JP2020106408A - 超音波検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】支持アーム等の軽量化を図りながら、検査の正当性を確保することができる超音波検査装置を提供する。【解決手段】超音波検査装置は、移動体１３、支持アーム１５、超音波探触子１１、及び駆動機構１４，１７を備えた検査ユニット１０と、駆動機構１４，１７を制御する駆動機構制御装置２１と、超音波探触子１１で受信された反射波の情報を取得する超音波探傷器２２と、駆動機構１４，１７の制御情報から得られた超音波探触子１１の位置情報に基づいて側壁１の検査位置を演算し、側壁１の検査位置と反射波の情報との組合せを取得する計算機２３とを備える。検査ユニット１０は、支持アーム１５の変形パターンに応じて変化する情報を取得する検出装置３０を備える。計算機２３は、検出装置３０で取得された情報に基づいて支持アーム１５の変形パターンを演算し、支持アーム１５の変形パターンに基づいて側壁１の検査位置を補正する。【選択図】図１

Description

本発明は、大型の構造物を検査する超音波検査装置に関する。

発電プラントや化学プラントでは、大型の構造物（詳細には、例えば液体を貯える圧力容器又はタンク等）の損傷が発生しないように、適切な運転管理が行われている。しかし、大型構造物に割れや減肉等の欠陥がまれに発生する。そのため、非破壊検査である超音波検査を定期的に実施して、大型構造物の状態を把握することが重要である。超音波検査では、超音波探触子を用いて、大型構造物に超音波を送信すると共に、大型構造物に欠陥がある場合に欠陥で反射された反射波を受信する。これにより、大型構造物の欠陥を検知する。

特許文献１は、燃料貯蔵プールの側面（壁面）を検査する超音波検査装置を開示する。この超音波検査装置は、大別して、検査ユニットと制御系で構成されている。検査ユニットは、例えばプールの側面に沿って超音波探触子を移動させるように構成されている。

この検査ユニットは、昇降装置（詳細には、ワイヤー巻き取り・送り出し装置等）によって昇降するフレームと、一方側端部がフレームに接続され、プールの側面に対して垂直な方向に伸縮駆動する吸着パッドシリンダと、吸着パッドシリンダの他方側端部に設けられた吸着パッドとを備えている。そして、吸着パッドシリンダが伸長して吸着パッドをプールの側面に押し当て、吸着パッドがプールの側面に吸着することにより、フレームを固定するようになっている。

検査ユニットは、フレームに設けられてＸ軸方向（詳細には、プールの側面に対して平行な方向かつ水平方向）に延在するラックと、ラックに噛み合うピニオンを回転駆動するＸ軸モータと、Ｘ軸モータを装着してラックに沿って（すなわち、Ｘ軸方向に）移動可能なスライダとを備えている。そして、Ｘ軸モータの駆動によってスライダの位置を調整することにより、後述する超音波探触子のＸ軸方向の位置を調整可能としている。

検査ユニットは、スライダに接続されてＹ軸方向（詳細には、プールの側面に対して平行な方向かつ鉛直方向）に延在する２つのガイドと、これらガイドに沿って（すなわち、Ｙ軸方向に）移動可能に設けられた昇降フレームと、ガイドに対して並行となるように設けられ、昇降フレームに形成されたネジ穴に螺合するボールネジと、スライダに設けられてボールネジを回転駆動するＹ軸モータとを備えている。そして、Ｙ軸モータの駆動によって昇降フレームの位置を調整することにより、後述する超音波探触子のＹ軸方向の位置を調整可能としている。

検査ユニットは、一方側端部が昇降フレームに接続され、プールの側面に対して垂直な方向に伸縮駆動する探触子押し付けシリンダと、探触子押し付けシリンダの他方側端部に接続されて鉛直方向に延在する探触子支持フレームと、探触子支持フレームの下端部に設けられた超音波探触子とを備えている。そして、探触子押し付けシリンダが伸長することにより、超音波探触子をプールの側面に押し当てるようになっている。

制御系は、Ｘ軸モータ及びＹ軸モータを制御して超音波探触子の位置を調整する駆動制御装置と、超音波探触子から超音波を送信させると共に、超音波探触子で受信された反射波の情報を取得する超音波探傷器と、Ｘ軸モータ及びＹ軸モータの制御情報から得られた超音波探触子の位置情報と反射波の情報との組み合わせを収録するデータ収録装置と、データ収録装置で収録された反射波の情報に基づいて欠陥の評価を行うデータ処理装置とを備えている。

