JP2020026355A - Lower lid body, heating furnace, and optical fiber preform replacement method - Google Patents
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Abstract
【課題】加熱炉に装着でき、簡単な機構によって加熱炉内の圧力が一定値以上となるのを防止可能な下蓋体、この下蓋体を設けた加熱炉、および、光ファイバ母材交換方法を提供する。【解決手段】下蓋体30は、線引炉20の上部に光ファイバ母材10が挿入される上部開口部25が設けられ、上部開口部25には光ファイバ母材10との間をシールするシール機構26が設けられており、線引炉20の下部に光ファイバ11を取出す下部開口部28が設けられた線引炉に装着される。下蓋体30は、線引炉20内のガス圧力が所定値以上になった時に、線引炉内のガスを逃す弁を備えた圧抜き弁機構を有する。【選択図】図1PROBLEM TO BE SOLVED: To replace a lower lid body which can be mounted on a heating furnace and can prevent the pressure in the heating furnace from exceeding a certain value by a simple mechanism, a heating furnace provided with the lower lid body, and an optical fiber base material. Provide a method. SOLUTION: The lower lid 30 is provided with an upper opening 25 into which an optical fiber base material 10 is inserted in the upper part of a wire drawing furnace 20, and the upper opening 25 seals between the optical fiber base material 10 and the lower opening 25. The sealing mechanism 26 is provided, and is mounted on the drawing furnace provided with the lower opening 28 for taking out the optical fiber 11 at the lower part of the drawing furnace 20. The lower lid 30 has a pressure relief valve mechanism provided with a valve for releasing the gas in the drawing furnace when the gas pressure in the drawing furnace 20 becomes a predetermined value or more. [Selection diagram] Fig. 1
Description
本発明は、下蓋体、加熱炉、および、光ファイバ母材交換方法に関する。 The present invention relates to a lower lid, a heating furnace, and an optical fiber preform replacement method.
光ファイバを製造するための線引機の線引炉上部には、光ファイバ用ガラス母材(以下、光ファイバ母材という。)の挿入口があり、炉内雰囲気ガスが不必要に抜けないように、シール機構が必要となっている。従来は光ファイバ母材と一定の隙間を設けた気密板との隙間にガスを噴き出してシールするか、あるいは、特許文献1に開示されたように、黒鉛や石英ガラスのような材質のもので光ファイバ母材に接触させてシールする方法が採られていた。また、黒鉛シール片によるシール方法も提案されている。 At the upper part of the drawing furnace of the wire drawing machine for manufacturing optical fibers, there is an insertion port for a glass base material for optical fiber (hereinafter, referred to as an optical fiber base material), and the atmosphere gas in the furnace is not unnecessarily released. Thus, a sealing mechanism is required. Conventionally, a gas is blown into a gap between an optical fiber preform and an airtight plate provided with a certain gap to seal the gap, or as disclosed in Patent Document 1, a material such as graphite or quartz glass is used. A method of sealing by contacting with an optical fiber preform has been adopted. Further, a sealing method using graphite sealing pieces has also been proposed.
