JP2019181321A - 電界浄化装置及びワーク乾燥システム - Google Patents

電界浄化装置及びワーク乾燥システム Download PDF

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Abstract

【課題】従来より清掃作業を容易に行うことが可能な電界浄化装置及びワーク乾燥システムを提供する。【解決手段】本発明の電界浄化装置20は、ヤニ成分含有エアーが通過する断面略円形のダクト30と、その中心部に沿って延びる中心電極63との間に電界を発生させてヤニ成分をダクト30の内面に集める。そのダクト30は、水平方向に対して平行方向に延び、下部にスリット状のヤニ排出孔31Sを備えている。そして、ヤニ排出孔31Sに下方にヤニ回収ハウジング36が設けられ、その内部に備えたトレイ60にヤニが溜まるようになっている。【選択図】図2

Description

本発明は、ヤニ成分含有エアーからヤニ成分を集める電界浄化装置及び、その電界浄化装置を有するワーク乾燥システムに関する。
従来、この種の電界浄化装置として、上下方向に延びるダクトの中心部に電極が垂下し、ヤニ成分含有エアーがダクトを通過する間にヤニ成分をダクトの内面に集めるものが知られている(例えば、特許文献1参照)。
特開2017−217625号公報(図3)
上記した従来の電界浄化装置は、従前のフィルター式エアー浄化装置に対する清掃作業の容易化を図ったものであるが、さらなる清掃作業の容易化が求められている。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、従来より清掃作業を容易に行うことが可能な電界浄化装置及びワーク乾燥システムの提供を目的とする。
上記目的を達成するためになされた請求項1の発明は、ヤニ成分含有エアーが通過する断面略円形のダクトと、その中心部に沿って延びる中心電極との間に電界を発生させてヤニ成分を前記ダクトの内面に集める電界浄化装置であって、前記ダクトは、水平方向に対して平行又は傾斜する方向に延び、前記ダクトの下部を内外に貫通し、前記ヤニ成分が凝集してなるヤニを排出するヤニ排出孔と、前記ヤニ排出孔に下方から臨むヤニ回収部屋を内側に有すると共に、蓋体にて開閉される開口を有するか、又は、前記ダクトに着脱可能に取り付けられるヤニ回収ハウジングと、を備える電界浄化装置である。
請求項2の発明は、前記ヤニ排出孔は、前記ダクトの軸方向に延びるスリット構造をなしている請求項1に記載の電界浄化装置である。
請求項3の発明は、前記ダクトは、水平に延び、前記ヤニ回収ハウジングは、前記ダクトの軸方向に延びて、内部に細長いトレイを収容し、前記ヤニ回収ハウジングの一側面には、前記トレイを出し入れするための横長の前記開口と、前記開口を閉塞する横長の前記蓋体と、が備えられている請求項1又は2に記載の電界浄化装置である。
請求項4の発明は、前記ダクトは、その中心軸を含む分割面で上下に分割可能になっている請求項1乃至3の何れか1の請求項に記載の電界浄化装置である。
請求項5の発明は、前記ダクトから内側に複数の円板が張り出している請求項4に記載の電界浄化装置である。
請求項6の発明は、前記複数の円板は、前記ダクトと別体をなしかつ連結部材により連結されているリング集合体になっている請求項5に記載の電界浄化装置である。
請求項7の発明は、前記リング集合体は、その中心軸を含む分割面で分割可能になっている請求項6に記載の電界浄化装置である。
請求項8の発明は、前記ダクトの両端部に配置され、前記中心電極を支持する1対の電極支持部を備える請求項1乃至7の何れか1の請求項に記載の電界浄化装置である。
請求項9の発明は、塗装されたワークを乾燥させるブースと、前記ブース内のヤニ成分含有エアーを吸引して加熱して前記ブースに戻す加熱循環路と、前記加熱循環路の途中に接続される請求項1乃至8の何れか1の請求項に記載の電界浄化装置と、を備えるワーク乾燥システムである。
請求項10の発明は、塗装されたワークを乾燥させるブースと、前記ブース内のエアーを大気に放出する排気経路の途中に接続される請求項1乃至8の何れか1の請求項に記載の電界浄化装置と、を備えるワーク乾燥システムである。
