JP2019192600A

JP2019192600A - 除電装置および除電方法

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Publication number: JP2019192600A
Application number: JP2018087153A
Authority: JP
Inventors: 直茂河崎; Naoshige Kawasaki
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 2018-04-27
Filing date: 2018-04-27
Publication date: 2019-10-31

Abstract

【課題】除電対象物の裏面側を含む全体に対し、発生した静電気を除電することにより、再帯電を防止できる除電装置および除電方法を提供する。【解決手段】除電装置１００は、第１のステージ１０と、第２のステージ２０と、除電器３０とを備えている。第１のステージ１０は除電可能であり導電性である。第２のステージ２０は除電対象物を吸着可能である。除電器３０は第１のステージ１０の除電対象物９０が設置される側から、除電対象物９０を除電可能である。第１のステージ１０は、導電性のステージ本体部１１と、ステージ本体部１１の除電対象物９０と対向する表面から除電対象物９０が設置される側に突出可能な、導電性の複数の突起部１２とを含む。複数の突起部１２は、第２のステージ２０に対して表面に交差する方向に駆動可能である。【選択図】図２

Description

本発明は除電装置および除電方法に関し、特に、絶縁性のシートの除電装置および除電方法に関するものである。

たとえば特開２００８−８３４１８号公報（特許文献１）に示す除電装置においては、除電対象物である保護シートを除電するノズルが、設置された保護シートの上に配置される。当該除電装置は、保護シートを液晶パネルから剥がす際に発生する静電気を低減するために、ノズルからミストを保護シート上に放出させる。これにより当該除電装置は、保護シートの周辺の温度および湿度を管理する。当該除電装置は、保護シートの剥離時に温度および湿度が制御された風を保護シートの表面に当てることで、保護シートの表面に帯電した静電気を除電する。

特開２００８−８３４１８号公報

しかしながら特開２００８−８３４１８号公報に開示の除電装置は、保護シートの表面側のみに対し除電効果を有し、裏面側に帯電する静電気を除電する効果がない。このため保護シートの剥離後に再度保護シートの全体が帯電する問題が生じ得る。

本発明は以上の課題に鑑みなされたものである。その目的は、除電対象物の裏面側を含む全体に対し、発生した静電気を除電することにより、再帯電を防止できる除電装置および除電方法を提供することである。

本発明の除電装置は、第１のステージと、第２のステージと、除電器とを備えている。第１のステージは除電可能であり導電性である。第２のステージは除電対象物を吸着可能である。除電器は第１のステージの除電対象物が設置される側から、除電対象物を除電可能である。第１のステージは、導電性のステージ本体部と、ステージ本体部の除電対象物と対向する表面から除電対象物が設置される側に突出可能な、導電性の複数の突起部とを含む。複数の突起部は、第２のステージに対して表面に交差する方向に駆動可能である。

本発明の除電方法は、以下の工程を備えている。除電対象物を設置可能な第１のステージに含まれるステージ本体部の表面上に、除電対象物が搭載される。第２のステージに除電対象物が吸着される。第１のステージに含まれる複数の導電性の突起部が、第２のステージに対してステージ本体部の表面に交差する方向に駆動される。第１のステージの除電対象物が搭載される側から除電器により除電対象物が除電される。

本発明によれば、複数の導電性の突起部が除電対象物に接触することにより、除電対象物の裏面側からの除電が可能となる。また除電器により除電対象物の表面側からの除電が可能となる。これらにより、除電対象物の裏面側を含む全体を除電することができ、保護シートの剥離後の再帯電を防止することができる。

実施の形態１の除電装置の構成を示す概略平面図である。実施の形態１の除電装置の、図１のＩＩ−ＩＩ線に沿う部分の概略断面図である。実施の形態１の除電装置の第１変形例の構成を示す概略平面図である。実施の形態１の除電装置の第２変形例の構成を示す概略断面図である。実施の形態１の除電装置の第３変形例の構成を示す概略断面図である。実施の形態１の除電装置の第４変形例の構成を示す概略断面図である。実施の形態１の除電方法、およびそれを用いた保護シートの剥離方法を示すフローチャートである。図７中の工程（Ｓ２０）〜工程（Ｓ３０）を示す概略断面図である。図７中の工程（Ｓ４０）〜工程（Ｓ５０）を示す概略断面図である。図７中の工程（Ｓ６０）を示す概略断面図である。比較例におけるステージ本体部とその上の被除電シートとの間の静電気の発生および除電の態様を示す概略拡大図である。実施の形態１におけるステージ本体部とその上の被除電シートとの間の静電気の発生および除電の態様を示す概略拡大図である。比較例の除電装置を用いた場合と、本実施の形態の除電装置を用いた場合とのバックライト組立工程における歩留りを示すグラフである。実施の形態２の除電装置の構成を示す概略断面図である。実施の形態３の除電装置の構成を示す概略断面図である。実施の形態４の除電装置の構成を示す概略断面図である。実施の形態５の除電装置の構成を示す概略断面図である。実施の形態６の除電装置の構成を示す概略断面図である。

以下、本発明の実施の形態について図に基づいて説明する。
実施の形態１．
まず本実施の形態の除電装置の構成について図１〜図６を用いて説明する。なお、説明の便宜のため、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向が導入されている。Ｘ方向はたとえば図１中の左右方向に延びる除電装置の長手方向である。Ｙ方向はたとえば図１中の上下方向に延びる除電装置の奥行き方向である。Ｚ方向はたとえば図１中の紙面に垂直な除電装置の高さ方向である。

図１は実施の形態１の除電装置の、特に除電対象物が設置されるステージの部分の構成を示す概略平面図である。図２は、図１のＩＩ−ＩＩ線に沿う部分の概略断面図である。なお説明の便宜上、図２にのみ被除電シートが図示されている。図１および図２を参照して、本実施の形態の除電装置１００は、第１のステージ１０と、第２のステージ２０と、除電器としてのイオナイザ３０とを主に有している。第１のステージ１０は、除電対象物としての後述する被除電シートを設置可能な部材である。第２のステージ２０は、被除電シートを下方から吸着可能な部材である。イオナイザ３０は、第１のステージ１０の被除電シートが設置される側、すなわちＺ方向の上側から、被除電シートを除電可能な部材である。以下、これらについて詳細に説明する。

第１のステージ１０は、ステージ本体部１１と、複数の突起部１２とを主に有している。ステージ本体部１１は、第１のステージ１０全体の土台をなす部材である。ステージ本体部１１は、たとえば平面視における縁部がＸ方向およびＹ方向に沿って延びる矩形状を有している。ステージ本体部１１はＺ方向に関して、互いに対向する表面１１Ａおよび表面１１Ｂを有している。表面１１Ａはステージ本体部１１の最上面であり、被除電シートと対向する表面である。一方、表面１１Ｂはステージ本体部１１の最下面である。

複数の突起部１２のそれぞれは、ステージ本体部１１の被除電シートと対向する表面１１Ａから、除電対象物が設置される側、すなわちＺ方向の上側に突出可能な部材である。なお本実施の形態においては、突起部１２の最上面１２Ａは、表面１１Ａに対して常時上側に突出した状態となっている。複数の突起部１２の最上面１２Ａは、いずれも表面１１Ａに対して１ｍｍ程度、上方に配置されることが好ましい。なお本実施の形態においては、各突起部１２の最上面１２Ａの表面１１Ａに対する高さはほぼ一様であり、それらの差は無視できるほどに小さいものとする。

