JP2019207986A - 基板処理方法および基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
また、この発明の他の目的は、リンス液の供給に伴うヒートショックの発生を抑制でき、これにより、基板の表面へのダメージの付与を抑制または防止できる、基板処理方法および基板処理装置を提供することである。
この方法によれば、SPM工程の終了に引き続きリンス工程の開始に先立って、基板の表面にSPMを供給せずに基板を回転させ、基板の表面からSPMを排出させる。これにより、リンス工程の開始に先立って、基板の表面を乾燥させない程度に、基板の表面に存在する高温のSPMの量を低減できる。基板の表面に存在する高温のSPMの量を低減した後にリンス工程を開始するので、リンス工程において基板の表面の周囲に発生するSPMのヒュームの量を抑制できる。これにより、SPMのヒュームを含む雰囲気の周囲への拡散を抑制できる。
この方法によれば、SPM低減工程に並行して、基板の裏面に冷却液が供給される(裏面冷却液供給工程)。そのため、SPM低減工程において、基板の表面に存在するSPMを冷却できる。そのため、リンス工程の開始時における、基板の表面に存在するSPMの温度を低くできる。SPMが高温になるのに従って、SPMのヒュームの発生量が増大する。これにより、リンス工程において基板の表面の周囲に発生するSPMのヒュームの量をより一層抑制できる。
請求項3に記載の発明は、前記基板処理方法が、前記裏面冷却液供給工程が、前記基板の裏面の中央部に向けて前記冷却液を吐出する中央部吐出工程と、前記中央部吐出工程に並行して、前記基板の裏面の周縁部に向けて前記冷却液を吐出する周縁部吐出工程とを含む、請求項2に記載の基板処理方法である。
請求項4に記載のように、前記冷却液が、前記リンス液よりも高い液温を有していてもよい。
この方法によれば、基板にリンス液が供給される前に、当該リンス液よりも高い液温を有する冷却液が基板に供給される。そのため、冷却液による冷却とリンス液による冷却とを順に行うことにより、基板を段階的に温度低下できる。これにより、ヒートショックの発生をより一層抑制できる。
この方法によれば、基板の裏面に供給される冷却液がリンス液と同じ温度であるので、基板の表面に存在するSPMの液温をより一層低下できる。基板の表面に存在するSPMの液温が十分に低下した後にリンス工程を開始するので、リンス工程において基板の表面の周囲に発生するSPMのヒュームの量をより一層抑制できる。
この方法によれば、所定の低温まで降下させられた後にリンス工程が開始される。そのため、SPM低減工程において、基板の表面に存在するSPMを冷却できる。そのため、リンス工程の開始時における、基板の表面に存在するSPMの温度を低くできる。これにより、リンス工程において基板の表面の周囲に発生するSPMのヒュームの量をより一層抑制できる。
この方法によれば、温度センサによって検出された温度が前記所定の低温に達した場合に、リンス工程が開始する。これにより、基板の表面に存在するSPMの温度が所定の低温まで確実に降下した後に、リンス工程を開始できる。これにより、リンス工程において基板の表面の周囲に発生するSPMのヒュームの量をより一層抑制できる。
請求項9に記載の発明は、前記リンス工程に並行して、前記基板を前記回転軸線回りに回転させる第2の基板回転工程と、前記SPM低減工程および前記リンス工程に並行して、前記基板保持ユニットの周囲を取り囲む筒状のガードを有し、当該基板保持ユニットを収容する処理カップの内部を排気するガード内排気工程と、前記リンス工程に並行して、前記ガードを、第1の高さ位置に維持する第1の高さ維持工程と、前記SPM低減工程に並行して、前記ガードを、前記第1の高さ位置よりも高い第2の高さ位置に維持する第2の高さ維持工程とを含む、請求項1〜8のいずれか一項に記載の基板処理方法である。
基板の表面へのSPMの供給の際に、基板の表面の周囲に大量のSPMのヒュームが発生する。また、リンス工程においても、基板の表面に存在するSPMとリンス液との反応により、基板の表面の周囲にSPMのヒュームが発生する。SPM低減工程において、第2の高さ位置にガードを配置しかつ処理カップの内部を排気している。SPM低減工程において、SPMの供給の停止を維持することにより、基板の周囲に存在するSPMのヒュームの量が減少する。すなわち、基板の表面の周囲に存在するSPMのヒュームの量が低減した状態で、基板の表面へのリンス液の供給を開始できる。したがって、基板の表面へのリンス液の供給に伴ってSPMのヒュームが発生したとしても、SPMのヒュームを含む雰囲気が処理カップ外に流出するようなことはない。これにより、SPMのヒュームを含む雰囲気の、周囲への拡散を抑制できる。