請求項1の電界浄化装置では、ダクトが水平方向又斜め水平方向に延びているので、ダクトが上下方向に延びた従来のものに比べて、清掃時の上下方向への移動が少なくて済み、清掃作業が容易になる。また、ヤニ成分が凝集してなるヤニが、ダクトの周方向又は斜め周方向に移動してダクトの下端部に集まるので、従来のようにヤニがダクトの軸方向に移動して集められるものに比べてヤニの移動距離が短くなり、ヤニの回収が容易になる。そして、ダクトの下端部のヤニ排出孔からダクト外のヤニ回収ハウジングへとヤニが排出される。そこで、そのヤニ回収ハウジングをダクトから取り外すか、ヤニ回収ハウジングの開口を開いて、ヤニの清掃作業を行うことができるので、電界浄化装置全体を分解せずに容易に清掃作業を行うことができる。
ヤニ排出孔は、ダクトの長手方向に複数並べて形成されていてもよいし、請求項2の発明のように、ダクトの軸方向に延びるスリット構造をなしていてもよい。ヤニ排出スリットをスリット構造にすれば、ヤニを効率良くダクト外に排出することができる。
請求項3の構成によれば、ヤニ回収ハウジング内のトレイにヤニが収容されるので、そのトレイを取り出して容易に清掃を行うことができる。
請求項4の構成では、ダクトが上下に分割可能になっているので、ダクトの内部の清掃も容易に行うことができる。
請求項5の電界浄化装置では、ダクトの内側に複数の円板が張り出しているので、ヤニ成分の回収効率が向上する。また、請求項6の電界浄化装置では、複数の円板がダクトと別体になっていると共に、連結部材により連結されているリング集合体になっているので、清掃作業及び分解作業を共に容易に行うことができる。さらには、請求項7の構成のようにリング集合体も分割される構成とすれば、分解及び組み付み立て作業がさらに容易になる。
中心電極は、片持ち構造にしてもよいが、請求項8の電界浄化装置のように、ダクトの両端部に1対の電極支持部を備えて両持ち構造とすれば、ダクトを長くしても中心電極がダクトの中心部で安定する。これにより、電界が安定し、ヤニ成分の回収効率が安定する。
請求項9及び10のワーク乾燥システムは、上記した本発明に係る電界浄化装置を備えているので清掃作業が容易になり、これにより清掃時間を短くして、稼働率を上げることができる。また、電界浄化装置のダクトが、水平方向又は斜め水平方向に延びているので、天井が高くない屋内にも設置することができる。
本発明の一実施形態に係るワーク乾燥システムの概念図 電界浄化装置の正断面図 電界浄化装置の平断面図 電界浄化装置の分解斜視図 支持ボックスの側面図 ダクトの分解斜視図 リング集合体の斜視図 半円体の斜視図 下側溝体と分割体の斜視図
以下、本発明の一実施形態を図1〜図9に基づいて説明する。図1に示したワーク乾燥システム10は、図示しない塗装ブースから延長されるブース90を有し、そのブース内に昇温ゾーン11と保持ゾーン12とを連ねて備える。そして、塗装されたワークWが昇温ゾーン11内で所定温度まで昇温されてから保持ゾーン12内でさらに加熱されて塗料がワークWに固定される。
ワーク乾燥システム10には、昇温ゾーン11及び保持ゾーン12にそれぞれ別個に加熱循環路11A,12Aが設けられている。加熱循環路11A,12Aは、共にヒーター11C,12Cとファン11B,12Bとを有し、昇温ゾーン11又は保持ゾーン12内のエアーを吸引して大気と混合して加熱し、昇温ゾーン11又は保持ゾーン12に戻す。そして、保持ゾーン12の加熱循環路12Aのうちヒーター12C及びファン12Bより上流側に電界浄化装置20が設けられて、保持ゾーン12内で発生するVOC(揮発性有機化合物)等のヤニ成分が除去される。
なお、昇温ゾーン11内では、保持ゾーン12内に比べてヤニ成分の発生が少なくいので、昇温ゾーン11の加熱循環路11Aには、電界浄化装置20の代わりに従前通りのフィルター11Fが備えられている。また、昇温ゾーン11及び保持ゾーン12を有するブース90内のエアーの一部は、公知なエアー浄化装置13を経て大気に放出される。
