JP2019118884A - 塗布装置 - Google Patents

Abstract

【課題】塗布針および液体材料を貯留する容器が交換可能に設けられ、予め定められた条件と異なる条件で塗布処理を防止することができる塗布装置を提供する。【解決手段】塗布装置１００は、第１塗布針モジュール１Ａ、第１容器２Ａ、第１被識別部３Ａ、第２被識別部４Ａ、読取部５、および判定部６を備える。第１塗布針モジュール１Ａは、第１塗布針１０Ａを含む。第１容器２Ａは液体材料が貯留される内部空間と、基板１４０との間に配置され、第１貫通孔が設けられている。第１被識別部３Ａは、第１塗布針モジュール１Ａに固定され、第１塗布針１０Ａの識別情報が表示され、第２被識別部４Ａは、第１容器２Ａに固定され識別情報が表示されている。読取部５は、第１被識別部３Ａおよび第２被識別部４Ａから識別情報を読み取る。判定部６は、第１塗布針１０Ａと第１容器２Ａの識別情報との第１対応関係が第１基準条件を満足するか否かを判定する。【選択図】図１

Description

本発明は、塗布装置に関し、特に塗布針および液体材料を貯留する容器の少なくとも一方を交換可能に設けられている塗布装置に関する。

近年、病気の早期発見を目的として、病原体の同定する検査などにバイオチップが用いられている。

１つのバイオチップには、例えば一度の検査で複数種の病気について検査できるように、複数の抗体材料などが予め塗布されている。この場合、１つのバイオチップ上の各抗体材料について抗原との結合状態を検査し、当該抗原を有する異物の同定が行われる。

バイオチップに抗体材料を塗布する方法としては、ディスペンサ方式、インクジェット方式、塗布針方式などがある。

塗布針方式では、特開２０１５−１１２５７７号公報に記載の液体塗布ユニットが用いられている。当該液体塗布ユニットによれば、非常に微細な塗布を高速でかつ安定して行うことができる。

また、特開２０１５−１１２５７７号公報に記載の液体塗布ユニットでは、塗布針、および液体材料を貯留する容器が交換可能に設けられている。そのため、予め、複数種の塗布針および液体材料を準備しておき、複数種の塗布対象物に対してこれらの適切な組み合わせを定めておくことで、上記液体塗布ユニットを用いて複数種の塗布対象物に適切な塗布処理を施すことができる。特に、上記液体塗布ユニットでは、塗布針および容器の各々は、液体塗布ユニットにおいて磁力により固定されているため、着脱が容易である。

特開２０１５−１１２５７７号公報

しかしながら、上記液体塗布ユニットでは、塗布針および容器の少なくともいずれかを交換する場合に、複数種のうちから誤って選択された１つが装着される可能性を排除することは困難である。このような誤装着に気が付かずに塗布処理が実施されると、予め定められた条件とは異なる条件で塗布処理が実施されてしまうという問題がある。

本発明の主たる目的は、塗布針および液体材料を貯留する容器が交換可能に設けられていながらも、予め定められた条件とは異なる条件での塗布処理の実施を防止することができる塗布装置を提供することにある。

本発明の塗布装置は、塗布針を用いて対象物の表面に液体材料を塗布するための塗布装置である。上記塗布装置は、第１塗布針を含み、塗布装置に対して第１塗布針と一体として着脱可能に設けられている第１塗布針モジュールと、液体材料が貯留される内部空間と、内部空間と対象物との間に配置され第１塗布針を挿通可能とされた第１貫通孔とが設けられている第１容器と、第１塗布針モジュールに固定されており、第１塗布針の識別情報が表示された第１被識別部と、第１容器に固定されており、第１容器の識別情報が表示された第２被識別部と、第１被識別部および第２被識別部から識別情報を読み取る読取部と、読取部が第１被識別部から識別した第１塗布針の識別情報と読取部が第２被識別部から識別した第１容器の識別情報との第１対応関係が予め定められた第１基準条件を満足するか否かを判定する判定部とを備える。

本発明によれば、塗布針および液体材料を貯留する容器が交換可能に設けられていながらも、予め定められた条件とは異なる条件での塗布処理の実施を防止することができる塗布装置を提供することができる。

実施の形態１に係る塗布装置を示す側面図である。 図１に示される塗布ユニットを示す正面図である。 図１に示される塗布ユニットを示す側面図である。 （ａ）は図３に示される塗布針ユニットの第１状態を示す正面図であり、（ｂ）は図４（ａ）に示される塗布針ユニットの側面図である。 （ａ）は図３に示される塗布針ユニットの第２状態を示す正面図であり、（ｂ）は図５（ａ）に示される塗布針ユニットの側面図である。 （ａ）は図３に示される塗布針ユニットの第３状態を示す正面図であり、（ｂ）は図６（ａ）に示される塗布針ユニットの側面図である。 実施の形態２に係る塗布装置を示す正面図である。 実施の形態３に係る塗布装置を示す正面図である。 図８に示される塗布装置を示す上面図である。 図８に示される塗布装置全体を示す斜視図である。 実施の形態３に係る塗布装置の変形例を示す正面図である。 図１１に示される液体塗布ユニットの上面図である。 実施の形態４に係る塗布装置を示す正面図である。

以下に、実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下の図面においては、同一又は相当する部分に同一の参照番号を付し、その説明は繰り返さないものとする。

（実施の形態１）
図１に示されるように、実施の形態１に係る塗布装置１００は、第１塗布針ユニット２０Ａを用いて対象物としての基板１４０の表面に液体材料を塗布するためのものである。塗布装置１００は、第１塗布針ユニット２０Ａと、読取部５と、判定部６と、駆動部３０とを主に備える。

第１塗布針ユニット２０Ａは、第１塗布針モジュール１Ａと、液体材料が貯留される第１容器２Ａと、第１塗布針モジュール１Ａの識別情報が表示された第１被識別部３Ａと、第１容器２Ａの識別情報が表示された第２被識別部４Ａとを主に含む。第１塗布針モジュール１Ａおよび第１容器２Ａは、第１塗布針ユニット２０Ａからそれぞれ独立して着脱可能に設けられている。

図１および図２に示されるように、第１塗布針モジュール１Ａは、第１塗布針１０Ａ、塗布針支持部１１Ａを有している。塗布針１０Ａは、第１方向Ｄ１に沿って延在している。第１方向Ｄ１は、基板１４０の表面に交差する方向であって、第１塗布針モジュール１Ａが駆動部３０によって駆動される方向である。塗布針１０Ａの第１方向Ｄ１の一端（後述する駆動部３０から離れた側に位置する塗布針１０Ａの端部）は、対象物としての基板１４０（図５参照）と接触され得る針先である。塗布針１０Ａの第１方向Ｄ１の他端は、塗布針支持部１１Ａに接続され、支持されている。

塗布針支持部１１Ａの第１方向Ｄ１の一端（駆動部３０から離れた側に位置する塗布針支持部１１Ａの端部）は、塗布針１０Ａの第１方向Ｄ１の上記他端と接続されている。塗布針支持部１１Ａの第１方向Ｄ１の他端は、第１バネ１２の第１方向Ｄ１の一端（駆動部３０から離れた側に位置する第１バネ１２の端部）と接続されている。塗布針支持部１１Ａは、第１方向Ｄ１において第１容器２Ａよりも駆動部３０側に配置されている。

