JP2019153720A

JP2019153720A - ウエハ搬送容器及びウエハ搬送容器の位置検出方法、ウエハ搬送容器の位置及び衝撃検出方法、ウエハ搬送容器の移動速度及び加速度制御方法、ウエハ搬送容器内清浄化方法。

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Publication number: JP2019153720A
Application number: JP2018038953A
Authority: JP
Inventors: 武加賀谷; Takeshi Kagaya; 達裕小番; Tatsuhiro Koban; 睦夫佐々木; Mutsuo Sasaki
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 2018-03-05
Filing date: 2018-03-05
Publication date: 2019-09-12
Anticipated expiration: 2038-03-05
Also published as: JP7157368B2

Abstract

【課題】ウエハ搬送容器の位置を安定的かつ高精度に検出することが可能なウエハ搬送容器の位置検出方法及びウエハ搬送容器を提供すること。【解決手段】ウエハを収容する収容部を備える本体と、加速度センサと角速度センサを備える検出部と、前記検出部によって取得した加速度データ及び角速度データ、または前記加速度データ及び前記角速度データから算出したデータを外部に送信する通信部とを有することを特徴とするウエハ搬送容器。【選択図】図３

Description

本発明は、ウエハ搬送容器及びウエハ搬送容器の位置検出方法に関し、より詳細には、ウエハ搬送容器に設置されたセンサによってウエハ搬送容器の位置を検出できるようにしたウエハ搬送容器及びウエハ搬送容器の位置検出方法に関する。

半導体工場内では、半導体ウエハ等の基板が収容された容器（ＦＯＵＰ等）が、ＯＨＴ（オーバーヘッドトランスポート）等の搬送装置を介して各処理装置間を移動する。

ウエハ搬送行程において、ウエハ搬送容器が工場内のどこに存在するかを検知するために、例えば特許文献１には、ウエハ搬送容器にＧＰＳ受信機を設置することが開示されている。

特表２００５−５１３４５９号公報

特許文献１に係るウエハ搬送容器の位置特定方法では、ＧＰＳ衛星からの電波が工場の天井や壁によって遮蔽され、ＧＰＳ受信機の受信感度が低下するため、安定かつ高精度な測位を行うことが困難である。

本発明は、このような実状に鑑みてなされ、ウエハ搬送容器の位置を安定的かつ高精度に検出することが可能なウエハ搬送容器の位置検出方法及びウエハ搬送容器を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明は、ウエハを収容する収容部を備える本体と、加速度センサと角速度センサを備える検出部と、前記検出部によって取得した加速度データ及び角速度データ、または前記加速度データ及び前記角速度データから算出したデータを外部に送信する通信部とを有することを特徴とするウエハ搬送容器を提供する。

本発明に係るウエハ搬送容器は、ＧＰＳを用いなくても、加速度センサと角速度センサによってウエハ搬送容器の位置を特定することができるため、天井や壁などの遮蔽物が存在する工場などの屋内においても、ウエハ搬送容器の位置を安定的かつ高精度に追跡することができる。

また、例えば、前記検出部と前記通信部は、前記本体の底部に収納されていてもよい。

検出部と通信部がウエハ搬送容器本体の底部に収納されていることで、検出部と通信部がウエハ搬送容器の内部に存在することによる容器内部の汚染等を回避しながら、容器の状態を検出することができる。

また、例えば、前記検出部と前記通信部は、前記本体の外面に着脱可能なアタッチメント部材として構成されていてもよい。

検出部と通信部がウエハ搬送容器本体の外面に着脱可能なアタッチメント部材として構成されることで、検出部と通信部がウエハ搬送容器の内部に存在することによる容器内部の汚染等を回避しながら、容器の状態を検出することができる。また、ウエハ搬送容器の洗浄時等に検出部と通信部を容器から取り外したり、検出部と通信部を他のウエハ搬送容器に付け替えて使用したりすることができる。

また、本発明に係るウエハ搬送容器は、前記検出部と前記通信部に電力を供給する電源部をさらに有し、前記電源部は、非接触給電によって外部から電力の供給を受ける受電部を備えていてもよい。

検出部と通信部に電力を供給する電源部への電力供給が非接触給電によって行われることで、ウエハ搬送容器は、外部と導通する配線がなくても、検出部と通信部に電力を供給することができる。そのため、ウエハ搬送容器に電気的なデバイスである検出部及び通信部が設置されても、ウエハ搬送容器の気密性や耐久性が阻害されない。

また、本発明に係るウエハ搬送容器は、前記加速度データと前記角速度データを処理するデータ処理部をさらに有していてもよい。

ウエハ搬送容器が加速度データと角速度データを処理するデータ処理部を有していることで、データ処理装置をウエハ搬送容器の外部に設ける必要がないため、工場内におけるデータ処理装置の設置スペースを節減することができる。

また、例えば、前記検出部は、温度センサ、湿度センサ、酸素センサ、窒素センサ、及びパーティクルカウンタから選ばれる少なくとも１つをさらに備えていてもよい。

検出部が上述のセンサを備えることで、ウエハ搬送容器内部の環境状態を検出することができる。

また、本発明は、ウエハ搬送容器の加速度を検出する加速度検出ステップと、前記ウエハ搬送容器の角速度を検出する角速度検出ステップと、前記加速度検出ステップと前記角速度検出ステップにて取得した加速度データと角速度データを、前記ウエハ搬送容器が有するデータ処理部または外部に設けられたデータ処理装置に送信する加速度データ及び角速度データ送受信ステップと、前記データ送受信ステップにて取得した前記加速度データと前記角速度データに基づき、前記データ処理部または前記データ処理装置にて前記ウエハ搬送容器の位置を算出する位置算出ステップとを含むことを特徴とするウエハ搬送容器の位置検出方法を提供する。

本発明に係るウエハ搬送容器の位置検出方法は、ＧＰＳを用いることなく、加速度センサと角速度センサによってウエハ搬送容器の位置を特定するため、天井や壁などの遮蔽物が存在する工場などの屋内においても、ウエハ搬送容器の位置を安定的かつ高精度に追跡することができる。

また、例えば、前記位置算出ステップでは、前記データ処理部にて前記ウエハ搬送容器の位置を算出し、算出した前記ウエハ搬送容器の位置データを外部に送信する位置データ送受信ステップがさらに含まれていてもよい。

ウエハ搬送容器に設けられたデータ処理部でウエハ搬送容器の位置を算出することで、ウエハ搬送容器自体が、他の機器に対してウエハ搬送容器の位置を通信することができる。

また、例えば、前記ウエハ搬送容器がロードポートに載置されたことを検出する載置検出ステップがさらに含まれ、前記位置算出ステップにおいて、前記ウエハ搬送容器の位置は、前記ウエハ搬送容器がロードポートに載置された位置との相対位置として算出されてもよい。

ウエハ搬送容器の位置を、ウエハ搬送容器がロードポートに載置された位置との相対位置として算出することで、ロードポートを基準にしてウエハ搬送容器の位置を追跡することができる。

また、例えば、前記ウエハ搬送容器がロードポートに載置されたことを検出する載置検出ステップと、前記ウエハ搬送容器がロードポートに載置された状態の前記加速度データ、前記角速度データ、及び前記ウエハ搬送容器の位置データを用いて、前記加速度データ、前記角速度データ、及び前記ウエハ搬送容器の位置データのうちの少なくとも１つを補正する補正ステップとがさらに含まれてもよい。

ウエハ搬送容器がロードポートに載置された状態の加速度データ、角速度データ、及び位置データを用いて加速度データ、角速度データ、位置データの補正を行うことで、これらの誤差を低減または防止し、ウエハ搬送容器の位置をより高精度に検出することができる。

また、本発明は、上述のウエハ搬送容器の位置検出方法に加え、前記加速度データ及び角速度データ送受信ステップにて取得した前記加速度データに基づき、前記データ処理部または前記データ処理装置にて前記ウエハ搬送容器に加わる衝撃を算出する衝撃算出ステップを含むことを特徴とするウエハ搬送容器の位置及び衝撃検出方法を提供する。

上述のウエハ搬送容器の位置検出方法に加え、ウエハ搬送容器に加わる衝撃を算出する衝撃算出ステップを含むことで、ウエハ搬送容器への衝撃と、衝撃発生時のウエハ搬送容器の位置を同時に検出することができる。