線引開始時の線引炉への光ファイバ母材セット時や終了時の光ファイバ母材の取外し時には、昇温状態で上部開口部が解放される。炉内部品として、カーボン部品が使われているため、炉内の酸化防止を行う必要がある。図4は、従来の加熱炉を用いて線引終了時の光ファイバ母材を取り出す際の方法を説明するための図である。線引き時には、図4(A)に示すように、線引炉20の炉心管21内に挿入された光ファイバ母材10をヒータ22で加熱することによって光ファイバ11を線引きしている。光ファイバ母材10は線引炉20の上部開口部25から炉内に挿入され、線引きが終了すると、上部開口部25から取り出される。
When the optical fiber preform is set in the drawing furnace at the start of drawing or when the optical fiber preform is removed at the end, the upper opening is released in a heated state. Since carbon parts are used as furnace components, it is necessary to prevent oxidation in the furnace. FIG. 4 is a view for explaining a method for taking out an optical fiber preform at the time of completion of drawing using a conventional heating furnace. At the time of drawing, as shown in FIG. 4A, the
その際、炉内に流入する大気の混入を避けるために、予め炉体内のガスパージ量を増加するとともに、図4(B)で示すように、線引炉下部の下部開口部29を蓋40で塞いでいた。そして、図4(C)に示すように、炉内から線引後の光ファイバ母材10を取出し、新たな光ファイバ母材10を炉内に挿入することによって、炉の昇温状態を保ったままで連続的な線引きを可能にしていた。
At this time, in order to avoid mixing of the air flowing into the furnace, the gas purge amount in the furnace is increased in advance, and the
しかし、図4(B)に示すように、線引炉の下部開口部29を蓋40で閉塞し、線引炉上部に設けたブレードシャッタなどのシール機構26が光ファイバ母材との間隙をシールしている状態の時に、炉体内のガスパージ量を増加させると、炉体内の内圧が上昇し、比較的強度の低い線引炉上部のシール機構26を破壊する恐れがある。このため、炉体内のガスパージ量は炉体内の内圧を検出しながら調整しなければならなかった。
However, as shown in FIG. 4B, the
本発明は、これらの実情に鑑みてなされたものであり、加熱炉に装着することで、加熱炉内の圧力が一定値以上となるのを防止できる下蓋体、この下蓋体を設けた加熱炉、および、光ファイバ母材交換方法を提供することをその目的とする。 The present invention has been made in view of these circumstances, and is provided with a lower lid body that can be mounted on a heating furnace and that can prevent the pressure in the heating furnace from reaching a certain value or more, and the lower lid body. It is an object of the present invention to provide a heating furnace and an optical fiber preform replacement method.
上記課題を解決するために、本発明の一態様に係る下蓋体は、炉上部に被加熱物が挿入される上部開口と、炉下部に前記被加熱物が取出される下部開口部と、前記上部開口部に前記被加熱物との間をシールするシール機構を有する加熱炉に装着される下蓋体であって、前記下部開口部に装着され、炉内のガス圧力が所定値以上になった時に、炉内のガスを逃す圧抜き弁機構を有する。
また、本発明の一態様に係る加熱炉は、上記の下蓋体を設けたものである。
In order to solve the above problems, a lower lid according to one embodiment of the present invention has an upper opening in which an object to be heated is inserted in an upper part of a furnace, and a lower opening in which the object to be heated is taken out in a lower part of the furnace. A lower lid mounted on a heating furnace having a sealing mechanism for sealing between the upper opening and the object to be heated, wherein the lower lid is mounted on the lower opening and a gas pressure in the furnace is equal to or higher than a predetermined value. It has a pressure relief valve mechanism to release gas in the furnace when it becomes.
Further, a heating furnace according to one embodiment of the present invention includes the above-described lower lid.
また、本発明の一態様に係る光ファイバ母材交換方法は、加熱炉内に配設された光ファイバ母材を交換する光ファイバ母材交換方法であって、前記加熱炉は、上部開口部と、下部開口部と、前記上部開口部に該上部開口部から挿入される光ファイバ母材との間をシールするシール機構を有し、前記加熱炉内に挿入された光ファイバ母材を交換する際に下蓋体を装着する工程と、炉内のガス圧力を高めた状態で、前記加熱炉内に挿入された光ファイバ母材を取出す工程を有し、前記下蓋体は、前記炉内のガス圧力が所定値以上になった時に炉内のガスを逃す圧抜き弁機構を有する。 An optical fiber preform replacement method according to an aspect of the present invention is an optical fiber preform replacement method for replacing an optical fiber preform disposed in a heating furnace, wherein the heating furnace has an upper opening. And a sealing mechanism for sealing between the lower opening and the optical fiber preform inserted into the upper opening from the upper opening, and replaces the optical fiber preform inserted into the heating furnace. Mounting the lower lid, and removing the optical fiber preform inserted into the heating furnace while the gas pressure in the furnace is increased, wherein the lower lid comprises the furnace A pressure relief valve mechanism for releasing gas in the furnace when the gas pressure in the furnace becomes equal to or higher than a predetermined value.