具体的には、ステージ本体部１１には、表面１１Ａから下方に延びるように凹んだ空間部分としての突起部収納部１３を有している。すなわち突起部収納部１３は、突起部１２を挿入するためにステージ本体部１１を構成する材料がくり抜かれ除去された領域である。突起部収納部１３は、Ｘ方向およびＹ方向に関して間隔をあけて複数形成されている。複数の突起部収納部１３のそれぞれの内部に１つずつ、突起部１２が設置されている。表面１１Ａからの突起部収納部１３のＺ方向の深さは突起部１２のＺ方向の寸法よりも浅い。このため突起部収納部１３内に設置された突起部１２は部分的に表面１１Ａよりも上方に突起する。このようにして複数の突起部１２は、ステージ本体部１１の表面１１Ａから突出するようにステージ本体部１１に固定されている。よって本実施の形態においては、第１のステージ１０は、ステージ本体部１１と複数の突起部１２とが一体となっている。

第２のステージ２０は、平面視において第１のステージ１０のステージ本体部１１の外側の周囲を囲むような枠状に配置されている。第２のステージ２０は、枠状本体部２１に、複数の吸着穴２２が形成された構成を有している。枠状本体部２１は、第２のステージ２０全体の土台をなす部材である。枠状本体部２１は、Ｚ方向に関する最上面としての表面２１Ａと、Ｚ方向に関する最下面としての表面２１Ｂとを有している。吸着穴２２は表面２１Ａから表面２１Ｂまで枠状本体部２１を貫通するように複数、互いに間隔をあけて形成されている。ただし吸着穴２２はこのように枠状本体部２１を貫通する態様に限られない。

除電対象物としての被除電シート９０は、たとえば矩形の主表面を有する絶縁シート９１と、その一方および他方の主表面上に形成された１対の保護シート９２Ａ，９２Ｂとを有している。絶縁シート９１は、たとえばテレビの液晶画面、または自動車のカーナビゲーションシステムのタッチパネルとして用いられる部材である。被除電シート９０は、その主表面が第２のステージ２０の吸着穴２２を覆うように、かつ第１のステージ１０の真上に重なるように、配置される。これにより被除電シート９０はその真下の吸着穴２２により、表面２１Ａに密着するように、下方に吸着される。また保護シート９２Ａ，９２Ｂは、薄いビニール製のシートなどである。

本実施の形態の除電装置１００は、複数の突起部１２が、第２のステージ２０に対して表面１１Ａに交差する方向、すなわちＺ方向に沿うように駆動可能である。具体的には本実施の形態においては、除電装置１００は、第１の駆動機構としての上下機構１４をさらに有している。上下機構１４は、第１のステージ１０の表面１１Ｂに接続されている。上下機構１４は、モータにより、第１のステージ１０の全体を、Ｚ方向に沿うように駆動可能である。このため上下機構１４により、ステージ本体部１１、およびこれに固定された複数の突起部１２が、Ｚ方向に駆動可能である。言い換えれば、複数の突起部１２は、上下機構１４により、突起部１２が固定されるステージ本体部１１とともに、Ｚ方向に駆動すなわち移動可能である。

以上のように本実施の形態においては複数の突起部１２はステージ本体部１１の突起部収納部１３の内部に挿入されており、突起部１２はステージ本体部１１に対して固定されている。すなわち突起部１２はステージ本体部１１に対して相対的には動かない。このため上下機構１４によりステージ本体部１１および突起部１２の双方を含む第１のステージ１０の全体がＺ方向に動く。一方、第２のステージ２０はＺ方向に動かない。このためＺ方向に動かない第２のステージ２０に対して相対的に、複数の突起部１２がＺ方向に駆動すなわち移動可能となっている。

イオナイザ３０は、図２においては第１のステージ１０および第２のステージ２０と間隔をあけて、それらの上側に１台のみ示されている。しかしイオナイザ３０は、被除電シート９０の平面サイズに応じて複数台配置されてもよい。イオナイザ３０が放出する風が被除電シート９０の上面上に供給される。これにより被除電シート９０が除電可能となっている。

次に以上の構成を有する除電装置１００の各部材の好ましい材質、形状、およびその他の態様について説明する。

ステージ本体部１１および枠状本体部２１は、表面１１Ａおよびその外枠の表面２１Ａに形成された吸着穴２２に重なるように被除電シート９０を設置可能な平面形状およびサイズであることが好ましい。たとえば本実施の形態の除電装置１００は、概ね対角線の寸法が２０インチ以下の矩形状である絶縁シート９１を有する被除電シート９０に対して適用可能である。このため上記のカーナビゲーションシステムのタッチパネル、および後述するバックライトの光学シートなどがその適用対象となる。また表面１１Ａおよび表面２１Ａの形状は被除電シート９０の形状に応じて定まる。このため表面１１Ａおよび表面２１Ａは図１に示す矩形状に限らず、たとえば円形、三角形状、またはそれら以外の異形であってもよい。

第１のステージ１０のステージ本体部１１は、モータによる上下機構１４が接続される。このため上下機構１４の駆動による耐摩擦性、耐衝撃性および帯電性を兼ね備えた材質であることが好ましい。したがってステージ本体部１１は、鉄、ステンレス、銅などの導電性の金属材料により形成されることが好ましい。あるいはステージ本体部１１を構成する銅材は、ニッケルめっきまたはクロムめっきなどの被膜が施されていてもよい。またステージ本体部１１は、強度が十分確保できるのであれば、カーボン等を含んだ導電性樹脂材料により形成されてもよい。

またステージ本体部１１は、プリント基板等の導電性でない樹脂成形物の表面にニッケルめっきまたはクロムめっきなどの導電化処理がなされたものであってもよい。この場合、樹脂成形物の導電化処理はステージ本体部１１の表面の全体に施されてもよいが、表面の一部のみに施されてもよい。少なくとも突起部１２を介して除電できる構造である限り、樹脂成形物に導電化処理を行なう領域は不問である。なお導電化処理による被膜の厚みは、突起部１２がステージ本体部１１の突起部収納部１３に挿入された状態において突起部１２とステージ本体部１１とが互いに導通可能となる厚みであることが好ましい。

いずれにせよ、ステージ本体部１１は、これ自身または突起部１２が被除電シート９０から除いた電荷を排出するために、接地されていることが必要となる。

ステージ本体部１１に形成される複数の突起部収納部１３は、図１に示すようにＸ方向およびＹ方向のそれぞれに関して全体においてほぼ同じ間隔を有するように整列された行列状に形成されてもよい。しかし図３のように、突起部収納部１３は、平面視における中央部においてその外側よりも密度が高くなるように形成されていてもよい。図３は実施の形態１の除電装置の第１変形例の構成を示す概略平面図である。図３を参照して、除電装置１０１は大筋では図１の除電装置１００と同様の構成を有しているため同一の構成要素には同一の符号を付しその説明を繰り返さない。ただし除電装置１０１においては上記のように、突起部収納部１３の配置態様において図１の除電装置１００と異なっている。その結果、除電装置１０１においてはステージ本体部１１の表面１１Ａの中央部において、その外側よりも突起部１２が高い密度で配置されている。

このように、ステージ本体部１１における突起部収納部１３の数および分布などの配置態様は任意であり、発生する静電気の分布に応じて図３のように一部の領域に偏在してもよい。いずれにせよ、突起部１２はステージ本体部１１と電気的に接続されているか、あるいは突起部１２が設置されているかのいずれかとなっていることが必要となる。

次に突起部１２は、たとえば図１に示すように、平面視においてたとえば円形を有している。図１および図２の除電装置１００においては突起部１２はＺ方向に沿って延びる円柱形状となっている。したがって除電装置１００の突起部１２は、Ｚ方向に関する最上面１２Ａと、それに対向する最下面１２Ｂとを有している。突起部収納部１３もこのような円柱形状の突起部１２が収納可能な形状を有している。

