JP2020057007A - 光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び車両 - Google Patents

光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び車両 Download PDF

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Abstract

【課題】被走査面に異常な像が発生することを防止でき、かつ被走査面を安定して走査できる光走査装置を提供する。【解決手段】 光走査装置5は、LD10と、該LD10からのレーザ光(射出光)の光路上に配置されたカバーガラス20bと、該カバーガラス20bを透過したレーザ光をカバーガラス20bに向けて反射させる反射面を有する揺動可能なミラー20cとを含み、LD10からのレーザ光を被走査面に向けて偏向する光偏向器20と、LD10からのレーザ光のカバーガラス20bの表面での反射光(表面反射光)の光路上に配置された遮光部材30と、を備えている。【選択図】図1

Description

本発明は、光走査装置、画像形成装置及び車両に係り、更に詳しくは、光により被走査面を走査する光走査装置、該光走査装置を備える画像形成装置及び該画像形成装置を備える車両に関する。
従来、光源からの光により被走査面を走査する光スキャナパッケージが知られている(例えば特許文献1参照)。
この光スキャナパッケージは、光源からの光の光路上に配置された光透過窓部材と、該光透過窓部材を透過した光を光透過窓部材に向けて反射させる揺動可能なミラーとを含み、光源からの光を被走査面に向けて偏向する光偏向器を備えている。
しかしながら、特許文献1に開示されている光スキャナパッケージでは、光源からの光の光透過窓部材の表面での反射光の影響で、被走査面に異常な像が発生するおそれや被走査面を安定して走査できないおそれがあった。
本発明は、光により被走査面を走査する光走査装置であって、光源と、前記光源からの光の光路上に配置された光透過窓部材と、該光透過窓部材を透過した光を前記光透過窓部材に向けて反射させる反射面を有する揺動可能なミラーとを含み、前記光源からの光を前記被走査面に向けて偏向する光偏向器と、前記光源からの光の前記光透過窓部材の表面での反射光の光路上に配置された遮光部と、を備えることを特徴とする光走査装置である。
本発明によれば、被走査面に異常な像が発生することを防止でき、かつ被走査面を安定して走査できる。
一実施形態のプロジェクタ装置の構成を概略的に示す図である。 図1の光偏向器の構成及び動作を説明するための図である。 光偏向器の構成を説明するための図である。 比較例のプロジェクタ装置を説明するための図である。 変形例1のプロジェクタ装置の構成を概略的に示す図である。 変形例2のプロジェクタ装置の構成を概略的に示す図である。 変形例3のプロジェクタ装置の構成を概略的に示す図である。 変形例4のプロジェクタ装置の構成を概略的に示す図である。 変形例5のプロジェクタ装置の構成を概略的に示す図である。 変形例6のプロジェクタ装置の構成を概略的に示す図である。 変形例7の光偏向器の構成を概略的に示す図である。 ヘッドアップディスプレイ装置の一例を概略的に示す図である。
以下に、本発明の一実施形態を図1〜図3を参照して説明する。図1には、一実施形態に係る画像形成装置としてのプロジェクタ装置100が概略的に示されている。
プロジェクタ装置100は、例えば建物の床もしくは設置台に載置された状態、建物の天井から吊り下げられた状態、又は建物の壁に掛けられた状態等で用いられる。以下では、図1に示される鉛直方向をZ軸方向とするXYZ3次元直交座標系を適宜用いて説明する。
プロジェクタ装置100は、一例として、図1に示されるように、光走査装置5、制御装置7などを備えている。
光走査装置5は、光源としてのLD10(レーザダイオード)と、光偏向器20と、遮光部材30とを含む。
LD10は、+X方向にレーザ光を射出する。以下では、LD10から射出されたレーザ光を「射出光」とも称する。
光偏向器20は、パッケージ20a及びカバーガラス20bを含む収容体と、該収容体に収容されたミラー20cとを有する。ここでは、一例として、収容体のXZ断面形状は、略台形状とされている。
