JP2020097704A - 酸基含有(メタ)アクリレート樹脂組成物、硬化性樹脂組成物、硬化物、絶縁材料、ソルダーレジスト用樹脂材料及びレジスト部材 - Google Patents
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Abstract
Description
カラム:東ソー株式会社製ガードカラム「HXL−L」
+東ソー株式会社製「TSK−GEL G2000HXL」
+東ソー株式会社製「TSK−GEL G2000HXL」
+東ソー株式会社製「TSK−GEL G3000HXL」
+東ソー株式会社製「TSK−GEL G4000HXL」
検出器: RI(示差屈折計)
データ処理:東ソー株式会社製「GPC−8020モデルIIバージョン4.10」
測定条件: カラム温度 40℃
展開溶媒 テトラヒドロフラン
流速 1.0ml/分
標準 : 前記「GPC−8020モデルIIバージョン4.10」の測定マニュアルに準拠して、分子量が既知の下記の単分散ポリスチレンを用いた。
(使用ポリスチレン)
東ソー株式会社製「A−500」
東ソー株式会社製「A−1000」
東ソー株式会社製「A−2500」
東ソー株式会社製「A−5000」
東ソー株式会社製「F−1」
東ソー株式会社製「F−2」
東ソー株式会社製「F−4」
東ソー株式会社製「F−10」
東ソー株式会社製「F−20」
東ソー株式会社製「F−40」
東ソー株式会社製「F−80」
東ソー株式会社製「F−128」
試料 : 樹脂固形分換算で1.0質量%のテトラヒドロフラン溶液をマイクロフィルターでろ過したもの(50μl)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート379質量部、イソホロンジイソシアネートのイソシアヌレート変性体(EVONIK社製「VESTANAT T−1890/100」、イソシアネート基含有量17.2質量%)185質量部、無水トリメリット酸146質量部、ジブチルヒドロキシトルエン1.6質量部を加えて溶解させた。窒素雰囲気下、160℃で5時間反応させ、イソシアネート基含有量が0.1質量%以下となっていることを確認した。メトキノン0.3質量部、ペンタエリスリトールポリアクリレート混合物(東亜合成株式会社製「アロニックスM−306」、ペンタエリスリトールトリアクリレート含有量約67%、水酸基価159.7mgKOH/g)112質量部及びトリフェニルホスフィン3.1質量部を添加し、空気を吹き込みながら110℃で5時間反応させた。次いで、グリシジルメタクリレート125質量部を添加し、110℃で5時間反応させた。更に、無水コハク酸87質量部を加えて110℃で5時間反応させ、酸基含有アミドイミド(メタ)アクリレート樹脂(i−1)を得た。この酸基含有アミドイミド(メタ)アクリレート樹脂(i−1)の固形分酸価は80mgKOH/gであり、重量平均分子量は、3890であった。
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート276質量部、イソホロンジイソシアネート214質量部、無水トリメリット酸277質量部、ジブチルヒドロキシトルエン1.9質量部を加えて溶解させた。窒素雰囲気下、160℃で5時間反応させ、イソシアネート基含有量が0.1質量%以下となっていることを確認した。メトキノン0.4質量部、ペンタエリスリトールポリアクリレート混合物(東亜合成株式会社製「アロニックスM−306」、ペンタエリスリトールトリアクリレート含有量約67%、水酸基価159.7mgKOH/g)85質量部およびトリフェニルホスフィン3.9質量部を添加し、空気を吹き込みながら110℃で5時間反応させた。次いで、グリシジルメタクリレート138質量部を添加し、110℃で5時間反応させた。更に、無水コハク酸94質量部、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート162質量部を加えて110℃で5時間反応させ、酸基含有アミドイミド(メタ)アクリレート樹脂(i−2)を得た。酸基含有アミドイミド(メタ)アクリレート樹脂(i−2)の固形分酸価は75mgKOH/gであり、重量平均分子量は、1750であった。