しかし突起部１２は円柱形状に限らず、たとえばＺ方向上方が尖った円錐形状を有していてもよい。あるいは突起部１２は平面形状が円形である場合に限らず、たとえば矩形の平面形状を有する角柱状であってもよい。またそもそも、突起部１２全体の形状およびサイズは被除電シート９０の形状およびサイズに応じて定まる。また被除電シート９０の裏面側の保護シート９２Ｂの除電能力に応じて突起部１２の形状およびサイズが定められてもよい。たとえば被除電シート９０の保護シート９２Ｂと接触する突起部１２の先端（図２の最上面１２Ａ）の形状は、保護シート９２Ｂの形状に合わせた形状とすることが好ましい。

具体的には、たとえば図２のように平坦な最上面１２Ａを有する突起部１２は、保護シート９２Ｂとの接触面積を大きくすることによりその接触部分の除電効率を高めたい場合に有効である。しかしたとえば保護シート９２Ｂに凹部が形成されている場合には、その凹部を除電するためには、突起部１２の先端は針のように細い形状を有することが好ましい。またたとえば凹部が球状の場合には突起部１２の先端は球面状を有することが好ましい。凹部が球状の場合に針のような細い突起部１２を用いれば、突起部１２の細い先端の保護シート９２Ｂとの接触状態にばらつきが生じ除電効率が低下するためである。

その他、形状またはサイズの異なる複数の突起部１２は以下のように分布されてもよい。図４は実施の形態１の除電装置の第２変形例の構成を示す概略断面図である。なお図４は図２と同一領域における断面図である。図４を参照して、除電装置１０２は大筋では図２の除電装置１００と同様の構成を有しているため同一の構成要素には同一の符号を付しその説明を繰り返さない。ただし除電装置１０２の突起部１２は、吸着穴２２に近い領域、すなわち図の左右方向それぞれの端部において被除電シート９０との接着面積が大きい最上面１２Ａを有し、吸着穴２２から離れた図の中央部において被除電シート９０との接着面積が小さい最上面１２Ａを有している。この点において除電装置１０２は、全体の突起部１２の先端形状が同一である（同様に平坦な最上面１２Ａを有する）除電装置１００と構成上異なっている。

特に絶縁シート９１がガラスのような脆性材料の場合には、吸着穴２２に近い領域は突起部１２の保護シート９２Ｂと接触する最上面１２Ａの面積を大きくすることが望まれる。後述する突起部１２の上方への突き上げ工程の際の絶縁シート９１の外周部における応力集中、およびそれに伴う割れを和らげるためである。概ね吸着穴２２から５ｍｍ以上離れた領域においては上記のような割れの発生するリスクが低下する。このため吸着穴２２から離れた中央部においては突起部１２の最上面１２Ａは尖っていてもよい。

図５は実施の形態１の除電装置の第３変形例の構成を示す概略断面図である。なお図５は図２と同一領域における断面図である。図５を参照して、除電装置１０３は大筋では図２の除電装置１００と同様の構成を有しているため同一の構成要素には同一の符号を付しその説明を繰り返さない。ただし除電装置１０３の突起部１２は、平面視における外周部から中央部に向けて、すなわち図５の左右方向における外側から中央側に向けて、細くなっている。なお除電装置１０３においてはいずれの突起部１２も同じ円柱形状であるが、たとえば外側は円柱形状であり、中央側に向かうにつれ円錐形状に近い尖った形状となってもよい。

被除電シート９０をステージ本体部１１上に、その張力が大きくなるように搭載した場合、その平面視での中央部と外周部とを突起部１２で突き上げた場合を考える。この場合、被除電シート９０は外周部の方が中央部よりも先に破れる。このことから第２のステージ２０に近い外周部は応力緩和させる目的で比較的径が大きく十分に幅の広い突起部１２が用いられることが好ましい。

以上のように、保護シート９２Ｂとのコンタクト性を考慮して、突起部１２の最上面１２Ａを領域間で面積の異なる平面形状にするなど、任意に設計することができる。

突起部１２の材質は、繰り返し強度に強く、繰り返し接触による接触抵抗が低下しにくい材料であることが好ましい。突起部１２は保護シート９２Ｂとの接触が繰り返されるためである。具体的には、金属材料を用いる場合には、突起部１２は鉄、ステンレス、銅などの導電性の金属材料により形成されることが好ましい。なお突起部１２の表面全体に、ニッケルめっきまたはクロムめっきなどの被膜が施されていてもよい。また突起部１２は、繰り返し強度が十分確保できるのであれば、カーボン等を含んだ導電性樹脂材料により形成されてもよい。

また突起部１２は、樹脂成形物の表面にニッケルめっきまたはクロムめっきなどの導電化処理がなされたものであってもよい。この場合、樹脂成形物の導電化処理は突起部１２の表面の全体に施されてもよいが、表面の一部のみに施されてもよい。少なくとも突起部１２を介して除電できる構造である限り、樹脂成形物に導電化処理を行なう領域は不問である。なお導電化処理による被膜の厚みは、突起部１２がステージ本体部１１の突起部収納部１３に挿入された状態において突起部１２とステージ本体部１１とが互いに導通可能となる厚みであることが好ましい。

第２のステージ２０の枠状本体部２１は、図１などに示すようにたとえばステージ本体部１１の外側を囲むなど、ステージ本体部１１の形状に合わせた形状であることが好ましい。ただしこれに限らず、枠状本体部２１はステージ本体部１１とは無関係な形状を有していてもよい。いずれにせよ枠状本体部２１は、被除電シート９０の除電を著しく阻害しない形状であればよい。たとえば枠状本体部２１は、保護シート９２Ａの剥離時に帯電することがない形状であればよい。

枠状本体部２１は、基本的にステージ本体部１１と同一の材質で形成されていればよい。ただし枠状本体部２１はステージ本体部１１がＺ方向に関して移動しても動かず、ステージ本体部１１の移動に伴う振動の発生を抑えることが求められる。このため枠状本体部２１は除電能力を有するほか、上記振動の発生を抑えるに足る機械的強度を有することが重要である。

枠状本体部２１に設けられる吸着穴２２は、図１においては円形の平面形状を有している。すなわち吸着穴２２は、全体が円柱形状を有している。ただし吸着穴２２は、被除電シート９０の吸着により絶縁シート９１の端面に発生したクラックが進展しない任意の形状または数とすることができる。たとえば吸着穴２２は、円柱形状に限らず、たとえば図１のＸ方向またはＹ方向に沿って延びる溝形状であってもよい。

図６は実施の形態１の除電装置の第４変形例の構成を示す概略断面図である。なお図６は図２と同一領域における断面図である。図６を参照して、除電装置１０４は大筋では図２の除電装置１００と同様の構成を有しているため同一の構成要素には同一の符号を付しその説明を繰り返さない。ただし除電装置１０４においては、枠状本体部２１のみならずステージ本体部１１にも吸着穴１５が形成されている。この点において除電装置１０４は除電装置１００と構成上異なっている。

除電装置１０４の吸着穴１５は表面１１Ａから表面１１Ｂまでステージ本体部１１を貫通するように複数、互いに間隔をあけて形成されている。ただし吸着穴１５はこのようにステージ本体部１１を貫通する態様に限られない。吸着穴１５は吸着穴２２と同一形状、同一サイズ、同一密度でステージ本体部１１に形成されてもよい。しかし吸着穴１５は吸着穴２２と異なる形状、異なるサイズ、異なる密度でステージ本体部１１に形成されてもよい。一例として図６においては、ＸＹ平面に関して互いに隣り合う１対の突起部１２（突起部収納部１３）の間に挟まれた領域のすべてに吸着穴１５が形成されている。ただしこれに限らず、たとえば１対の突起部１２の間に挟まれた領域の一部のみに吸着穴１５が配置されてもよい。たとえば当該領域に関して１つ置きに、もしくは千鳥状に吸着穴１５が配置されてもよい。

次に図７のフローチャート、および図８〜図１０を用いて、本実施の形態の除電装置（たとえば除電装置１００）を用いた除電方法について説明する。

図７は実施の形態１の除電方法、およびそれを用いた保護シートの剥離方法を示すフローチャートである。図７を参照して、まず被除電シート９０上の埃が取り除かれる（Ｓ１０）。具体的には、被除電シート９０の保護シート９２Ａおよび保護シート９２Ｂ上に付着した埃が完全に除去される。この工程は、除電装置１００〜１０４の近くで行なわないことが重要である。すなわちこの工程は、除電装置１００〜１０４から離れた場所、または除電装置１００〜１０４が設置される部屋とは異なる室内にて行なうことが好ましい。埃を取り除く際には、たとえばイオンガンの照射がなされることが好ましい。

次に、埃が除去された被除電シート９０が第１のステージ１０および第２のステージ２０上に配置される（Ｓ２０）。ここで図８は図７中の工程（Ｓ２０）〜工程（Ｓ３０）を示す概略断面図である。具体的には図８を参照して、たとえば除電装置１００の第１のステージ１０に含まれるステージ本体部１１の表面１１Ａ上に、除電対象物としての被除電シート９０が搭載される。このとき、除電装置１００の第２のステージ２０の枠状本体部２１の表面２１Ａ上の特に吸着穴２２を覆い塞ぐように、かつステージ本体部１１の表面１１Ａに対向するように、被除電シート９０が配置される。

仮に枠状本体部２１の複数の吸着穴２２からずれるように被除電シート９０が配置されれば、吸着穴２２により被除電シート９０が十分に吸着されない。この状態で後述する第１のステージ１０の突き上げを行なえば、被除電シート９０を破損させてしまう恐れがある。このため被除電シート９０は表面２１Ａに接触するようにこれを覆い、かつ吸着穴２２を覆うように配置されていることを確認することが好ましい。

再度図７を参照して、次にこの状態で、第２のステージ２０の真空吸着が開始される（Ｓ３０）。すなわち吸着穴２２内が大気圧よりも低い圧力に減圧されることにより、これを覆う被除電シート９０が吸着穴２２に吸引される。このようにして第２のステージに被除電シート９０が吸着される。このときの吸着圧力は、後述する第１のステージ１０の突き上げの際に被除電シート９０が突起部１２から浮き上がらない程度であることが好ましい。具体的には当該吸着圧力は、大気圧よりわずかに減圧された圧力であればよい。

被除電シート９０の保護シート９２Ｂが吸着穴２２により十分に吸着されているか否か、および望まれる位置に対する被除電シート９０の位置ずれがどの程度であるかが、図示されない治工具により確認される。治工具は、導電性材料であるたとえば金属製であるか、あるいは導電化処理がなされた樹脂製であることが好ましい。なお上記のような導電性の治工具を使用できない場合は手作業にて位置ずれ確認をする必要がある。その場合には、手作業による被除電シート９０への接触により被除電シート９０が帯電し、その表面上に埃が再付着する懸念がある。このため手作業を行なう場合には、導電処理が施された樹脂製の手袋を着用し、アースバンドを装着することが好ましい。

次に、被除電シート９０を搭載した第１のステージ１０をリフトさせる（Ｓ４０）。ここで図９は図７中の工程（Ｓ４０）〜工程（Ｓ５０）を示す概略断面図である。具体的には図９を参照して、上下機構１４により、第１のステージ１０の全体を、第２のステージ２０に対してステージ本体部１１の表面１１Ａに交差するＺ方向に駆動させる。したがって第１のステージ１０に含まれる複数の導電性の突起部１２が、第２のステージ２０に対してＺ方向に駆動される。このとき被除電シート９０は吸着穴２２により第２のステージ２０に吸着された状態が保たれている。またこのとき、第１のステージ１０のステージ本体部１１および突起部１２は、保護シート９２Ｂの除電が可能となるように静電気が帯電されている。

第１のステージ１０は、少なくとも突起部１２の最上面１２Ａが保護シート９２Ｂの表面に接触する位置まで上昇する。なおここでたとえば絶縁シート９１および／または保護シート９２Ｂが軟らかく第１のステージ１０の上面の形状に容易に追随する材質である場合を考える。このような場合は、保護シート９２Ｂなどが最上面１２Ａからその下方の表面１１Ａ側へ食い込むことができる。これにより、保護シート９２Ｂを表面１１Ａに接触させることができる。このように保護シート９２Ｂなどを食い込ませることが可能であれば、そのようにすることがより好ましい。

第１のステージ１０の上下機構１４としてはモータが用いられることが好ましい。ただし上下機構１４を用いずに上下方向への手動による第１のステージ１０の位置制御がなされてもよい。再度図７を参照して、第１のステージ１０が望まれる位置まで上昇し、被除電シート９０が突き上げられたところで、その上昇が停止される（Ｓ５０）。その後、イオナイザによる除電がなされる（Ｓ６０）。ここで図１０は図７中の工程（Ｓ６０）を示す概略断面図である。具体的には図１０を参照して、たとえば第１のステージ１０の被除電シート９０が搭載される側すなわち上側から、イオナイザ３０により被除電シート９０を除電する工程である。

イオナイザ３０は、保護シート９２Ａ，９２Ｂの絶縁シート９１からの剥離時の帯電に対する除電効果を高めるために、第１のステージ１０などの上方に配置される。イオナイザ３０は、そこから放出される風ＷＤが保護シート９２Ａ、および絶縁シート９１の保護シート９２Ａと接触する剥離面に当たる位置に配置されることが好ましい。イオナイザ３０は、表面電位計を用いて除電することが十分に可能な位置に配置されることが好ましい。なおここではイオナイザ３０を使用して被除電シート９０の表面が除電される。しかし他の方法、たとえば除電器としてイオナイザ３０の代わりに加湿器を用いて保護シート９２Ａの周囲の温度および湿度を管理する方法が用いられてもよい。

再度図７を参照して、イオナイザ３０を稼動させたまま、保護シート９２Ａが絶縁シート９１から剥離される（Ｓ７０）。ここで、剥がし始めはゆっくり丁寧に剥がし、絶縁シート９１の端面から少し保護シート９２Ａが剥がれ始めた段階で剥がす速度を上げることが好ましい。このときの保護シート９２Ａの剥離速度は、絶縁シート９１が変形または破壊しない速度範囲内であることが好ましい。絶縁シート９１がガラスのような脆性材料の場合には特に剥離開始直後および剥離完了直前に絶縁シート９１が割れないように注意することが好ましい。絶縁シート９１がガラスのような脆性材料の場合には、絶縁シート９１が割れないようにゆっくりと丁寧に保護シート９２Ａを剥がすことが好ましい。剥離した保護シート９２Ａは速やかに廃棄することが好ましい。埃およびごみの除電装置１００への付着を抑制するためである。

保護シート９２Ａの剥離が完了したら、第２のステージ２０による被除電シート９０の吸着を終了する（Ｓ８０）。絶縁シート９１の端面を押すことにより、吸着が解除されていることを確認する。吸着が解除されていることが確認できた後に、第１のステージ１０をリフトさせ、被除電シート９０を第２のステージ２０から離脱させる（Ｓ９０）。ここで被除電シート９０の吸着を解除した後に第１のステージ１０をリフトさせる理由は以下の通りである。第１の理由は、誤動作により第１のステージ１０が突き上げられることによる絶縁シート９１の意図しない破損を抑制するためである。第２の理由は、第１のステージ１０の下降時に絶縁シート９１がたわみ、絶縁シート９１の端面から破損することを抑制するためである。

被除電シート９０がステージから離脱された後、被除電シート９０を除電装置１００から取り出す（Ｓ１００）。適当なタイミングでイオナイザ３０による風ＷＤの放出を停止させる。以上により、本実施の形態の除電方法を用いた保護シート９２Ａの剥離工程が完了する。なお以上と同様の方法により、保護シート９２Ｂの剥離も可能である。

次に、図１１〜図１３を参照しながら、本実施の形態の作用効果について説明する。
図１１は、比較例におけるステージ本体部１１とその上の被除電シート９０との間の静電気の発生および除電の態様を示す概略拡大図である。図１２は、実施の形態１の除電装置１００におけるステージ本体部１１とその上の被除電シート９０との間の静電気の発生および除電の態様を示す概略拡大図である。図１１を参照して、比較例の除電装置および被除電シートは大筋では本実施の形態のそれらと同様の構成を有しているため同一の構成要素には同一の符号を付しその説明を繰り返さない。ただし図１１の比較例の除電装置は、第１のステージがステージ本体部１１のみからなり突起部１２を有さない。この点において図１１の除電装置は本実施の形態のものと異なる。

図１１に示すように、拡大して見れば、通常は被除電シート９０の保護シート９２Ｂの表面は無秩序に波打った形状を有している。このため保護シート９２Ｂとステージ本体部１１の表面１１Ａとはせいぜい所々点接触されているにすぎない。すなわち保護シート９２Ｂは表面１１Ａに対し、わずかな面積においてのみ互いに接触され、それ以外の大部分の領域は表面１１Ａに対する非接触部となる。

この場合に、たとえば絶縁シート９１からその上側の保護シート９２Ａを剥がせば、絶縁シート９１の上の方に帯電された静電気は、イオナイザ３０からの風の照射等により除電可能である。しかしその際に絶縁シート９１の下方の保護シート９２Ｂの表面１１Ａとの非接触部に蓄積された静電気は、イオナイザ３０からの照射がほとんど届かないため除去できない。また当該静電気は、第１のステージ１０を介して除電することもほとんどできない。ほんのわずかの表面１１Ａとの接触部においてのみ、保護シート９２Ｂの静電気が図中矢印で示すように第１のステージ１０の帯電部を介して除電されるためである。なお図１１中では保護シート９２Ｂ内にて除電された静電気は点線で囲むことにより表示している。このため保護シート９２Ｂ内に当該静電気が蓄積され続け、絶縁シート９１が帯電状態となる。この状態が放置されれば、被除電シート９０の帯電部にごみまたは埃が吸い寄せられ付着する。

上記のごみまたは埃が吸い寄せられる現象は、保護シート９２Ａ，９２Ｂを剥離する製造工程にとっては致命的となる。バックライトの組立工程を例に説明すると、バックライト組立工程では複数枚の、上記絶縁シート９１に対応する光学シートが用いられる。当該光学シートには上記保護シート９２Ａ，９２Ｂに対応するシートが貼り付けられており、バックライトの組立工程ではそのシートの剥離工程が存在する。このため、保護シートおよび光学シートの除電が十分に行なわれていない場合、これが埃またはごみを吸い寄せる。すると複数枚の光学シートの間に埃またはごみが噛み込み、製品の歩留り低下を招くなど、生産性に大きく影響を及ぼす。

一方、図１２を参照して、本実施の形態の除電装置１００などは、第１のステージ１０がステージ本体部１１と複数の突起部１２とを有する。また本実施の形態の除電方法においては、保護シート９２Ｂは突起部１２の最上面１２Ａに接触するまで、第２のステージ２０に対して上昇するように駆動される。このため保護シート９２Ｂが突起部１２の帯電した箇所に接触することにより、保護シート９２Ｂの帯電部は突起部１２を介して除電される。このようにして被除電シート９０の保護シート９２Ｂ側すなわち裏面側が除電可能となる。一方被除電シート９０の保護シート９２Ａ側すなわち表面側はイオナイザ３０により除電可能である。

このように、本実施の形態では、突起部１２とイオナイザ３０とを併せ持つ除電装置１００などにより、突起部１２を接触させながら除電工程がなされる。このため、被除電シート９０の表面側のみならず裏面側も除電可能となる。このため被除電シート９０全体を除電でき、かつ再帯電を抑制することができる。本実施の形態の除電装置を用いることにより、たとえば上記のバックライト組立工程における埃またはごみによる欠陥不良を激減させることができ、高歩留りを維持することができる。

図１３は比較例の除電装置を用いた場合と、本実施の形態の除電装置を用いた場合とのバックライト組立工程における歩留りを示すグラフである。図１３を参照して、本実施の形態の除電装置および除電方法を用いることにより、比較例に比べて歩留りが大幅に向上していることがわかる。

また突起部１２がステージ本体部１１の表面１１Ａから突出するようにステージ本体部１１に固定される。第１のステージ１０を駆動させる工程（Ｓ４０）においては、複数の突起部１２は、第１のステージ１０に接続された上下機構１４により、ステージ本体部１１とともにＺ方向に駆動可能である。このため突起部１２を確実に保護シート９２Ｂに接触させこれを除電することが可能となる。

なお除電時には保護シート９２Ｂは変形により、ステージ本体部１１と突起部１２との双方に接触することがより好ましい。しかし少なくとも突起部１２が確実に接触すれば、図１１の比較例に比べて非常に広い接触面積の領域内で除電することが可能である。また当該領域にて両者間の接触抵抗が低下することにより、当該突起部１２に隣接する領域においても電荷の移動による除電が起こりやすくなる場合もある。

ところで、絶縁シート９１は反りのために、第１のステージ１０上に搭載された場合に浮き上がったところ（特に平面視における中央部）に静電気が集まりやすい傾向にある。このためそのような傾向を考慮すれば、図３のように突起部１２が特に中央部に密に配置されるように偏在された第１のステージ１０が用いられることがより好ましい。このように突起部１２の配置は任意に変更可能である。

実施の形態２．
図１４は実施の形態２の除電装置の構成を示す概略断面図である。なお図１４は図２と同一領域における断面図である。図１４を参照して、除電装置２００は大筋では図２の除電装置１００と同様の構成を有しているため同一の構成要素には同一の符号を付しその説明を繰り返さない。ただし除電装置２００においては、複数の突起部１２のそれぞれの最上面１２Ａの表面１１Ａに対するＺ方向に関する距離が異なっている。この点において除電装置２００は、複数の突起部１２のそれぞれの最上面１２Ａの表面１１Ａに対するＺ方向の距離がほぼ等しい実施の形態１の除電装置１００〜１０４とは構成上異なっている。

それぞれの突起部１２の最上面１２Ａは、表面１１Ａに対して５ｍｍ以下だけ上方に突起していることが好ましい。なお最上面１２Ａは表面１１Ａに対して０．１ｍｍ以上５ｍｍ以下だけ上方に突起していることがより好ましい。したがって各突起部１２の最上面１２Ａの間のＺ方向高さの差は５ｍｍ以下であることが好ましい。本実施の形態ではこのような特徴を有する除電装置２００を用いて、上記の実施の形態１と基本的に同様の除電方法による処理がなされる。

