JP2020077662A - パターンシフト測定方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】埋め込み拡散層パターンとシリコンエピタキシャル層表面段差パターンを同じ位置で、切断溝を形成せずに観測できるパターンシフト測定方法を提供する。【解決手段】赤外顕微鏡を用いて、シリコンエピタキシャルウェーハに形成された埋め込み拡散層パターンの画像と、シリコンエピタキシャル層表面段差パターンの画像とを同じ場所で取得するパターン画像取得工程と、前記埋め込み拡散層パターンから前記シリコンエピタキシャル層表面段差パターンへのシフト幅を計測するパターンシフト幅計測工程と、を有することを特徴とするパターンシフト測定方法。【選択図】 図1
Description
本発明はパターンシフト測定方法に関し、より詳しくは、シリコンエピタキシャル層成長後のパターンシフト率を測定する方法に関する。
図5に示すように、埋め込み拡散層21を有する単結晶基板22上にシリコンエピタキシャル層(以下、単にエピ層ということがある)23を気相成長し、エピタキシャルウェーハ24を製造すると、エピ層23の表面に形成される段差パターン26の位置が、埋め込み拡散層21の段差パターン25から変位するパターンシフトが発生する。
段差パターン25、26左側の変位がL、段差パターン25、26右側の変位がR、エピ層の厚さがtの時、パターンシフト幅は下記式(1’)で表され、
パターンシフト幅 = (L+R)/2 ・・・(1’)
パターンシフト率は、下記式(2’)で表される。
パターンシフト率 = (L+R)/2t ・・・(2’)
パターンシフト幅 = (L+R)/2 ・・・(1’)
パターンシフト率は、下記式(2’)で表される。
パターンシフト率 = (L+R)/2t ・・・(2’)
パターンシフトの測定方法は、例えば特許文献1に記載されている。特許文献1は、図6に示すように、半導体ウェーハ上に拡散層の段差パターン31を形成し、次いで上記段差パターン31と交差するように1本または複数本の酸化膜層32を形成した後、エピ層34の成長を行い、前記拡散層による段差パターンの段差位置を酸化膜層32およびエピ層の段差パターン33でそれぞれ測定し、この段差位置の測定値を比較することによって上記パターンの位置ズレを求めることを特徴とするパターンシフト測定方法を開示する。
また、特許文献2は、図7(a)、(b)に示すように、半導体単結晶基板41に拡散層42を形成し、該拡散層42上にエピ層43を成長して埋め込み拡散層42を形成する際に生じるパターンシフトを測定する方法において、エピ層表面の段差パターン44を横切って断面がほぼV字状の切断溝45を形成することにより埋め込み拡散層42を露出させ、化学エッチングにより埋め込み拡散層42を顕在化し、該顕在化した拡散層42と前記段差パターン44とのずれ幅L、Rを測定することを特徴とするパターンシフト測定方法を開示する。
しかし、従来のパターンシフト測定方法では、パターンシフトを高い精度で測定することが困難であった。
すなわち、図6に示すように、特許文献1のパターンシフト測定方法では、測定するサンプルを観察ステージに正確に置かないと、前記拡散層の段差パターン31の左右境界位置L31、R31と、前記エピ層の段差パターン33の左右境界位置L33、R33との測定位置が、Y軸方向に異なる。例えば、図8に示すように、測定するサンプルが角度θだけ傾けられた状態で観察ステージに置かれると、前記エピ層の段差パターン33が角度θ傾くので、ずれ幅(変位)もL’、R’となり、本来のずれ幅L、Rとは異なった値になってしまう。
すなわち、図6に示すように、特許文献1のパターンシフト測定方法では、測定するサンプルを観察ステージに正確に置かないと、前記拡散層の段差パターン31の左右境界位置L31、R31と、前記エピ層の段差パターン33の左右境界位置L33、R33との測定位置が、Y軸方向に異なる。例えば、図8に示すように、測定するサンプルが角度θだけ傾けられた状態で観察ステージに置かれると、前記エピ層の段差パターン33が角度θ傾くので、ずれ幅(変位)もL’、R’となり、本来のずれ幅L、Rとは異なった値になってしまう。
また、図7(a)、(b)に示すように、特許文献2のパターンシフト測定方法では、円盤状ダイヤモンドブレードを回転させながらエピ層43に押し付けてV字状の切断溝45を形成するので、切断溝45の表面に細かい凹凸が残存する。その結果、露出した埋め込み拡散層42の外形を明瞭に観察することができず、ずれ幅L、Rを正確に測定することが難しい。
