JP2020027692A - 試料搬送装置及び電子顕微鏡 - Google Patents

Abstract

【課題】搬送スピードを確保しつつ、試料ホルダーを載置する台の損傷を防ぐことができる試料搬送装置及び当該試料搬送装置を備える電子顕微鏡を提供する。【解決手段】試料搬送装置１は、試料ホルダー６と、ホルダー装着部材７と、搬送部８を備える。搬送部８は、駆動源（定速モータ３１）と、回転部材（第２歯車３４）と、ガイド部（リニアガイド３９）と、ロッド３７を有する。回転部材は、駆動源によって回転軸を中心に回転し、ガイド部は、ホルダー装着部材７を回転部材の回転軸に直交する直線方向へ案内する。ロッド３７は、回転部材とホルダー装着部材７に回転可能に連結され、ホルダー装着部材７の移動範囲の中間部において、回転部材との連結部分からガイド部までの最短距離が最も大きくなる。【選択図】図６

Description

本発明は、試料を搬送する試料搬送装置、及びこの試料搬送装置を備えた電子顕微鏡に関する。

電子顕微鏡では、一般的に、観察や分析の対象となる試料が、試料ホルダーによって保持される。試料を保持した試料ホルダーは、搬送装置によって電子顕微鏡の試料室に搬送される。試料を搬送する装置としては、例えば、特許文献１に記載されている。特許文献１には、半導体製造装置、フラットパネルディスプレイ、水晶、ストレージ等の基板の処理、検査等の製造に用いられる真空処理室に試料を搬入搬出する真空処理装置用の真空搬送装置が記載されている。

特許文献１に記載された真空搬送装置では、大気側３の回転駆動源５から真空側のバッファ室２へ回転動力を伝達し、この回転動力を、方向変換非接触動力伝達手段８を介して、複数段のリニアガイド６、７に伝達する。そして、リニアガイド６、７を伸縮させ、伸ばした状態でリニアガイド７上のハンド４０が真空処理室１に入って試料Ｗを受け渡す。

特開２００４−１６５５７９号公報

しかしながら、特許文献１に記載された真空搬送装置では、リニアガイド６、７の伸縮が一定のスピードで行われる。そのため、真空処理室１においてハンド４０が試料処理部１ｂに試料Ｗを受け渡す際に、ハンド４０と試料処理部１ｂとの接触により、試料処理部１ｂが損傷する可能性がある。また、試料処理部１ｂが損傷しないように、試料Ｗを受け渡す際のリニアガイド６、７の伸縮を遅くするには、リニアガイド６、７が可変速する制御系を設ける必要ある。

そこで、本発明は、可変速を行う制御系を用いずに、試料ホルダーを支持する台の損傷を防ぐことができる試料搬送装置及びこの試料搬送装置を備える電子顕微鏡を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明の試料搬送装置は、
試料を保持する試料ホルダーと、
前記試料ホルダーに着脱可能に構成されたホルダー装着部材と、
前記ホルダー装着部を直線運動させる搬送部と、を備え、
前記搬送部は、
駆動源と、
前記駆動源によって回転軸を中心に回転する回転部材と、
前記ホルダー装着部材を前記回転部材の前記回転軸に直交する直線方向へ案内するガイド部と、
前記回転部材と前記ホルダー装着部材に回転可能に連結され、前記ホルダー装着部材の移動範囲の中間部において、前記回転部材との連結部分から前記ガイド部までの最短距離が最も大きくなるロッドと、を有し、
前記ホルダー装着部材は、
筒状に形成され、外周部に係合片が設けられた接続部と、
前記接続部に嵌合し、前記接続部を軸回り方向に回転可能、且つ、軸方向に移動可能に支持するベース部と、
前記接続部を前記試料ホルダー側へ付勢する付勢部と、を有し、
前記ベース部と前記接続部の一方は、カム溝を有し、前記接続部と前記ベース部の他方は、前記カム溝に係合するカムピンを有し、
前記カムピン及び前記カム溝は、前記ベース部が前記接続部に対して当該接続部の軸方向へ相対的に移動する際に、前記接続部を一方の回転方向に所定角度まで回転させ、
前記接続部は、回転することにより、前記係合片が前記試料ホルダーに係合する係合位置と、前記係合片が前記試料ホルダーから外れる非係合位置に配置される
ことを特徴とする。

また、上記目的を達成するために、本発明の電子顕微鏡は、
試料に電子ビームを照射するための電子ビーム照射部と、前記電子ビームを照射することにより前記試料から放出される電子を検出する電子検出装置と、前記試料を前記電子ビームが照射される位置に搬送する上記試料搬送装置と、を備える。

本発明によれば、ホルダー装着部の移動範囲の中間部から端部に向かうにつれて試料ホルダーの速度が遅くなるため、可変速を行う制御系を用いずに、試料ホルダーを支持する台の損傷を防ぐことができる。

本発明の一実施形態に係る電子顕微鏡を示す概略構成図である。 本発明の一実施形態に係る試料搬送装置の斜視図である。 本発明の一実施形態に係る試料搬送装置を水平方向に切断した状態を示す説明図である。 本発明の一実施形態に係る試料搬送装置を垂直方向に切断した状態を示す説明図である。 本発明の一実施形態に係る試料搬送装置のカップリングを示す説明図である。 本発明の一実施形態に係る試料搬送装置の搬送部を示す斜視図である。 本発明の一実施形態に係る試料搬送装置のホルダー装着部を移動範囲の中間部まで搬送した状態を示す説明図である。 本発明の一実施形態に係る試料搬送装置のホルダー装着部を移動範囲の端部まで搬送した状態を示す説明図である。 本発明の一実施形態に係る試料搬送装置のホルダー装着部の斜視図である。 本発明の一実施形態に係る試料搬送装置のホルダー装着部の縦断面図である。 本発明の一実施形態に係る試料搬送装置のホルダー装着部のカムピン及びカム溝を示す説明図である。 本発明の一実施形態に係る試料搬送装置の試料交換室に配置された試料ホルダーにホルダー装着部を装着した状態を示す説明図である。 本発明の一実施形態に係る試料搬送装置の試料ホルダーを支持台へ搬送している状態のホルダー装着部を示す説明図である。 本発明の一実施形態に係る試料搬送装置の試料ホルダーを支持台へ配置してホルダー装着部を外した状態を示す説明図である。 本発明の一実施形態に係る支持台に配置された試料ホルダーにホルダー装着部を接近させている状態を示す説明図である。 本発明の一実施形態に係る支持台に配置された試料ホルダーにホルダー装着部を押し付けた状態を示す説明図である。 本発明の一実施形態に係る支持台に配置された試料ホルダーにホルダー装着部を装着した状態を示す説明図である。