なお上記の構成とするために、ステージ本体部１１に形成される複数の突起部収納部１３の表面１１Ａからの深さが異なるように加工され、そこへＺ方向寸法の等しい突起部１２が設置されてもよい。もしくはステージ本体部１１に形成される複数の突起部収納部１３の表面１１Ａからの深さはすべてほぼ等しくなるように加工され、そこへＺ方向寸法が異なる突起部１２が設置されてもよい。

以下に、本実施の形態の作用効果について説明する。
実施の形態１の除電装置１００などは、表面の凹凸または反りが比較的少ない被除電シート９０を対象としている。すなわち表面がほぼ平坦であるため、複数の突起部１２のそれぞれの最上面１２Ａの高さがほぼ一様であってもそれらの上に保護シート９２Ｂが安定に接触可能となる。しかし本実施の形態に係る除電装置２００の各突起部１２は、除電対象物である被除電シート９０の特に主表面としての保護シート９２Ｂの形状に応じ、表面１１Ａから突出する距離を変化させた態様となっている。

本実施の形態は、反りの大きい絶縁シート９１、タッチパネルのように配線パターンを有するために表面の凹凸が大きい絶縁シート９１、またはプリント基板のようにその表面に配線パターンが形成された絶縁シート９１を含む被除電シート９０の保護シートの剥離に適用される。つまりこのような凹凸または反りの絶縁シート９１を含む被除電シート９０は、実施の形態１のように高さが一様な突起部１２を有する第１のステージ１０上に搭載しようとしても、保護シート９２Ｂと最上面１２Ａとを確実に接触させることができない場合がある。絶縁シート９１の形状と第１のステージ１０の表面形状とが異なるためである。

このような場合の解決策として、本実施の形態の除電装置２００を用いて実施の形態１と同様の除電方法による処理がなされることが好ましい。このようにすれば、絶縁シート９１の凹凸または反りが大きい場合においても、保護シート９２Ｂと最上面１２Ａとを確実に接触させることができる。したがって実施の形態１と同様に再帯電しないように裏面側から速やかに除電することができる。

各突起部１２の高さを絶縁シート９１の表面形状に合わせるために、たとえば互いに深さの異なる突起部収納部１３が形成される場合には、以下の手法が用いられる。予め絶縁シート９１のＺ方向の形状が、３次元測定器などにより測定される。そのデータを基に、それぞれの突起部１２が挿入される突起部収納部１３のくり抜かれる深さが算出される。その深さとなるように各突起部収納部１３が加工され、そこへ各突起部１２が挿入される。これにより、上記のように被除電シート９０の表面形状に適合した高さのばらつきを有する複数の突起部１２が設けられた第１のステージ１０を形成できる。

実施の形態３．
図１５は実施の形態３の除電装置の構成を示す概略断面図である。なお図１５は図２と同一領域における断面図である。図１５を参照して、除電装置３００は大筋では図２の除電装置１００と同様の構成を有しているため同一の構成要素には同一の符号を付しその説明を繰り返さない。ただし除電装置３００においては、第１のステージ１０の被除電シート９０が設置される側と反対側すなわちＺ方向に関する下側に、突起部保持板１６がさらに備えられている。突起部保持板１６は、平面形状および平面視におけるサイズがステージ本体部１１とほぼ同様であり、ステージ本体部１１と同一材質からなる平板形状であることが好ましいがこれに限られない。突起部保持板１６は除電装置３００全体の土台として通常の床またはテーブルなどの上に載置される。

除電装置３００においては、複数の突起部１２のそれぞれには、複数の弾性部材としてのバネ１７が個別に接続されている。そして複数の突起部１２のそれぞれは、当該バネ１７を介して突起部保持板１６と接続されている。すなわちバネ１７は、複数の突起部１２のそれぞれの下側に１つずつ接続されている。このバネ１７はＺ方向に関して伸縮可能であり、Ｚ方向に関する一方端が突起部１２に、他方端が突起部保持板１６に固定されている。

上記のようにバネ１７はＺ方向に伸縮可能である。このためバネ１７に接続された複数の突起部１２のそれぞれは、ステージ本体部１１に対してＺ方向に沿って駆動可能である。突起部保持板１６と個別に接続されるバネ１７の伸縮に応じて、それぞれのバネ１７に接続された突起部１２もＺ方向に移動するためである。本実施の形態の工程（Ｓ４０）に相当する工程においては突起部１２は上記のようにバネ１７の弾性力を利用してＺ方向に移動する。また本実施の形態においては、バネ１７によりＺ方向に移動するのは突起部１２のみであり、基本的にステージ本体部１１は移動しない。このため本実施の形態においては、突起部１２はステージ本体部１１に対して相対的に移動する。この点において本実施の形態は、ステージ本体部１１に対して突起部１２が固定され両者が一体の第１のステージ１０として構成される実施の形態１などと異なっている。ただし本実施の形態においても突起部１２が第２のステージ２０に対して駆動可能である点は、実施の形態１などと同様である。

したがって本実施の形態においては、突起部１２を収納する突起部収納部１３は、実施の形態１などの突起部収納部１３よりもＺ方向に長く形成されることが好ましい。たとえば突起部収納部１３は表面１１Ａから表面１１Ｂまでステージ本体部１１を貫通するように形成されてもよい。

なお図１５においては、突起部保持板１６とステージ本体部１１との間に隙間が設けられ、バネ１７はステージ本体部１１内に部分的に埋まっているように図示されている。しかしこの隙間はバネ１７が突起部保持板１６の上面上に固定されることを見やすくするために設けられたに過ぎない。したがって突起部保持板１６とステージ本体部１１との間にはこのような隙間は設けられず、バネ１７の全体がステージ本体部１１内に埋め込まれたような態様となっていてもよい。

また逆に、たとえば支柱でステージ本体部１１を突起部保持板１６の上方に意図的に間隔をあけて固定することにより、バネ１７の全体がステージ本体部１１の外側に配置可能な態様となっていてもよい。ステージ本体部１１のＺ方向位置は固定されるため、突起部１２のみによる確実な接触除電を望む場合にはこのような構成としてもよい。

あるいはたとえばバネ１７とは別の油圧シリンダなどの駆動部材により、ステージ本体部１１を突起部保持板１６の上方に接続するように配置してもよい。この場合はステージ本体部１１は突起部保持板１６に対してＺ方向に移動可能となる。ただしこの場合においてもステージ本体部１１の移動は突起部１２の移動とは独立したものとなる。

バネ１７がステージ本体部１１内に配置される場合には、ステージ本体部１１にはバネ１７を収納するための収納部（図示せず）が、突起部収納部１３と同様に設けられている。この収納部はバネ１７のＺ方向の長さよりもＺ方向に関して長い寸法となるように形成されることがより好ましい。したがってたとえば、表面１１Ａから表面１１Ｂまでステージ本体部１１を貫通する態様の複数の突起部収納部１３が、複数の突起部１２と複数のバネ１７とが１つずつ連なったものを収納する態様としてもよい。

