JP2019203730A - 表面検査装置及び表面検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、検査対象物の複数面、可能な限り全面を撮像することができ、検査速度が速い表面検査装置及び表面検査方法を提供する。【解決手段】本発明の表面検査装置は、検査対象物を供給する供給部と、検査対象物の一方の面を撮像する第１撮像部と、検査対象物を排出する排出部と、検査対象物を反転させる反転部と、検査対象物の他方の面を撮像する第２撮像部と、を具備する検査ステージを有し、検査ステージは、一方の面が撮像可能な状態の検査対象物と他方の面が撮像可能な状態の検査対象物とが隣り合う移動区間を有し、隣り合う移動区間では、他方の面が撮像された検査対象物の判定処理と、検査対象物の供給処理又は検査対象物の撮像処理とが実施される。【選択図】図１

Description

本発明は、検査対象物の複数面を撮像することができる表面検査装置及び表面検査方法に関する。

自動車部品などの量産鋳造品の鋳造プロセスでは、次の機械加工プロセスに移る前に、傷、打痕、バリの有無や型落ち等による不良が無いことを確認するため、一般に目視検査により部品の全表面（全面）が検査される。

しかしながら、鋳造品の生産量が増加し、生産速度が速くなると、検査速度の向上が必要となり、目視検査での対応が難しくなる。このことから目視検査に代わる自動表面検査技術が求められ、短時間で検査対象物の全面を撮像し、不良の有無の判定が可能な表面検査装置が必要となる。

本技術分野の背景技術として、特開2016-191620号公報（特許文献１）がある。

この公報には、インデックステーブル上の検査テーブルに設置された検査対象物を撮影する画像検査装置が記載され、２つのインデックステーブルを用いて、２つのインデックステーブル間で検査対象物を移載する際に、検査対象物の上下を反転させることが開示されている。

特開2016-191620号

前記特許文献１に記載された画像検査装置は、検査対象物の上下を反転させて全面を撮像し、撮像画像に基づいて検査対象物の良否を判定することができる。

しかしながら、前記特許文献１に記載された画像検査装置では、画像データ量や処理内容が多い場合には演算時間が長くなる恐れがあり、検査対象物の撮像を終えてから、検査対象物が排出位置に移動するまでに演算が終わらず、判定結果待ちが発生し、検査速度が低下する可能性がある。

そこで、本発明は、検査対象物の複数面、可能な限り全面を撮像することができ、検査速度が速い表面検査装置及び表面検査方法を提供する。

上記課題を解決するため、本発明の表面検査装置は、検査対象物を供給する供給部と、検査対象物の一方の面を撮像する第１撮像部と、検査対象物を排出する排出部と、検査対象物を反転させる反転部と、検査対象物の他方の面を撮像する第２撮像部と、を具備する検査ステージを有し、検査ステージは、一方の面が撮像可能な状態の検査対象物と他方の面が撮像可能な状態の検査対象物とが隣り合う移動区間を有し、隣り合う移動区間では、他方の面が撮像された検査対象物の判定処理と、検査対象物の供給処理又は検査対象物の撮像処理とが実施される。

また、本発明の表面検査方法は、検査対象物を供給部に供給する工程と、検査対象物の一方の面を第１撮像部で撮像する工程と、検査対象物を排出部で排出する工程と、検査対象物を反転部で反転させる工程と、検査対象物の他方の面を第２撮像部で撮像する工程と、を具備し、検査対象物の他方の面を第２撮像部で撮像する工程の後の、一方の面が撮像可能な状態の検査対象物と他方の面が撮像可能な状態の検査対象物とが隣りあって移動する区間で、他方の面が撮像された検査対象物の判定と、検査対象物の供給又は検査対象物の撮像が実施される。