図2に示すように、電界浄化装置20は、左右対称に配置された1対の支持ボックス21,21の間に1対のダクト30,30を連ねて備える。図4に示すように、支持ボックス21は、直方体状の箱体の前後の両角部を面取りした形状をなし、前面壁21F及び後面壁21Rにおける下側の略1/3程度が下方に向かうに従って互いに接近するように傾斜した傾斜部21S,21Sになっている。また、各支持ボックス21の上面からは、角筒状のダクト接続部22が突出している。そして、一方の支持ボックス21のダクト接続部22に保持ゾーン12の排気口に接続されると共に、他方の支持ボックス21のダクト接続部22がヒーター12Cに接続されている。
各支持ボックス21の一方の側壁21A(以下、「第1側壁21A」という)には、円形の側面開口21Cが形成されている。また、各前面壁21Fのうち各傾斜部21Sより上側部分には、矩形の前面開口21Eが形成され、さらには、図5に示すように、各支持ボックス21の他方の側壁21B(以下、「第2側壁21B」という)にも矩形の側面開口21Dが形成されている。また、それら側面開口21C,21D及び前面開口21Eの開口縁には複数の貫通孔21Kが形成されると共に(一部図示せず)、それら貫通孔21Kに重ねて各支持ボックス21の内面にナットがそれぞれ溶接されている。
図5に示すように、第2側壁21Bには、側面開口21Dを閉塞した状態に板状の蓋体28が重ねられてボルトにて固定されている。それと同様に、図4に示すように、各前面壁21Fにも前面開口21Eを閉塞した状態に板状の蓋体29が重ねられてボルトにて固定されている。
図2に示すように、第1側壁21Aの側面開口21Cの開口縁には連結ダクト23が取り付けられる。図4に示すように、連結ダクト23は、扁平な円筒壁23Hの両端部から側方に1対のフランジ23F,23Fが張り出した構造をなしている。また、各フランジ23Fには、側面開口21Cの周りの貫通孔21Kに合わせて複数の貫通孔23Kが形成されている。そして、一方のフランジ23Fが側面開口21Cの開口縁にボルトにて固定されている。
連結ダクト23には、円筒壁23Hから上方に張り出す筐体部24が備えられている。筐体部24の上端部は閉塞され、下端部は円筒壁23H内に連通している。そして、上下方向に延びる電極支持バー25の上端部が筐体部24内に固定され、電極支持バー25の下端部が連結ダクト23の円筒部分の中心部に配置されている。
電極支持バー25の下端部には、円筒壁23Hの中心軸の同軸上に貫通孔26が形成されている。また、図5に示すように、支持ボックス21の第2側壁21Bの蓋体28にも円筒壁23Hの中心軸上に貫通孔26が形成されている。そして、それら両貫通孔26,26に例えば、セラミックス製の絶縁パイプ27が貫通して、図2に示すように、電極支持バー25と蓋体28との間に絶縁パイプ27が差し渡されている。また、蓋体28には、絶縁パイプ27を保持するパイプホルダ28Hが固定されていて、そのパイプホルダ28Hにより絶縁パイプ27の軸方向の移動が規制されている。そして、この絶縁パイプ27により、後述する中心電極63を支持する電極支持部27Kが構成されている。
図4に示すように、ダクト30は、水平方向に延びる円筒壁31と、その円筒壁31の外面下部に固定されたヤニ回収ハウジング36とを有する。円筒壁31は、その中心軸を含む水平断面で上側溝体32と下側溝体33とに分割されている。
上側溝体32及び下側溝体33(以下、これらをまとめて「上下の溝体32,33」という)のうち円筒壁31の水平切断部分に相当する接合部からは、それぞれ1つずつの接合突片34,34が両側方に張り出している。接合突片34には、図示しない複数の貫通孔が形成されている。また、下側溝体33の接合突片34の下面には、貫通孔に重ねてナットが溶接されている。
円筒壁31の両端部には、内側に張り出す円環状の内向フランジ35が備えられている。それら内向フランジ35は、半円状の円弧フランジ35A,35Aに上下に2分割されて上下の溝体32,33の両端部に溶接されている。また、内向フランジ35には、連結ダクト23のフランジ23Fの複数の貫通孔23Kに対応した複数の貫通孔35Kが形成されている。さらに、円筒壁31の一端の内向フランジ35のみの内面に、貫通孔35Kに重ねてナットが溶接されている。そして、上側溝体32,32同士及び下側溝体33,33同士が、ナットを有しない側の円弧フランジ35A,35Aを重ねられて、ボルトとナットにて固定されてから、上側溝体32,32及び下側溝体33,33の接合突片34,34同士が上下に重ねられてボルトにて固定され、ダクト30,30が直列状態に連結される。その状態で両ダクト30,30のナットを有する側の円弧フランジ35A,35Aにそれぞれ連結ダクト23のフランジ23Fが重ねられてボルトにて固定される。
