JP2019530211A - 静電チャック、及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
本発明は、金属材料から作られたベース部材(330)と、ベース部材(330)の上面に形成され、且つDC電力が印加される電極層(340)が内部に形成される誘電体層(200)とを備えており、基板(S)の端部の底面を支持するダム部(310)が、誘電体層(200)の上面に形成され、それにより、誘電体層の多孔性を低下させて、寿命を延ばし、且つ、誘電率を高めることにより、基板の接着の改善が可能になる。【選択図】図7
Description
本開示は、基板処理装置に関し、より具体的には、基板処理装置の静電力を使用して基板を固定するための静電チャック、及び当該静電チャックを製造する方法に関する。
静電チャックは、エッチング、CVD、スパッタリング、イオン注入、アッシング、又は気相堆積などの基板処理を実行するように構成された処理チャンバ内で、半導体基板、LCD基板、又はOLED基板などの処理対象基板を誘引して保持するための手段として利用される。
図1に示したように、特許文献1及び2に開示された従来の静電チャックの構造では、内部に電極102を保持する誘電体層103は、シリコーン樹脂などの有機接着剤101によって、金属プレート100に結合され一体化される。
電極102を誘電体層103に埋め込む方法として、セラミックグリーンシートの表面に電極(タングステン)を印刷する方法が用いられる。このグリーンシートは、焼成によって誘電体層に変化するが、焼成(ホットプレス)は、別のセラミックグリーンシートを上部にさらに積層した後に行われる。
一方、大面積基板を処理する基板処理装置で使用される静電チャックの場合、面積の増大によるコスト及び技術的な問題により、静電チャックを製造する別の方法として、特許文献6で開示されているプラズマ溶射法を用いて、誘電体103及び電極102が形成されることがある。
しかしながら、誘電体103及び電極102がプラズマ溶射法によって形成されるときには、ボイドなどの形成により耐電圧特性が劣る、寿命が短い、誘引力が弱いといった問題がある。
加えて、マスクが基板に接近した状態で基板処理が実行される場合には、基板処理の精度は、マスクと基板との間の接近状態によって影響される。
特に、気相堆積法で基板がキャリアの底面に接近しているときには、基板とマスクとの接着度は、マスクのたるみによって低下し、これにより、基板を正確に処理することを困難になる。
特許文献1:実開平4−133443号
特許文献2:特開平10−223742号
特許文献3:特開2003−152065号
特許文献4:特開2001−338970号
特許文献5:韓国特許第10−0968019号
特許文献6:韓国特許第10−0982649号
特許文献2:特開平10−223742号
特許文献3:特開2003−152065号
特許文献4:特開2001−338970号
特許文献5:韓国特許第10−0968019号
特許文献6:韓国特許第10−0982649号
技術的な問題点
本開示の第1の態様は、静電チャックの誘電体層をゾルゲル法で形成することにより、静電チャックの寿命を延長できるように誘電体層の多孔性を低下させ、基板に対する誘引力を改善できるように誘電率を改善する静電チャック、及び静電チャックの製造方法を提供することである。
本開示の第1の態様は、静電チャックの誘電体層をゾルゲル法で形成することにより、静電チャックの寿命を延長できるように誘電体層の多孔性を低下させ、基板に対する誘引力を改善できるように誘電率を改善する静電チャック、及び静電チャックの製造方法を提供することである。
本開示の第2の態様は、静電チャックの誘電体層をゾルゲル法によって誘電体層を形成した後、ゾルゲル法によって形成された誘電体層の上面の端部領域において上方に突出する複数の突出部310及び240(基板の端部の底面に対応する)をプラズマ溶射法により形成することにより、基板の底面と繰り返し接触する突出部310及び240の機械的剛性を高め、静電チャックの寿命を最大化し得る静電チャック、及び静電チャックの製造方法を提供することである。
技術的解決法