本実施の形態ではこのような特徴を有する除電装置３００を用いて、上記の実施の形態１と基本的に同様の除電方法による処理がなされる。

次に、本実施の形態の作用効果について説明する。
本実施の形態の除電装置３００を用いれば、他の実施の形態と同様に被除電シート９０が突起部１２上に搭載されることにより、被除電シート９０の表面形状に応じてそれぞれの突起部１２がＺ方向に駆動可能となる。その駆動はバネ１７の弾性力による伸縮を利用したものとなる。つまり被除電シート９０が搭載されない初期状態において突起部１２が表面１１Ａに対して突出可能であれば（突出されていれば）、被除電シート９０の形状に応じて確実に各突起部１２の表面１１Ａに対する突出量が調整される。被除電シート９０を搭載することにより、当初突出されていた突起部１２が被除電シート９０からの応力を受け、その形状に応じて伸縮するためである。その結果、実施の形態２と同様に、各突起部１２の最上面１２Ａを被除電シート９０に確実に接触させ、実施の形態２と同様の除電効果を得ることができる。

なお被除電シート９０が搭載されない初期状態における各突起部１２の表面１１Ａに対する突出量は、実施の形態１，２のいずれかと同様とすることが好ましい。また本実施の形態においてはステージ本体部１１に対して突起部１２を相対移動可能である。このためバネ１７を収縮させることにより、突起部１２の最上面１２Ａを表面１１Ａの下方に沈ませることもできる。

以上をまとめれば、本実施の形態においては、被除電シート９０の凹凸状態または反りが、バネ１７により吸収可能となっている。バネ１７を用いることにより、被除電シート９０のわずかな凹凸状態または反りの影響を吸収することができる。このため実施の形態２よりも突起部１２と被除電シート９０とを確実に接触させることができる。したがって本実施の形態では、実施の形態２よりも確実に、再帯電しないように裏面側から速やかに除電することができる。

なお上記のようにステージ本体部１１が油圧シリンダなどの駆動部材により突起部保持板１６と接続されれば、ステージ本体部１１を突起部保持板１６に対してＺ方向に移動させることができる。このためステージ本体部１１の表面１１Ａの一部も被除電シート９０の形状に応じてこれに接触可能な位置に配置できる効果が得られる場合がある。またステージ本体部１１を突起部１２に対して下方に配置させることにより、突起部１２をより確実にステージ本体部１１の表面１１Ａに対して上方に突起させることができる。このようにすれば突起部１２の最上面１２Ａを被除電シート９０により確実に接触させることができる。

実施の形態４．
図１６は実施の形態４の除電装置の構成を示す概略断面図である。なお図１６は図２と同一領域における断面図である。図１６を参照して、除電装置４００は大筋では図１５の除電装置３００と同様の構成を有しているため同一の構成要素には同一の符号を付しその説明を繰り返さない。ただし除電装置４００においては、複数の突起部１２のそれぞれのＺ方向下方には、第２の駆動機構としての上下機構１８が個別に設けられている。上下機構１８は実施の形態３のバネ１７と同様に、除電方法での駆動させる工程（Ｓ４０）において、ステージ本体部１１に対して複数の突起部１２のそれぞれをＺ方向に駆動可能とする。

すなわち本実施の形態は、基本的に複数の突起部１２を個別に駆動させる機構として、バネ１７の代わりに上下機構１８が用いられている。この点において本実施の形態は実施の形態３と異なっている。なお本実施の形態においても実施の形態３と同様に、突起部１２はステージ本体部１１に対して相対的にＺ方向に移動可能である。

本実施の形態ではこのような特徴を有する除電装置４００を用いて、上記の実施の形態１と基本的に同様の除電方法による処理がなされる。

次に、本実施の形態の作用効果について説明する。
実施の形態３においてはバネ１７を用いて被除電シート９０の表面の凹凸または反りを吸収している。これに対し、本実施の形態においては突起部１２毎に個別に設けられた上下機構１８を用いて被除電シート９０の表面の凹凸または反りを吸収している。これにより、バネ１７を用いた場合に比べて被除電シート９０と突起部１２の最上面１２Ａとのより確実な接触が可能である。本実施の形態においては、たとえばバネ１７が初期状態において表面１１Ａから突出していない場合に起こり得る、突起部１２と被除電シート９０とが接触不能な状態を回避することができるためである。したがって本実施の形態においては、実施の形態３よりもさらに確実に、再帯電しないように裏面側から速やかに除電することができる。

また本実施の形態においては、大きなうねりのある被除電シート９０についても正確に突起部１２と接触させることができる。また絶縁シート９１を有する被除電シート９０に限らず、たとえば樹脂成型品のような複雑な形状のものに対しても本実施の形態の除電装置４００を適用することができる。

実施の形態５．
図１７は実施の形態５の除電装置の構成を示す概略断面図である。なお図１７は図２と同一領域における断面図である。図１７を参照して、除電装置５００は大筋では図２の除電装置１００と同様の構成を有しているため同一の構成要素には同一の符号を付しその説明を繰り返さない。ただし除電装置５００においては、第１のステージ１０が複数並べられた構成を有している。

具体的には、図１７において、除電装置５００は、第１のステージ１０Ｃと第１のステージ１０Ｄとの２台の第１のステージ１０が並ぶ構成を有している。なお第１のステージ１０Ｃと第１のステージ１０Ｄとの間にはわずかな間隔があってもよい。そして２台の第１のステージ１０を囲むように、その外側に第２のステージ２０が配置されている。ただし図示されないが、除電装置５００はＹ方向に関しても間隔をあけて複数の第１のステージ１０が並ぶことにより、平面視において行列状に第１のステージ１０が並ぶ構成を有していてもよい。

図１７の第１のステージ１０Ｃは、ステージ本体部１１Ｃと、複数の突起部１２Ｃとを有している。複数の突起部１２Ｃは、ステージ本体部１１Ｃに形成された複数の突起部収納部１３Ｃに収納されている。第１のステージ１０Ｃには上下機構１４Ｃが接続されている。また図１７の第１のステージ１０Ｄは、ステージ本体部１１Ｄと、複数の突起部１２Ｄとを有している。複数の突起部１２Ｄは、ステージ本体部１１Ｄに形成された複数の突起部収納部１３Ｄに収納されている。第１のステージ１０Ｄには上下機構１４Ｄが接続されている。このためステージ本体部１１Ｃは上下機構１４Ｃにより、ステージ本体部１１Ｄは上下機構１４Ｄにより、それぞれ独立に上下駆動可能である。

図１７においては、以上の第１のステージ１０Ｃおよび第１のステージ１０Ｄの構成は、実施の形態１の第１のステージ１０の構成と同様である。ただし第１のステージ１０Ｃ，１０Ｄは、実施の形態２〜４のいずれかの第１のステージ１０の構成と同様であってもよい。また除電装置５００に含まれる複数の第１のステージ１０は、実施の形態１〜４の第１のステージ１０が適宜組み合わせられた構成であってもよい。

本実施の形態ではこのような特徴を有する除電装置５００を用いて、上記の実施の形態１と基本的に同様の除電方法による処理がなされる。

次に、本実施の形態の作用効果について説明する。
たとえば実施の形態１の除電装置１００は、上記のように概ね対角線の寸法が２０インチ以下、特に１０インチ程度の比較的小さい絶縁シート９１を有する被除電シート９０が適用対象となる。すなわちたとえば対角線の寸法が５０インチの矩形状を有する大型のシートには除電装置１００などは適用困難である。また表面の凹凸が大きい立体的な絶縁シート９１の場合、絶縁シート９１と同サイズの表面１１Ａを有する第１のステージ１０が１台だけを有する除電装置３００，４００を用いれば、当該凹凸を吸収しきれない場合がある。

このような場合の解決策として、本実施の形態のように複数の第１のステージ１０が並べられた構成を有する除電装置５００が用いられる。このようにすれば、上記のようなサイズの大きいシート、または凹凸の大きいシートにも適用可能となる。すなわちサイズの大きいシート、または凹凸の大きいシートであっても、再帯電しないように裏面側から速やかに除電することができる。したがって、第１のステージ１０の設置される台数は、被除電シート９０のサイズと、被除電シート９０に含まれる絶縁シート９１の曲率半径に応じて決定される。

