JP2019141902A - レーザ加工システム - Google Patents
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Abstract
Description
加工対象物に加工用レーザ光を照射してアブレーション加工を行なう加工用レーザ光照射装置を備えるレーザ加工システムであって、
前記加工対象物の前記加工用レーザ光による加工の最中に前記加工対象物の加工部における散乱光に基づいて前記加工部のアブレーションイメージを取得する加工部イメージ取得部と、
アブレーションイメージとアブレーション体積との関係を学習する深層学習により得られた学習結果を前記加工部イメージ取得部により取得されたアブレーションイメージに適用してアブレーション体積を推定するアブレーション体積推定部と、
を備えることを特徴とする。
Claims (7)
- 加工対象物に加工用レーザ光を照射してアブレーション加工を行なう加工用レーザ光照射装置を備えるレーザ加工システムであって、
前記加工対象物の前記加工用レーザ光による加工の最中に前記加工対象物の加工部における散乱光に基づいて前記加工部のアブレーションイメージを取得する加工部イメージ取得部と、
アブレーションイメージとアブレーション体積との関係を学習する深層学習により得られた学習結果を前記加工部イメージ取得部により取得されたアブレーションイメージに適用してアブレーション体積を推定するアブレーション体積推定部と、
を備えることを特徴とするレーザ加工システム。 - 請求項1記載のレーザ加工システムであって、
前記深層学習は、レーザ加工において連続する複数のアブレーションイメージを入力データとする学習である、
レーザ加工システム。 - 請求項1または2記載のレーザ加工システムであって、
前記深層学習は、アブレーション体積と相関関係を有するパラメータまたはアブレーション加工の際に測定可能なパラメータが含まれる加工パラメータを用いてアブレーションイメージと加工パラメータとの関係を学習し、学習により得られたアブレーションイメージと加工パラメータとの関係に前記相関関係を用いてアブレーションイメージとアブレーション体積との関係としたものを前記学習結果とする、
レーザ加工システム。 - 請求項3記載のレーザ加工システムであって、
前記加工パラメータは、前記加工部に対する加工開始から照射した前記加工用レーザ光の総エネルギに関連するパラメータを含む、
レーザ加工システム。 - 請求項1ないし4のうちのいずれか1つの請求項に記載のレーザ加工システムであって、
前記アブレーションイメージを取得するために前記加工部に前記加工用レーザ光とは異なる波長のイメージ用レーザ光を照射するイメージ用レーザ照射装置、
を備えるレーザ加工システム。 - 請求項1ないし5のうちのいずれか1つの請求項に記載のレーザ加工システムであって、
前記加工部イメージ取得部は、所定時間毎にアブレーションイメージを取得する、
レーザ加工システム。 - 請求項6記載のレーザ加工システムであって、
前記加工用レーザ光照射装置は、前記加工用レーザ光としてパルス幅がフェムト秒オーダーのパルスレーザ光を出力して前記アブレーション加工を行ない、
前記加工部イメージ取得部は、各パルスレーザ光の照射毎に又は複数のパルスレーザ光毎に前記アブレーションイメージを取得し、
前記アブレーション体積推定部は、前記加工用レーザ光照射装置による次の加工用レーザ光の照射の前までに前記アブレーション体積を推定する、
レーザ加工システム。
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