本開示の一態様によると、上記の問題を解決するために、本開示に係る静電チャックを製造する方法は、金属から作られたベース部材330と、ベース部材330の上面に形成され、且つDC電力が印加される電極層340が内部に形成される誘電体層200とを含む静電チャックの製造方法である。当該方法は、セラミック材料からゾルゲル法により誘電体層200の少なくとも一部を形成する誘電体層形成ステップと、誘電体層形成ステップで形成された誘電体層200の上面の端部領域E(基板Sの端部の底面に対応する)において複数の突出部310及び240をプラズマ溶射法により形成する突出部形成ステップを含む。
本開示の一態様によると、上記の問題を解決するために、本開示に係る静電チャックを製造する方法は、金属から作られたベース部材330と、ベース部材330の上面に形成され、且つDC電力が印加される電極層340が内部に形成される誘電体層200とを含む静電チャックの製造方法である。当該方法は、セラミック材料からゾルゲル法により誘電体層200の少なくとも一部を形成する誘電体層形成ステップと、誘電体層形成ステップで形成された誘電体層200の上面の端部領域E(基板Sの端部の底面に対応する)において複数の突出部310及び240をプラズマ溶射法により形成する突出部形成ステップを含む。
セラミック材料は、Al2O3、Y2O3、ZrO2、MgO、SiC、AlN、Si3N4、及びSiO2のうちの任意の1つを有し得る。
突出部310及び240は、誘電体層200の上面における基板Sの端部に沿って配置された少なくとも1つのダム部(堤部)310、及びダム部310の上面より小さく、基板Sの底面と平面接触又は点接触する複数の垂直隆起部を含み得る。複数の垂直隆起部が、ダム部310を基準として、誘電体層200の中心に向かって内側に配置されている。
ダム部310の高さは、複数の垂直隆起部240の高さより低い場合がある。
ダム部310の高さが複数の垂直隆起部240の高さより低くなると、基板Sが、垂直隆起部240を基準として、下方に屈曲する。これにより、基板Sの底面に粒子などの異物が流入することを防止することが可能である。
気体の放出の度合いに応じて、ダム部310と基板Sの底面との平面接触の状態を検出するために、ダム部310には、基板Sの底面と平面接触する上面から気体が放出される気体放出チャネル312が設けられ得る。
誘電体層形成ステップは、ベース部材330の上面にプラズマ溶射法により第1の誘電体層210を形成する第1の誘電体層形成ステップ、及び第1の誘電体層210に電極層340を形成した後、ゾルゲル法により第2の誘電体層220を形成する第2の誘電体層形成ステップを含み得る。
第2の誘電体層形成ステップは、第1の誘電体層210の端部領域Eを除いた第1の誘電体層210の中央領域Cに、第2の誘電体層220を形成することを含み得る。
誘電体層形成ステップは、プラズマ溶射法により第1の誘電体層210の上面の端部領域Eに第4の誘電体層260を形成することを含み得る。
本開示の別の態様によると、本開示に係る静電チャックは、上述の静電チャックの製造方法によって製造される。
本開示の別の態様によると、静電チャックは、金属から作られたベース部材330、ベース部材330の上面に形成され、DC電力が印加される電極層340が内部に形成され、誘電体層の少なくとも一部がゾルゲル法によりセラミック材料から形成される誘電体層200、及び誘電体層200の上面の端部領域E(基板Sの端部の底面に対応する)で上方に突出するように形成された複数の突出部310及び240を含み得る。
本開示の一態様によると、基板の中心領域と端部領域において、基板の静電チャックへの接着力が高まり、粒子などの異物が基板と静電チャックとの間の間隙に入ることが防止される。つまり、不具合を最小限に抑えて、静電チャックのメンテナンス周期を大幅に延長(約10倍以上)することが可能である。
特に、基板の端部を支持する突出部は、基板の端部における接近状態を確実なものにするために形成される。これにより、基板と静電チャックと間の間隙に粒子などの異物が流入することを防止することが可能である。
本開示の別の態様によると、ゾルゲル法で静電チャックの誘電体層を形成することによって、寿命を延ばすように誘電体層の多孔性を低下させ、基板に対する誘引力を改善するように誘電率を高めることが可能である。
より好ましくは、プラズマ溶射法によって形成された層と、ゾルゲル法によって形成された層とを誘電体層上に組み合わせることで、ゾルゲル法により多孔性が高い層が形成され、プラズマ溶射法により誘電体層の機械的剛性が高まり且つ多孔性が下がり、それにより、寿命が高まる一方で、機械的剛性を確保することが可能である。
