JP2020030965A - 電極装置、プラズマ発生装置 - Google Patents
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- プロセスガスの導入及び電圧印加により沿面放電のプラズマを発生させて、被処理対象物の表面処理を行うプラズマ発生装置用の電極装置であって、
絶縁基板の表面上に、一対の側部電極と、当該一対の側部電極に電気的に接続され、当該1対の側部電極の間に設けられたプラズマ発生電極とからなる上部電極を有し、
前記絶縁基板の裏面上に、前記プラズマ発生電極の部分に対向する対向領域に配置され、当該対向領域内に設けられた下部電極を有していることを特徴とする電極装置。 - 請求項1に記載の電極装置において、
前記上部電極は、前記一対の側部電極を、当該一対の側部電極の対向方向に延伸した複数の桟電極で接続した梯子形状を有していることを特徴とする電極装置。 - 請求項2に記載の電極装置において、
前記上部電極の前記一対の側部電極は互いに平行であり、
前記下部電極は、前記一対の側部電極の対向方向の長さが当該一対の側部電極の間の間隔よりも小さいことを特徴とする電極装置。 - 請求項1〜3の何れか1項に記載の電極装置において、
前記絶縁基板は、可撓性材料で構成されていることを特徴とする電極装置。 - 請求項1〜4の何れか1項に記載の電極装置において、
前記絶縁基板は、当該絶縁基板の表面側と裏面側との間を貫通する少なくとも1つの貫通孔を有し、
前記貫通孔と、前記上部電極に前記プロセスガスを導入するガス導入部とが接続されていることを特徴とする電極装置。 - 請求項1〜5の何れか1項に記載の電極装置において、
前記上部電極及び前記下部電極の何れか一方が接地電極として構成されていることを特徴とする電極装置。 - 請求項4に記載の電極装置において、
前記電極装置は、円筒形状を有し、
前記上部電極及び前記下部電極は、それぞれ前記円筒形状の内表面及び外表面に設けられていることを特徴とする電極装置。 - 請求項1〜7の何れか1項に記載の電極装置である第1の電極装置及び第2の電極装置で構成されるプラズマ発生装置であって、
前記第1の電極装置の当該上部電極と、前記第2の電極装置の当該上部電極とを、被処理対象物が通過可能な間隔を空けて対向配置し、
前記第1の電極装置と前記第2の電極装置との間にプロセスガスを導入するガス導入口を有していることを特徴とするプラズマ発生装置。
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JPH09186135A (ja) * | 1995-12-27 | 1997-07-15 | Seiko Epson Corp | 沿面放電を用いた表面処理装置及びその方法 |
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JP2015195162A (ja) * | 2014-03-28 | 2015-11-05 | 清水 一男 | 低電圧プラズマ生成用電極及びそれを用いたプラズマ照射方法 |
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