パッケージ20aは、無蓋の箱形部材であり、開口が射出光の光路上に位置するように(−X側を向くように)配置されている。パッケージ20aの材料としては、例えばセラミック、樹脂、アルミニウム等が用いられる。ここでは、パッケージ20aは、一例として、XZ断面略J字状の部材から成り、後述する駆動手段に電力を供給するための配線部材(不図示)が設けられている。
カバーガラス20bは、透明又は半透明のガラス板から成り、パッケージ20aの開口を覆うように該パッケージ20aの開口端に接合されている。すなわち、カバーガラス20bは、射出光の光路上に配置され、光透過窓部材として機能する。ここでは、一例として、カバーガラス20bは、Y軸に平行に配置されている。
ミラー20cは、所謂MEMSミラーであり、カバーガラス20bを透過した射出光の光路上に反射面が位置するように、パッケージ20a内で該パッケージ20aに互いに直交する第1軸及び第2軸周りに独立に揺動可能に支持されている。ここでは、第1軸は、XZ平面に平行でXY平面に対して所定角度θだけ傾斜する方向に延びている。第2軸は、Y軸に平行である。ミラー20cは、収容体に収容されることで、外気から遮蔽され、ダストや湿気から保護されている。
詳述すると、図2に示されるように、ミラー20cは、第1枠部材の内側で第1軸周りに揺動可能にトーションバーを介して第1枠部材に支持され、該第1枠部材は、第2枠部材の内側で第2軸周りに揺動可能にトーションバーを介して第2枠部材に支持されている。そして、ミラー20cは、不図示の駆動手段(アクチュエータ)によって第1軸周りの第1の揺動範囲内で及び第2軸周りの第2の揺動範囲内で独立に駆動されるようになっている。第2枠部材は、パッケージ20aに支持されている。ここでは、第1の揺動範囲(第1の角度範囲)は、第2の揺動範囲(第2の角度範囲)よりも大きく設定されている。駆動手段としては、例えば電磁方式、圧電方式などが用いられる。なお、上述したミラー20cを第1軸周り及び第2軸周りに独立に揺動させる構成は、一例であって、適宜変更可能である。図2では、収容体の図示は、省略されている。
遮光部材30については、後述する。
光偏向器20は、パッケージ20aに対してミラー20cを実装する工程(MEMSプロセス)、パッケージ20aに対してカバーガラス20bを接合する工程(封止工程)が一連に行われることで、製造される。
以上のように構成される光走査装置5では、LD10からのレーザ光がカバーガラス20bの表面(−X側の面)に入射し、該カバーガラス20bを透過した光がミラー20cの反射面に入射する。ミラー20cの反射面に入射したレーザ光は、ミラー20cの第1軸周り及び第2軸周りの位置に応じた方向に(カバーガラス20bに向けて)反射され、カバーガラス20bの裏面(+X側の面)に入射する。カバーガラス20bの裏面に入射したレーザ光のうち、カバーガラス20bを透過したレーザ光が、被走査面(スクリーンSの表面)に導かれる。
この際、例えば、ミラー20cを第1軸周りに高周波数で振動させつつ第2軸周りに低周波数で振動させることで、被走査面の所定の走査領域を2次元走査することができる(図2参照)。すなわち、第1軸周りに対応する走査方向である主走査方向に高速で往復走査させつつ第2軸周りに対応する走査方向である副走査方向に低速で片道走査させることで、上記走査領域をラスタスキャンすることができる。
ここでは、走査領域は、第1軸周りに対応する走査方向である主走査方向(Y軸方向)を長手方向とし、第2軸周りに対応する走査方向である副走査方向(Z軸方向)を短手方向とする略矩形状とされている。
図1に戻り、制御装置7は、画像処理部7aと、LD制御部7bと、ミラー制御部7cとを含む。
画像処理部7aは、例えばパソコン等の上位装置からの画像情報に対して所定の処理(例えば歪み補正処理、画像サイズ変更処理、解像度変換処理等)を施し、LD制御部7bに送る。
LD制御部7bは、画像処理部からの画像情報に基づいて、駆動信号(パルス信号)を強度変調してLD10に出力する。また、LD制御部7bは、ミラー制御部7cからの後述する同期信号に基づいてLD10の発光タイミング(LD10に駆動信号を供給するタイミング)を決定する。
ミラー制御部7cは、ミラー20cの第1軸及び第2軸周りの位置情報を検出する不図示のセンサからの検出信号に基づいて、ミラー20cの振れ角とLD10の発光タイミングとの同期をとるための同期信号をLD制御部7bに出力する。
以上のように構成されるプロジェクタ装置100では、LD10から画像情報に基づいて変調されたレーザ光が射出され、光偏向器20で被走査面に向けて偏向される。この結果、被走査面の所定の走査領域が主走査方向及び副走査方向に2次元走査され、該走査領域に所望の画像が形成される。
ところで、特に、半導体レーザ(レーザダイオード)は、射出光の高い指向性により、高い光利用効率を得られることから、本実施形態のような走査型のプロジェクタ装置の光源に適している。
しかしながら、射出光がカバーガラス20bの表面に入射すると一部がカバーガラス20bを透過し、残部(例えば数%未満)がカバーガラス20bの表面で反射され迷光となる。
この場合、仮に射出光のカバーガラス20bの表面での反射光(以下では、表面反射光とも称する)が上記走査領域に入射すると、該走査領域に形成された画像に異常な像が発生し、画像品質が低下してしまう(図4参照)。
すなわち、LD10からのレーザ光により発生する迷光は、その指向性のために強度が高く視認されやすい。光偏向器20によって偏向されたレーザ光(動的ビーム)に対し、偏向されない迷光(静止ビーム)が発生すると、わずかであっても相対的に明るくなってしまうため視認され、画像品質が低下してしまう。
そこで、本実施形態では、カバーガラス20bとミラー20cとの位置関係は、表面反射光の光路が上記走査領域から外れるように設定されている。ここでは、カバーガラス20bとミラー20cとの位置関係は、表面反射光の光路が副走査方向(Z軸方向)に関して走査領域から外れるように設定されている。
詳述すると、カバーガラス20bとミラー20cとの位置関係は、ミラー20cが第1軸周りの第1の揺動範囲内の任意の位置に位置し、かつ第2軸周りの第2の揺動範囲内の任意の位置に位置しているとき、ミラー20cの反射面とカバーガラス20bの表面とが、非平行となるように設定されている。この場合、ミラー20cの第1軸周り及び第2軸周りの位置によらず、ミラー20cの反射面とカバーガラス20bの表面とが平行にならず、表面反射光が走査領域に入射するのを防止できる。
具体的には、図3から分かるように、ミラー20cの第2軸周りの基準面(振動中心)からの最大振れ角α(鋭角)は、カバーガラス20bの表面と該基準面に平行な平面との成す角β(鋭角)、すなわちカバーガラス20bの基準面に対する傾け角よりも小さく設定されている。ここでは、上記基準面は、第1軸及び第2軸を含む平面とされている。
また、図1から分かるように、カバーガラス20bとミラー20cとの位置関係は、LD10からのレーザ光(射出光)の光路及び表面反射光の光路が光偏向器20で偏向されたレーザ光(走査光)の光路に対して−Y方向から見て同じ側にあるように設定されている。すなわち、射出光の光路及び表面反射光の光路は、Y軸に平行な所定の仮想平面に対して走査光の光路とは反対側にある。
この場合、射出光のカバーガラス20bへの入射角を小さくできるため、射出光のカバーガラス20bに対する透過率を高めることができる。この結果、光利用効率を向上させることができる。
また、図1から分かるように、カバーガラス20bとミラー20cとの位置関係は、射出光の光路及び走査光の光路が表面反射光の光路に対して−Y方向から見て同じ側にあるように設定されている。すなわち、射出光の光路及び走査光の光路は、Y軸に平行な所定の仮想平面に対して表面反射光の光路とは反対側にある。
この場合、表面反射光の光路を走査領域から十分に遠ざけることができる。なお、表面反射光の光路が走査領域に近いと、表面反射光が走査領域付近の装置内の他の部材で散乱されて、比較的高い強度で走査領域に入射するおそれがある。
ここで、仮に表面反射光がLD10に戻ると、LD10のレーザ発振が不安定になり、出力変動が起きる。この結果、被走査面を安定して走査することができなくなる。
そこで、本実施形態では、射出光のカバーガラス20bへの入射角が0°以外に設定され、表面反射光がLD10に直接的に戻ることを防止している。
しかしながら、表面反射光の光路が射出光の光路から十分離れていないと、表面反射光が装置内の他の部材で散乱され、散乱光が比較的強度が強い状態でLD10に入射するおそれがある
そこで、本実施形態では、図1に示されるように、表面反射光の光路上に上記遮光部材30が配置されている。遮光部材30は、入射された表面反射光を射出光の光路から離れる方向に反射する姿勢で配置されている。