図３に示されるように、第１容器２Ａには、液体材料を貯留するための内部空間２００と、内部空間２００と連なり、第１塗布針１０Ａを挿通させるための第１挿通路とが形成されている。第１挿通路の一部からなる第１貫通孔２０１は、内部空間２００よりも駆動部３０から離れた側、すなわち内部空間２００と基板１４０との間に配置されており、内部空間２００と第１容器２Ａの外部とを接続している。第１挿通路の他の一部は、内部空間２００よりも駆動部３０に近い側に配置されている。第１挿通路は、第１塗布針１０Ａと干渉しないように配置されている。第１挿通路は、例えば第１塗布針１０Ａの延在方向に沿って延びるように配置されている。第１容器２Ａは、ベース部１５に着脱可能に支持されている。第１容器２Ａは、例えば図示しない磁石を含み、当該磁石とベース部１５の磁石との間に生じる磁力によってベース部１５に対し着脱可能に保持されている。

第１被識別部３Ａは、塗布針ホルダ５１Ａの外周面上に固定されており、第１塗布針１０Ａの識別情報を表示している。第１被識別部３Ａは、第１塗布針１０Ａの識別情報として、例えばその形状、寸法および構成材料等を含む。

第２被識別部４Ａは、第１容器２Ａの外周面上に固定されており、第１容器２Ａの識別情報を表示している。第２被識別部４Ａは、第１容器２Ａの識別情報として、例えば内部空間２００の容積、第１挿通路の孔径、および内部空間２００に貯留された液体の構成材料等を含む。

第１被識別部３Ａおよび第２被識別部４Ａは、上記識別情報を読取部５によって識別され得るように表示することができる限りにおいて、任意の構成を有していればよく、例えばバーコード、ＱＲ（Ｑｕｉｃｋ Ｒｅｓｐｏｎｓｅ）コード（登録商標）、およびＲＦＩＤ（Ｒａｄｉｏ−Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ Ｉｄｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎ）のいずれかにより構成されている。好ましくは、第１被識別部３Ａおよび第２被識別部４Ａは、読取部５によって同時に確認し得るように配置されている。第１被識別部３Ａおよび第２被識別部４Ａは、例えば第１塗布針１０Ａの中心軸に対して後述するベース部１５とは反対側に配置されている。

読取部５は、第１塗布針ユニット２０Ａに取り付けられた第１被識別部３Ａから第１塗布針１０Ａの識別情報を読み取り可能であり、かつ第１塗布針ユニット２０Ａに取り付けられた第２被識別部４Ａから第１容器２Ａの識別情報を識別可能である。読取部５は、第１被識別部３Ａおよび第２被識別部４Ａがバーコードにより構成されている場合には、バーコードリーダとして構成されている。読取部５は、第１被識別部３Ａおよび第２被識別部４ＡがＱＲコードにより構成されている場合には、ＱＲリーダとして構成されている。読取部５は、第１被識別部３Ａおよび第２被識別部４ＡがＲＦＩＤにより構成されている場合には、ＲＦＩＤリーダとして構成されている。

判定部６は、読取部５が第１被識別部３Ａから識別した第１塗布針１０Ａの識別情報と読取部５が第２被識別部４Ａから識別した第１容器２Ａの識別情報との第１対応関係が予め定められた第１基準条件を満足するか否かを判定することができる。言い換えると、判定部６は、第１塗布針ユニット２０Ａの第１塗布針モジュール１Ａと第１容器２Ａとが予め定められた組み合わせの通りに組み合わされているか否かを判定することができる。判定部６が上記第１対応関係が予め定められた第１基準条件を満足していないと判定した場合に、第１塗布針ユニット２０Ａは後述する第１状態から第２状態へと切替されない。上記第１対応関係は、例えば第１塗布針１０Ａの外径と第１貫通孔２０１の孔径との大小関係、第１塗布針１０Ａの構成材料と第１容器２Ａの内部空間２００に貯留された液体の構成材料との対応関係等を含む。さらに、判定部６は、例えば第１塗布針１０Ａの形状、寸法および構成材料が基板１４０に対して適切か否か、第１容器２Ａに貯留された液体の構成材料が基板１４０に対して適切か否か、を判定可能である。なお、判定部６による判定結果は、塗布装置１００の状態や塗布処理のレシピ等を表示する図示しないモニタに表示可能に設けられていてもよい。判定部６は、上記第１対応関係が予め定められた第１基準条件を満足していないと判定した場合には、例えば所定の時間経過後再度同様の判定を行うように設けられていてもよい。

好ましくは、判定部６は、読取部５が第１被識別部３Ａから識別した識別情報から第１塗布針１０Ａの位置情報および読取部５が第２被識別部４Ａから識別した識別情報から第１容器２Ａの位置情報の少なくともいずれかが予め定められた第２基準条件を満足するか否かを判定可能である。具体的には、読取部５は、第１塗布針ユニット２０Ａにおいて第１塗布針１０Ａおよび第１容器２Ａの交換作業によって位置が変更されない部分、例えば後述するベース部１５、に対する第１塗布針１０Ａおよび第１容器２Ａの相対的な位置関係を読取可能に設けられている。塗布装置１００は、第１塗布針１０Ａおよび第１容器２Ａの少なくともいずれかの位置情報が第２基準条件を満足しないと判定された場合に、第１塗布針１０Ａが第１貫通孔２０１内に挿通されないように構成されている。

図１および図２に示されるように、第１塗布針ユニット２０Ａは、第１塗布針モジュール１Ａ、第１容器２Ａ、第１被識別部３Ａおよび第２被識別部４Ａに加え、例えば第１バネ１２（弾性部）、移動部１３、第１ガイド部材１４、ベース部１５、第２ガイド部材１６（案内部）、受動部１７、伝達部１８、および第２バネ１９をさらに有している。第１塗布針ユニット２０Ａは、例えば駆動部３０に対して着脱可能に設けられている。

第１バネ１２の第１方向Ｄ１の他端（駆動部３０側に位置する第１バネ１２の端部）は、移動部１３の第１方向Ｄ１の他端（駆動部３０側に位置する移動部１３の端部）の駆動部３０から離れた側に位置する面（例えば下面）と接続されている。第１バネ１２は、移動部１３に対し塗布針１０Ａおよび塗布針支持部１１Ａを第１方向Ｄ１に付勢し得る。第１バネ１２のバネ定数は、例えば基板１４０の強度に応じて設定され得る。

移動部１３の第１方向Ｄ１の一端（駆動部３０から離れた側に位置する移動部１３の端部）には、ストッパ部１３ａが配置されている。ストッパ部１３ａと移動部１３の第１方向Ｄ１の上記他端とは、第１方向Ｄ１において塗布針支持部１１Ａおよび第１バネ１２を挟んで対向するように配置されている。ストッパ部１３ａは、塗布針支持部１１Ａの第１方向Ｄ１の上記一端と、第１方向Ｄ１に対向するように配置されている。ストッパ部１３ａは、第１方向Ｄ１において塗布針支持部１１Ａよりも駆動部３０から離れている。ストッパ部１３ａは、第１方向Ｄ１において第１容器２Ａよりも駆動部３０に近い。ストッパ部１３ａには貫通孔（図示しない）が配置されている。当該貫通孔の孔軸は、第１方向Ｄ１に沿って延びている。ストッパ部１３ａの貫通孔には塗布針１０Ａが挿通されている。ストッパ部１３ａの当該貫通孔は、塗布針１０Ａと干渉しないように配置されている。