以下、本発明を実施するための形態（以下、「実施形態」と記述する）について図面を用いて詳細に説明する。本発明は実施形態に限定されるものではなく、実施形態における種々の数値等は例示である。本明細書及び図面において、同一の構成要素又は実質的に同一の機能を有する構成要素には同一の符号を付することとし、重複する説明は省略する。

＜走査電子顕微鏡＞
本発明の試料搬送装置について説明する前に、当該試料搬送装置を備える本発明の電子顕微鏡について説明する。ここでは、本発明の電子顕微鏡として、走査電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope：ＳＥＭ）装置を例に挙げて説明する。
図１は、本発明の電子顕微鏡を示す概略構成図である。

図１に示すように、走査電子顕微鏡装置１０１は、電子ビーム照射部１０２、電子検出装置１０３、表示部１０４及び試料搬送装置１を少なくとも備えている。電子ビーム照射部１０２は、試料室１０５内に配置された試料１０６に対して電子ビーム（一次電子線）ＥＢを照射する。試料１０６に電子ビームＥＢを照射すると、試料１０６からは、二次電子と反射電子とが放出される。二次電子は、試料１０６の試料表面の原子を励起することによって放出される電子である。反射電子は、試料１０６に照射した電子が試料表面で跳ね返ることによって放出される電子である。

電子ビーム照射部１０２は、電子銃１２１、集束レンズ１２２、Ｘ方向走査用偏向器１２３、Ｙ方向走査用偏向器１２４及び対物レンズ１２５等によって構成されている。電子銃１２１は、電子プローブと呼ばれる細い電子ビームＥＢを出射する。集束レンズ１２２は、電子銃１２１から出射される電子ビームＥＢの太さを調整するためのものであり、例えば、磁石の作用を利用した磁界レンズからなる。

Ｘ方向走査用偏向器１２３は、試料１０６に照射する電子ビームＥＢを、図の左右方向であるＸ方向に走査するためのものである。Ｙ方向走査用偏向器１２４は、試料１０６に照射する電子ビームＥＢを、紙面に垂直な方向であるＹ方向に走査するためのものである。電子銃１２１から出射される電子ビームＥＢは、Ｘ方向走査用偏向器１２３及びＹ方向走査用偏向器１２４によって二次元的に走査される。対物レンズ１２５は、試料１０６に照射する電子ビームＥＢの最終的な径を決める焦点合わせのためのものであり、例えば、集束レンズ１２２と同様に磁界レンズからなる。

電子検出装置１０３は、試料１０６に電子ビームＥＢを照射したときに、試料１０６から放出される反射電子を検出し、その検出した反射電子情報を基に、表示部１０４で表示する反射電子組成像（以下、単に「組成像」と記述する場合がある）を作像するための組成信号を生成する処理を行う。

電子検出装置１０３は、電子ビーム照射部１０２によって試料１０６に照射された電子ビームに基づいて、試料１０６から放出される電子、より具体的には反射電子を検出する複数の検出器１３１を備えている。複数の検出器１３１は、二次元的に走査される電子ビームに基づいて、試料１０６から放出される反射電子をピクセル（画素）単位で検出する例えば半導体タイプの反射電子検出器（半導体検出器）からなり、対物レンズ１２５の下面側に試料１０６に対向して設けられる。本実施形態に係る電子検出装置１０３では、複数の検出器１３１として、周知の４分割反射電子検出器を用いている。

なお、ここでは、複数の検出器１３１として、４分割反射電子検出器を例示しているが、４分割反射電子検出器に限られるものではない。すなわち、検出領域の中心点を中心として、検出領域が放射状に複数に分割されている検出器であれば、複数の検出器１３１として用いることができる。

電子検出装置１０３は、反射電子を検出する複数の検出器１３１の他に、増幅部１３２及び信号処理部１３３を備えている。複数の検出器１３１は、電子ビームＥＢ（電子プローブ）を走査した際に、走査ピクセル（画素）ごとに検出した反射電子の量に応じたレベルの検出信号を出力する。増幅部１３２は、走査ピクセルごとに出力される検出信号を増幅して信号処理部１３３に供給する。

信号処理部１３３は、傾斜情報取得処理部、補正処理部及び作像処理部の各機能部を持つデジタル信号処理部であり、増幅部１３２から供給された検出信号に基づいて組成信号を生成する。また、信号処理部１３３は、生成した組成信号を表示部１０４に供給する。なお、信号処理部１３３については、プロセッサがそれぞれの機能を実現するプログラムを解釈し、ソフトウェアで実行するマイクロコンピュータによって実現することができる。

表示部１０４は、液晶表示装置等からなり、電子検出装置１０３で生成された組成信号に基づいて反射電子組成像を表示する。走査電子顕微鏡装置１０１では、表示部１０４に表示される反射電子組成像から、試料１０６中の組成分布を確認することができる。

＜試料搬送装置＞
次に、試料搬送装置１の構成について、図２及び図３を参照して説明する。
図２は、試料搬送装置１の斜視図である。図３は、試料搬送装置１を水平方向に切断した状態を示す説明図である。

図２及び図３に示すように、試料搬送装置１は、試料交換室４と、試料交換室４に出し入れされる試料ホルダー６と、試料ホルダー６に着脱可能に構成されたホルダー装着部材７と、ホルダー装着部材７を直線運動させる搬送部８とを備える。

この試料搬送装置１は、試料交換室４においてホルダー装着部材７に装着された試料ホルダー６を、搬送部８によって試料室１０５へ搬送する。また、試料室１０５に配置されている試料ホルダー６にホルダー装着部材７して、試料ホルダー６を試料交換室４に搬送する。

［試料交換室］
試料交換室４は、バルブ１１を介して試料室１０５と連結されている。バルブ１１は、試料交換室４と試料室１０５との間の通路を形成する弁箱１２と、弁箱１２を開閉可能に構成された弁体１３とを有する。弁体１３で弁箱１２を塞ぐと、バルブ１１が閉じた状態になり、試料交換室４と試料室１０５との間が閉鎖される。一方、弁箱１２を開放する位置に弁体１３を移動させると、バルブ１１が開いた状態になり、試料交換室４と試料室１０５が連通する。

図２及び図３に示す試料室１０５は、内部の様子が分かるように、一部を切り欠いて示している。この試料室１０５の内部には、試料ホルダー６を支持する支持台１０８が配置されている。支持台１０８の上面には、試料ホルダー６の下部が着脱可能に連結されるホルダー連結部１０８ａが設けられている。