本発明によれば、検査対象物の複数面、可能な限り全面を撮像することができ、検査速度が速い表面検査装置及び表面検査方法を提供することができる。

なお、上記した以外の課題、構成及び効果は、以下の実施形態の説明により明らかにされる。

実施例１の表面検査装置の上面図である。 実施例１の表面検査装置の各領域において実施される動作内容を示す説明図である。 実施例１の表面検査装置における検査動作と判定処理とのシーケンスを表す説明図である。 実施例１の表面検査装置における検査動作のシーケンスを表す説明図である。 実施例１の表面検査装置のシステム構成を示す概略図である。 実施例２の表面検査装置の上面図である。 実施例３の表面検査装置の上面図である。 実施例３の表面検査装置の各領域において実施される動作内容を示す説明図である。 実施例４の表面検査装置の上面図である。 実施例４の表面検査装置の側面図である。 実施例５の表面検査装置の上面図である。

以下、実施例を、図面を用いて説明する。

図１は、実施例１の表面検査装置の上面図である。

本実施例の表面検査装置は、ターンテーブル１を備えている。本実施例では、ターンテーブル１は、検査対象物２を設置するための検査ステージ３を５つ備えている。

各検査ステージ３は、２つの検査対象物２を設置することができる。検査ステージ３の第１設置位置にある検査対象物２を第１検査対象物2a、検査ステージ３の第２設置位置にある検査対象物２を第２検査対象物2bと呼ぶ。

ターンテーブル１は、５つの検査ステージ３を有し、（1）〜（5）の５つの領域に別れている。

領域（1）は、第１設置位置に新しい第１検査対象物2aを供給する供給部、領域（2）は、第１設置位置に設置された第１検査対象物2a（一方の面）を撮像する第１撮像部、領域（3）は、第２検査対象物2bを第２設置位置から排出する排出部、領域（4）は、第１検査対象物2aの姿勢を反転させて第２設置位置に設置する反転部（ここで第１検査対象物2aは第２検査対象物2bとなる。）、領域（5）は、第２設置位置に反転された第２検査対象物2b（他方の面）を撮影する第２撮像部である。

なお、第１撮像部及び第２撮像部では、撮像手段４によって、第１検査対象物2a及び第２検査対象物2bがそれぞれ撮像される。撮像手段４は、多関節ロボット５に設置される。多関節ロボット５は、撮像手段４が、第１検査対象物2a及び第２検査対象物2bの適切な面（この領域において検査が必要とされる面：検査領域）を撮像できるように駆動する。

ターンテーブル１は、回転軸を中心として回転し、検査ステージ３を一つ隣の領域に移動させてから停止する。本実施例では、ターンテーブル１は時計回りに回転する。検査ステージ３は、領域（1）、（2）、（3）、（4）、（5）、（1）、・・・の順に移動する。なお、回転軸は、図１にのみ記載し、以後の図面においては省略している。

ターンテーブル１が停止している時には、各検査ステージ３において検査対象物２の供給、撮像、排出、反転、撮像の検査動作が実施される。各検査ステージ３における検査動作が完了次第、再びターンテーブル１が回転し、検査ステージ３が移動する。

つまり、検査ステージ３は、一方の面が撮像可能な状態の検査対象物２と他方の面が撮像可能な状態の検査対象物２とが隣り合う移動区間（領域（1）、領域（2））を有し、隣り合う移動区間では、他方の面が撮像された検査対象物２の判定処理と、検査対象物２の供給処理又は検査対象物２の撮像処理とが実施される。

このように、他方の面が撮像された検査対象物２の判定処理の間に、検査対象物２の供給や撮像を実施することにより、表面検査のサイクルタイムを短縮することができ、特に、全数検査が必要とされる検査対象物２においては、検査対象物２の全数を検査するための検査時間を短縮することができる。

また、本実施例の表面検査装置は、第１撮像部と第２撮像部との一方の間に供給部を有し、第１撮像部と第２撮像部との他方の間に排出部及び反転部を有することから、第１検査対象物2a及び第２検査対象物2bのいずれにおいても所定の長さの判定処理の時間を確保することができる。