特に、ゾルゲル法によって形成された誘電体層の端部に配置される複数の突起部は、プラズマ溶射法によって形成される。したがって、中心領域での誘引力を改善する一方で、端部に形成された突出部の機械的剛性を確保することが可能であり、それにより、寿命が延びる。
本開示の別の態様によると、マスクが基板と接近している状態で基板処理を行う際に、マスクは、静電チャックの磁力によって基板に接近させられる。したがって、マスクと基板への接着を改善することが可能であり、処理の均一度とマスクの端部のシャドウ効果(Shadow effect)が改善され得る。
特に、マスクが基板に接近していないときは、マスクの開口を通過した堆積材料の形成時に発生する誤差によって、堆積の精度が低下する。しかしながら、本開示では、マスクと基板との間で良好な接着状態を維持することが可能である。
本開示の別の態様によると、端部に形成された突出部において基板に向かう方向に気体が放出される気体流路が形成される。したがって、接触面からの気体の漏れの量に基づいて、基板又はマスクとの接触状態を検出することが可能である。
以下では、本開示の実施形態が添付の図面を参照して説明される。図1は、従来の技術に係る静電チャックを示す断面図であり、図2Aは、本開示の一実施形態に係る静電チャックが実装され、マスクが連結されたキャリアを示す部分断面図であり、図2Bは、図2Aの改良例として、マスクの外側フレームが突出部に接近する実施形態を示す部分断面図であり、図3は、図2A又は図2Bのダム部と垂直隆起部との間の高さの差を示す部分断面図であり、図4は、本開示の一実施形態に係る静電チャックを示す部分断面図であり、図5は、本開示の実施形態に係る静電チャックを示す部分平面図であり、図6Aから図6Fは、本開示の一実施形態に係る静電チャックを製造する方法の実施形態を示す断面図であり、図7は、本開示の別の実施形態に係る静電チャックを示す部分断面図であり、図8は、図7に示す静電チャックを示す部分平面図であり、図9は、図7に示す静電チャックの改良例を示す部分断面図であり、図10は、本開示のさらに別の実施形態に係る静電チャックを示す部分断面図である。
本開示の実施形態による静電チャック10は、静電チャック10に吸着固定される基板Sの上面にマスクMが接近した状態で基板処理を実行する、基板処理装置の静電チャック10である。
本開示の実施形態に係る静電チャックが使用される基板処理装置は、化学気相堆積(CVD)装置、スパッタリング装置、イオン注入装置、エッチング装置、気相堆積装置などの基板の処理を実行する任意の装置であってよい。
特に、本開示の一実施形態に係る静電チャック10は、大気圧より遙かに低い圧力雰囲気下で工程を実行する装置で使用される。
本開示の一実施形態に係る静電チャック10は、好ましくは、OLED基板のような基板を製造する装置において使用され、具体的には、蒸発源から蒸発した蒸着材料から堆積層が基板上に形成される気相堆積装置において使用される。
本開示の一実施形態に係る静電チャック10は、基板Sを吸着固定する静電力を発生させる構成要素であり、様々な構成が可能である。
一実施形態によると、静電チャック10は、金属から作られたベース部材330、ベース部材330の上面に形成され、且つDC電力が印加される電極層340を有する誘電体層200を含み得る。
ベース部材330は、機械的剛性を保証するようにアルミニウム又はステンレス鋼などの金属から作られた構成要素であり、その使用条件に応じて様々な材料と構造を有し得る。
誘電体層200は、ベース部材330の上面に配置され、且つDC電源が印加される電極層340を内部に有する構成要素である。
電極層340は、誘電体層200の内部でタングステンなどの材料から形成され、DC電源と電気的に接続された構成要素である。DC電源は、DC電力が電極層340に印加されると、誘電体層340と共に静電力を発生させる。
電極層340は、プラズマ溶射法、及びシルクスクリーンなどを利用した導電性ペースト印刷方法などの様々な方法により形成され得る。
1つ又は複数の電極層340は、基板Sの誘引方法に応じて形成されてよく、二極構造や一極構造などの様々な構造を有してもよい。
誘電体層200は、DC電力が電極層340に印加されると、静電力を生成するような誘電率を有する構成要素である。誘電体層200は、プラズマ溶射法とゾルゲル法のうちの少なくとも1つによって、セラミック材料から形成され得る。
ここで、セラミック材料は、Al2O3、Y2O3、ZrO2、MgO、SiC、AlN、Si3N4、SiO2などの材料を含み得る。
基板処理工程の間に基板Sが静電チャック10に接近していないと、粒子が基板Sと静電チャック10の上面との間の間隙に流れ込み、基板Sの裏面を汚染することがあり、基板処理の不良を引き起こし得る。
したがって、基板Sが静電チャック10に接近していることが望ましい。そのために、静電チャック10は、図2に示すように、基板Sの端部の底面を支持するために上方に突出した突出部310及び240を含み得る。
例えば、突出部310及び240は、少なくとも1つのダム部310、及びダム部310の第1の高さH1よりも低い第2の高さH1を有する複数の垂直隆起部240を含み得る。ダム部及び垂直隆起部240は、誘電体層200の上面に形成され得る。
ダム部310は、基板Sの端部の底面を支持する構成要素であり、誘電体層200が形成されるときに、プラズマ溶射法等によりその上面に形成され得る。
ダム部310は、図5に示すように、長方形などの形で閉曲線として静電チャック10の上面に形成され、基板Sの端部に対応する。
現時点では、ダム部310の第1の高さH1は、ダム部310の内側に形成された垂直隆起部240の第2の高さH1よりも高く形成され、基板Sの底面を支持するようになる。
図2Aに示すように、ダム部310の形成により、基板Sの端部が、湾曲して、ダム部310上で支持されることにより、ダム部310を境として粒子が流入出することを防止することができる。
具体的には、粒子が、ダム部310の外側から基板Sに向かって流れることを防止することが可能になる一方で、基板Sの側からダム部310の外側に粒子が流出することを防止して、粒子が、ダム部310の外側のキャリアフレーム11に漏れることを防止することができる。
一方、複数の垂直隆起部240は、静電チャック10の上面から基板が離隔されるように静電チャック10の上面に選択的に形成された構成要素であり、基板の処理の種類に応じて選択的に形成され得る。
静電チャック10に複数の垂直隆起部240が形成されていない場合、端部のダム部310の第1の高さH1は、基板Sが破損されない範囲内の適切な高さで形成され得る。
一方、図2Aの実施形態では、ダム部310は、一例として、基板Sの底面を支持するように説明されている。しかしながら、ダム部310は、図2Bに示すように、マスクMの底面を支持するように形成され得る。
図2Bに示す実施形態は、マスクMの底面が支持されている点を除くと、図2Bに示された実施形態と同じであるため、その詳細な説明は省略されている。
図2Bに示す実施形態では、基板Sの縁の端部は、ダム部310の内側に位置し得る。
したがって、粒子が、ダム部310の外側から基板Sに向かって流れることを防止することが可能になる一方で、基板Sの側からダム部310の外側に粒子が流出することを防止して、粒子が、ダム部310の外側のキャリアフレーム11に漏れることを防止することができる。
一方、誘電体層200は、大型基板を処理するために、プラズマ溶射法よって形成されるのが一般的である。具体的には、誘電体層200は、プラズマ溶射法によって形成されると、その中にボイドが形成されるので、多孔性が高い。したがって、誘電体層200は、耐電圧特性が弱く、寿命が短く、それにより、メンテナンス周期が短い。さらに、誘電体層は、誘電率が低く、基板Sに対する誘引力が弱い。
これを踏まえて、本開示の実施形態によれば、誘電体層200は、ゾルゲル法によりセラミック材料から形成されてよく、或いは、プラズマ溶射法とゾルゲル法の組み合わせにより形成されてもよい。
特に、誘電体層200がゾルゲル法によって形成された場合、多孔性を抑えて誘電率を高めることで、耐電圧特性を改善して寿命を延ばすことが可能であり、それにより、基板Sに対する誘引力が改善される。
周知のゾルゲル法は、例えば、以下のステップによって誘電体層200を形成するゾルゲル法として用いられ得る。
1)加水分解反応又はアルコールとの反応(加水分解)
M(OR)X+mH2O→M(OR)X−m(OH)m+mROH,
2)水分凝縮(凝縮)
2M(OR)x−m(OH)m→(OH)m−1(OR)x−m−−−(OR)x−m(OH)m−1+H2O
