、
セラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
The biaxially oriented polyester film as a base material, has a surface layer A, wherein the base material is not substantially free of inorganic particles on at least one surface, directly on the surface of at least one surface of the surface layer A, the release layer Are laminated,
The surface layer A contains a polyethylene terephthalate resin and contains.
The surface layer A has a surface average roughness (Sa) of 1 to 7 nm.
The release layer is formed by curing a composition containing at least a release agent and a melamine-based compound, and the release agent is a polyorganosiloxane containing a carboxyl group.
The weight average degree of polymerization of the melamine compound is 2.0 or less, and the content of the melamine compound is 80% by mass or more with respect to the solid content of the release layer forming composition.
Release film for manufacturing ceramic green sheets.
基材の片面に無機粒子を実質的に含有していない表面層Aを有し、基材の前記表面層Aとは反対側に表面層Bを有し、表面層Bが粒子を含有し、前記粒子の少なくとも一部がシリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子であり、表面層Bの質量に対する粒子の合計含有率が5000〜15000ppmである請求項1に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。 One side of the substrate has a surface layer A that does not substantially contain inorganic particles, the surface layer B has a surface layer B on the opposite side of the substrate from the surface layer A, and the surface layer B contains particles. The release film for producing a ceramic green sheet according to claim 1, wherein at least a part of the particles is silica particles and / or calcium carbonate particles, and the total content of the particles with respect to the mass of the surface layer B is 5000 to 15000 ppm. 離型層の領域表面平均粗さ(Sa)が7nm以下であり、かつ、最大突起高さ(P)が100nm以下である請求項1または2に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。 The release film for producing a ceramic green sheet according to claim 1 or 2, wherein the region surface average roughness (Sa) of the release layer is 7 nm or less, and the maximum protrusion height (P) is 100 nm or less. 前記表面層Aは、ポリエチレンテレフタレート樹脂を主成分として含む、請求項1〜3のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム The release film for producing a ceramic green sheet according to any one of claims 1 to 3, wherein the surface layer A contains a polyethylene terephthalate resin as a main component. 請求項1〜4のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを用いてセラミックグリーンシートを成型するセラミックグリーンシートの製造方法であって、成型されたセラミックグリーンシートが0.2μm〜1.0μmの厚みを有するセラミックグリーンシートの製造方法。 A method for manufacturing a ceramic green sheet using the release film for manufacturing a ceramic green sheet according to any one of claims 1 to 4, wherein the molded ceramic green sheet is 0.2 μm to 1 .. A method for manufacturing a ceramic green sheet having a thickness of 0 μm. 請求項5に記載のセラミックグリーンシートの製造方法を採用するセラミックコンデンサの製造方法。 A method for manufacturing a ceramic capacitor, which employs the method for manufacturing a ceramic green sheet according to claim 5.
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