JP2019200328A - プロジェクター - Google Patents
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Abstract
【課題】照明対象に影が映りこまないプロジェクターを提供する。【解決手段】発光装置および光変調装置を有し、前記発光装置は、第1半導体層と、第2半導体層と、電流が注入されることで光を発生させる発光層と、前記第1半導体層に電気的に接続された第1電極と、前記第2半導体層に電気的に接続された第2電極と、前記第2電極に接続された第3電極と、を有し、前記第2電極は、前記発光層で発生された光を透過させ、前記第3電極の抵抗率は、前記第2電極の抵抗率よりも低く、前記第3電極は、第1方向に並ぶ複数の第1導電部を有し、前記光変調装置は、複数の画素と、隣り合う前記画素の間の間隙領域と、を有し、複数の前記第1導電部の前記第1方向のピッチは、複数の前記間隙領域の前記第1方向のピッチの整数倍であり、前記発光装置から出射された光によって生じる前記第1導電部の影は、前記間隙領域に投影される、プロジェクター。【選択図】図5
Description
本発明は、プロジェクターに関する。
プロジェクターの光源として、複数の半導体層を積層させ、光を積層方向に出射させる発光装置が知られている。このような発光装置では、例えば、電極として、光を透過させる透明電極を用い、光を透明電極側から取り出す。
例えば特許文献1では、透明電極として、ITO(Indium Tin Oxide)を用い、光をITO側から取り出す液晶プロジェクターが記載されている。
上記のようなITO等の透明電極として用いられる材料は、一般的に抵抗が高いため、発光領域全域に所望の電流を注入することができない場合がある。そのため、例えば、透明電極上に抵抗の低い金属層を設けて、抵抗を低減することが考えられる。しかしながら、金属層は、発光層で発生された光を遮光するため、例えば、金属層の影が液晶ライトバルブの画素に投影されると、スクリーンなどの照明対象に金属層の影が映りこんでしまう。
本発明に係るプロジェクターの一態様は、
発光装置と、
前記発光装置から出射された光を、画像情報に応じて変調させる光変調装置と、
を有し、
前記発光装置は、
第1半導体層と、
前記第1半導体層とは導電型の異なる第2半導体層と、
前記第1半導体層と前記第2半導体層との間に設けられ、電流が注入されることで光を発生させる発光層と、
前記第1半導体層に電気的に接続された第1電極と、
前記第2半導体層に電気的に接続された第2電極と、
前記第2電極に接続された第3電極と、
を有し、
前記第2電極は、前記発光層で発生された光を透過させ、
前記第3電極の抵抗率は、前記第2電極の抵抗率よりも低く、
前記第3電極は、第1方向に並ぶ複数の第1導電部を有し、
前記光変調装置は、
複数の画素と、
隣り合う前記画素の間の間隙領域と、
を有し、
複数の前記第1導電部の前記第1方向のピッチは、複数の前記間隙領域の前記第1方向のピッチの整数倍であり、
前記発光装置から出射された光によって生じる前記第1導電部の影は、前記間隙領域に投影される。
発光装置と、
前記発光装置から出射された光を、画像情報に応じて変調させる光変調装置と、
を有し、
前記発光装置は、
第1半導体層と、
前記第1半導体層とは導電型の異なる第2半導体層と、
前記第1半導体層と前記第2半導体層との間に設けられ、電流が注入されることで光を発生させる発光層と、
前記第1半導体層に電気的に接続された第1電極と、
前記第2半導体層に電気的に接続された第2電極と、
前記第2電極に接続された第3電極と、
を有し、
前記第2電極は、前記発光層で発生された光を透過させ、
前記第3電極の抵抗率は、前記第2電極の抵抗率よりも低く、
前記第3電極は、第1方向に並ぶ複数の第1導電部を有し、
前記光変調装置は、
複数の画素と、
隣り合う前記画素の間の間隙領域と、
を有し、
複数の前記第1導電部の前記第1方向のピッチは、複数の前記間隙領域の前記第1方向のピッチの整数倍であり、
前記発光装置から出射された光によって生じる前記第1導電部の影は、前記間隙領域に投影される。
前記プロジェクターの一態様において、
前記第3電極は、前記第1方向と交差する第2方向に並ぶ複数の第2導電部を有し、
複数の前記第2導電部の前記第2方向のピッチは、複数の前記間隙領域の前記第2方向のピッチの整数倍であり、
前記発光装置から出射された光によって生じる前記第2導電部の影は、前記間隙領域に投影されてもよい。
前記第3電極は、前記第1方向と交差する第2方向に並ぶ複数の第2導電部を有し、
複数の前記第2導電部の前記第2方向のピッチは、複数の前記間隙領域の前記第2方向のピッチの整数倍であり、
前記発光装置から出射された光によって生じる前記第2導電部の影は、前記間隙領域に投影されてもよい。
本発明に係るプロジェクターの一態様は、
発光装置と、
前記発光装置から出射された光を、画像情報に応じて変調させる光変調装置と、
前記発光装置から出射された光を、前記光変調装置に導くレンズ系と、
を有し、
前記発光装置は、
第1半導体層と、
前記第1半導体層とは導電型の異なる第2半導体層と、
前記第1半導体層と前記第2半導体層との間に設けられ、電流が注入されることで光を発生させる発光層と、
前記第1半導体層に電気的に接続された第1電極と、
前記第2半導体層に電気的に接続された第2電極と、
前記第2電極に接続された第3電極と、
