JP2020047883A - Unnecessary sheet removing device and unnecessary sheet removing method - Google Patents

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JP2020047883A JP2018177231A JP2018177231A JP2020047883A JP 2020047883 A JP2020047883 A JP 2020047883A JP 2018177231 A JP2018177231 A JP 2018177231A JP 2018177231 A JP2018177231 A JP 2018177231A JP 2020047883 A JP2020047883 A JP 2020047883A
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早坂 拓哉
Takuya Hayasaka
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Abstract

To provide an unnecessary sheet removing device and an unnecessary sheet removing method that can prevent unnecessary sheet release failure as much as possible.SOLUTION: An unnecessary sheet removing device EA includes feeding means 10 that feeds a raw sheet RS temporarily attached to a plurality of adhesive sheets AS and an unnecessary sheet US to a strip-shaped release sheet RL, and release means 20 that releases the unnecessary sheet US from the release sheet RL, and the release means 20 includes a first suction roller 21 capable of sucking the unnecessary sheet US on the outer peripheral surface 21A, and first rotational force applying means 22 that rotates the first suction roller 21, and while the unnecessary sheet US is being sucked by the outer peripheral surface 21A of the first suction roller 21, the outer peripheral surface 21A is rotated at the same speed as the feeding speed of the raw sheet RS, and the unnecessary sheet US is released from the release sheet RL.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、不要シート除去装置および不要シート除去方法に関する。   The present invention relates to an unnecessary sheet removing apparatus and an unnecessary sheet removing method.

従来、複数の接着シートと帯状の不要シートとが帯状の剥離シートに仮着された原反から、当該不要シートを剥離する装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。   2. Description of the Related Art Conventionally, there has been known an apparatus that separates an unnecessary sheet from an original sheet in which a plurality of adhesive sheets and a strip-shaped unnecessary sheet are temporarily attached to a strip-shaped release sheet (for example, see Patent Document 1).

特開2008−55661号公報JP 2008-55661 A

しかしながら、特許文献1に記載された連続ラベル製造装置11(不要シート除去装置)では、ラベルカス21A(不要シート)は、当該不要シートの長手方向に張力が付与されて剥離紙23(剥離シート)から剥離されるため、剥離シートから剥離された不要シートが切断され、不要シートの剥離不良が生じるという不都合がある。このような不都合は、不要シートが軟弱または脆弱であったり、幅が細かったりした場合等において顕著化する。   However, in the continuous label manufacturing apparatus 11 (unnecessary sheet removing apparatus) described in Patent Literature 1, the label waste 21A (unnecessary sheet) is given a tension in the longitudinal direction of the unnecessary sheet and is released from the release paper 23 (release sheet). Since the peeling is performed, the unnecessary sheet peeled from the peeling sheet is cut, and there is a disadvantage that the unnecessary sheet peeling failure occurs. Such inconvenience becomes remarkable when the unnecessary sheet is soft or fragile, or when the width is small.

本発明の目的は、不要シートの剥離不良を極力防止することができる不要シート除去装置および不要シート除去方法を提供することにある。   An object of the present invention is to provide an unnecessary sheet removing apparatus and an unnecessary sheet removing method that can prevent defective peeling of an unnecessary sheet as much as possible.

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。   The present invention has adopted the configuration described in the claims.

本発明によれば、第1吸引ローラの外周面で不要シートを吸引しつつ、当該外周面を原反の繰出速度と同じ速度で回転させ、不要シートを剥離シートから剥離するので、不要シートは、当該不要シートの長手方向に交差する方向に張力が付与されて剥離シートから剥離されることとなる。従って、剥離シートから剥離した不要シートが当該不要シートの長手方向に張力が付与されることが極力抑制され、不要シートの剥離不良を極力防止することができる。
また、第2吸引ローラを設ければ、原反を所定の方向に誘導し易くなる。
According to the present invention, while the unnecessary sheet is sucked by the outer peripheral surface of the first suction roller, the outer peripheral surface is rotated at the same speed as the feeding speed of the raw material, and the unnecessary sheet is peeled from the release sheet. Accordingly, tension is applied in a direction intersecting the longitudinal direction of the unnecessary sheet, and the unnecessary sheet is separated from the release sheet. Accordingly, it is possible to minimize the application of tension to the unnecessary sheet peeled from the release sheet in the longitudinal direction of the unnecessary sheet, and it is possible to prevent the unnecessary sheet from peeling as poorly as possible.
Further, if the second suction roller is provided, it becomes easy to guide the raw material in a predetermined direction.

本発明の一実施形態に係る不要シート除去装置の説明図。FIG. 1 is an explanatory diagram of an unnecessary sheet removing device according to an embodiment of the present invention.

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
In this embodiment, the X axis, the Y axis, and the Z axis are orthogonal to each other. The X axis and the Y axis are axes within a predetermined plane, and the Z axis is an axis orthogonal to the predetermined plane. I do. Furthermore, in the present embodiment, based on the case of viewing from the near side of FIG. 1 parallel to the Y axis, when the direction is indicated, “up” is the arrow direction of the Z axis, “down” is the opposite direction, The left is the direction of the arrow on the X axis, the right is the opposite direction, the front is the front direction in FIG. 1 parallel to the Y axis, and the rear is the opposite direction.