2’)アルコール凝縮
2M(OR)x−m(OH)m→(OH)m−1(OR)x−m−−−(OR)x−m−1+R(OH)
1)加水分解反応又はアルコールとの反応(加水分解)
M(OR)X+mH2O→M(OR)X−m(OH)m+mROH,
2)水分凝縮(凝縮)
2M(OR)x−m(OH)m→(OH)m−1(OR)x−m−−−(OR)x−m(OH)m−1+H2O
2’)アルコール凝縮
2M(OR)x−m(OH)m→(OH)m−1(OR)x−m−−−(OR)x−m−1+R(OH)
一方、静電チャック10の誘電体層200を形成する方法では、ゾルゲル法は、硬度、透明度、化学的安定性、制御された多孔性、熱伝導率などについて室温で良好な特性を有する、均質な無機酸化物材料を作ることが可能である。
上述のゾルゲル法を適用して、ゲル状態にある様々な形状を成形することで、単一のモノリス、薄膜、及び単一粒径の粉末を得ることを可能にする、特別な方法が適用された。
この方法により、保護膜、多孔性膜、ウインドウ絶縁体、誘電体材料、及び電磁材料被覆を作ることが可能になり、静電チャック10で顕著な性能向上を実現することが可能になった。
ゾルゲル法を用いた合成では、ゲルは、アルミナ合成過程でのpH(ペーハー)変化に応じた粒径分布を測定することと、粒径が最小時のpHを選択することとによって合成され得る。
一方、ゾルゲル法によって成形した後、焼結は、150℃などの比較的低い温度で実行され得る。
特定の実施形態によれば、誘電体層200は、プラズマ溶射法によりベース部材330の上面に形成された第1の誘電体層210、及び第1の誘電体層210に電極層340が形成された後にゾルゲル法により形成された第2の誘電体層220を含み得、ダム部310及び垂直隆起部240は、第2の誘電体層220が形成された後に、プラズマ溶射法によって形成され得る。
ここで、第1の誘電体層210は、プラズマ溶射法の代わりに、ゾルゲル法によっても形成され得る。
一方、第2の誘電体層220の形成後、第3の誘電体層230が、プラズマ溶射法によって第2の誘電体層220の上面にさらに形成され得る。
第3の誘電体層230を形成することで、ゾルゲル法によって形成された第2の誘電体層220に加えて、機械的剛性を確実なものとすることができる。
一実施形態によれば、本開示の実施形態に係る静電チャック10は、基板Sを吸着固定する構成要素であり、気相堆積装置などの基板処理装置内で動くキャリアそのものとして、或いは、その構成要素の一部として使用され得る。
キャリアは、静電チャックを含む構成要素であり、基板Sが吸着固定された状態で移動する。
キャリアは、基板処理装置内での移動方法などに応じて、様々な構造を有し得る。
キャリアは、様々な方法で移動させられてもよい。例えば、気相堆積装置の場合、キャリアは、面が下を向くように、基板Sが底面に固定された状態で、或いは、キャリアが垂直になった状態、すなわち、基板Sが横を向くように傾けられた状態で移動させられ得る。
この実施形態に関しては、静電チャック10には、端部に連結されるキャリアフレーム11がさらに設けられ、基板Sが吸着固定された状態で、基板処理を実行する基板処理システム内へ基板Sを運ぶキャリアが形成される。
一方、基板SがマスクMに接近した状態で基板処理工程が実行され得る。
マスクMは、基板Sに接近した構成要素であり、あらかじめ設計されたパターンで基板S上に堆積膜を形成し、1つ又は複数の開口33が設けられたシート31を含む、様々な構成を有し得る。
一実施形態によれば、マスクMは、あらかじめ設定されたパターンで形成された少なくとも1つの開口33を有するマスクシート31、及びマスクシート31の端部を支持する外側フレーム32を含み得る。
処理に応じて、マスクMは、ピクセル単位の開口を有するファインメタルマスク(FMM)、基板Sに接近した状態で維持される開放マスクなどの様々な構成であり得る。
マスクMが可能な限り基板Sに接近した状態で維持されることが望ましい実施形態では、静電チャック10には磁石12がさらに設けられ得る。磁石12は、磁力によってマスクMを基板Sの上面に接近させ、マスクMの基板Sへの接着をさらに改善する。
磁石12は、永久磁石などによって構成された構成要素であり、磁力によってマスクMを基板Sの上面に接近させるように静電チャック10に設けられ、適切な位置に実装され得る。