また、本発明は、上述のウエハ搬送容器の位置及び衝撃検出方法に加え、前記位置算出ステップにて取得した位置データと、前記衝撃算出ステップにて取得した衝撃データとに基づき、前記ウエハ搬送容器の位置に応じて前記ウエハ搬送容器を移動させる速度及び加速度を調整する移動速度及び加速度調整ステップを含むことを特徴とするウエハ搬送容器の移動速度及び加速度制御方法を提供する。

ウエハの搬送行程において、ウエハ搬送容器に衝撃が加わらないように、搬送装置やロードポートによってウエハ搬送容器を移動させる速度及び加速度を調整することで、衝撃によりウエハ搬送容器の内部が汚染されることを防止し、ウエハの歩留まりを向上させることができる。

また、本発明は、上述のウエハ搬送容器の位置検出方法、ウエハ搬送容器の位置及び衝撃検出方法、またはウエハ搬送容器の移動速度及び加速度制御方法に加え、前記ウエハ搬送容器の加速度または前記ウエハ搬送容器に加わる衝撃が所定値を超えた場合に、前記ウエハ搬送容器の内部を清浄化するウエハ搬送容器内清浄化ステップを含むことを特徴とするウエハ搬送容器内清浄化方法を提供する。

ウエハ搬送容器に所定値を超える衝撃が加わった場合にウエハ搬送容器を清浄化工程に移送し、衝撃によって汚染されたウエハ搬送容器の内部を清浄化することで、ウエハの歩留まりを向上させることができる。

図１は、本発明の一実施形態に係るウエハ搬送容器の概略斜視図である。図２は、本発明の一実施形態に係る検出装置の概略斜視図である。図３は、本発明の一実施形態に係るウエハ搬送容器の位置検出方法の構成を示すブロック図である。図４は、本発明の一実施形態に係るウエハ搬送容器の位置検出方法の構成を示すブロック図である。図５は、本発明の一実施形態に係るウエハ搬送容器がロードポートに載置された状態を示す概略斜視図である。図６は、ウエハ搬送容器が搬送装置（ＯＨＴ）によって搬送される様子を示す概略図である。

以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づいて説明する。

図１は、本発明の一実施形態に係るウエハ搬送容器１０を示す概略斜視図である。ウエハ搬送容器１０は、半導体工場内においてウエハを収容及び搬送するための容器（ＦＯＵＰ等）である。図１に示すように、ウエハ搬送容器１０は、箱型の外形状を有し、内部にウエハ（不図示）を収容する空間（収容部）が形成された本体１を有する。ウエハ搬送容器１０の本体１の複数の側面の一つには、ウエハ搬送容器１０内にウエハを出し入れするための開口３が形成されている。ウエハの搬送を行う際、ウエハ搬送容器１０の開口３には、ウエハ搬送容器１０の内部を密閉するための蓋（不図示）が着脱自在に配置される。

図１に示すように、ウエハ搬送容器１０の本体１の底部２には、ウエハ搬送容器１０の状態を検出して通知する検出装置２０が設けられている。図１において、検出装置２０は、開口３に対して近い位置に配置された２箇所の底部開口４（ウエハ搬送容器１０の内部を清浄化する際、パージガスの給排気孔として使用される）の間に設けられているが、検出装置２０の配置はこれに限定されない。また、検出装置２０は、ウエハ搬送容器１０の本体１の底部２に収納されていてもよいし、ウエハ搬送容器１０の本体１の外面に設けられていてもよい。

図２は、本発明の一実施形態に係る検出装置２０の概略斜視図である。図２に示すように、検出装置２０は、検出部２１、通信部２２及び電源部２３が配置された基板２４を備えており、基板２４の表面の大部分が樹脂等からなる被覆部２５で覆われた構成を有している。検出装置２０は、例えば、ウエハ搬送容器１０の本体１の底部２に収納されている。

検出装置２０は、ウエハ搬送容器１０の本体１から着脱可能に収納されてもよいし、着脱不可に収納されてもよい。例えば、図１に示す検出装置２０は、外部から見えないように、底部２の内部に収容されていてもよく、また、ウエハ搬送容器１０の本体１の外面２ａ（例えば、底部２の外側面）に着脱可能なアタッチメント部材として構成されていてもよい。

