JP2020086152A - 検査システム、検査方法およびプログラム - Google Patents

検査システム、検査方法およびプログラム Download PDF

Info

Publication number
JP2020086152A
JP2020086152A JP2018221071A JP2018221071A JP2020086152A JP 2020086152 A JP2020086152 A JP 2020086152A JP 2018221071 A JP2018221071 A JP 2018221071A JP 2018221071 A JP2018221071 A JP 2018221071A JP 2020086152 A JP2020086152 A JP 2020086152A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
focus position
inspection
focus
unit
image
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2018221071A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Inventor
信隆 今西
Nobutaka Imanishi
信隆 今西
加藤 豊
Yutaka Kato
豊 加藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Omron Corp
Original Assignee
Omron Corp
Omron Tateisi Electronics Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Omron Corp, Omron Tateisi Electronics Co filed Critical Omron Corp
Priority to JP2018221071A priority Critical patent/JP2020086152A/ja
Priority to PCT/JP2019/044393 priority patent/WO2020110712A1/fr
Publication of JP2020086152A publication Critical patent/JP2020086152A/ja
Priority to JP2022071238A priority patent/JP7287533B2/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/28Systems for automatic generation of focusing signals
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/28Systems for automatic generation of focusing signals
    • G02B7/36Systems for automatic generation of focusing signals using image sharpness techniques, e.g. image processing techniques for generating autofocus signals
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03BAPPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03B13/00Viewfinders; Focusing aids for cameras; Means for focusing for cameras; Autofocus systems for cameras
    • G03B13/32Means for focusing
    • G03B13/34Power focusing
    • G03B13/36Autofocus systems

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Automatic Focus Adjustment (AREA)
  • Focusing (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Studio Devices (AREA)
JP2018221071A 2018-11-27 2018-11-27 検査システム、検査方法およびプログラム Pending JP2020086152A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018221071A JP2020086152A (ja) 2018-11-27 2018-11-27 検査システム、検査方法およびプログラム
PCT/JP2019/044393 WO2020110712A1 (fr) 2018-11-27 2019-11-12 Système de contrôle, procédé de contrôle, et programme
JP2022071238A JP7287533B2 (ja) 2018-11-27 2022-04-25 検査システム、検査方法およびプログラム

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018221071A JP2020086152A (ja) 2018-11-27 2018-11-27 検査システム、検査方法およびプログラム

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022071238A Division JP7287533B2 (ja) 2018-11-27 2022-04-25 検査システム、検査方法およびプログラム

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2020086152A true JP2020086152A (ja) 2020-06-04

Family

ID=70854275

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018221071A Pending JP2020086152A (ja) 2018-11-27 2018-11-27 検査システム、検査方法およびプログラム

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP2020086152A (fr)
WO (1) WO2020110712A1 (fr)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114979491A (zh) * 2022-05-31 2022-08-30 广东利元亨智能装备股份有限公司 一种图像获取方法与装置
WO2023157567A1 (fr) * 2022-02-18 2023-08-24 あっと株式会社 Système d'imagerie capillaire, dispositif serveur pour système d'imagerie capillaire et programme d'imagerie capillaire
JP7415216B1 (ja) 2023-09-11 2024-01-17 ダイトロン株式会社 外観検査装置

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023103426A1 (fr) * 2022-08-04 2023-06-15 中电科机器人有限公司 Procédé et dispositif de mise au point automatique pour inspection visuelle de partie

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005156554A (ja) * 2003-11-24 2005-06-16 Mitsutoyo Corp 画像測定検査システムの推定最良焦点位置決定制御方法、画像測定検査システムの訓練モード動作の制御方法
JP2010134915A (ja) * 2008-11-04 2010-06-17 Omron Corp 画像処理装置
JP2011034360A (ja) * 2009-07-31 2011-02-17 Optoelectronics Co Ltd 光学的情報読取装置及び光学的情報読取方法
JP2012003197A (ja) * 2010-06-21 2012-01-05 Olympus Corp 顕微鏡装置および画像取得方法
JP2014130221A (ja) * 2012-12-28 2014-07-10 Canon Inc 画像処理装置、その制御方法、画像処理システム、及びプログラム
JP2014215582A (ja) * 2013-04-30 2014-11-17 オリンパス株式会社 共焦点顕微鏡装置
JP2017116459A (ja) * 2015-12-25 2017-06-29 大塚電子株式会社 光学特性測定装置および光学系

