JP2019536297A - 単一チップ内に活性コア及びドープされたクラッドを有する固体光増幅器 - Google Patents
単一チップ内に活性コア及びドープされたクラッドを有する固体光増幅器 Download PDFInfo
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Abstract
Description
1.次のエピタキシャル層に類似した格子定数を持つGaAs等の半導体ウエハを選択する。
2.有機金属気相成長法(MOCVD)又は分子線エピタキシ(MBE)のいずれかによって、InGaPなどの組成を有するエッチングストップ層をウエハ上に成長させる。
3.次いで、連続的なMOCVD又はMBEプロセスによって、LEDエピタキシャル構造(全体の厚さが約1〜4ミクロン)を成長させる。典型的なLED構造の一例を図6Aに示す。
4.図3A、図4、図5に示すように、フォトリソグラフィを使用し、次いで、化学気相エッチング又はウェットエッチングを使用して、螺旋状の活性コアループ305を形成する。
5.化学蒸着又は物理的スパッタリングのいずれかを利用して、図4に1つ又は複数の下部クラッド層422として示されるエルビウムドープのSiO2層(約10ミクロンの厚さを有する)を、パターン化された活性コアループの上に堆積する。
6.リソグラフィ、エッチング、及び、金属堆積の手順を使用して、活性コアループのp側に接触するように下部クラッドを通って延在する正電極を作製する。金属トレースは、全ての正電極を相互接続するために使用される。これらの金属トレースは光パワーを散逸させ得るので、それらの幅は最小化されるべきである。
7.クラッド及び活性コア(半導体ウエハが好ましい)の熱膨張係数に近い熱膨張係数を有する新しい基板を、エポキシ又は冶金学的に下部クラッドに結合する。新しい基板は、導電性又は非導電性材料であってもよい。
8.ステップ2に示すエッチングストップ層でエッチングが停止するまで、ウェット化学エッチングを使用して、元のウエハ(この例では、上記のステップ1で説明したGaAs)を除去する。
9.ステップ5と同じプロセスを用いて、(図4に示されるように)上部又は上部のエルビウムドープされた1つ又は複数のクラッド層421を堆積する。
10.ステップ6と同じプロセスを用いて、n側LED活性コアのための負電極及びそれらの電気的相互接続を作成する。
11.完成したウエハを、約10mm×10mmの寸法を有する個々の光増幅器チップにダイシングする。
図3Bの処理手順及び列挙された詳細は、例示的なプロセスとして意図されており、可能な変形を包括しているわけではない。図3B(以下の図11B)では、説明のために、「ステップ」として言及されているが、実際の処理ではこれらの列挙されたプロセスフェーズのいずれもが、複数のサブステップを含み得るか、又は逆に、いくつかの「ステップ」が単一の処理動作で組み合わされてもよく、その結果、「ステップ」はプロセスが実際にどのように実行されるかを限定しているわけではない。
1.次のエピタキシャル層に似た格子定数を持つGaAs等の半導体ウエハを選択する。
2.図6Aに示すLED構造を有するように、有機金属気相成長法(MOCVD)又は分子線エピタキシ(MBE)のいずれかによって、ウエハ上にN型層、QW層を成長させ、次いで、P型層を成長させる。
3.図9、図10、図11Aに示すように、フォトリソグラフィを使用し、次いで、化学気相エッチング又はウェットエッチングを使用して、螺旋状の活性コアループ1105(及びLED発光領域)、その対応する溝、及び、波長板の後の挿入のためのスロット1102を作成する。
4.化学蒸着又は物理的スパッタリングのいずれかを利用して、このクラッド材料が活性コアループのN型層と同じ高さになるまで、エルビウムドープSiO2層を溝に堆積させる。
5.正の電流が拡散するように金属層を堆積させ、次にそのボンドパッドを堆積させる。
6.負の電流拡散のために、金属層をウエハ基板の裏面に堆積し、次いで、(単数又は複数)ボンドパッドを堆積する。(上述のように、ウエハ基板が非導電性材料である場合、負のボンドパッドとN型エピタキシャル層との間に電気接続を確立するために、基板材料を貫通するビア又はスルーホールを形成しなければならない。)
7.完成したウエハを、約10mm×10mmの寸法を有する個々の光増幅器チップにダイシングし、次いで、波長板1108を挿入する。
上記の図3Bと同様に、図11Bは、一例として意図されており、変形及び代替が採用されてもよく、図11Bにおける「ステップ」の使用は、説明の目的のためである。
以下の項目は、国際出願時の請求の範囲に記載の要素である。
(項目1)
基板と、
前記基板上に形成され、光入力部から光出力部への光路を提供する光コアと、
前記光コア内、及び/又は、前記光コアに隣接して、前記基板上に形成された1つ以上の発光構造と、
前記光コア及び前記発光構造が配置される前記基板上に形成される1つ以上のクラッド層であって、前記光コアの屈折率よりも低い屈折率を有し、1つ以上のドーパント元素又はドーパント材料がドープされる前記1つ以上のクラッド層と、
前記発光構造に接続される電気接点であって、前記電気接点に印加された電圧差に応じて、前記発光構造が前記1つ以上のドープされたクラッド層の少なくとも一部を照射する、前記電気接点と、
を備え、
前記ドーパント元素又はドーパント材料は、前記発光構造によって第1の波長範囲の波長よりも短い波長の光で照射されたときに、前記第1の波長範囲内の光を発光する、光増幅器。
(項目2)
前記発光構造は、発光ダイオード(LED)構造を備える、項目1に記載の光増幅器。
(項目3)
前記LED構造は、1つ以上の量子井戸を備える、項目2に記載の光増幅器。
(項目4)
前記発光構造は、前記光コアの少なくとも一部内に形成される、項目1に記載の光増幅器。
(項目5)
前記発光構造は、前記光コアの少なくとも一部に隣接して前記基板上に形成され、前記1つ以上のクラッド層によって前記光コアから分離されている、項目1に記載の光増幅器。
(項目6)
前記第1の波長範囲は、400nm〜3000nmである、項目1に記載の光増幅器。
(項目7)
前記1つ以上のドーパント元素又はドーパント材料は、1つ以上の希土類元素又は金属を含む、項目1に記載の光増幅器。
(項目8)
前記1つ以上の希土類元素は、エルビウムを含む、項目7に記載の光増幅器。
(項目9)
前記1つ以上の希土類元素は、プラセオジム、ツリウム、イッテルビウム、又は、ネオジムのうちの1つ以上の元素を含む、項目7に記載の光増幅器。
(項目10)
前記光コアは、前記基板上に形成されるに際し、前記光路の隣接する部位が互いに反対方向に延びるように、それ自体がループバックする螺旋型の幾何学的形状を有する、項目1に記載の光増幅器。
(項目11)
前記1つ以上のクラッド層は、広帯域増感剤を備える、項目1に記載の光増幅器。
(項目12)
前記光入力部から前記光出力部への前記光路内に波長板をさらに備える、項目1に記載の光増幅器。
(項目13)
前記光入力部から前記光出力部への前記光路内に偏光回転子をさらに備える、項目1に記載の光増幅器。
(項目14)
前記光増幅器は、さらに、前記光入力部と前記光コアの少なくとも一部位との間に偏光結合構造を備え、
前記偏光結合構造は、前記光入力部に入射する光の偏光が単一の偏光に結合されるようにする偏光回転子を備える、項目1に記載の光増幅器。
(項目15)
基板と、
前記基板上に形成され、光入力部から光出力部への光路を提供する光コアと、
前記光コア内、及び/又は、前記光コアに隣接して、前記基板上に形成された1つ以上の発光構造と、
前記光コア及び前記発光構造に沿ったクラッドであって、前記光コアの屈折率よりも低い屈折率を有し、1つ以上のドーパント元素又はドーパント材料でドープされる前記クラッドと、
