JP2019148236A - ポンプ装置および基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
すなわち、本発明に係るポンプ装置は、薬液を収容する収容部と、前記収容部内を往復移動する可動部材と、前記収容部内の薬液を収容する収容空間を区画するローリングダイアフラムであって、前記可動部材の先端部に取り付けられた液押し部、前記収容部の内周壁に取り付けられるリング状周縁部、および前記液押し部と前記リング状周縁部とを接続させると共に、前記リング状周縁部よりも前記可動部材の吸引移動方向の位置で折り返されることにより形成された重なり部分を有する折り返し筒状部を有する前記ローリングダイアフラムと、を備え、押し出し移動方向における予め設定された端位置に前記液押し部が存在しているときの前記収容空間の容積は、49cc以下であり、前記折り返し筒状部の前記重なり部分の隙間の幅は、前記液押し部の幅の1/20以上1/6以下であることを特徴とするものである。
図1を参照する。基板処理装置1は、ノズル2と保持回転部3とを備えている。ノズル2は、保持回転部3で保持された基板Wに対して薬液を吐出するものである。薬液は、例えば、レジスト液、反射防止膜形成用の塗布液、シンナー等の溶剤、純水(DIW)等のリンス液、現像液、またはエッチング液である。
ポンプ装置9は、図2、図3のように、チャンバ21、可動部材(またはピストンとも言う)23、ローリングダイアフラム25、電動モータ27および変換機構29を備えている。
次に、基板処理装置1およびポンプ装置9の動作について説明する。図1を参照する。図示しない搬送機構は、保持回転部3のスピンチャック4上に基板Wを搬送する。スピンチャック4は、基板Wの裏面を吸着することで基板Wを保持する。回転駆動部5は、スピンチャック4で保持された基板Wを回転させる。ノズル2は、図示しない移動機構により、基板Wの上方に移動されている。なお、2つの開閉弁V1,V2は閉じている(OFF状態)。
ローリングダイアフラム25の折り返し筒状部45は、深いU字状の溝を有し、重なり部分47の隙間47Aが狭い。そのため、折り返し筒状部45の液置換性が悪い。そのため、薬液(例えばレジスト液)が固化すると、固化した薬液の洗い出しが大変であるだけでなく、固化物が薬液の清浄度を悪化させ、パーティクルの原因になる。
図6に示す標準サイズの流体解析結果について説明する。標準サイズの容積(液押し部41を押し切った状態のときの容積)は、3.65cc〜12ccである。なお、液押し部41を引き切った状態のときの容量は約25ccである。図9は、図4(a)に示す流体解析モデルの平面PL2の横断面である収容空間35を示すである。
図7に示す半分サイズの流体解析結果について説明する。半分サイズの容積(液押し部41を押し切った状態のときの容積)は、0.46cc〜1.5ccと小さい。これにより、標準サイズに比べて、液体が流れやすくなる。そのため、半分サイズ(0.46cc〜1.5cc)の割合1:30の場合、図9の領域RY1よりも領域RY2,RY3で液体が流れやすいものの、領域RY1にも速い流れで液体が行き渡る。また、領域RY1で液体が比較的均等に流れる。そのため、半分サイズの解析結果では、割合1:30に対する判定は「○(良い)」である。
図8に示す2倍サイズの流体解析結果について説明する。2倍サイズの容積(液押し部41を押し切った状態のときの容積)は、29cc〜95ccと大きい。本発明は、容積のサイズが0ccより大きく略50cc(49cc)以下を対象としているので、割合1:6〜割合1:2(容積64cc〜95cc)を評価の対象外としている。
2 … ノズル
3 … 保持回転部
9,61,62 … ポンプ装置
13 … 制御部
21 … チャンバ
23 … 可動部材
25 … ローリングダイアフラム
35 … 収容空間
37(37A,37B) … 流入口
39(39A,39B) … 流出口
41 … 液押し部
43 … 周縁部
45 … 折り返し筒状部
47 … 重なり部分
47A … 隙間
W … 基板
WD1〜WD3 … 幅
Claims (6)
- 薬液を収容する収容部と、
前記収容部内を往復移動する可動部材と、