を有し、
前記第2電極は、前記発光層で発生された光を透過させ、
前記第3電極の抵抗率は、前記第2電極の抵抗率よりも低く、
前記第3電極は、第1方向に並ぶ複数の第1導電部を有し、
前記光変調装置は、
複数の画素と、
隣り合う前記画素の間の間隙領域と、
を有し、
複数の前記第1導電部の前記第1方向のピッチは、複数の前記間隙領域の前記第1方向のピッチに前記レンズ系の倍率を掛けた値の整数倍であり、
前記発光装置から出射された光によって生じる前記第1導電部の影は、前記間隙領域に投影される。
発光装置と、
前記発光装置から出射された光を、画像情報に応じて変調させる光変調装置と、
前記発光装置から出射された光を、前記光変調装置に導くレンズ系と、
を有し、
前記発光装置は、
第1半導体層と、
前記第1半導体層とは導電型の異なる第2半導体層と、
前記第1半導体層と前記第2半導体層との間に設けられ、電流が注入されることで光を発生させる発光層と、
前記第1半導体層に電気的に接続された第1電極と、
前記第2半導体層に電気的に接続された第2電極と、
前記第2電極に接続された第3電極と、
を有し、
前記第2電極は、前記発光層で発生された光を透過させ、
前記第3電極の抵抗率は、前記第2電極の抵抗率よりも低く、
前記第3電極は、第1方向に並ぶ複数の第1導電部を有し、
前記光変調装置は、
複数の画素と、
隣り合う前記画素の間の間隙領域と、
を有し、
複数の前記第1導電部の前記第1方向のピッチは、複数の前記間隙領域の前記第1方向のピッチに前記レンズ系の倍率を掛けた値の整数倍であり、
前記発光装置から出射された光によって生じる前記第1導電部の影は、前記間隙領域に投影される。
前記プロジェクターの一態様において、
前記第3電極は、
複数の前記第1導電部の前記第1方向のピッチが、第1ピッチである第1部分と、
複数の前記第1導電部の前記第1方向のピッチが、前記第1ピッチよりも小さい第2ピッチである第2部分と、
を有し、
前記第1半導体層および前記発光層の積層方向から見た平面視において、前記第2部分と前記第2電極の中心との間の距離は、前記第1部分と前記第2電極の中心との間の距離よりも小さくてもよい。
前記第3電極は、
複数の前記第1導電部の前記第1方向のピッチが、第1ピッチである第1部分と、
複数の前記第1導電部の前記第1方向のピッチが、前記第1ピッチよりも小さい第2ピッチである第2部分と、
を有し、
前記第1半導体層および前記発光層の積層方向から見た平面視において、前記第2部分と前記第2電極の中心との間の距離は、前記第1部分と前記第2電極の中心との間の距離よりも小さくてもよい。
前記プロジェクターの一態様において、
複数の前記第1導電部の前記第1方向のピッチは、複数の前記間隙領域の前記第1方向のピッチと同じであってもよい。
複数の前記第1導電部の前記第1方向のピッチは、複数の前記間隙領域の前記第1方向のピッチと同じであってもよい。
前記プロジェクターの一態様において、
隣り合う前記第1導電部の間の距離は、前記画素の前記第1方向の大きさよりも小さくてもよい。
隣り合う前記第1導電部の間の距離は、前記画素の前記第1方向の大きさよりも小さくてもよい。
前記プロジェクターの一態様において、
前記光変調装置は、前記発光装置から出射された光を前記画素に導く集光レンズを有し、
隣り合う前記第1導電部の間の距離は、前記画素の前記第1方向の大きさよりも大きくてもよい。
前記光変調装置は、前記発光装置から出射された光を前記画素に導く集光レンズを有し、
隣り合う前記第1導電部の間の距離は、前記画素の前記第1方向の大きさよりも大きくてもよい。
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
1. 第1実施形態
1.1. プロジェクター
まず、第1実施形態に係るプロジェクターについて、図面を参照しながら説明する。図1は、第1実施形態に係るプロジェクター100を模式的に示す断面図である。
1.1. プロジェクター
まず、第1実施形態に係るプロジェクターについて、図面を参照しながら説明する。図1は、第1実施形態に係るプロジェクター100を模式的に示す断面図である。
プロジェクター100は、図1に示すように、例えば、発光装置10と、透過型の液晶ライトバルブ(光変調装置)30と、クロスダイクロイックプリズム(色光合成装置)50と、投射レンズ(投射装置)60と、これらを収容する筐体(図示せず)と、を有している。なお、便宜上、図1では、発光装置10および液晶ライトバルブ30を簡略化して図示している。
発光装置10は、光を出射する。図示の例では、プロジェクター100は、発光装置10として、赤色光を出射する赤色光源10Rと、緑色光を出射する緑色光源10Gと、青色光を出射する青色光源10Bと、を有している。光源10R,10G,10Bは、例えば、液晶ライトバルブ30を直接照射するバックライト式の光源である。
液晶ライトバルブ30は、発光装置10から出射された光を、画像情報に応じて変調させる。図示の例では、プロジェクター100は、液晶ライトバルブ30として、赤色光が入射する液晶ライトバルブ30Rと、緑色光が入射する液晶ライトバルブ30Gと、青色光が入射する液晶ライトバルブ30Bと、を有している。
クロスダイクロイックプリズム50は、液晶ライトバルブ30R,30G,30Bから出射された光を合成して投射レンズ60に導く。クロスダイクロイックプリズム50は、4つの直角プリズムを貼り合わせて形成され、その内面に赤色光を反射する誘電体多層膜と青色光を反射する誘電体多層膜とが十字状に配置されている。これらの誘電体多層膜によって3つの色光が合成され、カラー画像を表す光が形成される。