検出装置２０を外面２ａに着脱可能に配置することで、検出装置２０やその収容部分がウエハ搬送容器１０の内部に存在することでウエハ搬送容器１０内部の清浄度を低下させるパーティクル発生源等となる問題を回避しながら、ウエハ搬送容器１０の状態を検出することができる。さらに、検出装置２０をウエハ搬送容器１０の本体１に着脱可能に構成することで、ウエハ搬送容器１０の洗浄時等に検出装置２０をウエハ搬送容器１０から取り外すことが可能であり、また、必要に応じて、検出装置２０を他のウエハ搬送容器１０に付け替えて使用することができる。ただし、検出装置２０の形状及び構造はこれらに限定されるものではない。

図２に示す検出装置２０の検出部２１は、ウエハ搬送容器１０の状態を検出する複数のセンサを備える。図３に示すように、検出部２１は、加速度センサ２１ａと角速度センサ（ジャイロセンサ）２１ｂを備える。ただし、検出部２１が備えるセンサは、加速度センサ２１ａと角速度センサ２１ｂのみに限定されない。検出部２１は、ウエハ搬送容器１０内部の環境状態（気体成分や清浄度等）を検出する内部状態検出センサ２１ｃをさらに備えていてもよい。内部状態検出センサ２１ｃとしては、例えば、温度センサ、湿度センサ、酸素センサ、窒素センサ及びパーティクルカウンタ等が挙げられる。

図３に示す内部状態検出センサ２１ｃを有する検出部２１は、図２に示すように、被覆部２５から露出したセンシング部２１ｄを備える。センシング部２１ｄは、ウエハ搬送容器１０の底部２においてセンシング部２１ｄに対応する位置に設けられた貫通孔（不図示）を介して、ウエハ搬送容器１０における収容部５の雰囲気と接触しており、内部状態検出センサ２１ｃは、センシング部２１ｄを介してウエハ搬送容器１０内部の環境状態を検出する。

図３に示すように、通信部２２は、加速度センサ２１ａ、角速度センサ２１ｂ、及び内部状態検出センサ２１ｃによって取得したデータをウエハ搬送容器１０の外部に設けられたホストコンピュータ３０のデータ処理装置４０に無線送信する。ホストコンピュータ３０は、工場内におけるウエハの搬送を制御するコンピュータである。なお、データ処理装置４０は、必ずしもホストコンピュータ３０に配置されている必要はなく、ウエハ搬送容器１０の外部の任意の場所に設けることができる。ただし、第２実施形態に示すように、データ処理装置は、ウエハ搬送容器１０の内部に配置される場合もある。また、通信部２２は、ウエハ搬送容器１０の外部に設けられた制御装置から検出装置２０に関する制御信号を受信することも可能である。通信部２２は、モデムやアンテナ等で構成されるが、通信部２２の具体的な構成については、特に限定されない。

図２に示すように、電源部２３は、ウエハ搬送容器１０の外部から電力を受け取る受電部２３ａと、受電部２３ａが受け取った電力を蓄える蓄電部２３ｂとを有する。受電部２３ａとしては、例えば、蓄電部２３ｂへの非接触充電に用いられる受電コイルなどが挙げられる。蓄電部２３ｂとしては、リチウムイオン二次電池、電気二重層キャパシタ（ＥＤＬＣ）、全固体電池などが例示されるが、特に限定されない。電源部２３が受電部２３ａと蓄電部２３ｂとを有することにより、電池の交換等を行わなくても、継続的にウエハ搬送容器１０の状態検出及び検出結果の通信を行うことができる。したがって、このようなウエハ搬送容器１０は、電池の寿命を管理する手間を削減することができ、電池の管理コスト及び交換コストを低減することができる。

本実施形態において、電源部２３の受電部２３ａは、非接触充電用の受電コイルを有しており、ロードポート６０（図４参照）の載置台６１に設けられた給電部から、電磁誘導により電力の供給を受ける。ロードポート６０の給電部は、例えば、ウエハ搬送容器１０が載置台６１に載置された状態において、電源部２３の受電コイルに対向するように設けられた非接触給電用の給電コイルを有する。

