JP2019519106A - グラフォエピタキシー方法のための機能化されたガイドパターンを形成する方法 - Google Patents
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Abstract
ブロック共重合体の自己集合のために機能化されたガイドパターン(4)を、グラフォエピタキシーによって形成する方法であって、以下のステップを備える:基板(1)上に、ブロック共重合体に対して第1の化学的親和性を有する第1の材料からなるガイドパターン(4)を形成し、ガイドパターン(4)は、底部(6)および側壁(5)を備えるキャビティ(7)を有すること。ブロック共重合体に対して第2の化学的親和性を有する第2のポリマー材料からなる機能化層をグラフトし、機能化層は、キャビティ(7)の底部(6)にグラフトされた第1の部分(11)と、キャビティ(7)の側壁(5)にグラフトされた第2の部分とを備えること。機能化層の第1の部分(11)に対して選択的に、機能化層の第2の部分をエッチングし、前記エッチングは、イオンビームが機能化層の第1の部分に到達しないように、機能化層の第2の部分を横切る方向にしたがってイオンビームへ露出するステップを備えること。
Description
本発明は、グラフォエピタキシー方法のために意図された機能化されたガイドパターンを形成する方法に関する。本発明はまた、このような方法によって得られた機能化されたガイドパターンを使用するグラフォエピタキシー方法にも関する。
より小さい寸法を有する物体を製造することを可能にする方法のニーズは絶えず増加している。これは電子部品の小型化への傾向のためである。
最も有望な代替リソグラフィー技術の中には、ブロック共重合体の自己集合を使用するリソグラフィー技術が挙げられる。
ブロック共重合体は、いくつかのモノマーのブロック、たとえば、共有結合によってともに結合された異なる化学的性質のモノマーAおよびBからなる2つのブロックから構成されるポリマーである。鎖に十分な移動度が、たとえば、加熱によって与えられる場合、鎖Aおよび鎖Bは、相分離し、たとえば、Bのマトリクス中におけるAの球体、Bのマトリクス中におけるAの円柱、または、その代わりに、間に挿入されたAのラメラおよびBのラメラを備える二次元ネットワークのように、再組織化されて完全に組織化された構造を形成する傾向を有する。
したがって、ブロック共重合体は、モノマーの比率のために制御され得るパターンを形成する特性を有する。さらに、ブロック共重合体によって形成されるパターンの周期性は、ブロック共重合体のモル質量に直接リンクされ、このモル質量を制御することによって、それらが形成するパターンの解像度を制御することが可能である。
これらのブロック共重合体の特性は、グラフォエピタキシー方法の範囲内で使用される。グラフォエピタキシー方法は、一般に、基板の表面上にガイドパターンを生成することからなり、これらガイドパターンは、ブロック共重合体がより良好な解像度の二次パターンを形成するために堆積されるキャビティを画定する。
しかしながら、ガイドパターンに対する二次パターンの配向を制御することは困難である。
実際、ガイドパターンに対する二次パターンの配向は、ブロック共重合体のモノマーブロックと、ガイドパターンの表面、基板の表面、および空気との相互作用に依存する。
ガイドが、ガイドキャビティの底部および壁面上のブロック共重合体の2つの相のうちの1つと同じ優先的な親和性を有する場合、この相はガイドとの界面で自己組織化するであろう。このように、暴露ステップ中に優先的に除去されねばならない領域は、ガイドパターンの最大高さを横切らず、ポリマーの他の相の残留層が、基板との界面で形成されることになる。これは、その後のブロック共重合体のエッチングによる転写の制限となる。
最も有利な場合は、中性のキャビティ底部(基板と2つのブロックの同等な相互作用)を有するガイドパターンを生成することであり、キャビティの縁部は、ポリマーの2つの相のうちの一方に優先的に結合される。この場合、暴露ステップ中に選択的に除去される犠牲ポリマーの領域は、厚み全体を、基板との界面まで横切る。これはエッチングによって基板にパターンを転写するステップに非常に有利である(参考文献、R.Tironら、SPIE 2015)。
さらに、A−b−B型ブロック共重合体の場合、表面との相互作用エネルギーの制御は、たとえば、賢明に選択された組成のA−r−B型ランダム共重合体をグラフトすることによって生じ得る(参考文献、X.Chevalierら、SPIE 2011)。
先行技術の方法は、ランダムポリマーをキャビティの底部にグラフトすることによってこれら相互作用を制御することを提案しているが、キャビティの壁はむき出しのままである。これを行うために、ランダムポリマーが希釈され、その後、スピンコーティングによって堆積される。グラフト焼き鈍し中、薄い厚さのランダムポリマーが、キャビティの底部に固定されるが、キャビティの壁は、むき出しのままである。しかしながら、同一の珪素基板上に密度の異なるガイドパターンが存在する場合、この方法が、所与のパターンに対して機能するとしても、ランダムポリマーの層もキャビティの壁上に堆積されるので、この技術は高密度のガイドでは機能しない。
R.Tironら、SPIE 2015
X.Chevalierら、SPIE 2011
本発明は、グラフォエピタキシー方法のためのガイドパターンを形成することを可能にする方法を提案することによって、先行技術の欠点を克服することを目的としており、ガイドパターンのキャビティの底部および壁は、ガイドパターンの密度に関わらず、異なる手法で機能化される。
これを行うために、本発明の第1の態様によれば、ブロック共重合体の自己集合のために意図された機能化されたガイドパターンを、グラフォエピタキシーによって形成する方法が提案され、この方法は、以下のステップを備える:
− 基板上に、ブロック共重合体に対して第1の化学的親和性を有する第1の材料からなるガイドパターンを形成し、ガイドパターンは、底部および側壁を備えるキャビティを備えること。
− ブロック共重合体に対して第2の化学的親和性を有する第2のポリマー材料からなる機能化層をグラフトし、機能化層は、キャビティの底部にグラフトされた第1の部分と、キャビティの側壁にグラフトされた第2の部分とを備えること。
− 機能化層の第1の部分に対して選択的に、機能化層の第2の部分をエッチングし、機能化層の第2の部分のエッチングは、イオンビームが機能化層の第1の部分に達しないように、機能化層の第2の部分に対して交差する方向に沿って向けられたイオンビームへの露出のステップを備えること。
− 基板上に、ブロック共重合体に対して第1の化学的親和性を有する第1の材料からなるガイドパターンを形成し、ガイドパターンは、底部および側壁を備えるキャビティを備えること。
− ブロック共重合体に対して第2の化学的親和性を有する第2のポリマー材料からなる機能化層をグラフトし、機能化層は、キャビティの底部にグラフトされた第1の部分と、キャビティの側壁にグラフトされた第2の部分とを備えること。
− 機能化層の第1の部分に対して選択的に、機能化層の第2の部分をエッチングし、機能化層の第2の部分のエッチングは、イオンビームが機能化層の第1の部分に達しないように、機能化層の第2の部分に対して交差する方向に沿って向けられたイオンビームへの露出のステップを備えること。
したがって、この方法は、キャビティ内に堆積されたブロック共重合体が、その側壁およびその底部と、同じ親和性を有さないように、側壁がむき出しのまま、機能化層によって底部が機能化されたキャビティを備えられたガイドパターンを形成することを可能にする。これにより、ブロック共重合体によってキャビティ内に形成された二次パターンの配向を制御することが可能となる。この方法は、ガイドパターン内のキャビティの密度に関わらず、効率的である。
本発明の第1の態様による方法は、個別に、または、技術的に可能なすべての組合せにしたがって採用された以下の特徴のうちの1つまたは複数をも有することができる。
有利には、この方法はさらに、機能化層をグラフトするステップの前に、ガイドパターン上に保護層を堆積させるステップを備え、保護層は、キャビティの底部上に堆積された第1の部分と、キャビティの側壁上に堆積された第2の部分とを備える。この場合、保護層は、ガイドパターンと機能化層との間に挿入される。このように、保護層の第1の部分は、キャビティの底部と機能化層の第1の部分との間に挿入される一方、保護層の第2の部分は、キャビティの側壁と機能化層の第2の部分との間に挿入される。
保護層は、機能化層の第2の部分を選択的にエッチングしている間、攻撃されないようにガイドパターンを保護することを可能にする。機能化層の形成前に、保護層を堆積させるという事実は、保護層が機能化層の形成後に堆積された場合よりも高い温度で保護層を堆積させることを可能にする。
さらに、保護層は、エッチング停止層として作用する。
保護層および機能化層の第2の部分のエッチングは、異なる選択的なエッチング技術を使用して実行され得る。
したがって、第1の実施形態によれば、機能化層の第2の部分の選択的なエッチングは、イオンビームエッチングであり得る。この場合、機能化層の第2の部分は、イオンビームによって物理的にエッチングされる。イオンビームは、指向性があり、傾斜している。イオンビームの方向は、このステップ中、機能化層の第1の部分がエッチングされないように選択される。
保護層の第2の部分は、存在する場合、たとえば、保護層および機能化層の第1の部分に対する選択的な湿式エッチングのように、さほど侵略的ではない方法によって脱離され得る。その後、保護層は、特に、無機材料からなり、一方機能化層が有機材料からなる場合、(2つの族の材料間の機械的な攻撃における相違によって、)物理的なエッチングに対する停止層として作用し、そして下層(特に、ガイドパターン)の保護層として作用する。
第2の実施形態によれば、機能化層の第2の部分の選択的なエッチングは、以下のサブステップを備え得る:
− 保護層の第2の部分と、機能化層の第2の部分とが、保護層の第1の部分と、機能化層の第1の部分とに対してそれぞれ選択的にエッチングされ得るように、保護層の第2の部分に、および機能化層の第2の部分に、10未満の原子番号を有するイオンを、イオンビームへの露出によって注入すること。
− 機能化層の第2の部分を、有機溶媒と接触させることによって、エッチングすること。
この方法はさらに、保護層の第2の部分を、保護層および機能化層の第1の部分に対して選択的にエッチングするステップをさらに備える。
− 保護層の第2の部分と、機能化層の第2の部分とが、保護層の第1の部分と、機能化層の第1の部分とに対してそれぞれ選択的にエッチングされ得るように、保護層の第2の部分に、および機能化層の第2の部分に、10未満の原子番号を有するイオンを、イオンビームへの露出によって注入すること。
− 機能化層の第2の部分を、有機溶媒と接触させることによって、エッチングすること。
この方法はさらに、保護層の第2の部分を、保護層および機能化層の第1の部分に対して選択的にエッチングするステップをさらに備える。
この実施形態では、機能化層の第2の部分は、軽イオンを注入することによって(傾斜した入射下における注入により到達していないので)改質されていない機能化層の第1の部分に対して、この第2の部分が次に選択的にエッチングされ得るように、軽イオンを注入することによって改質される。したがって、このイオン注入中、機能化層は物理的にエッチングされないが、その後局所的にエッチングされることができるように、局部的に化学的に一意に改質される。
機能化層の第2の部分がエッチングされると、イオン注入によって改質された保護層の第2の部分が、選択的なエッチング技術によって今度はエッチングされる。これを行うために、異なる選択的エッチング技術が使用され得る。
このように、第1の代替実施形態によれば、保護層の第2の部分の選択的なエッチングは、フッ化水素酸系またはリン酸系のエッチング溶液を使用した湿式エッチングであり得る。このエッチング技術は、改質されていない部分およびキャビティに対して、改質された領域を選択的にエッチングするという利点を有する。
第2の代替実施形態によれば、保護層の第2の部分の選択的なエッチングは、リモートプラズマを使用して実行される乾式エッチングであり得、乾式エッチングは、以下のサブステップを備える:
− プラズマから塩を形成する第1のサブステップ。
− 塩の昇華の第2のサブステップ。
− プラズマから塩を形成する第1のサブステップ。
− 塩の昇華の第2のサブステップ。
