JP2019202239A - 静電吸着装置 - Google Patents
静電吸着装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019202239A JP2019202239A JP2018097082A JP2018097082A JP2019202239A JP 2019202239 A JP2019202239 A JP 2019202239A JP 2018097082 A JP2018097082 A JP 2018097082A JP 2018097082 A JP2018097082 A JP 2018097082A JP 2019202239 A JP2019202239 A JP 2019202239A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adsorption
- conductive particles
- electrode
- predetermined number
- conductive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims abstract description 468
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 253
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 24
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 24
- 238000003795 desorption Methods 0.000 claims description 26
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims description 26
- 230000008030 elimination Effects 0.000 claims description 12
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 claims description 12
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 9
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 claims description 4
- 239000002356 single layer Substances 0.000 claims description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 claims 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 11
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 10
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 7
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 6
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 5
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 5
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 5
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- PAWQVTBBRAZDMG-UHFFFAOYSA-N 2-(3-bromo-2-fluorophenyl)acetic acid Chemical compound OC(=O)CC1=CC=CC(Br)=C1F PAWQVTBBRAZDMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000274 adsorptive effect Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- OHVLMTFVQDZYHP-UHFFFAOYSA-N 1-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)-2-[4-[2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidin-5-yl]piperazin-1-yl]ethanone Chemical compound N1N=NC=2CN(CCC=21)C(CN1CCN(CC1)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F)=O OHVLMTFVQDZYHP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WZFUQSJFWNHZHM-UHFFFAOYSA-N 2-[4-[2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)pyrimidin-5-yl]piperazin-1-yl]-1-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)ethanone Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)N1CCN(CC1)CC(=O)N1CC2=C(CC1)NN=N2 WZFUQSJFWNHZHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IHCCLXNEEPMSIO-UHFFFAOYSA-N 2-[4-[2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)pyrimidin-5-yl]piperidin-1-yl]-1-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)ethanone Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)C1CCN(CC1)CC(=O)N1CC2=C(CC1)NN=N2 IHCCLXNEEPMSIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000007294 Brassica nipposinica Nutrition 0.000 description 1