試料交換室４は、中空の筐体であり、上部に交換用窓４ａを有している（図２参照）。この交換用窓４ａは、不図示の交換用蓋によって開閉される。試料ホルダー６は、交換用窓４ａから試料交換室４内に搬入され、交換用窓４ａから外部へ搬出される。また、試料交換室４には、試料ホルダー６の移動を案内するホルダーガイド１５と、真空ポンプ１６が設けられている。

ホルダーガイド１５は、試料交換室４内に配置されている。このホルダーガイド１５には、試料ホルダー６の下部が摺動可能に係合する。真空ポンプ１６は、試料交換室４の側面に取り付けられている。試料室１０５は、真空に保たれており、試料室１０５へ試料ホルダー６（試料１０６）を搬送する場合は、真空ポンプ１６を用いて試料交換室４を真空引きしてからバルブ１１を開く。

［試料ホルダー］
試料ホルダー６は、略直方体状に形成されており、上面に試料保持部２１を有している。また、試料ホルダー６の上面には、不図示の試料保持板が着脱可能な保持板係合部が形成されている。すなわち、試料ホルダー６は、試料保持板を介して試料１０６を保持することもできる。

また、試料ホルダー６の試料室１０５側と反対側の面には、ホルダー装着部材７が係合される係合用溝部２２が設けられている（図１３参照）。この係合用溝部２２は、上方から見た形状が略Ｔ字状であり、開口２２ａと、溝底面２２ｂとを有する。係合用溝部２２における開口２２ａの幅は、溝底面２２ｂの幅よりも小さくなっている。

［搬送部の構成］
次に、搬送部８の構成について、図４〜図８を参照して説明する。
図４は、試料搬送装置１を垂直方向に切断した状態を示す説明図である。図５は、試料搬送装置１のカップリングを示す説明図である。図６は、搬送部８を示す斜視図である。図７は、ホルダー装着部材７を移動範囲の中間部まで搬送した状態を示す説明図である。図８は、ホルダー装着部材７を移動範囲の端部まで搬送した状態を示す説明図である。

図４〜図８に示すように、搬送部８は、本発明に係る駆動源の一具体例を示す定速モータ３１と、カップリング３２と、第１歯車３３と、第２歯車３４と、第３歯車３５と、第４歯車３６と、ロッド３７と、スライダ３８と、リニアガイド３９とを有する。この搬送部８は、ホルダー装着部材７を直線運動させる。

図４に示すように、定速モータ３１は、試料交換室４の外側に固定されている。カップリング３２は、試料交換室４の上壁部を貫通している。カップリング３２は、試料交換室４の外側に配置された定速モータ３１の駆動軸と、試料交換室４内に配置された第１歯車３３を連結する。したがって、定速モータ３１のトルクは、カップリング３２を介して第１歯車３３に伝達される。

図６に示すように、第１歯車３３、第２歯車３４、第３歯車３５、第４歯車３６は、試料交換室４内に配置されており、それぞれ上下方向に平行な軸を中心に回転する。第１歯車３３は、第２歯車３４と噛み合っている。第２歯車３４は、本発明に係る回転部材の一具体例を示すものであり、４つの歯車のうちで最も径が大きい。第２歯車３４の上面には、固定歯車３４ａが形成されており、固定歯車３４ａの中心は、第２歯車３４の回転中心と一致している。

また、第２歯車３４の上面には、本発明に係る被検出部の一具体例を示すスイッチ操作片４１が設けられている。また、第２歯車３４の上方には、本発明に係る検出部の一具体例を示す検出スイッチ４２が配置されている。検出スイッチ４２は、スイッチ操作片４１に押圧されることにより、ホルダー装着部材７が移動範囲の一端に配置されたことを検出する。

第３歯車３５は、第２歯車３４に回転可能に支持されており、第２歯車３４の固定歯車３４ａと噛み合っている。また、第４歯車３６は、第２歯車３４に回転可能に支持されており、第３歯車３５と噛み合っている。

ロッド３７は、略長方形の板状に形成されており、長手方向の一端部が第４歯車３６に固定されている。したがって、ロッド３７は、第４歯車３６を介して第２歯車３４に回転可能に連結されている。また、ロッド３７の長手方向の他端部は、スライダ３８に回転可能に連結されている。以下、ロッド３７の長手方向の一端部を、単に「ロッド３７の一端部」と記載し、ロッド３７の長手方向の他端部を、単に「ロッド３７の他端部」と記載する。

スライダ３８は、リニアガイド３９に摺動可能に係合しており、リニアガイド３９に沿って移動する。また、スライダ３８には、ホルダー装着部材７が固定されている。リニアガイド３９が延びる方向は、第２歯車３４の回転軸に直交する方向であり、試料交換室４と試料室１０５を結ぶ方向である。

第２歯車３４の回転中心から第４歯車３６の回転中心（ロッド３７の一端部の回転中心）までの距離は、第４歯車３６の回転中心（ロッド３７の一端部の回転中心）からロッド３７の他端部の回転中心までの距離と略等しい。また、スライダ３８の移動範囲（試料ホルダー６の搬送距離）は、第２歯車３４の回転中心から第４歯車３６の回転中心（ロッド３７の一端の回転中心）までの距離の約４倍に設定されている。

スライダ３８が移動範囲の一端に配置された状態（図８参照）では、スライダ３８に固定されたホルダー装着部材７の一部が試料室１０５内に進入している。そして、ホルダー装着部材７に装着された試料ホルダー６は、試料室１０５の支持台１０８に配置（装着）されている。

また、スライダ３８が移動範囲の他端に配置された状態（図６参照）では、スライダ３８に固定されたホルダー装着部材７が試料室１０５から最も離れた位置にある。そして、ホルダー装着部材７、及びホルダー装着部材７に装着された試料ホルダー６は、試料交換室４内に配置されている。すなわち、搬送部８は、試料ホルダー６を試料交換室４と試料室１０５との間で往復搬送する。

［搬送部の動作］
次に、搬送部６の動作について説明する。
スライダ３８が移動範囲の他端に配置された状態（図６参照）において、ロッド３７の長手方向は、リニアガイド３９と略平行であり、ロッド３７の一端部（第４歯車３６）がリニアガイド３９の近傍に位置している。この状態において、定速モータ３１の駆動軸が第１の方向に回転すると、そのトルクは、カップリング３２、第１歯車３３、第２歯車３４の順に伝わり、第２歯車３４は、上方から見て時計回りに回転する。