実施の形態６．
図１８は実施の形態６の除電装置の構成を示す概略断面図である。なお図１８は図２と同一領域における断面図である。図１８を参照して、除電装置６００は大筋では図１７の除電装置５００と同様の構成を有しているため同一の構成要素には同一の符号を付しその説明を繰り返さない。ただし除電装置６００においては、複数の第１のステージ１０のそれぞれのステージ本体部１１Ｃ，１１Ｄの表面１１Ａが、曲面形状を有する被除電シート９０の主表面に沿う形状となるように並んでいる。すなわちステージ本体部１１Ｃの表面１１Ａに対するステージ本体部１１Ｄの表面１１Ａの角度を変更することが可能な構成となっている。この点において本実施の形態は、ステージ本体部１１Ｃの表面１１Ａとステージ本体部１１Ｄの表面１１ＡとはいずれもＸＹ平面に沿って並ぶのが前提であり両者間の角度を変更することは想定されない実施の形態５と構成上異なっている。

図１８においては、被除電シート９０の絶縁シート９１は、たとえば自動車のメーターパネルであり、断面図中にて下に凸の曲面形状を有する。

複数のステージ本体部１１Ｃ，１１Ｄの表面１１Ａが図１８のような曲面に沿う態様となるために、たとえば以下のような構成を採用する。ステージ本体部１１Ｃおよびステージ本体部１１Ｄを個別に支える台座が存在する。その台座のたとえばステージ本体部１１Ｃとステージ本体部１１Ｄとが対向する側（Ｘ方向に関する中央部）の端部を中心に、ステージ本体部１１Ｃおよびステージ本体部１１Ｄが回転する。この回転は、たとえば上記対向する側と反対側（ステージ本体部１１Ｃの左側、およびステージ本体部１１Ｄの右側）の端部を、対向する側の端部に対してＺ方向上側に持ち上げることによりなされる。上記の端部の持ち上げは、たとえば当該持ち上げられる側の端部に設けられた図示されないシリンダなどの駆動部材によりなされる。このようにすることにより、複数の第１のステージ本体部１１Ｃ，１１Ｄのそれぞれの表面１１Ａが、曲面形状を有する被除電シート９０の主表面に沿う形状となることが可能となる。

なお本実施の形態においても実施の形態５と同様に、第１のステージ１０の設置される台数は、被除電シート９０のサイズと、被除電シート９０に含まれる絶縁シート９１の曲率半径に応じて決定される。また本実施の形態においても実施の形態５と同様に、ここの第１のステージ１０は実施の形態１〜４のいずれの第１のステージ１０の構成と同様であってもよく、それら各種の第１のステージ１０が適宜組み合わせられてもよい。

本実施の形態によれば、特に大きいサイズの曲面状の絶縁シート９１であっても、再帯電しないように裏面側から速やかに除電することができる。

以上に述べた各実施の形態（に含まれる各例）に記載した特徴を、技術的に矛盾のない範囲で適宜組み合わせるように適用してもよい。

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

１０，１０Ｃ，１０Ｄ第１のステージ、１１，１１Ｃ，１１Ｄステージ本体部、１１Ａ，１１Ｂ，２１Ａ，２１Ｂ表面、１２，１２Ｃ，１２Ｄ突起部、１２Ａ最上面、１２Ｂ最下面、１３，１３Ｃ，１３Ｄ突起部収納部、１４，１４Ｃ，１４Ｄ，１８上下機構、１５，２２吸着穴、１６突起部保持板、１７バネ、２０第２のステージ、２１枠状本体部、３０イオナイザ、９０被除電シート、９１絶縁シート、９２Ａ，９２Ｂ保護シート、１００，１０１，１０２，１０３，１０４，２００，３００，４００，５００，６００除電装置。

Claims

除電対象物を設置可能な導電性の第１のステージと、
前記除電対象物を吸着可能な第２のステージと、
前記第１のステージの前記除電対象物が設置される側から、前記除電対象物を除電可能な除電器とを備え、
前記第１のステージは、導電性のステージ本体部と、前記ステージ本体部の前記除電対象物と対向する表面から前記除電対象物が設置される側に突出可能な、導電性の複数の突起部とを含み、
前記複数の突起部は、前記第２のステージに対して前記表面に交差する方向に駆動可能である、除電装置。
前記第１のステージに接続された第１の駆動機構をさらに備え、
前記複数の突起部は、前記ステージ本体部の前記表面から突出するように前記ステージ本体部に固定されており、
前記複数の突起部は、前記第１の駆動機構により、前記ステージ本体部とともに前記交差する方向に駆動可能である、請求項１に記載の除電装置。
前記複数の突起部のそれぞれの最上面の、前記表面に対する距離が、前記除電対象物の形状に応じて異なっている、請求項２に記載の除電装置。
前記第１のステージの前記除電対象物が設置される側と反対側に突起部保持板をさらに備え、
前記複数の突起部のそれぞれには複数の弾性部材が個別に接続されており、
前記複数の突起部のそれぞれは、前記弾性部材を介して前記突起部保持板と接続されている、請求項１に記載の除電装置。
前記複数の突起部のそれぞれには、前記ステージ本体部に対して前記複数の突起部のそれぞれを前記交差する方向に駆動可能とする第２の駆動機構が個別に設けられている、請求項１に記載の除電装置。
前記第１のステージが複数並べられた、請求項１〜５のいずれか１項に記載の除電装置。
前記複数の第１のステージのそれぞれの前記表面が、曲面形状を有する前記除電対象物の主表面に沿う形状となるように並んでいる、請求項６に記載の除電装置。
除電対象物を設置可能な第１のステージに含まれるステージ本体部の表面上に、前記除電対象物を搭載する工程と、
第２のステージに前記除電対象物を吸着させる工程と、
前記第１のステージに含まれる複数の導電性の突起部を、前記第２のステージに対して前記ステージ本体部の前記表面に交差する方向に駆動させる工程と、
前記第１のステージの前記除電対象物が搭載される側から除電器により前記除電対象物を除電する工程とを備える、除電方法。
前記複数の突起部は、前記ステージ本体部の前記表面から突出するように前記ステージ本体部に固定されており、
前記駆動させる工程において、前記複数の突起部は、前記第１のステージに接続された第１の駆動機構により、前記ステージ本体部とともに前記交差する方向に駆動可能である、請求項８に記載の除電方法。
前記複数の突起部のそれぞれの最上面の、前記表面に対する距離が、前記除電対象物の形状に応じて異なっている、請求項９に記載の除電方法。
前記第１のステージの前記除電対象物が設置される側と反対側に突起部保持板１６を備え、
前記駆動させる工程において、前記複数の突起部のそれぞれは、前記突起部保持板と個別に接続される弾性部材により、前記ステージ本体部に対して前記交差する方向に沿って駆動可能である、請求項８に記載の除電方法。
前記複数の突起部のそれぞれには個別に第２の駆動機構が設けられており、
前記駆動させる工程において、前記複数の突起部のそれぞれは、前記第２の駆動機構により、前記ステージ本体部に対して前記交差する方向に駆動可能である、請求項８に記載の除電方法。
前記第１のステージが複数並べられた除電装置を用いる、請求項８〜１２のいずれか１項に記載の除電方法。
前記複数の第１のステージのそれぞれの前記表面が、曲面形状を有する前記除電対象物の主表面に沿う形状となることが可能となるように並んでいる前記除電装置を用いた、請求項１３に記載の除電方法。