JP2019194469A - 真空装置 - Google Patents

Abstract

【課題】少ない取扱の手間のみによって、装置が別の装置と接続することを目的としてフランジが固定されることが可能である真空装置を提供する。【解決手段】真空装置１１１、特に真空ポンプ、真空測定装置、リーク探査装置、及び／又は真空チャンバー装置であって、接続部分２２５を有し、これに別の装置との接続を行うためのインレット、又はアウトレット２２７が形成されており、および接続部分とフランジ２３１の接続を行うための接続装置２２９を有し、その際、接続装置は、少なくとも一つの接続要素２３５と、接続要素の為に接続部分に配置された少なくとも二つの固定要素２３７，２３９を有し、及びその際、接続要素は、固定要素の一方に揺動可能に支承されており、および、フランジを接続部分において固定する固定位置への揺動によって、他方の固定要素と固定係合状態とされることが可能である。【選択図】図６

Description

本発明は、真空装置、特に真空ポンプ、真空装置構成、および真空装置及び／又は真空装置構成のための接続要素に関する。同様に本発明は、フランジ接続を作るための方法に関する。

真空適用分野においては、異なる装置の間に接続、特にガス接続が必要であることが有る。例えばこれは高真空ポンプと予真空ポンプの間に必要とされる。そのような接続は、通常、フランジ接続によって作られる。特にいわゆるＩＳＯスモールフランジ接続（ＩＳＯ−ＫＦ）によって作られる。

スモールフランジの接続の為に例えばクランプ（Ｓｐａｎｎｐｒａｔｚｅｎ）が使用される。これは締め付け要素である。これらは其々、当該装置に固定スクリューによって固定されており、締め付けによって各フランジを固定する。しかしフランジの固定の為、そのような複数のクランプが必要である。このことは取り扱いの手間が増大することと結びつく。これは、接続すべき各フランジの領域において狭いスペース状態の場合に、特にあてはまる。更に、クランプの使用によって、電気的伝導的な接続が、接続すべき装置の間、又は使用すべき各フランジの間に発生させられる。これによって、火花の発生、又は電気的短絡の危険性が高まる。

このような背景から、本発明は、少ない取扱の手間のみによって、装置が別の装置と接続することを目的としてフランジが固定されることが可能である真空装置を提供することを課題とするに至った。同様に、課題は、そのような真空装置の組み立て、又は作動安全性を改良することにある。更に課題は、真空装置構成、真空装置、及び／又は真空装置構成のための接続要素、およびフランジ接続を作るための方法を提供することにある。

真空装置に関しては、この課題は、請求項１に記載の特徴、または請求項９に記載の特徴によって解決される。真空装置構成は、請求項１２の対象である。発明に係る接続要素は、請求項１４に、そして発明に係る方法は請求項１５に記載される。有利な態様は、従属請求項に記載されており、そして以下に詳細に説明される。

発明に係る真空装置は、特に真空ポンプ、真空測定装置、若しくは真空分析装置、リーク探査装置、又は真空チャンバー装置であることが可能である。真空ポンプは、有利にはターボ分子ポンプとして形成されていることが可能である。そのようなターボ分子ポンプは、例えば高真空ポンプとして使用される。同様に真空ポンプは、予ポンプであることが可能であり、特にターボ分子ポンプをも有するポンプ装置のためのものであることが可能である。

発明に係る真空装置は、少なくとも一つの接続部分を有する。この接続部分には、更なる装置との接続をつくるためのインレット又はアウトレットが形成されている。そのような接続は、特にガス接続であることが可能であり、好ましくは真空密なガス接続であることが可能である。

更に、発明に係る真空装置は、接続部分とのフランジの接続のため、接続装置を設けられている。発明に従い設けられる接続装置は、その際、少なくとも一つの接続要素と、および、接続要素のための、接続部分に設けられる少なくとも二つの固定要素を有する。よって、個々の接続要素は、二つの固定要素を介して接続部分に固定されることが可能である。

発明に従い、接続要素が、固定要素の一方に揺動可能に支承され、フランジを接続部分に固定する固定位置への揺動によって、他方の固定要素と固定係合状態とされることが意図されている。相応して、接続要素が、揺動のみによって、既に接続部分に設けられる他方の固定要素と固定係合状態とされることが可能である。

固定位置とは、ここでは接続部分におけるフランジの少なくとも暫定的な保持であると解されるべきである。これは特にオペレーターが追加的に手で固定することなく行われる。そのような暫定的な保持は、最終的な固定を図るまでの手間を軽減する。同様に、固定位置は既に最終的な固定位置であることが可能である。

固定係合とは、ここでは、一方で接続部分におけるフランジの固定位置が維持されることが可能であり、つまりオペレーターの手による保持なくしてこれが維持されることが可能であることと解されるべきである。同時に、固定係合状態においては、有利には、接続部分における接続要素の最終的な固定が可能とされることが可能であり、特にガス密で、好ましくは真空密な接続をフランジと各接続部分の間に作る目的で可能である。発明に係る固定係合は、しかしまた、接続要素に対する、及び／又は接続部分に対する各固定要素の最終的な固定位置の場合も含む。

全体として、発明に係る真空装置によって、既に接続部分に配置された固定要素を後から接続要素と固定係合状態とする可能性が達成される。つまり、それは一握りのみで、つまり固定位置への接続要素の移動によって、各フランジが接続部分において固定される、特に暫定的に固定されることが可能である。

このようにして、フランジが接続部分において手で保持される必要があり、そしてフランジの接続部分における固定の為、手間のかかる固定要素の接続部分におけるねじ込み作業を行わなければならないということが回避されることが可能である。個々のコンポーネントの脱落の危険性と、その損傷の危険性は、これによって低減されることが可能である。結果、取り扱いの手間が削減されることが可能である。

真空装置の好ましい態様に従い、接続要素は脱落せぬよう接続部分に配置されている。その際、接続要素は例えば、固定要素の一方を介して脱落せぬよう接続部分に配置されていることが可能である。これは特に、揺動可能な支承部がその周りに設けられている固定要素を介して可能である。相応して、固定要素の一方は、接続部分における接続要素の脱落しない配置を行うことにしようされることが可能である。

接続部分における固定要素の脱落しない配置は、特に予め取り付けられた状態であることが可能である。これによって、取り扱いの手間が更に削減されることが可能である。特に、このようにして、接続部分における接続要素の手による保持が省かれる、又は固定の前の接続要素と接続部分の間の相対的位置決めが簡易化されることが可能である。