特開２００５−３３７８８４号公報

大型構造物の検査に用いられる検査ユニットにおいては、その運搬や設置などの作業性の観点から、超音波探触子を支持する支持アーム（特許文献１では、上述した探触子支持フレームやガイド）等を軽量化することが好ましい。支持アームを軽量化すれば、モータ等も軽量化することが可能となり、検査ユニット全体の軽量化を図ることが可能である。しかしながら、支持アームを軽量化すれば、支持アームの剛性が低下して撓りなどの変形が生じやすくなる。支持アームが変形すると、超音波探触子の位置等が変わるため、大型構造物の検査位置が変わる。そして、大型構造物の検査位置が誤ったままであれば、検査の正当性が損なわれてしまう。

本発明は、上記事柄に鑑みてなされたものであり、その目的は、支持アーム等の軽量化を図りながら、検査の正当性を確保することができる超音波検査装置を提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明は、移動体、前記移動体に接続された支持アーム、前記支持アームで支持された超音波探触子、及び被検体の表面における前記超音波探触子の位置を調整する少なくとも１つの駆動機構を備えた検査ユニットと、前記駆動機構を制御する駆動機構制御装置と、前記超音波探触子から前記被検体に超音波を送信させると共に、前記超音波探触子で受信された反射波の情報を取得する超音波探傷器と、前記駆動機構の制御情報から得られた前記超音波探触子の位置情報に基づいて前記被検体の検査位置を演算し、前記被検体の検査位置と前記反射波の情報との組合せを取得する計算機とを備えた超音波検査装置において、前記検査ユニットは、前記支持アームの変形パターンに応じて変化する情報を取得する検出装置を備え、前記計算機は、前記検出装置で取得された情報に基づいて前記支持アームの変形パターンを演算し、前記支持アームの変形パターンに基づいて前記被検体の検査位置を補正する。

本発明によれば、支持アーム等の軽量化を図りながら、検査の正当性を確保することができる。

本発明の第１の実施形態における超音波検査装置の構成を表すブロック図である。 本発明の第１の実施形態における検査ユニットの構造を、被検体の一部と共に表す斜視図である。 本発明の第１の実施形態における支持アームの変形に伴う被検体の検査位置の変化を表す周方向断面図である。 本発明の第１の実施形態における支持アームの変形に伴うスクリーン上の光源像の変化を表す図である。 本発明の第１の実施形態における超音波検査装置の動作手順を表すフローチャートである。 本発明の第２の実施形態における超音波検査装置の構成を表すブロック図である。 本発明の第２の実施形態における検査ユニットの構造を、被検体の一部と共に表す斜視図である。 本発明の第３の実施形態における超音波検査装置の構成を表すブロック図である。 本発明の第３の実施形態における検査ユニットの構造を、被検体の一部と共に表す斜視図である。

本発明の第１の実施形態を、図面を参照しつつ説明する。

図１は、本実施形態における超音波検査装置の構成を表すブロック図である。図２は、本実施形態における検査ユニットの構造を、被検体の一部と共に表す斜視図である。

本実施形態の超音波検査装置は、原子炉圧力容器の側壁１（被検体）の内面を検査するためのものであり、大別して、検査ユニット１０と制御系２０で構成されている。検査ユニット１０は、側壁１の外面に沿って超音波探触子１１を移動させるように構成されている。

検査ユニット１０は、側壁１の外側に設けられ、側壁１の周方向に延在するレール１２と、レール１２に沿って移動可能に設けられた移動体１３と、レール１２に沿って移動体１３を移動させる第１の駆動機構１４と、移動体１３に接続され、側壁１の高さ方向（軸方向）に延在する支持アーム１５と、支持アーム１５に沿って移動可能に設けられたスライダ１６と、スライダ１６で支持された超音波探触子１１と、支持アーム１５に沿ってスライダ１６を移動させる第２の駆動機構１７とを備えている。

第１の駆動機構１４は、詳細を図示しないものの、レール１２に噛み合う歯車と、移動体１３に装着されて歯車を回転する第１の電動モータとで構成されている。そして、第１の電動モータの駆動により、移動体１３がレール１２に沿って移動する。これにより、側壁１の外面における超音波探触子１１の周方向位置を調整可能としている。