投射レンズ60は、クロスダイクロイックプリズム50によって合成された光を、スクリーン(図示せず)に投射する。投射レンズ60は、液晶ライトバルブ30R,30G,30Bによって形成された像(画像)を、拡大してスクリーンに投射することができる。
ここで、図2は、発光装置10を模式的に示す断面図である。図3は、発光装置10を模式的に示す平面図である。図4は、図3の拡大図である。なお、図2は、図3のII−II線断面図である。また、図2〜図4および後述する図5〜7では、互いに直交する3軸として、X軸、Y軸、およびZ軸を図示している。
発光装置10は、図2〜図4に示すように、例えば、基板12と、第1半導体層14と、発光層16と、第2半導体層18と、第1電極20と、第2電極22と、第3電極24と、を有している。発光装置10は、例えば、LED(Light Emitting Diode)である。なお、便宜上、図3では、第1電極20の図示を省略している。
基板12は、例えば、サファイア基板などである。
第1半導体層14は、基板12上に設けられている。第1半導体層14は、基板12と発光層16との間に設けられている。第1半導体層14は、例えば、Siがドープされたn型のGaN層である。
なお、本発明において、「上」とは、第1半導体層14および発光層16の積層方向において、発光層16からみて基板12から遠ざかる方向のことであり、「下」とは、積層方向において、発光層16からみて基板12に近づく方向のことである。図示の例では、「上」は、+Z軸方向側であり、「下」は、−Z軸方向側である。
発光層16は、第1半導体層14上に設けられている。発光層16は、第1半導体層14と第2半導体層18との間に設けられている。発光層16は、例えば、InGaN層とGaN層とを交互に積層させた多重量子井戸(MQW)構造を有している。発光層16は、電流が注入されることで光を発生させることが可能な層である。
第2半導体層18は、発光層16上に設けられている。第2半導体層18は、第1半導体層14と導電型の異なる層である。第2半導体層18は、例えば、Mgがドープされたp型のGaN層である。
発光装置10では、p型の第2半導体層18、不純物がドーピングされていない発光層16、およびn型の第1半導体層14により、pinダイオードが構成される。半導体層14,18は、発光層16よりもバンドギャップが大きい層である。発光装置10では、第1電極20と、第2電極22および第3電極24と、の間にpinダイオードの順バイアス電圧を印加すると(電流を注入すると)、発光層16において電子と正孔との再結合が起こる。この再結合により発光が生じる。
発光層16で発生した光であって+Z軸方向側に向かう光は、第2電極22を透過して出射される。なお、例えば、基板12の下、または基板12と第1半導体層14との間にミラー層(図示せず)を設けることにより、発光層16で発生した光であって−Z軸方向側に向かう光を反射させて、第2電極22側から出射することができる。
第1電極20は、第1半導体層14上に設けられている。第1電極20は、第1半導体層14に電気的に接続されている。図示の例では、第1電極20は、第1半導体層14と接触している。第1電極20は、第1半導体層14とオーミックコンタクトしていてもよい。第1電極20としては、例えば、第1半導体層14側から、Ti層、Al層、Au層の順序で積層したもの、またはNi層、Au層の順序で積層したものなどを用いる。第1電極20は、発光層16に電流を注入するための一方の電極である。
第2電極22は、第2半導体層18上に設けられている。第2電極22は、第2半導体層18に電気的に接続されている。図示の例では、第2電極22は、第2半導体層18と接触している。第2電極22は、第2半導体層18とオーミックコンタクトしていてもよい。第2電極22は、例えば、層状の形状を有している。第1半導体層14および発光層16の積層方向から見た平面視において(以下、単に「平面視において」ともいう)、第2電極22は、例えば、発光層16と重なっている。
第2電極22は、発光層16で発生された光に対して透明である。すなわち、第2電極22は、発光層16で発生された光を透過させることができる透明電極である。第2電極22の材質は、例えば、ITOである。第2電極22は、光を出射する出射面22aを有している。図示の例では、出射面22aは、第2電極22の+Z軸方向側の面である。
第3電極24は、第2電極22上に設けられている。第3電極24は、第2電極22に接続されている。第3電極24は、第2電極22に接触している。第3電極24は、第2電極22を介して、第2半導体層18と電気的に接続されている。
第3電極24は、発光層16で発生された光を遮光する。第3電極24の発光層16で発生された光に対する透過率は、第2電極22の発光層16で発生された光に対する透過率よりも低い。第3電極24の抵抗率は、第2電極22の抵抗率よりも低い。第3電極24の材質は、例えば、AgとPdとCuとの合金であるAPC合金、第2電極22側からCr層、Au層の順序で積層したものなどである。第2電極22および第3電極24は、発光層16に電流を注入するための他方の電極である。