また、定速モータ３１の駆動軸のトルクは、第２歯車３４から第３歯車３５、第４歯車３６の順に伝わる。これにより、第４歯車３６に固定されたロッド３７の一端部が、第２歯車３４の時計回りの回転に伴って変位し、リニアガイド３９から遠ざかる。また、ロッド３７は、第４歯車３６と一緒に上方から見て時計回りに回転する。その結果、ロッド３７の他端部に連結されたスライダ３８は、リニアガイド３９に沿って移動範囲の一端側（試料室１０５側）へ移動する。

その後、ロッド３７の一端部は、リニアガイド３９との最短距離が最も大きくなる位置に変位し、ロッド３７の長手方向は、リニアガイド３９（スライダ３８の移動方向）に対して略垂直になる（図７参照）。このとき、スライダ３８（ホルダー装着部材７）は、移動範囲の中間部に位置する。

さらに、定速モータ３１の駆動軸のトルクが各歯車３３〜３６に伝わると、ロッド３７の一端部は、第２歯車３４の時計回りの回転に伴って変位し、リニアガイド３９に近づいていく。また、ロッド３７は、第４歯車３６と一緒に上方から見て時計回りに回転する。その結果、ロッド３７の他端部に連結されたスライダ３８は、リニアガイド３９に沿って移動範囲の一端に配置される。このとき、スイッチ操作片４１（図６参照）が検出スイッチ４２を押圧し、スライダ３８（ホルダー装着部材７）が移動範囲の一端に配置されたことが検出される。

スライダ３８が移動範囲の一端に配置された状態（図８参照）において、ロッド３７の長手方向は、リニアガイド３９と略平行であり、ロッド３７の一端部（第４歯車３６）がリニアガイド３９の近傍に位置している。

検出スイッチ４２は、スライダ３８（ホルダー装着部材７）が移動範囲の一端に配置されたことを検出すると、その検出結果を定速モータ３１の制御回路に送信する。制御回路は、検出スイッチ４２の検出結果に基づいて、定速モータ３１の駆動軸の第１の回転方向への駆動を停止させ、その後、第１の回転方向とは反対である第２の回転方向への駆動を開始させる。定速モータ３１の駆動軸が第２の方向に回転すると、そのトルクは、カップリング３２、第１歯車３３、第２歯車３４の順に伝わり、第２歯車３４は、上方から見て反時計回りに回転する。

また、定速モータ３１の駆動軸のトルクは、第２歯車３４から第３歯車３５、第４歯車３６の順に伝わる。これにより、第４歯車３６に固定されたロッド３７の一端部が、第２歯車３４の反時計回りの回転に伴って変位し、リニアガイド３９から遠ざかり、その後、リニアガイド３９近づく。その結果、ロッド３７の他端部に連結されたスライダ３８は、リニアガイド３９に沿って移動範囲の他端に配置される。

このような構成の搬送部８によれば、スライダ３８（ホルダー装着部材７）が移動範囲の両端に近づくにつれて、ロッド３７の一端部におけるリニアガイド３９に沿う方向の変位量が小さくなる。そのため、スライダ３８（ホルダー装着部材７）の移動速度は、移動範囲の両端に近づくにつれて遅くなる。したがって、ホルダー装着部材７に装着された試料ホルダー６を試料室１０５の支持台１０８に配置するときに、ホルダー装着部材７の移動速度を遅くすることができ、支持台１０８の損傷を防ぐことができる。

なお、ホルダー装着部材７が移動範囲の他端に配置されると、スイッチ操作片４１に押圧される検出スイッチを設けてもよい。この場合は、検出スイッチの検出結果に応じて、定速モータ３１の駆動を停止する。これにより、ホルダー装着部材７に装着された試料ホルダー６は、試料交換室４内に配置された状態で停止する。

［ホルダー装着部］
次に、ホルダー装着部材７の構成について、図９〜図１１を参照して説明する。
図９は、ホルダー装着部材７の斜視図である。図１０は、ホルダー装着部材７の縦断面図である。図１１は、ホルダー装着部材７のカムピン及びカム溝を示す説明図である。

図９及び図１０に示すように、ホルダー装着部材７は、接続部５１と、ベース部５２と、付勢部５３とを備えている。接続部５１は、接続部本体６１と、接続部本体６１に回転可能に接続された先端ピン６２と、接続部本体６１に固定されたシャフト６３とを有している。

接続部本体６１は、筒状の先端筒６１ａと、先端筒６１ａよりも内径及び外径が大きい後端筒６１ｂとが軸方向に連続する形状である。先端筒６１ａの外周部には、フランジ６４（図９参照）が設けられている。

フランジ６４は、本発明に係るホルダー装着部材の係合片であり、上述した試料ホルダー６の係合用溝部２２に係合される。フランジ６４は、先端筒６１ａの径方向に延びる略長方形の板状に形成されている。フランジ６４の長手方向の長さは、係合用溝部２２における開口２２ａの幅よりも長く、フランジ６４の短手方向の長さは、係合用溝部２２における開口２２ａの幅よりも短い。

係合用溝部２２内において、フランジ６４の長手方向を垂直方向に対して交差させると、フランジ６４は、係合用溝部２２に係合する。また、係合用溝部２２内において、フランジ６４の長手方向を垂直方向と略平行にすると、フランジ６４は、係合用溝部２２から外れる姿勢になる。接続部５１は、回転することにより、フランジ６４が係合用溝部２２に係合する係合位置と、フランジ６４が係合用溝部２２から外れる非係合位置に配置される。

また、先端筒６１ａの後端筒６１ｂ側と反対側の端部には、ベアリング６５を介して先端ピン６２が回転可能に接続されている。この先端ピン６２の頭部は、試料ホルダー６に設けた係合用溝部２２の溝底面２２ｂに接触する接触面６２ａを有しており、この接触面６２ａが曲面に形成されている。

また、先端筒６１ａの内径部には、シャフト６３がねじ等の固定手段により固定されている。シャフト６３は、円柱状に形成されており、後端筒６１ｂにおける先端筒６１ａ側と反対側の端部から突出している。シャフト６３の後端筒６１ｂから突出した部分は、ベース部５２の後述する第１シャフト受け部７２に摺動可能に保持されている。

接続部本体６１の後端筒６１ｂには、円柱状の２つのカムピン６６が取り付けられている。２つのカムピン６６は、後端筒６１ｂを貫通しており、後端筒６１ｂの内側に突出している。２つのカムピン６６における後端筒６１ｂの内側に突出している部分は、ベース部５２の後述するカム溝７６に係合する。

ベース部５２は、ベース部本体７１と、第１シャフト受け部７２と、第２シャフト受け部７３とを有する。ベース部本体７１は、略長方形の板状に形成されている。ベース部本体７１の長手方向の一端部には、第１シャフト受け部７２がねじ等の固定手段を用いて固定されている。また、ベース部本体７１の長手方向の他端部は、搬送部８のスライダ３８（図６参照）にねじ等の固定手段を用いて固定されている。

第１シャフト受け部７２は、円筒状に形成されている。第１シャフト受け部７２の内径（筒孔の径）は、接続部５１におけるシャフト６３の直径よりも大きく、シャフト６３は、第１シャフト受け部７２の内径部（筒孔）を貫通している。これにより、第１シャフト受け部７２は、シャフト６３を軸回り方向に回転可能、且つ、軸方向に移動可能に支持している。

第１シャフト受け部７２の外径は、接続部５１における後端筒６１ｂの内径より小さく、第１シャフト受け部７２の軸方向の一端部は、後端筒６１ｂ内に挿入されている。図１１に示すように、第１シャフト受け部７２の軸方向の一端部における外周面には、周方向に連続する波形のカム溝７６が設けられている。

第１シャフト受け部７２（ベース部５２）が接続部５１に対して当該接続部５１の軸方向へ相対的に移動すると、接続部５１のカムピン６６が、カム溝７６に案内される。接続部５１のカムピン６６が、カム溝７６の谷部から山部（山部から谷部）まで案内されると、接続部５１は、シャフト６３の軸回り方向に約４５度回転する。

また、カム溝７６は、第１シャフト受け部７２の軸方向において互いに対向する溝壁７６ａ，７６ｂを有している。溝壁７６ａは、第１シャフト受け部７２の軸方向における一端側（試料ホルダー６側）に形成されており、溝壁７６ｂは、第１シャフト受け部７２の軸方向における他端側（スライダ３８側）に形成されている。

カム溝７６の溝壁７６ａ，７６ｂは、それぞれ波形に形成されており、位相がずれている。この位相のずれ量は、カムピン６６の半径より大きく設定されている。これにより、第１シャフト受け部７２（ベース部５２）が接続部５１に対して当該接続部５１の軸方向へ相対的に移動した場合に、カム溝７６がカムピン６６を案内する方向を常に一定にすることができる。その結果、第１シャフト受け部７２（ベース部５２）が接続部５１に対して当該接続部５１の軸方向へ相対的に移動すると、接続部５１は、第１シャフト受け部７２の軸回り方向における一定の方向である回転方向Ｒに約４５度ずつ回転する。

第２シャフト受け部７３は、ベース部本体７１の長手方向の中間部に設けられている。この第２シャフト受け部７３は、付勢部５３の後述する付勢用シャフト８１を、軸回り方向に回転可能、且つ、軸方向に移動可能に支持する。

図１０に示すように、付勢部５３は、付勢用シャフト８１と、圧縮コイルばね８２とを有する。付勢用シャフト８１は、上述したように、第２シャフト受け部７３に支持されている。付勢用シャフト８１の軸方向の一端部は、接続部５１のシャフト６３に接触している。そして、付勢用シャフト８１のシャフト６３に接触する接触面８１ａは、曲面に形成されている。

付勢用シャフト８１には、圧縮コイルばね８２の一端が当接するばね係止片８４が形成されている。また、圧縮コイルばね８２の他端は、第２シャフト受け部７３の端面に当接している。接続部５１のカムピン６６が、第１シャフト受け部７２のカム溝７６における溝壁７６ａの谷部にある場合（図１１に示す状態）は、接続部５１と第２シャフト受け部７３との間の距離が所定の距離になり、圧縮コイルばね８２は圧縮されていない。

一方、接続部５１のカムピン６６が、第１シャフト受け部７２のカム溝７６における溝壁７６ａの谷部から溝壁７６ｂ側に案内されると、接続部５１は、回転方向Ｒに回転しながら軸方向における第２シャフト受け部７３側に移動する。これにより、圧縮コイルばね８２が圧縮され、接続部５１は、第２シャフト受け部７３から離れる方向（試料ホルダー６側）へ付勢される。

接続部５１のカムピン６６が、第１シャフト受け部７２のカム溝７６における溝壁７６ｂの谷部に達すると、接続部５１の回転及び移動が停止し、圧縮コイルばね８２の圧縮も停止される。したがって、接続部５１のカムピン６６が、第１シャフト受け部７２のカム溝７６における溝壁７６ｂの谷部にある場合は、付勢部５３による付勢力が最も大きくなる。

＜試料搬送装置の動作＞
次に、試料搬送装置１の動作について、図１２〜図１７を参照して説明する。
図１２は、試料交換室に配置された試料ホルダー６にホルダー装着部材７を装着した状態を示す説明図である。図１３は、試料ホルダー６を支持台へ搬送している状態のホルダー装着部材７を示す説明図である。図１４は、試料ホルダー６を支持台へ配置してホルダー装着部材７を外した状態を示す説明図である。図１５は、支持台に配置された試料ホルダー６にホルダー装着部材７を接近させている状態を示す説明図である。図１６は、支持台に配置された試料ホルダー６にホルダー装着部材７を押し付けた状態を示す説明図である。図１７は、支持台に配置された試料ホルダー６にホルダー装着部材７を装着した状態を示す説明図である。

試料１０６を保持した試料ホルダー６を、試料室１０５の支持台１０８（図２参照）に搬送するには、まず、バルブ１１を閉じて、試料室１０５と試料交換室４との間を閉鎖する。そして、試料交換室４内を大気圧にする。

次に、交換用窓４ａから試料交換室４内へ試料ホルダー６を挿入し、図１２に示すように、試料ホルダー６の係合用溝部２２にホルダー装着部材７のフランジ６４を係合させる。このとき、接続部５１は、係合位置に配置されており、フランジ６４の長手方向が水平方向と平行になっている。

次に、試料交換室４の交換用窓４ａを不図示の交換用蓋で閉じて、真空ポンプ１６を用いて試料交換室４を真空引きしてからバルブ１１を開く。これにより、試料室１０５と試料交換室４との間が開放され、試料ホルダー６を試料室１０５の支持台１０８へ搬送可能になる。

次いで、搬送部８を駆動させる。具体的には、定速モータ３１の駆動軸を第１の方向に回転させる。これにより、定速モータ３１の駆動軸のトルクが各歯車３３〜３６及びロッド３７に順に伝わり、ロッド３７に連結されたスライダ３８、及びスライダ３８に固定されたホルダー装着部材７がリニアガイド３９に沿って試料室１０５側へ移動する。