受電部２３ａが非接触充電用の受電コイルを有することにより、ウエハ搬送容器１０は、外部と導通する配線がなくても、蓄電部２３ｂを充電することができる。そのため、ウエハ搬送容器１０に電気的なデバイスである検出部２１及び通信部２２が設置されても、ウエハ搬送容器１０の気密性や耐久性をほとんど阻害することがない。受電部２３ａを介して蓄電部２３ｂが蓄えた電力は、検出部２１や通信部２２に供給され、ウエハ搬送容器１０の状態検出や検出データの送受信などに利用される。

図２に示す被覆部２５は、ウエハ搬送容器１０内の雰囲気に接触するセンシング部２１ｄを除く検出部２１、通信部２２、及び電源部２３をウエハ搬送容器１０においてウエハを収容する収容部５の雰囲気に接触しないように被覆している。このような被覆部２５を有する検出装置２０は、検出部２１、通信部２２、及び電源部２３を構成する回路や電子部品等を、ウエハ搬送容器１０に収容されたウエハから放出されるアウトガス等から保護することができるため、好適な信頼性を有する。

以下で述べるように、本発明では、検出部２１が有する加速度センサ２１ａと角速度センサ２１ｂを用いて、ウエハ搬送容器１０の位置を特定することができる。

加速度センサ２１ａは、検出方向における移動体の加速度、すなわち単位時間あたりの速度の変化量に応じた値を出力するセンサである。加速度センサ２１ａとしては、例えば、静電容量型加速度センサ、ピエゾ抵抗型加速度センサなどが例示されるが、特に限定されない。加速度センサ２１ａは、ウエハ搬送容器１０の少なくとも１軸方向の加速度を検出可能に構成され、好ましくは３軸方向の加速度を検出可能な３軸加速度センサとして構成される。加速度センサ２１ａを３軸加速度センサとして構成することで、センサを小型化できるとともに、より正確な検出を行うことができる。

角速度センサ２１ｂは、検出方向における移動体の回転運動の角速度、すなわち単位時間あたりの回転角度に応じた値を出力するセンサである。角速度センサ２１ｂとしては、例えば、振動ジャイロセンサ、光ファイバジャイロセンサなどが例示されるが、特に限定されない。角速度センサ２１ｂは、ウエハ搬送容器１０の少なくとも１軸回りの角速度を検出可能に構成され、好ましくは３軸回りの角速度を検出可能な３軸角速度センサとして構成される。角速度センサ２１ｂを３軸角速度センサとして構成することで、センサを小型化できるとともに、より正確な検出を行うことができる。

図３および図４に示すように、検出部２１の加速度センサ２１ａ及び角速度センサ２１ｂが、工場内を移動するウエハ搬送容器１０の加速度及び角速度を検出する。ウエハ搬送容器１０は、例えば、図６に示すウエハ搬送容器搬送システム７０のＯＨＴ７１を介して走行レール７２に沿ってウエハ処理装置６２間を移動する。また、例えば、ウエハ搬送容器１０は、ウエハ処理装置６２との間でウエハの受け渡しを行う際に、ロードポート６０の載置台６１上を移動する。加速度センサ２１ａ及び角速度センサ２１ｂによって検出されたウエハ搬送容器１０の加速度データと角速度データは、通信部２２を介してホストコンピュータ３０のデータ処理装置４０に出力される。

データ処理装置４０は、取得した加速度データと角速度データに基づき、ウエハ搬送容器１０の位置を算出する。以下、データ処理装置４０が加速度データと角速度データからウエハ搬送容器１０の位置を求める処理について説明する。

図３に示すように、所定の時間周期Δｔごとに、加速度センサ２１ａ及び角速度センサ２１ｂで検出された加速度データα及び角速度データωがデータ処理装置４０に出力される。データ処理装置４０は、時刻ｔにおける加速度センサ２１ａ及び角速度センサ２１ｂからの出力データに基づき、ウエハ搬送容器１０の加速度α_ｔ及び角速度ω_ｔを得る。