前記発光構造に接続される電気接点であって、前記電気接点に印加された電圧差に応じて、前記発光構造が前記ドープされたクラッドの少なくとも一部を照射する、前記電気接点と
を備え、
前記ドーパント元素又はドーパント材料は、前記発光構造によって第1の波長範囲の波長よりも短い波長の光で照射されたときに、前記第1の波長範囲内の光を発光する、光増幅器。
(項目16)
前記発光構造は、発光ダイオード(LED)構造を備える、項目15に記載の光増幅器。
(項目17)
前記LED構造は、1つ以上の量子井戸を備える、項目16に記載の光増幅器。
(項目18)
前記発光構造は、前記光コアの少なくとも一部内に形成される、項目15に記載の光増幅器。
(項目19)
前記発光構造は、前記光コアの少なくとも一部に隣接して前記基板上に形成され、前記クラッドによって前記光コアから分離されている、項目15に記載の光増幅器。
(項目20)
前記第1の波長範囲は、400nm〜3000nmである、項目15に記載の光増幅器。
(項目21)
前記1つ以上のドーパント元素又はドーパント材料は、1つ以上の希土類元素又は金属を含む、項目15に記載の光増幅器。
(項目22)
前記1つ以上の希土類元素は、エルビウムを含む、項目21に記載の光増幅器。
(項目23)
前記1つ以上の希土類元素は、プラセオジム、ツリウム、イッテルビウム、又は、ネオジムのうちの1つ以上を含む、項目21に記載の光増幅器。
(項目24)
前記光入力部から前記光出力部への前記光路内に波長板をさらに備える、項目15に記載の光増幅器。
(項目25)
前記光入力部から前記光出力部への前記光路内に偏光回転子をさらに備える、項目15に記載の光増幅器。
(項目26)
前記光増幅器は、さらに、前記光入力部と前記光コアの少なくとも一部位との間に偏光結合構造を備え、
前記偏光結合構造は、前記光入力部に入射する光の偏光が単一の偏光に結合されるようにする偏光回転子を備える、項目15に記載の光増幅器。
(項目27)
前記クラッドは、広帯域増感剤を含む、項目15に記載の光増幅器。
(項目28)
前記光コアは、前記基板上に形成されるに際し、前記光路の隣接する部位が互いに反対方向に延びるように、それ自体がループバックする螺旋型の幾何学的形状を有する、項目15に記載の光増幅器。
(項目29)
光増幅器を形成する方法であって、
第1の基板上に発光エピタキシャル層を成長させるステップと、
パターン化された光コアと、前記光コア内及び/又は前記光コアに隣接する発光構造と、を前記発光エピタキシャル層から形成するステップと、
前記パターン化された光コア上に1つ以上のクラッド層を堆積させるステップであって、前記1つ以上のクラッド層は、前記光コアの屈折率よりも低い屈折率を有し、前記1つ以上のクラッド層は、1つ以上のドーパント元素又はドーパント材料でドープされ、前記ドーパント元素又はドーパント材料は、第1の波長範囲の波長よりも短い波長の光によって照射されると、前記第1の波長範囲内の光を発光する、前記ステップと、
前記1つ以上のクラッド層上に、前記発光構造と接触する第1セットの電気接続部を作製するステップと、
前記第1セットの電気接続部の上に第2の基板を形成するステップと、
前記第1の基板上に形成された前記パターン化された光コアから前記第1の基板を除去するステップと、
前記第1の基板を除去することによって露出された表面上に、前記発光構造と接触する第2の組の電気接続部を作製するステップと、
備える、光増幅器を形成する方法。
(項目30)
前記方法は、さらに、
前記第2の組の電気接続部を作製する前に、前記第1の基板を除去することによって露出された前記表面上に1つ又は複数の追加クラッド層を形成するステップを備え、
前記第2の組の電気接続は、前記1つ又は複数の追加クラッド層の上に形成され、