- 241000342995 Brassica rapa subsp. nipposinica Species 0.000 description 1
- 244000024675 Eruca sativa Species 0.000 description 1
- 235000014755 Eruca sativa Nutrition 0.000 description 1
- 235000010676 Ocimum basilicum Nutrition 0.000 description 1
- 240000007926 Ocimum gratissimum Species 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005411 Van der Waals force Methods 0.000 description 1
- 229920000122 acrylonitrile butadiene styrene Polymers 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000000183 arugula Nutrition 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 230000005686 electrostatic field Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 1
- 235000019508 mustard seed Nutrition 0.000 description 1
- 239000005445 natural material Substances 0.000 description 1
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000012798 spherical particle Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Elimination Of Static Electricity (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Electrostatic Separation (AREA)
Abstract
Description
図1は、本発明の第1実施形態に係る静電吸着装置1の概略構成を示している。図1に示されるように、第1実施形態に係る静電吸着装置1は、収容部2、吸着電極3、基準電極4、アーム部材5、電源6及び制御部7を含む。
E0=V0/(d+dc/εr)・・・(1)
ここで、V0は、吸着電極3に印加される前記吸着電圧[V]、dは、絶縁被覆32の表面から導電性粒子pの中心までの距離[m]、dcは、絶縁被覆32の厚さ[m]、εrは、絶縁被覆32の比誘電率である。
Q=(ε0・Dp2・π3.E0)/6・・・(2)
F=Q・E0=(ε0・Dp2・π3.V02)/6・(d+dc/εr)・・・(3)
次に、本発明の第2実施形態に係る静電吸着装置について説明する。なお、第1実施形態に係る静電吸着装置1と共通する要素については同一の符号を付してその説明は省略する。図3は、第2実施形態に係る静電吸着装置10の要部図である。第1実施形態に係る静電吸着装置1と第2実施形態に係る静電吸着装置10との主な相違点は、以下のとおりである。
第1実施形態に係る静電吸着装置1において、吸着電極3として直径8mmの円柱状の真鍮電極を用いると共に、電極ホルダ31の代わりに吸着電極3の側面に絶縁テープを巻き付けた。また、絶縁被覆32として厚さ165μmのPTFEフィルムテープ(NITTO社製、P−421)を吸着電極3の底面に貼付し、吸着電極3の前記底面を吸着電極3に前記吸着電圧が印加されたときに導電性粒子pを吸着させる吸着面とした。吸着電極3を電動ステージ(シグマ光機社製、SGSP33−100)に取り付け、当該電動ステージによって吸着電極3を上下移動させるようにした。導電性粒子pとして、粒径1.0±0.02mmの金属球(千住金属工業株式会社製、エコソルダーボール M705 1.0φ、1粒約4mg)を使用した。収容部2として金属製の容器を用意し、当該容器に多数の導電性粒子pからなる導電性粒子群Pを収容した。除電装置8には、特許第6008269号公報に記載のイオナイザーにおいて、対向針対針型コロナ放電電極(針電極間距離:12mm、接地円筒電極の外径:15mm)を使用したものを用いた。針電極は、先端曲率半径が7μmのタングステン針である。脱離アシスト装置9には、市販の振動子を使用した。
実施例1と同様の構成において、吸着電極3に印加する負極性の電圧(吸着電圧)を−0.5〜−3.0kVの範囲で変化させて導電性粒子pの吸着個数を確認する実験を行った。実験は各吸着電圧について10回行った。その結果を図6に示す。図6に示されるように、前記吸着電圧が−0.5kVの場合、吸着電極3の前記吸着面には導電性粒子pが吸着されなかった。これは、静電気力が不足しているためであると考えられる。一方、前記吸着電圧が−1.0〜−3.0kVの場合には、吸着電極3の前記吸着面に複数の導電性粒子pが吸着されることが確認された。
実施例1と同様の構成において、吸着電極3の直径(前記吸着面の面積)を変化させて導電性粒子pの吸着個数を確認する実験を行った。具体的には、直径(前記吸着面の面積)が2mm(3.14mm2)、4mm(12.56mm2)、6mm(28.26mm2)、8mm(50.24mm2)の吸着電極3を用意し、前記吸着電圧を−3.0kVとしたときの導電性粒子pの吸着個数を確認した。実験は各吸着電極3について10回行った。その結果を図7に示す。図7に示されるように、吸着電極3の直径(前記吸着面の面積)に比例して導電性粒子pの吸着個数が増加することが確認された。