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート101質量部を入れ、オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂EPICLON N−680(DIC株式会社製、エポキシ当量:214g/eq)428質量部を溶解し、ジブチルヒドロキシトルエン4質量部、メトキノン0.4質量部加えた後、アクリル酸144質量部、トリフェニルホスフィン1.6質量部を添加し、空気を吹き込みながら120℃で10時間エステル化反応を行なった。その後、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート311質量部、テトラヒドロ無水フタル酸160質量部を加え110℃で2.5時間反応し、目的の酸基及び重合性不飽和結合を有する樹脂(ii−1)を得た。この酸基及び重合性不飽和結合を有する樹脂(ii−1)の固形分酸価は85mgKOH/gであり、重量平均分子量は、8540であった。
温度計、攪拌機、及び還流冷却器を備えたフラスコに、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート70.3質量部を入れ、クレゾールノボラック型フェノール樹脂(DIC株式会社製「PHENOLITE KA−1165」、水酸基当量;119g/eq、軟化点;125℃)120質量部を溶解させた。次いで、エチレンカーボネート88質量部、トリフェニルホスフィン0.6質量部を添加し、窒素雰囲気下において160℃で8時間反応を行なった。次いで、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート36質量部を入れ、ジブチルヒドロキシトルエン0.6質量部、メトキノン0.1質量部加えた後、N−メトキシメチルアクリルアミド85質量部、シュウ酸2.3質量部を添加し、空気を吹き込みながら100℃、150Torrの減圧下で10時間反応を行なった。その後、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート38質量部、テトラヒドロ無水フタル酸43質量部を加え110℃で5時間反応し、目的の酸基及び重合性不飽和結合を有する樹脂(ii−2)を得た。この酸基及び重合性不飽和結合を有する樹脂(ii−2)の固形分酸価は60mgKOH/gであり、重量平均分子量は、4260であった。
温度計、攪拌機、及び還流冷却器を備えたフラスコにイソホロンジイソシアネート222質量部、ジオクチル錫ジネオデカノエート(日東化成株式会社製「ネオスタン U−830」)0.03質量部、メトキノン0.03質量部を入れ、65℃に昇温した。ヒドロキシエチルアクリレート116質量部を空気を吹き込みながら、発熱に注意し、分割で添加した。発熱が収まってから、75℃で10時間反応させ、目的のアクリレート樹脂(4‘)を得た。
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート47質量部を入れ、ビスフェノールA型エポキシ樹脂EPICLON 850S(DIC株式会社製、エポキシ当量:188g/eq)188質量部を溶解し、ジブチルヒドロキシトルエン0.3質量部、メトキノン0.2質量部加えた後、アクリル酸72質量部、トリフェニルホスフィン1.3質量部を添加し、空気を吹き込みながら120℃で5時間反応を行なった。その後、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート153質量部、アクリレート樹脂(4‘)111質量部、「ネオスタン U−830」0.07質量部を添加し、80℃3時間反応させ、イソシアネート基含有量が0.1質量%以下となっていることを確認した。次いでテトラヒドロ無水フタル酸95質量部を加え110℃で2.5時間反応し、目的の酸基及び重合性不飽和結合を有する樹脂(ii−3)を得た。この酸基及び重合性不飽和結合を有する樹脂(ii−3)の固形分酸価は80mgKOH/gであり、重量平均分子量は、1610であった。
温度計、攪拌機、及び還流冷却器を備えたフラスコにジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート1103質量部、イソホロンジイソシアネートのイソシアヌレート変性体(EVONIK社製「VESTANAT T−1890/100」、イソシアネート基含有量17.2質量%)198質量部及びシクロヘキサン−1,3,4−トリカルボン酸−3,4−無水物507質量部を加えた。2時間かけて140℃まで昇温させ、同温度で更に2時間反応させた。赤外スペクトルにてイソシアネート基の特性吸収である2270cm−1の吸収が完全に消滅したことを確認した。次いで、イソホロンジイソシアネートのイソシアヌレート変性体(EVONIK社製「VESTANAT T−1890/100」、イソシアネート基含有量17.2質量%)198質量部を加えて反応を継続し、赤外スペクトルにてイソシアネート基の特性吸収である2270cm−1の吸収が完全に消滅したことを確認した。更に、イソホロンジイソシアネートのイソシアヌレート変性体(EVONIK社製「VESTANAT T−1890/100」、イソシアネート基含有量17.2質量%)198質量部を加えて反応を継続し、赤外スペクトルにてイソシアネート基の特性吸収である2270cm−1の吸収が完全に消滅したことを確認し、アミドイミド樹脂中間体(1)溶液を得た。赤外スペクトルにて1780cm−1、1720cm−1にイミド基の特性吸収を確認した。酸無水物基非開環条件で測定したアミドイミド樹脂中間体(1)の固形分酸価は190mgKOH/gであった。
合成例1で得られた酸基含有アミドイミド(メタ)アクリレート樹脂(i−1)と、合成例2で得た酸基及び重合性不飽和結合を有する樹脂(ii−1)とを混合し、酸基含有(メタ)アクリレート樹脂組成物(1)を得た。次いで、硬化剤としてオルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(DIC株式会社製「EPICLON N−680」)と、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートと、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートと、光重合開始剤(IGM社製「Omnirad 907」)と、2−エチル−4−メチルイミダゾールと、フタロシアニングリーンとを表1に示す質量部で配合し、ロールミルにより混錬して硬化性樹脂組成物(1)を得た。
実施例1で用いた酸基含有アミドイミド(メタ)アクリレート樹脂(i―1)と、酸基及び重合性不飽和結合を有する樹脂(ii−1)を表1に示す組成及び配合量に代えた以外は、実施例1と同様にして硬化性樹脂組成物(2)〜(7)を得た。
合成例3で得られた酸基及び重合性不飽和結合を有する樹脂(ii−1)と、硬化剤としてオルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(DIC株式会社製「EPICLON N−680」)と、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートと、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートと、光重合開始剤(IGM社製「Omnirad 907」)と、2−エチル−4−メチルイミダゾールと、フタロシアニングリーンとを表1に示す質量部で配合し、ロールミルにより混錬して硬化性樹脂組成物(C1)を得た。
比較例1で用いた酸基及び重合性不飽和結合を有する樹脂(ii−1)を表1に示す組成及び配合量に代えた以外は、比較例3と同様にして硬化性樹脂組成物(C2)及び(C3)を得た。
実施例1で用いた酸基含有アミドイミド(メタ)アクリレート樹脂(i―1)と、酸基及び重合性不飽和結合を有する樹脂(ii−1)を表1に示す組成及び配合量に代えた以外は、実施例1と同様にして硬化性樹脂組成物(C4)及び(C5)を得た。
各実施例及び比較例で得られた硬化性樹脂組成物を、アプリケーターを用いてガラス基材上に膜厚50μmとなるように塗布した後、80℃でそれぞれ30分間、40分間、50分間、60分間乾燥させ、乾燥時間が異なるサンプルを作成した。これらを1%炭酸ナトリウム水溶液で30℃180秒間現像し、基板上に残渣が残らなかったサンプルの80℃での乾燥時間を乾燥管理幅として評価した。なお、乾燥管理幅が長いほどアルカリ現像性が優れていることを示す。
合成例1で得られた酸基含有アミドイミド(メタ)アクリレート樹脂(i−1)と、合成例2で得た酸基及び重合性不飽和結合を有する樹脂(ii−1)とを混合し、酸基含有(メタ)アクリレート樹脂組成物(1)を得た。次いで、硬化剤としてオルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(DIC株式会社製「EPICLON N−680」)、光重合開始剤として2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン(IGM社製「Omnirad−907」)、有機溶剤としてジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテートを表1に示す質量部で配合して、硬化性樹脂組成物(8)を得た。
実施例8で用いた酸基含有アミドイミド(メタ)アクリレート樹脂(i―1)と、酸基及び重合性不飽和結合を有する樹脂(ii−1)を表2に示す組成及び配合量に代えた以外は、実施例8と同様にして硬化性樹脂組成物(9)〜(14)を得た。
合成例3で得られた酸基及び重合性不飽和結合を有する樹脂(ii−1)と、硬化剤としてオルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(DIC株式会社製「EPICLON N−680」)、光重合開始剤として2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン(IGM社製「Omnirad−907」)、有機溶剤としてジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテートを表1に示す質量部で配合して、硬化性樹脂組成物(C6)を得た。
比較例6で用いた酸基及び重合性不飽和結合を有する樹脂(ii−1)を表2に示す組成及び配合量に代えた以外は、比較例6と同様にして硬化性樹脂組成物(C7)及び(C8)を得た。
実施例8で用いた酸基含有アミドイミド(メタ)アクリレート樹脂(i―1)と、酸基及び重合性不飽和結合を有する樹脂(ii−1)を表1に示す組成及び配合量に代えた以外は、実施例8と同様にして硬化性樹脂組成物(C9)及び(C10)を得た。
<試験片1作成>
銅箔(古河産業株式会社製、電解銅箔「F2−WS」18μm)上に実施例及び比較例で得られた硬化性樹脂組成物を50μmのアプリケーターで塗布し、80℃で30分間乾燥させた。メタルハライドランプを用いて1000mJ/cm2の紫外線を照射した後、160℃で1時間加熱した。銅箔から硬化物を剥離し、試験片1(硬化物)を得た。
基材密着性の評価は、ピール強度の測定により行った。
銅箔(古河産業株式会社製、電解銅箔「F2−WS」18μm)上に実施例及び比較例で得られた硬化性樹脂組成物を50μmのアプリケーターで塗布し、80℃で30分間乾燥させた。メタルハライドランプを用いて1000mJ/cm2の紫外線を照射した後、160℃で1時間加熱し、試験片2を得た。
前記試験片2を幅1cm、長さ12cmの大きさに切り出し、剥離試験機(株式会社A&D製「A&Dテンシロン」、剥離速度50mm/分)を用いて90°ピール強度を測定した。
Claims (11)
- 酸基及び/または酸無水物基を有するアミドイミド樹脂(A)、水酸基含有(メタ)アクリレート化合物(B)、エポキシ基含有(メタ)アクリレート化合物(C)及びポリカルボン酸無水物(D)を必須の反応原料とする酸基含有アミドイミド(メタ)アクリレート樹脂(i)と、
前記酸基含有アミドイミド(メタ)アクリレート樹脂(i)以外の酸基及び重合性不飽和結合を有する樹脂(ii)を含有する酸基含有(メタ)アクリレート樹脂組成物であって、
前記酸基含有アミドイミド(メタ)アクリレート樹脂(i)と前記酸基及び重合性不飽和結合を有する樹脂(ii)との質量割合[(i)/(ii)]が、80/20〜20/80の範囲であることを特徴とする酸基含有(メタ)アクリレート樹脂組成物。 - 前記アミドイミド樹脂(A)が、ポリイソシアネート化合物(a1)と、ポリカルボン酸無水物(a2)とを必須の反応原料とするものである請求項1記載の酸基含有(メタ)アクリレート樹脂組成物。
- 前記ポリイソシアネート化合物(a1)が、脂肪族ジイソシアネート、脂環式ジイソシアネート、またはこれらの変性体である請求項2記載の酸基含有(メタ)アクリレート樹脂組成物。
- 前記ポリカルボン酸無水物(D)が脂肪族ポリカルボン酸無水物、及び/または脂環式ポリカルボン酸無水物である請求項1記載の酸基含有(メタ)アクリレート樹脂組成物。
- 酸基及び重合性不飽和結合を有する樹脂(ii)が、酸基及び重合性不飽和結合を有するエポキシ樹脂、酸基及び重合性不飽和結合を有するウレタン樹脂、酸基及び重合性不飽和結合を有するアクリル樹脂、酸基及び重合性不飽和結合を有するアミドイミド樹脂、並びに酸基及び重合性不飽和結合を有するアクリルアミド樹脂からなる群より選ばれる1種以上である請求項1記載の酸基含有(メタ)アクリレート樹脂組成物。
- 請求項1〜5のいずれか1項記載の酸基含有(メタ)アクリレート樹脂組成物と、光重合開始剤とを含有することを特徴とする硬化性樹脂組成物。
- さらに、有機溶剤と、硬化剤とを含有するものである請求項6記載の硬化性樹脂組成物。
- 請求項6または7記載の硬化性樹脂組成物の硬化反応物であることを特徴とする硬化物。
- 請求項6または7記載の硬化性樹脂組成物からなることを特徴とする絶縁材料。
- 請求項6または7記載の硬化性樹脂組成物からなることを特徴とするソルダーレジスト用樹脂材料。
- 請求項10項記載のソルダーレジスト用樹脂材料からなることを特徴とするレジスト部材。
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