前記1つ又は複数の追加クラッド層は、前記光コアの屈折率よりも低い屈折率を有し、
前記1つ又は複数の追加クラッド層は、1つ以上の希土類元素又は他のドーパント材料でドープされる、項目29に記載の方法。
(項目31)
前記方法は、さらに、
前記発光エピタキシャル層を成長させる前に前記第1の基板上にエッチングストップ層を形成するステップを備え、
前記発光エピタキシャル層は、前記エッチングストップ層上に成長する、項目29に記載の方法。
(項目32)
前記発光構造は、発光ダイオード(LED)構造を備える、項目29に記載の方法。
(項目33)
前記LED構造は、1つ以上の量子井戸を備える、項目32に記載の方法。
(項目34)
前記発光構造は、前記光コアの少なくとも一部内に形成される、項目29に記載の方法。
(項目35)
前記発光構造は、前記光コアの少なくとも一部に隣接して前記第1の基板上に形成され、前記1つ以上のクラッド層によって前記光コアから分離されている、項目29に記載の方法。
(項目36)
前記第1の波長範囲は、400nm〜3000nmである、項目29に記載の方法。
(項目37)
前記1つ以上のドーパント元素又はドーパント材料は、1つ以上の希土類元素又は金属を含む、項目27に記載の方法。
(項目38)
前記1つ以上の希土類元素は、エルビウムを含む、項目37に記載の方法。
(項目39)
前記1つ以上の希土類元素は、プラセオジム、ツリウム、イッテルビウム、又はネオジムのうちの1つ以上を含む、項目37に記載の方法。
(項目40)
前記パターン化された光コア及び前記発光構造は、エッチングプロセスで形成される、項目29に記載の方法。
(項目41)
前記1つ以上のクラッド層は、化学蒸着プロセスで堆積される、項目29に記載の方法。
(項目42)
前記1つ以上のクラッド層は、スパッタリングプロセスで堆積される、項目29に記載の方法。
(項目43)
光増幅器を形成する方法であって、
基板の第1の表面上に発光エピタキシャル層を成長させるステップと、
パターン化された光コアと、前記光コア内及び/又は前記光コアに隣接する発光構造と、を前記発光エピタキシャル層から形成するステップと、
前記光コア及び前記発光構造に沿ってクラッドを堆積させるステップであって、前記クラッドは、前記光コアの屈折率よりも低い屈折率を有し、前記クラッドは、1つ以上のドーパント元素又はドーパント材料でドープされ、前記ドーパント元素又はドーパント材料は、第1の波長範囲の波長よりも短い波長の光によって照射されると、前記第1の波長範囲内の光を発光する、前記ステップと、
前記発光構造上に、前記発光構造と接触する第1セットの電気接続部を作製するステップと、
前記基板の第2の表面上に又は前記第2の表面を貫通させて、前記発光構造と電気的に接触する第2セットの電気接続部を作製するステップと、
を備える光増幅器の形成方法。
(項目44)
前記基板は、導電性であり、
前記第2セットの電気接続部は、前記基板の前記第2の表面上に形成される、項目43に記載の方法。
(項目45)
前記第2セットの電気接続部は、前記基板を貫通し、これにより、前記発光構造に接触する、項目43に記載の方法。
(項目46)
前記発光構造は、発光ダイオード(LED)構造を備える、項目43に記載の方法。
(項目47)
前記LED構造は、1つ以上の量子井戸を備える、項目46に記載の方法。
(項目48)
前記発光構造は、前記光コアの少なくとも一部内に形成される、項目43に記載の方法。
(項目49)
前記発光構造は、前記光コアの少なくとも一部に隣接して前記基板の第1表面上に形成され、前記クラッドによって前記光コアから分離されている、項目43に記載の方法。
(項目50)
前記第1の波長範囲は、400nm〜3000nmである、項目43に記載の方法。
(項目51)
前記1つ以上のドーパント元素又はドーパント材料は、1つ以上の希土類元素又は金属を含む、項目43に記載の方法。
(項目52)
前記1つ以上の希土類元素は、エルビウムを含む、項目51に記載の方法。
(項目53)
前記1つ以上の希土類元素は、プラセオジム、ツリウム、イッテルビウム、又はネオジムのうちの1つ以上を含む、項目51に記載の方法。
(項目54)
前記パターン化された光コア及び前記発光構造は、エッチングプロセスで形成される、項目43に記載の方法。
(項目55)
前記クラッドは、化学蒸着プロセスで堆積される、項目43に記載の方法。
(項目56)
前記クラッドは、スパッタリングプロセスで堆積される、項目43に記載の方法。
Claims (56)
- 基板と、
前記基板上に形成され、光入力部から光出力部への光路を提供する光コアと、
前記光コア内、及び/又は、前記光コアに隣接して、前記基板上に形成された1つ以上の発光構造と、
前記光コア及び前記発光構造が配置される前記基板上に形成される1つ以上のクラッド層であって、前記光コアの屈折率よりも低い屈折率を有し、1つ以上のドーパント元素又はドーパント材料がドープされる前記1つ以上のクラッド層と、
前記発光構造に接続される電気接点であって、前記電気接点に印加された電圧差に応じて、前記発光構造が前記1つ以上のドープされたクラッド層の少なくとも一部を照射する、前記電気接点と、
を備え、
前記ドーパント元素又はドーパント材料は、前記発光構造によって第1の波長範囲の波長よりも短い波長の光で照射されたときに、前記第1の波長範囲内の光を発光する、光増幅器。 - 前記発光構造は、発光ダイオード(LED)構造を備える、請求項1に記載の光増幅器。
- 前記LED構造は、1つ以上の量子井戸を備える、請求項2に記載の光増幅器。
- 前記発光構造は、前記光コアの少なくとも一部内に形成される、請求項1に記載の光増幅器。
- 前記発光構造は、前記光コアの少なくとも一部に隣接して前記基板上に形成され、前記1つ以上のクラッド層によって前記光コアから分離されている、請求項1に記載の光増幅器。
- 前記第1の波長範囲は、400nm〜3000nmである、請求項1に記載の光増幅器。
- 前記1つ以上のドーパント元素又はドーパント材料は、1つ以上の希土類元素又は金属を含む、請求項1に記載の光増幅器。
- 前記1つ以上の希土類元素は、エルビウムを含む、請求項7に記載の光増幅器。
- 前記1つ以上の希土類元素は、プラセオジム、ツリウム、イッテルビウム、又は、ネオジムのうちの1つ以上の元素を含む、請求項7に記載の光増幅器。
- 前記光コアは、前記基板上に形成されるに際し、前記光路の隣接する部位が互いに反対方向に延びるように、それ自体がループバックする螺旋型の幾何学的形状を有する、請求項1に記載の光増幅器。
- 前記1つ以上のクラッド層は、広帯域増感剤を備える、請求項1に記載の光増幅器。
- 前記光入力部から前記光出力部への前記光路内に波長板をさらに備える、請求項1に記載の光増幅器。
- 前記光入力部から前記光出力部への前記光路内に偏光回転子をさらに備える、請求項1に記載の光増幅器。
- 前記光増幅器は、さらに、前記光入力部と前記光コアの少なくとも一部位との間に偏光結合構造を備え、
前記偏光結合構造は、前記光入力部に入射する光の偏光が単一の偏光に結合されるようにする偏光回転子を備える、請求項1に記載の光増幅器。 - 基板と、
前記基板上に形成され、光入力部から光出力部への光路を提供する光コアと、
前記光コア内、及び/又は、前記光コアに隣接して、前記基板上に形成された1つ以上の発光構造と、
前記光コア及び前記発光構造に沿ったクラッドであって、前記光コアの屈折率よりも低い屈折率を有し、1つ以上のドーパント元素又はドーパント材料でドープされる前記クラッドと、
前記発光構造に接続される電気接点であって、前記電気接点に印加された電圧差に応じて、前記発光構造が前記ドープされたクラッドの少なくとも一部を照射する、前記電気接点と
を備え、
前記ドーパント元素又はドーパント材料は、前記発光構造によって第1の波長範囲の波長よりも短い波長の光で照射されたときに、前記第1の波長範囲内の光を発光する、光増幅器。 - 前記発光構造は、発光ダイオード(LED)構造を備える、請求項15に記載の光増幅器。
- 前記LED構造は、1つ以上の量子井戸を備える、請求項16に記載の光増幅器。
- 前記発光構造は、前記光コアの少なくとも一部内に形成される、請求項15に記載の光増幅器。
- 前記発光構造は、前記光コアの少なくとも一部に隣接して前記基板上に形成され、前記クラッドによって前記光コアから分離されている、請求項15に記載の光増幅器。
- 前記第1の波長範囲は、400nm〜3000nmである、請求項15に記載の光増幅器。
- 前記1つ以上のドーパント元素又はドーパント材料は、1つ以上の希土類元素又は金属を含む、請求項15に記載の光増幅器。
- 前記1つ以上の希土類元素は、エルビウムを含む、請求項21に記載の光増幅器。
- 前記1つ以上の希土類元素は、プラセオジム、ツリウム、イッテルビウム、又は、ネオジムのうちの1つ以上を含む、請求項21に記載の光増幅器。
- 前記光入力部から前記光出力部への前記光路内に波長板をさらに備える、請求項15に記載の光増幅器。
- 前記光入力部から前記光出力部への前記光路内に偏光回転子をさらに備える、請求項15に記載の光増幅器。
- 前記光増幅器は、さらに、前記光入力部と前記光コアの少なくとも一部位との間に偏光結合構造を備え、
前記偏光結合構造は、前記光入力部に入射する光の偏光が単一の偏光に結合されるようにする偏光回転子を備える、請求項15に記載の光増幅器。 - 前記クラッドは、広帯域増感剤を含む、請求項15に記載の光増幅器。
- 前記光コアは、前記基板上に形成されるに際し、前記光路の隣接する部位が互いに反対方向に延びるように、それ自体がループバックする螺旋型の幾何学的形状を有する、請求項15に記載の光増幅器。
- 光増幅器を形成する方法であって、
第1の基板上に発光エピタキシャル層を成長させるステップと、
パターン化された光コアと、前記光コア内及び/又は前記光コアに隣接する発光構造と、を前記発光エピタキシャル層から形成するステップと、
前記パターン化された光コア上に1つ以上のクラッド層を堆積させるステップであって、前記1つ以上のクラッド層は、前記光コアの屈折率よりも低い屈折率を有し、前記1つ以上のクラッド層は、1つ以上のドーパント元素又はドーパント材料でドープされ、前記ドーパント元素又はドーパント材料は、第1の波長範囲の波長よりも短い波長の光によって照射されると、前記第1の波長範囲内の光を発光する、前記ステップと、
前記1つ以上のクラッド層上に、前記発光構造と接触する第1セットの電気接続部を作製するステップと、
前記第1セットの電気接続部の上に第2の基板を形成するステップと、
前記第1の基板上に形成された前記パターン化された光コアから前記第1の基板を除去するステップと、
前記第1の基板を除去することによって露出された表面上に、前記発光構造と接触する第2の組の電気接続部を作製するステップと、
備える、光増幅器を形成する方法。 - 前記方法は、さらに、
前記第2の組の電気接続部を作製する前に、前記第1の基板を除去することによって露出された前記表面上に1つ又は複数の追加クラッド層を形成するステップを備え、
前記第2の組の電気接続は、前記1つ又は複数の追加クラッド層の上に形成され、
前記1つ又は複数の追加クラッド層は、前記光コアの屈折率よりも低い屈折率を有し、
前記1つ又は複数の追加クラッド層は、1つ以上の希土類元素又は他のドーパント材料でドープされる、請求項29に記載の方法。 - 前記方法は、さらに、
前記発光エピタキシャル層を成長させる前に前記第1の基板上にエッチングストップ層を形成するステップを備え、
前記発光エピタキシャル層は、前記エッチングストップ層上に成長する、請求項29に記載の方法。 - 前記発光構造は、発光ダイオード(LED)構造を備える、請求項29に記載の方法。
- 前記LED構造は、1つ以上の量子井戸を備える、請求項32に記載の方法。
- 前記発光構造は、前記光コアの少なくとも一部内に形成される、請求項29に記載の方法。
- 前記発光構造は、前記光コアの少なくとも一部に隣接して前記第1の基板上に形成され、前記1つ以上のクラッド層によって前記光コアから分離されている、請求項29に記載の方法。
- 前記第1の波長範囲は、400nm〜3000nmである、請求項29に記載の方法。
- 前記1つ以上のドーパント元素又はドーパント材料は、1つ以上の希土類元素又は金属を含む、請求項27に記載の方法。
- 前記1つ以上の希土類元素は、エルビウムを含む、請求項37に記載の方法。
- 前記1つ以上の希土類元素は、プラセオジム、ツリウム、イッテルビウム、又はネオジムのうちの1つ以上を含む、請求項37に記載の方法。
- 前記パターン化された光コア及び前記発光構造は、エッチングプロセスで形成される、請求項29に記載の方法。
- 前記1つ以上のクラッド層は、化学蒸着プロセスで堆積される、請求項29に記載の方法。
- 前記1つ以上のクラッド層は、スパッタリングプロセスで堆積される、請求項29に記載の方法。
- 光増幅器を形成する方法であって、
基板の第1の表面上に発光エピタキシャル層を成長させるステップと、
パターン化された光コアと、前記光コア内及び/又は前記光コアに隣接する発光構造と、を前記発光エピタキシャル層から形成するステップと、
前記光コア及び前記発光構造に沿ってクラッドを堆積させるステップであって、前記クラッドは、前記光コアの屈折率よりも低い屈折率を有し、前記クラッドは、1つ以上のドーパント元素又はドーパント材料でドープされ、前記ドーパント元素又はドーパント材料は、第1の波長範囲の波長よりも短い波長の光によって照射されると、前記第1の波長範囲内の光を発光する、前記ステップと、
前記発光構造上に、前記発光構造と接触する第1セットの電気接続部を作製するステップと、
前記基板の第2の表面上に又は前記第2の表面を貫通させて、前記発光構造と電気的に接触する第2セットの電気接続部を作製するステップと、
を備える光増幅器の形成方法。 - 前記基板は、導電性であり、
前記第2セットの電気接続部は、前記基板の前記第2の表面上に形成される、請求項43に記載の方法。 - 前記第2セットの電気接続部は、前記基板を貫通し、これにより、前記発光構造に接触する、請求項43に記載の方法。
- 前記発光構造は、発光ダイオード(LED)構造を備える、請求項43に記載の方法。
- 前記LED構造は、1つ以上の量子井戸を備える、請求項46に記載の方法。
- 前記発光構造は、前記光コアの少なくとも一部内に形成される、請求項43に記載の方法。
- 前記発光構造は、前記光コアの少なくとも一部に隣接して前記基板の第1表面上に形成され、前記クラッドによって前記光コアから分離されている、請求項43に記載の方法。
- 前記第1の波長範囲は、400nm〜3000nmである、請求項43に記載の方法。
- 前記1つ以上のドーパント元素又はドーパント材料は、1つ以上の希土類元素又は金属を含む、請求項43に記載の方法。
- 前記1つ以上の希土類元素は、エルビウムを含む、請求項51に記載の方法。
- 前記1つ以上の希土類元素は、プラセオジム、ツリウム、イッテルビウム、又はネオジムのうちの1つ以上を含む、請求項51に記載の方法。
- 前記パターン化された光コア及び前記発光構造は、エッチングプロセスで形成される、請求項43に記載の方法。
- 前記クラッドは、化学蒸着プロセスで堆積される、請求項43に記載の方法。
- 前記クラッドは、スパッタリングプロセスで堆積される、請求項43に記載の方法。
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