本発明によれば、加熱炉内の圧力を一定値以上となるのを防止できるため、光ファイバ母材の交換時等において、内圧を検出しながら圧力を調整する必要がなく、加熱炉内への大気の流入を防止しつつ、炉内部品を壊すことがなくなる。 According to the present invention, since it is possible to prevent the pressure in the heating furnace from becoming a fixed value or more, it is not necessary to adjust the pressure while detecting the internal pressure, for example, when exchanging the optical fiber preform. This prevents the in-furnace components from being broken while preventing the inflow of air.
(本願発明の実施形態の説明)
最初に本願発明の実施形態を列記して説明する。
(1)本発明の一態様に係る下蓋体は、炉上部に被加熱物が挿入される上部開口と、炉下部に前記被加熱物が取出される下部開口部と、前記上部開口部に前記被加熱物との間をシールするシール機構を有する加熱炉に装着される下蓋体であって、前記下部開口部に装着され、炉内のガス圧力が所定値以上になった時に、炉内のガスを逃す圧抜き弁機構を有する。
(Description of the embodiment of the present invention)
First, embodiments of the present invention will be listed and described.
(1) The lower lid according to one aspect of the present invention includes an upper opening into which an object to be heated is inserted at the upper part of the furnace, a lower opening at which the object to be heated is taken out at the lower part of the furnace, and an upper opening. A lower lid attached to a heating furnace having a seal mechanism for sealing between the object to be heated, the lower lid being attached to the lower opening, and when a gas pressure in the furnace becomes a predetermined value or more, the furnace It has a pressure relief valve mechanism to release gas inside.
これにより、加熱炉内の圧力を一定値以上となるのを防止できるため、光ファイバ母材の交換時等において、加熱炉内への大気の流入を防止しつつ、炉内部品を壊すことがなくなる。 As a result, the pressure in the heating furnace can be prevented from reaching a predetermined value or more, so that when the optical fiber preform is replaced, the in-furnace components can be broken while preventing the air from flowing into the heating furnace. Disappears.
(2)前記圧抜き弁機構が、前記下蓋体に回動可能に軸支されたアームと、該アームの一端側に設けられ前記下部開口部を塞ぐ弁と、前記アームの他端側に設けられた錘を有する。
これにより、圧抜き弁機構の構造が簡単になり、錘の位置を調整することによって、炉内圧力の微調整も可能になる。
(2) an arm rotatably supported by the lower lid body, a valve provided at one end of the arm for closing the lower opening, and a pressure relief valve mechanism at the other end of the arm. It has a weight provided.
This simplifies the structure of the pressure relief valve mechanism and enables fine adjustment of the furnace pressure by adjusting the position of the weight.
(3)前記圧抜き弁機構が、前記下蓋体に回動可能に軸支されたアームと、該アームの一端側に設けられ前記下部開口部を塞ぐ弁と、前記アームの他端側に設けられたバネを有していてもよい。
これにより、圧抜き弁機構の一つの形態を提供することができる。
(3) an arm rotatably supported by the lower lid body, a valve provided at one end of the arm to close the lower opening, and a pressure relief valve mechanism at the other end of the arm. It may have a spring provided.
Thereby, one form of the pressure relief valve mechanism can be provided.