なお、遮光部材30の入射面(表面反射光が入射される面)は、光を拡散反射するような面(例えば粗い面)であることが好ましい。また、遮光部材30は、表面反射光の少なくとも一部を吸収する機能を有していても良いし、表面反射光の一部を透過させる機能を有していても良い。なお、遮光部材30が表面反射光の大半を吸収する機能を有する場合には、遮光部材30の姿勢は、任意でも良い。
以上説明した本実施形態の光走査装置5は、LD10と、該LD10からのレーザ光(射出光)の光路上に配置されたカバーガラス20bと、該カバーガラス20bを透過したレーザ光をカバーガラス20bに向けて反射させる反射面を有する揺動可能なミラー20cとを含み、LD10からのレーザ光を被走査面に向けて偏向する光偏向器20と、LD10からのレーザ光のカバーガラス20bの表面での反射光(表面反射光)の光路上に配置された遮光部材30と、を備えている。
この場合、表面反射光が遮光部材30で遮光されるため、表面反射光が被走査面の走査領域に入射するのを防止でき、かつ表面反射光がLD10に戻るのを防止できる。
この結果、被走査面に異常な像が発生することを防止でき、かつ被走査面を安定して走査できる。
より具体的には、ミラー20cは、第1軸周りの第1の揺動範囲内及び第2軸周りの第2の揺動範囲内で揺動可能であり、ミラー20cが第1の揺動範囲内の任意の位置に位置し、第2の揺動範囲内の任意の位置に位置するとき、ミラー20cの反射面とカバーガラス20bの表面とは、非平行である。
一方、図4に示される比較例の光走査装置では、光偏向器が所謂フラットパッケージを有しており、揺動範囲内の所定位置に位置するミラーの反射面に対してカバーガラスの表面が平行となる。
この場合、表面反射光が走査領域の中央部に入射し、画像中央部での明るい点となって認識されてしまう(異常な像が発生する)。そこで、ミラーに対するカバーガラスの距離を十分に長くし、表面反射光の光路を走査光から離すことも考えられるが、パッケージの大型化を招き、コストアップを招いてしまう。また、仮にミラーに対してカバーガラスをわずかに、すなわち反射面の最大振れ角よりも小さい角度だけ傾けたとしても、表面反射光が走査領域の周辺部に入射し、画像周辺部での明るい点となって認識されてしまう(異常な像が発生する)。
ところで、カバーガラス20bの基準面(第1軸及び第2軸を含む平面)に対する傾け角を大きくするためには、パッケージ20aの高さ寸法(パッケージ20aのXZ断面における互いに平行な二辺部のうち長い方の辺部の長さ)を長くする必要があり、パッケージ20aの加工が容易でなくなり、結果として、光偏向器20の大型化及び高コスト化を招く。
そこで、光偏向器20では、ミラー20cは、表面反射光の光路は、第1軸周り及び第2軸周りのうち第2軸周り(揺動範囲が小さい方の軸周り)に対応する副走査方向(Z軸方向)に関して走査領域から外れている。
この場合、仮に表面反射光の光路が第1軸(揺動範囲が大きい方の軸周り)に対応する主走査方向(Y軸方向)に関して走査領域から外れるようにする場合に比べて、カバーガラス20bの基準面に対する傾け角を小さくすることができ、ひいては光偏向器の大型化及び高コスト化を抑制できる。
なお、図5に示される変形例1のプロジェクタ装置200のように、カバーガラス22bとミラー20cとの位置関係は、射出光の光路及び走査光の光路が、Y軸に平行な所定の仮想平面に対して(−Y側から見て)表面反射光の光路に対して異なる側にあるように、すなわち−Y側から見て表面反射光の光路を挟むように設定されても良い。
変形例1でも、表面反射光が遮光部材30で遮光されるため、表面反射光が走査領域に入射するのを防止でき、かつ表面反射光がLD10に戻るのを防止できる。また、変形例1では、上記実施形態に比べて、表面反射光の光路と走査光との光路の−Y方向から見た角度差を小さくできるため、カバーガラス20bの傾け角を小さくでき、光偏向器の小型化及び低コスト化を図ることができる。
また、図6及び図7にそれぞれ示される変形例2及び変形例3のプロジェクタ装置300、400のように、LD10と光偏向器20、22との間の光路上に配置されたレンズ60を備えていても良い。ここでは、レンズ60として、一例として、射出光を平行化、弱発散又は弱収束させるカップリングレンズが用いられる。なお、レンズ60は、カップリングレンズ以外のレンズであっても良い。
そして、変形例2及び変形例3では、レンズ60と光偏向器20、22との間に遮光部材30が配置されている。この結果、表面反射光がレンズ60を介してLD10に戻るのを防止できる。