図6に示すように、ヤニ回収ハウジング36は、円筒壁31の長手方向に延びかつ両端部を閉塞された角溝形状をなし、上面開口が円筒壁31にて閉塞された状態に溶接されている。また、図3に示すように、ヤニ回収ハウジング36は、円筒壁31より僅かに短く、ヤニ回収ハウジング36の両端部は、円筒壁31の両端寄り位置に配置されている。さらに、円筒壁31の最下端部には、一端寄り位置から他端寄り位置に亘ってスリット状のヤニ排出孔31Sが形成され、そのヤニ排出孔31Sを介して円筒壁31内とヤニ回収ハウジング36内とが連通している。
また、図3に示すように、ヤニ回収ハウジング36の下面から円筒壁31の中心までの距離と、各支持ボックス21の下面から側面開口21Cの中心までの距離とは同じになっている。そして、図2に示すように、各支持ボックス21とダクト30,30とが同じ床面上に載置されている。また、図6に示すように、ヤニ回収ハウジング36のうち長手方向に延びる一側面には、外縁部を除く全体に開口37が形成されている。さらに、開口37の開口縁には、複数の螺子孔36Nが形成されている。そして、ヤニ排出孔31Sと略同一の長さの溝形のトレイ60がヤニ回収ハウジング36内のヤニ回収部屋36Sに収容され、帯板状の蓋体39が開口37が閉塞した状態にボルトにて固定されている。
各ダクト30の内部には、図7に示したリング集合体40が収容されている。リング集合体40全体は、ダクト30に丁度収まる円筒状の桟構造をなしている。具体的には、リング集合体40には、長手方向に等間隔に並ぶ複数のリング41と、それらリング41,41の間を連絡する複数の連結ロッド44とを備えてなる。リング41は、扁平な円筒部42と、その円筒部42の一端から側方に張り出す環状の円板部43とを備えてなり、円板部43に複数の貫通孔43Aが形成されている。また、図8に示すように、連結ロッド44は、円柱状の本端部44Aを有し、その一端面から本端部44Aより外径が小さい雄螺子部44Bが突出し、本端部44Aの他端部には、他端面に開口する雌螺子孔(図示せず)が形成されている。そして、リング41の円板部43の貫通孔43Aを介して連結ロッド44,44同士が螺合され、それら連結ロッド44,44に貫通孔43Aの開口縁が挟まれている。また、リング集合体40の一端のリング41の貫通孔43Aには図示しないボルトが通されて連結ロッド44の雌螺子孔に螺合される一方、他端の連結ロッド44の雄螺子部44Bには、ナットN(図7参照)が螺合されている。このようにしてリング41が連結ロッド44によって連結されてリング集合体40が構成されている。
リング集合体40は、各リング41の円板部43が円筒部42より下流側に位置するようにダクト30に収容されている。また、図4に示すように、リング集合体40は、その両端部が円筒壁31の内向フランジ35,35に隣接することで、円筒壁31の軸方向で位置決めされている。
図6に示すように、連結ロッド44は、ダクト30の円筒壁31と同様に、中心軸を含む水平断面で1対の分割体45,45に2分割されている。即ち、リング集合体40を構成する複数のリング41は、図8に示すように、1対の半円体50,50に上下に2分割され、図6に示すように、複数の半円体50が連結ロッド44にて連結されて分割体45,45を構成している。また、図8に示すように、各半円体50の両端部には、円筒部42と円板部43とに跨って端部プレート46が溶接されている。端部プレート46は、正方形の板状をなし、その隣り合う2辺の一方が円筒部42の先端縁に溶接される一方、他方が円板部43の先端縁に溶接されている。そして、各半円体50の先端面が1対の端部プレート46,46によって形成され、図1に示すように、下側の分割体45の端部プレート46に対し、上側の分割体45の端部プレート46が重ね合わされた状態になっている。また、各分割体45が上側溝体32と下側溝体33との丁度収まる(図9参照)。