別の有利な態様に従い、接続要素が、脱落せぬよう配置された状態で、接続部分においてリリース位置と固定位置の間で揺動可能であり、特に揺動可能に案内されており、その際、リリース位置においてフランジが接続部分において位置決め可能であり、そして固定位置においてフランジが接続部分において固定されており、特に、暫定的に固定されている。リリース位置においては、よって、フランジは接続部分に当接して位置決めされることが可能である。位置決めは、接続要素を固定位置に移動させることによって、フランジの少なくとも暫定的な固定が行われるように行われる。接続部分における接続要素の揺動可能な配置によって、又は揺動可能な案内によって、固定位置を達成するまでの手作業による手間がさらに低減されることが可能である。誤位置決め、または誤組み立て位置の危険性は、更に低減される。接続要素がリリース位置と固定位置の間で移動することがあらかじめ意図されていることが可能だからである。

接続要素は、結果、一方の固定要素の周りでリリース位置と固定位置の間を揺動可能であることが可能である。接続部分における接続要素の固定の為いずれにせよ設けられる固定要素の一方が、よって、固定部分における脱落しない配置のためにも、または接続部分における接続要素の予め組付けられた位置の為にも使用されることが可能である。構造上のコスト・労力がこれによって更に低減されることが可能である。

接続要素が、固定要素のための少なくとも二つの収容部分を有し、その際、収容部分の少なくとも一方が、周囲中断部を有する開口部を有し、及び／又はその際、収容部分の一方が、閉じた周囲、又は基本的に閉じた周囲を有する開口部を有するとき更に有利であり得る。

周辺中断部を有する開口部は、既に接続部分に配置されている固定要素の導入を可能とする。固定要素は、よって側方から開口部内に挿入されることが可能であり、換言すると開口部の長手方向軸を横切る方向に、または開口部の長手方向の延びに対して横切る方向に挿入されることが可能である。周囲中断部はスリットであることが可能である。このスリットは、接続要素の狭い縁部まで延びている。そのようなスリットは、特に各固定要素の寸法に関して寸法決めされていることが可能である。周囲中断部を有する開口部を設けることによって、少ない取扱上の手間のみで接続要素と固定要素の間に固定係合状態が図られることが可能である。

これに反して、収容部分が、閉じた周囲、または基本的に閉じた周囲を有する開口部を有することは、接続要素が、例えば固定要素を介して脱落せぬよう、及び／又は揺動可能であるよう接続部分に配置されていることが可能であるということを保証する。閉じた周囲によって、又は基本的に閉じた周囲によって、固定要素が側方から、又は開口部の長手方向の延びに対し横切る方向で脱落してしまうことがないということが保証されることが可能である。基本的に閉じた周囲とは、場合によっては存在する周囲中断部が、意図した固定手段の取り外しに適していない、又は取り外しが防止されることであると解されるべきである。

更に、接続要素がフランジを少なくとも部分的に取り囲むよう形成されており、これによって高い固定安全性、又は固着安全性が達成されることが可能であるとき有利であり得る。その際、接続要素は、固定位置においてフランジを少なくとも部分的に取り囲み、特に９０度より広く、好ましくは１２０度より広く、さらに好ましくは１５０度よりも広く、特に約１８０度取り囲む。接続部分におけるフランジの形状結合的な固定、又は最終的な固定は、これによって簡単かつ高い安全性で行われることが可能である。

更に好ましくは、接続要素は、及び／又はＣ字形状に形成されていることが可能である。その際、アーチ形状、及び／又はＣ字形状の態様は、少なくとも部分的に一定の半径で形成されていることが可能である。アーチ形状、又はＣ字形状は、接続されるべき、及び／又は固定されるべき各フランジの、特に周囲寸法に、又は周囲形状に合わされていることが可能である。これによって固定安全性が更に高められることが可能である。

更に、固定要素のための複数の収容部分が接続要素の端部に形成されていることが可能である。このことは特に有利な力の伝達を、接続要素、各フランジおよび接続部分の間で可能とする。その際、収容部分の開口部の周囲中断部は、接続要素の自由な端部に形成されていることが可能である。接続要素の各自由な端部は、相応して、固定要素のためのジョーのような収容部として形成されていることが可能である。このようにして、接続要素は、少ない手作業の労力（コスト）で固定位置へと揺動させられることが可能であり、ここで収容部分の各開口部内への周囲中断部を通しての固定要素の簡単な挿入が行われることでできる。取扱容易性がこれによって更に改善される。

別の有利な態様に従い、接続要素は対称的に形成されていることが可能である。これは特に、対称面に関して対称的に形成されていることが可能である。この対称面は、固定要素がこれに沿って固定位置に移動可能であり、及び／又は接続部分が移動可能に案内されている、及び／又は揺動可能に配置されている移動面と一致する。同様に対称面は、移動面に平行に延びていることが可能である。同様に、接続要素は、移動面に対して垂直に延びている対称面に関して非対称に形成されていることも可能である。これは特に、接続要素の向かい合った端部で異なって形成された収容部分に関してそうである。

接続要素は、一般的に、異なる向きで固定可能であるよう、特に接続部分に置いて固定可能であるよう、対称的に形成されていることも可能である。スペース状態に応じて、又はアクセス性に応じて、接続要素は、固定位置の達成のため、時計周りに、又は反時計回りに揺動するよう配置されていることが可能である。接続要素の使用柔軟性は、このようにして全体的に改善される。

別の態様に従い、固定要素は、スクリューとして形成されており、そして接続部分のねじ穴内にねじ込まれていることが可能である。これは、安価に実施することができ、そして高い程度の機能安全性と保障する。更に、フランジは、接続要素の固定位置におけるスクリューの締め付けによって、最終的に接続部分と接続可能であることが、特にフランジと接続部分の間の真空密な接続を確立するために可能である。各フランジが固定位置においてすでに接続部分に固定されているので、特に一次的・暫定的に固定されているので、スクリューの締め付けは、各フランジを手で保持することなく実施されることが可能である。これによって組み立て容易性が改善され、ひいては組み立てコスト・労力が低減されることが可能である。

本発明の別の独立した観点は、真空装置であって、少なくとも一つの接続部分を有し、これに別の装置との接続、特にガス接続を行うためのインレット、又はアウトレットが形成されており、および接続部分とフランジの接続を行うための接続装置を有し、その際、接続装置は、少なくとも一つの接続要素と、接続要素の為に接続部分に配置された少なくとも一つの固定要素を有し、及びその際、接続要素は、少なくとも部分的に電気的に絶縁された材料から製造されている。

接続要素に対して電気的に絶縁された材料を使用することによって、接続すべき各装置の間の短絡の危険性、又は組み立て過程の間のスパークの発生の危険性が低減されることが可能である。これは特に、真空装置の接続部分と、各別の装置の間で電位が異なる場合にそうである。組み立てと、作動安全性もがこのようにして改善される。例えば、これによって異なる電位を有する高真空ポンプ、およびこれと接続すべき真空チャンバーが、互いに対して絶縁されることが可能であり、これによって安全性が全体として改善されることが可能である。

更に、電気的に絶縁を行う接続要素に使用することは、接続部分と接続すべき各装置の間での阻害信号の伝達が回避されることが可能であるということを可能とする。阻害信号は、例えば真空ポンプ又は他の真空装置の制御エレクトロニクスから出力可能である。真空装置、又は接続すべき各装置の機能安全性は、これによって改善されることが可能である。

好ましくは、接続要素に電気的に絶縁性の材料を使用する際にも、少なくとも二つの固定要素が、接続要素を接続部分に固定するために設けられていることが可能である。このことは、取り扱いの手間を減らすことも可能であるし、同時に高い程度の固定安全性を提供する。

有利な態様に従い、接続要素は、少なくとも部分的にプラスチック（樹脂）から、及び／又は複合材料から製造されていることが可能である。そのような複合材料は、特に繊維複合材料であり、好ましくは炭素繊維、及び／又はガラス繊維を有するものであることが可能である。プラスチック（樹脂）、又は複合材料は、製造が安価であり、そして確実な電気的絶縁を補償することができる。同様に、プラスチック（樹脂）、又は複合材料の選択によって、十分な機械的安定性が保証されることが可能である。

好ましくは、接続要素は、少なくとも部分的に、ポリアリルアミド（独語：Ｐｏｌｙａｒｙｌａｍｉｄ）から製造されており、特にガラス繊維強化されたポリアリルアミドから製造されており、好ましくは４０％から７０％、特に５０％から６０％のガラス繊維比率を有している。特に好ましくは、接続要素は約５０％のガラス繊維比率を有するポリアリルアミドから成っている。特に、材料はＩｘｅｆ（登録商標）１５２１であることが可能である。

別の有利な態様に従い、接続要素は、少なくとも部分的にポリフェニレンサルファイド（独語：Ｐｏｌｙｐｈｅｎｙｌｅｎｓｕｌｆｉｄ）、特にガラス繊維強化されたポリフェニレンサルファイド、好ましくは、２０％から４０％、特に２５％から３５％、特に約３０％のガラス繊維を有するガラス繊維強化されたポリフェニレンサルファイドから製造されていることが可能である。ここで特に、Ｔｉｃｏｎａ社によるＦｏｒｔｏｎ（登録商標）１１３０Ｌ４の名称を有する材料であることが可能である。

真空装置の有利な態様に従い、接続装置、及び／又は接続のための接続部分は、小型フランジ、特に公称幅（独語：Ｎｅｎｎｗｅｉｔｅ）１０，１６，２０，２５，３２，４０または５０のＩＳＯ小型フランジによって形成されている。そのような小型フランジ接続は、特に真空分野の場合のガス接続の確立に適している。

本発明の別の観点は、真空装置構成、特に真空ポンプ構成であって、上述した真空装置、およびフランジを有し、このフランジは、接続装置によって接続部分と接続されている。好ましくは、真空装置構成は、別の真空装置も有する。この装置は、フランジを介して、接続部分のインレット、又はアウトレットと接続、特にガス接続している。そのような真空装置は、少ない取り扱いの手間によって、および高い程度の安全性で提供されることが可能である。特に、各フランジは、簡単かつ確実に接続部分において固定位置で固定されることが可能である。場合によっては必要となる別の固定ステップのため、例えば、固定スクリューの締め付けの為に、フランジを更に手で取り扱うことは必要ない。むしろ、このようにして固定されたフランジは、手で保持することなく確定的に固定されることが可能である。

有利な態様に従い、フランジは、センタリングリングを介してアウトレット開口部に対してセンタリングされている。その際、センタリングリングは、アウトレット内、及び／又はフランジ内に介入し、特に形状結合的に介入する。フランジとアウトレットの間の相対的なセンタリングは、このようにして簡易化される。センタリングリングは、金属材料から、または好ましくは電気的に絶縁性の材料から製造されていることが可能である。このため特に、プラスチック（例えばポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）のようなもの）が使用される。フランジは、このようにして高められた安全性でもって、接続部分に対して電気的に絶縁されることが可能である。

更に好ましくは、フランジと接続部分の間にシールが設けられていることこが可能である。そのようなシールは、例えばシールＯリングであることが可能である。真空密な接続を作るのがこのようにして簡単となる。

そのようなシールは、好ましくはセンタリングリングに配置されていることが可能である。特にこれは、押さえつけられていることが可能である。この為、各センタリングリングには、周回するくぼみ、特に略半円形状の断面を有するくぼみが形成されていることが可能である。シールは、このようにして確実にセンタリングリング内で保持されることができるので、真空装置構成の組み立てが全体として簡易化されることが可能である。

本発明の別の観点は、接続要素に関する。この接続要素は特に、上述した真空装置、及び／又は真空装置構成のためのものであり、真空装置の接続部分における固定のための固定要素のための少なくとも二つの収容部分を有する。その際、収容部分の少なくとも一方は、周囲中断部を有する開口部を有している。この周囲中断部を介して固定要素が、固定介入を図るため切り欠き内へと挿入可能であり、そしてその際、他方の収容部分は、閉じた周囲を有する、又は基本的に閉じた周囲を有する開口部を有している。

相応して、フランジを真空装置の固定部分に固定する固定位置への移動によって、接続要素は、既に固定部分に配置されている固定要素と固定介入状態（固定係合状態）とされることが可能である。特に、切り欠きの周囲中断部は、接続部分に既に配置されている固定要素の周りにおける接続要素の係合を可能とする。固定要素は、例えば、接続部分内にねじ込まれている固定スクリューの形式のものである。閉じた周囲、又は基本的に閉じた周囲を有する収容部分を介して、これと反対に、接続部分における接続要素の欠損しない配置が行われることが可能となる。この配置において、接続要素は、特に揺動可能に支承されている。

本発明の別の独立した観点は、フランジ接続を作る方法に関する。フランジ接続は、特に真空装置と、別の装置の間のものである。当該別の方法においては、真空装置の接続部分に、二つの固定要素が設けられる。ここでは、接続要素が、固定要素の一つによって接続部分に揺動可能に支承され、そして接続要素は、接続部分にフランジを固定する固定位置への揺動によって、他の固定要素と固定介入（固定係合）状態とされる。そのような方法は、少ない取り扱いの手間によって、および高い程度の安全性で実現されることが可能である。