第2実施形態に係る静電吸着装置10において、図8に示されるように、五つの吸着電極3a〜3eとしてそれぞれ直径1.6mmの円柱状の鋼製棒電極を用い、これらをABS樹脂製の円柱状の電極ホルダ31に組み込んだ。電極ホルダ31の側面にはアルミテープを巻き付けた。また、各吸着電極3a〜3eの底面が露出する電極ホルダ31の底面に絶縁被覆32として厚さ165μmのPTFEフィルムテープ(NITTO社製、P−421)を貼付し、当該PTFEフィルムテープによって被覆された各吸着電極3a〜3eの前記底面を各吸着電極3a〜3eに前記吸着電圧が印加されたときに導電性粒子pを吸着させる吸着面とした。吸着電極3a〜3eが組み込まれた電極ホルダ31を電動ステージ(シグマ光機社製、SGSP33−100)に取り付け、当該電動ステージによって電極ホルダ31(すなわち、各吸着電極3a〜3e)を上下移動させるようにした。導電性粒子pとして、粒径1.0±0.02mmの金属球(千住金属工業社製、エコソルダーボール M705 1.0φ)を使用した。また、各吸着電極3a〜3eに印加する吸着電圧を−2.0kVに設定した。
実施例1と同様の構成において、前記金属球の代わりに種子を用いた場合の種子の吸着個数を確認する実験を行った。具体的には、前記吸着電圧を−2.0kVとし、前記金属球の代わりに水菜の種子を用いた場合(実施例5)、前記金属球の代わりにからし菜の種子を用いた場合(実施例6)、前記金属球の代わりにスイートバジルの種子を用いた場合(実施例7)及び前記金属球の代わりにルッコラの種子を用いた場合(実施例8)の種子の吸着個数を確認した。実験はそれぞれについて10回行い、吸着個数の平均値及びばらつき(標準偏差)を算出した。その結果を図12に示す。図12に示されるように、実施例5〜8のいずれにおいても吸着電極3の前記吸着面に複数の種子が吸着されること、つまり、自然物である種子も導電性粒子pとして吸着され得ることが確認された。
実施例1と同様の構成において、前記金属球に代えて直径1mmのガラスビーズ(ブライト標示工業社製)を使用し、前記吸着電圧を−3.0kVとして吸着実験を行ったが、絶縁体であるガラスビーズは吸着電極3の前記吸着面に吸着されなかった。但し、同じガラスビーズに帯電スプレー(アイ・エイ・シー社製、アンモニウム硝酸塩含有帯電スプレー)を噴霧して表面に導電被膜を形成した後に、上記と同様の吸着実験を行ったところ、吸着電極3の前記吸着面に所定数のガラスビーズが一層吸着された。すなわち、絶縁性粒子であっても、導電被膜の形成などの表面導電化処理が施されたものは導電性粒子pとして吸着され得ることが確認された。また、その後、吸着電極3への前記吸着電圧の印加を遮断した後に、除電装置8を動作させることによって、吸着電極3の前記吸着面に吸着された前記所定数のガラスビーズを完全に脱離させることができることも確認された。
Claims (14)
- 導電性粒子群に基準電位を与える基準電極と、
絶縁被覆を有する少なくとも一つの吸着電極と、
前記少なくとも一つの吸着電極に対する吸着電圧の印加をオンオフするスイッチ部と、
前記少なくとも一つの吸着電極を前記導電性粒子群に近接又接触する吸着位置と当該吸着位置よりも前記導電性粒子群から離れた退避位置との間で移動させる移動機構と、
を含み、
前記少なくとも一つの吸着電極が前記吸着位置にあるときに前記少なくとも一つの吸着電極に前記吸着電圧を印加することにより、前記導電性粒子群のうちの所定数の導電性粒子に前記吸着電圧とは逆極性の電荷を誘起させて前記所定数の導電性粒子を前記少なくとも一つの吸着電極に吸着させ、
その後、前記少なくとも一つの吸着電極を前記吸着位置から前記退避位置に移動させることによって、前記少なくとも一つの吸着電極に吸着した前記所定数の導電性粒子を前記導電性粒子群の他の導電性粒子から分離するように構成されている、静電吸着装置。 - 前記少なくとも一つの吸着電極に吸着した前記所定数の導電性粒子は、前記少なくとも一つの吸着電極への前記吸着電圧の印加が遮断された後においても前記少なくとも一つの吸着電極に吸着した状態が維持される、請求項1に記載の静電吸着装置。
- 前記所定数の導電性粒子が一層の状態で前記少なくとも一つの吸着電極に吸着される、請求項1又は2に記載の静電吸着装置。
- 前記所定数の導電性粒子を前記少なくとも一つの吸着電極から脱離させるため、前記少なくとも一つの吸着電極に吸着した前記所定数の導電性粒子の電荷を除去する除電装置をさらに含む、請求項1〜3のいずれか一つに記載の静電吸着装置。
- 前記除電装置は、前記所定数の導電性粒子が脱離した後の前記吸着電極の残留電荷をも除去するように構成されている、請求項4に記載の静電吸着装置。
- 機械的な力を前記少なくとも一つの吸着電極又は前記所定数の導電性粒子に加えて前記所定数の導電性粒子の前記少なくとも一つの吸着電極からの脱離をアシストする脱離アシスト装置をさらに含む、請求項4又は5に記載の静電吸着装置。
- 前記基準電位を持つ導電性のブラシ状部材を前記少なくとも一つの吸着電極に吸着した前記所定数の導電性粒子に接触させることにより、前記所定数の導電性粒子の電荷を除去すると共に前記所定数の導電性粒子に機械的な力を加えて前記所定数の導電性粒子を前記少なくとも一つの吸着電極からの脱離させる除電・脱離装置をさらに含む、請求項1〜3のいずれか一つに記載の静電吸着装置。
- 前記除電装置又は前記除電・脱離装置が前記退避位置の近傍に配置されている、請求項4〜7のいずれか一つに記載の静電吸着装置。
- 前記導電性粒子群を隣接する導電性粒子同士が互いに接触するように収容する収容部を含み、前記基準電極は、前記導電性粒子群のうちの少なくとも一つの導電性粒子に接触するように配置されている、請求項1〜8のいずれか一つに記載の静電吸着装置。
- 前記導電性粒子群を隣接する導電性粒子同士が互いに接触するように収容する導電性の収容部を含み、前記基準電極は、前記収容部に接触するように配置されている、請求項1〜8のいずれか一つに記載の静電吸着装置。