図２および図３に示されるように、移動部１３の第１方向Ｄ１の上記他端は、伝達部１８の第１方向Ｄ１の一端（駆動部３０から離れた側に位置する伝達部１８の端部）と接続されている。

図２および図３に示されるように、第１塗布針ユニット２０Ａが第１駆動部３０により駆動されていない状態（第１状態）において、塗布針支持部１１Ａの上記一端の駆動部３０から離れた側に位置する面（例えば下面）はストッパ部１３ａの駆動部３０側に位置する面（例えば上面）と接触されている。

第１ガイド部材１４は、移動部１３に対する塗布針支持部１１Ａの第１方向Ｄ１への相対的な移動を可能とする。第１ガイド部材１４は、移動部１３に対する塗布針支持部１１Ａの第１方向Ｄ１に垂直な方向への相対的な移動を制限とする。第１ガイド部材１４は、第１方向Ｄ１に沿って延在している複数（例えば３つ）の面を有している。塗布針支持部１１Ａは、第１ガイド部材１４の上記複数の面の各々と第１方向Ｄ１に垂直な方向に対向するように配置され、かつ第１方向Ｄ１に沿って延在している複数（例えば３つ）の面を有している。第１ガイド部材１４および塗布針支持部１１Ａの各複数の面は、第１方向Ｄ１に直交する方向における一方および他方の側に向いた面を有している。

ベース部１５の第１方向Ｄ１の一端（駆動部３０から離れた側に位置するベース部１５の端部）は、第１容器２Ａを保持する容器保持部１５ａ（図３参照）として構成されている。

図３に示されるように、容器保持部１５ａには貫通孔１５ｂが配置されている。当該貫通孔１５ｂの孔軸は、第１方向Ｄ１に沿って延びている。容器保持部１５ａの貫通孔１５ｂには塗布針１０Ａが挿通されている。容器保持部１５ａの当該貫通孔は、塗布針１０Ａと干渉しないように配置されている。

容器保持部１５ａは、第１方向Ｄ１において駆動部３０から離れた側に突出している凸部１５ｃを有している。さらに、容器保持部１５ａは、凸部１５ｃを囲むように配置されている磁石１５ｄを有している。凸部１５ｃおよび磁石１５ｄは、例えば貫通孔１５ｂを囲むように配置されている。つまり、凸部１５ｃおよび磁石１５ｄの第１方向Ｄ１から視た平面形状は、例えば円環状である。

図４に示されるように、第１方向Ｄ１と交差する平面において第１貫通孔２０１が塗布針１０Ａと干渉しないように、第１容器２Ａは、ベース部１５の容器保持部１５ａにインロー嵌合されている。

ベース部１５の第１方向Ｄ１の他端（駆動部３０側に位置するベース部１５の端部）には、貫通孔（図示しない）が配置されている。当該貫通孔の孔軸は、第１方向Ｄ１に沿って延びている。ベース部１５の当該貫通孔には、伝達部１８が挿通されている。ベース部１５の当該貫通孔は、伝達部１８と干渉しないように配置されている。

第２ガイド部材１６は、ベース部１５に対する移動部１３の第１方向Ｄ１への相対的な移動を可能とする。第２ガイド部材１６は、ベース部１５に対する移動部１３の第１方向Ｄ１に垂直な方向への相対的な移動を制限とする。第２ガイド部材１６は、例えば第１ガイド部材１４と同様の構成を有している。すなわち、第２ガイド部材１６は、第１方向Ｄ１に沿って延在している複数（例えば３つ）の面を有している。移動部１３は、第２ガイド部材１６の上記複数の面の各々と第１方向Ｄ１に垂直な方向に対向するように配置され、かつ第１方向Ｄ１に沿って延在している複数（例えば３つ）の面を有している。第２ガイド部材１６および移動部１３の各複数の面は、第１方向Ｄ１に直交する方向における一方および他方の側に向いた面を有している。

受動部１７の第１方向Ｄ１の一端（駆動部３０から離れた側に位置する受動部１７の端部）は、伝達部１８の第１方向Ｄ１の他端（駆動部３０側に位置する伝達部１８の端部）と接続されている。受動部１７の第１方向Ｄ１の他端（駆動部３０側に位置する受動部１７の端部）は、第１方向Ｄ１において第１駆動部３０の可動部２６よりも駆動部３０から離れた側に配置されており、かつ可動部２６と接触可能に設けられている。異なる観点から言えば、受動部１７の第１方向Ｄ１の上記他端は、第１駆動部３０の可動部２６と着脱可能に接続されている。

伝達部１８の第１方向Ｄ１の一端（駆動部３０から離れた側に位置する伝達部１８の端部）は、ベース部１５の第１方向Ｄ１の上記他端と接続されている。伝達部１８の第１方向Ｄ１の他端は、受動部１７の第１方向Ｄ１の上記一端と接続されている。

第２バネ１９の第１方向Ｄ１の一端は、ベース部１５の第１方向Ｄ１の上記他端と接続されている。第２バネ１９の第１方向Ｄ１の他端は、受動部１７の第１方向Ｄ１の上記他端と接続されている。第２バネ１９は、第１駆動部３０に対する相対的な位置が固定されているベース部１５に対し、受動部１７を第１方向Ｄ１に付勢し得る。

駆動部３０は、受動部１７の上記第１方向Ｄ１における位置を変更可能に設けられている。駆動部３０により、第１塗布針ユニット２０Ａは、少なくとも第１塗布針１０Ａの針先が第１容器２Ａの内部空間２００内に収容されている第１状態と、第１塗布針１０Ａの針先が第１容器２Ａの第１貫通孔２０１から突出されている第２状態とを切替可能に設けられている。第１塗布針ユニット２０Ａは、例えば待機時および針先へ液体材料を補充する時に第１状態とされ、塗布時に第２状態とされる。上述のように、駆動部３０による受動部１７の上記第１方向Ｄ１における位置を変更する動作は、例えば判定部６によって制御される。

＜塗布装置の動作＞
塗布装置１００を用いた基板１４０に対する液体材料の塗布方法は、例えば以下の手順で実施される。

まず、第１塗布針ユニット２０Ａが準備される（工程（Ｓ１０））。具体的には、第１塗布針１０Ａを有し、かつ第１被識別部３Ａが固定された第１塗布針モジュール１Ａと、液体材料が貯留されており、かつ第２被識別部４Ａが固定された第１容器２Ａとが準備される。次に、準備された第１塗布針モジュール１Ａが第１バネ１２を介して移動部１３に取り付けられ、第１容器２Ａがベース部１５に取り付けられる。これにより、図１〜図３に示される第１塗布針ユニット２０Ａが準備される。なお、このときの第１塗布針ユニット２０Ａは、例えば上記第１状態とされている。

次に、第１塗布針ユニット２０Ａが予め定められた条件を満足するか否かを判定する（工程（Ｓ２０））。具体的には、まず読取部５により、第１被識別部３Ａから第１塗布針モジュール１Ａの識別情報を読み取るとともに、読取部５を用いて第２被識別部４Ａから第１容器２Ａの識別情報が読み取られる。次に、判定部６により、読取部５によって読み取られた第１塗布針モジュール１Ａの識別情報と第１容器２Ａの識別情報との第１対応関係が、予め定められた第１基準条件を満足するか否かを判定する。本工程（Ｓ２０）は、例えば基板１４０において液体材料が塗布されるべき領域から離れた場所で実施される。