図２は、実施例１の表面検査装置の各領域において実施される動作内容を示す説明図である。

また、図１にも示すように、検査対象物２は順次移動する。以下、各検査ステージ３において実施される動作内容の詳細を領域毎に説明する。

なお、図２は、表面検査装置が、ある程度稼働している状態を示すものであり、各検査ステージ３には、検査対象物２がすでに設置されている状態を説明するものである。

領域（1）の供給部（検査対象物２を供給する工程）では、検査ステージ３の第１設置位置に検査対象物２が供給され、第１検査対象物2aとなる。第１検査対象物2aは、図示しないが、検査員の手によって供給されてもよく、あるいは検査対象物２を把持する機構を備えた多関節ロボットなどによって供給されてもよい。

検査ステージ３には、図示しないが、検査対象物２の姿勢を固定するための治具や検査対象物２の姿勢が正しく設置されていることを確認するためのセンサを搭載してもよい。

検査ステージ３は、検査対象物２の大きさや形状に合わせた治具を着脱可能になっていることが好ましい。これにより、一つの表面検査装置を用いて多品種の検査対象物２を検査することができる。

なお、検査ステージ３の第２設置位置に設置された第２検査対象物2bは、何も動作せず待機となる。

領域（2）の第１撮像部（検査対象物２の一方の面を撮像する工程）では、第１検査対象物2aの検査領域が撮像手段４によって撮像される。撮像手段４には、例えば、３Ｄスキャナーやレーザ変位計、カメラなどの光学測定機が用いられる。

検査領域が、第１検査対象物2aの一方の面（この領域において検査が必要とされる面）の場合は、様々な角度から撮像を行う必要があるため、撮像手段４を多関節ロボット５の先端に設置し、撮像手段４の位置、角度を調整できるようにしている。これにより、第１撮像部では、複数台の撮像手段４を用意することなく、様々な角度からの撮像を行うことができる。

なお、撮像手段４は複数台設置されてもよく、撮像手段４を固定したままで、検査対象物２の位置、角度を調整できるような機構を検査ステージ３の治具に設置してもよい。

撮像手段４が、光切断法によって検査対象物２の表面形状を取得する測定機（レーザ変位計など）である場合は、検査対象物２に対して撮像手段４を相対移動させ撮像する。このとき、多間節ロボット５の先端に設置する撮像手段４を移動させてもよく、また、図示しないが、検査ステージ３に走査機構を設置するなどして、検査対象物２を移動させてもよい。

なお、検査ステージ３の第２設置位置に設置された第２検査対象物2bは、何も動作せず待機となる。

領域（3）の排出部（検査対象物２を排出する工程）では、検査ステージ３の第２設置位置から検査対象物２が排出される。第２検査対象物2bは、図示しないが、検査員の手によって排出されてもよく、あるいは検査対象物２を把持する機構を備えた多関節ロボットなどによって排出されてもよい。

このとき、検査対象物２は、不良の有無の判定結果に従って、良品と不良品とに仕分けされる。例えば、不良品と判定された検査対象物２は、良品と判定された検査対象物２が収容されるボックスとは異なるボックスに収容される。あるいは、表面検査装置から排出された検査対象物２を搬送するコンベアに不良品専用のシュートを設けて、不良品と判定された場合には、検査対象物２をその不良品専用のシュートに落とすようにしてもよい。

なお、検査ステージ３の第１設置位置に設置された第１検査対象物2aは、何も動作せず待機となる。

領域（4）の反転部（検査対象物２を反転させる工程）では、第１検査対象物2aの姿勢が上下反転され、第２設置位置に設置され、第２検査対象物2bとなる。なお、姿勢の反転は、図示しないが、検査員の手によって反転されてもよく、あるいは検査対象物２を把持する機構を備えた多関節ロボットなどによって反転されてもよい。