また、図8及び図9にそれぞれ示される変形例4及び変形例5のプロジェクタ装置500、600のように、LD10と光偏向器20、22との間の光路上に配置されたレンズ60と、該レンズ60と光偏向器20、22との間の光路上に配置された開口部材80とを備えていても良い。なお、プロジェクタ装置500、600は、遮光部材30を備えていない。
開口部材80は、レンズ60を介した射出光の一部を通過させる開口を有しており、射出光を整形する。また、開口部材80は、開口の周辺部が開口を通過したレーザ光のカバーガラス20b、22bの表面での反射光(表面反射光)の光路上に位置している。すなわち、開口部材80は、表面反射光を遮光する遮光部を有している。
変形例4及び5のプロジェクタ装置500、600では、開口部材80は、射出光を整形する機能と表面反射光を遮光する機能を併有しているため、構成の簡略化及び低コスト化を図ることができる。
なお、開口部材80のうち表面反射光が入射する部分は、表面反射光が光偏向器に向かわないように角度をつけても良いし、粗面にして十分に散乱させるようにしても良いし、表面反射光の少なくとも一部を吸収する材料で形成しても良い。
また、図10に示される変形例6のプロジェクタ装置700のように、カバーガラス24bを基準面(第1軸及び第2軸を含む平面)に平行に配置しても良い。
変形例6では、光偏向器24のパッケージ24aがXZ断面略U字状の部材から成るフラットパッケージであり、図4に示される比較例と同様に、表面反射光は、走査光の光路に向けて進行する。
そこで、変形例6では、表面反射光の光路上(進路上)であって走査光の光路から外れた位置に遮光部材30が配置されている。この結果、表面反射光を遮光することができる。なお、遮光部材30で反射(散乱)された光がLD10及び光偏向器24に向かわないように遮光部材30の姿勢を調整することが好ましい。
変形例6によると、光偏向器24に加工が容易で小型のフラットパッケージを用いることができるため、小型化及びコストダウンを図ることができる。
また、図11に示される変形例7の光偏向器26のように、ミラー20cを保持するパッケージ26a(第1の保持部)と、カバーガラス26bを保持する保持部材26c(第2の保持部)とを接合することとしても良い。
このような構成を採用することで、パッケージ26aとしてフラットパッケージを用いることができ、かつカバーガラス26bを基準面に対して傾斜して配置することができる。
変形例7によると、パッケージの加工を容易化でき、かつ上記実施形態と同様の効果を得ることができる。
また、上記実施形態及び各変形例では、光偏向器が画像形成装置としてのプロジェクタ装置に用いられているが、これに限らず、例えば図12に示される画像形成装置としてのヘッドアップディスプレイ装置1000に用いられても良い。ヘッドアップディスプレイ1000は、例えば車両、航空機、船舶等に搭載される。
詳述すると、ヘッドアップディスプレイ1000は、一例として図12に示されるように、光偏向器で偏向されたレーザ光(走査光)の光路上に配置された、2次元配列された複数のマイクロレンズを含むマイクロレンズアレイ(光透過部材)と、該マイクロレンズアレイを介したレーザ光の光路上に配置された半透明部材(例えばコンバイナ)と、を備えている。この場合、光偏向器による第1軸及び第2軸周りのレーザ光の偏向動作に伴い該レーザ光によりマイクロレンズアレイの表面(被走査面)が2次元走査され、該被走査面に画像が形成される。そして、マイクロレンズアレイを介した画像光が半透明部材に入射し、該画像光の虚像が形成される。すなわち、観察者は、半透明部材を介して画像光の虚像を視認することができる。この際、マイクロレンズアレイによって画像光が拡散されるため、所謂スペックルノイズを低減することができる。
なお、マイクロレンズアレイに代えて、マイクロレンズアレイ以外の光透過部材(例えば透過スクリーン)を用いても良い。また、例えばマイクロレンズアレイ、透過スクリーン等の光透過部材と半透明部材との間の光路上に例えば凹面鏡、平面鏡等のミラーを設けても良い。また、半透明部材を例えば車両、航空機、船舶等の光透過窓部(例えば窓ガラス)で代用しても良い。