上記判定工程（Ｓ２０）において上記第１対応関係が上記第１基準条件を満足すると判定された場合、第１塗布針ユニット２０Ａが液体材料を基板１４０に塗布する（工程（Ｓ３０））。この場合、第１塗布針ユニット２０Ａは、駆動部３０によって例えば以下のように駆動される。

図４（ａ）および（ｂ）に示されるように、上記第１状態にある第１塗布針ユニット２０Ａは、上記第１方向Ｄ１が基板１４０の表面に交差する方向に沿うように配置され、基板１４０の上記塗布されるべき領域に液体材料を塗布し得る位置に移動される。これにより、第１塗布針ユニット２０Ａは、基板１４０の表面に沿った方向において、基板１４０に対し位置決めされる。

次に、図５（ａ）および（ｂ）に示されるように、第１塗布針ユニット２０Ａの上記被駆動部が第１駆動部３０により駆動されることにより、基板１４０の表面に交差する方向において第１塗布針モジュール１Ａが基板１４０に近づけられて、第１塗布針１０Ａが基板１４０に接触する。具体的には、まず第１駆動部３０が駆動されて受動部１７が基板１４０側に向かって移動する。受動部１７と伝達部１８を介して接続されている移動部１３は、基板１４０に対し位置決めされている第１容器２Ａおよびベース部１５に対し、第２ガイド部材１６に案内されて基板１４０側に向かって第１方向Ｄ１に移動する。このとき、塗布針１０Ａおよび塗布針支持部１１Ａは、基板１４０に向かう側に移動する移動部１３に対し、第１バネ１２によって基板１４０に向かう側に付勢されている。そのため、第１塗布針ユニット２０Ａでは、塗布針１０Ａ、塗布針支持部１１Ａ、第１バネ１２および移動部１３の第１状態における相対的な位置関係が、塗布針１０Ａが基板１４０に接触するまで維持される。

つまり、図４（ａ）および（ｂ）に示される第１状態から図５（ａ）および（ｂ）に示される第２状態までの間、塗布針１０Ａの第１方向Ｄ１の移動距離は、受動部１７の第１方向Ｄ１の移動距離Ｌ１（図６参照）に等しい。また、塗布針１０Ａの第１方向Ｄ１の移動距離は、第２バネ１９の第１方向Ｄ１の長さの変化量に等しい。

図６（ａ）および（ｂ）に示されるように、図５（ａ）および（ｂ）に示される第２状態にあった受動部１７は、可動部２６によって基板１４０側に向かってさらに移動され得る。この場合にも、受動部１７と伝達部１８を介して接続されている移動部１３およびそのストッパ部１３ａは、基板１４０に対し位置決めされている第１容器２Ａおよびベース部１５に対し、第２ガイド部材１６に案内されて基板１４０側に向かって第１方向Ｄ１に移動する。このとき、塗布針１０Ａが基板１４０と既に接触しているため、塗布針１０Ａおよび塗布針支持部１１Ａは基板１４０側に向かって第１方向Ｄ１に移動し得ない。そのため、塗布針支持部１１Ａと移動部１３との間に配置された第１バネ１２は圧縮される。これにより、第２状態にあった受動部１７が可動部２６によって基板１４０側に向かってさらに移動される場合にも、これに塗布針１０Ａは直ちに連動しないため、基板１４０の損傷および破壊を防止することができる。このとき基板１４０には、第２状態での受動部１７の第１方向Ｄ１の移動距離Ｌ２に応じた第１バネ１２の弾性力が塗布針１０Ａを介して印加される。そのため、塗布針１０Ａが基板１４０を損傷させ得る力よりも上記弾性力が弱くなるように、第１バネ１２のバネ定数が決められていればよい。

上記判定工程（Ｓ２０）において第１塗布針ユニット２０Ａの上記第１対応関係が上記第１基準条件を満足しないと判定された場合には、上記塗布工程（Ｓ３０）が実施されない。言い換えると、上記第１対応関係が上記第１基準条件を満足しないと判定された場合、第１塗布針ユニット２０Ａは第２状態とされないように、すなわち第１塗布針１０Ａが第１貫通孔２０１内に挿通されないように、構成されている。塗布装置１００の上記モニタの表示等から上記判定結果を認識した作業者が上記第１対応関係を上記第１基準条件を満足するように変更することで、再び実施される上記判定工程（Ｓ２０）において上記第１対応関係が上記第１基準条件を満足すると判定され、該判定結果に基づいて上記塗布工程（Ｓ３０）が実施される。

好ましくは、上記判定工程（Ｓ２０）において、判定部６は、読取部５が第１被識別部３Ａから識別した識別情報から第１塗布針１０Ａの位置情報および読取部５が第２被識別部４Ａから識別した識別情報から第１容器２Ａの位置情報が予め定められた第２基準条件を満足するか否かをさらに判定する。この場合、上記判定工程（Ｓ２０）において、上記第１対向関係が上記第１基準条件を満足し、かつ第１塗布針１０Ａおよび第１容器２Ａの各位置情報が上記第２基準条件を満足すると判定された場合には、上記塗布工程（Ｓ３０）が実施される。一方、上記第１対向関係ならびに第１塗布針１０Ａおよび第１容器２Ａの各位置情報の少なくともいずれかが第１基準条件または第２基準条件を満足しないと判定された場合には、上記塗布工程（Ｓ３０）が実施されない。つまり、判定部６が第１塗布針１０Ａおよび第１容器２Ａの少なくともいずれかの位置情報が第２基準条件を満足しないと判定した場合には、仮に上記第１対向関係が上記第１基準条件を満足していると判定された場合にも、第１塗布針１０Ａが第１貫通孔２０１内に挿通されないように構成されている。なお、第１塗布針１０Ａおよび第１容器２Ａの各位置情報が第２基準条件を満足すると判定された場合にも、上記第１対向関係が上記第１基準条件を満足していないと判定された場合には、第１塗布針１０Ａが第１貫通孔２０１内に挿通されないように構成されている。

より好ましくは、判定部６は、読取部５が第１被識別部３Ａから識別した識別情報から第１塗布針１０Ａの位置情報が予め定められた基準条件を満足するか否かをさらに判定する。この場合、上記判定工程（Ｓ２０）において、上記第１対向関係が上記第１基準条件を満足し、第１容器２Ａの位置情報が上記第２基準条件を満足し、かつ第１塗布針１０Ａの位置情報が上記基準条件を満足すると判定された場合には、上記塗布工程（Ｓ３０）が実施される。一方、上記第１対向関係、第１容器２Ａの位置情報および第１塗布針１０Ａの位置情報の少なくともいずれかが第１基準条件または第２基準条件を満足しないと判定された場合には、上記塗布工程（Ｓ３０）が実施されない。

なお、上記準備工程（Ｓ１０）および上記判定工程（Ｓ２０）は、塗布対象物としての基板１４０が塗布装置１００に対し塗布可能な状態とされる前、例えば塗布可能な位置に位置決めされる前、に実施されてもよい。つまり、上記準備工程（Ｓ１０）および上記判定工程（Ｓ２０）は、第１塗布針１０Ａおよび第１容器２Ａの交換作業として実施され、上記塗布工程（Ｓ３０）とは連続的に実施されなくてもよい。この場合、上記判定工程（Ｓ２０）の判定結果から、上記塗布工程（Ｓ３０）が実行可能な状態とされた後に、基板１４０が塗布装置１００に対し塗布可能な状態とされて上記塗布工程（Ｓ３０）が実行されてもよい。