第２の駆動機構１７は、詳細を図示しないものの、支持アーム１５に対して並行となるように延在すると共に、スライダ１６に形成されたネジ穴に螺合するボールネジと、移動体１３に設けられてボールネジを回転する第２の電動モータとで構成されている。そして、第２の電動モータの駆動により、スライダ１６が支持アーム１５に沿って移動する。これにより、側壁１の外面における超音波探触子１１の高さ方向位置（軸方向位置）を調整可能としている。

制御系２０は、駆動機構１４，１７を制御する駆動機構制御装置２１と、超音波探触子１１を制御する超音波探傷器２２と、駆動機構制御装置２１及び超音波探傷器２２を制御する計算機２３とを備えている。なお、図示しないものの、計算機２３には入力装置（詳細には、キーボードやマウス等）及び表示装置（ディスプレイ）が接続されている。

計算機２３は、詳細を図示しないものの、プログラムを記憶するＲＯＭと、プログラムに従って処理を実行するＣＰＵと、処理結果を記憶するＲＡＭとを有している。計算機２３は、機能的構成として、検査位置演算部２４及び検査結果収録部２５を有している。

駆動機構制御装置２１は、計算機２３からの指令に応じて駆動機構１４，１７を駆動させて、超音波探触子１１の位置を調整する。また、駆動機構制御装置２１は、駆動機構１４，１７の制御情報から得られた超音波探触子１１の位置情報を計算機２３に出力する。

計算機２３の検査位置演算部２４は、駆動機構制御装置２１からの超音波探触子１１の位置情報に基づいて、側壁１の検査位置（詳細には、側壁１の内面において超音波が到達する位置）を演算する。なお、計算機２３の検査位置演算部２４は、超音波探触子１１の位置と側壁１の検査位置の関係を予め取得して記憶し、この関係を用いて側壁１の検査位置を演算してもよい。

超音波探傷器２２は、詳細を図示しないものの、パルサ及びレシーバを有している。パルサは、計算機２３からの指令に応じて、超音波探触子１１の圧電素子（図示せず）に駆動信号（電気信号）を出力する。これにより、超音波探触子１１の圧電素子は、側壁１の内面に向けて超音波を送信する。超音波探触子１１の圧電素子は、側壁１の内面に欠陥が生じている場合に欠陥で反射された反射波を受信し、波形信号（電気信号）に変換してレシーバに出力する。レシーバは、波形信号に対し所定の処理を行って計算機２３に出力する。

計算機２３の検査結果収録部２５は、検査位置演算部２４で演算された検査位置と超音波探傷器２２から得られた波形情報（詳細には、波形信号、又はこれに基づいて得られた情報）との組み合わせを取得して収録するようになっている。なお、計算機２３は、波形情報に基づいて欠陥の有無などを評価する機能を有してもよい。

ところで、検査ユニット１０においては、その運搬や設置などの作業性の観点から、支持アーム１５等を軽量化することが好ましい。支持アーム１５を軽量化すれば、駆動機構１４，１７の電動モータ等も軽量化することが可能となり、検査ユニット１０の全体の軽量化を図ることが可能である。しかしながら、支持アーム１５を軽量化すれば、支持アーム１５の剛性が低下して撓りなどの変形が生じやすくなる。支持アーム１５が変形すると、超音波探触子１１の位置等が変わり、側壁１の検査位置が変わる。

詳しく説明すると、図３中点線で示すように支持アーム１５が変形していない場合は、超音波が側壁１の外面の入射位置Ｐａから入射し、側壁１の内面の位置Ｑａに到達する。一方、図３中実線で示すように支持アーム１５が変形した場合は（言い換えれば、超音波探触子１１の位置に対応する支持アーム１５の一部分が変位した場合は）、超音波探触子１１の位置等が変わるため、超音波が側壁１の外面の入射位置Ｐｂから入射し、側壁１の内面の位置Ｑｂに到達する。すなわち、側壁１の検査位置が変わる。

そこで、本実施形態では、検査ユニット１０は、支持アーム１５の変形パターンに応じて変化する情報を取得する検出装置３０を更に備えている。計算機２３は、機能的構成として、検出装置３０で取得された情報に基づいて支持アーム１５の変形パターンを演算する変形パターン演算部２６を更に有している。