(4)本発明の一態様に係る加熱炉は、上記の下蓋体を設けた加熱炉であって、(5)前記加熱炉は、内圧100Pa以上、1000Pa以下の範囲で調整可能である。また、(6)前記加熱炉が、光ファイバを製造する線引炉であってもよく、(7)前記加熱炉が、光ファイバ母材を製造する延伸炉であってもよい。
これにより、加熱炉内の圧力が一定値以上となるのを防止でき、その値も調整可能であるため、光ファイバ母材の交換時等において、加熱炉内への大気の流入を防止しつつ、炉内部品を壊すことがなくなる。
(4) The heating furnace according to one embodiment of the present invention is a heating furnace provided with the above-described lower lid, and (5) the heating furnace can be adjusted in an internal pressure range of 100 Pa or more and 1000 Pa or less. (6) The heating furnace may be a drawing furnace for producing an optical fiber, and (7) the heating furnace may be a drawing furnace for producing an optical fiber preform.
Thereby, the pressure in the heating furnace can be prevented from becoming equal to or more than a certain value, and the value can also be adjusted, so that the air can be prevented from flowing into the heating furnace when the optical fiber preform is replaced. In addition, the parts in the furnace are not broken.
(8)本発明の一態様に係る光ファイバ母材交換方法は、加熱炉内に配設された光ファイバ母材を交換する光ファイバ母材交換方法であって、前記加熱炉は、上部開口部と、下部開口部と、前記上部開口部に該上部開口部から挿入される光ファイバ母材との間をシールするシール機構を有し、前記加熱炉内に挿入された光ファイバ母材を交換する際に下蓋体を装着する工程と、炉内のガス圧力を高めた状態で、前記加熱炉内に挿入された光ファイバ母材を取出す工程を有し、前記下蓋体は、前記炉内のガス圧力が所定値以上になった時に炉内のガスを逃す圧抜き弁機構を有する。 (8) An optical fiber preform replacement method according to an aspect of the present invention is an optical fiber preform replacement method for replacing an optical fiber preform disposed in a heating furnace, wherein the heating furnace has an upper opening. Part, a lower opening, a seal mechanism for sealing between the optical fiber preform inserted from the upper opening to the upper opening, the optical fiber preform inserted into the heating furnace At the time of replacement, the step of mounting the lower lid, and, with the gas pressure in the furnace increased, the step of taking out the optical fiber preform inserted into the heating furnace, the lower lid, the lower lid, A pressure relief valve mechanism for releasing gas in the furnace when the gas pressure in the furnace becomes equal to or higher than a predetermined value;
これにより、光ファイバ母材の交換時に、加熱炉内の圧力を一定値以上となるのを防止することができるため、加熱炉内への大気の流入を防止しつつ、炉内部品を壊すことがなくなる。 This makes it possible to prevent the pressure in the heating furnace from reaching a certain value or more when exchanging the optical fiber preform, thereby preventing the inflow of air into the heating furnace and breaking the components in the furnace. Disappears.
(本願発明の実施形態の詳細)
以下、図面を参照しながら、本発明の下蓋体、加熱炉、および、光ファイバ母材交換方法に係る好適な実施形態について説明する。以下の説明において、異なる図面においても同じ符号を付した構成は同様のものであるとして、その説明を省略する場合がある。なお、本発明はこれらの実施形態での例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された事項の範囲内および均等の範囲内におけるすべての変更を含む。また、複数の実施形態について組み合わせが可能である限り、本発明は任意の実施形態を組み合わせたものを含む。
(Details of the embodiment of the present invention)
Hereinafter, preferred embodiments of the lower cover, the heating furnace, and the optical fiber preform replacement method of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description, configurations denoted by the same reference numerals in different drawings are the same, and description thereof may be omitted. It should be noted that the present invention is not limited to the exemplifications of these embodiments, but includes all changes within the scope of the matters described in the claims and within the equivalent scope. Further, the present invention includes a combination of any of the embodiments, as long as a combination of a plurality of embodiments is possible.
(第1の実施形態)
以下の説明では、本発明の実施形態に係る下蓋体を設けた加熱炉として、線引炉の場合について、線引終了後に線引炉内から光ファイバ母材を取り出す際を例に説明する。図1は、本発明の実施形態に係る下蓋体を設けた加熱炉において、線引終了時の光ファイバ母材を取り出す際の方法を説明するための図であり、図2は、本発明の一実施形態に係る下蓋体の概略の断面を示す図である。
(First embodiment)
In the following description, as a heating furnace provided with a lower lid according to an embodiment of the present invention, a case of a drawing furnace will be described by taking as an example a case where an optical fiber preform is taken out of the drawing furnace after drawing is completed. . FIG. 1 is a view for explaining a method of taking out an optical fiber preform at the time of completion of drawing in a heating furnace provided with a lower lid according to an embodiment of the present invention, and FIG. It is a figure showing the schematic section of the lower lid concerning one embodiment.
図1(A)に示すように、光ファイバ11は、石英を主成分とする光ファイバ母材10を光ファイバ用の線引炉20の上方から炉心管21内に下降させながらその先端を加熱溶融し、この光ファイバ母材10の先端を細径化して線引炉20の下方から光ファイバ11として取り出すことにより製造される。線引きされた光ファイバ11は、図示しない冷却装置で冷却された後、外径測定器でその外径を測定され、続いて、表面を樹脂層で保護されて光ファイバ素線となり、ボビン等に巻き取られる。なお、光ファイバ母材が、本発明の被加熱物に相当する。
As shown in FIG. 1 (A), an
線引炉20は、炉心管21とこの炉心管21を囲むように配されたヒータ22と、ヒータ22の外側と筐体24の間に収納された断熱材23を有している。ヒータ22は、炉心管21の内部に挿入された光ファイバ母材10を加熱溶融し、溶融縮径した光ファイバ11を下部チャンバ28から垂下させる。このときの線引炉20内の温度は、約2000℃と非常に高温となるので、線引炉20内の部品には、例えば、耐熱性に優れたカーボンが用いられる。
The drawing
カーボンは、高温の酸素含有雰囲気中で酸化して消耗する性質を有する。このため、線引炉20内は、アルゴンガスやヘリウムガス等の希ガス、窒素ガス(以下、不活性ガス等という)の雰囲気に保つ必要がある。そこで、線引炉20の上部にシール機構26を設け、光ファイバ母材10が挿入される上部開口部25と光ファイバ母材10との間隙をシールするとともに、上部ガス流入口27より、不活性ガス等を炉心管21の内部に送り込んで、炉心管21内部を陽圧に保ち、外気(酸素)が線引炉20内に入り込むことを防いでいる。
Carbon has a property of being oxidized and consumed in a high-temperature oxygen-containing atmosphere. For this reason, the inside of the drawing
また、線引炉20の下部には、例えば、図示しないシャッタを有する下部チャンバ28を設け、線引時には、シャッタの開口が光ファイバ11を通過できる最小の大きさまで絞ることによって、線引炉20内への大気の流入を防いでいる。図1では、不活性ガス等のガス流入口は、上部ガス流入口27のみを有する例を記載しているが、線引炉20の下部にも下部ガス流入口を設けてもよい。
In addition, a
ここで、図1(A)を参照すれば、図に示すように、光ファイバ母材10は線引炉20上部の母材供給口となる上部開口部25から線引炉20内に挿入される。光ファイバ母材10の上側には、例えばダミー部材12が固着され、このダミー部材12が係合された図示しない懸架装置によって、光ファイバ母材10が、炉心管21内に挿入下降される。そして、線引工程が進み、図1(A)に示すように、光ファイバ母材10が所定の長さまで短くなったところで線引工程を終了し、光ファイバ母材10を線引炉20から取り出し、新たな、光ファイバ母材に交換する。なお、図1(A)に示す線引工程では、ダミー部材12の径を光ファイバ母材10の径とほぼ同じ径にしており、光ファイバ母材10が全て線引炉20内に挿入された際に、ダミー部材12がシール機構26によってシールされるようにしているが、線引時に線引炉20の上部開口部がシールされる構造であれば、他のシール機構であってもよい。
Here, referring to FIG. 1A, as shown in the figure, the