この方法によれば、基板の表面に付着しているレジスト残渣を良好に取り除くことができる。また、基板の表面に残留している硫黄成分を良好に取り除くこともできる。
この構成によれば、SPM工程の終了に引き続きリンス工程の開始に先立って、基板の表面にSPMを供給せずに基板を回転させ、基板の表面からSPMを排出させる。これにより、リンス工程の開始に先立って、基板の表面を乾燥させない程度に、基板の表面に存在する高温のSPMの量を低減できる。基板の表面に存在する高温のSPMの量を低減した後にリンス工程を開始するので、リンス工程において基板の表面の周囲に発生するSPMのヒュームの量を抑制できる。これにより、SPMのヒュームを含む雰囲気の周囲への拡散を抑制できる。
請求項13に記載の発明は、前記冷却液供給ユニットが、前記基板保持ユニットに保持されている基板の裏面の中央部に対向する中央部吐出口と、前記基板保持ユニットに保持されている基板の裏面の周縁部に対向する周縁部吐出口とを有し、前記制御装置が、前記裏面冷却液供給工程において、前記基板の裏面の中央部に向けて前記中央部吐出口から前記冷却液を吐出する中央部吐出工程と、前記中央部吐出工程に並行して、前記周縁部吐出口から前記基板の裏面の周縁部に向けて前記冷却液を吐出する周縁部吐出工程とを実行する、請求項12に記載の基板処理装置である。
請求項14に記載のように、前記冷却液が、常温よりも高い液温を有していてもよい。
この構成によれば、基板にリンス液が供給される前に、当該リンス液よりも高い液温を有する冷却液が基板に供給される。そのため、冷却液による冷却とリンス液による冷却とを順に行うことにより、基板を段階的に温度低下できる。これにより、ヒートショックの発生をより一層抑制できる。
この構成によれば、基板の裏面に供給される冷却液がリンス液と同じ温度であるので、基板の表面に存在するSPMの液温をより一層低下できる。基板の表面に存在するSPMの液温が十分に低下した後にリンス工程を開始するので、リンス工程において基板の表面の周囲に発生するSPMのヒュームの量をより一層抑制できる。
請求項16に記載の発明は、前記制御装置が、前記基板の温度がSPM低減工程によって所定の低温まで降下させられた後に、前記リンス工程を開始する、請求項11〜15のいずれか一項に記載の基板処理装置である。
この構成によれば、所定の低温まで降下させられた後にリンス工程が開始される。そのため、SPM低減工程において、基板の表面に存在するSPMを冷却できる。そのため、リンス工程の開始時における、基板の表面に存在するSPMの温度を低くできる。これにより、リンス工程において基板の表面の周囲に発生するSPMのヒュームの量をより一層抑制できる。
請求項18に記載の発明は、前記制御装置が、前記SPM工程に並行して、前記基板を前記回転軸線回りに回転させる第1の基板回転工程をさらに実行し、前記制御装置が、前記SPM低減工程において、前記第1の基板回転工程と同じか、または前記第1の基板回転工程よりも速い回転速度で前記基板を回転させる工程を実行する、請求項11〜17のいずれか一項に記載の基板処理装置である。
請求項19に記載の発明は、前記基板保持ユニットの周囲を取り囲み、前記基板保持ユニットに保持されている基板から排出される処理液を捕獲するガードを有する処理カップと、前記処理カップの内部を排気する排気ユニットと、前記ガードを昇降させるガード昇降ユニットとをさらに含み、前記制御装置が、前記排気ユニットおよび前記ガード昇降ユニットをさらに制御し、前記制御装置が、前記リンス工程に並行して、前記基板を前記回転軸線回りに回転させる第2の基板回転工程と、前記SPM低減工程および前記リンス工程に並行して前記ガードの内部を排気するガード内排気工程と、前記リンス工程に並行して、前記ガードを、第1の高さ位置に維持する第1の高さ維持工程と、前記SPM低減工程に並行して、前記ガードを、前記第1の高さ位置よりも高い第2の高さ位置に維持する第2の高さ維持工程とを実行する、請求項11〜18のいずれか一項に記載の基板処理装置である。