データ処理装置４０の移動距離算出部４０ａは、加速度α_ｔから時間周期Δｔにおけるウエハ搬送容器１０の速度ｖ_ｔを算出する。さらに、移動距離算出部４０ａは、速度ｖ_ｔと加速度α_ｔから時間周期Δｔにおけるウエハ搬送容器１０の移動距離ΔＤ_ｔを算出する。データ処理装置４０の移動方位算出部４０ｂは、角速度ω_ｔから時間周期Δｔにおけるウエハ搬送容器１０の移動方位Δθ_ｔを算出する。データ処理装置４０の位置算出部４０ｃは、時間周期Δｔにおけるウエハ搬送容器１０の移動距離ΔＤ_ｔ及び移動方位Δθ_ｔについて初期位置Ｐ_０からの累積演算を行うことにより、時刻ｔにおけるウエハ搬送容器１０の位置Ｐ_ｔを算出する。

このようにして、例えば、データ処理装置４０は、ウエハ搬送容器１０の初期位置を、ロードポート６０の載置台６１に載置された状態（ロードポート６０が備える載置検出センサによって検出される）におけるウエハ搬送容器１０の位置とすることができる。この場合、ウエハ搬送容器１０の位置は、ウエハ搬送容器１０がロードポート６０に載置された位置との相対位置として算出される。ただし、ウエハ搬送容器１０の初期位置は、これに限定されず、ＯＨＴ７１の搬送ルートにおける所定の位置など、データ処理装置４０が、ウエハ搬送容器１０の位置を、加速度センサ２１ａおよび角速度センサ２１ｂ以外から検出できる任意の位置とすることができる。

図３に示すデータ処理装置４０は、以上のように、加速度センサ２１ａと角速度センサ２１ｂによってウエハ搬送容器１０の位置を特定するため、天井や壁などの遮蔽物が存在する工場などの屋内においても、ウエハ搬送容器１０を安定的かつ高精度に追跡することができる。

データ処理装置４０は、ウエハ搬送容器１０がロードポート６０の載置台６１に載置された状態の加速度データ、角速度データ、及び位置データを用いて、ウエハ搬送容器１０の加速度データ、角速度データ、及び位置データを補正することが好ましい。加速度センサ２１ａや角速度センサ２１ｂは、バイアス値（検出する加速度または角速度がゼロの時の出力値）が時間経過や温度変化などの外的要因によって変動することで誤差を生じる。これらの誤差はたとえ僅かなものであっても、ウエハ搬送容器１０の位置を算出する際にウエハ搬送容器１０の移動時間の長さに伴って累積されるため、位置データに無視できないほど大きな誤差が生じる場合がある。本発明では、ウエハ搬送容器１０の基準位置（例えば、ロードポート２０への載置位置）における加速度データ、角速度データ、位置データの補正を行い、これらの誤差を低減または防止することで、ウエハ搬送容器１０の位置をより高精度に検出することができる。

さらに、本発明は、加速度センサ２１ａを用いて、ウエハの搬送中にウエハ搬送容器１０に加わる衝撃を検出することができる。ウエハ搬送容器１０に加わる衝撃は、データ処理装置４０の衝撃算出部４０ｄにおいて、加速度センサ２１ａにより検出された加速度データに基づいて算出される。これにより、本発明では、ウエハ搬送容器１０への衝撃と、衝撃発生時のウエハ搬送容器１０の位置を同時に検出することができる。

図３に示すホストコンピュータ３０の制御装置５０は、データ処理装置４０から取得したウエハ搬送容器１０の位置データと衝撃データに基づき、ウエハ搬送容器１０の位置に応じてウエハ搬送容器１０を移動させる速度及び加速度を調整する。搬送システム７０のＯＨＴ７１やロードポート６０の載置台６１によってウエハ搬送容器１０を搬送または移動させる際、ウエハ搬送容器１０が衝撃によって振動すると、容器の内壁に付着していた塵埃が離脱するなどして容器の内部が汚染され、ウエハの歩留まり低下を招くおそれがある。本発明では、制御装置５０により、ウエハの搬送行程においてウエハ搬送容器１０に許容値以上の衝撃が加わらないように、搬送システム７０のＯＨＴ７１やロードポート６０の載置台６１によるウエハ搬送容器１０の移動速度及び加速度を調整する（例えば、ウエハ搬送容器１０が衝撃の発生しやすい地点を通過する際にウエハ搬送容器１０の移動速度及び加速度を低下させる）ことで、衝撃によりウエハ搬送容器１０の内部が汚染されることを防止し、ウエハの歩留まりを向上させることができる。なお、制御装置５０は、必ずしもホストコンピュータ３０に配置されている必要はなく、例えば、搬送システム７０やロードポート６０が備える制御装置であってもよい。

