JP2019150889A - 研削方法 - Google Patents
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Landscapes
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- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Abstract
Description
1a 表面
1b 裏面
3 加工予定ライン
5 デバイス
5a ステージ
7 モールド樹脂
9 枠体
11a,11b 識別用層
13 厚さ不良位置
2 研削装置
4 保持テーブル
4a 保持面
6 研削ユニット
8 スピンドル
10 マウント
12 固定具
14 研削ホイール
16 研削砥石
Claims (4)
- 板状の被加工物の研削方法であって、
該板状の被加工物の被研削面上に識別用層を形成する識別用層形成ステップと、
該識別用層形成ステップを実施した後、該板状の被加工物の被研削面を研削して該板状の被加工物を薄化する研削ステップと、
該研削ステップを実施した後、該板状の被加工物の被研削面上に識別用層が残存するか否かを判定し、該識別用層が残存すると判定する場合に該識別用層の残存する位置を厚さ不良位置として検出する不良位置検出ステップと、を備えることを特徴とする研削方法。 - 該識別用層の色は、該板状の被加工物の被研削面の色とは異なることを特徴とする請求項1に記載の研削方法。
- 該識別用層形成ステップでは、該板状の被加工物と、該識別用層と、の厚さの和が該研削ステップで研削される該板状の被加工物の仕上がり厚さよりも大きくなるように該識別用層を形成することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の研削方法。
- 識別用層形成ステップでは、該板状の被加工物と、該識別用層と、の厚さの和が均一となるように識別用層を形成することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一に記載の研削方法。
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