基板Sの端部における、マスクMの基板Sへの接着は、磁石12によって改善可能であり、これにより、処理の均一性及び基板Sの端部でのシャドウ効果が改善され得る。
一実施形態によれば、磁石12は、静電チャック10を構成するベース部材330の底面に実装されてもよい。
マスクMが外側フレーム32を含む場合、磁石12は、磁力によって、外側フレームを静電チャック10の上面に接近させることができる。
ここでは、マスクMのマスクシート31は、基板Sに接近していることが望ましく、したがって、磁石12が、マスクシート31を静電チャック10の上面に接近させるように位置付けされることが望ましい。
一方、本開示の別の特徴は、上述のように、ゾルゲル法によって、或いは、プラズマ溶射法とゾルゲル法との組み合わせによって、静電チャックの誘電体層を形成することである。
つまり、本開示の別の態様によれば、上述の構造を有する、本開示に係る静電チャックを製造する方法は、誘電体層200の少なくとも一部が、ゾルゲル法によってセラミック材料から形成されることを特徴とする。
特に、誘電体層200は、プラズマ溶射法とゾルゲル法との組み合わせによって、セラミック材料から形成され得る。
具体的には、誘電体層200が、ゾルゲル法によってセラミック材料から形成されることが望ましく、また、誘電体層200が、プラズマ溶射法とゾルゲル法との組み合わせによって形成されることがさらに望ましい。
誘電体層200がゾルゲル法によって形成された場合、多孔性を抑えて誘電率を高めることで、耐電圧特性を改善して寿命を延ばすことが可能であり、それにより、基板Sに対する誘引力が改善される。
特定の実施形態によれば、本開示に係る静電チャックを製造する方法は、プラズマ溶射法によりベース部材330の上面に第1の誘電体層210を形成する第1の誘電体層形成ステップ、第1の誘電体層210に電極層340を形成した後に、ゾルゲル法によって第2の誘電体層220を形成する第2の誘電体層形成ステップ、及び第2の誘電体層220を形成した後に、プラズマ溶射により突出部310及び240を形成する突出部形成ステップを含み得る。
加えて、プラズマ溶射法により第2の誘電体層220の上面に第3の誘電体層230を形成する第3の誘電体形成ステップは、第2の誘電体層220形成ステップと突出部形成ステップとの間に含まれる。
一方、誘電体層200の少なくとも一部が、ゾルゲル法によりセラミック材料から形成される静電チャックの製造の方法では、静電チャック10の構造に応じて、様々な変形例が可能である。
具体的には、図2Aから図6Fに示された実施形態のように、静電チャック10の上面に複数の垂直隆起部240が均一に形成された実施形態と異なり、突出部310及び240は、図7から図9に示す実施形態のように、基板Sの端部の底面に対応する端部領域Eのみにおいて形成され得、基板Sの中央の底面に対応する領域に形成されないことがある。
この場合、基板Sの中央の底面領域を除く端部領域Eに形成された複数の突出部310及び240)は、処理によっては、基板Sの底面と繰り返し接触するので、耐久性が高くなければならない。
しかしながら、複数の突出部310及び240が、ゾルゲル法により形成されると、多孔性は高くなるが、耐性は低くなる。したがって、端部領域Eに配置され且つプラズマ溶射法により形成された複数の突出部310及び240の耐性を向上させることが望ましい。
したがって、本開示の別の実施形態では、本開示に係る静電チャックの製造方法は、ゾルゲル法によりセラミック材料から誘電体層200の少なくとも一部を形成する誘電体形成ステップ、及びプラズマ溶射法により誘電体層形成ステップで形成された誘電体層200の上面の端部領域E(基板Sの端部の底面に対応する)において複数の突出部310及び240を形成する突出部形成ステップを含む。
誘電体形成ステップは、ゾルゲル法によりセラミック材料から誘電体層200の少なくとも一部を形成するステップであり、これは、図2Aから図6Eを参照して説明された静電チャックの製造方法と実質的に同一又は類似であり得、その詳細は省略する。
言い換えると、誘電体形成ステップは、突出部形成ステップを除いて、図2Aから図6Eを参照して説明された静電チャックの製造方法と実質的に同一又は類似し得、その詳細な説明が省略される。
例えば、誘電体形成ステップは、プラズマ溶射によりベース部材330の上面に第1の誘電体層210を形成する第1の誘電体層形成ステップ、及び第1の誘電体層210に電極層340を形成した後、ゾルゲル法により第2の誘電体層220を形成する第2の誘電体層形成ステップを含み得る。