- 前記導電性粒子群を隣接する導電性粒子同士が互いに接触するように収容する導電性の収容部を含み、前記収容部が前記基準電極としての機能を有する、請求項1〜8のいずれか一つに記載の静電吸着装置。
- 前記吸着位置は、前記収容部内における前記導電性粒子群の上層部に近接又は接触する位置であり、前記退避位置は、前記収容部の外側の位置である、
請求項8〜11のいずれか一つに記載の静電吸着装置。 - 前記導電性粒子群は、導電性を有する導電性面上に散在し、前記基準電極は、前記導電性面に接触するように配置されている、請求項1〜8のいずれか一つに記載の静電吸着装置。
- 前記少なくとも一つの吸着電極は、複数の吸着電極であり、
前記スイッチ部は、それぞれが前記複数の吸着電極のいずれかに対する吸着電圧の印加をオンオフする複数のスイッチを含み、
前記複数の吸着電極が前記吸着位置にあるときに前記複数の吸着電極に選択的に前記吸着電圧を印加することにより、前記導電性粒子群のうちの所定数の導電性粒子に前記吸着電圧とは逆極性の電荷を誘起させて前記所定数の導電性粒子を前記吸着電圧が印加された吸着電極に吸着させるように構成されている、請求項1〜13のいずれか一つに記載の静電吸着装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018097082A JP7229505B2 (ja) | 2018-05-21 | 2018-05-21 | 静電吸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018097082A JP7229505B2 (ja) | 2018-05-21 | 2018-05-21 | 静電吸着装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019202239A true JP2019202239A (ja) | 2019-11-28 |
JP7229505B2 JP7229505B2 (ja) | 2023-02-28 |
Family
ID=68725642
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018097082A Active JP7229505B2 (ja) | 2018-05-21 | 2018-05-21 | 静電吸着装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7229505B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022239701A1 (ja) * | 2021-05-11 | 2022-11-17 | 昭和電工マテリアルズ株式会社 | はんだ粒子の分級方法、はんだ粒子、はんだ粒子の分級システム、接着剤組成物、及び接着剤フィルム |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59129686A (ja) * | 1983-01-10 | 1984-07-26 | 増田 閃一 | 静電式微小物体吸引装置 |
JPS6397224A (ja) * | 1986-10-15 | 1988-04-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 固体粒子の分散装置 |
JPS6422364A (en) * | 1987-07-16 | 1989-01-25 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Method for classifying particles |
JPH04122207A (ja) * | 1990-09-12 | 1992-04-22 | Takashi Yonehara | 除電ブラシ及び除電器 |
JPH07128118A (ja) * | 1993-11-05 | 1995-05-19 | Sharp Corp | 粉体計量装置 |
JP2003506996A (ja) * | 1998-10-14 | 2003-02-18 | デルシス ファーマシューティカル コーポレーション | 面積を整合させた複数の電極を用いた静電感知チャック |
JP2004320965A (ja) * | 2003-04-21 | 2004-11-11 | Star Seiki Co Ltd | 成形品取出機用チャック及び成形品保持方法 |
US20090065402A1 (en) * | 2005-10-27 | 2009-03-12 | Kawasaki Plant Systems Kabushiki Kaisha | Electrostatic Separation Method and Electrostatic Separation Device |
JP2017011819A (ja) * | 2015-06-18 | 2017-01-12 | 株式会社アルバック | 非接触式の給電システム |
-
2018
- 2018-05-21 JP JP2018097082A patent/JP7229505B2/ja active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59129686A (ja) * | 1983-01-10 | 1984-07-26 | 増田 閃一 | 静電式微小物体吸引装置 |
JPS6397224A (ja) * | 1986-10-15 | 1988-04-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 固体粒子の分散装置 |
JPS6422364A (en) * | 1987-07-16 | 1989-01-25 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Method for classifying particles |
JPH04122207A (ja) * | 1990-09-12 | 1992-04-22 | Takashi Yonehara | 除電ブラシ及び除電器 |
JPH07128118A (ja) * | 1993-11-05 | 1995-05-19 | Sharp Corp | 粉体計量装置 |