ホルダー装着部材７が試料室１０５側へ移動すると、ホルダー装着部材７の先端ピン６２が試料ホルダー６における係合用溝部２２の溝底面２２ｂに接触し、接続部５１が試料ホルダー６を押圧する。このとき、試料ホルダー６と、試料ホルダー６が摺動するホルダーガイド１５との間に摩擦力（以下、「試料ホルダー６の摩擦力」とする）が生じるため、試料ホルダー６は、接続部５１に押圧されても移動しない。

一方、ホルダー装着部材７のベース部５２は、試料室１０５側へ移動するため、第１シャフト受け部７２（ベース部５２）が、接続部５１に対して当該接続部５１の軸方向へ相対的に移動する。すなわち、第１シャフト受け部７２が接続部５１の後端筒６１ｂ内へ入り込む。また、第１シャフト受け部７２（ベース部５２）が接続部５１に対して相対的に移動することにより、圧縮コイルばね８２が圧縮される。

第１シャフト受け部７２（ベース部５２）が試料室１０５側へ移動すると、接続部５１に設けたカムピン６６が、第１シャフト受け部７２に設けたカム溝７６に案内される。具体的には、カムピン６６が、カム溝７６における溝壁７６ａの谷部から溝壁７６ｂの谷部まで案内される。その結果、接続部５１は、図１３に示すように、回転方向Ｒに約４５度回転する。このとき、接続部５１（接続部本体６１）は、ベアリング６５を用いて回転可能に接続された先端ピン６２を介して試料ホルダー６に接触しているため、円滑に回転することができる。

また、接続部５１が回転方向Ｒに約４５度回転するため、フランジ６４の長手方向は、水平方向に対して約４５度傾く。この状態においても、フランジ６４は、係合用溝部２２に係合している。すなわち、接続部５１は、係合位置に配置されている。

カムピン６６が、カム溝７６における溝壁７６ｂの谷部に係合すると、第１シャフト受け部７２（ベース部５２）の接続部５１に対する相対的な移動が係止され、接続部５１と第１シャフト受け部７２（ベース部５２）が一緒に移動する。その結果、ホルダー装着部材７による試料ホルダー６への押圧力が、試料ホルダー６の摩擦力より大きくなり、試料ホルダー６が試料室１０５の支持台１０８に向かって移動する。また、試料ホルダー６を支持台１０８に向かって移動しているとき、ホルダー装着部材７の圧縮コイルばね８２は、圧縮した状態が維持されている。

試料ホルダー６を試料室１０５の支持台１０８へ搬送後、定速モータ３１の駆動軸は、停止され、その後、第２の方向に回転される。これにより、スライダ３８に固定されたホルダー装着部材７がリニアガイド３９に沿って試料室１０５と反対側へ移動する。

このとき、接続部５１は、圧縮コイルばね８２のばね力によって付勢されて、試料ホルダー６の溝底面２２ｂに押し付けられているため、試料室１０５と反対側へ移動しない。これにより、第１シャフト受け部７２（ベース部５２）が、接続部５１に対して当該接続部５１の軸方向へ相対的に移動する。すなわち、第１シャフト受け部７２が接続部５１の後端筒６１ｂから離れる方向に移動する。そして、圧縮コイルばね８２の圧縮が徐々に解除されていく。

第１シャフト受け部７２が試料室１０５と反対側へ移動すると、接続部５１に設けたカムピン６６が、第１シャフト受け部７２に設けたカム溝７６に案内される。具体的には、カムピン６６が、カム溝７６における溝壁７６ｂの谷部から溝壁７６ａの谷部まで案内される。その結果、接続部５１は、図１４に示すように、回転方向Ｒに約４５度回転する。このとき、接続部５１（接続部本体６１）は、先端ピン６２を介して試料ホルダー６に接触しているため、円滑に回転することができる。

また、接続部５１が回転方向Ｒに約４５度回転するため、フランジ６４の長手方向は、垂直方向と略平行になる。この状態において、フランジ６４は、係合用溝部２２から外れている。すなわち、接続部５１は、非係合位置に配置されている。また、スライダ３８（ホルダー装着部材７）の移動速度は、移動範囲の両端に近づくにつれて遅くなるため、接続部５１が回転方向Ｒに約４５度回転する前に、フランジ６４が係合用溝部２２に干渉しないようにすることができる。

接続部５１が回転方向Ｒに約４５度回転すると、接続部５１と第２シャフト受け部７３との間の距離が所定の距離になり、圧縮コイルばね８２の圧縮が解除される。その結果、図１５に示すように、接続部５１と第１シャフト受け部７２（ベース部５２）が一緒に試料室１０５と反対側へ移動し、ホルダー装着部材７は、試料ホルダー６から離れて試料交換室４に戻る。

次に、試料室１０５の支持台１０８に配置された試料ホルダー６を試料交換室４へ搬送するには、まず、搬送部８を駆動させて、試料交換室４に配置されたホルダー装着部材７を、試料室１０５側へ移動させる。このとき、フランジ６４の長手方向は、垂直方向と略平行になっている。したがって、ホルダー装着部材７のフランジ６４は、試料ホルダー６における係合用溝部２２の開口２２ａを通過することができる。

ホルダー装着部材７が試料室１０５側へ移動すると、フランジ６４が係合用溝部２２の開口２２ａを通過する。そして、接続部５１の先端ピン６２が係合用溝部２２の溝底面２２ｂに接触し、接続部５１が試料ホルダー６を押圧する。このとき、試料ホルダー６の摩擦力が生じるため、試料ホルダー６は、接続部５１に押圧されても移動しない。

一方、ホルダー装着部材７のベース部５２は、試料室１０５側へ移動するため、第１シャフト受け部７２（ベース部５２）が、接続部５１に対して当該接続部５１の軸方向へ相対的に移動する。すなわち、第１シャフト受け部７２が接続部５１の後端筒６１ｂ内へ入り込む。また、第１シャフト受け部７２（ベース部５２）が接続部５１に対して相対的に移動することにより、圧縮コイルばね８２が圧縮される。

第１シャフト受け部７２（ベース部５２）が試料室１０５側へ移動すると、接続部５１に設けたカムピン６６が、第１シャフト受け部７２に設けたカム溝７６に案内される。その結果、接続部５１は、図１６に示すように、回転方向Ｒに約４５度回転する。このとき、接続部５１（接続部本体６１）は、先端ピン６２を介して試料ホルダー６に接触しているため、円滑に回転することができる。

また、接続部５１が回転方向Ｒに約４５度回転するため、フランジ６４の長手方向は、垂直方向に対して約４５度傾く。この状態において、フランジ６４は、係合用溝部２２に係合している。すなわち、接続部５１は、係合位置に配置されている。

カムピン６６が、カム溝７６における溝壁７６ｂの谷部に係合すると、第１シャフト受け部７２（ベース部５２）の接続部５１に対する相対的な移動が係止される。また、ホルダー装着部材７が移動範囲の一端まで移動したため、定速モータ３１の駆動軸は、停止され、その後、第２の方向に回転される。これにより、スライダ３８に固定されたホルダー装着部材７がリニアガイド３９に沿って試料室１０５と反対側へ移動する。

このとき、接続部５１は、圧縮コイルばね８２のばね力によって付勢されて、試料ホルダー６の溝底面２２ｂに押し付けられているため、試料室１０５と反対側へ移動しない。これにより、第１シャフト受け部７２（ベース部５２）が、接続部５１に対して当該接続部５１の軸方向へ相対的に移動する。すなわち、第１シャフト受け部７２が接続部５１の後端筒６１ｂから離れる方向に移動する。そして、圧縮コイルばね８２の圧縮が徐々に解除されていく。

第１シャフト受け部７２が試料室１０５と反対側へ移動すると、接続部５１に設けたカムピン６６が、第１シャフト受け部７２に設けたカム溝７６に案内される。その結果、接続部５１は、図１７に示すように、回転方向Ｒに約４５度回転する。このとき、接続部５１（接続部本体６１）は、先端ピン６２を介して試料ホルダー６に接触しているため、円滑に回転することができる。

また、接続部５１が回転方向Ｒに約４５度回転するため、フランジ６４の長手方向は、水平方向と略平行になっている。この状態において、フランジ６４は、係合用溝部２２に係合している。すなわち、接続部５１は、係合位置に配置されている。また、スライダ３８（ホルダー装着部材７）の移動速度は、移動範囲の両端に近づくにつれて遅くなるため、接続部５１が回転方向Ｒに約４５度回転する前に、フランジ６４が係合用溝部２２に干渉しないようにすることができる。

接続部５１が回転方向Ｒに約４５度回転すると、接続部５１と第２シャフト受け部７３との間の距離が所定の距離になり、圧縮コイルばね８２の圧縮が解除される。その結果、接続部５１と第１シャフト受け部７２（ベース部５２）が一緒に試料室１０５と反対側へ移動し、試料ホルダー６が装着されたホルダー装着部材７は、試料交換室４に戻る。

＜実施形態の効果＞
以上説明した実施形態によれば、搬送部８が、回転部材の一具体例を示す第２歯車３４と、ガイド部の一具体例を示すリニアガイド３９と、ロッド３７を有する。リニアガイド３９は、スライダ３８（ホルダー装着部材７）を第２歯車３４の回転軸に直交する直線方向へ案内する。ロッド３７は、第２歯車３４とスライダ３８（ホルダー装着部材７）に回転可能に連結され、スライダ３８（ホルダー装着部材７）の移動範囲の中間部において、第２歯車３４との連結部分からリニアガイド３９まで最短距離が最も大きくなる。

これにより、スライダ３８（ホルダー装着部材７）が移動範囲の両端に近づくにつれて、ロッド３７の第２歯車３４との連結部分におけるリニアガイド３９に沿う方向の変位量が小さくなる。これにより、スライダ３８（ホルダー装着部材７）の移動速度は、移動範囲の両端に近づくにつれて遅くなる。その結果、ホルダー装着部材７に装着された試料ホルダー６を試料室１０５の支持台１０８に配置するときに、可変速を行う制御系を用いずに、ホルダー装着部材７の移動速度を遅くすることができ、支持台１０８の損傷を防ぐことができる。

また、試料ホルダーを装着した交換棒を作業者が操作して、試料ホルダーを試料室の支持台に搬送する試料搬送装置が知られている。しかし、このような試料搬送装置は、搬送距離の約２倍の長さのスペースを確保する必要があり、装置全体の占有領域大きくなる。しかし、本実施形態によれば、上述の搬送部８を備えるため、装置全体の占有領域の縮小化を図ることができる。

また、本実施形態では、カム溝７６は、波形に形成されており、互いに対向する溝壁７６ａ，７６ｂの位相がずれている。これにより、接続部５１を一方向（回転方向Ｒ）に回転させて、フランジ６４と係合用溝部２２の係合、及び係合解除を容易に行うことができる。

また、本実施形態では、接続部５１が、接続部本体６１と、接続部本体６１に回転可能に接続され、試料ホルダー６に接触する先端ピン６２とを有する。これにより、先端ピン６２が試料ホルダー６に接触した状態で、カムピン６６がカム溝７６に案内されたときに、接続部５１（接続部本体６１）を円滑に回転させることができる。

また、本実施形態では、第２歯車３４（回転部材）にスイッチ操作片４１（被検出部）を取り付けた。また、スイッチ操作片４１に押圧されることで、ホルダー装着部材７が移動範囲の一端（試料室１０５側）に配置されたことを検出する検出スイッチ４２（検出部）を設けた。これにより、ステッピングモーターを用いて駆動軸の回転数を管理しなくても、ホルダー装着部材７の往復搬送を容易に実現することができる。

＜変形例＞
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変形実施が可能である。例えば、上述した実施形態では、ホルダー装着部材７の接続部５１にカムピン６６を設け、第１シャフト受け部７２（ベース部５２）にカム溝７６を設けた。しかし、本発明に係るホルダー装着部材としては、カムピンを第１シャフト受け部（ベース部）に設け、カム溝を接続部に設けてもよい。

また、上述した実施形態では、検出部として物理的な接触を検出する検出スイッチ４２を適用した。しかし、本発明に係る検出部としては、フォトセンサ、赤外線センサ等の種々の検出器を適用することができる。また、上述した実施形態では、被検出部としてのスイッチ操作片４１を第２歯車３４に取り付けた。しかし、本発明に係る被検出部としては、取り付ける位置を適宜設定できるものであり、例えば、ホルダー装着部材７に取り付けてもよい。

また、上述した実施形態では、付勢部５３が圧縮コイルばね８２を有する構成にした。しかし、本発明に係る付勢部としては、接続部を試料ホルダー側へ付勢するものであれば、例えば、板ばねや引っ張りコイルばね等のその他のばね部材を適用してもよく、また、スポンジやゴム等の弾性を有する部材を適用してもよい。