前記収容部内の薬液を収容する収容空間を区画するローリングダイアフラムであって、前記可動部材の先端部に取り付けられた液押し部、前記収容部の内周壁に取り付けられるリング状周縁部、および前記液押し部と前記リング状周縁部とを接続させると共に、前記リング状周縁部よりも前記可動部材の吸引移動方向の位置で折り返されることにより形成された重なり部分を有する折り返し筒状部を有する前記ローリングダイアフラムと、を備え、
押し出し移動方向における予め設定された端位置に前記液押し部が存在しているときの前記収容空間の容積は、49cc以下であり、
前記折り返し筒状部の前記重なり部分の隙間の幅は、前記液押し部の幅の1/20以上1/6以下であることを特徴とするポンプ装置。 - 薬液を収容する収容部と、
前記収容部内を往復移動する可動部材と、
前記収容部内の薬液を収容する収容空間を区画するローリングダイアフラムであって、前記可動部材の先端部に取り付けられた液押し部、前記収容部の内周壁に取り付けられるリング状周縁部、および前記液押し部と前記リング状周縁部とを接続させると共に、前記リング状周縁部よりも前記可動部材の吸引移動方向の位置で折り返されることにより形成された重なり部分を有する折り返し筒状部を有する前記ローリングダイアフラムと、を備え、
押し出し移動方向における予め設定された端位置に前記液押し部が存在しているときの前記収容空間の容積は、0.46cc以上1.5cc以下であり、
前記折り返し筒状部の前記重なり部分の隙間の幅は、前記液押し部の幅の1/30以上1/5以下であることを特徴とするポンプ装置。 - 請求項1または2に記載のポンプ装置において、
押し出し移動方向における予め設定された端位置に前記液押し部が存在しているときに、前記折り返し筒状部の前記重なり部分の隙間の幅は、前記液押し部と、前記液押し部と対向する前記収容部の内壁との隙間の幅よりも大きいことを特徴とするポンプ装置。 - 請求項1から3のいずれかに記載のポンプ装置において、
前記収容部は、前記収容空間に薬液を流入させる流入口と、前記収容空間から薬液を流出させる流出口とを備え、
前記流入口および前記流出口は各々、前記折り返し筒状部のロール部側に向くように前記収容部の内周壁に傾斜して設けられることを特徴とするポンプ装置。 - 基板を保持する保持部と、
前記保持部で保持された前記基板に対して薬液を吐出するノズルと、
前記ノズルに薬液を送るためのポンプ装置と、備え、
前記ポンプ装置は、薬液を収容する収容部と、
前記収容部内を往復移動する可動部材と、
前記収容部内の薬液を収容する収容空間を区画するローリングダイアフラムであって、前記可動部材の先端部に取り付けられた液押し部、前記収容部の内周壁に取り付けられるリング状周縁部、および前記液押し部と前記リング状周縁部とを接続させると共に、前記リング状周縁部よりも前記可動部材の吸引移動方向の位置で折り返されることにより形成された重なり部分を有する折り返し筒状部を有する前記ローリングダイアフラムと、を備え、
押し出し移動方向における予め設定された端位置に前記液押し部が存在しているときの前記収容空間の容積は、49cc以下であり、
前記折り返し筒状部の前記重なり部分の隙間の幅は、前記液押し部の幅の1/20以上1/6以下であることを特徴とする基板処理装置。 - 基板を保持する保持部と、
前記保持部で保持された前記基板に対して薬液を吐出するノズルと、
前記ノズルに薬液を送るためのポンプ装置と、備え、
前記ポンプ装置は、薬液を収容する収容部と、
前記収容部内を往復移動する可動部材と、
前記収容部内の薬液を収容する収容空間を区画するローリングダイアフラムであって、前記可動部材の先端部に取り付けられた液押し部、前記収容部の内周壁に取り付けられるリング状周縁部、および前記液押し部と前記リング状周縁部とを接続させると共に、前記リング状周縁部よりも前記可動部材の吸引移動方向の位置で折り返されることにより形成された重なり部分を有する折り返し筒状部を有する前記ローリングダイアフラムと、を備え、
押し出し移動方向における予め設定された端位置に前記液押し部が存在しているときの前記収容空間の容積は、0.46cc以上1.5cc以下であり、
前記折り返し筒状部の前記重なり部分の隙間の幅は、前記液押し部の幅の1/30以上1/5以下であることを特徴とする基板処理装置。
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