基板の表面へのSPMの供給の際に、基板の表面の周囲に大量のSPMのヒュームが発生する。また、リンス工程においても、基板の表面に存在するSPMとリンス液との反応により、基板の表面の周囲にSPMのヒュームが発生する。SPM低減工程において、第2の高さ位置にガードを配置しかつ処理カップの内部を排気している。SPM低減工程において、SPMの供給の停止を維持することにより、基板の周囲に存在するSPMのヒュームの量が減少する。すなわち、基板の表面の周囲に存在するSPMのヒュームの量が低減した状態で、基板の表面へのリンス液の供給を開始できる。したがって、基板の表面へのリンス液の供給に伴ってSPMのヒュームが発生したとしても、SPMのヒュームを含む雰囲気が処理カップ外に流出するようなことはない。これにより、SPMのヒュームを含む雰囲気の、周囲への拡散を抑制できる。
この構成によれば、基板の表面に付着しているレジスト残渣を良好に取り除くことができる。また、基板の表面に残留している硫黄成分を良好に取り除くこともできる。
<第1の実施形態>
図1は、この発明の第1の実施形態に係る基板処理装置1の内部のレイアウトを説明するための図解的な平面図である。基板処理装置1は、シリコンウエハなどの基板Wを一枚ずつ処理する枚葉式の装置である。この実施形態では、基板Wは、円板状の基板である。
処理ユニット2は、内部空間を有する箱形のチャンバ4と、チャンバ4内で一枚の基板Wを水平な姿勢で保持して、基板Wの中心を通る鉛直な回転軸線A1まわりに基板Wを回転させるスピンチャック(基板保持ユニット)5と、スピンチャック5に保持されている基板Wの表面Waに、SPM(H2SO4(硫酸)およびH2O2(過酸化水素水)を含む硫酸過酸化水素水混合液(sulfuric acid/hydrogen peroxide mixture)を供給するためのSPM供給ユニット6と、スピンチャック5に保持されている基板Wの表面Waに、SC1(NH4OHとH2O2とを含む混合液)を供給するためのSC1供給ユニット7と、スピンチャック5に保持されている基板Wの表面Wa(上面)に対向する遮断部材8と、遮断部材8の内部を上下に挿通し、スピンチャック5に保持されている基板Wの上面の中央部に向けて、リンス液を含む処理流体を吐出するための中心軸ノズル9と、中心軸ノズル9にリンス液を供給するためのリンス液供給ユニット10と、スピンチャック5に保持されている基板Wの下面(基板Wの裏面Wb)の中央部に向けて処理液を吐出する下面ノズル11と、スピンチャック5を取り囲む筒状の処理カップ12とを含む。
FFU15は隔壁14の上方に配置されており、隔壁14の天井に取り付けられている。FFU15は、隔壁14の天井からチャンバ4内に清浄空気を送る。排気ユニット13は、処理カップ12内に接続された排気ダクト16を介して処理カップ12の底部に接続されており、処理カップ12の底部から処理カップ12の内部を吸引する。FFU15および排気ユニット13により、チャンバ4内にダウンフロー(下降流)が形成される。
スピンベース19は、基板Wの外径よりも大きな外径を有する水平な円形の上面19aを含む。上面19aには、その周縁部に複数個(3個以上。たとえば6個)の挟持部材20が配置されている。複数個の挟持部材20は、スピンベース19の上面周縁部において、基板Wの外周形状に対応する円周上で適当な間隔を空けてたとえば等間隔に配置されている。
SPMノズル21は、たとえば、連続流の状態で、SPMの一例としてのSPMを吐出するストレートノズルである。SPMノズル21は、たとえば、基板Wの上面に向けて、垂直方向、傾斜方向または水平な方向に、SPMを吐出する垂直姿勢でノズルアーム22に取り付けられている。ノズルアーム22は水平方向に延びている。
硫酸供給ユニット24は、SPMノズル21に一端が接続された硫酸配管26と、硫酸配管26を開閉するための硫酸バルブ27とを含む。硫酸配管26には、硫酸供給源から所定の高温に保たれたH2SO4が供給される。硫酸供給ユニット24は、硫酸配管26の開度を調整して、硫酸配管26を流通するH2SO4の流量を調整する硫酸流量調整バルブをさらに備えていてもよい。この硫酸流量調整バルブは、弁座が内部に設けられたバルブボディと、弁座を開閉する弁体と、開位置と閉位置との間で弁体を移動させるアクチュエータとを含む。他の流量調整バルブについても同様である。
SC1供給ユニット7は、SC1供給源からの常温の液体のSC1をSC1ノズル30に供給するSC1配管34と、SC1配管34を開閉するSC1バルブ35と、気体供給源からの気体をSC1ノズル30に供給する気体配管36と、気体配管36を開閉する気体バルブ37とをさらに含む。SC1ノズル30に供給される気体としては、一例として窒素ガス(N2)等の不活性ガスを例示できるが、それ以外に、たとえば乾燥空気や清浄空気などを採用できる。