第3電極24には、複数の開口部25が設けられている。開口部25は、第3電極24を貫通している。図3および図4に示す例では、開口部25の形状は、平面視において、矩形(正方形)である。複数の開口部25は、平面視において、マトリックス状に設けられている。複数の開口部25は、X軸方向にピッチPx1で並び、Y軸方向にピッチPy1で並んでいる。図示の例では、ピッチPx1とピッチPy1とは、同じピッチである。
第3電極24は、例えば、平面視において、格子状の形状を有している。第3電極24
は、第1方向(例えばX軸方向)にピッチPx1で並ぶ複数の第1導電部24aと、第1方向と交差する第2方向(例えばY軸方向)にピッチPy1で並ぶ第2導電部24bと、第1導電部24aおよび導電部24bと接続された枠状の枠部24cと、を有している。
は、第1方向(例えばX軸方向)にピッチPx1で並ぶ複数の第1導電部24aと、第1方向と交差する第2方向(例えばY軸方向)にピッチPy1で並ぶ第2導電部24bと、第1導電部24aおよび導電部24bと接続された枠状の枠部24cと、を有している。
第3電極24の第1導電部24aは、枠部24cの+Y軸方向側の部分から−Y軸方向側の部分まで、Y軸方向に延出している。第1導電部24aは、Y軸方向に長手方向を有する形状である。第2導電部24bは、枠部24cの+X軸方向側の部分から−X軸方向側の部分まで、X軸方向に延出している。第2導電部24bは、X軸方向に長手方向を有する形状である。図2に示す例では、枠部24cの厚さは、導電部24a,24bの厚さよりも大きい。
発光装置10の製造方法では、例えば、基板12上に、第1半導体層14、発光層16、および第2半導体層18を、この順でエピタキシャル成長させる。エピタキシャル成長としては、例えば、MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)法、MBE(Molecular Beam Epitaxy)法などが挙げられる。次に、例えば、真空蒸着法などによって電極20,22,24を形成する。
ここで、図5は、発光装置10および液晶ライトバルブ30を模式的に示す断面図である。図6は、液晶ライトバルブ30を模式的に示す平面図である。図7は、図6の拡大図である。なお、図5は、図3のII−II線断面に対応する断面図である。また、図5では、4つの画素42、およびこれに対応する発光装置10について図示している。
液晶ライトバルブ30は、図5に示すように、例えば、対向基板32と、ブラックマトリックス34と、液晶層36と、共通電極38と、TFT(Thin Film Transistor)基板40と、を有している。なお、便宜上、図6および図7では、対向基板32の図示を省略している。
対向基板32は、図5に示すように、発光装置10の出射面22aと対向して設けられている。対向基板32は、透明基板32a,32bと、集光レンズ32cと、を有している。
透明基板32a,32bは、集光レンズ32cを支持している。透明基板32a,32bは、発光装置10から出射された光Lに対して透明である。透明基板32a,32bは、光Lを透過させる。透明基板32a,32bは、例えば、石英基板である。
集光レンズ32cは、例えば、透明基板32a,32bに挟まれて設けられている。集光レンズ32cは、光Lを画素42に導く。集光レンズ32cは、光Lを集光させる。集光レンズ32cは、複数設けられている。複数の集光レンズ32cは、例えば、マイクロレンズアレイ(MLA)を構成している。集光レンズ32cは、開口部25に対応して設けられている。すなわち、1つの開口部25を通る光Lは、1つの集光レンズ32cに入射する。
ブラックマトリックス34は、光LがTFT基板40のTFT40cを照射しないように光Lを遮光する遮光マスクである。TET40cが光Lによって遮光されると、TET40cが誤動作する場合がある。ブラックマトリックス34は、このTFT40cの誤動作を防ぐことができる。
液晶層36の材質は、例えば、油状の透明な液晶材料である。TFT基板40は、透明基板40aと、画素電極40bと、TFT40cと、を有している。透明基板40aは、画素電極40bおよびTFT40cを支持している。
液晶層36は、共通電極38および画素電極40bに挟まれている。液晶層36は、共通電極38と画素電極40bとの間に印加される電圧によって光Lに対する透過率が変化する。共通電極38は、複数の画素42において、共通の電極である。画素電極40bは、1つの画素42において、1つ設けられている。
TFT40cは、入力された画像情報に応じて電極38,40b間の電圧を変化させ、液晶層36を通過する光Lを変調させる。これにより、画素42ごとに明るさを変えることができ、画像を形成することができる。TFT40cは、薄膜トランジスターである。共通電極38、画素電極40b、および透明基板40aは、光Lに対して透明である。共通電極38、画素電極40b、および透明基板40aは、光Lを透過させる。透明基板40aは、例えば、ガラス基板である。なお、図示はしないが、液晶ライトバルブ30は、光Lの偏光方向を揃える偏光板を有していてもよい。
液晶ライトバルブ30は、図5〜図7に示すように、複数の画素42と、隣り合う画素42の間の間隙領域44と、を有している。
画素42は、例えば、共通電極38、液晶層36、および画素電極40bのうち、Z軸方向からみて、ブラックマトリックス34の開口部35と重なる部分によって構成されている。開口部35は、ブラックマトリックス34を貫通している。