上述した説明は、真空装置に対して、および真空装置構成に対して同様に該当し、接続要素に対しても、フランジ接続を作るための本発明に係る方法に対しても該当する。

以下に本発明を、有利な実施形に基づき添付の図面を参照しつつ説明する。図は以下を簡略的に示している。

ターボ分子ポンプの斜視図 図１のターボ分子ポンプの下側の図 図２に示された線Ａ−Ａに沿うターボ分子ポンプの断面図 図２に示された線Ｂ−Ｂに沿うターボ分子ポンプの断面図 図２に示された線Ｃ−Ｃに沿うターボ分子ポンプの断面図 第一の実施例に従う真空装置の斜視分解図 図６の真空ポンプの斜視図、組み合わされた状態の図 図７の真空ポンプの斜視図、固定位置における図 別の実施例に従う真空装置の斜視分解図 図９の真空ポンプの斜視図、組み合わされた状態の図 図１０の真空ポンプの斜視図、固定位置に到達する前の図 図１１の真空ポンプの斜視図、固定位置における図

図１に示されたターボ分子ポンプ１１１は、インレットフランジ１１３に取り囲まれたポンプインレット１１５を有する。このポンプインレットには、公知の方法で、図示されていない真空容器が接続されることが可能である。真空容器からのガスは、ポンプインレット１１５を介して真空容器から吸引され、そしてポンプを通してポンプアウトレット１１７へと搬送されることが可能である。ポンプアウトレットには、予真空ポンプ（例えばロータリーベーンポンプ）が接続されていることが可能である。

インレットフランジ１１３は、図１の真空ポンプの向きにおいては、真空ポンプ１１１のハウジング１１９の上端部を形成する。ハウジング１１９は、下部分１２１を有する。これには、側方にエレクトロニクスハウジング１２３が設けられている。エレクトロニクスハウジング１２３内には、真空ポンプ１１１の電気的、及び／又は電子的コンポーネントが収容されている。これらは例えば、真空ポンプ内に配置される電動モーター１２５を作動させるためのものである。エレクトロニクスハウジング１２３には、アクセサリーのための複数の接続部１２７が設けられている。更に、データインターフェース１２９（例えばＲＳ４８５スタンダードに従うもの）と、電源供給接続部１３１がエレクトロニクスハウジング１２３には設けられている。

ターボ分子ポンプ１１１のハウジング１１９には、フローインレット１３３が、特にフローバルブの形式で設けられている。これを介して真空ポンプ１１１は溢出を受けることが可能である。下部分１２１の領域には、更にシールガス接続部１３５（洗浄ガス接続部とも称される）が設けられている。これを介して、洗浄ガスが、電動モーター１５をポンプによって搬送されるガスに対して保護するため、モーター室１３７内に取り込まれることが可能である。モーター室内には、真空ポンプ１１１の電動モーター１２５が収容されることが可能である。下部分１２１内には、更に二つの冷却媒体接続部１３９が設けられている。その際、一方の冷却媒体接続部は冷却媒体のインレットとして、そして他方の冷却媒体接続部はアウトレットとして設けられている。冷却媒体は、冷却目的で真空ポンプ内に導かれることが可能である。

真空ポンプの下側面は、起立面として使用されることが可能であるので、真空ポンプ１１１は下側面１４１上に起立して作動させられることが可能である。しかしまた、真空ポンプ１１１は、インレットフランジ１１３を介して真空容器に固定されることも可能であり、これによっていわば懸架して作動させられることが可能である。更に真空ポンプ１１１は、図１に示されたものと異なった向きとされているときにも作動させられることが可能であるよう構成されていることが可能である。下側面１４１が下に向かってではなく、当該面に向けられて、又は上に向けられて配置されている真空ポンプの実施形も実現されることが可能である。

図２に表わされている下側面１４１には、更に、種々のスクリュー１４３が設けられている。これらによって、ここでは詳細に特定されない真空ポンプの部材が互いに固定されている。例えば、支承部カバー１４５が下側面１４５に固定されている。

下側面１４１には、更に、固定穴１４７が設けられている。これを介してポンプ１１１は例えば載置面に固定されることが可能である。

図２から５には、冷却媒体配管１４８が表わされている。この中に、冷却媒体接続部１３９を介して導入、又は導出される冷却媒体が循環していることが可能である。

図３から５の断面図に示されているように、真空ポンプは、複数のプロセスガスポンプ段を有している。これは、ポンプインレット１１５に及ぶプロセスガスをポンプアウトレット１１７に搬送するためのものである。

ハウジング１１９内には、ローター１４９が配置されている。このローターは、回転軸１５１を中心として回転可能なローター軸１５３を有している。

ターボ分子ポンプ１１１は、ポンプ効果を奏するよう互いにシリアルに接続された複数のポンプ段を有している。これらポンプ段は、ローター軸１５３に固定された複数の半径方向のローターディスク１５５と、ローターディスク１５５の間に配置され、そしてハウジング１１９内に固定されているステーターディスク１５７を有している。その際、一つのローターディスク１５５とこれに隣接する一つのステーターディスク１５７がそれぞれ一つのターボ分子ポンプ段を形成している。ステーターディスク１５７は、スペーサーリング１５９によって互いに所望の軸方向間隔に保持されている。

真空ポンプは、更に、半径方向において互いに入れ子式に配置され、そしてポンプ作用を奏するよう互いにシリアルに接続されたホルベックポンプ段を有する。ホルベックポンプ段のローター側は、ローターシャフト１５３に設けられるローターハブ１６１と、ローターハブ１６１に固定され、そしてこれによって担持されるシリンダー側面形状の二つのホルベックロータースリーブ１６３，１６５を有している。これらは、回転軸１５１と同軸に向けられており、そして半径方向において互いに入れ子式に接続されている。更に、シリンダー側面形状の二つのホルベックステータースリーブ１６７，１６９が設けられている。これらは同様に、回転軸１５１に対して同軸に向けられており、そして半径方向で見て互いに入れ子式に接続されている。

ポンプ効果を発揮するホルベックポンプ段の表面は、側面によって、つまり、ホルベックロータースリーブ１６３，１６５とホルベックステータースリーブ１６７，１６９の内側面、及び／又は外側面によって形成されている。外側のホルベックステータースリーブ１６７の半径方向内側面は、半径方向のホルベック間隙１７１を形成しつつ、外側のホルベックロータースリーブ１６３の半径方向外側面と向かい合っており、そしてこれと、ターボ分子ポンプに後続する第一のホルベックポンプ段を形成する。外側のホルベックロータースリーブ１６３の半径方向内側面は、半径方向のホルベック間隙１７３を形成しつつ、内側のホルベックステータースリーブ１６９の半径方向外側面と向かい合っており、そしてこれと、第二のホルベックポンプ段を形成する。内側のホルベックステータースリーブ１６９の半径方向内側面は、半径方向のホルベック間隙１７５を形成しつつ、内側のホルベックロータースリーブ１６５の半径方向外側面と向かい合っており、そしてこれと、第三のホルベックポンプ段を形成する。

ホルベックロータースリーブ１６３の下側端部には、半径方向に延びるチャネルが設けられれていることが可能である。これを介して、半径方向外側に位置するホルベック間隙１７１が、中央のホルベック間隙１７３と接続されている。更に、ホルベックステータースリーブ１６９の上側端部には、半径方向に延びるチャネルが設けられれていることが可能である。これを介して、中央のホルベック間隙１７３が、半径方向内側に位置するホルベック間隙１７５と接続されている。これによって、入れ子式に接続される複数のホルベックポンプ段が互いにシリアルに接続される。半径方向内側に位置するホルベックロータースリーブ１６５の下側の端部には、更に、アウトレット１１７への接続チャネル１７９が設けられていることが可能である。

ホルベックステータースリーブ１６３、１６５の上述したポンプ効果を発揮する表面は、それぞれ、螺旋形状に回転軸１５１の周りを周回しつつ軸方向に延びる複数のホルベック溝を有する。他方で、ホルベックロータースリーブ１６３、１６５のこれに向かい合った側面は、滑らかに形成されており、そして真空ポンプ１１１の作動のためのガスをホルベック溝内へと駆り立てる。

ローター軸１５３の回転可能な支承のため、ポンプインレット１１７の領域にローラー支承部１８１、およびポンプアウトレット１１５の領域に永久磁石支承部１８３が設けられている。

ローラー支承部１８１の領域には、ローター軸１５３に円錐形のスプラッシュナット１８５が設けられている。これは、ローラー支承部１８１の方に向かって増加する外直径を有している。スプラッシュナット１８５は、作動媒体貯蔵部の少なくとも一つのスキマー（独語：Ａｂｓｔｒｅｉｆｅｒ）と滑り接触状態にある。作動媒体貯蔵部は、互いに積層された吸収性の複数のディスク１８７を有する。これらディスクは、ローラー支承部１８１のための作動媒体、例えば潤滑剤を染み込ませてある。

真空ポンプ１１１の作動中、作動媒体は、毛細管効果によって作動媒体貯蔵部からスキマーを介して回転するスプラッシュナット１８５へと伝達され、そして、遠心力によってスプラッシュナット１８５に沿って、スプラッシュナット９２の大きくなる外直径の方向へと、ローラー支承部１８１に向かって搬送される。そこでは例えば、潤滑機能が発揮される。ローラー支承部１８１と作動媒体貯蔵部は、真空ポンプ内において槽形状のインサート１８９と、支承部カバー１４５に囲まれている。

永久磁石支承部１８３は、ローター側の支承半部１９１と、ステーター側の支承半部１９３を有している。これらは、各一つのリング積層部を有している。リング積層部は、軸方向に互いに積層された永久磁石の複数のリング１９５、１９７から成っている。リングマグネット１９５，１９７は、半径方向の支承部間隙１９９を形成しつつ互いに向き合っており、その際、ローター側のリングマグネット１９５は、半径方向外側に、そしてステーター側のリングマグネット１９７は半径方向内側に設けられている。支承部間隙１９９内に存在する地場は、リングマグネット１９５，１９７の間の磁気的反発力を引き起こす。これは、ローター軸１５３の半径方向の支承を実現する。ローター側のリングマグネット１９５は、ローター軸１５３のキャリア部分２０１によって担持されている。これは、リングマグネット１９５を半径方向外側で取り囲んでいる。ステーター側のリングマグネット１９７は、ステーター側のキャリア部分２０３によって担持されている。これは、リングマグネット１９７を通って延びており、そしてハウジング１１９の支材２０５に吊架されている。回転軸１５１に平行に、ローター側のリングマグネット１９５が、キャリア部分２０３と連結されるカバー要素２０７によって固定されている。ステーター側のリングマグネット１９７は、回転軸１５１に平行に一つの方向で、キャリア部分２０３と接続される固定リング２０９によって、およびキャリア部分２０３と接続される固定リング２１１によって固定されている。その上、固定リング２１１とリングマグネット１９７の間には、さらばね２１３が設けられていることが可能である。

磁石支承部の内部には、緊急用または安全用支承部２１５が設けられている。これは、真空ポンプの通常の作動時には、非接触で空転し、そしてローター１４９がステーターに対して半径方向において過剰に偏移した際に初めて作用するに至る。ローター１４９のための半径方向のストッパーを形成するためである。ローター側の構造がステーター側の構造と衝突するのが防止されるからである。安全用支承部２１５は、潤滑されないローラー支承部として形成されており、そして、ローター１４９及び／又はステーターと半径方向の間隙を形成する。この間隙は、安全用支承部２１５が通常のポンプ作動中は作用しないことに供する。安全用支承部が作用するに至る半径方向の間隙は、十分大きく寸法取られているので、安全用支承部２１５は、真空ポンプの通常の作動中は作用せず、そして同時に十分小さいので、ローター側の構造がステーター側の構造と衝突するのがあらゆる状況で防止される。

真空ポンプ１１１は、ローター１４９を回転駆動するための電動モーター１２５を有している。電動モーター１２５のアンカーは、ローター１４９によって形成されている。そのローター軸１５３はモーターステーター２１７を通って延びている。ローター軸１５３の、モーターステーター２１７を通って延びる部分には、半径方向外側に、または埋め込まれて、永久磁石装置が設けられていることが可能である。ローター１４９の、モーターステーター２１７を通って延びる部分と、モーターステーター２１７との間には、中間空間２１９が設けられている。これは、半径方向のモーター間隙を有する。これを介して、モーターステーター２１７と永久磁石装置は、駆動トルク伝達のため、磁気的に影響することが可能である。

モーターステーター２１７は、ハウジング内において、電動モーター１２５のために設けられるモーター室１３７の内部に固定されている。シールガス接続部１３５を介して、シールガス（洗浄ガスとも称され、これは例えば空気や窒素であることが可能である）が、モーター室１３７内へと至る。シールガスを介して電動モーター１２５は、プロセスガス、例えばプロセスガスの腐食性の部分に対して保護されることが可能である。モーター室１３７は、ポンプアウトレット１１７を介しても真空引きされることが可能である、つまりモーター室１３７は、少なくとも近似的に、ポンプアウトレット１１７に接続される読真空ポンプによって実現される予真空状態となっている。

モーター室１３７を画成する壁部２２１とローターハブ１６１の間には、更に、いわゆる公知のラビリンスシール２２３が設けられていることが可能である。特に、半径方向外側に位置するホルベックポンプ段に対してモーター室２１７をより良好にシールすることを達成するためである。

図１から５のターボ分子ポンプは、発明に係る真空装置、又は発明に係る電気的な装置構成の一部を形成する。図６から１２は、これらがそこに明示的に示されていなくとも、または全く示されていなくとも、図１から５のターボ分子ポンプにおいても意図されることも可能である詳細を示す。

図６から８は、本発明の第一の実施例に従う真空装置を示す。図６から８の真空装置は、上述したように、特にターボ分子ポンプ１１１であることが可能である。図６から８において示されるターボ分子ポンプ１１１は、少なくとも一つの接続部分２２５を有する。これには、ここでは図示されない別の装置とのガス接続を確立するための接続部２２７が形成されている。接続部２２７の代わりに、インレットも設けられていることが可能であり、又はアウトレット２２７がインレットとして使用されることも可能である。更に、ターボ分子ポンプ１１１は、接続装置２２８を有する。これは、フランジ２３１を接続部分２２５と接続するためのものである。フランジ２３１は、その際、特に、関係上の部材２３３に形成されていることが可能である。

接続部分２２９は、少なくとも一つの接続要素２３５を有し、そして接続要素２３５を接続部分２２５に固定するための、接続部分２２５に設けられた少なくとも二つの固定要素２３７および２３９を有する。特にこれは、第一の固定要素２３７および第二の固定要素２３９である。固定要素２３７および２３９は、其々固定スクリューとして形成されており、そしてここでは示されていない接続部分２２５のねじ穴内にねじ込まれている。

フランジ２３１と接続部分２２５の間には、更にシールリング２４１が設けられている。シール装置２４１は、その際、エラストマーから製造されていることが可能である。真空に耐えうるシールを保証するためである。接続部分２２５には更にシール座２４３が形成されていることが可能である。これによって特に、シールリング２４１の目標位置があらかじめ与えられる。シール座２４３は、特に周回する部分に対して凹んで形成されていることが可能である。

更に、フランジ２３１と周回する部分２２５の間には、センタリングリング２４５が設けられていることが可能である。このセンタリングリングは、フランジ２３１内、又はアウトレット２２７内に形状結合的に介入しており、よってフランジ２３１とアウトレット２２７の間の相対的なセンタリングを保証する。シールリング２４１は、その際特に、センタリングリング２４５上に張られていることが可能である。その際、センタリングリング２４５は、このため、周回するくぼみを有し得る。このくぼみはここでは詳説されない。

図７は図６の真空装置１１１が組み立てられた状態を示す。その際、フランジ２３１は接続部分２２５に当接する位置にある。接続要素２３５は、リリース位置（リリース状態）にある。この位置（状態）においてフランジ２３１は接続部分２２５において位置決め可能であり、特に接続部分２２５に当接して位置決め可能である。相応して、図７に示される接続要素のリリース位置において、フランジ２３１は、その後の接続部分２２５における固定位置又は最終的な固定を行うのに適している位置（接続部分２２５における位置）にもたらされることが可能である。

接続要素２３５の図７に示されている位置から出発して、フランジを接続部分２２５に固定する固定位置への揺動・旋回によって、固定要素２３９は固定係合状態とされることが可能である。そのような固定位置は図８に示されている。

図６から８の実施例においては、固定要素２３５は、既に記載したように、リリース位置と固定位置の間で揺動させられることが可能である。この為、接続要素２３５は固定要素２３７を介して脱落せぬよう接続部分２２５に配置されている、又は固定されている。この固定要素２３７の周りには、接続要素２３５が揺動可能に支承されている。接続要素２３５の揺動性が保証されているように、スクリューとして形成された固定要素２３７はゆるく締め付けることのみが可能である。

接続要素２３５の態様に基づいて、これは、既に接続部分２２５に設けられる固定要素２３９のもと、これと揺動によって固定位置まで固定係合状態へともたらされることが可能である。この為、接続要素２３５には、収容部分２４７が形成されていることが可能である。この係合要素は、周囲中断部２５１を有する開口部２４９を有する。よって、開口部２４９は、口のように開口する膨らみであることが可能であり、それは特に、接続要素２３５の狭い縁部の方へと開口している。開口部２４９は、結果、既に接続部分２２５に設けられ、特に接続部分２２５内へとねじ込まれている固定要素２３９によって、固定係合状態へともたらされることが可能である。固定要素２３９は、このため、図８に見て取ることができるように、周囲中断部２５１を介して開口部２４９へと至る。

接続要素２３５は、更に、収容部分２５３を有する。この収容部分は、ここでは示されていない開口部を有する。この開口部は、閉じられた、又は基本的に閉じられた周囲を有している。このようにして、固定要素２３７による接続要素２３５の接続部分２２５における簡易化された配置が保証されることが可能である。特に、固定要素２３７が、接続部分２２５内にねじ込まれ、そして収容部分２５３の開口部を通って貫通した位置で側方でこれから外へと案内されることが可能であるということが防止される。

図６から８には更に、接続要素２３５がアーチ形状に、又はＣ字形状に形成されていることが見て取れる。これによってフランジ２３１は、特に約１８０度にわたって、取り囲まれることが可能である。更に、接続要素２３５の内周には、カラー状の突起部２５５が形成されていることが可能である。この突起部は、図８にしめされている固定位置においてフランジ２３１と背後で形状結合的に係合する。カラー状の突起部２５５は、更に、図６から８に見て取ることができない接続要素２３５の支持面と間隔をあけていることが可能である。支持面は、特に接続部分２２５の方に向けられており、これに当接している。そのように、カラー状の突起部２５５と、接続部分２２５における支持のための支持面の間が間隔をあけていることによって、フランジに付勢される力は、スクリューとして形成される固定要素２３７および２３９を締めることによって適切に定義されることが可能である。

図８に示される固定位置においては、スクリューとして形成される固定要素２３７および２３９を締めることによって、真空密なフランジ接続が作られることが可能である。同様に、固定要素２３７および２３９の適当な予調整によって、又は、カラー状の突起部２５５の適当な造形によって、固定位置が既に達成されることによって、接続要素２３５又はフランジ２３１の最終的な固定位置（固定状態）が達成される。

図６から８の実施形において、接続要素２３５の揺動が、固定位置まで反時計回りに行われる。図９から１２には、一つの実施形が見て取ることができる。この実施形に従い、接続要素２３５の揺動が、固定位置まで時計周りに行われる。その際、固定要素２３５は、図６から８のそれと全く同じに形成されていることが可能である。全く同じ接続要素２３５は、結果、複数の装置に使用されることが可能である。これら装置において、揺動が、固定位置まで時計周りに、又は半時計周りに行われる。このため、固定要素２３５は対称的に形成されていることが可能であり、特に、ある対称面に対して対称に形成されていることが可能である。この対称面は、接続部分２２５に対して平行に、又は移動方向、若しくは揺動方向に沿って延びている。

結果、図９から１２には、図６から８の実施形においては、接続部分２２５と当接する接続要素２３５の支持面２５７が見て取ることができる。結果、図６から８には、図９から１２の実施形においては、接続部分２２５と当接する接続要素２３５の支持面２５９が見て取ることができる。

更に、図９から１２には、接続要素２３５が固定要素２３９を介して脱落せぬよう接続部分２２５に固定されているのが見ることができる。図１２に示されている固定位置への移動によって、接続要素２３５は、固定要素２３７と固定係合させられることが可能である。その際、固定要素は、同様に接続部分２２５に配置されており、特に接続部分２２５にねじ込まれている。

上述したように、この場合、揺動は固定位置へと時計周りに行われる。図１０は、その際、接続部分２２５に配置されるフランジ２３１と接続要素２３５がリリース一において組み合わされた状態を示す。

図１１は、接続要素２３５が部分的に揺動した位置を示す。ここでは固定位置はいまだ完全には達成されていない。図１２においては、接続要素２３５が完全に固定位置に揺動しており、よって固定要素２３７との固定係合が行われたことが見て取ることができる。図１２においては、結果、スクリューとして形成された固定要素２３７および２３９のねじ止めによって、フランジ２３１と接続部分２２５の間に真空密な接続が作られることが可能である。

図６から１２に規範的に示された装置とコンポーネント並びに、明細書冒頭部に一般的に記載したコンセプトは、同様に図１から５に従う実施形においても、そこに詳細には表わされ、又は説明されておらず、又は異なって表わされ、または説明されてたとしても、意図され得る。これは接続部分２２５、その中に形成されるアウトレット２２７、接続要素２２９、および他の全ての重要なコンポーネントに対してもあてはまる。特に、アウトレット２２７は事１から５に示されるポンプアウトレット１１７であることが可能である。ポンプアウトレット１１７は、アウトレット２２７と対応して、発明に係る接続部分２２５に設けられることが可能である。このことは、図１から５に表わされていない、又は異なって表わされている。同様に、図１から５に表わされており、そして相応して説明されているターボ分子ポンプ１１１の全体的、又は個々の詳細もまた、図６から図１１に示されている実施形においても意図され得る。

１１１ ターボ分子ポンプ
１１３ インレットフランジ
１１５ ポンプインレット
１１７ ポンプアウトレット
１１９ ハウジング
１２１ 下部分
１２３ エレクトロニクスハウジング
１２５ 電動モーター
１２７ アクセサリー接続部
１２９ データインターフェース
１３１ 電源供給接続部
１３３ フローインレット
１３５ シールガス接続部
１３７ モーター室
１３９ 冷却媒体接続部
１４１ 下側面
１４３ ねじ
１４５ 支承部カバー
１４７ 固定穴
１４８ 冷却媒体配管
１４９ ローター
１５１ ローター軸
１５３ ローターシャフト
１５５ ローターディスク
１５７ ステーターディスク
１５９ スペーサーリング
１６１ ローターハブ
１６３ ホルベックロータースリーブ
１６５ ホルベックロータースリーブ
１６７ ホルベックステータースリーブ
１６９ ホルベックステータースリーブ
１７１ ホルベック間隙
１７３ ホルベック間隙
１７５ ホルベック間隙
１７９ 接続チャネル
１８１ ローラー支承部
１８３ 永久磁石支承部
１８５ スプラッシュナット
１８７ ディスク
１８９ インサート
１９１ ローター側の支承半部
１９３ ステーター側の支承半部
１９５ リングマグネット
１９７ リングマグネット
１９９ 支承部間隙
２０１ 担持部分
２０３ 担持部分
２０５ 半径方向の支柱
２０７ カバー要素
２０９ 支持リング
２１１ 固定リング
２１３ さらばね
２１５ 緊急用または安全用支承部
２１７ モーターステーター
２１９ 中間空間
２２１ 壁部
２２３ ラビリンスシール
２２５ 接続部分
２２７ アウトレット
２２９ 接続装置
２３１ フランジ
２３３ 管要素
２３５ 接続要素
２３７ 固定要素
２３９ 固定要素
２４１ シール
２４３ シール座
２４５ センタリングリング
２４７ 収容部分
２４９ 切り欠き部
２５１ 周囲中断部
２５３ 収容部分
２５５ 突起部
２５７ 支持面
２５９ 支持面

Claims (15)

1. 真空装置（１１１）、特に真空ポンプ、真空測定装置、リーク探査装置、及び／又は真空チャンバー装置であって、接続部分（２２５）を有し、これに別の装置との接続を行うためのインレット、又はアウトレット（２２７）が形成されており、および接続部分（２２５）とフランジ（２３１）の接続を行うための接続装置（２２９）を有し、その際、接続装置（２２９）は、少なくとも一つの接続要素（２３５）と、接続要素（２３５）の為に接続部分（２２５）に配置された少なくとも二つの固定要素（２３７，２３９）を有し、及びその際、接続要素（２３５）は、固定要素（２３７，２３９）の一方に揺動可能に支承されており、および、フランジ（２３１）を接続部分（２２５）において固定する固定位置への揺動によって、他方の固定要素（２３７，２３９）と固定係合状態とされることが可能であることを特徴とする真空装置（１１１）。
2. 接続要素（２３５）が、特に固定要素（２３７，２３）の一方によって、脱落せぬよう接続部分（２２５）に配置されており、及び／又は予組み立て位置に配置されていることをお特徴とする請求項１に記載の真空装置（１１１）。
3. 接続要素（２３５）が、脱落せぬよう配置された状態で、接続部分（２２５）においてリリース位置と固定位置の間で揺動可能であり、特に揺動可能に案内されており、その際、リリース位置においてフランジ（２３１）が接続部分（２２５）に位置決め可能であり、そして固定位置においてフランジ（２３１）が接続部分に固定されており、特に、暫定的に固定されていることを特徴とする請求項１または２に記載の真空装置（１１１）。
4. 接続要素（２３５）が、固定要素（２３７，２３９）のための少なくとも二つの収容部分（２４７、２５３）を有し、その際、収容部分の少なくとも一方（２４７）が、周囲中断部（２５１）を有する開口部（２４９）を有し、及び／又はその際、収容部分の一方（２５３）が、閉じた周囲、又は基本的に閉じた周囲を有する開口部を有することを特徴とする請求項１から３の少なくとも一項に記載の真空装置（１１１）。
5. フランジ（２３１）を少なくとも部分的に取り囲むため、接続要素（２３５）が形成されており、及び／又は、接続要素（２３５）が、フランジを固定位置において少なくとも部分的に取り囲み、特に９０度より多く取り囲み、好ましくは１２０度より多く取り囲み、更に好ましくは１５０度より多く取り囲み、特に約１８０度取り囲むことを特徴とする請求項１から４の少なくとも一項に記載の真空装置（１１１）。
6. 接続要素（２３５）が、アーチ形状、及び／又はＣ字形状に形成されており、及び／又はその際、固定要素（２３７，２３９）のための収容部分（２４７，２５３）が接続要素（２３５）の反対側の端部に設けられており、及び／又はその際、収容部分（２４７）の開口部（２４９）の周囲中断部（２５１）が、接続要素（２３５）の自由端部に形成されていることを特徴とする請求項１から５の少なくとも一項に記載の真空装置（１１１）。
7. 接続要素（２３５）が、対称的に形成されており、特に対称面に対して対称的に形成されており、この対称面は、移動平面と一致しているか、又は移動平面に対して並行に延びており、この移動平面に沿って、接続要素が固定位置に移動可能であり、及び／又は接続部分（２２５）において可動に案内されており、及び／又は揺動可能に配置されており、及び／又は移動平面に対して垂直に伸びる対称面に対して非対称に形成されていることを特徴とする請求項１から６の少なくとも一項に記載の真空装置（１１１）。
8. 固定要素（２３７，２３９）が、スクリューとして形成されており、および接続部分（２２５）のねじ穴内にねじ込まれており、その際、接続要素（２３５）の固定位置におけるスクリューの締め付けによってフランジが確定的に接続部分と接続可能であり、特に、フランジと接続部分の間に真空密な接続を作るために接続可能であることを特徴とする請求項１から７の少なくとも一項に記載の真空装置（１１１）。
9. 特に請求項１から８のいずれか一項に記載の真空装置（１１１）であって、少なくとも一つの接続部分（２２５）を有し、これに別の装置との接続を行うためのインレット、又はアウトレット（２２７）が形成されており、および接続部分（２２５）とフランジ（２３１）の接続を行うための接続装置（２２９）を有し、その際、接続装置（２２９）は、少なくとも一つの接続要素（２３５）と、接続要素（２３５）の為に接続部分（２２５）に配置された少なくとも一つの固定要素（２３７，２３９）を有し、及びその際、接続要素（２３５）は、少なくとも部分的に電気的に絶縁性の材料から製造されていることを特徴とする真空装置（１１１）。
10. 接続要素（２３５）が少なくとも部分的にプラスチックから、及び／又は複合材料から、特に繊維複合材料から、好ましくは炭素繊維、及び／又はガラス繊維を有する繊維複合材料から製造されていることを特徴とする請求項１から９の少なくとも一項に記載の真空装置（１１１）。
11. 接続要素（２３５）が、少なくとも部分的にポリアミドから製造されており、特に炭素繊維により強化されたポリアミドから製造されており、好ましくは４０％から７０％のガラス繊維比率、特に５０％から６０％のガラス繊維比率で製造されており、及び／又はその際、接続要素（２３５）は、少なくとも部分的にポリフェニレンサルファイドから製造されており、特にガラス繊維強化されたポリフェニレンサルファイドから製造されており、好ましくは２０％から４０％のガラス繊維比率、特に２５％から３５％、特に例えば３０％のガラス繊維比率で製造されていることを特徴とする請求項１から１０の少なくとも一項に記載の真空装置（１１１）。
12. 真空装置構成、特に請求項１から１１の少なくとも一項に記載の真空装置（１１１）を有する真空装置構成であって、フランジ（２３１）を有し、このフランジが、接続装置（２３５）によって接続部分（２２５）と接続されており、および好ましくは別の装置を有し、この装置が、フランジ（２３１）を介して接続部分（２２５）のインレット又はアウトレット（２２７）と接続していることを特徴とする真空装置構成。
13. フランジ（２３１）が、センタリングリング（２４５）を介してアウトレット（２２７）に対してセンタリングされており、及び／又はその際、フランジ（２３１）と接続部分（２２５）の間にシール（２４１）が設けられており、その際、シール（２４１）が好ましくはセンタリングリング（２４５）上に配置されており、特に張られており、及び／又は接続部分（２２５）のシール座（２４３）に当接していることを特徴とする請求項１２に記載の真空装置構成。
14. 接続要素（２３５）、特に請求項１から１３のいずれか一項に記載の真空装置（１１１）及び／又は真空装置構成のための接続要素（２３５）であって、真空装置（１１１）の接続部分（２２５）における固定のための固定要素（２３７，２３９）のための少なくとも二つの収容部分（２４７，２５３）を有し、その際、収容部分の少なくとも一方（２４７）が、周囲中断部（２５１）を有する開口部（２４９）を有し、これを介して固定要素（２３７，２３９）が開口部（２４９）内に固定係合を図るため導入可能であり、そしてその際、他方の収容部分（２５３）が、閉じた周囲、又は基本的に閉じた周囲を有する開口部を有することを特徴とする接続要素（２３５）。
15. フランジ接続を作るための方法、特に請求項１から１１のいずれか一項に記載の真空装置（１１１）と、別の真空装置の間にフランジ接続を作るための方法であって、真空装置（１１１）の接続部分（２２５）に、二つの固定要素（２３７，２３９）が設けられており、一つの接続要素（２３５）が、固定要素（２３７，２３９）の一方によって揺動可能に接続部分（２２５）に支承され、フランジを接続部分（２２５）に固定する固定位置への揺動によって、接続要素（２３５）が、固定要素（２３７，２３９）の他方と固定係合状態とされることを特徴とする方法。

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