図1において、不要シート除去装置EAは、複数の接着シートASと帯状の不要シートUSとが帯状の剥離シートRLに仮着された原反RSを繰り出す繰出手段10と、剥離シートRLから不要シートUSを剥離する剥離手段20とを備え、被着体としての半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」ともいう)WFに接着シートASを押圧して貼付する押圧手段30と、ウエハWFを支持する支持手段40とでシート貼付装置EA1を形成している。   In FIG. 1, an unnecessary sheet removing device EA includes a feeding unit 10 that feeds out a raw sheet RS in which a plurality of adhesive sheets AS and a strip-shaped unnecessary sheet US are temporarily attached to a strip-shaped release sheet RL, and an unnecessary sheet from the release sheet RL. A pressing unit 30 for pressing the adhesive sheet AS onto a semiconductor wafer (hereinafter also simply referred to as a “wafer”) WF as an adherend, and a support for supporting the wafer WF; The means 40 forms a sheet sticking apparatus EA1.

繰出手段10は、剥離シートRLに帯状の接着シート基材BSが仮着され、当該接着シート基材BS上にカバーシートCSが仮着された接着シート積層体RS1を支持する支持ローラ11と、接着シート積層体RS1等を案内する第1、第2ガイドローラ12A、12Bと、第2ガイドローラ12Bに掛け回されて接着シート基材BSから剥離されたカバーシートCSに、常に所定の張力を付与して当該カバーシートCSを巻回して回収するカバーシート回収ローラ13と、接着シート基材BSに閉ループ状の切込CUを形成し、当該切込CUの内側に位置する接着シートASと、当該切込CUの外側に位置する不要シートUSとを形成する切断手段14と、不要シートUSが剥離された原反RSをその外周面15Aで吸引可能な第2吸引ローラ15と、出力軸16Aで第2吸引ローラ15を支持し、当該第2吸引ローラ15を回転させる第2回転力付与手段であって駆動機器としての回動モータ16と、第2吸引ローラ15と第1吸引ローラ21とを相互に付勢する図示しない付勢手段と、不要シートUSが剥離された原反RSに繰出力を付与する繰出力付与手段17とを備え、原反RSを繰り出す構成となっている。なお、第2吸引ローラ15の外周面15Aは、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段(保持手段)によって、吸着保持が可能となっている。
切断手段14は、駆動機器としての回動モータ14Aの出力軸14Bに支持され、円周面に閉ループ状の切断部材としての切断刃14Cが設けられたダイカットローラ14Dと、ダイカットローラ14Dと同期回転するアンビルローラ14Eとを備えている。
繰出力付与手段17は、駆動機器としてのリニアモータ17Aのスライダ17Bに支持された支持プレート17Cと、支持プレート17Cに支持された駆動機器としての回動モータ17Dと、回動モータ17Dの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ17Eとで剥離シートRLを挟み込む駆動ローラ17Fと、ピンチローラ17Eとの間に存在する剥離シートRLに、常に所定の張力を付与して当該剥離シートRLを巻回して回収する剥離シート回収ローラ17Gとを備えている。
The feeding means 10 includes a support roller 11 that supports an adhesive sheet laminate RS1 in which a strip-shaped adhesive sheet base material BS is temporarily attached to the release sheet RL and a cover sheet CS is temporarily attached on the adhesive sheet base material BS. A predetermined tension is always applied to the first and second guide rollers 12A and 12B that guide the adhesive sheet laminate RS1 and the like, and the cover sheet CS that is wrapped around the second guide roller 12B and separated from the adhesive sheet base material BS. A cover sheet collecting roller 13 that applies and winds and collects the cover sheet CS, an adhesive sheet AS that forms a closed loop cut CU in the adhesive sheet base material BS, and is located inside the cut CU. A cutting means 14 for forming an unnecessary sheet US located outside the cut CU, and a second suction roller capable of sucking the material RS from which the unnecessary sheet US has been peeled off at its outer peripheral surface 15A. A rotation motor 16 serving as a driving device, which is a second rotational force applying means for supporting the second suction roller 15 with the output shaft 16 </ b> A and rotating the second suction roller 15, and a second suction roller 15. And a first suction roller 21 for urging the sheet RS with each other, and a repetition output applying unit 17 for applying repetition output to the sheet RS from which the unnecessary sheet US has been peeled off. It has a configuration. The outer peripheral surface 15A of the second suction roller 15 can be suction-held by a pressure reducing means (holding means) (not shown) such as a pressure reducing pump or a vacuum ejector.
The cutting means 14 is supported by an output shaft 14B of a rotary motor 14A as a driving device, and has a die-cut roller 14D provided with a cutting blade 14C as a closed-loop cutting member on a circumferential surface, and a synchronous rotation with the die-cut roller 14D. And an anvil roller 14E.
The repetitive output applying means 17 includes a support plate 17C supported by a slider 17B of a linear motor 17A as a drive device, a rotation motor 17D as a drive device supported by the support plate 17C, and a rotation motor 17D (not shown). A predetermined tension is always applied to the release sheet RL between the drive roller 17F supported by the output shaft and sandwiching the release sheet RL with the pinch roller 17E and the pinch roller 17E, and the release sheet RL is wound. And a release sheet collecting roller 17G for collecting the sheet.

