JP2019120623A - 反射光学素子、及び、干渉分光器 - Google Patents
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Abstract
Description
更に、この反射光学素子は、
上記基準方向に直交する平板状であり、且つ、上記基準方向に直交する第1方向にて互いに隔てられるとともに上記第1反射面を形成する複数の第1反射要素を有する第1反射体と、
上記基準方向に直交する平板状であり、上記複数の第1反射要素のうちの、隣り合う2つの第1反射要素間にそれぞれ位置するとともに、上記第2反射面を形成する複数の第2反射要素を有し、且つ、上記基準方向にて、上記第1反射体に対して移動可能な第2反射体と、
上記第1反射体に対する上記第2反射体の位置を、上記基準方向にて変更する位置変更部と、
を備える。
光を出射する光源と、
基準方向における位置が互いに異なる、第1反射面及び第2反射面のそれぞれにて、上記出射された光を反射する反射光学素子と、
上記反射された光を検出する検出器と、
を備えるとともに、上記反射光学素子により反射された光の干渉に基づいて電磁波スペクトルを測定する。
上記基準方向に直交する平板状であり、且つ、上記基準方向に直交する第1方向にて互いに隔てられるとともに上記第1反射面を形成する複数の第1反射要素を有する第1反射体と、
上記基準方向に直交する平板状であり、上記複数の第1反射要素のうちの、隣り合う2つの第1反射要素間にそれぞれ位置するとともに、上記第2反射面を形成する複数の第2反射要素を有し、且つ、上記基準方向にて、上記第1反射体に対して移動可能な第2反射体と、
上記第1反射体に対する上記第2反射体の位置を、上記基準方向にて変更する位置変更部と、
を備える。
(概要)
第1実施形態の干渉分光器は、光を出射する光源と、基準方向における位置が互いに異なる、第1反射面及び第2反射面のそれぞれにて、光源から出射された光を反射する反射光学素子と、反射光学素子により反射された光を検出する検出器と、を備える。干渉分光器は、反射光学素子により反射された光の干渉に基づいて電磁波スペクトルを測定する。
第1反射体は、基準方向に直交する平板状であり、且つ、基準方向に直交する第1方向にて互いに隔てられるとともに第1反射面を形成する複数の第1反射要素を有する。
第2反射体は、基準方向に直交する平板状であり、複数の第1反射要素のうちの、隣り合う2つの第1反射要素間にそれぞれ位置するとともに、第2反射面を形成する複数の第2反射要素を有し、且つ、基準方向にて、第1反射体に対して移動可能である。
位置変更部は、第1反射体に対する第2反射体の位置を、基準方向にて変更する。
次に、第1実施形態の干渉分光器について、詳細に説明する。
以下、図1乃至図11に表されるように、x軸、y軸、及び、z軸を有する右手系の直交座標系を用いて、第1実施形態の干渉分光器1を説明する。
検出器17は、第2レンズ16を通過した光を検出する。検出器17は、検出された光の強度を表す検出信号を制御器18へ出力する。
本例では、駆動部142は、ボイスコイルモータである。なお、駆動部142は、ボイスコイルモータと異なるアクチュエータであってもよい。
支持体143は、平板部1431と、凸部1432と、を備える。平板部1431は、z軸方向に直交する平板状である。凸部1432は、平板部1431から、z軸の正方向にて突出する。
本例では、複数の第1反射要素1444のうちの、z軸の正方向における端面は、第1反射面を形成する。
なお、第1反射体144は、複数の切欠部1445〜1447を備えなくてもよい。
第2反射体145は、第1反射体144が有する隙間のうちの、複数の切欠部1445〜1447以外の部分と略一致する形状を有する。
これによれば、第1反射体144に対する第2反射体145の位置を変更している間、第2反射体145の移動が第1反射体144によって規制されるので、第2反射面と第1反射面とが互いに平行な状態を高い精度にて維持できる。
次に、第1実施形態の干渉分光器1の動作について説明する。
制御器18は、光の出射を開始するための制御信号を光源11へ出力する。光源11は、制御器18から入力された制御信号に従って、所定の周波数帯域を有する光の出射を開始する。第1レンズ12は、光源11により出射された光を平行光に変換する。第1レンズ12を通過した光は、z軸方向にて伝搬する。
反射光学素子14の駆動部142は、制御器18から入力された制御信号に従って、固定体1421に対する可動体1422の位置をz軸方向にて変更する。これにより、第2反射体145のz軸方向における位置も、第1反射体144に対して変更される。この結果、第2反射面のz軸方向における位置も、第1反射面に対して変更される。
これにより、制御器18は、第2反射面の基準方向における位置を、第1反射面に対して変更しながら、当該位置と関連付けられた検出信号を取得する。
更に、位置変更部(本例では、駆動部142及び支持体143)は、第1反射体144に対する第2反射体145の位置を、基準方向にて変更する。
11 光源
12 第1レンズ
13 ビームスプリッタ
14 反射光学素子
141 筐体
142 駆動部
1421 固定体
1422 可動体
143 支持体
1431 平板部
1432 凸部
144 第1反射体
1441 外延部
1442 連結部
1443 第1基部
1444 第1反射要素
1445〜1447 切欠部
144a 第1支持層
144b 第1反射層
145 第2反射体
1451 第2基部
1452 第2反射要素
1453,1454 延出部
145a 第2支持層
145b 第2反射層
15 スリット
16 第2レンズ
17 検出器
18 制御器
Claims (6)
- 基準方向における位置が互いに異なる、第1反射面及び第2反射面のそれぞれにて入射光を反射する反射光学素子であって、
前記基準方向に直交する平板状であり、且つ、前記基準方向に直交する第1方向にて互いに隔てられるとともに前記第1反射面を形成する複数の第1反射要素を有する第1反射体と、
前記基準方向に直交する平板状であり、前記複数の第1反射要素のうちの、隣り合う2つの第1反射要素間にそれぞれ位置するとともに、前記第2反射面を形成する複数の第2反射要素を有し、且つ、前記基準方向にて、前記第1反射体に対して移動可能な第2反射体と、
前記第1反射体に対する前記第2反射体の位置を、前記基準方向にて変更する位置変更部と、
を備える、反射光学素子。 - 請求項1に記載の反射光学素子であって、
前記第2反射体は、前記第1方向にて延びる基部を有し、
前記複数の第2反射要素のそれぞれは、前記第1方向に直交する第2方向にて前記基部から延び、
前記位置変更部は、前記基部のうちの、前記基準方向における端面にて前記第2反射体を支持する、反射光学素子。 - 請求項2に記載の反射光学素子であって、
前記第2反射体は、前記複数の第2反射要素のうちの、前記第1方向における端辺と対向するように前記第2方向にて前記基部から延びる延出部を備え、
前記位置変更部は、前記延出部のうちの、前記基準方向における端面にて前記第2反射体を支持する、反射光学素子。 - 請求項2又は請求項3に記載の反射光学素子であって、
前記第1反射体と前記第2反射体とが互いに隣接する領域において、前記第1反射体及び前記第2反射体を前記基準方向にて貫通する孔を有する、反射光学素子。 - 請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の反射光学素子であって、
前記第1反射体は、前記第2反射体の外周部に延びる外延部を備え、
前記反射光学素子は、前記位置変更部を収容する有底の穴を有するとともに、前記外延部のうちの、前記基準方向における端面にて前記第1反射体を支持する筐体を備える、反射光学素子。 - 光を出射する光源と、
基準方向における位置が互いに異なる、第1反射面及び第2反射面のそれぞれにて、前記出射された光を反射する反射光学素子と、
前記反射された光を検出する検出器と、
を備えるとともに、前記反射光学素子により反射された光の干渉に基づいて電磁波スペクトルを測定する干渉分光器であって、
前記反射光学素子は、
前記基準方向に直交する平板状であり、且つ、前記基準方向に直交する第1方向にて互いに隔てられるとともに前記第1反射面を形成する複数の第1反射要素を有する第1反射体と、
前記基準方向に直交する平板状であり、前記複数の第1反射要素のうちの、隣り合う2つの第1反射要素間にそれぞれ位置するとともに、前記第2反射面を形成する複数の第2反射要素を有し、且つ、前記基準方向にて、前記第1反射体に対して移動可能な第2反射体と、
前記第1反射体に対する前記第2反射体の位置を、前記基準方向にて変更する位置変更部と、
を備える、干渉分光器。
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JP2018001523A JP6390805B1 (ja) | 2018-01-09 | 2018-01-09 | 反射光学素子、及び、干渉分光器 |
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