JP2019117451A

JP2019117451A - 基板製造システム

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Publication number: JP2019117451A
Application number: JP2017249919A
Authority: JP
Inventors: 光彦柴田; Mitsuhiko Shibata
Original assignee: Fuji Corp
Current assignee: Fuji Corp
Priority date: 2017-12-26
Filing date: 2017-12-26
Publication date: 2019-07-18
Anticipated expiration: 2037-12-26
Also published as: JP7020903B2

Abstract

【課題】製造中の基板が抜き取られた位置に関わらず、製造ラインに再び投入された製造中の基板を管理可能な技術を提供する。【解決手段】記憶装置は、製造ラインを流れる製造中の基板の基板識別情報と、当該基板に対して実行される複数個の作業機によって実行される複数段階の製造工程のうち完了済みの製造工程を示す完了情報と、を対応付けて記憶する。管理装置は、基板が製造ラインから抜き取られた後に特定の作業機に投入される場合に、基板から基板識別情報を取得して、記憶装置から取得済みの基板識別情報に対応付けられている完了情報を取得し、取得済みの完了情報を利用して、製造中の基板に対して特定の作業機によって実行される製造工程を実行すべきと判断する場合に、特定の作業機に製造中の基板に対する製造工程を実行させる。【選択図】図４

Description

本明細書に開示する技術は、基板を製造する製造ラインを備えている基板製造システムに関する。特に、製造ラインを流れる製造中の基板を管理するための技術に関する。

基板製造システムでは、製造中の基板を製造ラインから抜き取って検査する場合がある。例えば、特許文献１には、製造中の基板を製造ラインから抜き取り、抜き取った基板を製造ラインへ再び投入するための基板出し入れ部を備えている基板製造システムが開示されている。この基板製造システムは、複数の基板出し入れ部を備え、基板出し入れ部から製造中の基板を抜き取る場合に、当該基板出し入れ部を示すＩＤを当該基板に付与する。そして、基板製造システムは、基板出し入れ部に基板が再投入される場合に、再投入された基板に付与されているＩＤが、当該基板出し入れ部を示すＩＤに一致するのか否かを判断する。基板製造システムは、両ＩＤが一致する場合に、基板の製造ラインへの再投入を許可して、当該基板の製造を続ける。一方、基板製造システムは、両ＩＤが一致しない場合に、誤った基板出し入れ部に基板が再投入されたことをユーザに通知する。

特開２０１４−２７２１５号公報

特許文献１の技術では、基板は基板出し入れ部、即ち、製造ライン中の決まった位置から抜き取られる。即ち、特許文献１の技術では、製造中の基板が基板出し入れ部以外の任意の位置から抜き取られることを何ら考慮していない。このため、特許文献１の技術では、製造中の基板が任意の位置から抜き取られて再投入される場合に、投入された製造中の基板が正しい位置に再投入されたのか否かを管理することができない。この結果、基板に対して同じ製造工程が重複して実行されたり必要な製造工程が実行されない（即ち、製造工程が抜ける）といった問題が生じる。

本明細書は、製造中の基板が抜き取られた位置に関わらず、製造ラインに再び投入された製造中の基板を管理可能な技術を提供する。

本明細書が開示する基板製造システムは、製造ラインと、管理装置と、記憶装置と、を備えている。製造ラインは、基板を製造するための複数個の作業機を含む。管理装置は、製造ラインを流れる製造中の基板を管理する。記憶装置は、製造中の基板に割り当てられている基板識別情報と、当該製造中の基板に対して複数個の作業機によって実行される複数段階の製造工程のうち完了済みの製造工程を示す完了情報と、を対応付けて記憶する。管理装置は、製造中の基板が製造ラインから抜き取られた後に、複数個の作業機のうちの特定の作業機に投入される場合に、製造中の基板から基板識別情報を取得し、記憶装置から取得済みの基板情報に対応付けられている完了情報を取得し、取得済みの完了情報を利用して、製造中の基板に対して特定の作業機によって実行される製造工程を実行すべきと判断する場合に、特定の作業機に製造中の基板に対する製造工程を実行させ、取得済みの完了情報を利用して、製造中の基板に対して特定の作業機によって実行される製造工程を実行すべきでないと判断する場合に、特定の作業機に製造中の基板に対する製造工程を実行させない。なお、複数個の作業機の個数と複数段階の製造工程の個数は、同一であってもよいし、異なっていてもよい。

このような構成によれば、記憶装置は、製造中の基板毎に、複数段階の製造工程のうち完了済みの製造工程を示す完了情報を記憶する。このため、管理装置は、製造ラインのいずれの位置から基板が抜き取られても、特定の作業機に再投入される場合に、記憶装置内の完了情報を利用して、基板に対して製造工程を実行させるのか否かを判断することができる。

実施例に係る基板製造システムを示す。基板の製造過程のシーケンス図を示す。ホストコンピュータが実行する処理のフローチャートを示す。製造工程が完了した後に基板が抜き取られ、その後に当該基板が投入される具体的なケースのシーケンス図を示す。製造工程が完了する前に基板が抜き取られ、その後に当該基板が投入される具体的なケースのシーケンス図を示す。

以下に説明する実施例の主要な特徴を列記しておく。なお、以下に記載する技術要素は、それぞれ独立した技術要素であって、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時の請求項に記載の組合せに限定されるものではない。

（特徴１）管理装置は、取得済みの完了情報が、特定の作業機によって実行される製造工程が実行されておらず、かつ、当該製造工程の前の製造工程まで完了していることを示す場合に、特定の作業機に製造中の基板に対する製造工程を実行させてもよい。このような構成によると、管理装置は、特定の作業機によって実行される製造工程の前の製造工程まで完了していることを知ることができ、製造中の基板に対して適切な製造工程（即ち、特定の作業機によって実行される製造工程）を実行させることができる。

（特徴２）管理装置は、取得済みの完了情報が、特定の作業機によって実行される製造工程まで完了していることを示す場合に、特定の作業機に製造中の基板に対する製造工程を実行させずに、特定の作業機に、複数個の作業機のうち、特定の作業機の次に位置している次の作業機への製造中の基板の搬送を実行させ、製造中の基板が次の作業機に搬送される場合に、取得済みの完了情報を利用して、製造中の基板に対して次の作業機によって実行される製造工程を実行すべきか否かを判断してもよい。このような構成によれば、管理装置は、製造中の基板に対して特定の作業機によって実行される製造工程まで完了していることを知ることができ、製造中の基板に対して適切な製造工程を実行するために、次の作業機へ製造中の基板を搬送する。そして、次の作業機によって実行される製造工程を実行すべきか否かも判断され、当該判断が繰り返されて、基板を適切な製造工程を実行すべき作業機まで搬送することができる。

（特徴３）基板製造システムは、さらに、製造中の基板に関する情報をユーザに通知する通知装置を備えてもよい。管理装置は、取得済みの完了情報が、特定の作業機によって実行される製造工程が実行されておらず、かつ、当該製造工程の前の製造工程が完了していないことを示す場合に、特定の作業機に製造中の基板に対する製造工程を実行させずに、取得済みの完了情報を利用して、製造中の基板に対して次に実行されるべき製造工程を実行する対象の作業機を示す情報を通知装置に通知させてもよい。このような構成によれば、ユーザは、製造中の基板に実行されるべき製造工程を実行する適切な対象の作業機を知ることができ、製造中の基板を適切な対象の作業機に投入することができる。

（特徴４）基板製造システムは、さらに、製造中の基板に関する情報をユーザに通知する通知装置を備えてもよい。管理装置は、取得済みの完了情報が、特定の作業機によって実行される製造工程が実行されており、かつ、当該製造工程が途中で完了していないことを示す場合に、特定の作業機に製造中の基板に対する製造工程を実行させずに、製造中の基板を完成させることが不可能であることを示す情報を通知装置に通知させてもよい。特定の作業機によって実行される製造工程が実行されているものの当該製造工程が途中で完了していない場合には、製造中の基板に対して当該製造工程が重複して実行される虞がある。上記の構成によれば、ユーザは、このような場合に、製造中の基板を完成させることが不可能であることを知ることができる。

（基板製造システム２；図１）
図１に示されるように、基板製造システム２は、５個の作業機１０Ａ〜１０Ｅを含む製造ライン１００と、ホストコンピュータ２００と、を備える。５個の作業機１０Ａ〜１０Ｅのそれぞれは、ホストコンピュータ２００と通信可能に接続されている。ここで、「作業機」は、例えば、基板にはんだを塗布する印刷機、基板に部品を実装する実装機、はんだを溶かすリフロ機、部品が実装された基板を検査する検査機である。本実施例では、作業機１０Ａが、印刷機であり、作業機１０Ｂ、１０Ｃが実装機であり、作業機１０Ｄが、リフロ機であり、作業機１０Ｅが検査機である。製造ライン１００の先頭には、基板２０を作業機１０Ａに搬送するための搬送機１４が配置されている。製造ライン１００の後尾には、作業機１０Ｅから完成した基板を排出するための排出機１６が配置されている。なお、製造ライン１００が含む作業機の数は、５個に限らず、例えば、製造ライン１００が６個以上の作業機を含んでいてもよい。

また、各作業機１０Ａ〜１０Ｅは、各作業機から基板２０を抜き取るためのカバー１２Ａ〜１２Ｅを備えている。例えば、カバー１２Ａが開くと、作業機１０Ａの動作が停止して、カバー１２Ａの開口から作業機１０Ａ内の基板２０を抜き取ることができる。また、基板２０を当該開口から作業機１０Ａに投入することもできる。