線引炉20内の光ファイバ母材10を交換するに当たっては、図1(B)に示すように、光ファイバ母材10が線引炉20内に挿入されて線引炉20の上部開口部25がシール機構26によってシールされている状態を維持しながら、線引炉20の下部開口部29に圧抜き弁機構を有する下蓋体30を装着する。装着の際に、線引炉20内には、線引時と同様に、不活性ガス等を供給し続ける。次に、線引炉20内の圧力を高めた状態で、図1(C)に示すように、線引炉20から光ファイバ母材10を取出す。そして、次の線引用の新たな光ファイバ母材10を線引炉20内に挿入し、シール機構26でシール後、下蓋体30を取り外す。
When exchanging the
下蓋体30は、図2に示すように、下部チャンバ28の下部開口部29を塞ぐように取り付ける。取り付けに当たっては、本実施形態では、例えば、下部チャンバ28に設けた取付用のフランジ28aと下蓋体30に設けたフランジ30aとを突き合わせ、クランプ部材50によって両者を固定している。下蓋体30の取付は、この取付構造以外に、ねじ込みやフックを用いる等、他の取付構造を用いてもよい。
The
下蓋体30には、中央部に下部開口部29と連通する貫通孔31を有し、貫通孔31の下部を塞ぐ弁33が設けられている。弁33は、下蓋体30に一体に設けられたアーム支持部32の箇所で、軸部35によって軸支されたアーム34の一端側に設けられている。軸部35に対して弁33と反対側のアーム34の他端側には、錘36が設けられている。錘36は、アーム34の他端側に形成したネジ37に螺合可能に取り付けられており、軸部35との距離が調整可能となっている。アーム34は軸部35を中心に回動可能であるため、錘36の位置を調整することにより、アーム34の一方側に設けた弁33が貫通孔31を塞ぐ力を調整できる。
The
このシーソー型の圧抜き弁機構によって、線引炉20内の圧力が所定値以上になった際に、弁33が開弁し、線引炉20内の圧力が高まるのを防ぐことができる。このように、アーム34は、線引炉20内の圧力の大きさ応じて軸部35を中心に回動し、シーソーのように動作する。本実施形態の下蓋体30における圧抜き弁機構は、下蓋体30に軸支されて回動可能なアーム34と、弁33と、錘36によって構成される。
This seesaw-type depressurizing valve mechanism can prevent the
実際に、線引炉20内の圧力が100〜1000Paに調整できるように設計した上記のシーソー型の下蓋体30を作製し、500Pa程度に設定して使用した。線引後の光ファイバ母材10が線引炉20内に挿入され、線引炉20上部のシール機構26でシールされている状態で下蓋体30を取り付けた。下蓋体30を取り付けた時点から徐々に炉内圧が上がり、大気混入防止用にパージガス量を通常の線引状態の約10倍に増加させると、500Paを越えて弁33が開き、高温のガスを外部に排出した。次に、その状態で光ファイバ母材10を線引炉20から引き出して、線引炉20の上部開口部25が開口しだすと弁33が閉じた。次の線引用の光ファイバ母材10を線引炉20の上部開口部25から挿入し、炉内の圧力が高まると、再度、弁33が開いてガスを排出した。光ファイバ母材10が線引炉20の上部のシール機構26によってシールされたことを確認し、シーソー型の下蓋体30を外した。このような作業を行った後に、線引炉20内部やシール機構26の損傷を確認したところ、全く異常は見受けられなかった。
Actually, the above-mentioned seesaw-type
(第2の実施形態)
図3は、本発明の他の実施形態に係る下蓋体の概略の断面を示す図である。第1の実施形態では、下蓋体30’として、錘36を用いたシーソー型のものであったが、本実施形態では、バネ38を用いている。図3に示すように、下蓋体30’を、第1の実施形態と同様の方法で、下部チャンバ28の下部開口部29を塞ぐように取り付ける。下蓋体30’は、軸部35で軸支されたアーム34の一端側に弁33が取り付けられており、アーム34の他端側には、バネ38が下蓋体30’のバネ支持部39とアーム34との間に取り付けられている。そして、バネ38のバネ係数とバネ38の軸部35からの距離を調整することによって、弁33が貫通孔31を塞ぐ力を調整している。下蓋体30’は下部チャンバ28に接して取り付けられるため、高温となるので、バネ38は、ある程度、下部チャンバ28から所定距離以上離した状態で設けることが望ましい。
(Second embodiment)
FIG. 3 is a diagram showing a schematic cross section of a lower lid according to another embodiment of the present invention. In the first embodiment, the
以上、本発明の実施形態について説明したが、下蓋体は線引炉だけに取り付けられるものではなく、縦型貫通炉において炉内を酸化防止用パージガスで保護する必要のある炉体、例えば、光ファイバ母材を製造する延伸炉にも有効である。また、線引炉20の下部チャンバ28の下部開口部29に下蓋体を取り付ける例について説明したが、下蓋体は、被加熱物が取出される下部開口部であれば、他の部材の開口部に装着されても構わない。