本実施形態の検出装置３０は、支持アーム１５の一端側（図２の上側）に配置されたレーザ光源３１と、支持アーム１５の他端側（図２の下側）に配置されたスクリーン３２と、移動体１３に設けられ、レーザ光源３１からスクリーン３２に投影されたレーザ像（光源像）を撮影するカメラ３３とで構成されている。

計算機２３の変形パターン演算部２６は、カメラ３３の撮影画像を入力し、撮影画像からレーザ像を抽出し、レーザ像の変化パターンに基づいて支持アーム１５の変形パターンを演算する。詳しく説明すると、図４（ａ）で示すように、初期状態（すなわち、支持アーム１５が変形しない状態）のレーザ像Ｓａは、スクリーン３２の照準円の中心に位置する。支持アーム１５が変形すると、スクリーン３２に対するレーザ光源３１の相対位置や相対姿勢が変わる。この場合、例えば図３（ｂ）で示すように、レーザ像Ｓｂは、スクリーン３２の照準円の中心から離れる。計算機２３の変形パターン演算部２６は、レーザ像の変化パターンと支持アーム１５の変形パターンの関係を予め取得して記憶しており、この関係を用いて支持アーム１５の変形パターンを演算する。

なお、図４（ａ）及び図４（ｂ）で示すレーザ像は点対称な形状であるものの、非点対称な形状としてもよい。この場合、変形パターン演算部２６は、レーザ像の変化パターンとして、レーザ像の回転角を捉えることが可能となり、支持アーム１５の変形パターンとして、支持アーム１５のねじれ角を演算することが可能となる。これにより、支持アーム１５の変形パターンの演算精度を高めることができる。

計算機２３の検査位置演算部２４は、変形パターン演算部２６で演算された支持アームの変形パターンに基づいて超音波探触子１１の位置を補正し、側壁１の検査位置を補正する。詳細には、例えばレイトレース法と呼ばれるシミュレーション方法を用いて超音波の伝播経路を演算して、側壁１の検査位置を演算する。

次に、本実施形態の超音波検査装置の動作を説明する。図５は、本実施形態における超音波検査装置の動作手順を表すフローチャートである。

まず、超音波検査の開始にあたり、検査者は、原子炉圧力容器の側壁１の外側に検査ユニット１０を設置する。また、検査者は、レーザ光源３１から投影されたレーザ像がスクリーン３２の照準円の中心に位置するように設定する。また、検査者は、入力装置を操作して検査条件（超音波の送信条件、受信条件、駆動機構の動作条件）を設定する。

ステップＳ１０１にて、駆動機構制御装置２１は、計算機２３からの指令に応じて駆動機構１４を駆動して、移動体１３を予め設定された移動量だけ移動する。これにより、超音波探触子１１を側壁１の周方向に移動する。

ステップＳ１０２に進み、レーザ光源３１は、スクリーン３２にレーザを照射する。カメラ３３は、スクリーン３２に投影されたレーザ像を撮影する。計算機２３の変形パターン演算部２６は、カメラ３３で撮影されたレーザ像の変化パターンに基づいて、支持アーム１５の変形パターン（詳細には、支持アーム１５の各部位における変形方向や変形量など）を演算する。

ステップＳ１０３に進み、計算機２３の検査位置演算部２４は、例えば支持アーム１５の先端部の変形量が予め設定された基準値（言い換えれば、超音波検査に与える影響が小さいと判断できる値）以下であるか否かを判定する。これにより、移動体１３の移動に伴って支持アーム１５が大きく変形したか否かを判定する。

支持アーム１５の先端部の変形量が基準値を超える場合、ステップＳ１０３の判定がＮＯとなってステップＳ１０４に移る。ステップＳ１０４にて、計算機２３の検査位置演算部２４は、変形パターン演算部２６で演算された支持アームの変形パターンに基づいて、事前に、超音波探触子１１の各移動位置に対応する側壁１の検査位置を補正する。その後、ステップＳ１０５に移る。一方、支持アーム１５の先端部の変形量が基準値以下である場合、ステップＳ１０４の判定がＹＥＳとなってステップＳ１０５に移る。すなわち、側壁１の検査位置を補正せず、ステップＳ１０５に移る。

ステップＳ１０５にて、駆動機構制御装置２１は、計算機２３からの指令に応じて駆動機構１７を駆動して、スライダ１６を予め設定された移動量だけ移動する。これにより、超音波探触子１１を側壁１の高さ方向（軸方向）に移動する。