そこで、ヘッドアップディスプレイ1000と、該ヘッドアップディスプレイ1000の光偏向器で偏向され上記光透過部材を透過した光の光路上に配置された光透過窓部(例えば窓ガラス)と、を備える車両(例えば自動車、列車等)を提供することができる。この場合、上記光透過部材を透過した画像光が光透過窓部に入射し、該画像光の虚像が形成される。すなわち、観察者は、光透過窓部を介して画像光の虚像を視認することができる。
また、ヘッドアップディスプレイ装置1000と同様の構成を有する、ヘッドマウントディスプレイ装置、プロンプタ(原稿表示装置)等の虚像を視認することを目的とした画像形成装置、及び該画像形成装置を備える車両を提供することもできる。
また、上記実施形態及び各変形例の光偏向器を備える光走査装置は、例えばプリンタ、複写機、光プロッタ等の画像形成装置にも採用でき、該画像形成装置を提供することもできる。
また、上記実施形態及び各変形例では、カバーガラスとミラーの位置関係は、−Y方向から見て射出光の光路及び表面反射光の光路が走査光の光路に対して同じ側にあるように設定されているが、異なる側(反対側)にあるように設定されても良い。
また、上記実施形態及び各変形例では、カバーガラスとミラーの位置関係は、表面反射光の光路が副走査方向に関して走査領域から外れるように設定されているが、これに限られない。例えば、表面反射光の光路を、主走査方向に関して走査領域から外れるようにしても良いし、副走査方向及び主走査方向の双方に関して走査領域から外れるようにしても良い。なお、表面反射光の光路を主走査方向に関して走査領域から外れるようにするためには、ミラーの第1軸周りの基準面(振動中心)からの最大振れ角(鋭角)を、カバーガラスの表面と該基準面に平行な平面との成す角(鋭角)よりも小さく設定すれば良い。
この場合、カバーガラスとミラーの位置関係は、+Z方向から見て射出光の光路及び表面反射光の光路が走査光の光路に対して同じ側にあるように設定されても良いし、異なる側(反対側)にあるように設定されても良い。また、カバーガラスとミラーの位置関係は、+Z方向から見て射出光の光路及び表面反射光の光路が走査光の光路に対して同じ側にあるように設定されても良いし、異なる側(反対側)にあるように設定されても良い。また、この場合、+Z方向から見て射出光の光路及び走査光の光路が表面反射光の光路に対して同じ側にあるように設定されても良いし、異なる側(反対側)にあるように設定されても良い。
また、上記実施形態及び各変形例では、光透過窓部材として、カバーガラスが用いられているが、これに限らず、要は、光を透過させる部材であれば良い。
また、上記実施形態及び各変形例において、遮光部の形状、大きさ、数、姿勢、配置は、適宜変更可能である。
また、上記実施形態及び各変形例では、光走査装置の光源として、LD(レーザダイオード)、すなわち端面発光レーザを用いているが、これに限らず、例えば、VCSEL(面発光レーザ)やレーザ以外の光源を用いても良い。
上記実施形態及び各変形例では、制御装置は、画像処理部を有しているが、必ずしも有していなくても良い。
また、上記実施形態及び各変形例では、LD制御部は、LD10を画像情報に基づいて直接変調しているが、これに代えて、例えば、LD10から射出されたレーザ光を画像情報に基づいて変調する光変調部を設けても良い。すなわち、外部変調方式を採用しても良い。
また、上記実施形態及び各変形例では、互いに直交する2つの走査方向(主走査方向及び副走査方向)に2次元走査するための1つの光偏向器が採用されているが、これに代えて、例えば1つの走査方向に1次元走査するための光偏向器、すなわち一軸周りにのみ揺動するミラーを含む光偏向器を採用しても良い。また、例えば一軸周りにのみ揺動するミラーを含む光偏向器を2つ組み合わせて、互いに直交する2つの走査方向に2次元走査するようにしても良い。このような一軸周りにのみ揺動するミラーを含む光偏向器であっても、上記実施形態及び各変形例と同様の構成を採用することで、被走査面に異常な像が発生することを防止でき、かつ被走査面を安定して走査することができる。
5…光走査装置、10…LD(光源)、20…光偏向器、20b、22b、24b、26b…カバーガラス(光透過窓部材)、20c…ミラー、26a…パッケージ(第1の保持部)、26c…保持部材(第2の保持部)、30…遮光部材(遮光部)、60…レンズ、80…開口部材、100、200、300、400、500、600、700…プロジェクタ装置(画像形成装置)、1000…ヘッドアップディスプレイ装置(画像形成装置)。
特開2006−221171号公報