領域（5）の第２撮像部（検査対象物２の他方の面を撮像する工程）では、第２検査対象物2bの検査領域が撮像手段４によって撮像される。撮像手段４には、例えば、３Ｄスキャナーやレーザ変位計、カメラなどの光学測定機が用いられる。

検査領域が、第２検査対象物2bの他方の面（この領域において検査が必要とされる面）の場合は、様々な角度から撮像を行う必要があるため、撮像手段４を多間接ロボット５の先端に設置し、撮像手段４の位置、角度を調整できるようにしている。これにより、第２撮像部では、複数台の撮像手段４を用意することなく、様々な角度からの撮像を行うことができる。

なお、撮像手段４は複数台設置されてもよく、撮像手段４を固定したままで、検査対象物２の位置、角度を調整できるような機構を検査ステージ３の治具に設置してもよい。

撮像手段４が、光切断法によって検査対象物２の表面形状を取得する測定機（レーザ変位計など）である場合は、検査対象物２に対して撮像手段４を相対移動させ撮像する。このとき、多間節ロボット５の先端に設置する撮像手段４を移動させてもよく、また、図示しないが、検査ステージ３に走査機構を設置するなどして、検査対象物２を移動させてもよい。

このとき、第１撮像部で撮像された検査領域と、なるべく重複しないように、撮像手段４によって様々な角度から撮像される。なお、第１検査対象物2aでは、撮像できなかった底面が第２検査対象物2bでは露出されるため撮像可能となる。

また、本実施例においては、２つの撮像手段４を使用しているため、それぞれの撮像手段４において、撮像領域を分担し、これら２つの撮像手段４において、検査対象物２の全面を検査することになる。

なお、本実施例においては、説明の都合上、検査対象物２を平面的な物として示したが、実際には立体的な物である。したがって、本実施例では立体的な物を６面体と捉え、第１撮像部及び第２撮像部では、それぞれ３面を撮像する。これにより全面の検査が可能となる。

例えば、上面a、前面b、右面c、後面d、左面e、下面fを有する６面体の場合、一方の面とは上面a、前面b、右面cであり、他方の面とは、後面d、左面e、下面fである。つまり、検査ステージ３の第１設置位置には、この一方の面が撮像可能に設置され、検査ステージ３の第２設置位置には、この他方の面が撮像可能に設置されている。

つまり、一方の面が撮像可能な状態の検査対象物と他方の面が撮像可能な状態の検査対象物とが隣りあって移動する区間（領域（1）、領域（2））で、他方の面が撮像された検査対象物２の判定と、少なくとも検査対象物２の供給又は検査対象物２の撮像が実施される。

図３は、実施例１の表面検査装置における検査動作と判定処理とのシーケンスを表す説明図である。

検査対象物２が表面検査装置に供給されてから表面検査装置から排出されるまでに、検査動作と並行して不良の有無の判定処理が行われる。

第１撮像部での撮像結果を基にした判定は、領域（2）の第１撮像部での撮像が完了した後から、検査対象物２が排出されるまでの間に実施される。したがって、第１検査対象物2aの判定処理は、図３に示した順番３から順番７までの間に実施されればよいことになる。なお、本実施例において、第１検査対象物2aの判定処理は、図３に示した順番３及び順番４の間に実施される。

また、第２撮像部での撮像結果を基にした判定は、領域（5）の第２撮像部での撮像が完了した後から、検査対象物２が排出されるまでの間に実施される。したがって、本実施例において、第２検査対象物2bの判定処理は、図３に示した順番６及び順番７の間に実施される。

これら領域にターンテーブル１が停止している時間は、供給、第１撮像、反転、第２撮像、排出の各検査ステージ３の各処理において、もっと多くの時間が必要とされる処理の時間によって決定される。本実施例においては、第１検査対象物2a及び第２検査対象物2bの検査領域はほぼ等しいため、判定処理に必要とされる時間もほぼ等しい。

また、本実施例においては、第１検査対象物2a及び第２検査対象物2bの判定処理に必要とされる時間をほぼ等しいものと設定したが、第１検査対象物2aの判定処理に使用できる時間が、第２検査対象物2bの判定処理に使用できる時間より長いことを利用して、第１検査対象物2aの検査領域を、第２検査対象物2bの検査領域より大きくすることも可能である。つまり、図３に示した順番３〜順番７の時間を、判定処理に使用できる時間として有効に使用できるためである。

なお、図３に示す順番９は、順番１と同様の処理となる。

図４は、実施例１の表面検査装置における検査動作のシーケンスを表す説明図である。

図４は、図３と対応するものであり、図３に示す順番１から９が、図４の（a）から（i）に対応する。

図４（a）では、検査ステージ３の領域（1）に、１番目の第１検査対象物2aが供給され、その後、ターンテーブル１が回転する。

図４（b）では、検査ステージ３の領域（1）に、２番目の第１検査対象物2aが供給され、検査ステージ３の領域（2）で、１番目の第１検査対象物2aが撮像され、その後、ターンテーブル１が回転する。

図４（c）では、検査ステージ３の領域（1）に、３番目の第１検査対象物2aが供給され、検査ステージ３の領域（2）で、２番目の第１検査対象物2aが撮像され、検査ステージ３の領域（3）では、１番目の第１検査対象物2aは待機し、その後、ターンテーブル１が回転する。

図４（d）では、検査ステージ３の領域（1）に、４番目の第１検査対象物2aが供給され、検査ステージ３の領域（2）で、３番目の第１検査対象物2aが撮像され、検査ステージ３の領域（3）では、２番目の第１検査対象物2aは待機し、検査ステージ３の領域（4）では、１番目の第１検査対象物2aが反転し、１番目の第２検査対象物2bとなり、その後、ターンテーブル１が回転する。

図４（e）では、検査ステージ３の領域（1）に、５番目の第１検査対象物2aが供給され、検査ステージ３の領域（2）で、４番目の第１検査対象物2aが撮像され、検査ステージ３の領域（3）では、３番目の第１検査対象物2aは待機し、検査ステージ３の領域（4）では、２番目の第１検査対象物2aが反転し、２番目の第２検査対象物2bとなり、検査ステージ３の領域（5）で、１番目の第２検査対象物2bが撮像され、その後、ターンテーブル１が回転する。

図４（f）では、検査ステージ３の領域（1）に、６番目の第１検査対象物2aが供給され、検査ステージ３の領域（2）で、５番目の第１検査対象物2aが撮像され、検査ステージ３の領域（3）では、４番目の第１検査対象物2aは待機し、検査ステージ３の領域（4）では、３番目の第１検査対象物2aが反転し、３番目の第２検査対象物2bとなり、検査ステージ３の領域（5）で、２番目の第２検査対象物2bが撮像され、検査ステージ３の領域（1）で、１番目の第２検査対象物2bは待機し、６番目の第１検査対象物2aと併存し、その後、ターンテーブル１が回転する。

図４（g）では、検査ステージ３の領域（1）に、７番目の第１検査対象物2aが供給され、検査ステージ３の領域（2）で、６番目の第１検査対象物2aが撮像され、検査ステージ３の領域（3）では、５番目の第１検査対象物2aは待機し、検査ステージ３の領域（4）では、４番目の第１検査対象物2aが反転し、４番目の第２検査対象物2bとなり、検査ステージ３の領域（5）で、３番目の第２検査対象物2bが撮像され、検査ステージ３の領域（1）で、２番目の第２検査対象物2bは待機し、７番目の第１検査対象物2aと併存し、検査ステージ３の領域（2）で、１番目の第２検査対象物2bは待機し、６番目の第１検査対象物2aと併存し、その後、ターンテーブル１が回転する。

図４（h）では、検査ステージ３の領域（1）に、８番目の第１検査対象物2aが供給され、検査ステージ３の領域（2）で、７番目の第１検査対象物2aが撮像され、検査ステージ３の領域（3）では、６番目の第１検査対象物2aは待機し、検査ステージ３の領域（4）では、５番目の第１検査対象物2aが反転し、５番目の第２検査対象物2bとなり、検査ステージ３の領域（5）で、４番目の第２検査対象物2bが撮像され、検査ステージ３の領域（1）で、３番目の第２検査対象物2bは待機し、８番目の第１検査対象物2aと併存し、検査ステージ３の領域（2）で、２番目の第２検査対象物2bは待機し、７番目の第１検査対象物2aと併存し、検査ステージ３の領域（3）では、１番目の第２検査対象物2bは排出され、その後、ターンテーブル１が回転する。

図４（i）では、図４（h）の状態からターンテーブル１が回転し、その処理は図４（h）の状態と同様であり、その特徴的な部分は、検査ステージ３の領域（1）に、９番目の第１検査対象物2aが供給され、検査ステージ３の領域（3）では、２番目の第２検査対象物2bは排出される点にある。

このように、本実施例においては、ターンテーブル１が、回転する速度、つまり、ある検査ステージ３から次の検査ステージ３への移動時間に、検査対象物の供給と排出とを実施することができる。

なお、図２に示した動作内容は、表面検査装置がある程度稼働している状態、つまり、各検査ステージ３に検査対象物２が設置されている状態を説明するものであったが、図４に示した検査動作のシーケンスは、その説明の都合上、１番目の検査対象物２が供給される状態から説明している。

図５は、実施例１の表面検査装置のシステム構成を示す概略図である。

本実施例に示す表面検査装置は、第１撮像部１５、第２撮像部１６、供給部１７、反転部１８、排出部１９の他に、制御部１１、演算部１２、表示部１３を備えている。

制御部１１では、第１撮像部１５、第２撮像部１６、供給部１７、反転部１８、排出部１９、ならびに演算部１２や表示部１３に動作指令を与え、データの送受信を行う。

演算部１２では、検査対象物２の不良の有無を判定するための演算処理が行われる。例えば、撮像結果を、マスターとなる良品の撮像結果や３ＤＣＡＤデータと位置合わせするようなデータ間における演算処理が行われる。あるいは、撮像結果における局所領域の特徴量などが算出される。つまり、撮像結果を数値データ（点群データなど）に変換し、例えば、そのデータから形状の特徴量（深さ、幅、平面度、面積、体積、曲率など）を算出する。そして、演算処理結果や算出された特徴量に基づき、不良の有無が判定される。

表示部１３では、第１撮像部１５や第２撮像部１６の撮像結果をモニタなどに表示する。発生した不良の位置や形状を把握するために、不良と判定された領域に色付けし、枠で囲って表示してもよい。

本実施例で説明する表面検査装置は、上記のような構成とすることで、以下のような効果を得ることができる。

第２撮像部における撮像完了から検査対象物２が排出されるまでの間に待機の時間を設けたため、第２撮像部での撮像結果に基づく不良の有無の判定処理の時間を確保することができる。これにより、排出位置で判定結果の待ち時間が発生せず、検査時間を速くすることが可能である。

つまり、本実施例では、検査対象物２の供給と排出とが、検査ステージ３における処理が必要とされる時間単位で実施されることから、全数検査が必要とされる検査対象物には特に有効であり、その表面検査装置に対する供給と排出との時間間隔、すなわちサイクルタイムを短縮することができる。

また、１つの搬送機構（ターンテーブル）で表面検査装置を構成することができるため、装置構成を小型にすることができる。また、制御機構も簡素化できる。

図６は、実施例２の表面検査装置の上面図である。図６に示す表面検査装置は、搬送機構を直線搬送式のコンベアとしたものである。

本実施例の表面検査装置は、コンベア６を備えている。コンベア６は、検査対象物２を設置するための検査ステージ３を５つ備えている。

各検査ステージ３は、２つの検査対象物２を設置することができる。検査ステージ３の第１設置位置にある第１検査対象物2aや検査ステージ３の第２設置位置にある第２検査対象物2b、５つの検査ステージ３を有している点、（1）〜（5）の５つの領域に別れている点は、実施例１と同様である。

また、撮像手段４は、多関節ロボット５に設置されることや、多関節ロボット５は、撮像手段４が、第１検査対象物2a及び第２検査対象物2bの適切な面（この領域において検査が必要とされる面：検査領域）を撮像できるように駆動することも、実施例１と同様である。

本実施例と実施例１とは、ターンテーブル１とコンベア６との違いがあるもの、その特徴や機能は実施例１に記載の表面検査装置とほぼ同等である。

なお、検査ステージ３の搬送機構を、図６に示すような直線搬送式のコンベア６とすることにより、領域（2）や領域（5）における撮像部においてレーザ変位計などの光切断法による撮像手段４を用いる場合には、検査対象物２を走査させて撮像できるため、検査ステージ３にあらためて走査機構を設置する必要がない。

図７は、実施例３の表面検査装置の上面図である。図７に示す表面検査装置は、検査ステージ３を４つとしたものである。なお、図７にて使用している符号は、実施例１と同様のものを示す。

すなわち、本実施例の表面検査装置は、（1）〜（4）の４つの領域に分かれている。

実施例１に記載の表面検査装置との相違は、実施例１に記載の表面検査装置が、検査対象物２の排出を領域（3）で、検査対象物２の反転を領域（4）で、それぞれ実施するのに対して、本実施例の表面検査装置は、一つの領域、つまり、領域（3）で検査対象物の排出と反転とを行う点にある。

本実施例に記載の表面検査装置は、第２検査対象物2bを第２設置位置から排出する排出部と第１検査対象物2aの姿勢を反転させて第２設置位置に設置する反転部（ここで第１検査対象物2aは第２検査対象物2bとなる）とが、一つの検査ステージ３に存在する。

なお、この検査ステージ３では、検査対象物２が排出された後に反転される。

図８は、実施例３の表面検査装置の各領域において実施される動作内容を示す説明図である。

なお、図８に示す動作内容も、図２と同様に、ある程度稼働している状態を示すものであり、各検査ステージ３には、検査対象物２がすでに設置されている状態を説明するものである。

また、図８に示す動作内容は、領域（3）にて排出及び反転を行うものである点以外は、図２に示すものと同様である。

図９は、実施例４の表面検査装置の上面図である。図９に示す表面検査装置は、搬送機構を下垂機構としたものであり、検査ステージに対応する領域を４つとしたものである。なお、図９にて使用している符号は、実施例３と同様のものを示す。

また、図１０は、実施例４の表面検査装置の側面図である。

すなわち、本実施例の表面検査装置も、（1）〜（4）の４つの領域に分かれている。

実施例３に記載の表面検査装置との相違は、実施例３に記載の表面検査装置が、ターンテーブル１を使用しているのに対して、本実施例の表面検査装置は、その搬送機構に下垂機構７が使用されている点にある。つまり、本実施例の表面検査装置は、検査対象物２が下垂機構７によって搬送される点が実施例３とは異なっている。

以下では、領域（1）から領域（4）で行われる検査動作について、実施例３と異なる点を中心に説明する。

領域（1）の供給部では、検査対象物２を吊り下げる吊り下げ機構８の第１設置位置に検査対象物２が供給され、第１検査対象物2aとなる。吊り下げ機構８は回転軸を中心として回転するようになっている。検査対象物２の吊り下げは、図示しないが、検査対象物２を把持する機構を備えたロボット、あるいは、吸着機構や電磁石などが使用される。

領域（2）の第１撮像部では、第１検査対象物2aの検査領域が撮像手段４によって様々な角度から撮像される。第１検査対象物2aは、吊り下げ機構８に隠れる部分を除いて、全表面を撮像することが可能である。