乾式エッチングは、改質されていない部分およびキャビティに対して、改質された領域を選択的にエッチングするという利点を有する。
有利には、塩は、フッ素および水素系のプラズマから形成される。
有利には、塩は、焼き鈍しによって昇華される。
第3の代替実施形態によれば、保護層の第2の部分の選択的なエッチングは、気相エッチングであり得る。気相エッチングは、保護層の第1の部分に対して非常に良好な選択性を有するという利点を有する。
異なる代替実施形態によれば:
− 気相エッチングは、エッチングされるべき層の上に、溶媒中に希釈された気相のフッ化水素酸を注入するステップを備え得る。
− 気相エッチングは、エッチングされるべき層の上に、溶媒中に希釈された気相のフッ化水素酸を注入するステップを備え得る。
− 気相エッチングは、以下のサブステップを備え得る:
〇エッチングされるべき層が配置された反応チャンバ内にフッ化水素酸のガスを注入すること。
〇反応チャンバ内に不活性ガスを注入すること。
〇エッチングされるべき層が配置された反応チャンバ内にフッ化水素酸のガスを注入すること。
〇反応チャンバ内に不活性ガスを注入すること。
有利には、この方法は、エッチングされるべき層の表面から湿気を除去するために、気相エッチングステップの前に、予備焼き鈍しステップを備え得る。これは、エッチング選択性を高めることを可能にする。
気相エッチングが不揮発性反応生成物を形成する場合、この方法は、気相エッチング中に形成される不揮発性反応生成物を除去するステップをさらに備え得る。
不揮発性反応生成物を除去するステップは:
− 前記生成物を、好適には水である脱離溶液に可溶化するステップと、および/または、
− 100℃から300℃の間からなる温度で焼き鈍しするステップとを備え得る。
不揮発性反応生成物を除去するステップは:
− 前記生成物を、好適には水である脱離溶液に可溶化するステップと、および/または、
− 100℃から300℃の間からなる温度で焼き鈍しするステップとを備え得る。
第3の実施形態によれば、機能化層の第2の部分のエッチングは、以下のサブステップを備え得る:
− 保護層の第2の部分が、保護層の第1の部分に対して選択的にエッチングされ得るように、保護層の第2の部分に、10未満の原子番号を有するイオンを、イオンビームへの露出によって注入すること。
− 保護層の第2の部分を、保護層の第1の部分に対して選択的に湿式エッチングし、保護層の第2の部分に配置された機能化層の第2の部分の脱離をもたらすこと。
− 保護層の第2の部分が、保護層の第1の部分に対して選択的にエッチングされ得るように、保護層の第2の部分に、10未満の原子番号を有するイオンを、イオンビームへの露出によって注入すること。
− 保護層の第2の部分を、保護層の第1の部分に対して選択的に湿式エッチングし、保護層の第2の部分に配置された機能化層の第2の部分の脱離をもたらすこと。
この第3のモードは、下層にある保護層の第2の部分のエッチング中、リフトオフ効果によって除去される機能化層の第2の部分を前もって脱離させる必要はないので、ステップの数を制限する。
有利には、この場合、エッチング溶液の接近を容易にするために、機能化層のレベルで、非常に高い訳でもない密度のグラフト(より短い温度および焼き鈍し持続時間)が選択されるであろう。
有利には、ガイドパターンを形成するステップは、以下のサブステップを備え得る:
− 保護層上に少なくとも1つのベース層を堆積させること。
− リソグラフィーによってベース層をエッチングすること。
− 保護層上に少なくとも1つのベース層を堆積させること。
− リソグラフィーによってベース層をエッチングすること。
有利には、ベース層は、炭素を備えており、それによって形成されたガイドパターンが、本方法の後のステップによって改質されない。
有利には、保護層は、珪素を備えた誘電性無機材料の層であり、これは、炭素ガイドパターンに関して保護層を選択的にエッチングすることを可能とする。
有利には、保護層は、5nmから15nmの間、好適には5nmから10nmの間からなる厚さを有する。
有利には、機能化層を形成するステップは、以下のサブステップを備える:
− 好適には、スピンコーティングによって、ポリマーの層を堆積させること。
− 好適には、スピンコーティングによって、ポリマーの層を堆積させること。
− 好適には熱焼き鈍しまたは光架橋によって、基板上にポリマーの層をグラフトすること。
− 溶媒を使用してリンスすること。
− 溶媒を使用してリンスすること。
本発明の第2の態様は、本発明の第1の態様にしたがって、機能化されたガイドパターンを形成する方法と、ブロック共重合体をキャビティ内に堆積させるステップとを備えたグラフォエピタキシー方法に関する。
有利には、ブロック共重合体は、少なくとも2つのモノマーブロックを備え、機能化層は、すべてのモノマーブロックと同等の親和性を有する。
したがって、ブロック共重合体によって、基板に垂直な配向を有する二次パターンを生成することが可能である。
本発明の他の特徴および利点は、本発明の1つの実施形態による方法の異なるステップを例示する添付図面1aから図1dを参照して、以下の詳細説明を読むことで明らかになるであろう。
より明確にするために、すべての図において、同一または類似の要素には、同一の参照符号が付される。
少なくとも1つの実施形態の詳細説明
図1aから図1dは、本発明の1つの実施形態によるグラフォエピタキシーのための機能化されたガイドパターンを製造する方法のステップを表す。
図1aから図1dは、本発明の1つの実施形態によるグラフォエピタキシーのための機能化されたガイドパターンを製造する方法のステップを表す。
図2を参照して示すように、この方法は、少なくとも1つのキャビティ7を備えたグラフォエピタキシーのためのガイドパターン4を得ることを可能にし、キャビティの底部16は、このキャビティ7内に堆積されるブロック共重合体との第1の親和性を有するように機能化される一方、側壁5は、キャビティ7内に堆積される共重合体との第2の親和性を有するようにむき出しのままである。
これを行うために、図1aを参照して示すように、この方法は、基板1上にガイドパターン4を形成する第1のステップ101を備える。ガイドパターン4は、少なくとも1つのキャビティ7を備える。キャビティ7は、底面6と、基板の表面に交差する方向に沿って延在する側壁5とを含む。より具体的には、側壁5は、好適には、基板の表面に垂直な方向に沿って延在する。キャビティは、異なる幾何学的形状を有し得る。したがって、円柱井戸形状、溝形、矩形断面の井戸等の形状をとり得る。ガイドパターン4は、好適には、たとえば、フッ化水素酸(HF)および/またはリン酸(H3PO4)に対して不活性な材料のように、この方法の後のステップ中に使用されるエッチング技術に耐性のある材料からなる。このために、第1の実施形態によれば、ガイドパターンは、炭素を備え得る。このように、ガイドパターンは、遠心分離によって堆積された炭素(スピンオンカーボンの場合、SOCとも称される)からなり得るか、または、他の反射防止炭素層からなり得る。第1の実施形態と組み合わせても、組み合わせなくてもよい第2の実施形態によれば、ガイドパターンは、たとえばSiN層のように、フッ化水素酸(HF)および/またはリン酸(H3PO4)に耐性のある層で覆われ得る。このSiN層は、コンフォーマル堆積技術によって堆積され得る。この第2の実施形態は、たとえば珪素酸化物のような任意のタイプの材料からなるガイドパターンを作製し、その後、この方法の後のステップ中に使用されるエッチング技術に耐性のある層の上に堆積させることによってガイドバターンを保護することを可能にする。ガイドパターンはまた、無機材料またはTiNからなり得る。各キャビティ7は、好適には、50nmから300nmの間からなる深さPを有する。各キャビティ7は、好適には、30nmから200nmの間からなる幅Lを有する。ガイドパターン4を形成するステップ103は、以下のサブステップを備え得る:
− 基板上に1つまたは複数の層を堆積させること。
− 少なくとも1つのキャビティ7を、好適にはリソグラフィーによって、たとえばフォトリソグラフィーによって、この層またはこれらの層を介して製造すること。
− 基板上に1つまたは複数の層を堆積させること。
− 少なくとも1つのキャビティ7を、好適にはリソグラフィーによって、たとえばフォトリソグラフィーによって、この層またはこれらの層を介して製造すること。
図1bを参照して示すように、この方法は、次に、ガイドパターン4上に保護層3を堆積させるステップ102を備え得る。この保護層3は、ガイドパターンが炭素からなる場合に特に有利である。保護層は、エッチング停止層として作用する。保護層3は、好適には、珪素を備えた誘電性無機層である。したがって、保護層3は、以下の材料:SiN、SiOC、SiO2、SiCBNのうちの1つの層であり得る。保護層3は、好適には、5nmから15nmの間、より好適な手法では5nmから10nmの間からなる厚さを有する。保護層3は、キャビティの底部6上に堆積された第1のいわゆる「水平」部分8と、キャビティの側壁上に堆積された第2のいわゆる「垂直」部分9とを備える。保護層3は、好適には、保護層の垂直部分9の厚さが、保護層の水平部分8の厚さと実質的に等しくなるように、実質的に一定の厚さを備える。保護層3は、一定の厚さを有するように、コンフォーマル堆積技術によって堆積される。
図1cを参照して示すように、この方法は、保護層3上に、または直接キャビティ内に、機能化層2を形成するステップ103を備える。機能化層2は実質的に一定の厚さを有する。機能化層2は、好適には、2nmから15nmの間、より優先的な手法では、5nmから12nmの間からなる厚さを有する。機能化層2は、保護層の水平部分に堆積された第1のいわゆる「水平」部分11と、保護層の垂直部分9上に堆積された第2のいわゆる「垂直」部分12とを備える。機能化層2は、好適には、機能化層2の垂直部分12の厚さが、機能化層2の水平部分11の厚さと実質的に等しくなるように、実質的に一定の厚さを備える。機能化層2は、いわゆるグラフトされた「機能化」ポリマーの層である。この機能化ポリマーの組成は、キャビティ7の底部16と、このキャビティ内に堆積されるブロック共重合体のモノマーブロックとの間で得ることが望まれている親和性に応じて選択される。異なる実施形態によれば、機能化ポリマーは、たとえば自己組織化単分子膜(SAM)などの表面エネルギーを制御するために使用されることができるランダム共重合体、ホモポリマー、または他の任意のタイプのグラフト可能なポリマーであり得る。優先的な実施形態によれば、機能化ポリマーは、ブロック共重合体のモノマーブロックの各々と、機能化層との間の引力が同等であるように選択され得る。この場合、キャビティ内に堆積されるブロック共重合体がPS−b−PMMAである場合、第1の機能化層は、70質量%のポリスチレン(PS)と、30質量%のポリメチルメタクリレート(PMMA)とを備えたPS−r−PMMAの層であり得る。別の実施形態によれば、キャビティ内に堆積されるブロック共重合体が、ラメラ形態のPS−b−PMMAである場合、第1の機能化層は、50質量%のポリスチレン(PS)と50質量%のポリメチルメタクリレート(PMMA)とを備えたPS−r−PMMAの層であり得る。
機能化層2を形成するステップ103は、好適には、たとえばスピンコーティングによって、機能化ポリマーの層を堆積させるサブステップを備える。スピンコーティングは、機能化ポリマーを有機溶媒中で希釈することによって実行される。機能化ポリマーが、PS−r−PMMAである場合、有機溶媒は、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA)であり得る。この堆積させる第1のサブステップは、好適には、堆積された機能化ポリマーの厚さが、ガイドパターン4を完全に覆うのに十分に影響力のあるように実行される。したがって、第2のポリマーの溶液濃度および堆積速度は、機能化ポリマーを堆積させるステップの終わりに、ポリマー層が、ガイドパターン4を完全に覆うように、ガイドパターン4の高さに応じて選択されるであろう。有機溶媒中で希釈された機能化ポリマーの溶液はまた、実質的に1.5%に等しい機能化ポリマーの質量濃度を有し得る。機能化層2を形成するステップ103は、次に、機能化ポリマーの層を保護層3上に固定する、グラフトとも呼ばれるサブステップを備え得る。グラフトは、熱焼き鈍しまたは光架橋によって実行され得る。熱焼き鈍しは、好適には、実質的に250℃、典型的には230℃から260℃の間の温度で、実質的に10分間、典型的には5分から15分の間に等しい持続時間、実行される。熱焼き鈍しは、ホットプレート上または炉内で実行され得る。機能化層2を形成するステップ103は、次に、溶媒を使用して機能化ポリマーの余剰分が除去されるリンスすることのサブステップを備え得る。機能化ポリマーがPS−r−PMMAである場合、使用される溶媒は、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA)であり得る。
図1dを参照して示すように、この方法は、次に、機能化層の垂直部分12の選択的なエッチングのステップ104と、存在する場合には、保護層3の垂直部分9の選択的なエッチングのステップとを備える。このステップの終わりに、機能化層2の水平部分8と保護層3の水平部分9のみが保存される一方、キャビティ7の側壁5はむき出しのままである。
これを行うために、異なる選択的なエッチング技術が使用され得る。
したがって、第1の実施形態によれば、この選択的なエッチングは、イオンビームエッチング(IBE)であり得る。この場合、エッチングは、物理的なエッチングである。イオンビームによるエッチングは指向性があり、キャビティ7の底部に配置されたこの層の水平部分11を維持しながら、機能化層2の垂直部分12のみをエッチングするようにビームの方向が選択され得る。イオンビームは、キャビティの底部がビームによって到達されないように、機能化層の垂直部分に対して傾斜される。
キャビティ7の水平底部6(すなわち、基板の平面に平行)に対して測定されたイオンビームの傾斜角度Θは、好適には、以下の式によって与えられる。
使用されるイオンは、たとえば、水素またはヘリウムであり得る。エッチング条件は、エッチングされるべき層の構成およびその厚さに依存する。
保護層は、存在する場合、物理的なエッチングに対する停止層として作用し、衝撃中、下層を保護する。保護層は、次に、たとえば、保護層および機能化層の水平部分に対して選択的な湿式エッチングによって、さほど侵略的ではない手法で脱離され得る。有利には、エッチング溶液が保護層の水平部分に接近するのを阻止するために、機能化層のレベルで(典型的には上記のグラフト条件で)高密度グラフトが実行されるであろう。
第2の実施形態によれば、選択的なエッチングのステップ104は、保護層の水平部分8と、機能化層2の水平部分11に対して、選択的にエッチングされ得るように、保護層3の垂直部分9(および、場合によっては、機能化層2の垂直部分11)に軽イオンを注入する第1のサブステップを備え得る。保護層3の垂直部分9の注入中、機能化層2の垂直部分12は、イオンビームによって表面上で物理的にエッチングされ得る。しかしながら、注入中の機能化層2の、この部分的なエッチングは、系統的ではない。「軽イオン」は、原子番号が10未満のイオンを示す。軽イオンの注入は、指向性のあるイオン衝撃によって実行される。イオン衝撃は、保護層3の垂直部分9に交差する方向に沿って向けられる。
このように、この第2の実施形態では、イオン衝撃は、保護層および潜在的には機能化層にイオンを注入するように一意に構成され、その後、保護層および機能化層を選択的にエッチングすることが可能となる。指向性のあるイオン衝撃は、イオンビーム注入装置またはイオンビームエッチャー(IBE)で実行され得る。指向性のある衝撃が、イオンビーム注入装置で実行される場合、原子番号が10未満の任意のイオン、たとえば:Ar、H、He、N2を注入することが可能である。注入条件は、所与の材料における所与の種の注入プロファイルおよび深さをシミュレートすることを可能にするソフトウェア(たとえば、モンテカルロ型シミュレーションに基づくSRIMソフトウェア)を使用して決定され得る。
第2の実施形態によれば、選択的なエッチングのステップ104は、次に、機能化層の垂直部分12を、有機溶媒と接触させることによって、選択的にエッチングするサブステップを備え得る。このステップ中、機能化層2の全体が、有機溶媒と接触して配置されるが、軽イオンが注入された機能化層2の垂直部分12のみがエッチングされる。したがって、この実施形態は、機能化層の垂直部分をエッチングしている間だけ、等方的なエッチング技術を使用することを可能にする。有機溶媒は、機能化層2に依存する。したがって、機能化層がPS−r−PMMAの層である場合、使用される溶媒は、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA)であり得る。機能化層の溶媒への露出の持続時間は、エッチングされるべき厚さに依存する。この持続時間は、機能化層の水平部分11を消耗しすぎないように、長すぎてはいけない。
第2の実施形態によれば、選択的なエッチングのステップ104は、次に、保護層3の垂直部分9を、保護層3の水平部分8に対して、機能化層2の水平部分11に対して(および、好適にはガイドパターン4に対して)、選択的にエッチングするサブステップを備え得る。保護層3の垂直部分9のこの選択的なエッチングは、異なるエッチング技術を使用して実行され得る。これらエッチング技術は、等方的であり得る。
したがって、第1の代替実施形態によれば、保護層3の垂直部分9の選択的なエッチングは、湿式エッチングであり得る。フッ酸系またはリン酸系のエッチング溶液を使用して湿式エッチングが実行され得る。保護層3の全体は、エッチング溶液と接触するように配置されるが、このステップ中に軽イオンが注入された保護層3の垂直部分9のみがエッチングされる。フッ酸系溶液の場合には、エッチング溶液は、好適には、1%に希釈される。保護層のエッチング溶液への露出の持続時間は、エッチングされる層の厚さと、エッチング溶液の濃度とに依存する。それは一般に、1秒から10分の間で変動する。この露出の持続時間は、保護層3の垂直部分9がエッチングされ、保護層の水平部分8が保存されるように選択される。
たとえば、保護層が10nmのSiN層である場合、フッ酸系またはリン酸系のエッチング溶液の場合、露出の持続時間は、30秒程度である。
第2の代替実施形態によれば、保護層の垂直部分の選択的なエッチングは乾式エッチングであり得る。この目的のために、リモートプラズマが使用される。エッチングステップは、その後、好適には、2つのサブステップを備える:
− プラズマから塩を形成する第1のサブステップ。
− 塩の昇華からなる第2のサブステップ。
− プラズマから塩を形成する第1のサブステップ。
− 塩の昇華からなる第2のサブステップ。
塩は、好適には、フッ素および水素系のプラズマから形成される。このために、一方で、三フッ化窒素が使用され得、他方で、二水素またはアンモニアが使用され得る。塩は、100℃未満の温度で、2トールにおいて、1秒から5秒の間からなる持続時間、プラズマを当てることによって形成され得る。
塩は、好適には、焼き鈍しによって昇華される。焼き鈍しは、好適には、100℃を超える温度、好適には、150℃から200℃の間からなる温度で実行される。
たとえば、保護層3が10nmの厚さのSiN層である場合、乾式エッチングは、以下のサブステップを備え得る:
− 30℃において45秒間、50cm3/分から300cm3/分の間からなるNH3の流量で実行されるプラズマによって塩を形成するサブステップ。
− 30℃において45秒間、50cm3/分から300cm3/分の間からなるNH3の流量で実行されるプラズマによって塩を形成するサブステップ。
− 180℃において1分間の焼き鈍しによって塩を昇華させるステップ。
第3の代替実施形態によれば、保護層3の垂直部分9の選択的なエッチングは、気相エッチングであり得る。
これを行うために、第1の代替実施形態によれば、溶媒中に希釈された気相のフッ化水素酸を使用し得る。このアプローチは、保護層の非露出部分に対して、より良い選択を可能にする。その後、エッチングステップの後に形成された塩を除去するために、洗浄工程が必要である。
第2の代替実施形態によれば、フッ化水素酸のガスが、エッチングされるべき層が配置される反応チャンバへ注入され得る。不活性ガスが、反応チャンバへ同時に注入される。この不活性ガスにより、反応チャンバ内に注入されるフッ化水素酸の割合、したがって、エッチング速度を調節することが可能となる。反応チャンバ内に注入されるフッ化水素酸の割合は、好適には10%から90%の間からなる。2つのガスの各々の流量は、独立して制御され得る。このエッチングは、周囲圧力および温度、または周囲圧力より低い圧力および周囲温度より高い温度で実行され得る。優先的な実施形態によれば、温度は15℃から80℃の間からなり、圧力は40トールから760トールの間からなる。エッチング持続時間は、エッチングされるべき厚さに依存する。それは、好適には、1秒から10分の間からなる。
例として、保護層が厚さ10nmのSiN層である場合には、31%のフッ化水素酸ガスと69%の二窒素ガスを周囲圧力および温度で2分間注入することによって、気相エッチングが実行され得る。
オプションで、湿気を脱離させるために、気相エッチングの前に予備焼き鈍しが実行され得る。この予備焼き鈍しは、好適には100℃よりも高い温度で実行され得る。予備焼き鈍しと気相エッチングとの間の持続時間は、水の取り込みを制限するために、好適には、1時間未満である。このために、予備焼き鈍しと気相エッチングは、好適には、同じ装置内で実行され得る。
さらに、気相エッチングに続いて、好適には、後処理が実行され、気相エッチング中に生成されたすべての不揮発性反応生成物を除去することが可能になる。
これを行うために、たとえば、反応生成物は、反応生成物を可溶化することによって脱離され得る。この目的のために、たとえば10分間、基板は、水、好適には脱イオン化された、を使用してリンスされ得る。水は、ガイドパターン上を循環し得るか、またはガイドパターン上で気化され得る。
あるいは、反応生成物は、反応生成物を揮発化することによっても脱離され得る。これを行うために、低圧での焼き鈍しが実行され得る。例として、この焼き鈍しは、200℃の温度、1.5トールの圧力において、二窒素と4%の二水素とを備えるガスを、2000cm3/分の流量で、180秒間注入することによって実行され得る。
第2の実施形態によれば、選択的なエッチングのステップ104は、注入直後に、湿式エッチングによる保護層3の垂直部分9の選択的なエッチングを代替的に備え得る。このエッチングは、機能化層2の垂直部分12のリフトオフ効果による脱離をもたらす。湿式エッチングは、前述したようにフッ酸系またはリン酸系のエッチング溶液を使用して実行され得る。
機能化層を介したエッチング溶液の接近を容易にするために、機能化層の、より低密度のグラフトへ手段を変えることが可能である。これを行うために、機能化層は、たとえば、より低い温度および/またはより短い持続時間中、(スピンコーティング後に)焼き鈍しされる。典型的には、機能化ポリマーは、グラフト種の密度がより低くなるように、150℃と170℃との間からなる温度で、および/または、3分未満の時間または2分未満の時間でさえも、グラフトされ得る。
したがって、この方法は、底部が機能化層で機能化される一方、側壁がむき出しのままであるキャビティを備えたガイドパターンを製造することを可能にする。
このガイドパターンは、次に、非常に高い解像度および密度のパターンを生成するために、グラフォエピタキシー方法において、および、特に、ブロック共重合体の(誘導自己組織化DSA)のための方法において使用され得る。
グラフォエピタキシー方法は、次に、ガイドパターン4のキャビティ7内にブロック共重合体を堆積させるステップを備え得る。
このブロック共重合体は、特に、以下のうちの1つであり得る:
− PS−b−PMMA:ポリスチレン−ブロック−ポリメチルメタクリレート。
− PS−b−PLA:ポリスチレン−ブロック−ポリ乳酸。
− PS−b−PEO:ポリスチレン−ブロック−ポリエチレンオキシド。
− PS−b−PDMS:ポリスチレン−ブロック−ポリジメチルシロキサン。
− PS−b−PMMA−b−PEO:ポリスチレン−ブロック−ポリメチルメタクリレート−ブロック−ポリエチレンオキシド。
− PS−b−P2VP:ポリスチレン−ブロック−ポリ(2−ビニルピリジン)。
− PS−b−PMMA:ポリスチレン−ブロック−ポリメチルメタクリレート。
− PS−b−PLA:ポリスチレン−ブロック−ポリ乳酸。
− PS−b−PEO:ポリスチレン−ブロック−ポリエチレンオキシド。
− PS−b−PDMS:ポリスチレン−ブロック−ポリジメチルシロキサン。
− PS−b−PMMA−b−PEO:ポリスチレン−ブロック−ポリメチルメタクリレート−ブロック−ポリエチレンオキシド。
− PS−b−P2VP:ポリスチレン−ブロック−ポリ(2−ビニルピリジン)。
ブロック共重合体は、機能化層で覆われたキャビティの底部およびその側壁と同じ親和性を有さないので、キャビティの機能化により、ブロック共重合体によって生成される二次パターンのキャビティ内における配向を制御することを可能にする。
もちろん、本発明は、図面を参照して説明された実施形態に限定されず、本発明の範囲を逸脱することなく代替案が想到され得る。したがって、機能化層は既に説明されたものとは異なる他の組成を有することができる。同様に、他のブロック共重合体が使用され得る。本発明は、詳細説明において例として与えられた溶媒へのいずれにも限定されない。さらに、本発明は、ガイドパターンが単一のキャビティを備える場合において説明された。しかしながら、それはガイドパターンにおけるキャビティの数に関係なく適用可能である。
Claims (17)
- ブロック共重合体の自己集合のために意図された機能化されたガイドパターン(4)を、グラフォエピタキシーによって形成する方法であって、以下のステップ、
− ブロック共重合体に対して第1の化学的親和性を有する第1の材料からなるガイドパターン(4)を基板(1)上に形成し(101)、ガイドパターン(4)は、底部(6)および側壁(5)を備えた、キャビティ(7)を備えることと、
− ブロック共重合体に対して第2の化学的親和性を有する第2のポリマー材料からなる機能化層(2)をグラフトし(103)、機能化層(2)は、キャビティ(7)の底部(6)にグラフトされた第1の部分(11)と、キャビティ(7)の側壁(5)にグラフトされた第2の部分(12)とを備えることと、
− 機能化層の第1の部分(11)に対して、機能化層(2)の第2の部分(12)を選択的にエッチングすること(104)であって、機能化層の第2の部分(12)のエッチングは、イオンビームが機能化層の第1の部分(11)に到達しないように、機能化層(2)の第2の部分(12)に交差する方向に沿って向けられたイオンビームへ露出するステップを備える、エッチングすること(104)とを備える、方法。 - 機能化層(2)をグラフトするステップの前に、ガイドパターン(4)上に保護層(3)を堆積させるステップ(102)をさらに備え、保護層(3)は、キャビティ(7)の底部(6)上に堆積された第1の部分(8)と、キャビティ(7)の側壁(5)上に堆積された第2の部分(9)とを備える、請求項1に記載の方法。
- 機能化層(2)の第2の部分(12)のエッチングが、イオンビームエッチング(IBE)である、請求項1または2に記載の方法。
- 機能化層(2)の第2の部分(12)のエッチングが、以下のサブステップ、
− 保護層(3)の第2の部分(9)と、機能化層(2)の第2の部分(12)とが、保護層(3)の第1の部分(8)に対して、および、機能化層(2)の第1の部分(11)に対して、それぞれ選択的にエッチングされ得るように、保護層(3)の第2の部分(9)に、および、機能化層(2)の第2の部分(12)に、10未満の原子番号を有するイオンを、イオンビームへの露出によって注入することと、
− 機能化層(2)の第2の部分(12)を、有機溶媒と接触させることによって、エッチングすることとを備え、
方法はさらに、保護層(3)の第2の部分(9)を、保護層(3)および機能化層(2)の第1の部分(8、11)に対して選択的にエッチングするステップを備える、請求項2に記載の方法。 - 機能化層(2)の第2の部分(12)のエッチングが、以下のサブステップ、
− 保護層の第2の部分が、保護層の第1の部分に対して選択的にエッチングされ得るように、保護層の第2の部分に、10未満の原子番号を有するイオンを、イオンビームへの露出によって注入することと、
− 保護層の第2の部分を、保護層の第1の部分に対して選択的に湿式エッチングし、保護層の第2の部分に配置された機能化層の第2の部分の脱離をもたらすこととを備える、請求項2に記載の方法。 - 保護層(3)の第2の部分(9)のエッチングが、フッ化水素酸系またはリン酸系のエッチング溶液を使用した湿式エッチングである、請求項4および5のいずれか一項に記載の方法。
- 保護層(3)の第2の部分(9)のエッチングが、リモートプラズマを使用して実行される乾式エッチングであり、乾式エッチングが、以下のサブステップ、
− プラズマから塩を形成する第1のサブステップと、
− 塩の昇華の第2のサブステップとを備える、請求項4に記載の方法。 - 塩が、フッ素および水素系のプラズマから形成される、請求項7に記載の方法。
- 塩が、焼き鈍しによって昇華される、請求項7または8に記載の方法。
- 保護層(3)の第2の部分(9)のエッチングは、気相エッチングである、請求項4に記載の方法。
- 気相エッチングが、エッチングされるべき層の上に、溶媒中に希釈された気相のフッ化水素酸を注入するステップを備える、請求項10に記載の方法。
- 気相エッチングが、以下のサブステップ、
− エッチングされるべき層が配置された反応チャンバ内にフッ化水素酸のガスを注入することと、
− 反応チャンバ内に不活性ガスを注入することとを備える、請求項10に記載の方法。 - 気相エッチングステップの前に、予備焼き鈍しステップをさらに備える、請求項10から12のいずれか一項に記載の方法。
- 気相エッチングが、不揮発性反応生成物を形成し、方法はさらに、気相エッチング中に形成される不揮発性反応生成物を除去するステップを備え、不揮発性反応生成物を除去するステップは、
− 前記生成物を、好適には水である脱離溶液に可溶化するステップと、および/または、
− 100℃から300℃の間からなる温度で焼き鈍しするステップとを備える、請求項10から13のいずれか一項に記載の方法。 - 保護層(3)が、珪素を備えた誘電性無機材料の層である、請求項1から14のいずれか一項に記載の方法。
- 請求項1から15のいずれか一項にしたがって機能化されたガイドパターンを形成する方法と、ブロック共重合体をキャビティ(7)内に堆積させるステップとを備える、グラフォエピタキシー方法。
- ブロック共重合体が、少なくとも2つのモノマーブロックを備え、機能化層(2)は、すべてのモノマーブロックと同等の親和性を有する、請求項16に記載のグラフォエピタキシー方法。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1022274A (ja) * | 1996-07-08 | 1998-01-23 | Fujitsu Ltd | エッチング方法及び半導体装置の製造方法 |
US20140374843A1 (en) * | 2013-06-19 | 2014-12-25 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Replacement metal gate transistor |
US20150076108A1 (en) * | 2012-11-13 | 2015-03-19 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Lithography Process Using Directed Self Assembly |
US20160077439A1 (en) * | 2014-09-16 | 2016-03-17 | Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives | Grapho-epitaxy method for making patterns on the surface of a substrate |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CA1129118A (en) | 1978-07-19 | 1982-08-03 | Tetsushi Sakai | Semiconductor devices and method of manufacturing the same |
US5202272A (en) * | 1991-03-25 | 1993-04-13 | International Business Machines Corporation | Field effect transistor formed with deep-submicron gate |
US6649928B2 (en) * | 2000-12-13 | 2003-11-18 | Intel Corporation | Method to selectively remove one side of a conductive bottom electrode of a phase-change memory cell and structure obtained thereby |
US6750116B1 (en) * | 2003-07-14 | 2004-06-15 | Nanya Technology Corp. | Method for fabricating asymmetric inner structure in contacts or trenches |
TWI235426B (en) * | 2004-01-28 | 2005-07-01 | Nanya Technology Corp | Method for manufacturing single-sided buried strap |
JP4867171B2 (ja) * | 2005-01-21 | 2012-02-01 | 富士電機株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US8080615B2 (en) * | 2007-06-19 | 2011-12-20 | Micron Technology, Inc. | Crosslinkable graft polymer non-preferentially wetted by polystyrene and polyethylene oxide |
US8114301B2 (en) | 2008-05-02 | 2012-02-14 | Micron Technology, Inc. | Graphoepitaxial self-assembly of arrays of downward facing half-cylinders |
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US8481389B2 (en) * | 2011-04-05 | 2013-07-09 | International Business Machines Corporation | Method of removing high-K dielectric layer on sidewalls of gate structure |
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US9632408B1 (en) * | 2016-10-12 | 2017-04-25 | International Business Machines Corporation | Graphoepitaxy directed self assembly |
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JPH1022274A (ja) * | 1996-07-08 | 1998-01-23 | Fujitsu Ltd | エッチング方法及び半導体装置の製造方法 |
US20150076108A1 (en) * | 2012-11-13 | 2015-03-19 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Lithography Process Using Directed Self Assembly |
US20140374843A1 (en) * | 2013-06-19 | 2014-12-25 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Replacement metal gate transistor |
US20160077439A1 (en) * | 2014-09-16 | 2016-03-17 | Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives | Grapho-epitaxy method for making patterns on the surface of a substrate |
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