また、図示が省略されているが、各作業機１０Ａ〜１０Ｅは、各作業機内を流れる基板２０から、当該基板２０を識別するための基板識別情報を読み出す読出装置を備えている。読出装置は、基板２０に貼り付けられている（即ち、割り当てられている）バーコード２２から基板識別情報を読み出す。読取装置は、前の作業機から基板２０が搬送される際に、基板２０から基板識別情報を読み出す。また、読取装置は、作業機のカバー（例えば１２Ａ）の開口から基板２０が投入される際に、基板２０から基板識別情報を読み出す。なお、他の例では、基板２０には、バーコード２２に代えて、基板識別情報をコード化したＱＲコード（登録商標）が貼り付けられてもよいし、基板識別情報を記憶したＩＣタグが貼り付けられてもよく、読取装置は、これらＯＲコード等から基板識別情報を読み出す装置であってもよい。

ホストコンピュータ２００（以下、「ホスト２００」と呼ぶ）は、製造ライン１００を流れる基板２０を管理するための装置である。ホスト２００は、表示装置２０２と、メモリ２１０と、を備えている。表示装置２０２は、様々な情報を表示するためのディスプレイである。メモリ２１０は、基板テーブル２２０を記憶する。

基板テーブル２２０には、１個以上の完了情報が記憶される。各完了情報は、基板識別情報に対応付けられており、当該基板識別情報によって識別される基板に対して５個の作業機１０Ａ〜１０Ｅによって実行される５段階の製造工程Ｐ１〜Ｐ５のうち完了済みの製造工程を示す。具体的には、完了情報は、５個の作業機１０Ａ〜１０Ｅを識別する５個の作業機番号ＤＮ１〜ＤＮ５のそれぞれに対応する工程情報を含む。各工程情報は、（Ｓ、Ｃ）、（Ｓ、Ｎ）、（Ｎ、Ｎ）のいずれかを示す。（Ｓ、Ｃ）は、各作業機によって実行される製造工程が開始され、かつ、当該製造工程が完了していることを示す。（Ｓ、Ｎ）は、各作業機によって実行される製造工程が開始され、かつ、当該製造工程が完了していないことを示す。（Ｎ、Ｎ）は、作業機によって実行される製造工程が開始されておらず、かつ、当該製造工程が完了していないことを示す。例えば、基板識別情報ＩＤ２に対応付けられている完了情報は、作業機番号ＤＮ１〜ＤＮ３のそれぞれについて、（Ｓ、Ｃ）を示す工程情報を含み、作業機番号ＤＮ４、ＤＮ５のそれぞれについて、（Ｎ、Ｎ）を示す工程情報を含む。即ち、当該完了情報は、基板識別情報ＩＤ２によって示される基板に対して作業機番号ＤＮ３によって識別される作業機１０Ｃによって実行される製造工程Ｐ３まで完了済みであることを示す。

（基板の製造過程；図２）
図２を参照して、製造ライン１００を流れる基板が途中の作業機で抜き取られることなく製造される過程を説明する。図２によって示される処理は、図３を参照して後述する管理処理を実行するホスト２００、各作業機１０Ａ〜１０Ｅによって実現される。製造前の基板２０が搬送機１４に設置されると、当該基板２０が先頭の作業機１０Ａに搬送される。

作業機１０Ａは、基板２０が搬送機１４から搬送されると、Ｔ１００において、基板２０のバーコード２２から基板識別情報ＩＤ４を読出す（即ち、基板識別情報ＩＤ４を取得する）。Ｔ１０２では、作業機１０Ａは、取得済みの基板識別情報ＩＤ４と作業機１０Ａの作業機番号ＤＮ１を含む情報をホスト２００に通知する情報通知をホスト２００に供給する。

ホスト２００は、Ｔ１０２において、作業機１０Ａから基板識別情報ＩＤ４と作業機番号ＤＮ１を含む情報通知を取得すると、基板識別情報ＩＤ４が基板テーブル２２０に記憶されていないので、Ｔ０１４において、完了情報を生成し、当該完了情報を基板識別情報ＩＤ４に対応付けて基板テーブル２２０に記憶する。当該完了情報は、作業機番号ＤＮ１〜ＤＮ５のそれぞれについて、（Ｎ、Ｎ）を示す工程情報を含む。

Ｔ１０６では、ホスト２００は、製造工程Ｐ１を開始させるための開始指示を作業機１０Ａに供給する。

作業機１０Ａは、Ｔ１０６において、ホスト２００から開始指示を取得すると、Ｔ１１０において、製造工程Ｐ１を開始する。また、作業機１０Ａは、Ｔ１１２において、製造工程Ｐ１を開始したことを示す開始通知をホスト２００に供給する。開始通知は、基板識別情報ＩＤ４と作業機番号ＤＮ１を含む。

ホスト２００は、Ｔ１１２において、作業機１０Ａから開始通知を取得すると、Ｔ１１４において、基板テーブル２２０内で受信済みの開始通知に含まれる基板識別情報ＩＤ４と作業機番号ＤＮ１の双方に対応付けられている工程情報を（Ｎ、Ｎ）から（Ｓ、Ｎ）に変更する。

また、ホスト２００は、Ｔ１２０において、作業機１０Ａで製造工程Ｐ１が完了したことに起因して、作業機１０Ａから完了通知を取得すると、Ｔ１２４において、基板テーブル２２０において受信済みの完了通知に含まれる基板識別情報ＩＤ４と作業機番号ＤＮ１の双方に対応付けられている工程情報を（Ｓ、Ｎ）から（Ｓ、Ｃ）に変更する。

ここで、作業機１０Ａは、製造工程Ｐ１が完了すると、Ｔ１３０において、製造工程Ｐ１が完了した基板２０を次の作業機１０Ｂに搬送する。

作業機１０Ｂは、基板２０が作業機１０Ａから搬送されると、Ｔ２００において、基板２０から基板識別情報ＩＤ４を取得する。Ｔ２０２は、情報通知が作業機１０Ｂの作業機番号ＤＮ２を含む点を除いて、Ｔ１０２と同様である。Ｔ２０６は、開始指示が作業機１０Ｂに供給される点を除いて、Ｔ１０６と同様である。Ｔ２１０、Ｔ２２０は、製造工程Ｐ２が実行される点を除いて、Ｔ１１０、Ｔ１２０と同様である。Ｔ２２２は、作業機番号ＤＮ２が含まれる点を除いて、Ｔ１２２と同様である。これらの処理の結果、ホスト２００は、Ｔ２２４において、基板テーブル２２０において受信済みの完了通知に含まれる基板識別情報ＩＤ４と作業機番号ＤＮ２の双方に対応付けられている工程情報を（Ｎ、Ｎ）、（Ｓ、Ｎ）、（Ｓ、Ｃ）の順に変更する。

図示は省略するが、作業機１０Ｂは、Ｔ２２０の後に、製造工程Ｐ２が完了した基板２０を次の作業機１０Ｃに搬送する。各作業機１０Ｃ〜１０Ｅについて、Ｔ２００からＴ２２４と同様の処理が実行され、基板２０に対して全ての製造工程Ｐ１〜Ｐ５が実行され、排出機１６から完成した基板２０が排出される。基板２０が完成すると、基板識別情報ＩＤ４に対応付けられている完了情報内の全ての工程情報が（Ｓ、Ｃ）となる。

（管理処理；図３）
図３を参照して、ホスト２００が実行する管理処理の内容を説明する。図３の処理は、ホスト２００の電源が投入されることをトリガとして開始される。

Ｓ８では、ホスト２００は、作業機から情報通知、開始通知、及び、完了通知のいずれかを取得することを監視する。ホスト２００は、作業機からいずれかの通知を取得する場合に、Ｓ８でＹＥＳと判断して、Ｓ１０に進む。

Ｓ１０では、ホスト２００は、作業機から取得した通知が情報通知であるのか否かを判断する。この処理によって、図２のＴ１０２、Ｔ２０２の処理が実現される。ホスト２００は、作業機から取得した通知が情報通知であると判断する場合（Ｓ１０でＹＥＳ）に、Ｓ１２に進む。一方、ホスト２００は、作業機から取得した通知が情報通知でない、即ち、当該通知が開始通知又は完了通知であると判断する場合（Ｓ１０でＮＯ）に、Ｓ７０において、当該通知に含まれる情報（即ち、基板識別番号、作業機番号）を利用して、基板テーブル２２０内の工程情報を変更する。開始通知である場合には、工程情報が（Ｓ、Ｎ）に変更され、完了通知である場合には、工程情報が（Ｓ、Ｃ）に変更される。この処理によって、図２のＴ１１４、Ｔ１２４、Ｔ２２４の処理が実現される。Ｓ７０が終了すると、Ｓ８に戻る。

Ｓ１２では、ホスト２００は、取得済みの基板識別情報が基板テーブル２２０に記憶されているのか否かを判断する。ホスト２００は、取得済みの基板識別情報が基板テーブル２２０に記憶されていると判断する場合（Ｓ１２でＹＥＳ）に、Ｓ２０に進む。一方、ホスト２００は、取得済みの基板識別情報が基板テーブル２２０に記憶されていないと判断する場合（Ｓ１２でＮＯ）に、Ｓ３０において、完了情報を生成し、当該完了情報を取得済みの基板識別情報に対応付けて基板テーブル２２０に記憶する。そして、ホスト２００は、開始指示を基板識別情報の送信元の作業機（即ち、作業機１０Ａ）に送信する。Ｓ３０の処理によって、図２のＴ１０４、Ｔ１０６の処理が実現される。Ｓ３０が終了すると、Ｓ８に戻る。

Ｓ２０では、ホスト２００は、基板テーブル２２０から、取得済みの基板識別情報に対応付けられている完了情報を特定する。そして、ホスト２００は、特定済みの完了情報から、取得済みの作業機番号に対応する工程情報を特定する。

Ｓ２２では、ホスト２００は、特定済みの工程情報が（Ｎ、Ｎ）を示すのか否か、即ち、取得済み基板識別情報の基板に対して取得済みの作業機番号の作業機の製造工程が未実施であるのか否かを判断する。ホスト２００は、特定済みの工程情報が（Ｎ、Ｎ）を示す場合（Ｓ２２でＹＥＳ）に、即ち、未実施である場合に、Ｓ４０に進み、特定済みの工程情報が（Ｎ、Ｎ）を示さない場合（Ｓ２２でＮＯ）に、即ち、少なくとも製造工程が開始されていた場合に、Ｓ６０に進む。

Ｓ４０では、ホスト２００は、Ｓ８で取得した作業機番号の前の作業機番号（即ち、前の作業機を識別する作業機番号）に対応する工程情報が（Ｓ、Ｃ）を示すのか否かを判断する。ホスト２００は、前の作業機番号に対応する工程情報が（Ｓ、Ｃ）を示すと判断する場合（Ｓ４０でＹＥＳ）に、Ｓ４２において、開始指示を基板識別情報の送信元の作業機に送信する。Ｓ２２でＹＥＳ、Ｓ４０でＹＥＳと判断された後に実行されるＳ４２の処理によって、図２のＴ２０６の処理が実現される。Ｓ４２が終了すると、Ｓ８に戻る。

また、ホスト２００は、前の作業機番号に対応する工程情報が（Ｓ、Ｃ）を示さないと判断する場合（Ｓ４０でＮＯ）に、Ｓ４４において、前の作業機番号に対応する工程情報が（Ｎ、Ｎ）を示すのか否かを判断する。ホスト２００は、前の作業機番号に対応する工程情報が（Ｎ、Ｎ）を示すと判断する場合（Ｓ４２でＹＥＳ）に、Ｓ４６において、投入先情報を表示装置２０２に表示する。ここで、投入先情報は、Ｓ８で取得した基板識別情報によって識別される基板に対して次に実行されるべき製造工程を実行する対象の作業機を示す。具体的には、ホスト２００は、Ｓ２０で特定した完了情報において、最初の作業機番号から順番に工程情報を確認し、初めて（Ｎ、Ｎ）を示す工程情報が確認された場合に、当該工程情報に対応する作業機番号によって識別される作業機を対象の作業機として決定する。そして、ホスト２００は、決定済みの対象の作業機を示す情報を投入先情報として表示する。Ｓ４６が終了すると、Ｓ８に戻る。

また、ホスト２００は、前の作業機番号に対応する工程情報が（Ｎ、Ｎ）を示さない、即ち、前の作業機番号に対応する工程情報が（Ｓ，Ｎ）を示すと判断する場合（Ｓ４２でＮＯ）に、Ｓ４８において、エラー情報を表示装置２０２に表示する。ここで、エラー情報は、Ｓ８で取得した基板識別情報によって識別される基板を完成させることが不可能であることを示す。Ｓ４８が終了すると、Ｓ８に戻る。

Ｓ６０では、ホスト２００は、Ｓ８で取得した作業機番号に対応する工程情報が（Ｓ、Ｃ）を示すのか否かを判断する。ホスト２００は、Ｓ８で取得した作業機番号に対応する工程情報が（Ｓ、Ｃ）を示すと判断する場合（Ｓ６０でＹＥＳ）に、即ち、製造工程が完了している場合に、Ｓ６２において、基板搬送指示を基板識別情報の送信元の作業機に送信する。ここで、基板搬送指示は、次の作業機への基板の搬送を送信元の作業機に実行させるための指示である。Ｓ６２が終了すると、Ｓ８に戻る。

また、ホスト２００は、Ｓ８で取得した作業機番号に対応する工程情報が（Ｓ、Ｎ）を示すと判断する場合（Ｓ６０でＮＯ）に、Ｓ６４に進む。Ｓ６４は、Ｓ４８と同様である。Ｓ６４が終了すると、Ｓ８に戻る。

（製造工程が完了した後に基板が抜き取られるケース；図４）
図４を参照して、製造工程が完了した後に基板が抜き取られ、その後に当該基板が再投入される場合に、図３の処理によって実現される具体的なケースを説明する。

Ｔ３００〜Ｔ３２２は、作業機１０Ｃで製造工程Ｐ３が実行される点と、作業機番号ＤＮ３が作業機１０Ｃからホスト２００に送信される点を除いて、図２のＴ２００〜Ｔ２２２と同様である。Ｔ３２４では、Ｔ３００〜Ｔ３２２の処理の結果、基板識別情報ＩＤ４と作業機番号ＤＮ３の双方に対応付けられている工程情報は、（Ｓ、Ｃ）となる。

本ケースでは、作業員（即ち、ユーザ）は、製造工程Ｐ３が完了した後で、作業機１０Ｃが基板２０を次の作業機１０Ｄに搬送する前に、カバー１２Ｃを開けて、作業機１０Ｃから基板２０を抜き取る。そして、作業員は、抜き取った基板２０を目視によって検査する。作業員は、検査の後に、抜き取った基板２０を製造ライン１００に再び投入する。

（ケースＡ１）
本ケースでは、作業員は、作業機１０Ｄに基板２０を投入する。この場合、作業機１０Ｄは、Ｔ４００において、基板２０から基板識別情報ＩＤ４を取得し、Ｔ４０２において、取得済みの基板識別情報ＩＤ４と作業機番号ＤＮ４を含む情報通知をホスト２００に供給する。

ホスト２００は、Ｔ４０２において、基板識別情報ＩＤ４と作業機番号ＤＮ４を含む情報通知を取得すると（図３のＳ１０でＹＥＳ）、Ｔ４０４において、基板識別情報ＩＤ４と作業機番号ＤＮ４の双方に対応付けられている工程情報が（Ｎ、Ｎ）を示し（Ｓ２２でＹＥＳ）、前の作業機番号ＤＮ３の工程情報が（Ｓ、Ｃ）を示すと判断する（Ｓ４０でＹＥＳ）。そして、ホスト２００は、Ｔ４０６において、開始指示を作業機１０Ｄに送信する（Ｓ４２）。この結果、作業機１０Ｄは、Ｔ４５０において、投入された基板２０に対して製造工程Ｐ４を開始する。

本ケースによれば、ホスト２００は、基板識別情報ＩＤ４に対応付けられている完了情報を利用して、作業機１０Ｄによって実行される製造工程Ｐ４の前の製造工程Ｐ３まで完了していることを知ることができ、基板２０に対して適切な製造工程Ｐ４を実行させることができる。

（ケースＡ２）
本ケースでは、作業員は、搬送機１４に基板２０を投入する。これにより、作業機１０Ａに基板２０が搬送される。Ｔ５００、Ｔ５０２は、作業機１０Ａが基板識別情報ＩＤ４を取得し、作業機番号ＤＮ１を含む情報通知が作業機１０Ａからホスト２００に供給される点を除いて、Ｔ４００、Ｔ４０２と同様である。

ホスト２００は、Ｔ５０２において、基板識別情報ＩＤ４と作業機番号ＤＮ１を含む情報通知を取得すると（図３のＳ１０でＹＥＳ）、Ｔ５０４において、基板識別情報ＩＤ４と作業機番号ＤＮ１の双方に対応付けられている工程情報が（Ｓ、Ｃ）を示すと判断する（Ｓ２２でＮＯ、Ｓ６０でＹＥＳ）。そして、ホスト２００は、Ｔ５０６において、基板搬送指示を作業機１０Ａに送信する（Ｓ６２）。この結果、作業機１０Ａは、基板２０を次の作業機１０Ｂに搬送する。同様の処理が、作業機１０Ｂ、１０Ｃとの間でも実行され、基板２０は、作業機１０Ｃ、１０Ｄへと搬送される。そして、作業機１０Ｄとホスト２００との間でケースＡ１と同様の処理が実行され、作業機１０Ｄは、Ｔ５５０において、投入された基板２０に対して製造工程Ｐ４を開始する。

本ケースでは、作業員が基板２０を製造ライン１００の先頭の搬送機１４に投入すれば、基板２０に対して適切な製造工程Ｐ４が実行される。このため、作業員が基板２０を製造ラインの途中の作業機に投入する必要がなく、作業員の利便性が向上する。

（ケースＡ３）
本ケースでは、作業員は、作業機１０Ｅに基板２０を投入する。Ｔ６００、Ｔ６０２は、作業機１０Ｅが基板識別情報ＩＤ４を取得し、作業機番号ＤＮ５を含む情報通知が作業機１０Ｅからホスト２００に供給される点を除いて、Ｔ４００、Ｔ４０２と同様である。

ホスト２００は、Ｔ６０２において、基板識別情報ＩＤ４と作業機番号ＤＮ５を含む情報通知を取得すると（図３のＳ１０でＹＥＳ）、Ｔ６０４において、基板識別情報ＩＤ４と作業機番号ＤＮ５の双方に対応付けられている工程情報が（Ｎ、Ｎ）を示し（図３のＳ２２でＹＥＳ）、前の作業機番号ＤＮ４の工程情報が（Ｎ、Ｎ）を示すと判断する（Ｓ４０でＮＯ、Ｓ４４でＹＥＳ）。そして、ホスト２００は、Ｔ６０６において、開始指示を作業機１０Ｅに供給することなく、投入先として作業機１０Ｄを示す投入先情報を表示装置２０２に表示する（Ｓ４６）。本ケースでは、作業員は、投入先情報を見て、基板２０を作業機１０Ｄに投入すべきことを知ることができ、基板２０を適切な作業機１０Ｄに投入することができる。

（製造工程が完了する前に基板が抜き取られるケース；図５）
図５に示すケースでは、図４に示すケースと異なり、製造工程が完了する前に基板が作業機１０Ｃから抜き取られ、その後に当該基板が再投入される。このため、完了通知が作業機１０Ｃからホスト２００に送信されず、この結果、基板識別情報ＩＤ４と作業機番号ＤＮ３の双方に対応付けられている工程情報が、図４のケースと異なり、（Ｓ、Ｎ）となる。

本ケースでは、作業員は、作業機１０Ｃに基板２０を投入する。Ｔ７００、Ｔ７０２は、作業機１０Ｃが基板識別情報ＩＤ４を取得し、作業機番号ＤＮ３を含む情報通知が作業機１０Ｃからホスト２００に供給される点を除いて、図４のＴ４００、Ｔ４０２と同様である。

ホスト２００は、Ｔ７０２において、基板識別情報ＩＤ４と作業機番号ＤＮ３を含む情報通知を取得すると（図３のＳ１０でＹＥＳ）、Ｔ７０４において、基板識別情報ＩＤ４と作業機番号ＤＮ３の双方に対応付けられている工程情報が（Ｓ、Ｎ）を示すと判断する（図３のＳ２２でＮＯ、Ｓ６０でＮＯ）。そして、ホスト２００は、Ｔ７０６において、開始指示を作業機１０Ｃに供給することなく、エラー情報を表示装置２０２に表示する（Ｓ４６）。本ケースでは、作業員は、エラー情報を見て、基板２０を完成させることが不可能であることを知ることができる。

以上、実施例に係る基板製造システム２について説明した。上記の説明から明らかなように、ホスト２００のメモリ２１０は、複数段階の製造工程Ｐ１〜Ｐ５のうち完了済みの製造工程（例えば、作業機１０Ｃの製造工程Ｐ３）を示す完了情報を基板テーブル２２０内に記憶する。そして、ホスト２００は、製造ライン１００のいずれの位置から基板２０が抜き取られても、特定の作業機（例えば、１０Ｄ）に再投入される場合に、基板テーブル２２０内の完了情報を利用して、基板２０に対して製造工程（例えば、Ｐ４）を実行させるのか否かを判断することができる（図３のＳ２２）。

（対応関係）
作業機１０Ａ〜１０Ｅが、「複数個の作業機」の一例である。製造工程Ｐ１〜Ｐ５が、「複数段階の製造工程」の一例である。ホスト２００が、「管理装置」の一例である。ホスト２００のメモリ２１０が、「記憶装置」の一例である。図４のケースＡ１において基板２０が投入される作業機１０Ｄ、ケースＡ２において基板２０が投入される作業機１０Ａ、ケースＡ３において基板２０が投入される作業機１０Ｅ、図５のケースにおいて基板２０が投入される作業機１０Ｃが、「特定の作業機」の一例である。図４のケースＡ２において、基板２０が搬送される作業機１０Ｂが、「次の作業機」の一例である。ホスト２００の表示装置２０２が、「通知装置」の一例である。図４のケースＡ３のＴ６０６において、投入先情報によって示される作業機１０Ｄが、「対象の作業機」の一例である。

実施例で説明した基板製造システムに関する留意点を述べる。上記の実施例では、製造ライン１００に含まれる作業機１０Ａ〜１０Ｅの数（５個）と、作業機１０Ａ〜１０Ｅによって実行される製造工程Ｐ１〜Ｐ５の数（５工程）は同じである。これに代えて、製造ライン１００に含まれる作業機の数と、製造ライン１００に含まれる作業機によって実行される製造工程の数が異なっていてもよい。例えば、１個の作業機が２段階以上の製造工程を実行する場合、製造ライン１００に含まれる作業機の数よりも製造ライン１００に含まれる作業機によって実行される製造工程の数が多くてもよい。

また、１個の作業機が２段階以上の製造工程を実行する場合、完了情報は、当該１個の作業機を識別する作業機番号に対応する２個以上の工程情報を含んでいてもよい。一般的に言えば、請求項の「完了済みの製造工程」は、１個の作業機の２段階以上の製造工程のうちの最後の製造工程ではない途中段階の製造工程であってもよい。

上記の実施例では、基板テーブル２２０は、ホスト２００のメモリ２１０に記憶されている。これに代えて、基板テーブル２２０は、各作業機１０Ａ〜１０Ｅのメモリに記憶されていてもよい。また、基板２０は、メモリ付きのパレットに設置されて、製造ライン１００を流れてもよく、基板テーブル２２０は、当該パレットのメモリに記憶されていてもよい。本変形例では、各作業機１０Ａ〜１０Ｅのメモリ、パレットのメモリが、「記憶装置」の一例である。

ホスト２００は、図３のＳ２２でＹＥＳと判断する場合に、Ｓ４０の判断を実行することなく、Ｓ４２の処理を実行してもよい。

ホスト２００は、図３のＳ６２の処理を実行しなくてもよい。これに代えて、ホスト２００は、基板の次の作業機への搬送を作業機に実行させることなく、投入先情報を表示装置２０２に表示してもよい。

ホスト２００は、図３のＳ４６の処理を実行しなくてもよい。これに代えて、ホスト２００は、基板の投入位置が正しくないことを示す警告画面を表示装置２０２に表示してもよい。

ホスト２００は、図３のＳ６４の処理を実行しなくてもよい。

上記の実施例では、表示装置２０２がホスト２００に備えられていたが、これに代えて、表示装置が各作業機１０Ａ〜１０Ｅに備えられていてもよい。

「通知装置」は、表示装置に限らず、情報を音声で出力するスピーカであってもよい。

本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。

２：基板製造システム
１０Ａ〜１０Ｅ：作業機
１２Ａ〜１２Ｅ：カバー
１４：搬送機
１６：排出機
２０：基板
２２：バーコード
１００：製造ライン
２００：ホストコンピュータ
２０２：表示装置
２１０：メモリ
２２０：基板テーブル
ＤＮ１〜ＤＮ５：作業機番号
ＩＤ１〜ＩＤ４：基板識別情報
Ｐ１〜Ｐ５：製造工程

Claims

基板を製造するための複数個の作業機を含む製造ラインと、
前記製造ラインを流れる製造中の基板を管理する管理装置と、
前記製造中の基板に割り当てられている基板識別情報と、当該製造中の基板に対して前記複数個の作業機によって実行される複数段階の製造工程のうち完了済みの製造工程を示す完了情報と、を対応付けて記憶する記憶装置と、
を備えており、
前記管理装置は、
前記製造中の基板が前記製造ラインから抜き取られた後に、前記複数個の作業機のうちの特定の作業機に投入される場合に、前記製造中の基板から前記基板識別情報を取得し、
前記記憶装置から取得済みの前記基板識別情報に対応付けられている前記完了情報を取得し、
取得済みの前記完了情報を利用して、前記製造中の基板に対して前記特定の作業機によって実行される製造工程を実行すべきと判断する場合に、前記特定の作業機に前記製造中の基板に対する製造工程を実行させ、
前記取得済みの完了情報を利用して、前記製造中の基板に対して前記特定の作業機によって実行される製造工程を実行すべきでないと判断する場合に、前記特定の作業機に前記製造中の基板に対する製造工程を実行させない、基板製造システム。
前記管理装置は、前記取得済みの完了情報が、前記特定の作業機によって実行される製造工程が実行されておらず、かつ、当該製造工程の前の製造工程まで完了していることを示す場合に、前記特定の作業機に前記製造中の基板に対する製造工程を実行させる、請求項１に記載の基板製造システム。
前記管理装置は、
前記取得済みの完了情報が、前記特定の作業機によって実行される製造工程まで完了していることを示す場合に、前記特定の作業機に前記製造中の基板に対する製造工程を実行させずに、前記特定の作業機に、前記複数個の作業機のうち、前記特定の作業機の次に位置している次の作業機への前記製造中の基板の搬送を実行させ、
前記製造中の基板が前記次の作業機に搬送される場合に、前記取得済みの完了情報を利用して、前記製造中の基板に対して前記次の作業機によって実行される製造工程を実行すべきか否かを判断する、請求項１又は２に記載の基板製造システム。
前記基板製造システムは、さらに、前記製造中の基板に関する情報をユーザに通知する通知装置を備え、
前記管理装置は、
前記取得済みの完了情報が、前記特定の作業機によって実行される製造工程が実行されておらず、かつ、当該製造工程の前の製造工程が完了していないことを示す場合に、前記特定の作業機に前記製造中の基板に対する製造工程を実行させずに、前記取得済みの完了情報を利用して、前記製造中の基板に対して次に実行されるべき製造工程を実行する対象の作業機を示す情報を前記通知装置に通知させる、請求項１から３のいずれか一項に記載の基板製造システム。
前記基板製造システムは、さらに、前記製造中の基板に関する情報をユーザに通知する通知装置を備え、
前記管理装置は、前記取得済みの完了情報が、前記特定の作業機によって実行される製造工程が実行されており、かつ、当該製造工程が途中で完了していないことを示す場合に、前記特定の作業機に前記製造中の基板に対する製造工程を実行させずに、前記製造中の基板を完成させることが不可能であることを示す情報を前記通知装置に通知させる、請求項１から４のいずれか一項に記載の基板製造システム。