領域（3）の排出部では、第２検査対象物2bが排出される。その後、吊り下げ機構８が１８０度回転することにより、第１検査対象物2aが第２設置位置に移動し、第２検査対象物2bとなる。

領域（4）の第２撮像部では、第１撮像部で撮像された検査領域になるべく重複しないように、第２検査対象物2bの検査領域が撮像手段４によって様々な角度から撮像される。

図１１は、実施例５の表面検査装置の上面図である。図１１に示す表面検査装置は、検査ステージ３を４つとしたものである。なお、図１１にて使用している符号は、実施例３と同様のものを示す。

すなわち、本実施例の表面検査装置は、（1）〜（4）の４つの領域に分かれている。

実施例３に記載の表面検査装置との相違は、実施例３に記載の表面検査装置が、検査対象物２の排出と反転とを領域（3）で実施しているのに対して、本実施例の表面検査装置は、検査対象物２の供給と排出とを領域（1）で実施している点にある。

本実施例に記載の表面検査装置は、第１検査対象物2aを第１設置位置に供給する供給と第２検査対象物2bを第２設置位置から排出する排出部とが、一つの検査ステージ３に存在する。

これら実施例に記載の表面検査装置は、判定処理の時間を長く取ることができるため、排出位置で判定結果の待ち時間が発生せず、検査時間を速くすることが可能である。

さらに、一つのターンテーブル１や下垂機構７にて、検査対象物２の全面を撮像することができるため、表面検査装置の全体を小型化、簡素化することができる。

なお、本発明は、上記のような各実施例に限定されるものではなく、様々な構成が考えられる。

このように、これら実施例に記載する表面検査装置は、検査対象物２の全面を撮影可能であり、検査対象物２を撮像し、排出するまでの間に、少なくとも新しい検査対象物２の供給と撮像を行う。これにより、撮像結果に基づく欠陥有無の判定処理に使用できる時間を長く取れ、排出位置で判定結果の待ち時間が発生せず、検査時間を速くすることが可能である。

１・・・ターンテーブル
２・・・検査対象物
2a・・・第１検査対象物
2b・・・第２検査対象物
３・・・検査ステージ
４・・・撮像手段
５・・・多間接ロボット
６・・・コンベア
７・・・下垂機構
８・・・吊り下げ機構

Claims (4)

1. 検査対象物を供給する供給部と、前記検査対象物の一方の面を撮像する第１撮像部と、前記検査対象物を排出する排出部と、前記検査対象物を反転させる反転部と、前記検査対象物の他方の面を撮像する第２撮像部と、を具備する検査ステージを有し、
   前記検査ステージは、前記一方の面が撮像可能な状態の検査対象物と前記他方の面が撮像可能な状態の検査対象物とが隣り合う移動区間を有し、
   前記隣り合う移動区間では、前記他方の面が撮像された検査対象物の判定処理と、前記検査対象物の供給処理又は前記検査対象物の撮像処理とが実施されることを特徴とする表面検査装置。
2. 前記検査ステージは、ターンテーブルに設置されることを特徴とする請求項１に記載の表面検査装置。
3. 前記検査対象物は、下垂された状態で移動することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の表面検査装置。
4. 検査対象物を供給部に供給する工程と、前記検査対象物の一方の面を第１撮像部で撮像する工程と、前記検査対象物を排出部で排出する工程と、前記検査対象物を反転部で反転させる工程と、前記検査対象物の他方の面を第２撮像部で撮像する工程と、を具備し、
   前記検査対象物の他方の面を第２撮像部で撮像する工程の後の前記一方の面が撮像可能な状態の検査対象物と前記他方の面が撮像可能な状態の検査対象物とが隣りあって移動する区間で、
   前記他方の面が撮像された検査対象物の判定と、少なくとも前記検査対象物の供給又は前記検査対象物の撮像が実施されることを特徴とする表面検査方法。

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