また、制御装置５０は、加速度センサ２１ａにより検出されたウエハ搬送容器１０の加速度またはデータ処理装置４０により算出された衝撃が所定値を超えた場合、搬送システム７０のＯＨＴ７１やロードポート６０の載置台６１を介してウエハ搬送容器１０を清浄化工程に移送し、ウエハ搬送容器１０の内部を清浄化する。本発明では、衝撃によって汚染されたウエハ搬送容器１０の内部を清浄化することで、ウエハの歩留まりを向上させることができる。

以上、本発明に係るウエハ搬送容器の第１実施形態について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能である。

図４は、本発明の第２実施形態に係るウエハ搬送容器１００の位置検出方法の構成を示すブロック図である。ウエハ搬送容器１００は、外部に設けられたデータ処理装置４０を有しておらず、ウエハ搬送容器１００に設けられたデータ処理部４１を有している点を除き、第１実施形態に係るウエハ搬送容器１０と同様である。

図４に示すように、データ処理部４１は、データ処理装置４０の移動距離算出部４０ａ、移動方位算出部４０ｂ、位置算出部４０ｃ、及び衝撃算出部４０ｄに相当する移動距離算出部４１ａ、移動方位算出部４１ｂ、位置算出部４１ｃ、及び衝撃算出部４１ｄを備えており、データ処理装置４０と同様に、加速度センサ２１ａ、角速度センサ２１ｂから出力された加速度データ及び角速度データから搬送容器１００の位置や衝撃を検出することができる。

本実施形態において、通信部２２は、図４に示すように、ウエハ搬送容器１００に設けられたデータ処理部４１によって加速度センサ２１ａ、角速度センサ２１ｂ、及び内部状態検出センサ２１ｃの検出データだけでなく、これらの検出データからデータ処理部４１において算出したデータ（ウエハ搬送容器１００の位置情報など）を、ウエハ搬送容器１００の外部に配置されたホストコンピュータ１３０の制御装置５０に無線送信するように構成されている。なお、図４に示すデータ処理部４１は、検出装置１２０に配置されているが、ウエハ搬送容器１００の任意の場所に設置することができる。本構成によれば、ウエハ搬送容器１００の外部にデータ処理装置４０を設ける必要がないため、工場内におけるデータ処理装置の設置スペースを節減することができる。

上述した実施形態は、本発明に含まれる実施形態の例示にすぎず、本発明を何ら限定するものではない。例えば、上述の実施形態では、ウエハ搬送容器１０、１００が検出部２１、通信部２２及び電源部２３を備える検出装置２０、１２０を有しているが、ウエハ搬送容器１０、１００が検出装置２０、１２０を有しておらず、検出部２１、通信部２２及び電源部２３がそれぞれ個別にウエハ搬送容器１０、１００の本体１に配置されていてもよい。

１：本体
２：底部
２ａ：外面
３：開口
４：底部開口
５：収容部
１０、１００：ウエハ搬送容器
２０、１２０：検出装置
２１：検出部
２１ａ：加速度センサ
２１ｂ：角速度センサ
２１ｃ：内部状態検出センサ
２１ｄ：センシング部
２２：通信部
２３：電源部
２３ａ：受電部
２３ｂ：蓄電部
２４：基板
２５：被覆部
３０、１３０：ホストコンピュータ
４０：データ処理装置
４１：データ処理部
４０ａ、４１ａ：移動距離算出部
４０ｂ、４１ｂ：移動方位算出部
４０ｃ、４１ｃ：位置算出部
４０ｄ、４１ｄ：衝撃算出部
５０：制御装置
６０：ロードポート
６１：載置台
６２：ウエハ処理装置
７０：搬送システム
７１：ＯＨＴ
７２：走行レール