本発明は上記課題を解決するために為されたものであり、埋め込み拡散層パターンとシリコンエピタキシャル層表面段差パターン(エピ層表面段差パターン)を同じ位置で、切断溝を形成せずに観測できるパターンシフト測定方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明は、赤外顕微鏡を用いて、シリコンエピタキシャルウェーハに形成された埋め込み拡散層パターンの画像と、シリコンエピタキシャル層表面段差パターンの画像とを同じ場所で取得するパターン画像取得工程と、
前記埋め込み拡散層パターンから前記シリコンエピタキシャル層表面段差パターンへのシフト幅を計測するパターンシフト幅計測工程と、
を有することを特徴とするパターンシフト測定方法を提供する。
前記埋め込み拡散層パターンから前記シリコンエピタキシャル層表面段差パターンへのシフト幅を計測するパターンシフト幅計測工程と、
を有することを特徴とするパターンシフト測定方法を提供する。
このようなパターンシフト測定方法であれば、埋め込み拡散層パターンとエピ層表面段差パターンを同じ位置で観測できるので、従来法よりも測定精度を向上させることができる。
このとき、前記シリコンエピタキシャルウェーハは、
埋め込み拡散層を有するシリコン単結晶基板の前記埋め込み拡散層パターンに交差するように、酸化膜パターンを形成する酸化膜パターン形成工程と、
前記シリコンエピタキシャル層を気相成長する気相成長工程と、
HF水溶液により前記酸化膜パターンを除去して、前記埋め込み拡散層の一部を露出させるHF処理工程とが施され、
前記露出された埋め込み拡散層を基準にして、前記埋め込み拡散層パターンの位置を決定することが望ましい。
埋め込み拡散層を有するシリコン単結晶基板の前記埋め込み拡散層パターンに交差するように、酸化膜パターンを形成する酸化膜パターン形成工程と、
前記シリコンエピタキシャル層を気相成長する気相成長工程と、
HF水溶液により前記酸化膜パターンを除去して、前記埋め込み拡散層の一部を露出させるHF処理工程とが施され、
前記露出された埋め込み拡散層を基準にして、前記埋め込み拡散層パターンの位置を決定することが望ましい。
このような方法を用いれば、パターンシフト幅が狭く、埋め込み拡散層パターンとエピ層表面段差パターンの区別が困難な場合でも、前記埋め込み拡散層の一部が露出している部分を基準にすると、両パターンの位置を確実に判別することができる。
このとき、前記埋め込み拡散層パターンの左右境界位置がL1、R1、前記シリコンエピタキシャル層表面段差パターンの左右境界位置がL2、R2、前記シリコンエピタキシャル層の層厚がtのとき、前記パターンシフト幅は下記式(1)
パターンシフト幅=((L2−L1)+(R2−R1))/2・・・(1)
で表され、
下記式(2)を用いてパターンシフト率を求めることが望ましい。
パターンシフト率=((L2−L1)+(R2−R1))/2t・・・(2)
パターンシフト幅=((L2−L1)+(R2−R1))/2・・・(1)
で表され、
下記式(2)を用いてパターンシフト率を求めることが望ましい。
パターンシフト率=((L2−L1)+(R2−R1))/2t・・・(2)
このような方法を用いれば、パターンシフト幅およびパターンシフト率を正確に求めることができる。
本発明のパターンシフト測定方法によると、埋め込み拡散層パターンとエピ層表面段差パターンを同じ位置で観測できるので、従来法よりも測定精度を向上させることができる。また、パターンシフト幅が狭く、埋め込み拡散層パターンとエピ層表面段差パターンの区別が困難な場合でも、前記埋め込み拡散層の一部が露出している部分を基準にすると、両パターンの位置を確実に判別することができる。
以下、本発明について、実施態様の一例として、図を参照しながら詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
[サンプルの準備]
まず、図1、図3に示すように、シリコン単結晶基板2に拡散層1を一定の間隔で形成する。この時、拡散層1の位置には、埋め込み拡散層パターン(段差パターン)5が形成される。必要な場合、図3に示すように、所定厚さの熱酸化膜を形成後、リソグラフィ技術により、酸化膜パターン7を拡散層1に対して垂直に一定間隔で形成する(酸化膜パターン形成工程)。
