JP2019527342A - ホールプローブ - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (13)
- 操作手段(110;210)、電気絶縁筐体(120)、及びホール効果センサ素子(130;230)を備えるホールプローブ(100;200)であって、
前記ホール効果センサ素子(130;230)が、前記電気絶縁筐体(120)内に収納されており、前記筐体(120)の壁が、電気絶縁材料を含み、前記筐体(120)が、前記操作手段(110;210)に機械的に接続された、ホールプローブ(100;200)において、前記操作手段(210)がスロット(250)を備えることを特徴とする、ホールプローブ(100;200)。 - 前記筐体(120)の前記壁が、電気絶縁材料で作られた真空気密キャップ(122)、及び前記操作手段(110;210)の表面部分を備え、前記筐体(120)が、真空封止手段(140)を備える接続手段によって前記操作手段(110;210)に接続されている、請求項1に記載のホールプローブ(100;200)。
- 前記電気絶縁材料がガラスである、請求項1又は2に記載のホールプローブ(100;200)。
- 前記ホール効果センサ素子(130;230)が扁平形状を有する、請求項1〜3のうちいずれか一項に記載のホールプローブ(100;200)。
- 前記筐体(120)が扁平形状を有する、請求項1〜4のうちいずれか一項に記載のホールプローブ(100;200)。
- 前記筐体(120)が、長手方向軸線に沿って延在し、前記ホール効果センサ素子(130;230)が、その高さ及び幅に関して前記筐体(120)内で中央に配置される、請求項1〜5のうちいずれか一項に記載のホールプローブ(100;200)。
- 前記操作手段(110;210)と前記筐体とが、共通の長手方向軸線に沿って延在する、請求項1〜6のうちいずれか一項に記載のホールプローブ(100;200)。
- 前記真空封止手段(140)が、前記操作手段(110;210)の対応する座部に装着されたOリング(216)を備える、請求項1〜7のうちいずれか一項に記載のホールプローブ(100;200)。
- 前記接続手段が、前記ホール効果センサ素子(130;230)を保持するための保持手段をさらに備える、請求項1〜8のうちいずれか一項に記載のホールプローブ(100;200)。
- 前記接続手段及び操作手段(110;210)が、前記ホール効果センサ素子(130;230)によって発生される電気信号を伝送するための、前記ホール効果センサ素子(130;230)と動作可能に接続された導電体をさらに備える、請求項1〜9のいずれか一項に記載のホールプローブ(100;200)。
- 請求項1〜10のいずれか一項に記載のホールプローブ(100;200)を備える、二次イオン質量分析計。
- 磁石の2つの磁極片間に形成されたギャップ内の磁場を測定するための請求項1〜10のいずれか一項に記載のホールプローブ(100;200)の使用であって、前記磁極片が少なくとも1kvの電位で浮動される、前記ホールプローブ(100;200)の使用。
- 前記磁極片が、二次イオン質量分析デバイスの磁気セクタの一部分である、請求項11に記載の使用。
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