突起形成ステップは、誘電体層形成ステップで形成された誘電体層200の上面の端部領域E(基板Sの端部の底面に対応する)においてプラズマ溶射法により複数の突出部310及び240を形成するステップである。
突起部の310及び240は、誘電体層200の上面の端部領域Eに沿って配置された少なくとも1つのダム部310、及びダム部310を基準として、誘電体層200の中心に向かって内側に端部領域Eに沿って配置された複数の垂直隆起部240を含み得る。
耐久性を改善するために、突出部310及び240を構成するダム部310及び垂直隆起部240は、好ましくは、プラズマ溶射法によって形成される。
プラズマ溶射法を通してダム部310及び垂直隆起部240を形成することにより、突出部310及び240の機械的剛性、特に耐性が保証され得る。
上述の実施形態とは異なり、突出部310及び240は、誘電体層200の上面の中央領域Cを除いた端部領域Eにおいてのみ形成される。
言い換えると、複数のダム部310は、端部領域Eの最外郭に沿って形成され得、複数の垂直隆起部240は、ダム部310を基準にして、端部領域Eに沿って誘電体層200の中心に向かって内側に配置され得る。
したがって、垂直隆起部240が誘電体層200の上面の中央領域Cに形成されないので、誘電体層200と基板Sの底面とが互いに完全に接触し得る。
基板Sが誘電体層200の上面の中央領域Cで誘電体層200と完全に接触するので、基板Sの底面が処理環境に曝されたり、又は、粒子が処理環境内に流入したりすることを防止するために、ダム部310は、垂直隆起部240よりも低いように形成されることが望ましい。
一方、基板の処理は、静電チャック10に吸着固定された基板Sの上面にマスクMが接近した状態で行われるので、静電チャック10が、静電チャック又はマスクMに誘引された基板Sと接触しているかどうかを判断する必要がある。
気体の放出の度合いに応じて、ダム部310と基板Sの底面との間の平面接触の状態を検出するために、ダム部310には、基板Sの底面と平面接触する上面から気体が放出される気体放出チャネル312が設けられ得る。
気体流路312は、基板Sに向かって不活性ガス(例えば、ヘリウム)などの気体が流れる流路であり、静電チャック10又は静電チャック10に連結されたキャリアフレーム11に実装される気体供給装置(図示せず)から微量の気体を放出することを可能にする。
ここで、気体の放出量は、基板S又はマスクMのダム部310への接近度に応じて微細に変化するので、気体の放出量の微細な変化を測定して、基板S又はマスクMの接近度を測定することになる。
しかしながら、気体流路312が形成されて、微量の気体が流出すると、基板Sのチャッキングが不安定になる恐れがある。
したがって、ゾルゲル法によって形成され、基板Sの底面と完全に接触している誘電体層200の上面の中央領域Cは、その中心線平均粗さRaが1.5aから3.5aの範囲内に含まれるように形成されることが望ましい。
一方、突出部310及び240は、例えば、基板Sの底面と繰り返し接触することによって生じる摩耗に起因して、静電チャック10のメンテナンスを行う必要性を生じさせる。
特に、突出部310及び240が摩耗しているだけにも関わらず、静電チャック10全体を交換すると、基板の生産コスト増加を引き起こす。
したがって、本開示の別の態様によると、図9に示すように、静電チャック10の突出部310及び240のうちの少なくとも一部をシート部材250上で形成し、次いで、シート部材を対応する位置に取り付けることにより、突出部310及び240の摩耗した部分を少なくとも1つの新しいシート部材250で構成することができる。
突出部形成ステップは、突出部310及び240のうちの少なくとも一部をシート部材250上に形成する突出部シート形成ステップ、並びに突出部310及び240のうちの少なくとも一部が形成されたシート部材250を誘電体層200の上面に付着させる付着ステップを含み得る。
当然ながら、突出部シート形成ステップは、突出部310及び240のうちの少なくとも一部をシート部材250上に形成するステップであり、突出部310、240は、プラズマ溶射法によって形成される。