また、上述した実施形態では、リニアガイド３９に摺動可能に係合したスライダ３８にホルダー装着部材７を固定する構成にした。しかし、本発明に係るホルダー装着部材としては、スライダを介さずにリニアガイドに摺動可能に係合するものであってもよい。この場合は、ロッドが、第２歯車（回転部材）とホルダー装着部材に回転可能に連結される。

１・・・試料搬送装置、 ４・・・試料交換室、 ６・・・試料ホルダー、 ７・・・ホルダー装着部材、 ８・・・搬送部、 １１・・・バルブ、 １５・・・ホルダーガイド、 １６・・・真空ポンプ、 ２１・・・試料保持部、 ２２・・・係合用溝部、 ２２ａ・・・開口、 ２２ｂ・・・溝底面、 ３１・・・定速モータ、 ３２・・・カップリング、 ３３・・・第１歯車、 ３４・・・第２歯車、 ３４ａ・・・固定歯車、 ３５・・・第３歯車、 ３６・・・第４歯車、 ３７・・・ロッド、 ３８・・・スライダ、 ３９・・・リニアガイド、 ４１・・・スイッチ操作片、 ４２・・・検出スイッチ、 ５１・・・接続部、 ５２・・・ベース部、 ５３・・・付勢部、 ６１・・・接続部本体、 ６１ａ・・・先端筒、 ６１ｂ・・・後端筒、 ６２・・・先端ピン、 ６３・・・シャフト、 ６４・・・フランジ、 ６５・・・ベアリング、 ６６・・・カムピン、 ７１・・・ベース部本体、 ７２・・・第１シャフト受け部、 ７３・・・第２シャフト受け部、 ７６・・・カム溝、 ７６ａ，７６ｂ・・・溝壁、 ８１・・・付勢用シャフト、 ８２・・・圧縮コイルばね８２、 ８４・・・ばね係止片、 １０１・・・走査電子顕微鏡装置、 １０２・・・電子ビーム照射部、 １０３・・・電子検出装置、 １０４・・・表示部、 １０５・・・試料室、 １０６・・・試料、 １０８・・・支持台、 １０８ａ・・・ホルダー連結部、 １２１・・・電子銃、 １２２・・・集束レンズ、 １２３・・・Ｘ方向走査用偏向器、 １２４・・・Ｙ方向走査用偏向器、 １２５・・・対物レンズ、 １３１・・・検出器、 １３２・・・増幅部、 １３３・・・信号処理部

Claims (5)

1. 試料を保持する試料ホルダーと、
   前記試料ホルダーに着脱可能に構成されたホルダー装着部材と、
   前記ホルダー装着部を直線運動させる搬送部と、を備え、
   前記搬送部は、
   駆動源と、
   前記駆動源によって回転軸を中心に回転する回転部材と、
   前記ホルダー装着部材を前記回転部材の前記回転軸に直交する直線方向へ案内するガイド部と、
   前記回転部材と前記ホルダー装着部材に回転可能に連結され、前記ホルダー装着部材の移動範囲の中間部において、前記回転部材との連結部分から前記ガイド部までの最短距離が最も大きくなるロッドと、を有し、
   前記ホルダー装着部材は、
   筒状に形成され、外周部に係合片が設けられた接続部と、
   前記接続部に嵌合し、前記接続部を軸回り方向に回転可能、且つ、軸方向に移動可能に支持するベース部と、
   前記接続部を前記試料ホルダー側へ付勢する付勢部と、を有し、
   前記ベース部と前記接続部の一方は、カム溝を有し、前記接続部と前記ベース部の他方は、前記カム溝に係合するカムピンを有し、
   前記カムピン及び前記カム溝は、前記ベース部が前記接続部に対して当該接続部の軸方向へ相対的に移動する際に、前記接続部を一方の回転方向に所定角度まで回転させ、
   前記接続部は、回転することにより、前記係合片が前記試料ホルダーに係合する係合位置と、前記係合片が前記試料ホルダーから外れる非係合位置に配置される
   ことを特徴とする試料搬送装置。
2. 前記カム溝は、波形に形成されており、互いに対向する溝壁の位相がずれている
   ことを特徴とする請求項１に記載の試料搬送装置。
3. 前記接続部は、前記ベース部が嵌合する接続部本体と、前記接続部本体に回転可能に接続され、前記試料ホルダーに接触する先端ピンとを有する
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の試料搬送装置。
4. 前記搬送部の前記回転部材に取り付けられた被検出部と、
   前記被検出部を検出して、前記ホルダー装着部が移動範囲の一端に配置されたことを検出する検出部と、を有する
   ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の試料搬送装置。
5. 試料に電子ビームを照射するための電子ビーム照射部と、前記電子ビームを照射することにより前記試料から放出される電子を検出する電子検出装置と、前記試料を前記電子ビームが照射される位置に搬送する試料搬送装置と、を備える電子顕微鏡であって、
   前記試料搬送装置は、
   前記試料を保持する試料ホルダーと、
   前記試料ホルダーに着脱可能に構成されたホルダー装着部材と、
   前記ホルダー装着部を直線運動させる搬送部と、を備え、
   前記搬送部は、
   駆動源と、
   前記駆動源によって回転軸を中心に回転する回転部材と、
   前記ホルダー装着部材を前記回転部材の前記回転軸に直交する直線方向へ案内するガイド部と、
   前記回転部材と前記ホルダー装着部材に回転可能に連結され、前記ホルダー装着部材の移動範囲の中間部において、前記回転部材との連結部分から前記ガイド部までの最短距離が最も大きくなるロッドと、を有し、
   前記ホルダー装着部材は、
   筒状に形成され、外周部に係合片が設けられた接続部と、
   前記接続部に嵌合し、前記接続部を軸回り方向に回転可能、且つ、軸方向に移動可能に支持するベース部と、
   前記接続部を前記試料ホルダー側へ付勢する付勢部と、を有し、
   前記ベース部と前記接続部の一方は、カム溝を有し、前記接続部と前記ベース部の他方は、前記カム溝に係合するカムピンを有し、
   前記カムピン及び前記カム溝は、前記ベース部が前記接続部に対して当該接続部の軸方向へ相対的に移動する際に、前記接続部を一方の回転方向に所定角度まで回転させ、
   前記接続部は、回転することにより、前記係合片が前記試料ホルダーに係合する係合位置と、前記係合片が前記試料ホルダーから外れる非係合位置に配置される
   ことを特徴とする電子顕微鏡。

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