JP2019166464A - 超純水供給装置及び超純水供給方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の一態様では、前記配管は、サブシステムからの超純水を該サブシステムの入口側に導く主配管と、該主配管に連なる洗浄機入口配管とを有しており、前記水撃抑制手段は、該洗浄機入口配管から超純水の一部を主配管に返送するバイパス配管である。
図6に示すように、図1の超純水供給装置において、ループ配管3に圧力計20を設けると共に、内径25mmのPVDF(ポリビニルジフルオライド)製洗浄機入口配管4から分岐したPVDF製サンプリング配管21にパーティクルモニタ22を設置した。
バルブの開閉速度を0.1秒としたこと以外は実施例1と同一条件とした。試験開始5分後から15分ごとに開閉しパーティクル量を測定した。結果を図8に示す。
2 主配管
3 ループ配管
4 洗浄機入口配管
5 電動弁
6,7 サージタンク
8 バイパス配管
10 ダンパ
Claims (5)
- サブシステムからの超純水を配管を介してユースポイントに供給する超純水供給装置において、該配管に生じる水撃を抑制する手段を備えたことを特徴とする超純水供給装置。
- 前記水撃抑制手段は、開閉速度が0.5〜5秒の電動弁であることを特徴とする請求項1の超純水供給装置。
- 前記配管は、サブシステムからの超純水を該サブシステムの入口側に導く主配管と、該主配管に連なる洗浄機入口配管とを有しており、
前記水撃抑制手段は、該洗浄機入口配管から超純水の一部を主配管に返送するバイパス配管であることを特徴とする請求項1の超純水供給装置。 - 前記水撃抑制手段は、ユースポイントに供給される超純水の一部を排出するダンパであることを特徴とする請求項1の超純水供給装置。
- サブシステムからの超純水を、主配管を介して該サブシステムの入口側に導く主配管と、該主配管に連なるループ配管と、このループ配管に連なる洗浄機入口配管とを含む配管設備によってユースポイントに供給する超純水供給方法において、洗浄機入口配管の流量F4と該サブシステムの主配管からループ配管に流れる超純水の流量F3との比率(F4/F3×100%)を70%以下とすることを特徴とする超純水供給方法。
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