また、上記準備工程（Ｓ１０）および上記判定工程（Ｓ２０）は、塗布対象物としての基板１４０が塗布装置１００に対し塗布可能な状態とされた後に、実施されてもよい。この場合、上記準備工程（Ｓ１０）から上記塗布工程（Ｓ３０）までの各工程は、連続的に実施され得る。仮に、上記判定工程（Ｓ２０）において上記第１対向関係が上記第１基準条件を満足しないと判定されたときには、当該判定結果を上記モニタ等の表示から認識した作業者が上記第１対向関係の見直しを行うことで基板１４０が塗布装置１００に対し塗布可能な状態とされる。その後、再度上記判定工程（Ｓ２０）が実施されて上記第１対向関係が上記第１基準条件を満足すると判定されることで、上記塗布工程（Ｓ３０）が実施される。

＜作用効果＞
塗布装置１００は、第１塗布針モジュール１Ａ、第１容器２Ａ、第１被識別部３Ａ、第２被識別部４Ａ、読取部５、および判定部６を備える。第１塗布針モジュール１Ａは、第１塗布針１０Ａを含み、塗布装置１００に対して第１塗布針１０Ａと一体として着脱可能に設けられている。第１容器２Ａには、液体材料が貯留される内部空間２００と、内部空間２００と対象物としての基板１４０との間に配置され第１塗布針１０Ａを挿通可能とされた第１貫通孔２０１とが設けられている。第１被識別部３Ａは、第１塗布針モジュール１Ａに固定されており、第１塗布針１０Ａの識別情報が表示されている。第２被識別部４Ａは、第１容器２Ａに固定されており、第１容器２Ａの識別情報が表示されている。読取部５は、第１被識別部３Ａおよび第２被識別部４Ａから識別情報を読み取る。判定部６は、読取部５が第１被識別部３Ａから識別した第１塗布針１０Ａの識別情報と読取部５が第２被識別部４Ａから識別した第１容器２Ａの識別情報との第１対応関係が予め定められた第１基準条件を満足するか否かを判定する。

このような塗布装置１００によれば、基板１４０に液体材料を塗布する前に、第１塗布針１０Ａの識別情報と第１容器２Ａの識別情報との第１対応関係が予め定められた第１基準条件を満足するか否かを判定することができる。そのため、仮に判定部６が上記第１対応関係が上記第１基準条件を満足しないと判定した場合、当該判定結果に基づいて基板１４０に対する液体材料の塗布処理を停止することができる。つまり、塗布装置１００によれば、第１塗布針ユニット２０Ａにおいて第１塗布針モジュール１Ａおよび第１容器２Ａの少なくともいずれかの誤装着があった場合に、塗布処理を停止させることができる。その結果、塗布装置１００は、例えば第１塗布針１０Ａが第１容器２Ａと干渉して所定の塗布量を塗布できない、基板１４０に誤った液体材料が塗布される、適切でない第１塗布針１０Ａによって基板１４０に損傷が加えられる、等の異常の発生を抑制することができる。

上記塗布装置１００では、判定部６が上記第１対応関係が上記第１基準条件を満足しないと判定した場合に、第１塗布針１０Ａが第１貫通孔２０１内に挿通されないように構成されている。つまり、上記塗布装置１００では、判定部６が上記第１対応関係が上記第１基準条件を満足しないと判定した場合に、駆動部３０が第１塗布針ユニット２０Ａを下降させないように設けられている。その結果、塗布装置１００は、例えば第１塗布針１０Ａが第１容器２Ａと干渉して所定の塗布量を塗布できない、基板１４０に誤った液体材料が塗布される、適切でない第１塗布針１０Ａによって基板１４０に損傷が加えられる、等の異常の発生を抑制することができる。

（実施の形態２）
図７に示されるように、実施の形態２に係る塗布装置は、実施の形態１に係る塗布装置１００と基本的に同様の構成を備えるが、判定部６が上記第１対応関係が上記第１基準条件を満足しないと判定した場合にこのことを報知する第１報知部７をさらに備える点で異なる。

第１報知部７は、作業者に対し上記第１対応関係が上記第１基準条件を満足しないとの判定結果を認知させ得る限りにおいて任意の構成を有していればよいが、例えば視覚的に報知可能に構成されている。第１報知部７は、例えばＬＥＤ等の発光素子を有している。第１報知部７は、例えば上記第１対応関係が上記第１基準条件を満足しているとの判定結果と、上記第１対応関係が上記第１基準条件を満足していないとの判定結果とを、異なる色で表示可能である。第１報知部７は、作業者に対し判定結果を視覚的に認知させ得る限りにおいて、上記塗布装置の任意の場所に配置されていればよいが、例えば移動部１３上に配置されている。

なお、第１報知部７は、例えば任意の音源を有しており、聴覚的に報知可能に構成されていてもよい。第１報知部７は、例えば、上記第１対応関係が上記第１基準条件を満足しているとの判定結果と、上記第１対応関係が上記第１基準条件を満足していないとの判定結果とを、異なる音色で表示可能である。この場合、第１報知部７は作業者に対し判定結果を聴覚的に認知させ得る限りにおいて、上記塗布装置の任意の場所に配置され得る。

上記塗布装置は、判定部６が第１容器２Ａの位置情報が上記第２基準条件を満足しないと判定した場合にこのことを報知する第２報知部８をさらに備えている。第２報知部８は、例えば第１報知部７と同様の構成を有しており、視覚的に報知可能に構成されている。

このような上記塗布装置によれば、塗布装置１００と基本的に同様の構成を備えているため、塗布装置１００と同様の効果を奏することができる。

さらに、上記塗布装置によれば、第１報知部７により判定部６による判定結果を作業者に報知することができる。つまり、作業者は、図示しないモニタ等を確認することなく、第１報知部７から判定部６による判定結果を認識することができる。特に、第１報知部７が第１塗布針ユニット２０Ａに設けられている上記塗布装置によれば、第１塗布針ユニット２０Ａに対する塗布針モジュール１Ａおよび第１容器２Ａの交換作業中の作業者は、その交換作業の適否を容易に認識することができる。

なお、上記塗布装置は、判定結果毎を個別に報知する複数の報知部を備えているが、全判定結果を総合して報知する１つの報知部のみを備えていてもよい。この場合、当該１つの報知部は、上記第１対応関係が上記第１基準条件を満足していないとの判定結果と、第１塗布針１０Ａの位置情報または第１容器２Ａの位置情報が上記第２基準条件を満足していないとの判定結果とを、作業者が認識できるように報知可能である。

また、上記塗布装置では、判定部６は、判定結果に基づいて駆動部３０を制御可能に設けられていなくてもよい。言い換えると、上記塗布装置は、上記準備工程（Ｓ１０）および上記判定工程（２０）による交換作業と、上記塗布工程（Ｓ３０）からなる塗布作業とが互いに独立した処理として実施されるように、設けられていてもよい。この場合、作業者が、第１報知部７および第２報知部８から上記判定工程（Ｓ２０）での判定結果を認識した上で、上記塗布工程（Ｓ３０）を実施するか否かを判断してもよい。

（実施の形態３）
図８および図９に示されるように、実施の形態３に係る塗布装置１０１は、実施の形態１に係る塗布装置１００と基本的に同様の構成を備えるが、第１塗布針ユニット２０Ａに加えて、第２塗布針ユニット２０Ｂをさらに備えている点で異なる。