ステップＳ１０６に進み、超音波探傷器２２は、計算機２３からの指令に応じて、超音波探傷を行う。すなわち、超音波探触子１１から側壁１の内面に向けて超音波を送信させると共に、超音波探触子１１で受信された反射波の情報を取得する。計算機２３の検査結果収録部２５は、検査位置演算部２４で演算又は補正された検査位置と超音波探傷器２２から得られた波形情報との組み合わせを取得して収録する。

ステップＳ１０７に進み、計算機２３は、超音波探触子１１が軸方向の終点に到達したか否かを判定する。超音波探触子１１が軸方向の終点に到達していなければ、ステップＳ１０７の判定がＮＯとなり、ステップＳ１０５及びＳ１０６を繰り返す。その後、超音波探触子１１が軸方向の終点に到達すれば、ステップＳ１０７の判定がＹＥＳとなり、ステップＳ１０８に移る。

ステップＳ１０８にて、計算機２３は、超音波探触子１１が周方向の終点に到達したか否かを判定する。超音波探触子１１が周方向の終点に到達していなければ、ステップＳ１０８の判定がＮＯとなり、ステップＳ１０１に戻って上述した手順を繰り返す。その後、超音波探触子１１が周方向の終点に到達すれば、ステップＳ１０８の判定がＹＥＳとなり、超音波検査が終了する。

以上のように本実施形態において、計算機２３は、カメラ３３で撮影されたレーザ像の変化パターンに基づいて支持アーム１５の変形パターンを演算し、支持アーム１５の変形パターンに基づいて側壁１の検査位置を補正する。したがって、支持アーム１５等の軽量化により、支持アーム１５の変形が生じやすくなっても、検査の正当性を確保することができる。

また、支持アーム１５等の軽量化により、検査ユニット１０の軽量化や小型化を図ることができる。そのため、検査ユニット１０の運搬や設置などの作業性を向上させることができる。その結果、検査時間の短縮も図ることができる。

本発明の第２の実施形態を、図６及び図７を用いて説明する。

図６は、本実施形態における超音波検査装置の構成を表すブロック図である。図７は、本実施形態における検査ユニットの構造を、被検体の一部と共に表す斜視図である。なお、本実施形態において、第１の実施形態と同等の部分は同一の符号を付し、適宜、説明を省略する。

本実施形態の検出装置３０Ａは、支持アーム１５の一端側（図７の上側）に配置されたレーザ光源３１と、支持アーム１５の他端側（図７の下側）に配置され、レーザ光源３１から投影されたレーザ像（光源像）を検出するレーザ光検出器（イメージセンサ）３４とで構成されている。計算機２３Ａの変形パターン演算部２６Ａは、レーザ光検出器３４で検出されたレーザ像の変化パターンに基づいて、支持アーム１５の変形量パターンを演算する。

以上のように構成された本実施形態においても、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。すなわち、支持アーム１５等の軽量化を図りながら、検査の正当性を確保することができる。

本発明の第３の実施形態を、図８及び図９を用いて説明する。

図８は、本実施形態における超音波検査装置の構成を表すブロック図である。図９は、本実施形態における検査ユニットの構造を、被検体の一部と共に表す斜視図である。なお、本実施形態において、第１及び第２の実施形態と同等の部分は同一の符号を付し、適宜、説明を省略する。

本実施形態の検出装置３０Ｂは、支持アーム１５に沿って延在する光ファイバ式のひずみゲージ３５と、ひずみゲージ３５の一端側（図９の上側）に配置され、ひずみゲージ３５に光を出力する光源３６と、ひずみゲージ３５の他端側（図９の下側）に配置され、ひずみゲージ３５を伝播した光を検出する光検出器３７とで構成されている。計算機２３Ｂの変形パターン演算部２６Ｂは、光検出器３７で検出された光の特性の変化パターンに基づいて、支持アーム１５の変形パターンを演算する。

以上のように構成された本実施形態においても、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。すなわち、支持アーム１５等の軽量化を図りながら、検査の正当性を確保することができる。

