JP2020047698A - スパッタエッチング装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本実施の形態のスパッタエッチング装置について説明する前に、前提構成を有するスパッタエッチング装置について説明する。図3は、前提構成を有するスパッタエッチング装置100Nの構成を示す断面図である。スパッタエッチング装置100Nは、プラズマを使用して、後述の基板2をエッチングするスパッタエッチングを行う機能を有する。
図1は、実施の形態1に係るスパッタエッチング装置100の構成を示す断面図である。スパッタエッチング装置100は、図3のスパッタエッチング装置100Nと比較して、調整機構M1をさらに備える点が異なる。スパッタエッチング装置100のそれ以外の構成および機能は、スパッタエッチング装置100Nと同様なので詳細な説明は繰り返さない。
図2は、実施の形態2に係るスパッタエッチング装置100Aの構成を示す図である。図2を参照して、スパッタエッチング装置100Aは、図3のスパッタエッチング装置100Nと比較して、調整機構M2をさらに備える点が異なる。スパッタエッチング装置100Aのそれ以外の構成および機能は、スパッタエッチング装置100Nと同様なので詳細な説明は繰り返さない。
Claims (4)
- プラズマを使用して基板をエッチングするスパッタエッチングを行う機能を有するスパッタエッチング装置であって、
前記基板が載置されたステージと、
前記プラズマが通過する開口を有するマスクと、を備え、
前記開口は、前記基板のうち、前記プラズマに暴露される領域を規定するように構成されており、
平面視において前記マスクの一部が前記基板と重なるように、当該マスクは当該基板の上方に設けられており、
前記スパッタエッチング装置は、さらに、
前記マスクと前記基板との間の隙間のサイズを調整するための調整機構を備える、
スパッタエッチング装置。 - 前記ステージは、前記基板が載置される上面を有し、
前記調整機構は、板状の部材であるスペーサーを使用して、前記ステージの前記上面の高さを変更する構造を有する
請求項1に記載のスパッタエッチング装置。 - 前記スパッタエッチング装置は、さらに、
前記プラズマを発生させるための、板状の電極を備え、
前記ステージの形状は、板状であり、
前記ステージは、前記電極の上方に存在し、
前記調整機構は、前記スペーサーおよび前記ステージを使用して、当該ステージの前記上面の高さを変更する構造を有し、
前記スパッタエッチング装置の状態には、前記ステージおよび前記電極により前記スペーサーが挟まれた状態である挟み状態と、当該ステージおよび当該電極により当該スペーサーが挟まれていない状態である非挟み状態とが存在し、
前記挟み状態における前記ステージの前記上面の高さは、前記非挟み状態における当該ステージの当該上面の高さより高い
請求項2に記載のスパッタエッチング装置。 - 前記調整機構は、
前記マスクの底面の高さを測定するセンサーと、
前記ステージを鉛直方向に沿って移動させる機能を有する昇降機構とを含み、
前記昇降機構は、前記センサーにより測定された前記底面の高さに基づいて、前記ステージを前記鉛直方向に沿って移動させる
請求項1に記載のスパッタエッチング装置。
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