第１塗布針ユニット２０Ａは、第１塗布針モジュール１Ａおよび第１容器２Ａと、第１塗布針モジュール１Ａに固定されており、かつ第１塗布針１０Ａの識別情報が表示された第１被識別部３Ａと、第１容器２Ａに固定されており、かつ第１容器２Ａの識別情報が表示された第２被識別部４Ａとを含む。第１塗布針モジュール１Ａおよび第１容器２Ａは、塗布装置１０１に対し、互いに独立して着脱可能に設けられている。

第２塗布針ユニット２０Ｂは、第２塗布針モジュール１Ｂと、第２容器２Ｂと、第２塗布針モジュール１Ｂに固定されており、かつ第２塗布針１０Ｂの識別情報が表示された第３被識別部３Ｂと、第２容器２Ｂの識別情報が表示された第４被識別部４Ｂとを含む。第２塗布針モジュール１Ｂおよび第２容器２Ｂは、塗布装置１０１に対し、互いに独立して着脱可能に設けられている。第２塗布針ユニット２０Ｂは、塗布装置１０１に対し、第１塗布針ユニット２０Ａとは独立して着脱可能に設けられている。第２容器２Ｂは、塗布装置１０１に対し、第１容器２Ａとは独立して着脱可能に設けられている。

第１塗布針１０Ａと第２塗布針１０Ｂとは、例えば形状、寸法等が異なっている。第１容器２Ａと第２容器２Ｂとは、例えば貯留している液体材料が異なっている。このため、第１被識別部３Ａと第３被識別部３Ｂとは異なっており、第２被識別部４Ａと第４被識別部４Ｂとは異なっている。読取部５は、第３被識別部３Ｂおよび第４被識別部４Ｂから上記識別情報を読み取り可能に設けられている。

判定部６は、読取部５が第１被識別部３Ａから識別した第１塗布針１０Ａの識別情報と読取部５が第２被識別部４Ａから識別した第１容器２Ａの識別情報との第１対応関係が予め定められた第１基準条件を満足するか否かを判定するとともに、読取部５が第３被識別部３Ｂから識別した第２塗布針１０Ｂの識別情報と読取部５が第４被識別部４Ｂから識別した第２容器２Ｂの識別情報との第２対応関係が予め定められた第３基準条件を満足するか否かを判定する。

このような塗布装置１０１によれば、第１塗布針ユニット２０Ａにおける上記第１対応関係が上記第１対応関係を満足し、かつ第２塗布針ユニット２０Ｂにおける上記第２対応関係が上記第２対応関係を満足する場合にのみ、上記塗布工程（Ｓ３０）が実施され得る。そのため、第１塗布針ユニット２０Ａおよび第２塗布針ユニット２０Ｂを用いて、異なる塗布条件での塗布処理が連続して実施される場合にも、予め定められた条件とは異なる条件での塗布処理の実施を防止することができる。

なお、塗布装置１０１は、第１塗布針ユニット２０Ａおよび第２塗布針ユニット２０Ｂの各ベース部１５を連結してこれらを支持する連結部４０をさらに備えていてもよい。連結部４０は、例えば第１塗布針ユニット２０Ａおよび第２塗布針ユニット２０Ｂの各ベース部１５に接続され、これらを連結している。

この場合、好ましくは、塗布装置１０１は、連結部４０に固定されており、連結部４０における第１塗布針モジュール１Ａの位置情報が表示された第５被識別部９Ａと、連結部４０に固定されており、連結部４０における第２塗布針モジュール１Ｂの位置情報が表示された第６被識別部９Ｂとをさらに備えている。

第１被識別部３Ａ、第２被識別部４Ａ，および第５被識別部９Ａは、読取部５により同時に識別され得るように、配置されている。第３被識別部３Ｂ、第４被識別部４Ｂ，および第６被識別部９Ｂは、読取部５により同時に識別され得るように、配置されている。言い換えると、第３被識別部３Ｂ、第４被識別部４Ｂ，および第６被識別部９Ｂは、読取部５が同時に識別し得る識別視野ＦＶ内に配置されている。

読取部５は、第５被識別部９Ａおよび第６被識別部９Ｂから第１塗布針モジュール１Ａの位置情報および第２塗布針モジュール１Ｂの位置情報を読み取り可能に設けられている。判定部６は、読取部５が第５被識別部９Ａから識別した第１塗布針モジュール１Ａの位置情報と読取部５が第６被識別部９Ｂから識別した第２塗布針モジュール１Ｂの位置情報とが予め定められた第４基準条件を満足するか否かを判定する。

例えば、第１塗布針ユニット２０Ａおよび第２塗布針ユニット２０Ｂによる塗布処理が連続して実施される場合、塗布処理の順番は連結部４０における第１塗布針ユニット２０Ａおよび第２塗布針ユニット２０Ｂの位置情報に基づいて設定され得る。この場合、仮に第１塗布針ユニット２０Ａにおける上記第１対応関係が上記第１対応関係を満足し、かつ第２塗布針ユニット２０Ｂにおける上記第２対応関係が上記第２対応関係を満足する場合であっても、連結部４０における第１塗布針モジュール１Ａおよび第２塗布針ユニット２０Ｂの各位置情報が予め定められた第４基準条件を満足しないように、これらが誤って配置がされていると、予め定められた条件とは異なる条件での塗布処理が実施されることになる。

これに対し、塗布装置１０１によれば、第１塗布針ユニット２０Ａおよび第２塗布針ユニット２０Ｂを用いて、異なる塗布条件での塗布処理が連続して実施される場合にも、予め定められた条件とは異なる条件での塗布処理の実施を防止することができる。

なお、連結部４０は、任意の構成を有していればよいが、例えば以下のように構成されている。

連結部４０を第１方向Ｄ１から視たときの外形状は、例えば円形状である。第１塗布針ユニット２０Ａおよび第２塗布針ユニット２０Ｂは、例えば連結部４０の外周に接続されており、かつ当該外周に沿って互いに間隔を隔てて配置されている。この場合、第１塗布針ユニット２０Ａ、第２塗布針ユニット２０Ｂおよび連結部４０は、第１駆動部３０に対し、一体として着脱可能である。

この場合、塗布装置１０１は、第１塗布針ユニット２０Ａおよび第２塗布針ユニット２０Ｂと第１駆動部３０との相対的な位置関係を変更する第２駆動部３１とをさらに備える。第２駆動部３１は、第１方向Ｄ１の延びる直線に対する周方向において、第１塗布針ユニット２０Ａおよび第２塗布針ユニット２０Ｂと第１駆動部３０との相対的な位置関係を変更する。第２駆動部３１は、例えばサーボモータを含む。連結部４０は、第２駆動部３１の回転部材に着脱可能に取り付けられ、該回転部材とともに回転部材の回転軸を中心に回転される。塗布針ユニット２０を第１方向Ｄ１から視たときに、第２駆動部３１の回転軸は連結部４０の中心と重なるように配置されている。該回転部材の回転軸は、第１方向Ｄ１に沿うように配置されている。

第１駆動部３０および第２駆動部３１は、例えば一体として構成されている。第１駆動部３０は、例えば第１接続部２８を介して支持部２９と接続されている。第２駆動部３１は、支持部２９と接続されている。第１駆動部３０および第２駆動部３１は、支持部２９に対する相対的な位置関係が固定されている。第１駆動部３０の可動部２６は、例えば第２駆動部３１の回転軸に対する円周上に配置されている。支持部２９は、第２接続部３２を介して後述するＺ軸テーブル１２０の移動体に接続されている。第２駆動部３１は、第１駆動部３０または連結部４０を介してのみ第１塗布針ユニット２０Ａおよび第２塗布針ユニット２０Ｂと接続されている。