剥離手段20は、不要シートUSをその外周面21Aで吸引可能な第1吸引ローラ21と、出力軸22Aで第1吸引ローラ21を支持し、当該第1吸引ローラ21を回転させる第1回転力付与手段であって駆動機器としての回動モータ22と、不要シートUSを案内する案内ローラ23と、第1吸引ローラ21との間に存在する不要シートUSに、常に所定の張力を付与して当該不要シートUSを巻回して回収する不要シート回収ローラ24とを備えている。なお、第1吸引ローラ21の外周面21Aは、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段(保持手段)によって、吸着保持が可能となっている。   The peeling unit 20 supports a first suction roller 21 that can suck the unnecessary sheet US on an outer peripheral surface 21A thereof, and a first rotational force that supports the first suction roller 21 by an output shaft 22A and rotates the first suction roller 21. A predetermined tension is always applied to the unnecessary sheet US existing between the rotating motor 22 serving as a driving device as a driving device, the guide roller 23 for guiding the unnecessary sheet US, and the first suction roller 21. An unnecessary sheet collecting roller 24 for winding and collecting the unnecessary sheet US is provided. The outer peripheral surface 21A of the first suction roller 21 can be sucked and held by a not-shown depressurizing unit (holding unit) such as a depressurizing pump or a vacuum ejector.

押圧手段30は、全部が繰出手段10と共用されており、リニアモータ17A、スライダ17B、支持プレート17C、回動モータ17D、ピンチローラ17E、駆動ローラ17Fおよび剥離シート回収ローラ17Gを備えている。   The pressing unit 30 is shared with the feeding unit 10 and includes a linear motor 17A, a slider 17B, a support plate 17C, a rotating motor 17D, a pinch roller 17E, a driving roller 17F, and a release sheet collecting roller 17G.

支持手段40は、駆動機器としての直動モータ41と、直動モータ41の出力軸41Aに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段(保持手段)によって、吸着保持が可能な保持面42Aを有するテーブル42とを備えている。   The supporting means 40 is supported by a linear motor 41 as a driving device and an output shaft 41A of the linear motor 41, and can be held by suction by a pressure reducing means (holding means) such as a pressure reducing pump or a vacuum ejector. And a table 42 having a surface 42A.

以上の不要シート除去装置EAを備えたシート貼付装置EA1の動作を説明する。
先ず、図1中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置EA1に対し、当該シート貼付装置EA1の使用者(以下、単に「使用者」という)が接着シート積層体RS1を同図に示すようにセットし、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、繰出手段10および剥離手段20が回動モータ14A、16、17D、22および図示しない減圧手段を駆動し、接着シート積層体RS1を繰り出しつつ、ダイカットローラ14Dを回転させて接着シート基材BSに閉ループ状の切込CUを形成することにより、剥離シートRLに接着シートASと不要シートUSとが仮着された原反RSを形成し、当該原反RSを繰り出す。
The operation of the sheet sticking device EA1 including the above unnecessary sheet removing device EA will be described.
First, the user of the sheet sticking apparatus EA1 (hereinafter, simply referred to as “user”) attaches the adhesive sheet laminate RS1 to the sheet sticking apparatus EA1 in which each member is arranged at an initial position indicated by a solid line in FIG. It is set as shown in the figure, and a signal for starting automatic operation is inputted through operation means (not shown) such as an operation panel and a personal computer. Then, the feeding means 10 and the peeling means 20 drive the rotary motors 14A, 16, 17D, 22 and a pressure reducing means (not shown) to rotate the die-cut roller 14D while feeding out the adhesive sheet laminate RS1, and the adhesive sheet base material BS. By forming a cut CU in a closed loop shape on the base material, a material RS in which the adhesive sheet AS and the unnecessary sheet US are temporarily attached to the release sheet RL is formed, and the material RS is fed.