Claims

ウエハを収容する収容部を備える本体と、
加速度センサと角速度センサを備える検出部と、
前記検出部によって取得した加速度データ及び角速度データ、または前記加速度データ及び前記角速度データから算出したデータを外部に送信する通信部とを有することを特徴とするウエハ搬送容器。
前記検出部と前記通信部は、前記本体の底部に収納されていることを特徴とする請求項１に記載のウエハ搬送容器。
前記検出部と前記通信部は、前記本体の外面に着脱可能なアタッチメント部材として構成されていることを特徴とする請求項１に記載のウエハ搬送容器。
前記検出部と前記通信部に電力を供給する電源部をさらに有し、
前記電源部は、非接触給電によって外部から電力の供給を受ける受電部を備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のウエハ搬送容器。
前記加速度データと前記角速度データを処理するデータ処理部をさらに有することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のウエハ搬送容器。
前記検出部は、温度センサ、湿度センサ、酸素センサ、窒素センサ、及びパーティクルカウンタから選ばれる少なくとも１つをさらに備えることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のウエハ搬送容器。
ウエハ搬送容器の加速度を検出する加速度検出ステップと、
前記ウエハ搬送容器の角速度を検出する角速度検出ステップと、
前記加速度検出ステップと前記角速度検出ステップにて取得した加速度データと角速度データを、前記ウエハ搬送容器が有するデータ処理部または外部に設けられたデータ処理装置に送信する加速度データ及び角速度データ送受信ステップと、
前記データ送受信ステップにて取得した前記加速度データと前記角速度データに基づき、前記データ処理部または前記データ処理装置にて前記ウエハ搬送容器の位置を算出する位置算出ステップとを含むことを特徴とするウエハ搬送容器の位置検出方法。
前記位置算出ステップでは、前記データ処理部にて前記ウエハ搬送容器の位置を算出し、算出した前記ウエハ搬送容器の位置データを外部に送信する位置データ送受信ステップをさらに含むことを特徴とする請求項７に記載のウエハ搬送容器の位置検出方法。
前記ウエハ搬送容器がロードポートに載置されたことを検出する載置検出ステップをさらに含み、
前記位置算出ステップにおいて、前記ウエハ搬送容器の位置は、前記ウエハ搬送容器がロードポートに載置された位置との相対位置として算出されることを特徴とする請求項７または８に記載のウエハ搬送容器の位置検出方法。
前記ウエハ搬送容器がロードポートに載置されたことを検出する載置検出ステップと、
前記ウエハ搬送容器がロードポートに載置された状態の前記加速度データ、前記角速度データ、及び前記ウエハ搬送容器の位置データを用いて、前記加速度データ、前記角速度データ、及び前記ウエハ搬送容器の位置データのうちの少なくとも１つを補正する補正ステップとをさらに含むことを特徴とする請求項７〜９のいずれかに記載のウエハ搬送容器の位置検出方法。
請求項７〜１０のいずれかに記載のウエハ搬送容器の位置検出方法に加え、
前記加速度データ及び角速度データ送受信ステップにて取得した前記加速度データに基づき、前記データ処理部または前記データ処理装置にて前記ウエハ搬送容器に加わる衝撃を算出する衝撃算出ステップを含むことを特徴とするウエハ搬送容器の位置及び衝撃検出方法。
請求項１１に記載のウエハ搬送容器の位置及び衝撃検出方法に加え、
前記位置算出ステップにて取得した位置データと、前記衝撃算出ステップにて取得した衝撃データとに基づき、前記ウエハ搬送容器の位置に応じて前記ウエハ搬送容器を移動させる速度及び加速度を調整する移動速度及び加速度調整ステップを含むことを特徴とするウエハ搬送容器の移動速度及び加速度制御方法。
請求項７〜１０のいずれかに記載のウエハ搬送容器の位置検出方法、請求項１１に記載のウエハ搬送容器の位置及び衝撃検出方法、または請求項１２に記載のウエハ搬送容器の移動速度及び加速度制御方法に加え、
前記ウエハ搬送容器の加速度または前記ウエハ搬送容器に加わる衝撃が所定値を超えた場合に、前記ウエハ搬送容器の内部を清浄化するウエハ搬送容器内清浄化ステップを含むことを特徴とするウエハ搬送容器内清浄化方法。