図2に示すように、1対の絶縁パイプ27,27には、金属ワイヤー62が挿通されてテンションをかけられ、ダクト30の中心に延びる中心電極63が形成されている。具体的には、金属ワイヤー62の両端部が一方の絶縁パイプ27と他方の絶縁パイプ27から延びた状態でその一端部に抜け止め用のクランプ(図示せず)が固定される一方、他端部がコイルバネ等によって引っ張られている。そして、中心電極63(金属ワイヤー62)は、電界浄化装置20を支持する架台又は地面から絶縁される一方、ダクト30及びリング集合体40が架台又は地面をアースとして接続され、中心電極63とアースとの間に、直流電圧が印加されている。これにより、中心電極63とダクト30との間に電界が生成される。
本実施形態のワーク乾燥システム10及び電界浄化装置20の構成に関する説明は以上である。次ぎに、ワーク乾燥システム10及び電界浄化装置20の作用効果について説明する。
ワーク乾燥システム10の稼働中は、保持ゾーン12からヤニ成分含有エアーが電界浄化装置20に送給されてくる。そして、ヤニ成分含有エアーがダクト30を通過するときに、ヤニ成分の粒子が、ダクト30内の電界によるクーロン力によりダクト30の内面側に引き寄せられてリング集合体40の隙間に集められる。詳細には、リング集合体40は、複数のリング41からなり、それらリング41に備えた円板部43がダクト30の内面から突出しているので、ダクト30の内面側に引き寄せられたヤニ成分が効率よく円板部43に付着する。しかも、円板部43の内縁部から上流側に円筒部42が突出しているので、円筒部42より外側に入り込んだヤニ成分が風圧の影響を受け難く、吹き飛ばされることが防がれる。そして、ダクト30の内面及びリング集合体40に付着したヤニ成分が集まってヤニとなり、重力によって流下する。その際、ヤニは、ダクト30の周方向に移動してダクト30の下端部に集まるので、従来のようにヤニがダクトの軸方向に移動して集められるものに比べてヤニの移動距離が短くなり、ヤニの回収が容易になる。そして、ヤニ排出孔31Sを通ってヤニ回収ハウジング36内のトレイ60に溜まっていく。そこで、所定量のヤニがトレイ60に溜まったら、ワーク乾燥システム10が停止している間に、ヤニ回収ハウジング36から蓋体39をはずして開口37を開き、トレイ60を取り出して新しいトレイ60と交換すればよい。そして、トレイ60だけを清掃すれば、電界浄化装置20全体を分解することなく、また、ワーク乾燥システム10を長期間に亘って停止することなしに、ヤニの清掃を容易に行うことができる。
また、ワーク乾燥システム10全体のメンテナンスする際には、ダクト30を上側溝体32と下側溝体33とに分割し、さらにリング集合体40を取り出せば、ダクト30内及びリング集合体40を容易に清掃することができる。しかも、リング集合体40は、分割体45,45に2分割されているので、ダクト30への出し入れを容易に行うことができる。さらに、リング集合体40を複数のリング41に分割して清掃することも可能である。また、ダクト30は、水平方向に延びているので、ダクトが上下方向に延びた従来のものに比べて、清掃時に上下方向への移動が少なくて済む。
このように本実施形態の電界浄化装置20では、清掃作業を容易に行うことができる。これにより、清掃の作業時間が短くなり、ワーク乾燥システム10の稼働率を上げることができる。また、ダクト30が、水平方向に延びているので、天井が高くない屋内にも設置することができる。さらには、ダクト30の両端部に備えた1対の電極支持部27K,27Kにより中心電極63が両持ち状態に支持されているので、ダクト30を長くしても中心電極63がダクト30の中心部で安定する。これにより、電界も安定し、ヤニ成分の回収効率も安定する。
[他の実施形態]
前記実施形態以外にも以下に例示する構成が考えられる。
(1)前記実施形態の電界浄化装置20では、ダクト30が水平方向に延びていたが、例えば、水平方向に対して45度以下の角度でダクト30を傾斜させてもよい。
(2)前記実施形態の電界浄化装置20では、中心電極63が両持ち状態に支持されていたが、片持ち状態に支持されていてもよい。
(3)前記実施形態の電界浄化装置20では、ダクト30の下部にスリット状のヤニ排出孔31Sが連続して延びていたが分断されていてもよい。また、ヤニ排出孔31Sが丸孔形状をなしてダクト30の下端部に列をなして形成されていてもよい。
(4)前記実施形態の電界浄化装置20のヤニ回収ハウジング36には、トレイ60が収容されていたが、トレイ60が収容されていなくて、ヤニ回収ハウジング36に形成された排出孔から外の用意された容器にヤニが排出される構成としてもよい。
(5)前記実施形態のワーク乾燥システム10では、保持ゾーン12の加熱循環路12Aの途中のみに電界浄化装置20が備えられていたが、昇温ゾーン11の加熱循環路11Aの途中に電界浄化装置20を備えてもよい。また、ブース90内のエアーの一部を大気に放出する排気路に電界浄化装置20を設けてもよい。具体的には、ブース90内のエアーの一部を大気に放出させる排気路のうち前述の公知なエアー浄化装置13(図1参照)の手前に電界浄化装置20を設けるか、エアー浄化装置13の代わりに電界浄化装置20を備えてもよい。また、保持ゾーン12の後工程に設けられる冷却ゾーン91のエアーを大気に放出させる排気路に電界浄化装置20を備えてもよい。
10 ワーク乾燥システム
11 昇温ゾーン
11A,12A 加熱循環路
12 保持ゾーン
20 電界浄化装置
27K 電極支持部
30 ダクト
31S ヤニ排出孔
36 ヤニ回収ハウジング
37 開口
39 蓋体
40 リング集合体
41 リング
43 円板部
60 トレイ
63 中心電極

Claims (10)

  1. ヤニ成分含有エアーが通過する断面略円形のダクトと、その中心部に沿って延びる中心電極との間に電界を発生させてヤニ成分を前記ダクトの内面に集める電界浄化装置であって、
    前記ダクトは、水平方向に対して平行又は傾斜する方向に延び、
    前記ダクトの下部を内外に貫通し、前記ヤニ成分が凝集してなるヤニを排出するヤニ排出孔と、
    前記ヤニ排出孔に下方から臨むヤニ回収部屋を内側に有すると共に、蓋体にて開閉される開口を有するか、又は、前記ダクトに着脱可能に取り付けられるヤニ回収ハウジングと、を備える電界浄化装置。
  2. 前記ヤニ排出孔は、前記ダクトの軸方向に延びるスリット構造をなしている請求項1に記載の電界浄化装置。
  3. 前記ダクトは、水平に延び、
    前記ヤニ回収ハウジングは、前記ダクトの軸方向に延びて、内部に細長いトレイを収容し、前記ヤニ回収ハウジングの一側面には、前記トレイを出し入れするための横長の前記開口と、前記開口を閉塞する横長の前記蓋体と、が備えられている請求項1又は2に記載の電界浄化装置。
  4. 前記ダクトは、その中心軸を含む分割面で上下に分割可能になっている請求項1乃至3の何れか1の請求項に記載の電界浄化装置。
  5. 前記ダクトから内側に複数の円板が張り出している請求項4に記載の電界浄化装置。
  6. 前記複数の円板は、前記ダクトと別体をなしかつ連結部材により連結されているリング集合体になっている請求項5に記載の電界浄化装置。
  7. 前記リング集合体は、その中心軸を含む分割面で分割可能になっている請求項6に記載の電界浄化装置。
  8. 前記ダクトの両端部に配置され、前記中心電極を支持する1対の電極支持部を備える請求項1乃至7の何れか1の請求項に記載の電界浄化装置。
  9. 塗装されたワークを乾燥させるブースと、
    前記ブース内のヤニ成分含有エアーを吸引して加熱して前記ブースに戻す加熱循環路と、
    前記加熱循環路の途中に接続される請求項1乃至8の何れか1の請求項に記載の電界浄化装置と、を備えるワーク乾燥システム。
  10. 塗装されたワークを乾燥させるブースと、
    前記ブース内のエアーを大気に放出する排気経路の途中に接続される請求項1乃至8の何れか1の請求項に記載の電界浄化装置と、を備えるワーク乾燥システム。
JP2018071556A 2018-04-03 2018-04-03 電界浄化装置及びワーク乾燥システム Active JP7144172B2 (ja)

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