次いで、図1に示すように、剥離シートRLに仮着された先頭の接着シートASの繰出方向先端部が第2吸引ローラ15の下方所定位置に到達したことを、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等からなる図示しないシート先端検知機器が検知すると、繰出手段10および剥離手段20が回動モータ14A、16、17D、22の駆動を停止する。
ここで、上記のようにして原反RSが繰り出されると、繰出手段10は、第2吸引ローラ15の外周面15Aで原反RSを吸引しつつ、当該外周面15Aを当該原反RSの繰出速度と同じ速度で回転させ、原反RSを繰出力付与手段17方向に誘導する。一方、剥離手段20は、第1吸引ローラ21の外周面21Aで不要シートUSを吸引しつつ、当該外周面21Aを原反RSの繰出速度と同じ速度で回転させ、不要シートUSを剥離シートRLから剥離し、剥離した不要シートUSを不要シート回収ローラ24方向に誘導する。これにより、原反RSは、当該原反RSの長手方向に交差する方向D2に張力が付与され、不要シートUSは、当該不要シートUSの長手方向に交差する方向D1に張力が付与されて、不要シートUSが剥離シートRLから剥離される。そして、不要シート回収ローラ24方向に誘導された不要シートUSは、不要シート回収ローラ24に巻回されて回収される。
なお、カバーシートCSは、第2ガイドローラ12Bで接着シート基材BSから剥離され、カバーシート回収ローラ13に巻回されて回収される。
Next, as shown in FIG. 1, the camera or the projector or the like detects that the leading end of the first adhesive sheet AS temporarily attached to the release sheet RL in the feeding direction has reached a predetermined position below the second suction roller 15. When a sheet leading end detecting device (not shown) including various sensors such as an optical sensor and an ultrasonic sensor detects the output, the feeding unit 10 and the peeling unit 20 stop driving the rotary motors 14A, 16, 17D, and 22.
Here, when the material RS is fed out as described above, the feeding means 10 sucks the material RS with the outer peripheral surface 15A of the second suction roller 15 and moves the outer surface 15A to feed the material RS. Rotation is performed at the same speed as the speed, and the material RS is guided toward the repetitive output applying means 17. On the other hand, the peeling means 20 rotates the outer peripheral surface 21A at the same speed as the feeding speed of the raw material RS while sucking the unnecessary sheet US by the outer peripheral surface 21A of the first suction roller 21, and removes the unnecessary sheet US from the release sheet RL. And the unnecessary sheet US that has been separated is guided toward the unnecessary sheet collecting roller 24. As a result, tension is applied to the raw sheet RS in a direction D2 crossing the longitudinal direction of the raw sheet RS, and the unnecessary sheet US is tensioned in a direction D1 crossing the longitudinal direction of the unnecessary sheet US, The unnecessary sheet US is peeled from the release sheet RL. The unnecessary sheet US guided to the unnecessary sheet collecting roller 24 is wound around the unnecessary sheet collecting roller 24 and collected.
The cover sheet CS is separated from the adhesive sheet base material BS by the second guide roller 12B, and is wound around the cover sheet collecting roller 13 and collected.

その後、使用者または、ベルトコンベアや多関節ロボット等の図示しない搬送手段が、図1に示すように、保持面42A上にウエハWFを載置すると、支持手段40が図示しない減圧手段を駆動し、保持面42AでのウエハWFの吸着保持を開始する。次に、繰出手段10が回動モータ17Dの駆動をロックした状態でリニアモータ17Aを駆動し、図1中二点鎖線で示すように、支持プレート17Cを右方へ移動させて原反RSを繰り出す。この際も、繰出手段10および剥離手段20が回動モータ14A、16、22を駆動し、カバーシート回収ローラ13でカバーシートCSを回収し、接着シート基材BSに切込CUを形成して原反RSを形成するとともに、第2吸引ローラ15の外周面15Aで原反RSを吸引しつつ、当該原反RSを繰出力付与手段17方向に誘導し、第1吸引ローラ21の外周面21Aで不要シートUSを吸引しつつ、当該不要シートUSを不要シート回収ローラ24方向に誘導する。そして、先頭の接着シートASに次ぐ次の接着シートASの繰出方向先端部が第2吸引ローラ15の下方所定位置に到達したことを、図示しないシート先端検知機器が検知すると、繰出手段10および剥離手段20がリニアモータ17A、回動モータ14A、16、22の駆動を停止する。   Thereafter, when the user or a transfer means (not shown) such as a belt conveyor or an articulated robot places the wafer WF on the holding surface 42A as shown in FIG. 1, the support means 40 drives the pressure reducing means (not shown). Then, the suction holding of the wafer WF on the holding surface 42A is started. Next, the linear motor 17A is driven in a state where the feeding means 10 locks the driving of the rotation motor 17D, and the support plate 17C is moved rightward as shown by a two-dot chain line in FIG. Roll out. Also at this time, the feeding means 10 and the peeling means 20 drive the rotating motors 14A, 16, 22 to collect the cover sheet CS with the cover sheet collecting roller 13 and form the cut CU in the adhesive sheet base material BS. The raw RS is formed, and the raw RS is sucked by the outer peripheral surface 15 </ b> A of the second suction roller 15, and the raw RS is guided toward the repetitive output applying unit 17. To guide the unnecessary sheet US toward the unnecessary sheet collection roller 24 while sucking the unnecessary sheet US. When the sheet leading end detecting device (not shown) detects that the leading end of the next adhesive sheet AS following the leading adhesive sheet AS has reached a predetermined position below the second suction roller 15, the feeding means 10 and the peeling unit The means 20 stops the driving of the linear motor 17A and the rotating motors 14A, 16 and 22.

次いで、支持手段40が直動モータ41を駆動し、図1中二点鎖線で示すように、テーブル42を上昇させた後、押圧手段30がリニアモータ17Aおよび回動モータ17Dを駆動し、駆動ローラ17Fを転動させて原反RSをウエハWFに押圧しながら支持プレート17Cを左方に移動させる。これにより、ウエハWFの上面に接着シートASが貼付されるとともに、当該接着シートASから剥離シートRLが剥離され、剥離された剥離シートRLが剥離シート回収ローラ17Gに回収される。その後、接着シートASから剥離シートRLが完全に剥離され、支持プレート17Cが初期位置に復帰すると、押圧手段30がリニアモータ17Aおよび回動モータ17Dの駆動を停止する。   Next, the support means 40 drives the linear motor 41, and as shown by the two-dot chain line in FIG. 1, after raising the table 42, the pressing means 30 drives the linear motor 17A and the rotary motor 17D, The support plate 17C is moved to the left while rolling the roller 17F and pressing the raw material RS against the wafer WF. Thus, the adhesive sheet AS is stuck on the upper surface of the wafer WF, the release sheet RL is peeled off from the adhesive sheet AS, and the peeled release sheet RL is collected by the release sheet collecting roller 17G. Thereafter, when the release sheet RL is completely released from the adhesive sheet AS and the support plate 17C returns to the initial position, the pressing means 30 stops driving the linear motor 17A and the rotation motor 17D.

次に、支持手段40が直動モータ41を駆動し、テーブル42を初期位置に復帰させた後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面42AでのウエハWFの吸着保持を解除する。そして、使用者または図示しない搬送手段が、保持面42A上のウエハWFを次の工程に搬送し、以降上記同様の動作が繰り返される。   Next, after the supporting means 40 drives the linear motion motor 41 to return the table 42 to the initial position, the driving of the pressure reducing means (not shown) is stopped, and the suction holding of the wafer WF on the holding surface 42A is released. Then, the user or a transport unit (not shown) transports the wafer WF on the holding surface 42A to the next step, and thereafter, the same operation as described above is repeated.

以上のような実施形態によれば、第1吸引ローラ21の外周面21Aで不要シートUSを吸引しつつ、当該外周面21Aを原反RSの繰出速度と同じ速度で回転させ、不要シートUSを剥離シートRLから剥離するので、不要シートUSは、当該不要シートUSの長手方向に交差する方向D1に張力が付与されて剥離シートRLから剥離されることとなる。従って、剥離シートRLから剥離した不要シートUSが当該不要シートUSの長手方向に張力が付与されることが極力抑制され、不要シートUSの剥離不良を極力防止することができる。   According to the above-described embodiment, while the unnecessary sheet US is sucked by the outer peripheral surface 21A of the first suction roller 21, the outer peripheral surface 21A is rotated at the same speed as the feeding speed of the raw material RS to remove the unnecessary sheet US. Since the unnecessary sheet US is separated from the release sheet RL, the unnecessary sheet US is separated from the release sheet RL by applying tension in a direction D1 intersecting the longitudinal direction of the unnecessary sheet US. Therefore, the tension applied to the unnecessary sheet US peeled from the release sheet RL in the longitudinal direction of the unnecessary sheet US is suppressed as much as possible, and defective peeling of the unnecessary sheet US can be prevented as much as possible.

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。   As described above, the best configuration and method for carrying out the present invention have been disclosed in the above description, but the present invention is not limited to this. That is, although the present invention has been particularly shown and described with particular reference to particular embodiments, without departing from the spirit and scope of the invention, the shape, Those skilled in the art can make various modifications in materials, quantities, and other detailed configurations. In addition, the description in which the shapes, materials, and the like disclosed above are limited is merely an example for facilitating the understanding of the present invention, and does not limit the present invention. The description by the name of the member excluding some or all of the limitations such as is included in the present invention.

例えば、繰出手段10は、接着シート基材BSに予め切込CUが形成されることで剥離シートRLに接着シートASと不要シートUSとが仮着された原反RSを支持ローラ11で支持し、当該原反RSを繰り出してもよく、この場合、当該繰出手段10に切断手段14が備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
繰出手段10は、支持プレート17Cを移動させずにまたは移動させつつ、支持ローラ11、第1、第2ガイドローラ12A、12B、カバーシート回収ローラ13、切断手段14等を移動させ、原反RSを繰り出してもよいし、チャックシリンダや吸着パッド等の保持手段で原反RSを保持して繰り出してもよいし、外周面15Aのうち原反RSが当接する原反当接領域E2のみが吸引可能な第2吸引ローラ15を採用してもよいし、外周面15Aの全面が吸引可能な第2吸引ローラ15を採用してもよいし、巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持した接着シート積層体RS1や原反RSを繰り出してもよいし、カバーシートCSや剥離シートRLを巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、カバーシートCSや剥離シートRLを巻回したりファンフォールド折りにしたりすることなく単に集積して回収してもよい。
切断手段14は、接着シート積層体RS1を移動させずにまたは移動させつつ切断部材を移動させ、接着シート基材BSに切込CUを形成して原反RSを形成してもよいし、接着シート基材BSからカバーシートCSを剥離する前に当該カバーシートCSを貫通し、接着シート基材BSに切込CUを形成して原反RSを形成してもよいし、切断部材として、例えば、接着シート基材BSに離間接近することで、当該接着シート基材BSに所定形状の切込CUを形成する所謂平刃を採用してもよいし、切断刃14Cがダイカットローラ14Dに対して着脱可能でもよいし、着脱不能でもよいし、第2吸引ローラ15、回動モータ16、図示しない付勢手段および図示しない減圧手段が備わっていなくてもよい。
第2回転力付与手段は、回動モータ16に代えてまたは併用して、例えば、2軸または3軸以上の関節を備えた多関節ロボットやロータリシリンダ等の駆動機器を採用してもよい。
For example, the feeding means 10 supports, with the support roller 11, the raw sheet RS on which the adhesive sheet AS and the unnecessary sheet US are temporarily attached to the release sheet RL by forming the cut CU in the adhesive sheet base material BS in advance. The source RS may be fed out. In this case, the feeding means 10 may or may not be provided with the cutting means 14.
The feeding means 10 moves the support roller 11, the first and second guide rollers 12A and 12B, the cover sheet collection roller 13, the cutting means 14 and the like without moving the support plate 17C or while moving the support plate 17C. May be drawn out, the raw material RS may be held and pulled out by holding means such as a chuck cylinder or a suction pad, or only the raw material contact area E2 of the outer peripheral surface 15A where the raw material RS comes into contact is sucked. A second suction roller 15 that can be used may be employed, or a second suction roller 15 that can suction the entire outer peripheral surface 15A may be employed. The adhesive sheet laminate RS1 or the raw sheet RS may be unwound, or the cover sheet CS or the release sheet RL may be wound without being wound, for example, by fanfold folding or shredding. It may be to recover Dari chopped in, simply may be recovered by integrating without or to fold fanfold or winding a cover sheet CS and peeling sheet RL.
The cutting means 14 may move the cutting member without moving the adhesive sheet laminate RS1 or while moving the adhesive sheet laminate RS1, form the cut CU in the adhesive sheet base material BS to form the raw material RS, or Before peeling the cover sheet CS from the sheet base material BS, the cover sheet CS may be penetrated, the cut sheet CU may be formed in the adhesive sheet base material BS to form the raw material RS, or as a cutting member, A so-called flat blade that forms a cut CU of a predetermined shape in the adhesive sheet base material BS by separating from and approaching the adhesive sheet base material BS may be employed, or the cutting blade 14C may be moved relative to the die cut roller 14D. It may be detachable or non-detachable, and the second suction roller 15, the rotation motor 16, the urging means (not shown), and the pressure reducing means (not shown) may not be provided.
As the second rotational force applying means, a driving device such as a multi-joint robot having two or more joints or a rotary cylinder may be employed instead of or in combination with the rotating motor 16.

剥離手段20は、外周面21Aのうち不要シートUSが当接する不要シート当接領域E1のみが吸引可能な第1吸引ローラ21を採用してもよいし、外周面21Aの全面が吸引可能な第1吸引ローラ21を採用してもよいし、例えば、ファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして不要シートUSを回収してもよい。
第1回転力付与手段は、回動モータ22に代えてまたは併用して、例えば、2軸または3軸以上の関節を備えた多関節ロボットやロータリシリンダ等の駆動機器を採用してもよい。
The peeling means 20 may employ the first suction roller 21 capable of sucking only the unnecessary sheet contact area E1 of the outer peripheral surface 21A where the unnecessary sheet US contacts, or the first suction roller 21 capable of suctioning the entire outer peripheral surface 21A. One suction roller 21 may be employed, or the unnecessary sheet US may be collected by, for example, fan-folding or cutting with a shredder or the like.
As the first rotational force applying means, a driving device such as a multi-joint robot having two or three or more joints or a rotary cylinder may be employed instead of or in combination with the rotating motor 22.

押圧手段30は、リニアモータ17A、スライダ17B、支持プレート17C、回動モータ17D、ピンチローラ17E、駆動ローラ17Fおよび剥離シート回収ローラ17Gの一部または全部に代えて、繰出手段10と共用することのない部材を採用してもよいし、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持された押圧部材で剥離シートRL上から原反RSをウエハWFに押圧し、接着シートASを当該ウエハWFに貼付してもよいし、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段によって吸着保持が可能な保持部材で剥離シートRLを保持し、当該保持部材で保持した剥離シートRLを接着シートASから離間させて剥離する構成を採用してもよい。   The pressing means 30 is shared with the feeding means 10 instead of part or all of the linear motor 17A, the slider 17B, the support plate 17C, the rotating motor 17D, the pinch roller 17E, the driving roller 17F, and the release sheet collecting roller 17G. May be employed, or the raw sheet RS may be pressed against the wafer WF from above the release sheet RL with a pressing member supported on the output shaft of a linear motor as a driving device, and the adhesive sheet AS may be used as the wafer WF. Or holding the release sheet RL with a holding member supported by an output shaft of a linear motion motor as a driving device and capable of being suction-held by a decompression means such as a decompression pump or a vacuum ejector. A configuration may be adopted in which the release sheet RL held in the step is separated from the adhesive sheet AS and separated.

支持手段40は、保持手段がなくてもよいし、テーブル42を上昇させた際、ウエハWFを接着シートASに当接させてもよいし、当接させなくてもよいし、他の装置でウエハWFを支持する場合、シート貼付装置EA1に備わっていなくてもよい。   The support means 40 may not have the holding means, may make the wafer WF abut on the adhesive sheet AS when the table 42 is raised, may or may not make the wafer WF abut, and may be provided by another device. When supporting the wafer WF, the sheet pasting device EA1 may not be provided.

不要シート除去装置EAは、シート貼付装置EA1以外に、例えば、帯状の剥離シートRLに所定の間隔を隔てて複数の接着シートASが仮着された原反RSであって、不要シートUSのない原反RSを形成する原反製造装置や、接着シートASに所定の印刷や印字を行う印刷機械やプリンタ等、どのようなものに採用されてもよい。
不要シートUSは、剥離シートRLにおける接着シートASが仮着された面に仮着されていてもよいし、剥離シートRLにおける接着シートASが仮着されていない面に仮着されていてもよいし、剥離シートRLにおける接着シートASが仮着された面に仮着されている場合、接着シートASと重ならないように当該接着シートASに隣接して仮着されていてもよいし、接着シートASと重ならないように当該接着シートASから離れるようにして仮着されていてもよいし、接着シートASと重なるように仮着されていてもよい。
The unnecessary sheet removing apparatus EA is, for example, a raw sheet RS in which a plurality of adhesive sheets AS are temporarily attached at predetermined intervals to a strip-shaped release sheet RL, in addition to the sheet attaching apparatus EA1, and there is no unnecessary sheet US. The present invention may be applied to any material, such as a material manufacturing apparatus that forms the material RS, a printing machine or a printer that performs predetermined printing or printing on the adhesive sheet AS.
The unnecessary sheet US may be temporarily attached to the surface of the release sheet RL to which the adhesive sheet AS is temporarily attached, or may be temporarily attached to the surface of the release sheet RL to which the adhesive sheet AS is not temporarily attached. When the adhesive sheet AS of the release sheet RL is temporarily attached to the temporarily attached surface, the adhesive sheet AS may be temporarily attached adjacent to the adhesive sheet AS so as not to overlap with the adhesive sheet AS, It may be temporarily attached so as to be away from the adhesive sheet AS so as not to overlap with the AS, or may be temporarily attached so as to overlap with the adhesive sheet AS.

本発明における接着シートAS、不要シートUSおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートASは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートASが採用された場合は、当該接着シートASを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートASは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層とを有するもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの等1層または2層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等の単体物であってもよいし、それら2つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートASは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。   The material, type, shape, and the like of the adhesive sheet AS, the unnecessary sheet US, and the adherend in the present invention are not particularly limited. For example, the adhesive sheet AS may have a circular shape, an elliptical shape, a polygonal shape such as a triangle or a quadrangle, or other shapes, or may have an adhesive form such as pressure-sensitive adhesiveness or heat-sensitive adhesiveness. When the heat-sensitive adhesive sheet AS is employed, the adhesive sheet AS may be adhered by an appropriate method such as providing an appropriate coil heater for heating the adhesive sheet AS or a heating means such as a heating side such as a heat pipe. In addition, such an adhesive sheet AS is, for example, a single layer having only an adhesive layer, a sheet having a substrate and an adhesive layer, a sheet having an intermediate layer between the substrate and the adhesive layer, and the like. Layer or two or more layers, and further, a so-called double-sided adhesive sheet capable of peeling the substrate from the adhesive layer may be used, and the double-sided adhesive sheet may be a single-layer or multilayer intermediate layer Or a single-layer or multilayer having no intermediate layer. Examples of the adherend include foods, resin containers, semiconductor wafers such as silicon semiconductor wafers and compound semiconductor wafers, circuit substrates, information recording substrates such as optical disks, glass plates, steel plates, pottery, wood plates, resin plates, and the like. It may be a simple substance or a composite formed by two or more of them, and may be a member or an article of any form. In addition, the adhesive sheet AS may be replaced with a functional or application-specific reading method. Any sheet, film, tape, or the like having the shape described above may be used.

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、繰出手段は、複数の接着シートと帯状の不要シートとが帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出すことが可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(他の手段および工程についての説明は省略する)。
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、2軸または3軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持(保持)手段や支持(保持)部材等の被支持部材を支持または保持するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤(接着シート、接着テープ)、粘着剤(粘着シート、粘着テープ)、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持(保持)する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよいし、付勢手段が採用されている場合、ばね、ゴム、樹脂等で構成してもよい。
The means and steps in the present invention are not limited in any way as long as they can perform the operations, functions or steps described for the means and steps, much less the constituents of only one embodiment shown in the above embodiment and There is no limitation to the process at all. For example, if the feeding means can feed out an original sheet in which a plurality of adhesive sheets and a strip-shaped unnecessary sheet are temporarily attached to a strip-shaped release sheet, the feeding means can be compared with the common general technical knowledge at the time of filing the application. There is no limitation as long as it is within the range (the description of other means and steps is omitted).
Driving devices in the above embodiment include electric motors such as a rotary motor, a linear motion motor, a linear motor, a single-axis robot, a multi-joint robot having two or three or more joints, an air cylinder, a hydraulic cylinder, and a rodless. Actuators, such as cylinders and rotary cylinders, can be employed, and those obtained by directly or indirectly combining them can be employed.
In the embodiment, when a rotating member such as a roller is employed, a driving device for rotating the rotating member may be provided, or the surface of the rotating member or the rotating member itself may be deformable such as rubber or resin. It may be constituted by a member, may be constituted by a member that does not deform the surface of the rotating member or the rotating member itself, or may be a member that presses an object to be pressed such as pressing means such as a pressing roller or a pressing head or a pressing member. When employed, instead of or in combination with those exemplified above, a member such as a roller, a round bar, a blade material, rubber, a resin, a sponge, or the like, or pressed by blowing air or gas such as gas. Or a member to be pressed may be formed of a deformable member such as rubber or resin, or may be formed of a member that does not deform, or a peeling plate or a peeling roller. Peeling means and peeling When a member such as a member that separates an object to be separated is used, a member such as a plate member, a round bar, a roller, or the like may be used instead of or in combination with the above examples, or the member may be separated. The object may be formed of a deformable member such as rubber or resin, or may be formed of a member that does not deform, or supports or holds a supported member such as a supporting (holding) means or a supporting (holding) member. When such a device is used, gripping means such as a mechanical chuck or a chuck cylinder, Coulomb force, adhesive (adhesive sheet, adhesive tape), adhesive (adhesive sheet, adhesive tape), magnetic force, Bernoulli suction, suction suction, A configuration in which a supported member is supported (held) by a driving device or the like may be employed, or a member that cuts a member to be cut such as a cutting unit or a cutting member, or forms a cut or a cutting line in the member to be cut. If employed, Instead of or in combination with those exemplified in the above, a cutter blade, a laser cutter, an ion beam, thermal power, heat, water pressure, a heating wire, or a material that is cut by spraying a gas or liquid, or the like, may be used, or an appropriate material may be used. The cutting device may be combined with a driving device to move and cut, or when a biasing unit is employed, the cutting device may be formed of a spring, rubber, resin, or the like.

EA…不要シート除去装置
10…繰出手段
15…第2吸引ローラ
15A…外周面
16…回動モータ(第2回転力付与手段)
20…剥離手段
21…第1吸引ローラ
21A…外周面
22…回動モータ(第1回転力付与手段)
AS…接着シート
RL…剥離シート
RS…原反
US…不要シート
EA: unnecessary sheet removing apparatus 10: feeding means 15: second suction roller 15A: outer peripheral surface 16: rotating motor (second rotating force applying means)
Reference Signs List 20 peeling means 21 first suction roller 21A outer peripheral face 22 rotating motor (first rotating force applying means)
AS: Adhesive sheet RL: Release sheet RS: Raw material US: Unnecessary sheet

Claims (3)

複数の接着シートと帯状の不要シートとが帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記剥離シートから前記不要シートを剥離する剥離手段とを備え、
前記剥離手段は、前記不要シートをその外周面で吸引可能な第1吸引ローラと、当該第1吸引ローラを回転させる第1回転力付与手段とを備え、前記第1吸引ローラの外周面で前記不要シートを吸引しつつ、当該外周面を前記原反の繰出速度と同じ速度で回転させ、前記不要シートを前記剥離シートから剥離することを特徴とする不要シート除去装置。
A feeding unit that feeds out an original sheet in which a plurality of adhesive sheets and a strip-shaped unnecessary sheet are temporarily attached to a strip-shaped release sheet,
A peeling unit that peels off the unnecessary sheet from the release sheet,
The peeling unit includes a first suction roller capable of sucking the unnecessary sheet on an outer peripheral surface thereof, and a first rotational force applying unit for rotating the first suction roller. An unnecessary sheet removing apparatus, wherein the unnecessary sheet is peeled off from the release sheet by rotating the outer peripheral surface at the same speed as the feeding speed of the raw sheet while sucking the unnecessary sheet.
前記繰出手段は、前記不要シートが剥離された前記原反をその外周面で吸引可能な第2吸引ローラと、当該第2吸引ローラを回転させる第2回転力付与手段と、前記第2吸引ローラと前記第1吸引ローラとを相互に付勢する付勢手段とを備え、前記第2吸引ローラの外周面で前記原反を吸引しつつ、当該外周面を当該原反の繰出速度と同じ速度で回転させることを特徴とする請求項1に記載の不要シート除去装置。   A second suction roller capable of suctioning the raw material from which the unnecessary sheet has been peeled off at an outer peripheral surface thereof; a second rotational force applying means for rotating the second suction roller; and the second suction roller And a biasing means for biasing the first suction roller and the first suction roller with each other. While the raw material is sucked by the outer peripheral surface of the second suction roller, the outer peripheral surface has the same speed as the feeding speed of the raw material. 2. The unnecessary sheet removing apparatus according to claim 1, wherein the unnecessary sheet is rotated. 複数の接着シートと帯状の不要シートとが帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記剥離シートから前記不要シートを剥離する剥離工程とを実施し、
前記剥離工程では、第1吸引ローラの外周面で前記不要シートを吸引しつつ、当該外周面を前記原反の繰出速度と同じ速度で回転させ、前記不要シートを前記剥離シートから剥離することを特徴とする不要シート除去方法。
A feeding step in which a plurality of adhesive sheets and a strip-shaped unnecessary sheet are fed out of a web temporarily attached to a strip-shaped release sheet,
Performing a peeling step of peeling the unnecessary sheet from the release sheet,
In the peeling step, while the unnecessary sheet is sucked by the outer peripheral surface of the first suction roller, the outer peripheral surface is rotated at the same speed as the feeding speed of the raw sheet, and the unnecessary sheet is peeled from the release sheet. Characteristic unnecessary sheet removal method.
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