回転軸42は、遮断板41の中心を通り鉛直に延びる回転軸線A2(基板Wの回転軸線A1と一致する軸線)まわりに回転可能に設けられている。回転軸42は、円筒状である。回転軸42は、遮断板41の上方で水平に延びる支持アーム43に相対回転可能に支持されている。
中心軸ノズル9は、貫通穴40の内部を上下に延びる円柱状のケーシングを備えている。中心軸ノズル9の下端は、基板対向面41aに開口して、吐出口9aを形成している。
リンス液供給ユニット10は、中心軸ノズル9にリンス液を案内するリンス液配管44と、リンス液配管44を開閉するリンス液バルブ45とを含む。リンス液は、たとえば水である。この実施形態において、水は、純水(脱イオン水)、炭酸水、電解イオン水、水素水、オゾン水、および希釈濃度(たとえば、10〜100ppm程度)のアンモニア水のいずれかである。リンス液バルブ45が開かれると、リンス液供給源からのリンス液が、リンス液配管44から中心軸ノズル9に供給される。これにより、中心軸ノズル9の吐出口9aから下方に向けてリンス液が吐出される。
支持アーム43には、電動モータ、ボールねじ等を含む構成の遮断部材昇降ユニット50が結合されている。遮断部材昇降ユニット50は、遮断部材8(遮断板41および回転軸42)ならびに中心軸ノズル9を、支持アーム43と共に鉛直方向に昇降する。
リンス液配管52には、リンス液配管52を開閉するためのリンス液バルブ55が介装されている。リンス液配管52に供給されるリンス液は、たとえば常温(RT。約23℃)の水である。この実施形態において、水は、純水(脱イオン水)、炭酸水、電解イオン水、水素水、オゾン水、および希釈濃度(たとえば、10〜100ppm程度)のアンモニア水のいずれかである。リンス液配管52およびリンス液バルブ55によって、下リンス液供給ユニット71が構成されている。
冷却液バルブ56およびSC1バルブ57が閉じられている状態でリンス液バルブ55が開かれると、リンス液供給源からのリンス液が、リンス液配管52および下面供給配管51を介して下面ノズル11に供給される。下面ノズル11に供給されたリンス液は、吐出口11aからほぼ鉛直上向きに吐出される。下面ノズル11から吐出されたリンス液は、スピンチャック5に保持された基板Wの下面中央部に対してほぼ垂直に入射する。
処理カップ12は、スピンベース19の周囲を取り囲む複数のカップ61,62と、基板Wの周囲に飛散した処理液を受け止める複数のガード63〜65と、複数のガード63〜65を個別に昇降させるガード昇降ユニット66(図3参照)とを含む。処理カップ12は、スピンチャック5に保持されている基板Wの外周よりも外側に配置されている。
制御装置3は、たとえばマイクロコンピュータを用いて構成されている。制御装置3はCPU等の演算ユニット、固定メモリデバイス、ハードディスクドライブ等の記憶ユニット、および入出力ユニットを有している。記憶ユニットは、演算ユニットが実行するコンピュータプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体を含む。記録媒体には、制御装置3に後述する第1の基板処理例または第2の基板処理例を実行させるようにステップ群が組み込まれている。
パターン100は、たとえば絶縁膜を含む。また、パターン100は、導体膜を含んでいてもよい。より具体的には、パターン100は、複数の膜を積層した積層膜により形成されており、さらには、絶縁膜と導体膜とを含んでいてもよい。パターン100は、単層膜で構成されるパターンであってもよい。絶縁膜は、シリコン酸化膜(SiO2膜)やシリコン窒化膜(SiN膜)であってもよい。また、導体膜は、低抵抗化のための不純物を導入したアモルファスシリコン膜であってもよいし、金属膜(たとえば金属配線膜)であってもよい。
図5は、処理ユニット2による第1の基板処理例を説明するための流れ図である。図1〜図5を参照しながら第1の基板処理例について説明する。この第1の基板処理例は、基板Wの上面(主面)からレジストを除去するレジスト除去処理である。基板Wの表面Wa(図4参照)には、その表面Waの全域を覆うようにレジストが堆積されている。基板Wは、レジストをアッシングするための処理を受けていないものとする。
制御装置3は、ノズル等が全てスピンチャック5の上方から退避しており、かつ全てのガード63〜65が退避位置RPに配置されている状態で、基板Wを保持している基板搬送ロボットCR(図1参照)のハンドHをチャンバ4の内部に進入させる。これにより、基板Wがその表面Wa(デバイス形成面)を上方に向けた状態でスピンチャック5に受け渡され、スピンチャック5に保持される。