画素42の形状は、例えば、図6および図7に示すように、平面視において、矩形(例えば正方形)である。画素42は、複数設けられている。画素42は、例えば、開口部25に対応して設けられている。すなわち、1つの開口部25を通る光Lは、1つの画素42に入射する。
複数の画素42は、平面視において、マトリックス状に設けられている。複数の画素42は、X軸方向にピッチPx2で並び、Y軸方向にピッチPy2で並んでいる。図示の例では、ピッチPx2とピッチPy2とは、同じピッチである。
間隙領域44は、複数設けられている。間隙領域44は、例えば、ブラックマトリックス34と、共通電極38、液晶層36、および画素電極40bのうち、Z軸方向からみて、ブラックマトリックス34の開口部35と重なる部分と、TET40cと、によって構成されている。複数の間隙領域44は、X軸方向にピッチPx2で並び、Y軸方向にピッチPy2で並んでいる。第1導電部24aの影(光Lによって生じる影)S1および第2導電部24bの影(光Lによって生じる影)S2は、間隙領域44に投影される。
複数の第1導電部24aのX軸方向のピッチPx1は、複数の間隙領域44のX軸方向のピッチPx2の整数倍(正の整数倍)である。複数の第2導電部24bのY軸方向のピッチPy1は、複数の間隙領域44のY軸方向のピッチPy2の整数倍である。図示の例では、ピッチPx1は、ピッチPx2と同じであり、ピッチPy1は、ピッチPy2と同じである。ピッチPx1は、例えば、10μm程度である。
平面視において、隣り合う第1導電部24aの間の距離(開口部25のX軸方向の大きさ)Lxは、例えば、画素42のX軸方向の大きさWxよりも大きい。隣り合う第2導電部24bの距離(開口部25のY軸方向の大きさ)Lyは、例えば、画素42のY軸方向の大きさWyよりも大きい。
プロジェクター100は、例えば、以下の特徴を有する。
プロジェクター100では、第2電極22に接続された第3電極24を有し、第3電極24の抵抗率は、第2電極22の抵抗率よりも低く、複数の第1導電部24aのX軸方向のピッチPx1は、複数の間隙領域44のX軸方向のピッチPx2の整数倍であり、発光装置10から出射された光Lによって生じる第1導電部24aの影S1は、間隙領域44に投影される。そのため、プロジェクター100では、第2半導体層18に電気的に接続された電極(第2電極22および第3電極24からなる電極)の抵抗を小さすることができ、かつ、スクリーンなどの照明対象に第1導電部24aの影がS1映りこまない。さらに、プロジェクター100では、第2半導体層18に電気的に接続された電極の抵抗を小さくすることができるので、例えば、発光層16全域に均一性よく所望の電流を注入することができ、発光層16において均一性よく光を発光させることができる。したがって、均一性よくスクリーンを照明することができる。
プロジェクター100では、第3電極24は、Y軸方向に並ぶ複数の第2導電部24bを有し、複数の第2導電部24bのY軸方向のピッチPy1は、複数の間隙領域44のY軸方向のピッチPy2の整数倍であり、発光装置10から出射された光Lによって生じる第2導電部24bの影S2は、間隙領域44に投影される。そのため、プロジェクター100では、スクリーンに第2導電部24bの影S2が映りこまない。
プロジェクター100では、複数の第1導電部24aのX軸方向のピッチPx1は、複数の間隙領域44のX軸方向のピッチPx2と同じである。そのため、プロジェクター100では、例えばピッチPx1がピッチPx2の2倍以上の場合に比べて、第1導電部24aの密度を高くすることができる。したがって、プロジェクター100では、第2半導体層18に電気的に接続された電極の抵抗を、より小さくすることができる。
プロジェクター100では、液晶ライトバルブ30は、発光装置10から出射された光Lを画素42に導く集光レンズ32cを有し、隣り合う第1導電部24aの間の距離Lxは、画素42のX軸方向の大きさWxよりも大きい。そのため、プロジェクター100では、例えば、光Lがブラックマトリックス34で遮光される量を低減しつつ、光Lが第1導電部24aにおいて遮光される量を低減することができる。したがって、プロジェクター100は、効率よくスクリーンを照明することができる。
なお、上記では、青色光を出射するGaN系の発光装置10について説明したが、GaP系やGaAs系などの半導体層を用いることにより、発光装置は、緑色光や赤色光を出射することができる。
また、上記では、発光装置10がLEDの場合について説明したが、本発明に係る発光装置は、VCSEL(Vertical Cavity Surface Emitting Laser)や、ナノコラム発光素子(ナノコラムLED、ナノコラムLD(Laser Diode))などであってもよい。ナノコラム発光素子は、GaN等のナノサイズの柱状(コラム状)結晶体を有する発光素子である。ナノコラム発光素子では、例えば、柱状結晶体が第1半導体層、発光層、および第2半導体層を有し、隣り合う柱状結晶体において第2半導体層が離間しているため、特に、第3電極を設けることが好ましい。
また、上記では、光変調装置として液晶ライトバルブを用いたが、本発明に係るプロジェクターは、光変調装置として、DMD(Digital Micro Mirror Device、登録商標)を用いたDLP(Digital Light Processing、登録商標)プロジェクターであってもよい。
1.2. プロジェクターの変形例
1.2.1. 第1変形例
次に、第1実施形態の第1変形例に係るプロジェクターについて、図面を参照しながら
説明する。図8は、第1実施形態の第1変形例に係るプロジェクター110の発光装置10を模式的に示す平面図である。なお、図8および後述する図9〜12では、互い直交する3軸として、X軸、Y軸、およびZ軸を図示している。
1.2.1. 第1変形例
次に、第1実施形態の第1変形例に係るプロジェクターについて、図面を参照しながら
説明する。図8は、第1実施形態の第1変形例に係るプロジェクター110の発光装置10を模式的に示す平面図である。なお、図8および後述する図9〜12では、互い直交する3軸として、X軸、Y軸、およびZ軸を図示している。
以下、第1実施形態の第1変形例に係るプロジェクター110において、上述した第1実施形態に係るプロジェクター100の例と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。このことは、後述する第1実施形態の第2,第3,第4変形例に係るプロジェクターにおいて同様である。
上述したプロジェクター100では、図3に示すように、複数の第1導電部24aのX軸方向のピッチPx1は、全て同じピッチであった。これに対し、プロジェクター110では、図8に示すように、第3電極24は、複数の第1導電部24aのX軸方向のピッチPx1が、第1ピッチP1である第1部分124aと、ピッチPx1が、第1ピッチP1よりも小さい第2ピッチP2である第2部分124bと、を有している。
第3電極24の第1部分124aでは、第1ピッチP1は、複数の間隙領域44のX軸方向のピッチPx2の2以上の整数倍のピッチである。図示の例では、第1ピッチP1は、ピッチPx2の6倍のピッチである。第1部分124aでは、複数の第2導電部24bのY軸方向のピッチPy1は、第3ピッチP3である。図示の例では、第3ピッチP3は、複数の間隙領域44のY軸方向のピッチPy2の8倍のピッチである。
なお、図示の例では、第1部分124aでは、第1導電部24aのピッチPx1と第2導電部24bのピッチPy1とが異なっているが、ピッチPx1とピッチPy1とは、同じであってもよい。
第3電極24の第2部分124bでは、第2ピッチP2は、例えば、複数の間隙領域44のX軸方向のピッチPx2と同じである。第2部分124bにおいて、複数の第2導電部24bのY軸方向のピッチPy1は、第3ピッチP3よりも小さい。図示の例では、第2部分124bにおいて、ピッチPy1は、第2ピッチP2である。
平面視において、第2部分124bと第2電極22の中心Cと野間の距離は、第1部分124aと第2電極22の中心Cとの間の距離よりも小さい。図示の例では、第2部分124bは、中心Cと重なっている。第1部分124aは、第2部分124bを囲んでいる。
プロジェクター110では、第3電極24は、複数の第1導電部24aのX軸方向のピッチPx1が、第1ピッチP1である第1部分124aと、複数の第1導電部24aのX軸方向のピッチPx1が、第1ピッチP1よりも小さい第2ピッチP2である第2部分124bと、を有し、平面視において、第2部分124bと第2電極22の中心Cとの間の距離は、第1部分124aと第2電極22の中心Cとの間の距離よりも小さい。そのため、プロジェクター110では、第2電極22の抵抗によって電流が小さくなる第2電極22の中央部において、第3電極24により発光層16に注入される電流を大きくすることができる。したがって、プロジェクター110では、平面視において、発光層16に均一性よく電流を注入することができる。
1.2.2. 第2変形例
次に、第1実施形態の第2変形例に係るプロジェクターについて、図面を参照しながら説明する。図9は、第1実施形態の第2変形例に係るプロジェクター120を模式的に示す図である。
次に、第1実施形態の第2変形例に係るプロジェクターについて、図面を参照しながら説明する。図9は、第1実施形態の第2変形例に係るプロジェクター120を模式的に示す図である。
上述したプロジェクター100では、図5に示すように、液晶ライトバルブ30は、集光レンズ32cを有した。これに対し、プロジェクター120では、図9に示すように、液晶ライトバルブ30は、集光レンズ32cを有していない。
プロジェクター120では、隣り合う第1導電部24aの間の距離Lxは、間隙領域44のX軸方向の大きさWxよりも小さい。同様に、隣り合う第2導電部24bの間の距離Lyは、間隙領域44のY軸方向の大きさWyよりも小さい。
プロジェクター120では、隣り合う第1導電部24aの間の距離Lxは、間隙領域44のX軸方向の大きさWxよりも小さいため、例えば、光Lがブラックマトリックス34で遮光される量を低減することができる。そのため、プロジェクター120では、効率よくスクリーンを照明することができる。さらに、液晶ライトバルブ30の温度が上昇することを抑制することができる。光Lは発散するため、例えば図10に示すように、距離Lxが大きさWx以上の場合は、ブラックマトリックス34で遮光される量が多くなる。
1.2.3. 第3変形例
次に、第1実施形態の第3変形例に係るプロジェクターについて、図面を参照しながら説明する。図11は、第1実施形態の第3変形例に係るプロジェクター130の発光装置10を模式的に示す断面図である。
次に、第1実施形態の第3変形例に係るプロジェクターについて、図面を参照しながら説明する。図11は、第1実施形態の第3変形例に係るプロジェクター130の発光装置10を模式的に示す断面図である。
上述したプロジェクター100では、第1半導体層14は、n型の半導体層であり、第2半導体層18は、p型の半導体層であった。これに対し、プロジェクター130では、第1半導体層14は、p型の半導体層であり、第2半導体層18は、n型の半導体層である。第2電極22は、n型の第2半導体層18上に設けられている。
プロジェクター130では、発光装置10は、図11に示すように、基板132を有している。基板132は、例えば、シリコン基板などである。基板132は、例えば、発光層16で発生した熱を放熱させることができる。基板132と第1半導体層14との間には、接合層134が設けられている。接合層134は、第1半導体層14を基板132に接合させるための層である。接合層134の材質は、第1半導体層14を基板132に接合させることができれば、特に限定されない。
プロジェクター130の発光装置10の製造方法では、基板12上に第2半導体層18、発光層16、および第1半導体層14をこの順でエピタキシャル成長させた後、基板12を除去する。次に、接合層134を介して、基板132に第1半導体層14を接合させる。次に、電極20,22,24を形成する。
プロジェクター130では、第1半導体層14は、p型の半導体層であり、第2半導体層18は、n型の半導体層であり、第2電極22は、n型の第2半導体層18上に設けられている。n型の半導体層は、例えば、p型の半導体層よりも抵抗が低い。そのため、プロジェクター130では、第2電極22が高抵抗の透明電極であっても、発光層16に均一性よく電流を注入することができる。
1.2.4. 第4変形例
次に、第1実施形態の第4変形例に係るプロジェクターについて、図面を参照しながら説明する。図12は、第1実施形態の第4変形例に係るプロジェクター140の発光装置10を模式的に示す断面図である。
次に、第1実施形態の第4変形例に係るプロジェクターについて、図面を参照しながら説明する。図12は、第1実施形態の第4変形例に係るプロジェクター140の発光装置10を模式的に示す断面図である。
上述したプロジェクター100では、図2に示すように、第3電極24は、第2電極22上に設けられていた。これに対し、プロジェクター140では、図12に示すように、
第3電極24は、第2半導体層18と第2電極22との間に設けられている。
第3電極24は、第2半導体層18と第2電極22との間に設けられている。
2. 第2実施形態
次に、第2実施形態に係るプロジェクターについて、図面を参照しながら説明する。図13は、第2実施形態に係るプロジェクター200を模式的に示す図である。図14は、第2実施形態に係るプロジェクター200の発光装置10および液晶ライトバルブ30を模式的に示す断面図である。図15は、第2実施形態に係るプロジェクター200の液晶ライトバルブ30を模式的に示す平面図である。
次に、第2実施形態に係るプロジェクターについて、図面を参照しながら説明する。図13は、第2実施形態に係るプロジェクター200を模式的に示す図である。図14は、第2実施形態に係るプロジェクター200の発光装置10および液晶ライトバルブ30を模式的に示す断面図である。図15は、第2実施形態に係るプロジェクター200の液晶ライトバルブ30を模式的に示す平面図である。
なお、便宜上、図13では、発光装置10および液晶ライトバルブ30を簡略化して図示している。また、図15では、8つの画素42、およびこれに対応する発光装置10について図示している。また、図14および図15では、互い直交する3軸として、X軸、Y軸、およびZ軸を図示している。
プロジェクター200では、図13および図14に示すように、光Lを液晶ライトバルブ30に導くレンズ系202を有している点において、上述したプロジェクター100と異なる。
レンズ系202は、第1レンズ204と、第2レンズ206と、を有している。光Lは、第1レンズ204を通過した後に、第2レンズ206を通過する。レンズ系202は、例えば、入射された光Lを拡大する。
複数の第1導電部24aのX軸方向のピッチPx1は、複数の間隙領域44のX軸方向のピッチPx2にレンズ系202の倍率を掛けた値の整数倍である。同様に、複数の第2導電部24bのY軸方向のピッチPy1は、複数の間隙領域44のY軸方向のピッチPy2にレンズ系202の倍率を掛けた値の整数倍である。第1導電部24aの影S1および第2導電部24bの影S2は、図15に示すように、液晶ライトバルブ30のブラックマトリックス34に投影される。これにより、プロジェクター200では、影S1,S2がスクリーンに映りこまない。
プロジェクター200では、発光装置10から出射された光Lを、液晶ライトバルブ30に導くレンズ系202を有する。そのため、プロジェクター200では、例えばプロジェクター100の場合に比べて、平面視における発光装置10の面積を小さくすることができる。したがって、プロジェクター200では、発光装置10の小型化を図ることができる。
本発明は、本願に記載の特徴や効果を有する範囲で一部の構成を省略したり、各実施形態や変形例を組み合わせたりしてもよい。
本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成(例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成)を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
