JP2020097103A - Adjustable bracket of slurry tube - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、スラリーチューブの調整可能なブラケットに関し、特にスラリーチューブの位置及び傾斜角度を調整することができるブラケットに関する。 The present invention relates to an adjustable bracket for a slurry tube, and more particularly to a bracket that can adjust a position and an inclination angle of a slurry tube.
一般的なウェーハ製造プロセスでは、シリコンインゴットは、後続の電子ウェーハ製造プロセス及びソラーウェーハ製造プロセスに利用するために、ダイヤモンドワイヤを使用してウェーハに切断される。ダイヤモンドワイヤを使用してシリコンインゴットを切断すると、ダイヤモンドワイヤがウェーハを摩擦して熱を発生させ、ウェーハの温度が上昇するため、ウェーハを冷却するために水柱をスプレーする必要がある。しかし、冷却に使用される従来のスラリーチューブは、ほとんどが一体成形で作られており、チューブ本体の内部を洗浄する必要がある場合、不純物や汚れを完全に除去することは困難である。 In a typical wafer fab process, silicon ingots are cut into wafers using diamond wires for use in subsequent electronic and solar wafer fab processes. When a diamond wire is used to cut a silicon ingot, the diamond wire rubs the wafer to generate heat, increasing the temperature of the wafer and requiring a water column to be sprayed to cool the wafer. However, most of the conventional slurry tubes used for cooling are integrally molded, and it is difficult to completely remove impurities and dirt when the inside of the tube body needs to be cleaned.
一方、ダイヤモンドワイヤを使用してシリコンインゴットを切断する場合、ダイヤモンドワイヤはメインホイールに巻き付けられ、メインホイールと一緒に移動する。長期間の使用では、ダイヤモンドワイヤがメインホイールの表面を磨耗させ、継続的使用のためメインホイールの表面を研磨する必要がある。したがって、メインホイールの直径は、摩耗によりますます小さくなり、ダイヤモンドワイヤとシリコンインゴットとの接触位置が下がる。しかし、従来のスラリーチューブのブラケットは、シリコンインゴット切断機に溶接で固定されており、スラリーチューブの位置調整ができないため、メインホイールの直径が摩耗してダイヤモンドワイヤーとシリコンインゴットとの接触位置が下がるとき、スラリーチューブの位置はそれに応じて調整できないため、従来のスラリーチューブではシリコンインゴットの切断プロセスの冷却効果を高めることができない。 On the other hand, when a diamond wire is used to cut a silicon ingot, the diamond wire is wrapped around the main wheel and moves with the main wheel. With long-term use, the diamond wire wears the surface of the main wheel, and it is necessary to polish the surface of the main wheel for continuous use. Therefore, the diameter of the main wheel becomes smaller and smaller due to wear, and the contact position between the diamond wire and the silicon ingot is lowered. However, since the conventional slurry tube bracket is fixed to the silicon ingot cutting machine by welding and the position of the slurry tube cannot be adjusted, the diameter of the main wheel wears and the contact position between the diamond wire and the silicon ingot decreases. At this time, since the position of the slurry tube cannot be adjusted accordingly, the conventional slurry tube cannot enhance the cooling effect of the cutting process of the silicon ingot.
これにより、従来のスラリーチューブ構造やスラリーチューブのブラケットに存在する問題を解決するための解決方策を必要としている。 Therefore, there is a need for a solution for solving the problems existing in the conventional slurry tube structure and the bracket of the slurry tube.
これに鑑みて、本発明の目的は、カバーを取り外すことによりスラリーチューブ構造の本体を洗浄することができるスラリーチューブ構造を提供することである。 In view of this, an object of the present invention is to provide a slurry tube structure capable of cleaning the main body of the slurry tube structure by removing the cover.
上記の目的を達成するために、本発明によって提供されるスラリーチューブ構造は、本体と、カバーと複数のノズルとを含むスラリーチューブ構造であって、前記本体は、チューブ壁と、２つの端壁、供給口及び複数の排出口を含み、前記チューブ壁及び前記２つの端壁により長溝及び開口部を形成し、前記複数の排出口は前記本体の長さ方向に沿って前記チューブ壁に設けられ、前記供給口が前記チューブ壁に設けられ、前記長溝を介して前記複数の排出口に接続されている。前記カバーが前記本体に取り外し可能に接続され、対応して開口部を覆う。前記複数のノズルが前記チューブ壁に配置され、前記複数の排出口とそれぞれ対応している。 To achieve the above object, a slurry tube structure provided by the present invention is a slurry tube structure including a main body, a cover and a plurality of nozzles, the main body including a tube wall and two end walls. A slot and an opening are formed by the tube wall and the two end walls, and the plurality of outlets are provided in the tube wall along the length direction of the main body. The supply port is provided in the tube wall and is connected to the plurality of discharge ports via the long groove. The cover is removably connected to the body and correspondingly covers the opening. The plurality of nozzles are arranged on the tube wall and correspond to the plurality of outlets, respectively.
本発明の別の目的は、スラリーチューブ本体の位置及び傾斜角を調整することによってシリコンインゴットの切断プロセスにおいてより良い冷却効果を提供することができる、スラリーチューブのブラケットを提供することである。 Another object of the present invention is to provide a slurry tube bracket that can provide a better cooling effect in the cutting process of a silicon ingot by adjusting the position and tilt angle of the slurry tube body.
上記の目的を達成するために、本発明によって提供されるスラリーチューブのブラケットは、第１フレームと第２フレームとを含む。前記第１フレームは、スラリーチューブの第１端部に対応して接続され、第１固定座、第１移動部材、第２移動部材、及び位置決め部を含む。前記第１移動部材が前記第１固定座に着脱可能に接続され、前記第１固定座に対して第１方向に変位することができる。前記第２移動部材は前記第１移動部材に着脱可能に接続され、前記第１移動部材に対して第２方向に変位することができる。前記位置決め部は、前記第２移動部材に対して回動可能に該第２移動部材に接続されている。前記スラリーチューブの前記第１端部は、前記位置決め部に配置される。前記第２フレームは、前記スラリーチューブの第２端部に対応して接続され、第２固定座、第３可動部材、及び第４可動部材を含む。前記第３移動部材は、前記第２固定座に着脱可能に接続され、前記第２固定座に対して前記第１方向又は前記第２方向に沿って変位することができる。前記第４移動部材は、前記第３移動部材に着脱可能に接続され、第３移動部材に対して第１方向又は第２方向に沿って変位することができる。前記第４可動部材は前記スラリーチューブの前記第２端部が配置される支持台を含む。 To achieve the above object, the bracket of the slurry tube provided by the present invention includes a first frame and a second frame. The first frame is connected to the first end of the slurry tube and includes a first fixed seat, a first moving member, a second moving member, and a positioning unit. The first moving member is detachably connected to the first fixed seat and can be displaced with respect to the first fixed seat in a first direction. The second moving member is detachably connected to the first moving member and can be displaced in the second direction with respect to the first moving member. The positioning portion is rotatably connected to the second moving member with respect to the second moving member. The first end of the slurry tube is disposed on the positioning part. The second frame is connected to the second end of the slurry tube and includes a second fixed seat, a third movable member, and a fourth movable member. The third moving member is detachably connected to the second fixed seat and can be displaced with respect to the second fixed seat along the first direction or the second direction. The fourth moving member is detachably connected to the third moving member and can be displaced with respect to the third moving member along the first direction or the second direction. The fourth movable member includes a support on which the second end of the slurry tube is arranged.
本発明では、従来のスラリーチューブ構造を比較して、スラリーチューブ構造は、取り外し可能なカバーを含むスラリーチューブ構造のデッドコーナーを完全に洗浄することができる。さらに、本発明の実施形態に係わるスラリーチューブのブラケットは、複数の調整手段を有するため、スラリーチューブのブラケットは、ダイヤモンドワイヤとシリコンインゴットとの接触位置に応じてスラリーチューブ構造の位置及び傾斜角を調整して、シリコンインゴットを切断するプロセスの冷却効果を高める。 In the present invention, compared with the conventional slurry tube structure, the slurry tube structure can completely clean the dead corner of the slurry tube structure including the removable cover. Furthermore, since the bracket of the slurry tube according to the embodiment of the present invention has a plurality of adjusting means, the bracket of the slurry tube determines the position and the inclination angle of the slurry tube structure according to the contact position between the diamond wire and the silicon ingot. Adjust to enhance the cooling effect of the process of cutting the silicon ingot.
本発明をより明確に説明するために、好ましい実施形態を図面を参照して以下に詳細に説明する。図１から図６を参照すると、本発明の好ましい実施形態によるスラリーチューブ構造１は、本体１００、カバー１１０、及び複数のノズル１７０を含む。本体１００は、チューブ壁１２０、２つの端壁１４０、複数の排出口１６０、及び２つの供給口１８０を含む。チューブ壁１２０は、本体１００の長手方向ＡＸに沿って延び、２つの端壁１４０はそれぞれチューブ壁１２０の両端に位置する。チューブ壁１２０と２つの端壁１４０は、長溝１２２と開口部１２４を形成する。 In order to explain the present invention more clearly, preferred embodiments will be described in detail below with reference to the drawings. 1 to 6, a slurry tube structure 1 according to a preferred embodiment of the present invention includes a body 100, a cover 110, and a plurality of nozzles 170. The main body 100 includes a tube wall 120, two end walls 140, a plurality of outlets 160, and two supply ports 180. The tube wall 120 extends along the longitudinal direction AX of the main body 100, and the two end walls 140 are located at both ends of the tube wall 120, respectively. The tube wall 120 and the two end walls 140 form a slot 122 and an opening 124.