スピンチャック5に基板Wが保持された後、制御装置3は、スピンモータ17を制御して基板Wの回転を開始させる(図5のステップS2)。基板Wは予め定める液処理速度(100〜500rpmの範囲内で、たとえば300rpm)まで上昇させられ、その液処理速度に維持される。また、制御装置3は、ガード昇降ユニット66を制御して、第1〜第3のガード63〜65の各々を、退避位置RPから上位置UPまで上昇させる。これにより、図6Aに示すように、処理カップ12が第1のガード捕獲状態になる(第2の高さ維持工程)。
具体的には、制御装置3は、ノズル移動ユニット23を制御して、SPMノズル21を、退避位置から処理位置に移動させる。また、制御装置3は、硫酸バルブ27および過酸化水素水バルブ29を同時に開く。これにより、硫酸配管26を通ってH2SO4がSPMノズル21に供給されると共に、過酸化水素水配管28を通ってH2O2がSPMノズル21に供給される。SPMノズル21の内部においてH2SO4とH2O2とが混合され、高温(たとえば、160〜220℃)のSPMが生成される。そのSPMが、SPMノズル21の吐出口から吐出され、基板Wの表面Waの中央部に着液する。
SPM工程(S3)において、処理カップ12が第1のガード対向状態である場合(処理カップ12が図6Cに示す状態である場合)、第1〜第3のガード63〜65の高さ位置が、基板Wから飛散するSPMを受け止めるという目的を達成するためには十分である。しかしながら、基板Wの表面Waの周囲に存在するSPMのヒュームFを含む雰囲気が、処理カップ12の上部開口12a(第3のガード65の上端によって区画される)を通って処理カップ12外に流出して、チャンバ4の内部に拡散するおそれがある。SPMのヒュームFを含む雰囲気は、パーティクルとなって基板Wに付着して当該基板Wを汚染したり、チャンバ4の隔壁14の内壁を汚染したりする原因となるので、このような雰囲気が周囲に拡散することは望ましくない。そのため、SPM工程(S3)に並行して、処理カップ12が第1のガード捕獲状態に維持されている。
具体的には、制御装置3は、硫酸バルブ27および過酸化水素水バルブ29を閉じる。これにより、図6Bに示すように、SPMノズル21からのSPMの吐出が停止する。その後、制御装置3は、基板Wの回転速度を、液処理速度のまま維持し続ける。基板Wの表面WaへのSPMの供給を停止した状態で、液処理速度のまま回転し続けるので、基板のWの回転による遠心力を受けて、基板Wの表面Waに形成されているSPMの液膜LFに含まれるSPMが、基板W外に排出される。これにより、図6Bに示すように、基板Wの表面Waに形成されているSPMの液膜LFの厚みが薄くなり、やがて、基板Wの表面Waに存在するSPMが液膜状をなさないようになる。
リンス液バルブ45およびリンス液バルブ55の開成から予め定める期間(たとえば約23秒間)が経過すると、制御装置3は、リンス液バルブ45およびリンス液バルブ55を閉じる。これにより、中心軸ノズル9の吐出口9aからのリンス液の吐出が停止され、かつ下面ノズル11の吐出口11aからのリンス液の吐出が停止される。また、制御装置3は遮断部材昇降ユニット50を制御して、リンス処理位置に配置されている遮断部材8を、退避位置まで上昇させ、その退避位置に保持させる。
そして、SC1バルブ35およびSC1バルブ57の開成から予め定める期間が経過すると、制御装置3は、SC1バルブ35および気体バルブ37を閉じると共に、SC1バルブ57を閉じる。これにより、SC1ノズル30からのSC1の液滴の噴流の吐出が停止され、かつ下面ノズル11の吐出口11aからのSC1の吐出が停止される。これにより、SC1工程(S6)が終了する。その後、制御装置3がノズル移動ユニット32を制御して、SC1ノズル30を退避位置に戻させる。
具体的には、制御装置3は遮断部材昇降ユニット50を制御して、退避位置に配置されている遮断部材8を、リンス処理位置まで降下させ、そのリンス処理位置に保持させる。
また、制御装置3は、リンス液バルブ45を開く。これにより、処理速度で回転している基板Wの表面Waの中央部に向けて、中心軸ノズル9の吐出口9aからリンス液が吐出される。中心軸ノズル9から吐出されたリンス液は、SPMによって覆われている基板Wの表面Waの中央部に着液し、基板Wの回転による遠心力を受けて基板Wの表面Waを基板Wの周縁部に向けて流れる。これにより、基板Wの表面Waの全域においてSC1(およびレジスト残渣)が洗い流される。基板Wの周縁部に移動したリンス液は、基板Wの周縁部から基板Wの側方に向けて飛散し、第1のガード63の内壁に捕獲される。
リンス液バルブ45およびリンス液バルブ55の開成から予め定める期間(たとえば約23秒間)が経過すると、制御装置3は、リンス液バルブ45およびリンス液バルブ55を閉じる。これにより、中心軸ノズル9の吐出口9aからのリンス液の吐出が停止され、かつ下面ノズル11の吐出口11aからのリンス液の吐出が停止される。
また、制御装置3は、遮断部材昇降ユニット50を制御して、遮断部材8を遮断位置に向けて下降させ、遮断位置に保持する。
基板Wの高速回転が開始されてから所定時間が経過すると、制御装置3は、スピンモータ17を制御することにより、スピンチャック5による基板Wの回転を停止させる(図5のステップS9)。制御装置3は、遮断部材昇降ユニット50を制御して、遮断部材8を上昇させ、退避位置まで退避させる。
SPM低減工程(S4)において、第1のガード63を上位置UPに維持し(処理カップ12が第1のガード捕獲状態に維持され)かつ処理カップ12の内部を排気する。SPM低減工程(S4)において、SPMの供給を停止し続けることにより、基板Wの表面Waの周囲に存在するSPMのヒュームFの量が減少する。すなわち、基板の表面Waの周囲に存在するSPMのヒュームFの量が低減した状態で、基板Wの表面Waへのリンス液の供給を開始できる。したがって、第1のリンス工程(S5)において、基板Wの表面Waへのリンス液の供給に伴ってSPMのヒュームFが発生したとしても、SPMのヒュームFを含む雰囲気が上部開口12aを通って処理カップ12外に流出するようなことはない。これにより、SPMのヒュームFを含む雰囲気の、周囲への拡散を抑制できる。
第2の基板処理例が第1の基板処理例と相違する点は、SPM低減工程(S4)に並行して実行される裏面冷却液供給工程において、常温の水でなく、常温よりも高い液温(約40℃〜約60℃)を有する温水(HOT DIW)を冷却液として、基板Wの裏面Wbに供給するようにした点である。
その他の点において、第2の基板処理例は、第1の基板処理例と共通している。
図8は、第3の基板処理例に係るSPM低減工程(S4)を説明するための模式的な図である。図9は、SPM低減工程(S4)から第1のリンス工程(S5)への移行時のフローチャートである。
SPM低減工程(S4)中は、制御装置3は、温度センサ102の検出出力を常時監視している(温度検出工程。図9のステップT1)。
この基板処理例によれば、温度センサ102による検出温度が閾値に達した場合に、第1のリンス工程(S5)が開始する。これにより、基板Wの表面Waに存在するSPMの温度が低温まで確実に降下した後に、第1のリンス工程(S5)を開始できる。これにより、第1のリンス工程(S5)において基板Wの表面Waの周囲に発生するSPMのヒュームFの量をより一層抑制できる。これにより、SPMのヒュームFに起因する基板Wのパーティクル汚染を抑制または防止できる。
<第2の実施形態>
図10は、本発明の第2の実施形態に係る処理ユニット202の下面ノズル211の構成例を説明するための図解的な断面図である。図11は、下面ノズル211の構成例を説明するための模式的な平面図である。
この場合、制御装置3が、SPM低減工程(S4)に並行して実行される裏面冷却液供給工程において、基板Wの裏面Wbの中央部に向けて中央部吐出口205aから冷却液を吐出する中央部吐出工程と、基板Wの裏面Wbの周縁部に向けて周縁部吐出口205bから冷却液を吐出する周縁部吐出工程とを実行する。
以上、この発明の2つの実施形態について説明したが、この発明はさらに他の形態で実施することもできる。
たとえば、第1〜第3の基板処理例において、SPM低減工程(S4)における基板Wの回転速度が、SPM工程(S3)における基板Wの回転速度と同等である。しかしながら、SPM低減工程(S4)における基板Wの回転速度が、SPM工程(S3)における基板Wの回転速度(たとえば約300rpm)よりも速くてもよい(たとえば500rpm)。
第1〜第3の基板処理例を互いに組み合わせてもよい。
また、第1〜第3の基板処理例において、SPM低減工程(S4)に並行して、裏面冷却液供給工程を実行しなくてもよい。
また、第1〜第3の基板処理例において、SPM工程(S3)に先立って、基板Wの表面Waを、第1の洗浄薬液を用いて洗浄する第1の洗浄工程が実行されてもよい。このような第1の洗浄薬液として、たとえばフッ酸(HF)を例示できる。
また、第1〜第3の基板処理例において、遮断部材8に一体化された中心軸ノズル9からリンス液を吐出するものを例に挙げて説明したが、遮断部材8とは別に設けられたリンス液ノズルから、基板Wの表面Waの中央部に向けてリンス液を吐出するようにしてもよい。
また、第1および第2実施形態において、SPM供給ユニット6として、H2SO4およびH2O2の混合をSPMノズル21の内部で行うノズル混合タイプのものを例に挙げて説明したが、SPMノズル21の上流側に配管を介して接続された混合部を設け、この混合部において、H2SO4とH2O2との混合が行われる配管混合タイプのものを採用することもできる。
2 :処理ユニット
3 :制御装置
4 :チャンバ
5 :スピンチャック(基板保持ユニット)
6 :SPM供給ユニット
10 :リンス液供給ユニット
12 :処理カップ
13 :排気ユニット
17 :スピンモータ(回転)
63 :第1のガード(ガード)
66 :ガード昇降ユニット
71 :下リンス液供給ユニット
72 :冷却液供給ユニット
CP :液捕獲位置(第1の高さ位置)
A1 :回転軸線
F :ヒューム
LF :液膜
UP :上位置(第2の高さ位置)
W :基板
Wa :表面
Wb :裏面
Claims (20)
- 基板の表面を上方に向けた状態で基板保持ユニットによって水平姿勢に保持されている前記基板の表面にSPMを供給するSPM工程と、
前記SPM工程の終了に引き続いて、前記基板の表面にSPMを供給することなく、前記基板の中央部を通る回転軸線回りに前記基板を回転させることにより前記基板の表面からSPMを排出させ、前記基板の表面を乾燥させない程度に前記基板の表面に存在するSPMの量を低減させるSPM低減工程と、
前記SPM低減工程の後、前記基板の表面に、水を含むリンス液を供給するリンス工程とを含む、基板処理方法。 - 前記SPM低減工程に並行して、前記基板における表面とは反対側の裏面に、前記基板の表面に供給されるSPMよりも低い液温を有する冷却液を供給する裏面冷却液供給工程をさらに含む、請求項1に記載の基板処理方法。
- 前記裏面冷却液供給工程が、前記基板の裏面の中央部に向けて前記冷却液を吐出する中央部吐出工程と、前記中央部吐出工程に並行して、前記基板の裏面の周縁部に向けて前記冷却液を吐出する周縁部吐出工程とを含む、請求項2に記載の基板処理方法。
- 前記冷却液が、前記リンス液よりも高い液温を有している、請求項2または3に記載の基板処理方法。
- 前記冷却液が、前記リンス液と同じ液温を有している、請求項2または3に記載の基板処理方法。
- 前記リンス工程が、前記SPM低減工程によって前記基板の表面の温度が所定の低温まで降下させられた後に開始する、請求項1〜5のいずれか一項に記載の基板処理方法。
- 前記SPM低減工程に並行して前記基板の温度を温度センサによって検出する温度検出工程をさらに含み、
検出された温度が前記所定の低温に達した場合に、前記SPM低減工程が終了しかつ前記リンス工程が開始する、請求項6に記載の基板処理方法。 - 前記SPM工程に並行して、前記基板を前記回転軸線回りに回転させる第1の基板回転工程をさらに含み、
前記SPM低減工程が、前記第1の基板回転工程と同じか、または前記第1の基板回転工程よりも速い回転速度で前記基板を回転させる工程を含む、請求項1〜7のいずれか一項に記載の基板処理方法。 - 前記リンス工程に並行して、前記基板を前記回転軸線回りに回転させる第2の基板回転工程と、
前記SPM低減工程および前記リンス工程に並行して、前記基板保持ユニットの周囲を取り囲む筒状のガードを有し、当該基板保持ユニットを収容する処理カップの内部を排気するガード内排気工程と、
前記リンス工程に並行して、前記ガードを、第1の高さ位置に維持する第1の高さ維持工程と、
前記SPM低減工程に並行して、前記ガードを、前記第1の高さ位置よりも高い第2の高さ位置に維持する第2の高さ維持工程とを含む、請求項1〜8のいずれか一項に記載の基板処理方法。 - 前記リンス工程の後、前記基板の表面にSC1を供給する工程をさらに含む、請求項1〜9のいずれか一項に記載の基板処理方法。
- 基板の表面を上方に向けた状態で、当該基板を水平姿勢に保持する基板保持ユニットと、
前記基板保持ユニットに保持されている基板を、当該基板の中央部を通る回転軸線まわりに回転させるための回転ユニットと、
前記基板保持ユニットに保持されている基板の表面にSPMを供給するためのSPM供給ユニットと、