なお、上記実施形態において、検査ユニット１０は、原子炉圧力容器の側壁１の外面における超音波探触子１１の位置を制御する駆動機構として、第１の駆動機構１４及び第２の駆動機構１７を備えた場合を例にとって説明したが、これに限られず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で変形が可能である。例えば、検査ユニットは、第１の駆動機構１４を備えるものの、第２の駆動機構１７を備えなくともよい。すなわち、超音波探触子１１は、支持アーム１５に固定されてもよい。また、例えば、検査ユニットは、第２の駆動機構１７を備えるものの、第１の駆動機構１４を備えなくともよい。すなわち、移動体１３は、脱着可能に固定されてもよい。

また、上記実施形態において、移動体１３は、原子炉圧力容器の側壁１の外側に設けられたレール１２に沿って移動するように構成された場合を例にとって説明したが、これに限られず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で変形が可能である。例えば、移動体１３は、側壁１の外面に吸着して移動するための磁気車輪を有してもよい。

また、上記実施形態において、被検体は、原子炉圧力容器の側壁１である場合を例にとって説明したが、これに限られず、他の大型構造物（詳細には、例えば液体を貯える圧力容器又はタンク等）であってもよい。

１ 原子炉圧力容器の側壁（被検体）
１０ 検査ユニット
１１ 超音波探触子
１３ 移動体
１４ 第１の駆動機構
１５ 支持アーム
１６ スライダ
１７ 第２の駆動機構
２１ 駆動機構制御装置
２２ 超音波探傷器
２３，２３Ａ，２３Ｂ 計算機
３０，３０Ａ，３０Ｂ 検出装置
３１ レーザ光源
３２ スクリーン
３３ カメラ
３４ レーザ光検出器
３５ 光ファイバ式のひずみゲージ
３６ 光源
３７ 光検出器

Claims (5)

1. 移動体、前記移動体に接続された支持アーム、前記支持アームで支持された超音波探触子、及び被検体の表面における前記超音波探触子の位置を調整する少なくとも１つの駆動機構を備えた検査ユニットと、
   前記駆動機構を制御する駆動機構制御装置と、
   前記超音波探触子から前記被検体に超音波を送信させると共に、前記超音波探触子で受信された反射波の情報を取得する超音波探傷器と、
   前記駆動機構の制御情報から得られた前記超音波探触子の位置情報に基づいて前記被検体の検査位置を演算し、前記被検体の検査位置と前記反射波の情報との組合せを取得する計算機とを備えた超音波検査装置において、
   前記検査ユニットは、前記支持アームの変形パターンに応じて変化する情報を取得する検出装置を備え、
   前記計算機は、前記検出装置で取得された情報に基づいて前記支持アームの変形パターンを演算し、前記支持アームの変形パターンに基づいて前記被検体の検査位置を補正することを特徴とする超音波検査装置。
2. 請求項１に記載の超音波検査装置において、
   前記検出装置は、
   前記支持アームの一端側に配置されたレーザ光源と、
   前記支持アームの他端側に配置されたスクリーンと、
   前記レーザ光源から前記スクリーンに投影された光源像を撮影するカメラとで構成されており、
   前記計算機は、前記カメラで撮影された光源像の変化パターンに基づいて前記支持アームの変形パターンを演算することを特徴とする超音波検査装置。
3. 請求項１に記載の超音波検査装置において、
   前記検出装置は、
   前記支持アームの一端側に配置されたレーザ光源と、
   前記支持アームの他端側に配置され、前記レーザ光源から投影された光源像を検出するレーザ光検出器とで構成されており、
   前記計算機は、前記レーザ光検出器で検出された光源像の変化パターンに基づいて前記支持アームの変形パターンを演算することを特徴とする超音波検査装置。
4. 請求項１に記載の超音波検査装置において、
   前記検出装置は、
   前記支持アームに沿って延在する光ファイバ式のひずみゲージと、
   前記ひずみゲージの一端側に配置され、前記ひずみゲージに光を出力する光源と、
   前記ひずみゲージの他端側に配置され、前記ひずみゲージを伝播した光を検出する光検出器とで構成されており、
   前記計算機は、前記光検出器で検出された光の特性の変化パターンに基づいて前記支持アームの変形パターンを演算することを特徴とする超音波検査装置。
5. 請求項１に記載の超音波検査装置において、
   前記超音波探触子は、前記支持アームに沿って移動可能なスライダを介して前記支持アームに支持されており、
   前記駆動機構は、第１の方向に前記移動体を移動させる第１の駆動機構と、前記第１の方向とは異なる第２の方向に延在する前記支持アームに沿って前記スライダを移動させる第２の駆動機構であることを特徴とする超音波検査装置。

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