JP2019117931A - 固体撮像装置および固体撮像装置の製造方法 - Google Patents
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- 半導体層に設けられ、入射した光により光電変換された信号電荷を蓄積する電荷蓄積領域と、
前記半導体層の表層に設けられるフローティングディフュージョンと、
前記フローティングディフュージョンに隣設され、前記半導体層の表面から前記電荷蓄積領域まで達し、前記フローティングディフュージョンに面する側面の幅および当該側面と対向する側面の幅が、他の側面の幅よりも大きい柱状のトレンチゲートと
を備えることを特徴とする固体撮像装置。 - 前記トレンチゲートは、
前記フローティングディフュージョンに面する側面の面積および当該側面と対向する側面の面積が、他の側面の面積よりも大きい
ことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。 - 前記トレンチゲートは、
前記半導体層の面方向の断面が略矩形状である
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の固体撮像装置。 - 前記トレンチゲートは、
前記半導体層の面方向の断面が楕円状である
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の固体撮像装置。 - 前記トレンチゲートは、
前記フローティングディフュージョンに面する側面の幅および当該側面と対向する側面の幅が、前記半導体層の深層へ向かうにつれて小さくなる
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載の固体撮像装置。 - 第1導電型の半導体層の内部に第2導電型の電荷蓄積領域を形成することと、
前記半導体層の表面から前記電荷蓄積領域まで達し、一方の側面の幅および当該側面と対向する側面の幅が、他の側面の幅よりも大きいトレンチを形成することと、
前記トレンチの内周面にゲート絶縁膜を形成することと、
前記ゲート絶縁膜が内周面に形成された前記トレンチを導電性部材によって埋めてトレンチゲートを形成することと、
前記半導体層の表層における前記トレンチゲートの前記一方の側面側に隣接する位置に、第2導電型のフローティングディフュージョンを形成することと
を含むことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
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JP (1) | JP2019117931A (ja) |
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