JP2003506996A (ja) * | 1998-10-14 | 2003-02-18 | デルシス ファーマシューティカル コーポレーション | 面積を整合させた複数の電極を用いた静電感知チャック |
JP2004320965A (ja) * | 2003-04-21 | 2004-11-11 | Star Seiki Co Ltd | 成形品取出機用チャック及び成形品保持方法 |
US20090065402A1 (en) * | 2005-10-27 | 2009-03-12 | Kawasaki Plant Systems Kabushiki Kaisha | Electrostatic Separation Method and Electrostatic Separation Device |
JP2017011819A (ja) * | 2015-06-18 | 2017-01-12 | 株式会社アルバック | 非接触式の給電システム |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022239701A1 (ja) * | 2021-05-11 | 2022-11-17 | 昭和電工マテリアルズ株式会社 | はんだ粒子の分級方法、はんだ粒子、はんだ粒子の分級システム、接着剤組成物、及び接着剤フィルム |
WO2022239124A1 (ja) * | 2021-05-11 | 2022-11-17 | 昭和電工マテリアルズ株式会社 | はんだ粒子の分級方法、単分散はんだ粒子、及びはんだ粒子の分級システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7229505B2 (ja) | 2023-02-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101758370B1 (ko) | 제조되어지는 전기 부품의 전기적 특성을 제어하도록 직접-기록 잉크 내의 입자들의 공정 중 배향 | |
KR20060134093A (ko) | 코로나 방전형 이오나이저 | |
WO2007030317A3 (en) | Apparatus and method for field-injection electrostatic spray coating of medical devices | |
JP2013181840A5 (ja) | ||
JP2019202239A (ja) | 静電吸着装置 | |
CN105097428B (zh) | 碳纳米管复合膜 | |
CN108242421B (zh) | 静电卡盘装置和静电吸附方法 | |
JPH06325894A (ja) | クリーンルーム用イオナイザー | |
JP2007250769A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP5943290B2 (ja) | 静電塗装方法及び静電塗装用ガン | |
JP2013111554A (ja) | 静電塗装方法 | |
CN105097429B (zh) | 碳纳米管复合膜的制备方法 | |
JP2008264679A (ja) | 液体塗布装置 | |
JP4304342B2 (ja) | 大気圧コロナ放電発生装置 | |
JPH0763032B2 (ja) | 物体の静電的処理装置 | |
Sow et al. | The role of humidity on the lift-off of particles in electric fields | |
WO2021131519A1 (ja) | 電気集塵機 | |
JP2016173927A (ja) | 搬送装置、及び搬送方法 | |
CN1171643A (zh) | 空气清洁装置 | |
JP4880540B2 (ja) | 試料堆積装置 | |
JP4498895B2 (ja) | 静電吸着システム及びそれを用いたアライメント方法 | |
JPH10201697A (ja) | ロ−ル式除塵クリ−ナ | |
KR20200040759A (ko) | 정전식 피작업물 보유 방법 및 정전식 피작업물 보유 시스템 | |
JPH05251195A (ja) | 静電気除去装置 | |
JPS59129686A (ja) | 静電式微小物体吸引装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A80 | Written request to apply exceptions to lack of novelty of invention |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A80 Effective date: 20180521 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210402 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220126 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220222 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220413 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220906 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221031 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230131 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230208 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7229505 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |