JP2019136783A - 両面研削装置 - Google Patents
両面研削装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019136783A JP2019136783A JP2018019360A JP2018019360A JP2019136783A JP 2019136783 A JP2019136783 A JP 2019136783A JP 2018019360 A JP2018019360 A JP 2018019360A JP 2018019360 A JP2018019360 A JP 2018019360A JP 2019136783 A JP2019136783 A JP 2019136783A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grindstone
- workpiece
- grindstone surface
- thickness
- grinding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
Description
なお、当然のことながら、図1およびその他の図面に示した右手系xyz座標は、構成要素の位置関係を説明するための便宜的なものである。通常、z軸正向きが鉛直上向き、xy平面が水平面であり、図面間で共通である。
被研削物50は、第1砥石面11と第2砥石面21とが対向する研削加工領域に配置されて研削される。図2に示すように、被研削物50の下面51は、第1砥石10の第1砥石面11に当接し、被研削物50の上面52は、第2砥石20の第2砥石面21に当接する。これにより、被研削物50の下面51は、第1砥石面11により研削され、被研削物50の上面52は、第2砥石面21により研削される。
また、制御部は、測定部40が検知した第1砥石面11の鉛直位置から、第1砥石10の摩耗量を算出する。また、制御部は、測定部40が検知した被研削物50の上面52の鉛直位置と第1砥石面11の鉛直位置との差から、第1砥石面11に載置された被研削物50の厚さを算出する。また、制御部は、測定部40が検知した第2砥石面21の鉛直位置から、第2砥石20の摩耗量を算出する。
その後、再びステップS1に戻る。具体的には、第1砥石面11が回転し、被研削物50を測定部40の近くに搬送する。
ステップS72に進んだ場合、制御部は、研削完了時における第1砥石面11と第2砥石面21との距離を所望の厚さに設定する。
h=(測定部40で測定された被研削物50の厚さ)−(所望の厚さ)・・・(1)
h’=(測定部40で測定された被研削物50の厚さ)−(所望の厚さ)
+(第2砥石20の鉛直位置の変化量) ・・・(2)
なお、式(2)において「第2砥石20の鉛直位置の変化量」とは、測定部40で測定された第2砥石20の鉛直位置と、その直前に測定部40で測定された第2砥石20の鉛直位置との差を指す。
10 第1砥石
11 第1砥石面
12 内孔
13 吸着孔
15 サンギア
20 第2砥石
21 第2砥石面
22 内孔
23 吸着孔
25 カウンタギア
26 カウンタギア回転軸
40 測定部
41 支持部材
42 第1変位センサ
43 第2変位センサ
50 被研削物
51 下面
52 上面
55 キャリアギア
C1 第1中心軸
C2 第2中心軸
Claims (1)
- 上面が第1砥石面であって、第1中心軸を回転軸として回転する第1砥石と、
下面が第2砥石面であって、前記第1中心軸に平行な第2中心軸を回転軸として回転する第2砥石と、
前記第1砥石面に載置された被研削物の上面の鉛直方向位置および前記第1砥石面の鉛直方向位置を検知することで前記被研削物の厚さを測定可能な測定部と、を備え、
前記第1砥石面および前記第2砥石面は、前記被研削物を加工する研削加工領域において対向しており、
前記研削加工領域における前記第1砥石面と前記第2砥石面との距離は、前記測定部で測定された前記被研削物の厚さに基づいて決定される、
両面研削装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018019360A JP7102758B2 (ja) | 2018-02-06 | 2018-02-06 | 両面研削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018019360A JP7102758B2 (ja) | 2018-02-06 | 2018-02-06 | 両面研削装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019136783A true JP2019136783A (ja) | 2019-08-22 |
JP7102758B2 JP7102758B2 (ja) | 2022-07-20 |
Family
ID=67692761
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018019360A Active JP7102758B2 (ja) | 2018-02-06 | 2018-02-06 | 両面研削装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7102758B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102628016B1 (ko) * | 2022-09-05 | 2024-01-23 | 김재중 | 각각 회전하는 메인 트레이 및 보조 트레이를 포함하는 연마 장치를 운용 방법 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0740233A (ja) * | 1993-07-27 | 1995-02-10 | Speedfam Co Ltd | ワークの厚さ測定装置 |
JP2009072879A (ja) * | 2007-09-21 | 2009-04-09 | Toyo Advanced Technologies Co Ltd | 端面研削方法および両面研削装置 |
-
2018
- 2018-02-06 JP JP2018019360A patent/JP7102758B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0740233A (ja) * | 1993-07-27 | 1995-02-10 | Speedfam Co Ltd | ワークの厚さ測定装置 |
JP2009072879A (ja) * | 2007-09-21 | 2009-04-09 | Toyo Advanced Technologies Co Ltd | 端面研削方法および両面研削装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102628016B1 (ko) * | 2022-09-05 | 2024-01-23 | 김재중 | 각각 회전하는 메인 트레이 및 보조 트레이를 포함하는 연마 장치를 운용 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7102758B2 (ja) | 2022-07-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7500902B2 (en) | Thickness-measuring method during grinding process | |
CN104070414B (zh) | 数控机床以及数控机床的主轴误差修正方法 | |
CN107073683B (zh) | 工件的加工装置 | |
JP2010184340A (ja) | レンズの加工方法及び研削装置 | |
JP6937370B2 (ja) | 研削装置、研削方法及びコンピュータ記憶媒体 | |
KR102296692B1 (ko) | 워크의 가공장치 및 워크의 가공방법 | |
JP2008087104A (ja) | 研削加工方法 | |
EP3082155B1 (en) | Substrate processing apparatus and substrate processing method | |
JP5215159B2 (ja) | 位置合わせ機構、研削装置、位置合わせ方法および研削方法 | |
JP2019136783A (ja) | 両面研削装置 | |
JP2016201422A (ja) | ワーク加工装置 | |
CN102259291B (zh) | 偏心工件的相位调整方法及装置和工件供给方法及装置 | |
JP2014076538A (ja) | 円筒研削盤へのワーク供給方法およびその装置 | |
JP5321813B2 (ja) | 面取り加工装置及び面取り加工方法 | |
JP2010207978A (ja) | 切断ワイヤーとワークとの位置決め方法、及びその方法を用いた位置決め角度検出治具付きワイヤーソー | |
JP6379232B2 (ja) | 研削装置 | |
JP6133169B2 (ja) | 研削装置のセットアップ方法 | |
JP2554432B2 (ja) | 半導体ウエーハの外周面加工装置 | |
CN115091287A (zh) | 一种超精密磨削参数调整方法和磨削系统 | |
JP5473715B2 (ja) | ウエーハ搬送機構の調整方法 | |
JP2015107535A (ja) | バイト切削装置のセットアップ方法 | |
JP2014226767A (ja) | ウェーハ面取り装置及びウェーハ面取り方法 | |
TWI819165B (zh) | 基板處理裝置及基板處理方法 | |
JP2019181608A (ja) | 研削方法 | |
JP2941317B2 (ja) | 定寸研磨加工方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201222 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20211207 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211214 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220204 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220607 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220620 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7102758 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |