JP2019508272A5 - - Google Patents

Description

取り外し可能なライナが、第２の接着剤層を覆うことができる。研磨層スタックは、研磨層およびバッキング層を含むことができる。研磨層は、起毛ポリウレタンとすることができ、バッキング層は、研磨層とは異なる材料とすることができる。バッキング層および流体不透過層はそれぞれ、ポリエステルとすることができる。研磨パッドは、約３ｍｍ未満の全体的な厚さを有することができる。
別の態様では、研磨パッドを作製する方法は、第１の接着剤層を露出させるように研磨層スタックの研磨面から底面へ研磨層スタックを通る開孔を形成するステップを含み、第１の接着剤層は、研磨層スタックの底面上に位置決めされて研磨層スタックの底面に接触し、開孔および研磨パッドに及ぶ。研磨層スタックは、研磨面を有する研磨層を含む。第１の接着剤層が、開孔および研磨パッドに及ぶ流体不透過層に研磨層スタックの底面を固定する。事前に形成された光透過物体が、光透過物体の下面が第１の接着剤層に接触して接着するように、研磨層内の開孔内に位置決めされ、間隙を横方向に充填するように、光透過物体を開孔の側壁から分離する間隙内へ接着性密閉材が分注され、接着性密閉材が硬化される。

そのような研磨層スタックを有する研磨パッドは、たとえば、日本、東京の富士紡ホールディングス株式会社から商品名Ｈ７０００ＨＮで入手可能である。
別法として、研磨層スタック２０は、単一の層、すなわち研磨層７０のみを有することができる。したがって、研磨層スタックは、均質な材料の単一の層から形成することができる。
接着構造２８は、両面接着テープとすることができる。たとえば、図３をさらに参照すると、接着構造２８は、それぞれ上部接着剤層８２および下部接着剤層８４で被覆された実質上透明な流体不透過層８０を含むことができる。上部接着剤層８２は、研磨層スタック２０に当接し、接着構造２８を研磨層スタック２０に接合する。使用の際、下部接着剤層８４は、プラテン１６に当接し、研磨パッド１８をプラテン１６に接合する。上部接着剤層８２および下部接着剤層はどちらも、感圧接着剤材料とすることができる。上部接着剤層８２および下部接着剤層８４は、約０．５〜５ミル（１０００分の１インチ）の厚さを有することができる。流体不透過層８０は、ポリエステル、たとえばポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、たとえばＭｙｌａｒ（商標）とすることができる。流体不透過層８０は、約１〜７ミルの厚さを有することができる。流体不透過層８０は、研磨層２０より低い圧縮性を有することができる。

いくつかの実装形態では、接着性密閉材６４は、光透過物体６０と開孔５４の側壁との間の間隙を完全に垂直方向に充填する。
しかし、いくつかの実装形態では、接着性密閉材６４は、間隙を完全に垂直方向に充填する必要はない。たとえば、図９に示すように、上部接着剤層８２と接着性密閉材６４との間の垂直方向の空間内に残っている気泡または空隙６６が存在することもできる。
図３に戻ると、接着性密閉材６２は、研磨層７０より柔らかくすることができる。いくつかの実装形態では、接着性密閉材６２は、光透過物体６０とほぼ同じ硬さ、たとえばショアＤで約５０である。接着性密閉材６２は、ＵＶまたは熱硬化性エポキシとすることができる。接着性密閉材６２は、上部接着剤層８２の接着剤とは異なる接着材料とすることができる。
いくつかの実装形態では、下部接着剤層８４は、光透過物体６０の下の領域８６内で除去される。下部接着剤層８４が存在する場合、光源４４によって生成される光線からの熱が下部接着剤層８４を液化させるというリスクがあり、窓アセンブリの不透明度を増大させる可能性がある。

図２に示すように、密閉材６４は、光透過物体６０を完全に取り囲むことができる。次いで、密閉材６４は、たとえば熱またはＵＶ放射によって硬化される。
したがって、研磨パッドを通る窓５０は、光透過物体６０と、光透過性の接着構造２８のうち光透過物体６０の下の部分との組合せによって提供される。
溝２４が開孔５４と交差する場合、液体の密閉材６４が開孔５４内へ分注されるとき、液体の密閉材の一部分が溝２４に沿って流れることができる。したがって、密閉材６４の一部は、開孔８４のエッジを越えて延び、溝の中へ突出部を形成することができる。硬化されたとき、これらの突出部は、研磨パッドに対する光透過物体６０の結合をさらに増大させることができる。

Claims (15)

1. 研磨パッドであって、
   研磨面、底面、および前記研磨面から前記底面への開孔を有し、前記研磨面を有する研磨層を含む研磨層スタックと、
   前記開孔および前記研磨パッドに及ぶ流体不透過層と、
   前記研磨層スタックの前記底面に接触し、前記研磨層スタックの前記底面を前記流体不透過層に固定し、前記開孔および前記研磨パッドに及ぶ第１の接着材料の第１の接着剤層と、
   前記開孔内に位置決めされており、前記第１の接着剤層に接触して固定された下面を有し、間隙によって前記開孔の側壁から隔置されている光透過物体と、
   前記間隙内に配置され、前記間隙を横方向に充填する異なる第２の材料の接着性密閉材とを備える研磨パッド。
2. 前記光透過物体が、前記研磨層より柔らかい、請求項１に記載の研磨パッド。
3. 前記接着性密閉材が、前記光透過物体とほぼ同じ硬さを有する、請求項２に記載の研磨パッド。
4. 前記光透過物体の頂面が、前記研磨面に対して凹んでいる、請求項１に記載の研磨パッド。
5. 前記間隙が、前記光透過物体を完全に横方向に取り囲む、請求項１に記載の研磨パッド。
6. 前記接着性密閉材が、前記第１の接着剤層に接触するまで延びるが、前記光透過物体の下には延びない、請求項１に記載の研磨パッド。
7. 前記流体不透過層の前記第１の接着剤層とは反対側で前記流体不透過層に接触するように位置決めされた第２の接着剤層を備える、請求項１に記載の研磨パッド。
8. 前記光透過物体と位置合わせされた前記第２の接着剤層を通る開孔を備える、請求項７に記載の研磨パッド。
9. 前記第１の接着材料が、感圧接着剤を含み、前記第２の接着材料が、硬化エポキシまたはポリウレタンを含む、請求項１に記載の研磨パッド。
10. 前記研磨層スタックが、前記研磨層およびバッキング層を含み、前記研磨層が、起毛ポリウレタンであり、前記バッキング層が、前記研磨層とは異なる材料である、請求項１に記載の研磨パッド。
11. 前記バッキング層および前記流体不透過層がそれぞれ、ポリエステルである、請求項１０に記載の研磨パッド。
12. 研磨パッドを作製する方法であって、
    第１の接着剤層を露出させるように研磨層スタックの研磨面から底面へ研磨層スタックを通る開孔を形成するステップであり、前記第１の接着剤層が、前記研磨層スタックの前記底面上に位置決めされて前記研磨層スタックの前記底面に接触し、前記開孔および前記研磨パッドに及び、前記研磨層スタックが、前記研磨面を有する研磨層を含み、前記第１の接着剤層が、前記開孔および前記研磨パッドに及ぶ流体不透過層に前記研磨層スタックの前記底面を固定する、形成するステップと、
    事前に形成された光透過物体を、前記光透過物体の下面が前記第１の接着剤層に接触して接着するように、前記研磨層スタック内の前記開孔内に位置決めするステップと、
    前記間隙を横方向に充填するように、前記光透過物体を前記開孔の側壁から分離する間隙内へ接着性密閉材を分注するステップと、
    前記接着性密閉材が硬化されるステップとを含む方法。
13. 第２の接着剤層のうち前記流体不透過層の前記第１の接着剤層とは反対側で前記流体不透過層に接触するように位置決めされた部分を除去するステップを含み、前記部分が、前記光透過物体と位置合わせされる、請求項１２に記載の方法。
14. 前記開孔を形成するステップが、前記開孔内の前記第１の接着剤層の大部分を前記流体不透過層上に残したまま、前記研磨層スタックの一部分を前記第１の接着剤層から剥がすことを含む、請求項１２に記載の方法。
15. 前記開孔を形成するステップが、前記開孔内の前記第１の接着剤層の大部分を前記流体不透過層上に残したまま、使い捨てカバーを前記第１の接着剤層から剥がすことを含み、前記使い捨てカバーが、前記研磨層とは異なる材料である、請求項１２に記載の方法。