まず、図1、図3に示すように、シリコン単結晶基板2に拡散層1を一定の間隔で形成する。この時、拡散層1の位置には、埋め込み拡散層パターン(段差パターン)5が形成される。必要な場合、図3に示すように、所定厚さの熱酸化膜を形成後、リソグラフィ技術により、酸化膜パターン7を拡散層1に対して垂直に一定間隔で形成する(酸化膜パターン形成工程)。
次に、図1、図3に示すように、シリコン単結晶基板2上にエピ層3を気相成長し(気相成長工程)、パターンシフト測定用サンプルのシリコンエピタキシャルウェーハ4、8となす。この結果、拡散層1はエピ層3に埋め込まれて埋め込み拡散層1になり、エピ層3の表面にシリコンエピタキシャル層表面段差パターン(段差パターン)6が形成される。
段差パターン6の位置は、埋め込み拡散層1の段差パターン5から変位しており、パターンシフト幅の程度は、結晶方位、気相成長厚さ、気相成長温度、気相成長速度、気相成長圧力などの気相成長条件により変化するので、パターンシフト率が所定の範囲内であることを確認する必要がある。
図3の酸化膜パターン7を形成した場合、パターンシフト率を測定する前に、HF水溶液により前記酸化膜パターン7を除去し、図4に示すように、シリコン単結晶基板2の一部を露出させる(HF処理工程)。すると、埋め込み拡散層1も露出するので、埋め込み拡散層パターンの左右境界位置L1、R1が見えるようになる。
[赤外顕微鏡]
パターンシフト率は変位幅(パターンシフト幅)/エピ厚(エピ層の層厚)で表され、結晶面方位(100)の場合は通常0.5以下なので、例えばエピ厚t=10μmの場合、変位幅は5μm以下である。そのため、パターンシフト測定には顕微鏡が用いられる。
パターンシフト率は変位幅(パターンシフト幅)/エピ厚(エピ層の層厚)で表され、結晶面方位(100)の場合は通常0.5以下なので、例えばエピ厚t=10μmの場合、変位幅は5μm以下である。そのため、パターンシフト測定には顕微鏡が用いられる。
図2に示すように、可視光をシリコンエピタキシャル層3は反射する。一方、波長900nm〜1700nmの赤外線をシリコンエピタキシャル層3はよく透過するが、高濃度にドープされた埋め込み拡散層1は反射する。そこで、赤外顕微鏡を用いると、エピ層3表面の段差パターン6では可視光が反射され、埋め込み拡散層1では赤外光が反射されるので、段差パターン6と埋め込み拡散層1の両方を同時に観察することができる。
[パターンシフト測定]
赤外顕微鏡の画像取得機能を用いて、埋め込み拡散層パターンの左右境界位置L1、R1の画像と、エピ層表面段差パターンの左右境界位置L2、R2の画像とを同じ場所で、例えば1枚のデジタル写真として取得する(パターン画像取得工程)。
赤外顕微鏡の画像取得機能を用いて、埋め込み拡散層パターンの左右境界位置L1、R1の画像と、エピ層表面段差パターンの左右境界位置L2、R2の画像とを同じ場所で、例えば1枚のデジタル写真として取得する(パターン画像取得工程)。
次に、前記埋め込み拡散層パターンの左右境界位置L1、R1から前記エピ層表面段差パターンの左右境界位置L2、R2へのパターンシフト幅を、下記式(1)から算出する(パターンシフト幅計測工程)。
パターンシフト幅=((L2−L1)+(R2−R1))/2・・・(1)
パターンシフト幅=((L2−L1)+(R2−R1))/2・・・(1)
サンプルのエピ層厚さがtのとき、パターンシフト率は下記式(2)で表される。
パターンシフト率=((L2−L1)+(R2−R1))/2t・・・(2)
パターンシフト率=((L2−L1)+(R2−R1))/2t・・・(2)
図3の酸化膜パターン7を形成した場合、露出された埋め込み拡散層を基準にして、埋め込み拡散層パターンの位置を決定することができる。このようにすれば、パターンシフト幅が狭く、埋め込み拡散層パターンとエピ層表面段差パターンの区別が困難な場合でも、前記埋め込み拡散層の一部が露出している部分を基準にすると、両パターンの位置を確実に判別することができる。
以下、実施例及び比較例を示して本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
[実施例1]
図1に示すように、主表面の結晶面方位が4°オフの(100)、不純物濃度が1.3×1015atoms/cm3のp型シリコン単結晶基板2に、パターン幅80μm、不純物濃度5×1018atoms/cm3のSb(アンチモン)拡散層1を120μm間隔で形成する。