本発明は、光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び車両に係り、更に詳しくは、光を偏向する光偏向器、該光偏向器を備える光走査装置、該光走査装置を備える画像形成装置及び該画像形成装置を備える車両に関する。
本発明は、光を通過させる開口を有する収容体と、前記収容体に収容され、基準面から所定の回転軸周りに回動することで前記開口を介して入射された光を偏向するミラーと、前記開口に取り付けられ、前記基準面に対して前記回転軸周りに傾斜した光透過板と、を備える光偏向器であって、前記ミラーは、第1軸周りに回動可能であり、前記光透過板は、前記基準面に対して前記第1軸とは直交する方向の第2軸周りに傾斜している光偏向器である。

Claims (12)

  1. 光により被走査面を走査する光走査装置であって、
    光源と、
    前記光源からの光の光路上に配置された光透過窓部材と、該光透過窓部材を透過した光を前記光透過窓部材に向けて反射させる反射面を有する揺動可能なミラーとを含み、前記光源からの光を前記被走査面に向けて偏向する光偏向器と、
    前記光源からの光の前記光透過窓部材の表面での反射光の光路上に配置された遮光部と、を備えることを特徴とする光走査装置。
  2. 前記ミラーは、少なくとも一軸周りの所定の揺動範囲内で揺動可能であり、
    前記ミラーが前記揺動範囲内の任意の位置に位置するとき、前記反射面と前記光透過窓部材の表面とは、非平行であることを特徴とする請求項1に記載の光走査装置。
  3. 前記光源からの光の光路及び前記反射光の光路は、前記光偏向器で偏向された光の光路に対して同じ側にあることを特徴とする請求項1又は2に記載の光走査装置。
  4. 前記光源からの光の光路及び前記光偏向器で偏向された光の光路は、前記反射光の光路に対して同じ側にあることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の光走査装置。
  5. 前記光源と前記光偏向器との間の光の光路上に配置されたレンズを更に備え、
    前記遮光部は、前記レンズと前記光透過窓部材との間に配置されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の光走査装置。
  6. 前記レンズは、カップリングレンズであり、
    前記遮光部は、前記カップリングレンズと前記光偏向器との間の光の光路上に配置された、該光の一部を通過させる開口を有する開口部材の一部であることを特徴とする請求項5に記載の光走査装置。
  7. 前記光偏向器は、前記ミラーを揺動可能に保持する第1の保持部と、前記光透過窓部材を保持し、前記第1の保持部と接合される第2の保持部とを更に含むことを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の光走査装置。
  8. 前記ミラーは、第1軸周りの第1の揺動範囲内で揺動可能であり、かつ前記第1軸に直交する第2軸周りの、前記第1の揺動範囲とは大きさが異なる第2の揺動囲内で揺動可能であり、
    前記反射光の光路は、前記第1軸周り及び第2軸周りのうち少なくとも揺動範囲が小さい方の軸周りに対応する走査方向に関して前記被走査面の走査領域から外れていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の光走査装置。
  9. 前記光源は、レーザであることを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項に記載の光走査装置。
  10. 被走査面に画像を形成する画像形成装置であって、
    少なくとも1つの請求項1〜9のいずれか一項に記載の光走査装置と、
    前記光走査装置の光源を画像情報に基づいて強度変調する強度変調部又は前記光源から射出された光を画像情報に基づいて変調する変調部と、を備える画像形成装置。
  11. 前記光走査装置の光偏向器で偏向された光の光路上に配置された、前記被走査面を有する光透過部材を更に備えることを特徴とする請求項10に記載の画像形成装置。
  12. 請求項11に記載の画像形成装置と、
    前記画像形成装置の光偏向器で偏向され前記光透過部材を透過した光の光路上に配置された光透過窓部と、を備える車両。
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