JP2019184623A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2019184623A5
JP2019184623A5 JP2019144148A JP2019144148A JP2019184623A5 JP 2019184623 A5 JP2019184623 A5 JP 2019184623A5 JP 2019144148 A JP2019144148 A JP 2019144148A JP 2019144148 A JP2019144148 A JP 2019144148A JP 2019184623 A5 JP2019184623 A5 JP 2019184623A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
measurement
resin
flow rate
circuit
terminal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2019144148A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2019184623A (ja
JP6775650B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2019144148A priority Critical patent/JP6775650B2/ja
Priority claimed from JP2019144148A external-priority patent/JP6775650B2/ja
Publication of JP2019184623A publication Critical patent/JP2019184623A/ja
Publication of JP2019184623A5 publication Critical patent/JP2019184623A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6775650B2 publication Critical patent/JP6775650B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Description

上記課題を解決するために本発明の熱式流量計は、主通路を流れる被計測気体を取り込んで流すための副通路と、前記副通路を流れる被計測気体との間で熱伝達を行うことにより流量を計測するための流量計測用回路と、前記流量計測用回路を封止する第1の樹脂と、を有する回路パッケージと、前記回路パッケージを収納するとともに外部機器との接続を行うための外部接続部を有し、前記第1の樹脂とは熱膨張係数が異なる第2の樹脂からなるハウジングと、を備え、前記回路パッケージは、少なくとも、前記流量計測回路の計測結果を出力するための計測用端子と、前記第1の樹脂による封止後に前記流量計測用回路を検査するための検査用端子と、有しており、前記計測用端子と前記検査用端子とを前記回路パッケージの異なる辺に設け、前記検査用端子は、前記計測用端子より短い形状である。
JP2019144148A 2019-08-06 2019-08-06 熱式流量計 Active JP6775650B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019144148A JP6775650B2 (ja) 2019-08-06 2019-08-06 熱式流量計

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019144148A JP6775650B2 (ja) 2019-08-06 2019-08-06 熱式流量計

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017244622A Division JP6670818B2 (ja) 2017-12-21 2017-12-21 熱式流量計

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2019184623A JP2019184623A (ja) 2019-10-24
JP2019184623A5 true JP2019184623A5 (ja) 2020-05-14
JP6775650B2 JP6775650B2 (ja) 2020-10-28

Family

ID=68340147

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019144148A Active JP6775650B2 (ja) 2019-08-06 2019-08-06 熱式流量計

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6775650B2 (ja)

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0878601A (ja) * 1994-09-01 1996-03-22 Sanyo Electric Co Ltd ハイブリッドic
JP3323745B2 (ja) * 1996-07-25 2002-09-09 株式会社日立製作所 物理量検出装置の特性調整手段および発熱抵抗式空気流量装置
JPH11351932A (ja) * 1998-06-10 1999-12-24 Hitachi Ltd 物理量検出装置および空気流量測定装置
EP1426740B1 (de) * 2002-11-27 2014-11-19 Sensirion Holding AG Vorrichtung zur Messung des Flusses und mindestens eines Materialparameters eines Fluids
JP2009270930A (ja) * 2008-05-07 2009-11-19 Denso Corp 熱式流量センサ
JP5195819B2 (ja) * 2010-06-02 2013-05-15 株式会社デンソー 空気流量測定装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI436039B (zh) 流量計
KR102515913B1 (ko) 가스 공급계의 검사 방법, 유량 제어기의 교정 방법, 및 2차 기준기의 교정 방법
US9921088B2 (en) Device for determining temperature as well as measuring arrangement for determining flow
JP6043248B2 (ja) 熱式空気流量計
EP3217153B1 (en) Thermal air flow meter
US20190187018A1 (en) Vacuum measuring device
JP6762218B2 (ja) 流量算出システム及び流量算出方法
US8583385B2 (en) Thermal, flow measuring device
JP2012058044A5 (ja)
CN105371909A (zh) 一种基于稳定电源的新型微流量热分布式质量流量计
JP6101619B2 (ja) 熱式空気流量計
JP2016186499A5 (ja)
JP2019184623A5 (ja)
CN108072410A (zh) 空气流量计检测系统
WO2014136347A1 (ja) 熱式空気流量計
JP2015017857A (ja) 流量センサ
CN205388506U (zh) 一种循环式高压气体流量标准装置
US9581481B2 (en) Air mass flowmeter
WO2018139142A1 (ja) 湿度センサ及び湿度センサ装置
JP2019039935A5 (ja)
CN105424114A (zh) 一种新型微流量热分布式质量流量计
CN106802170A (zh) 流量传感器、质量流量输送测控装置及其温漂抑制方法
JP6142840B2 (ja) 空気流量測定装置
US20160252378A1 (en) Mass Air Flow Measurement Device
WO2020014975A1 (zh) 流体传感器及质量流量控制器