JP2020085769A - 膜厚分布測定装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2 基板
3 接触個片
4 移動機構
5 回転体回転機構
6 荷重付与機構
7 光源部
8 干渉色撮像部
9 コンピュータ部
10 表示部
11 画像記録部
12 膜厚分布推定部
14 トルク測定部
20 円板(基板の一類型)
21 金属薄膜
22 透明膜
30 鋼球(接触個片/回転体の一類型)
31 シャフト
40 回転モータ
41 連結部材
50 回転モータ
51 シャフト
55 トルクメータ
56 本体部
57 シャフト
60 アクチュエータ
61 可動子
63 ホルダ
65 押付荷重測定部(ロードセル)
70 照明ユニット
72 白色ランプ
75 照明用電源
80 撮像カメラ
81 レンズユニット
82 ハーフミラー
83 対物レンズ
84 結像レンズ
85 カラーフィルタ
86 撮像素子
LB 潤滑剤
SP 基板と鋼球の接触部分
RB 鋼球の回転半径
R 膜厚の測定対象領域
L1 光源部から照射された光
L2 膜厚の測定対象領域に照射された光
L3 膜厚の測定対象領域から反射された光(干渉光)
L4 ハーフミラーを通過した光(撮像される干渉光)
T 伝達トルク
Claims (5)
- EHL状態の物体同士の接触部分を潤滑する潤滑剤の膜厚分布を測定する膜厚分布測定装置であって、
光透過性を備えた基板と、
前記基板に前記潤滑剤を介して接触する接触個片と、
前記基板と前記接触個片の接触部分に向けて少なくとも3種類の波長を含む光を照射する光源部と、
前記基板と前記接触個片の接触部分から反射された光を、前記基板越しに画像を撮像し、カラーの干渉縞を干渉色画像として取得する干渉色撮像部と、
コンピュータ部を備え、
前記コンピュータ部には、
前記干渉色撮像部で撮像された干渉色画像を記録する画像記録部と、
前記画像記録部に記録された前記干渉色画像のうち、選択された干渉色画像に含まれる各点の色情報から前記少なくとも3種類の波長の光毎に色分離して、当該波長毎の強度を取得し、当該強度に基づき前記基板と前記接触個片の接触部分の前記潤滑剤の膜厚分布を算出する膜厚分布推定部を備えた、膜厚分布測定装置。 - 請求項1に記載の膜厚分布測定装置であって、
前記膜厚分布推定部は前記強度から反射率を算出し、当該反射率に基づき前記膜厚分布を算出する、
膜厚分布測定装置。 - 請求項1に記載の膜厚分布測定装置であって、
前記基板と前記接触個片を互いに衝突させ、前記基板と前記接触個片の接触部分に撃力を印加する撃力印加機構を更に備え、
前記干渉色撮像部が高速度カメラにより構成される、
膜厚分布測定装置。 - 請求項1に記載の膜厚分布測定装置であって、
前記基板が、ガラス製の本体と、前記本体上に第1の金属薄膜と、前記第1の金属薄膜上に製膜された透明膜と、前記透明膜上に製膜された第2の金属薄膜と、を備える、
膜厚分布測定装置。 - 請求項4に記載の膜厚分布測定装置であって、
前記第1の金属薄膜がCr膜であり、前記第2の金属薄膜がFe膜である、
膜厚分布測定装置。
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