前記基板保持ユニットに保持されている基板の表面に、水を含むリンス液を供給するためのリンス液供給ユニットと、
前記回転ユニット、前記SPM供給ユニットおよび前記リンス液供給ユニットを制御する制御装置とを含み、
前記制御装置が、前記SPM供給ユニットによって前記基板の表面にSPMを供給するSPM工程と、前記SPM工程の終了に引き続いて、前記基板の表面にSPMを供給することなく、前記基板の中央部を通る回転軸線回りに前記回転ユニットによって前記基板を回転させることにより前記基板の表面からSPMを排出させ、前記基板の表面を乾燥させない程度に前記基板の表面に存在するSPMの量を低減させるSPM低減工程と、前記SPM低減工程の後、前記リンス液供給ユニットによって前記基板の表面にリンス液を供給するリンス工程とを実行する、基板処理装置。 - 前記基板における表面とは反対側の裏面に、前記基板の表面に供給されるSPMよりも低い液温を有する冷却液を供給する冷却液供給ユニットをさらに含み、
前記制御装置が、前記SPM低減工程に並行して、前記冷却液供給ユニットによって前記冷却液を供給する裏面冷却液供給工程をさらに実行する、請求項11に記載の基板処理装置。 - 前記冷却液供給ユニットが、前記基板保持ユニットに保持されている基板の裏面の中央部に対向する中央部吐出口と、前記基板保持ユニットに保持されている基板の裏面の周縁部に対向する周縁部吐出口とを有し、
前記制御装置が、前記裏面冷却液供給工程において、前記基板の裏面の中央部に向けて前記中央部吐出口から前記冷却液を吐出する中央部吐出工程と、前記中央部吐出工程に並行して、前記周縁部吐出口から前記基板の裏面の周縁部に向けて前記冷却液を吐出する周縁部吐出工程とを実行する、請求項12に記載の基板処理装置。 - 前記冷却液が、前記リンス液よりも高い液温を有している、請求項12または13に記載の基板処理装置。
- 前記冷却液が、前記リンス液と同じ液温を有している、請求項12または13に記載の基板処理装置。
- 前記制御装置が、前記SPM低減工程によって前記基板の表面の温度が所定の低温まで降下させられた後に、前記リンス工程を開始する、請求項11〜15のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記基板の温度を検出するための温度センサをさらに含み、
前記制御装置が、前記SPM低減工程に並行して前記基板の温度を前記温度センサによって検出する温度検出工程をさらに実行し、
前記制御装置が、検出された温度が前記所定の低温に達した場合に、前記SPM低減工程を終了し、前記SPM低減工程を開始する、請求項16に記載の基板処理装置。 - 前記制御装置が、前記SPM工程に並行して、前記基板を前記回転軸線回りに回転させる第1の基板回転工程をさらに実行し、
前記制御装置が、前記SPM低減工程において、前記第1の基板回転工程と同じか、または前記第1の基板回転工程よりも速い回転速度で前記基板を回転させる工程を実行する、請求項11〜17のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記基板保持ユニットの周囲を取り囲み、前記基板保持ユニットに保持されている基板から排出される処理液を捕獲するガードを有する処理カップと、
前記処理カップの内部を排気する排気ユニットと、
前記ガードを昇降させるガード昇降ユニットとをさらに含み、
前記制御装置が、前記排気ユニットおよび前記ガード昇降ユニットをさらに制御し、
前記制御装置が、前記リンス工程に並行して、前記基板を前記回転軸線回りに回転させる第2の基板回転工程と、前記SPM低減工程および前記リンス工程に並行して前記ガードの内部を排気するガード内排気工程と、前記リンス工程に並行して、前記ガードを、第1の高さ位置に維持する第1の高さ維持工程と、前記SPM低減工程に並行して、前記ガードを、前記第1の高さ位置よりも高い第2の高さ位置に維持する第2の高さ維持工程とを実行する、請求項11〜18のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記基板保持ユニットに保持されている基板にSC1を供給するためのSC1供給ユニットをさらに含み、
前記制御装置が、前記リンス工程の後、前記基板の表面にSC1を供給する工程をさらに実行する、請求項11〜19のいずれか一項に記載の基板処理装置。
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