JP2019161459A - 圧電振動デバイス - Google Patents
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Abstract
Description
先ずは、本実施の形態にかかる水晶発振器100の基本的な構造を説明する。水晶発振器100は、図1に示すように、水晶振動板(圧電振動板)10、第1封止部材20、第2封止部材30、およびICチップ40を備えて構成されている。この水晶発振器100では、水晶振動板10と第1封止部材20とが接合され、水晶振動板10と第2封止部材30とが接合されることによって、略直方体のサンドイッチ構造のパッケージが構成される。すなわち、水晶発振器100においては、水晶振動板10の両主面のそれぞれに第1封止部材20および第2封止部材30が接合されることでパッケージの内部空間が形成され、この内部空間に振動部11(図4,5参照)が気密封止される。
・貫通孔71からスルーホールの周辺部に向かって−Z´方向側および+X方向側に延びる第1結晶面S1と、
・貫通孔71からスルーホールの周辺部に向かって−Z´方向側および+X方向側に延び、かつ第1結晶面S1に対して+Z´方向側および+X方向側に接触する第2結晶面S2と、
・第2結晶面S2に対して+X方向側に接触し、かつATカット水晶板70の主面に接触する(スルーホールの外周縁部に接触する)第3結晶面S3と、
が存在する。
10 水晶振動板(圧電振動板)
11 振動部
111 第1励振電極
112 第2励振電極
12 外枠部
13 保持部
20 第1封止部材
201 (第1封止部材の)第1主面
202 (第1封止部材の)第2主面
211 第3スルーホール(第1封止部材のスルーホール)
212 第4スルーホール(第1封止部材のスルーホール)
213 第5スルーホール(第1封止部材のスルーホール)
30 第2封止部材
40 ICチップ
70 ATカット水晶板
71 貫通孔
72 傾斜面
73 段差部
80 1回目のエッチングで用いるマスク
81 2回目のエッチングで用いるマスク
81A 拡張部
S1 第1結晶面
S2 第2結晶面
S3 第3結晶面
L1 第1稜線
L2 第2稜線
Claims (3)
- 圧電振動板と、
前記圧電振動板の一主面側を覆う第1封止部材と、
前記圧電振動板の他主面側を覆う第2封止部材と、が設けられ、
前記第1封止部材と前記圧電振動板とが接合され、前記第2封止部材と前記圧電振動板とが接合されて、第1励振電極と第2励振電極とを含む前記圧電振動板の振動部を気密封止した内部空間が形成された圧電振動デバイスにおいて、
前記圧電振動板は、振動部と、前記振動部を保持する保持部と、前記振動部の外周を取り囲むと共に前記保持部を保持する外枠部とを有しており、
前記第1封止部材は、ATカット型の水晶板から形成されており、
前記第1封止部材には、前記圧電振動板における外枠部の内周縁部の+Z’方向側にスルーホールが設けられており、
前記スルーホールは、前記圧電振動板との接合面と反対側の主面において、周辺部から中央部の貫通孔に向けての傾斜面を有しており、
前記傾斜面では、少なくとも前記貫通孔から−Z’方向側および+X方向側の領域に、前記スルーホールの外周側に段差部が形成されていることを特徴とする圧電振動デバイス。 - 請求項1に記載の圧電振動デバイスであって、
前記段差部の深さが、5μm以上20μm以下であることを特徴とする圧電振動デバイス。 - 請求項1または2に記載の圧電振動デバイスであって、
前記段差部の内周縁と外周縁との間の最大距離が、5μm以上20μm以下であることを特徴とする圧電振動デバイス。
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