排出口１６０は、本体１００の長手方向ＡＸに沿ってチューブ壁１２０に配置され、各排出口１６０は、チューブ壁１２０を貫通し、長溝１２２と連通する。２つの供給口１８０は、本体１００の長手方向ＡＸに沿ってチューブ壁１２０に配置され、各供給口１８０は、チューブ壁１２０を貫通し、長溝１２２と連通する。長溝１２２を介して、供給口１８０及び排出口１６０は互いに連通している。図２及び図７ａを参照すると、チューブ壁１２０は、第１エリア１２３と、第１エリア１２３に隣接する第２エリア１２５とを含む。排出口１６０は第１エリア１２３に配置されており、供給口１８０は第２エリア１２５に配置されている。供給口１８０は、第１エリア１２３に投影する投影位置は、隣接する２つの排出口１６０の間に位置する。この実施形態では、各排出口１６０の圧力を等しくするために、２つの供給口１８０は対称的に配置されているが、これに限定されない。実際には、供給口１８０の数は、排出口１６０の圧力平衡要求に応じて１つ以上であり得る。言い換えれば、各排出口１６０の圧力均等化が必要でない場合、単一の供給口１８０を使用することができるが、各排出口１６０の圧力を等しくする必要がある場合、この実施形態のように、複数の供給口１８０から供給することができる。本発明の実施形態では、供給口１８０毎に供給管Ｐと接続されている。 The discharge ports 160 are arranged in the tube wall 120 along the longitudinal direction AX of the main body 100, and each discharge port 160 penetrates the tube wall 120 and communicates with the long groove 122. The two supply ports 180 are arranged in the tube wall 120 along the longitudinal direction AX of the main body 100, and each supply port 180 penetrates the tube wall 120 and communicates with the long groove 122. The supply port 180 and the discharge port 160 communicate with each other via the long groove 122. 2 and 7a, the tube wall 120 includes a first area 123 and a second area 125 adjacent to the first area 123. The discharge port 160 is arranged in the first area 123, and the supply port 180 is arranged in the second area 125. The supply port 180 has a projection position where it is projected on the first area 123 between two adjacent discharge ports 160. In this embodiment, the two supply ports 180 are symmetrically arranged in order to equalize the pressures of the discharge ports 160, but the embodiment is not limited to this. In practice, the number of inlets 180 may be one or more depending on the pressure balancing requirements of outlets 160. In other words, if pressure equalization of each outlet 160 is not required, a single supply 180 can be used, but if the pressure of each outlet 160 needs to be equal, as in this embodiment. , Can be supplied from a plurality of supply ports 180. In the embodiment of the present invention, each supply port 180 is connected to the supply pipe P.
図２から図４を参照すると、カバー１１０は、本体１００に取り外し可能に接続されており、開口部１２４を覆っている。カバー１１０は、複数の洗浄孔１１２を有している。各洗浄孔１１２は、それぞれ排出口１６０に対応しており、各洗浄孔１１２は、長溝１２２を介して対応する排出口１６０と連通している。図４及び図７ｂに示されるように、第１エリア１２３における洗浄孔１１２の投影は少なくとも一部が、排出口１６０と重なり、これにより、洗浄孔１１２を介して洗浄装置Ｃ（注射器など）が伸び、排出口１６０を完全に洗浄することができる。本発明の実施形態では、カバー１１０と本体１００との間のシール効果を高め、カバー１１０と本体１００との間の液体の流れを防ぐために、カバー１１０と本体１００との間にシールリング（図示せず）を含めることができる。 With reference to FIGS. 2-4, the cover 110 is removably connected to the body 100 and covers the opening 124. The cover 110 has a plurality of cleaning holes 112. Each cleaning hole 112 corresponds to the discharge port 160, and each cleaning hole 112 communicates with the corresponding discharge port 160 via the long groove 122. As shown in FIGS. 4 and 7b, at least a part of the projection of the cleaning hole 112 in the first area 123 overlaps with the discharge port 160, so that the cleaning device C (such as a syringe) can be inserted through the cleaning hole 112. It can be extended and the outlet 160 can be thoroughly cleaned. In the embodiment of the present invention, in order to enhance the sealing effect between the cover 110 and the main body 100 and prevent the liquid flow between the cover 110 and the main body 100, a seal ring (see FIG. Can be included).
また、カバー１１０は、複数のプラグ１１６を有しており、各プラグ１１６は、それぞれ洗浄孔１１２に着脱可能に配置されている。カバー１１０は複数の洗浄孔１１２を有するので、排出口１６０でそれぞれの洗浄を行う際にカバー１１０を取り外す必要はなく、出口１６０に対応するホールプラグ１１６を取り外すだけであれば、洗浄装置Ｃを使用して、指定され排出口１６０を完全に洗浄することができる。 Further, the cover 110 has a plurality of plugs 116, and each plug 116 is detachably arranged in the cleaning hole 112. Since the cover 110 has the plurality of cleaning holes 112, it is not necessary to remove the cover 110 when cleaning each at the discharge port 160, and if the hole plug 116 corresponding to the outlet 160 is simply removed, the cleaning device C can be installed. It can be used to thoroughly clean the designated outlet 160.
図５から図７ｂを参照すると、ノズル１７０はチューブ壁１２０に配置され、各ノズル１７０はそれぞれ排出口１６０に対応する。この実施形態では、ノズル１７０は、チューブ壁１２０上の対応する排出口１６０に取り外し可能に接続される。ノズル１７０は、通路１７２とスプレー端１７４とを有する。通路１７２の一端は排出口１６０に接続され、他端はスプレー端１７４の溝１７５に接続されている。なお、通路１７２の延在方向は、溝１７５の延在方向と平行ではない。この実施形態では、通路１７２の延在方向は、溝１７５の延在方向に対して垂直である。この実施形態では、ノズル１７０の通路１７２及びスプレー端１７４の溝１７５も洗浄装置Ｃによって洗浄することができる。さらに、ノズル１７０を本体１００から取り外すことができるので、ノズル１７０を超音波振動子に配置して通路１７２などのデッドコーナーの洗浄をすることができる。 5 to 7b, the nozzles 170 are disposed on the tube wall 120, and each nozzle 170 corresponds to the outlet 160. In this embodiment, the nozzle 170 is removably connected to the corresponding outlet 160 on the tube wall 120. The nozzle 170 has a passage 172 and a spray end 174. One end of the passage 172 is connected to the discharge port 160, and the other end is connected to the groove 175 of the spray end 174. The extending direction of the passage 172 is not parallel to the extending direction of the groove 175. In this embodiment, the extending direction of the passage 172 is perpendicular to the extending direction of the groove 175. In this embodiment, the passage 172 of the nozzle 170 and the groove 175 of the spray end 174 can also be cleaned by the cleaning device C. Further, since the nozzle 170 can be removed from the main body 100, the nozzle 170 can be arranged on the ultrasonic transducer to clean dead corners such as the passage 172.
図８〜図１０を参照すると、本発明の実施形態に係わるスラリーチューブのブラケットは、第１フレーム２２０と第２フレーム２４０とを含み、第１フレーム２２０は、スラリーチューブ本体１００の第１端部１３０に対応して接続され、第２フレーム２４０は、スラリーチューブ本体１００の第２端部１５０に対応して接続される。 Referring to FIGS. 8 to 10, a bracket of a slurry tube according to an exemplary embodiment of the present invention includes a first frame 220 and a second frame 240, and the first frame 220 includes a first end portion of the slurry tube body 100. The second frame 240 is connected to the second end 150 of the slurry tube body 100.
第１フレーム２２０は、第１固定座２２２、第１移動部材２２４、第２移動部材２２６、及び位置決め部２２８を含む。第１移動部材２２４は、第１固定座２２２に着脱可能に接続され、第１移動部材２２４は、第１方向Ｄ１に第１固定座２２２に対して変位可能である。本発明の実施形態において、第１固定座２２２と第１移動部材２２４は、第１調整手段２２３により互いの相対位置が調整され、第１調整手段２２３は、例えば、ロックレバーと長孔の組み合わせや、ねじまたはナットの組み合わせであっても良いが、これらに限定されない。 The first frame 220 includes a first fixed seat 222, a first moving member 224, a second moving member 226, and a positioning portion 228. The first moving member 224 is detachably connected to the first fixed seat 222, and the first moving member 224 is displaceable with respect to the first fixed seat 222 in the first direction D1. In the embodiment of the present invention, the relative positions of the first fixed seat 222 and the first moving member 224 are adjusted by the first adjusting means 223, and the first adjusting means 223 is, for example, a combination of a lock lever and an elongated hole. Alternatively, it may be a combination of screws or nuts, but is not limited thereto.
第２移動部材２２６は、第１移動部材２２４に着脱可能に接続され、第２移動部材２２６は、第１移動部材２２４に対して第２方向Ｄ２に変位することができる。本発明の実施形態では、第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２とは互いに垂直である。詳細には、第１方向Ｄ１は横方向であり、第２方向Ｄ２は縦方向であり、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２は、スラリーチューブ本体１００の長手方向ＡＸに垂直である。実際には、第１移動部材２２４は、第１固定座２２２に対して第２方向Ｄ２に変位し、第２移動部材２２６は、第１移動部材２２４に対して第１方向Ｄ１に変位することができる。本発明の実施形態において、第２移動部材２２６と第１移動部材２２４は、第２調整手段２２５によって互いの相対位置が調整され、第２調整手段２２５は、例えば、ロックレバーと長孔の組み合わせや、ねじまたはナットの組み合わせであっても良いが、これらに限定されない。 The second moving member 226 is detachably connected to the first moving member 224, and the second moving member 226 can be displaced with respect to the first moving member 224 in the second direction D2. In the embodiment of the present invention, the first direction D1 and the second direction D2 are perpendicular to each other. Specifically, the first direction D1 is a horizontal direction, the second direction D2 is a vertical direction, and the first direction D1 and the second direction D2 are perpendicular to the longitudinal direction AX of the slurry tube body 100. Actually, the first moving member 224 should be displaced with respect to the first fixed seat 222 in the second direction D2, and the second moving member 226 should be displaced with respect to the first moving member 224 in the first direction D1. You can In the embodiment of the present invention, the relative positions of the second moving member 226 and the first moving member 224 are adjusted by the second adjusting means 225, and the second adjusting means 225 is, for example, a combination of a lock lever and an elongated hole. Alternatively, it may be a combination of screws or nuts, but is not limited thereto.
位置決め部２２８は、第２移動部材２２６に対して回動可能に該第２移動部材２２６に接続されている。スラリーチューブ本体１００の第１端部１３０は、位置決め部２２８に配置されている。本発明の実施形態では、第５調整手段２２７により、位置決め部２２８を第２移動部２２６に対して回動方向Ｒに沿って回転させて、第２移動部材２２６における位置決めベース２２８の傾斜角を調整する。第５調整手段２２７は、例えば、ロックレバーと長穴の組み合わせ、またはボルトとナットの組み合わせであってもよいが、これに限定されない。 The positioning portion 228 is rotatably connected to the second moving member 226 with respect to the second moving member 226. The first end 130 of the slurry tube body 100 is arranged in the positioning portion 228. In the embodiment of the present invention, the fifth adjusting means 227 causes the positioning portion 228 to rotate with respect to the second moving portion 226 along the rotation direction R, so that the inclination angle of the positioning base 228 in the second moving member 226 is increased. adjust. The fifth adjusting means 227 may be, for example, a combination of a lock lever and an elongated hole, or a combination of a bolt and a nut, but is not limited to this.
位置決め部２２８は非円形の収納ベースを有し、第１端部１３０は非円形の輪郭を有し、非円形の輪郭と非円形の収納ベースが合わせることでよって、前記二者が互いに対して回動できないようにする。本発明の実施形態では、位置決め部２２８はＶ字状のベースであり、第１端部１３０は長方形の輪郭を有し、かつ長方形の輪郭がＶ字状のベースと合わせる。また、第１フレーム２２０は、係止部２２９を備える。第１端部１３０が位置決め部２２８に載置されると、係止部２２９は第１端部１３０に当接して該第１端部１３０を係止部２２９と位置決め部２２８の間に固定する。係止部２２９は、枢軸２２９１及びロック部２２９２を含む。枢軸２２９１が係止部２２９を第２移動部材２２６に枢結することによって、係止部２２９は上方に持ち上げることができる。ロック部２２９２は、第１端部１３０を係止部２２９と位置決め部２２８との間に固定することで、係止部２２９を第２移動部材２２６にロックすることができる。本発明の別の実施形態では、位置決め部２２８は溝を有し、第１端部１３０は丸棒であり、丸棒は溝内に配置されロック手段（図示せず）によって接続される。これにより、丸棒と溝を互いに固定し、又は互いに対して回転する可能である。 The locator 228 has a non-circular storage base and the first end 130 has a non-circular contour so that the non-circular contour and the non-circular storage base are aligned so that the two are relative to each other. Prevent it from turning. In an embodiment of the invention, the locator 228 is a V-shaped base, the first end 130 has a rectangular contour, and the rectangular contour mates with the V-shaped base. In addition, the first frame 220 includes a locking portion 229. When the first end portion 130 is placed on the positioning portion 228, the locking portion 229 abuts the first end portion 130 and fixes the first end portion 130 between the locking portion 229 and the positioning portion 228. .. The locking portion 229 includes a pivot 2291 and a lock portion 2292. Since the pivot 2291 pivotally connects the locking portion 229 to the second moving member 226, the locking portion 229 can be lifted upward. The lock part 2292 can lock the locking part 229 to the second moving member 226 by fixing the first end part 130 between the locking part 229 and the positioning part 228. In another embodiment of the invention, the locator 228 has a groove and the first end 130 is a round bar, which is located in the groove and connected by locking means (not shown). This allows the round bar and the groove to be fixed to each other or rotated with respect to each other.
第２フレーム２４０は、第２固定座２４２、第３移動部材２４４、及び第４移動部材２４６を含む。第３移動部材２４４は、第２固定座２４２に着脱可能に接続され、第２固定座２４２に対して第１方向Ｄ１に沿って変位することができる。本発明の実施形態において、第２固定座２４２と第３移動部材２４４は、第３調整手段２４３によって互いの相対位置が調整され、第３調整手段２４３は、例えば、ロックレバーと長孔の組み合わせや、ねじまたはナットの組み合わせであっても良いが、これらに限定されない。 The second frame 240 includes a second fixed seat 242, a third moving member 244, and a fourth moving member 246. The third moving member 244 is detachably connected to the second fixed seat 242 and can be displaced with respect to the second fixed seat 242 along the first direction D1. In the embodiment of the present invention, the relative positions of the second fixed seat 242 and the third moving member 244 are adjusted by the third adjusting means 243, and the third adjusting means 243 is, for example, a combination of a lock lever and an elongated hole. Alternatively, it may be a combination of screws or nuts, but is not limited thereto.
第４移動部材２４６は、第３移動部材２４４に取り外し可能に接続され、第４移動部材２４６は、第３移動部材２４４に対して第２方向Ｄ２に変位することができる。実際には、第３移動部材２４４は第２固定座２４２に対して第２方向Ｄ２に変位し、第４移動部材２４６は第３移動部材２４４に対して第１方向Ｄ１に変位することができる。本発明の実施形態において、第３移動部材２４４及び第４移動部材２４６は、第４調整手段２４５によって互いの相対位置が調整され、第４調整手段２４５は、例えば、ロックレバーと長孔の組み合わせや、ねじまたはナットの組み合わせであっても良いが、これらに限定されない。 The fourth moving member 246 is detachably connected to the third moving member 244, and the fourth moving member 246 can be displaced with respect to the third moving member 244 in the second direction D2. In practice, the third moving member 244 can be displaced with respect to the second fixed seat 242 in the second direction D2, and the fourth moving member 246 can be displaced with respect to the third moving member 244 in the first direction D1. .. In the embodiment of the present invention, the relative positions of the third moving member 244 and the fourth moving member 246 are adjusted by the fourth adjusting means 245, and the fourth adjusting means 245 is, for example, a combination of a lock lever and an elongated hole. Alternatively, it may be a combination of screws or nuts, but is not limited thereto.
第４移動部材２４６は、支持台２４６１を含み、スラリーチューブ本体１００の第２端部１５０は、支持台２４６１に配置される。本実施形態では、位置決め部２２８と支持台２４６１は対応して配置されている。支持台２４６１は溝を有し、第２端部１５０は丸棒であり、丸棒は溝内に配置され溝に対して回動できるようにする。これにより、位置決め部２２８が回動して第１端部１３０の傾斜角が調整されると、第２端部１５０は支持台２４６１に対して同期して回転することができる。 The fourth moving member 246 includes a support base 2461, and the second end 150 of the slurry tube body 100 is disposed on the support base 2461. In this embodiment, the positioning portion 228 and the support base 2461 are arranged correspondingly. The support base 2461 has a groove, and the second end 150 is a round bar, and the round bar is arranged in the groove so as to be rotatable with respect to the groove. As a result, when the positioning portion 228 rotates and the inclination angle of the first end portion 130 is adjusted, the second end portion 150 can rotate in synchronization with the support base 2461.
本発明の実施形態では、スラリーチューブ構造は、取り外し可能なカバーを含むスラリーチューブ構造の洗浄効率を改善して、デッドコーナーも完全に洗浄することができる。さらに、本発明の実施形態に係わるスラリーチューブのブラケットは、複数の調整手段を有するため、スラリーチューブのブラケットは、ダイヤモンドワイヤとシリコンインゴットとの接触位置に応じてスラリーチューブ構造の位置及び傾斜角を調整して、シリコンインゴットを切断するプロセスの冷却効果を高める。 In an embodiment of the present invention, the slurry tube structure can improve the cleaning efficiency of the slurry tube structure including the removable cover and completely clean the dead corners. Furthermore, since the bracket of the slurry tube according to the embodiment of the present invention has a plurality of adjusting means, the bracket of the slurry tube determines the position and the inclination angle of the slurry tube structure according to the contact position between the diamond wire and the silicon ingot. Adjust to enhance the cooling effect of the process of cutting the silicon ingot.
上記の説明は、本発明の好ましい実施形態に過ぎず、本発明の説明及び特許請求の範囲に行われる同等の変化は、本発明の範囲に含まれるべきである。
The above descriptions are merely preferred embodiments of the present invention, and equivalent changes made in the description and claims of the present invention should be included in the scope of the present invention.
［本発明］
１スラリーチューブ構造
１００本体
１２０チューブ壁 １４０端壁 １６０排出口
１８０供給口 １２２長溝 １２４開口部
１２３第１エリア １２５第２エリア １３０第１端部
１５０第２端部
１１０カバー
１１２洗浄孔 １１６プラグ
１７０ノズル
１７２通路 １７４スプレー端 １７５溝
２２０第１フレーム
２２２第１固定座 ２２４第１移動部材 ２２６第２移動部材
２２８位置決め部 ２２３第１調整手段 ２２５第２調整手段
２２７第５調整手段 ２２９係止部 ２２９１枢軸２２９２ロック部
２４０第２フレーム
２４２第２固定座 ２４４第３移動部材 ２４６第４移動部材
２４３第３調整手段 ２４５第４調整手段 ２４６１支持台
ＡＸ長さ方向 Ｃ洗浄装置 Ｄ１第１方向
Ｄ２第２方向 Ｐ供給管 Ｒ回動方向
[Invention]
1 Slurry Tube Structure 100 Main Body 120 Tube Wall 140 End Wall 160 Discharge Port 180 Supply Port 122 Long Groove 124 Opening 123 First Area 125 Second Area 130 First End 150 Second End
110 cover 112 cleaning hole 116 plug 170 nozzle 172 passage 174 spray end 175 groove 220 first frame 222 first fixed seat 224 first moving member 226 second moving member 228 positioning portion 223 first adjusting means 225 second adjusting means 227th 5 Adjustment Means 229 Locking Part 2291 Axis 2292 Locking Part
240 second frame 242 second fixed seat 244 third moving member 246 fourth moving member 243 third adjusting means 245 fourth adjusting means 2461 support base AX length direction C cleaning device D1 first direction D2 second direction P supply pipe R rotation direction
Claims (11)
前記第１フレームは、スラリーチューブの第１端部に対応して接続され、第１固定座、第１移動部材、第２移動部材、及び位置決め部を含み、前記第１移動部材が前記第１固定座に着脱可能に接続されて該第１固定座に対して第１方向に変位することができ、前記第２移動部材は前記第１移動部材に着脱可能に接続されて該第１移動部材に対して第２方向に変位することができ、前記位置決め部は、前記第２移動部材に対して回動可能に該第２移動部材に接続されており、前記スラリーチューブの前記第１端部は、前記位置決め部に配置されており、
前記第２フレームは、前記スラリーチューブの第２端部に対応して接続され、第２固定座、第３可動部材、及び第４可動部材を含み、前記第３移動部材は、前記第２固定座に着脱可能に接続され、該第２固定座に対して前記第１方向又は前記第２方向に沿って変位することができ、前記第４移動部材は、前記第３移動部材に着脱可能に接続され、前記第３移動部材に対して第１方向又は第２方向に沿って変位することができ、前記第４可動部材は前記スラリーチューブの前記第２端部が配置される支持台を含む、
スラリーチューブの調整可能なブラケット。 Including a first frame and a second frame,
The first frame is connected to the first end of the slurry tube and includes a first fixed seat, a first moving member, a second moving member, and a positioning portion, and the first moving member is the first moving member. The second moving member is detachably connected to the fixed seat and is displaceable in the first direction with respect to the first fixed seat, and the second moving member is detachably connected to the first moving member to be the first moving member. Relative to the second moving member, the positioning portion is rotatably connected to the second moving member, and the first end portion of the slurry tube can be displaced with respect to the second moving member. Is arranged in the positioning section,
The second frame is connected to the second end of the slurry tube and includes a second fixed seat, a third movable member, and a fourth movable member, and the third movable member is the second fixed member. Is detachably connected to the seat and can be displaced with respect to the second fixed seat along the first direction or the second direction, and the fourth moving member is detachable from the third moving member. The fourth movable member is connected to and can be displaced with respect to the third moving member along the first direction or the second direction, and the fourth movable member includes a support base on which the second end of the slurry tube is disposed. ,
Adjustable bracket for slurry tube.
前記第１移動部材と前記第２移動部材は、第２調整手段により互いの相対位置が調整され、
前記第２固定座と前記第３移動部材は、第３調整手段により互いの相対位置が調整され、
前記第３移動部材と前記第４移動部材は、第４調整手段により互いの相対位置が調整され、
前記第５調整手段により前記位置決めベースの第２移動部材に傾斜角が調整されるように配置されている、
請求項１に記載のスラリーチューブの調整可能なブラケット。
The relative positions of the first fixed seat and the first moving member are adjusted by the first adjusting means,
The relative positions of the first moving member and the second moving member are adjusted by the second adjusting means,
The relative positions of the second fixed seat and the third moving member are adjusted by third adjusting means,
The relative positions of the third moving member and the fourth moving member are adjusted by a fourth adjusting means,
It is arranged such that the tilt angle is adjusted by the fifth adjusting means on the second moving member of the positioning base.
An adjustable bracket for a slurry tube according to claim 1.
請求項４に記載のスラリーチューブの調整可能なブラケット。 The slurry according to claim 4, wherein each of the first adjusting unit, the second adjusting unit, the third adjusting unit and the fourth adjusting unit is a combination of a lock lever and an elongated hole, or a combination of a screw or a nut. Adjustable bracket for tubes.
請求項４に記載のスラリーチューブの調整可能なブラケット。 The adjustable bracket for a slurry tube according to claim 4, wherein the fifth adjusting means is a combination of a lock lever and an elongated hole or a combination of a screw and a nut.
請求項１に記載のスラリーチューブの調整可能なブラケット。 The positioning portion has a non-circular storage base, the first end portion has a non-circular contour, and the non-circular contour and the non-circular storage base are combined, whereby the two Arranged so that they cannot rotate relative to each other,
An adjustable bracket for a slurry tube according to claim 1.
前記第１端部が前記位置決め部に載置されると、前記係止部は前記第１端部に当接して前記第１端部が前記係止部と前記位置決め部の間に固定されるように配置されている、
請求項８に記載のスラリーチューブの調整可能なブラケット。 The first frame includes a locking portion,
When the first end portion is placed on the positioning portion, the locking portion contacts the first end portion and the first end portion is fixed between the locking portion and the positioning portion. Are arranged as
An adjustable bracket for a slurry tube according to claim 8.
請求項１に記載のスラリーチューブの調整可能なブラケット。 The positioning part has a groove and the first end is a round bar, the round bar being arranged in the groove and connected by locking means to fix the round bar and the groove to each other, or to one another It is arranged so that it can be rotated.
An adjustable bracket for a slurry tube according to claim 1.
請求項１に記載のスラリーチューブの調整可能なブラケット。
The support base has a groove, and the second end is a round bar disposed in the groove and rotatable with respect to the groove.
An adjustable bracket for a slurry tube according to claim 1.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW107143056 | 2018-11-30 | ||
| TW107143056A TWI695755B (en) | 2018-11-30 | 2018-11-30 | Adjustable support of slurry sprayer |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2020097103A true JP2020097103A (en) | 2020-06-25 |
| JP6869317B2 JP6869317B2 (en) | 2021-05-12 |
Family
ID=70943860
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2019216318A Active JP6869317B2 (en) | 2018-11-30 | 2019-11-29 | Adjustable bracket for slurry tube |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6869317B2 (en) |
| CN (1) | CN111251155B (en) |
| TW (1) | TWI695755B (en) |
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2018
- 2018-11-30 TW TW107143056A patent/TWI695755B/en active
-
2019
- 2019-11-28 CN CN201911194996.3A patent/CN111251155B/en active Active
- 2019-11-29 JP JP2019216318A patent/JP6869317B2/en active Active
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|---|---|
| TWI695755B (en) | 2020-06-11 |
| CN111251155A (en) | 2020-06-09 |
| JP6869317B2 (en) | 2021-05-12 |
| TW202021731A (en) | 2020-06-16 |
| CN111251155B (en) | 2021-07-30 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191129 |
|
| A977 | Report on retrieval |
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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|
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