JP2019192710A - テープ付きウェーハの加工装置及びその加工方法 - Google Patents
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- 表面に平坦部及び前記平坦部の外周部に沿って形成された面取部を有するウェーハと、前記ウェーハの前記表面の全面に光硬化接着剤を介して貼着されるとともに、前記光硬化接着剤が硬化する波長の光を透過可能なテープと、を含むテープ付きウェーハに対し加工を行うテープ付きウェーハの加工装置において、
中心軸を有し、前記テープ付きウェーハの裏面を保持するテーブルと、
前記テーブルに対向して配置され、前記面取部に貼着された前記テープに向けて前記光を照射する光照射手段と、
前記テーブルに対向して配置され、前記光によって硬化した前記光硬化接着剤を含む前記面取部の一部を前記面取部に貼着された前記テープと共に切削するブレードと、
前記光照射手段と前記ブレードとに対し、前記中心軸を中心として前記テーブルを相対的に回転移動させる回転移動手段と、
を備える、テープ付きウェーハの加工装置。 - 前記光の照射領域に配置され、前記光照射手段から前記平坦部に向かう前記光を遮蔽する遮蔽部材を備える、
請求項1に記載のテープ付きウェーハの加工装置。 - 前記光硬化接着剤は、紫外線硬化接着剤であり、
前記光照射手段は、紫外線照射手段である、
請求項1又は2に記載のテープ付きウェーハの加工装置。 - 表面に平坦部及び前記平坦部の外周部に沿って形成された面取部を有するウェーハと、前記ウェーハの前記表面の全面に光硬化接着剤を介して貼着されるとともに、前記光硬化接着剤が硬化する波長の光を透過可能なテープと、を含むテープ付きウェーハに対し加工を行うテープ付きウェーハの加工方法において、
前記テープ付きウェーハの裏面を、中心軸を有するテーブルに保持するウェーハ保持工程と、
前記テーブルと前記テーブルに対向して配置された光照射手段とを前記中心軸を中心に相対的に回転移動させながら、前記光照射手段からの前記光を前記面取部に貼着された前記テープに向けて照射する光照射工程と、
前記テーブルと前記テーブルに対向して配置されたブレードとを前記中心軸を中心に相対的に回転移動させながら、前記光によって硬化した前記光硬化接着剤を含む前記面取部の一部を前記面取部に貼着された前記テープと共に前記ブレードによって切削する切削工程と、
を備える、テープ付きウェーハの加工方法。 - 前記光照射工程において、前記光照射手段から前記平坦部に向かう前記光を遮蔽部材によって遮蔽する、
請求項4に記載のテープ付きウェーハの加工方法。 - 前記光硬化接着剤は、紫外線硬化接着剤であり、
前記光照射手段は、紫外線照射手段である、
請求項4又は5に記載のテープ付きウェーハの加工方法。
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---|---|---|---|---|
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- 2018-04-20 JP JP2018081523A patent/JP7130912B2/ja active Active
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