これにより、複数の塗布針ユニットおよび連結部４０は、第１駆動部３０および第２駆動部３１に対し、一体として着脱可能である。

なお、複数の塗布針ユニット２０Ａ〜２０Ｌの個数は、任意の数であればよいが、例えば図８および図９に示されるように１２個である。複数の塗布針ユニット２０Ａ〜２０Ｌの数の分だけ、連結部４０に対するこれらの位置情報が表示された被識別部９Ａ〜９Ｌが連結部４０に固定されている。

図１０に示されるように、上記塗布装置は、複数の塗布針ユニットに加え、例えば観察光学系１１０と、観察光学系１１０に接続されたＣＣＤカメラ１１１と、Ｚ軸テーブル１２０と、Ｘ軸テーブル１２１と、Ｙ軸テーブル１２２と、基台１２３と、制御部１３０とを含む。

観察光学系１１０は、塗布対象の基板１４０の塗布位置を観察するために設けられる。観察光学系１１０のＣＣＤカメラ１１１は、観察した画像を電気信号に変換する。塗布装置１００および観察光学系１１０は、Ｚ軸テーブル１２０の移動体に搭載されている。これにより、塗布装置１００および観察光学系１１０は、Ｚ軸テーブル１２０によって図８中のＺ軸方向に移動可能に支持されている。Ｚ軸テーブル１２０は、Ｘ軸テーブル１２１の移動体に搭載されている。これにより、Ｚ軸テーブル１２０は、Ｘ軸テーブル１２１によって図８中のＸ軸方向に移動可能に支持されている。塗布対象の基板１４０は、Ｙ軸テーブル１２２の移動体に載置されている。これにより、塗布対象の基板１４０は、Ｙ軸テーブル１２２によって図８中のＹ軸方向に移動可能に支持されている。Ｙ軸テーブル１２２は、基台１２３の上面に設置されている。Ｙ軸テーブル１２２は、Ｙ軸方向に移動可能に設けられている。なお、図８中のＺ軸方向は重力方向に沿う方向である。読取部５は、例えばＹ軸テーブル１２２において、基板１４０を上記塗布装置に投入または取出作業が実施される位置、いわゆるメンテナンスボジション、に固定されている。

制御部１３０は、操作パネル１３１、モニタ１３２、および制御用コンピュータ１３３を備える。制御部１３０は、塗布装置１００、観察光学系１１０、Ｚ軸テーブル１２０、Ｘ軸テーブル１２１、およびＹ軸テーブル１２２を制御する。操作パネル１３１は、制御用コンピュータ１３３への指令を入力するために用いられる。モニタ１３２は、観察光学系１１０のＣＣＤカメラ１１１で変換された画像データおよび、制御用コンピュータ１３３からの出力データを表示する。モニタ１３２は、判定部６による判定結果を表示可能に設けられている。

（変形例）
図１１および図１２に示されるように、複数の塗布針ユニット２０Ａ〜２０Ｌは、第１方向Ｄ１と直交する第２方向Ｄ２に並んで配置されていてもよい。このような塗布装置１０３は、複数の塗布針ユニット２０Ａ〜２０Ｌと第１駆動部３０との相対的な位置関係を変更可能な第２駆動部３１を備えている。この場合、複数の塗布針ユニット２０Ａ〜２０Ｌは、第２方向Ｄ２に沿って延在する連結部４１により互いに連結されており、被識別部９Ａ〜９Ｌは連結部４１に固定されていればよい。

第２駆動部３１は、例えばリニアモータを含む。該リニアモータは、例えば水平方向に沿った第２方向Ｄ２に沿って延在する固定部と、固定部に案内されて第２方向Ｄ２に直線運動する可動部とを含む。可動部は、第２方向Ｄ２に沿って延在する連結部４１に取り付けられている。第２駆動部３１は、第２接続部３２を介して上記Ｚ軸テーブル１２０の移動体に接続されている。つまり、上記塗布装置１０１において、複数の塗布針ユニット２０Ａ〜２０Ｌは、第２方向Ｄ２に沿って並んで配置されていてもよい。第２駆動部３１は、複数の塗布針ユニットの各々と第１駆動部３０との相対的な位置関係を変更する。

また、上記複数の塗布針ユニット２０Ａ〜２０Ｌにおいて、隣り合う２つの塗布針ユニットの連結部４０，４１に対する位置情報は、該隣り合う２つの塗布針ユニットの間に配置された１つの被識別部により表示されていてもよい。言い換えると、１つの第５被識別部９Ａは、第５被識別部９Ａを平面視したときにその一方側に配置されている第１塗布針ユニット２０Ａの連結部４０，４１における位置情報と、他方に配置されている第２塗布針ユニット２０Ｂの連結部４０，４１における位置情報とを含んでいてもよい。

（実施の形態４）
図１３に示されるように、実施の形態４に係る塗布装置は、実施の形態１に係る塗布装置１００と基本的に同様の構成を備えるが、第１塗布針ユニット２０Ａに替えて第３塗布針ユニット５０を備えている点で異なる。

第３塗布針ユニット５０は、駆動部３０と一体として設けられている点で、第１塗布針ユニット２０Ａと異なる。第３塗布針ユニット５０は、第１塗布針モジュール１Ａと、液体材料が貯留される第１容器２Ａと、第１塗布針モジュール１Ａの識別情報が表示された第１被識別部３Ａと、第１容器２Ａの識別情報が表示された第２被識別部４Ａと、駆動部３０とを主に含む。第１塗布針モジュール１Ａおよび第１容器２Ａは、第１塗布針ユニット２０Ａからそれぞれ独立して着脱可能に設けられている。

図１３に示されるように、第１塗布針モジュール１Ａは、例えば第１塗布針１０Ａと、塗布針支持部１１Ａ、塗布針ホルダ５１Ａとを主に有している。第１塗布針１０Ａは、針先を有し、少なくとも一部が第１容器２Ａにおいて液体材料が貯留されている内部空間２００（図２参照）および該内部空間２００に連なる挿通路に挿通される。第１塗布針１０Ａの針先は、基板１４０に液体材料を塗布または滴下可能に設けられている。第１塗布針１０Ａは、塗布針支持部１１Ａに固定されている。塗布針支持部１１Ａの少なくとも一部は、塗布針ホルダ５１Ａに収容されている。

第１塗布針モジュール１Ａは、塗布針ホルダ保持部２１、カム連結部２２、軸受２３、カム部材２４および回転部２５を介して駆動部３０に接続されている。塗布針ホルダ５１Ａは、塗布針ホルダ保持部２１に着脱可能に保持されている。第１塗布針モジュール１Ａは、駆動部３０に対して着脱可能である。

塗布針ホルダ保持部２１は、カム連結部２２の一端（例えば下端）に固定されている。カム連結部２２の他端（上端）は、軸受２３の内輪（図示しない）と固定されている。軸受２３の外輪は、カム部材２４と摺動可能に接続されている。軸受２３の外輪の外周面は、カム面２４Ａ（カム部材２４の駆動部３０側の表面）と接触して摺動可能な摺動面である。カム部材２４は、駆動部３０によって回転駆動される回転部２５に固定されている。軸受２３およびカム部材２４は、駆動部３０による回転部２５の回転運動を第１塗布針モジュール１Ａの重力方向における運動（上下運動）に変換可能に設けられている。

これにより、第１塗布針モジュール１Ａ、塗布針ホルダ保持部２１、カム連結部２２、および軸受２３は、駆動部３０によって、重力方向に沿って移動可能に設けられている。

駆動部３０による回転軸は、例えば延在方向に沿って延びている。駆動部３０は、例えばサーボモータとして構成されている。駆動部３０は、読取部５による第１被識別部３Ａおよび第２被識別部４Ａの識別結果に応じて、駆動される（詳細は後述する）。

第１塗布針ユニット２０Ａは、例えば基板１４０に対する相対的な位置関係を変更可能に設けられている。第１塗布針ユニット２０Ａは、例えば基板１４０が保持されるＹステージに対する相対的な位置関係を変更可能に設けられている。

読取部５および判定部６は、例えば第１塗布針ユニット２０Ａとは別体として構成されている。読取部５および判定部６は、例えば塗布装置１００において所定の位置に固定されている。読取部５および判定部６は、例えば重力方向において基板１４０と重ならない位置に配置されている。

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

１Ａ 第１塗布針モジュール、１Ｂ 第２塗布針モジュール、２Ａ 第１容器、２Ｂ 第２容器、３Ａ 第１被識別部、３Ｂ 第３被識別部、４Ａ 第２被識別部、４Ｂ 第４被識別部、５ 読取部、６ 判定部、７ 第１報知部、８ 第２報知部、９Ａ 第５被識別部、９Ｂ 第６被識別部、１０Ａ 第１塗布針、１０Ｂ 第２塗布針、１１Ａ 塗布針支持部、１２ 第１バネ、１３ 移動部、１３ａ ストッパ部、１４ 第１ガイド部材、１５ ベース部、１５ｂ 貫通孔、１５ｃ 凸部、１５ｄ 磁石、１６ 第２ガイド部材、１７ 受動部、１８ 伝達部、１９ 第２バネ、２０Ａ 第１塗布針ユニット、２０Ｂ 第２塗布針ユニット、２１ 塗布針ホルダ保持部、２２ カム連結部、２３ 軸受、２４ カム部材、２５ 回転部、２６ 可動部、２８ 第１接続部、２９ 支持部、３０ 第１駆動部、３１ 第２駆動部、３２ 第２接続部、４０，４１ 連結部、１００，１０１，１０２，１０３ 塗布装置、１２０ Ｚ軸テーブル、１４０ 基板、２００ 内部空間、２０１ 第１貫通孔。

Claims (10)

1. 塗布針を用いて対象物の表面に液体材料を塗布するための塗布装置であって、
   第１塗布針を含み、前記塗布装置に対して前記第１塗布針と一体として着脱可能に設けられている第１塗布針モジュールと、
   液体材料が貯留される内部空間と、前記内部空間と対象物との間に配置され前記第１塗布針を挿通可能とされた第１貫通孔とが設けられている第１容器と、
   前記第１塗布針モジュールに固定されており、前記第１塗布針の識別情報が表示された第１被識別部と、
   前記第１容器に固定されており、前記第１容器の識別情報が表示された第２被識別部と、
   前記第１被識別部および前記第２被識別部から前記識別情報を読み取る読取部と、
   前記読取部が前記第１被識別部から識別した前記第１塗布針の前記識別情報と前記読取部が前記第２被識別部から識別した前記第１容器の前記識別情報との第１対応関係が予め定められた第１基準条件を満足するか否かを判定する判定部とを備える、塗布装置。
2. 前記判定部が前記第１対応関係が前記第１基準条件を満足しないと判定した場合に、前記第１塗布針が前記第１貫通孔内に挿通されないように構成されている、請求項１に記載の塗布装置。
3. 前記判定部は、前記読取部が前記第２被識別部から識別した前記識別情報から前記第１容器の位置情報が予め定められた第２基準条件を満足するか否かを判定可能であり、
   前記判定部が前記第１容器の前記位置情報が前記第２基準条件を満足しないと判定した場合に、前記第１塗布針が前記第１貫通孔内に挿通されないように構成されている、請求項１または２に記載の塗布装置。
4. 前記判定部が前記第１対応関係が前記第１基準条件を満足しないと判定した場合にこのことを報知する第１報知部をさらに備える、請求項１〜３のいずれか１項に記載の塗布装置。
5. 前記判定部は、前記読取部が前記第２被識別部から識別した前記識別情報から前記第１容器の位置情報が予め定められた第２基準条件を満足するか否かを判定可能であり、
   前記判定部が前記第１容器の前記位置情報が前記第２基準条件を満足しないと判定した場合にこのことを報知する第２報知部をさらに備える、請求項３または４に記載の塗布装置。
6. 第２塗布針を含む第２塗布針モジュールと、
   液体材料が貯留される内部空間と、前記内部空間と対象物との間に配置され前記第２塗布針を挿通可能とされた第２貫通孔とが設けられている第２容器と、
   前記第２塗布針モジュールに固定されており、前記第２塗布針の識別情報が表示された第３被識別部と、
   前記第２容器に固定されており、前記第２容器の識別情報が表示された第４被識別部とをさらに備え、
   前記読取部は、前記第３被識別部および前記第４被識別部から前記識別情報を読み取り可能に設けられており、
   前記判定部は、前記読取部が前記第３被識別部から識別した前記第２塗布針の前記識別情報と前記読取部が前記第４被識別部から識別した前記第２容器の前記識別情報との第２対応関係が予め定められた第３基準条件を満足するか否かを判定する、請求項１〜５のいずれか１項に記載の塗布装置。
7. 前記判定部が前記第２対応関係が前記第３基準条件を満足しないと判定した場合に、前記第２塗布針が前記第２貫通孔内に挿通されないように構成されている、請求項６に記載の塗布装置。
8. 前記第１塗布針モジュールおよび前記第２塗布針モジュールを支持する支持部と、
   前記支持部に固定されており、前記支持部における前記第１塗布針モジュールの位置情報が表示された第５被識別部と、
   前記支持部に固定されており、前記支持部における前記第２塗布針モジュールの位置情報が表示された第６被識別部とをさらに備え、
   前記読取部は、前記第５被識別部および前記第６被識別部から前記第１塗布針モジュールの位置情報および前記第２塗布針モジュールの位置情報を読み取り可能に設けられており、
   前記判定部は、前記読取部が前記第５被識別部から識別した前記第１塗布針モジュールの位置情報と前記読取部が前記第６被識別部から識別した前記第２塗布針モジュールの位置情報とが予め定められた第４基準条件を満足するか否かを判定する、請求項６または７に記載の塗布装置。
9. 前記判定部が前記第１塗布針モジュールの位置情報と前記第２塗布針モジュールの位置情報とが前記第４基準条件を満足しないと判定した場合に、前記第１塗布針１０Ａが前記第１貫通孔内に挿通されず、かつ前記第２塗布針が前記第２貫通孔内に挿通されないように構成されている、請求項８に記載の塗布装置。
10. 前記第１被識別部および前記第２被識別部の各々は、バーコード、ＱＲ（Ｑｕｉｃｋ Ｒｅｓｐｏｎｓｅ）コード、およびＲＦＩＤ（Ｒａｄｉｏ−Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ Ｉｄｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎ）のいずれかであり、
    前記読取部は、バーコードリーダ、ＱＲコードリーダ、およびＲＦＩＤリーダのいずれかである、請求項１〜８のいずれか１項に記載の塗布装置。

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