As described above, the embodiment of the present invention has been described. However, the lower lid body is not attached to only the drawing furnace, and the furnace body which needs to protect the inside of the furnace with a purge gas for preventing oxidation in a vertical penetration furnace, for example, It is also effective for a drawing furnace for producing an optical fiber preform. Also, an example in which the lower lid is attached to the
10…光ファイバ母材、11…光ファイバ、12…ダミー部材、20…線引炉、21…炉心管、22…ヒータ、23…断熱材、24…筐体、25…上部開口部、26…シール機構、27…上部ガス流入口、28…下部チャンバ、28a…フランジ、29…下部開口部、30、30’…下蓋体、30a…フランジ、31…貫通孔、32…アーム支持部、33…弁、34…アーム、35…軸部、36…錘、37…ネジ、38…バネ、39…バネ支持部、40…蓋、50…クランプ部材。
DESCRIPTION OF
Claims (8)
前記下部開口部に装着され、炉内のガス圧力が所定値以上になった時に、炉内のガスを逃す圧抜き弁機構を有する下蓋体。 Heating having an upper opening into which an object to be heated is inserted at the upper part of the furnace, a lower opening at the lower part of the furnace through which the object to be heated is taken out, and a seal mechanism for sealing the object to be heated with the upper opening. A lower lid attached to the furnace,
A lower lid body mounted on the lower opening and having a pressure relief valve mechanism for releasing gas in the furnace when the gas pressure in the furnace becomes a predetermined value or more.
前記加熱炉は、上部開口部と、下部開口部と、前記上部開口部に該上部開口部から挿入される光ファイバ母材との間をシールするシール機構を有し、
前記加熱炉内に挿入された光ファイバ母材を交換する際に下蓋体を装着する工程と、
炉内のガス圧力を高めた状態で、前記加熱炉内に挿入された光ファイバ母材を取出す工程を有し、
前記下蓋体は、前記炉内のガス圧力が所定値以上になった時に炉内のガスを逃す圧抜き弁機構を有する、光ファイバ母材交換方法。 An optical fiber preform replacement method for replacing an optical fiber preform disposed in a heating furnace,
The heating furnace has an upper opening, a lower opening, and a sealing mechanism that seals between the optical fiber preform inserted into the upper opening from the upper opening,
A step of mounting the lower lid when exchanging the optical fiber preform inserted in the heating furnace,
In a state where the gas pressure in the furnace is increased, having a step of taking out the optical fiber preform inserted into the heating furnace,
The optical fiber preform replacement method, wherein the lower lid has a pressure release valve mechanism for releasing gas in the furnace when the gas pressure in the furnace becomes equal to or higher than a predetermined value.
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