図1に示すように、主表面の結晶面方位が4°オフの(100)、不純物濃度が1.3×1015atoms/cm3のp型シリコン単結晶基板2に、パターン幅80μm、不純物濃度5×1018atoms/cm3のSb(アンチモン)拡散層1を120μm間隔で形成する。
続いて、厚さ10.8μm、抵抗率2.5Ωcm、n型のシリコンエピタキシャル層3を気相成長し、パターンシフト測定用サンプルのシリコンエピタキシャルウェーハ4となす。この結果、拡散層1はエピ層3に埋め込まれて埋め込み拡散層1になる。
次に、波長1310nmの半導体レーザーを有する赤外顕微鏡を用い、シリコンエピタキシャルウェーハ4を50倍の対物レンズで観察すると、埋め込み拡散層1とエピ層表面段差パターン6の両方を同じ場所で見ることができる。そして、前記埋め込み拡散層パターンの左右境界位置L1、R1の画像と、前記エピ層表面段差パターンの左右境界位置L2、R2の画像とを、同じ場所で、デジタル写真として取得する。
写真計測ソフトを用い、前記デジタル写真のL2−L1、R2−R1の間隔を3回繰り返して測定したところ、その平均は
L2−L1=3.43μm、
R2−R1=4.94μm、
パターンシフト率=0.39
だった。また、パターンシフト率の標準偏差σは、0.005であった。
L2−L1=3.43μm、
R2−R1=4.94μm、
パターンシフト率=0.39
だった。また、パターンシフト率の標準偏差σは、0.005であった。
[実施例2]
図3に示すように、主表面の結晶面方位が4°オフの(100)、不純物濃度が1.3×1015atoms/cm3のp型シリコン単結晶基板2に、パターン幅80μm、不純物濃度5×1018atoms/cm3のSb(アンチモン)拡散層1を120μm間隔で形成する。
図3に示すように、主表面の結晶面方位が4°オフの(100)、不純物濃度が1.3×1015atoms/cm3のp型シリコン単結晶基板2に、パターン幅80μm、不純物濃度5×1018atoms/cm3のSb(アンチモン)拡散層1を120μm間隔で形成する。
続いて、厚さ600nmの熱酸化膜を形成後、リソグラフィ技術により線幅50μmの酸化膜パターン7を、Sb(アンチモン)拡散層1に対して垂直に5mm間隔で形成する。
次に、厚さ5.2μm、抵抗率1.2Ωcm、n型のシリコンエピタキシャル層3を気相成長する。この時、酸化膜パターン7上にエピ層3は成長しない。さらに、シリコンエピタキシャルウェーハ8を25%HF水溶液で処理して酸化膜パターン7をエッチング除去すると、埋め込み拡散層1が露出し、埋め込み拡散層パターンの左右境界位置L1、R1が光学顕微鏡でも観察可能になる。このHF水溶液で処理済のシリコンエピタキシャルウェーハ8を、パターンシフト測定用のサンプルとなす。
実施例1と同様、波長1310nmの半導体レーザーを有する赤外顕微鏡を用い、シリコンエピタキシャルウェーハ8を50倍の対物レンズで観察すると、埋め込み拡散層1とエピ層表面段差パターン6の左側パターンが接近して形成されており、両者の区別が困難であった。
そこで、図4において埋め込み拡散層1の一部が露出している部分の左右境界位置L1、R1を基準にすると、露出した拡散層1の左右境界位置L1、R1は、赤外顕微鏡でエピ層3を透過して観察される左右境界位置L1、R1と同一線上に存在するので、両パターンの位置を容易に判別することができた。
そして、前記埋め込み拡散層パターンの左右境界位置L1、R1の画像と、前記エピ層表面段差パターンの左右境界位置L2、R2の画像とを、同じ場所で、デジタル写真として取得し、写真計測ソフトを用い、前記デジタル写真のL2−L1、R2−R1の間隔を3回繰り返して測定したところ、その平均は
L2−L1=0.83μm、
R2−R1=1.73μm、
パターンシフト率=0.25
だった。また、パターンシフト率の標準偏差σは、0.003であった。
L2−L1=0.83μm、
R2−R1=1.73μm、
パターンシフト率=0.25
だった。また、パターンシフト率の標準偏差σは、0.003であった。
[比較例1]
実施例2で準備したシリコンエピタキシャルウェーハを、可視光のレーザー顕微鏡を用い、50倍の対物レンズで観察すると、図6と同様なパターンに見える。L31−L33、R31−R33の間隔を3回繰り返して測定したところ、その平均は
L31−L33=0.92μm、
R31−R33=1.80μm、
パターンシフト率=0.26
だった。また、パターンシフト率の標準偏差σは、0.006であった。
実施例2で準備したシリコンエピタキシャルウェーハを、可視光のレーザー顕微鏡を用い、50倍の対物レンズで観察すると、図6と同様なパターンに見える。L31−L33、R31−R33の間隔を3回繰り返して測定したところ、その平均は
L31−L33=0.92μm、
R31−R33=1.80μm、
パターンシフト率=0.26
だった。また、パターンシフト率の標準偏差σは、0.006であった。
可視光のレーザー顕微鏡を用いてパターンシフトを測定する比較例1では、埋め込み拡散層パターンおよびエピ層表面段差パターンの左右境界位置を同じ測定位置で測定することができない。一方で、赤外顕微鏡を用いてパターン画像取得工程を行い、パターンシフト幅計測工程を行った実施例1では、埋め込み拡散層パターンおよびエピ層表面段差パターンの左右境界位置を同じ測定位置で測定することができるため、比較例1よりもパターンシフト率の標準偏差が小さく、より高い測定精度で測定することができた。また、実施例2のように、埋め込み拡散層パターンとエピ層表面段差パターンとが接近している場合であっても、露出した埋め込み拡散層の左右境界位置を基準にすることで、比較例1よりも高い測定精度で測定することができた。
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
本発明のパターンシフト測定方法によると、埋め込み拡散層パターンとエピ層表面段差パターンを同じ位置で観測できるので、従来法よりも測定精度を向上させることができる。また、パターンシフト幅が狭く、埋め込み拡散層パターンとエピ層表面段差パターンの区別が困難な場合でも、前記埋め込み拡散層の一部が露出している部分を基準にすると、両パターンの位置を確実に判別することができる。
1、21、42…埋め込み拡散層(拡散層)、
2、22、41…シリコン単結晶基板(単結晶基板、半導体単結晶基板)、
7、32…酸化膜パターン(酸化膜層)、
3、23、34、43…シリコンエピタキシャル層(エピ層)、
4、8、24…シリコンエピタキシャルウェーハ(エピタキシャルウェーハ)、
5、25、31…埋め込み拡散層パターン(段差パターン)、
6、26、33、44…シリコンエピタキシャル層表面段差パターン(段差パターン)、
L1、R1、L2、R2、L31、R31、L33、R33…境界位置、
45…切断溝。
2、22、41…シリコン単結晶基板(単結晶基板、半導体単結晶基板)、
7、32…酸化膜パターン(酸化膜層)、
3、23、34、43…シリコンエピタキシャル層(エピ層)、
4、8、24…シリコンエピタキシャルウェーハ(エピタキシャルウェーハ)、
5、25、31…埋め込み拡散層パターン(段差パターン)、
6、26、33、44…シリコンエピタキシャル層表面段差パターン(段差パターン)、
L1、R1、L2、R2、L31、R31、L33、R33…境界位置、
45…切断溝。
Claims (3)
- 赤外顕微鏡を用いて、シリコンエピタキシャルウェーハに形成された埋め込み拡散層パターンの画像と、シリコンエピタキシャル層表面段差パターンの画像とを同じ場所で取得するパターン画像取得工程と、
前記埋め込み拡散層パターンから前記シリコンエピタキシャル層表面段差パターンへのシフト幅を計測するパターンシフト幅計測工程と、
を有することを特徴とするパターンシフト測定方法。 - 前記シリコンエピタキシャルウェーハは、
埋め込み拡散層を有するシリコン単結晶基板の前記埋め込み拡散層パターンに交差するように、酸化膜パターンを形成する酸化膜パターン形成工程と、
前記シリコンエピタキシャル層を気相成長する気相成長工程と、
HF水溶液により前記酸化膜パターンを除去して、前記埋め込み拡散層の一部を露出させるHF処理工程とが施され、
前記露出された埋め込み拡散層を基準にして、前記埋め込み拡散層パターンの位置を決定することを特徴とする請求項1に記載のパターンシフト測定方法。 - 前記埋め込み拡散層パターンの左右境界位置がL1、R1、前記シリコンエピタキシャル層表面段差パターンの左右境界位置がL2、R2、前記シリコンエピタキシャル層の層厚がtのとき、前記パターンシフト幅は下記式(1)
パターンシフト幅=((L2−L1)+(R2−R1))/2・・・(1)
で表され、
下記式(2)を用いてパターンシフト率を求めることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のパターンシフト測定方法。
パターンシフト率=((L2−L1)+(R2−R1))/2t・・・(2)
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