シート部材250は、好ましくは、セラミック材料を含む。シート部材250は、底面上の接着剤で付着させられたり、又はコーティングされたりしてもよく、或いは、それ自体が粘着テープから構成されてもよい。これにより、セラミック材料から作られた誘電体層200にシート部材250を容易に付着させることができる。
上述のシート部材250によって、突出部310及び240は、上述のシート部材250上に形成され、誘電体層200の上面に付着する。したがって、突出部310及び240のメンテナンスが必要な場合、突出部310及び240が形成されたシート部材250のみを交換すれば十分であるので、静電チャック10のメンテナンスが容易となる。
一方、本開示の別の態様によると、図10に示すように、誘電体層200の最上部に形成された誘電体層は、ゾルゲル法によって、基板Sの端部領域Eを除いた中心領域Cに形成される。
ここでは、誘電体層200は、プラズマ溶射によって形成された第4の誘電体層260を含んでもよく、これは、誘電体層200の最上部に誘電体層が形成されていない端部の領域Eに対応する。
第4の誘電体層260の上面には、突出部310及び240がプラズマ溶射によって形成され得る。
第4の誘電体層260は、好ましくは、誘電体層200の最上部に形成された誘電体層と同じ高さに形成される。
誘電体層200の最上部に形成された誘電体層は、図10の第3の誘電体層230に対応し得るが、これに限定されるものではない。
つまり、第3の誘電体層230が形成されていない場合には、第2の誘電体層220が、基板Sの最上部に形成される誘電体層であり、基板Sの端部領域Eを除いた中心領域Cに形成される。
このとき、第3の誘電体層230は、ゾルゲル法及びプラズマ溶射法のいずれかの方法によって形成されてもよい。
Claims (6)
- 静電チャックであって、
ベース部材、
前記ベース部材の上面に配置された複数の誘電体層であって、前記複数の誘電体層のうちの少なくとも1つが、セラミック材料からゾルゲル法により形成される、複数の誘電体層、及び
プラズマ溶射法により前記誘電体層の上面に形成された複数の突出部であって、基板の底面又はマスクの底面を支持するように構成された複数の突出部
を備え、前記誘電体層が、
前記ベース部材の上面に形成された第1の誘電体層、
前記ゾルゲル法により前記第1の誘電体層の上面の中央領域に形成された第2の誘電体層、及び
前記プラズマ溶射法により前記第1の誘電体層の前記上面の端部領域に形成された第3の誘電体層であって、前記第2の誘電体層の高さに等しい高さを有する、第3の誘電体層
を含む、静電チャック。 - 前記複数の突出部が、前記基板又は前記マスクの端部に沿って、前記誘電体層の前記上面に配置されたダム部を含む、請求項1に記載の静電チャック。
- 前記複数の突出部が、前記ダム部を基準として、内側で前記基板の前記底面と平面接触又は点接触するように構成された垂直隆起部をさらに含み、
前記垂直隆起部は、前記基板から離間されるように、前記誘電体層の前記上面に配置され、前記垂直隆起部が、前記ダム部より低くなるように形成される、請求項2に記載の静電チャック。 - 前記複数の突出部が、前記ダム部を基準として、内側で前記基板の前記底面と平面接触又は点接触するように構成された垂直隆起部をさらに含み、
前記垂直隆起部が、前記基板の縁に沿って配置され、前記垂直隆起部が、前記ダム部より高くなるように形成される、請求項2に記載の静電チャック。 - 前記誘電体層の前記上面に着脱可能に配置されたシート部材をさらに備え、
前記複数の突出部のうちの少なくとも幾つかが、前記シート部材上に形成される、請求項1から4のいずれか一項に記載の静電チャック。 - 前記ダム部は、気体の放出の程度に応じて、前記ダム部と前記基板の前記底面又は前記マスクの前記底面との間の平面接触の状態を検出するために、前記基板の前記底面又は前記マスクの前記底面と平面接触するその上面に、前記気体が放出される気体放出チャネルが形成されるように、形成される、請求項2から4のいずれか一項に記載の静電チャック。
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Legal Events
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190422 |
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