10…発光装置、10R…赤色光源、10G…緑色光源、10B…青色光源、12…基板、14…第1半導体層、16…発光層、18…第2半導体層、20…第1電極、22…第2電極、22a…出射面、24…第3電極、24a…第1導電部、24b…第2導電部、
24c…枠部、25…開口部、30,30R,30G,30B…液晶ライトバルブ、32…対向基板、32a,32b…透明基板、32c…集光レンズ、34…ブラックマトリックス、35…開口部、36…液晶層、38…共通電極、40…TFT基板、40a…透明基板、40b…画素電極、40c…TFT、42…画素、44…間隙領域、50…クロスダイクロイックプリズム、60…投射レンズ、100,110,120…プロジェクター、124a…第1部分、124b…第2部分、130…プロジェクター、132…基板、134…接合層、140,200…プロジェクター、202…レンズ系、204…第1レンズ、206…第2レンズ
24c…枠部、25…開口部、30,30R,30G,30B…液晶ライトバルブ、32…対向基板、32a,32b…透明基板、32c…集光レンズ、34…ブラックマトリックス、35…開口部、36…液晶層、38…共通電極、40…TFT基板、40a…透明基板、40b…画素電極、40c…TFT、42…画素、44…間隙領域、50…クロスダイクロイックプリズム、60…投射レンズ、100,110,120…プロジェクター、124a…第1部分、124b…第2部分、130…プロジェクター、132…基板、134…接合層、140,200…プロジェクター、202…レンズ系、204…第1レンズ、206…第2レンズ
Claims (7)
- 発光装置と、
前記発光装置から出射された光を、画像情報に応じて変調させる光変調装置と、
を有し、
前記発光装置は、
第1半導体層と、
前記第1半導体層とは導電型の異なる第2半導体層と、
前記第1半導体層と前記第2半導体層との間に設けられ、電流が注入されることで光を発生させる発光層と、
前記第1半導体層に電気的に接続された第1電極と、
前記第2半導体層に電気的に接続された第2電極と、
前記第2電極に接続された第3電極と、
を有し、
前記第2電極は、前記発光層で発生された光を透過させ、
前記第3電極の抵抗率は、前記第2電極の抵抗率よりも低く、
前記第3電極は、第1方向に並ぶ複数の第1導電部を有し、
前記光変調装置は、
複数の画素と、
隣り合う前記画素の間の間隙領域と、
を有し、
複数の前記第1導電部の前記第1方向のピッチは、複数の前記間隙領域の前記第1方向のピッチの整数倍であり、
前記発光装置から出射された光によって生じる前記第1導電部の影は、前記間隙領域に投影される、プロジェクター。 - 請求項1において、
前記第3電極は、前記第1方向と交差する第2方向に並ぶ複数の第2導電部を有し、
複数の前記第2導電部の前記第2方向のピッチは、複数の前記間隙領域の前記第2方向のピッチの整数倍であり、
前記発光装置から出射された光によって生じる前記第2導電部の影は、前記間隙領域に投影される、プロジェクター。 - 発光装置と、
前記発光装置から出射された光を、画像情報に応じて変調させる光変調装置と、
前記発光装置から出射された光を、前記光変調装置に導くレンズ系と、
を有し、
前記発光装置は、
第1半導体層と、
前記第1半導体層とは導電型の異なる第2半導体層と、
前記第1半導体層と前記第2半導体層との間に設けられ、電流が注入されることで光を発生させる発光層と、
前記第1半導体層に電気的に接続された第1電極と、
前記第2半導体層に電気的に接続された第2電極と、
前記第2電極に接続された第3電極と、
を有し、
前記第2電極は、前記発光層で発生された光を透過させ、
前記第3電極の抵抗率は、前記第2電極の抵抗率よりも低く、
前記第3電極は、第1方向に並ぶ複数の第1導電部を有し、
前記光変調装置は、
複数の画素と、
隣り合う前記画素の間の間隙領域と、
を有し、
複数の前記第1導電部の前記第1方向のピッチは、複数の前記間隙領域の前記第1方向のピッチに前記レンズ系の倍率を掛けた値の整数倍であり、
前記発光装置から出射された光によって生じる前記第1導電部の影は、前記間隙領域に投影される、プロジェクター。 - 請求項1ないし3のいずれか1項において、
前記第3電極は、
複数の前記第1導電部の前記第1方向のピッチが、第1ピッチである第1部分と、
複数の前記第1導電部の前記第1方向のピッチが、前記第1ピッチよりも小さい第2ピッチである第2部分と、
を有し、
前記第1半導体層および前記発光層の積層方向から見た平面視において、前記第2部分と前記第2電極の中心との間の距離は、前記第1部分と前記第2電極の中心との間の距離よりも小さい、プロジェクター。 - 請求項1または2において、
複数の前記第1導電部の前記第1方向のピッチは、複数の前記間隙領域の前記第1方向のピッチと同じである、プロジェクター。 - 請求項5において、
隣り合う前記第1導電部の間の距離は、前記画素の前記第1方向の大きさよりも小さい、プロジェクター。 - 請求項5において、
前記光変調装置は、前記発光装置から出射された光を前記画素に導く集光レンズを有し、
隣り合う前記第1導電部の間の距離は、前記画素の前記第1方向の大きさよりも大きい、プロジェクター。
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