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005156554A (ja) * 2003-11-24 2005-06-16 Mitsutoyo Corp 画像測定検査システムの推定最良焦点位置決定制御方法、画像測定検査システムの訓練モード動作の制御方法
JP2010134915A (ja) * 2008-11-04 2010-06-17 Omron Corp 画像処理装置
JP2011034360A (ja) * 2009-07-31 2011-02-17 Optoelectronics Co Ltd 光学的情報読取装置及び光学的情報読取方法
JP2012003197A (ja) * 2010-06-21 2012-01-05 Olympus Corp 顕微鏡装置および画像取得方法
JP2014130221A (ja) * 2012-12-28 2014-07-10 Canon Inc 画像処理装置、その制御方法、画像処理システム、及びプログラム
JP2014215582A (ja) * 2013-04-30 2014-11-17 オリンパス株式会社 共焦点顕微鏡装置
JP2017116459A (ja) * 2015-12-25 2017-06-29 大塚電子株式会社 光学特性測定装置および光学系

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023157567A1 (fr) * 2022-02-18 2023-08-24 あっと株式会社 Système d'imagerie capillaire, dispositif serveur pour système d'imagerie capillaire et programme d'imagerie capillaire
CN114979491A (zh) * 2022-05-31 2022-08-30 广东利元亨智能装备股份有限公司 一种图像获取方法与装置
CN114979491B (zh) * 2022-05-31 2023-09-19 广东利元亨智能装备股份有限公司 一种图像获取方法与装置
JP7415216B1 (ja) 2023-09-11 2024-01-17 ダイトロン株式会社 外観検査装置

Also Published As

Publication number Publication date
WO2020110712A1 (fr) 2020-06-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2020110712A1 (fr) Système de contrôle, procédé de contrôle, et programme
US20180120687A1 (en) Ranging method, automatic focusing method and device
JP5895270B2 (ja) 撮像装置
US10120163B2 (en) Auto-focus method for a coordinate-measuring apparatus
JP6274794B2 (ja) 情報処理装置、情報処理方法、プログラム、及び画像測定装置
US9667853B2 (en) Image-capturing apparatus
CN104767938A (zh) 一种拍摄图片的方法及装置
JP2008118387A (ja) 撮像装置
US9979858B2 (en) Image processing apparatus, image processing method and program
US10827114B2 (en) Imaging system and setting device
US9912858B2 (en) Image capturing apparatus and control method thereof
US10317665B2 (en) Method for correcting illumination-dependent aberrations in a modular digital microscope, digital microscope and data-processing program
JP7287533B2 (ja) 検査システム、検査方法およびプログラム
JP7047725B2 (ja) 検査システム、検査方法およびプログラム
JP7087984B2 (ja) 撮像システムおよび設定装置
JP2015105897A (ja) マスクパターンの検査方法
JP3382346B2 (ja) 撮像装置
JP6312410B2 (ja) アライメント装置、顕微鏡システム、アライメント方法、及びアライメントプログラム
JP2010121955A (ja) 高さ情報取得装置、高さ情報取得方法、及びプログラム
JP2015210396A (ja) アライメント装置、顕微鏡システム、アライメント方法、及びアライメントプログラム
JP7135586B2 (ja) 画像処理システム、画像処理方法およびプログラム
JP6089232B2 (ja) 撮像装置
JPH109819A (ja) 距離計測装置
JP2014029429A5 (ja) 画像処理装置、撮像装置、制御方法、及びプログラム
JPS599613A (ja) 自動焦点調節方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20201214

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20211116

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20211216

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20220125