JP2019100760A - 加速度センサ - Google Patents
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Abstract
Description
初めに、地下資源探査の分野で行われる、加速度センサを用いた反射法弾性波探査について説明する。反射法弾性波探査は、物理探査の一種であり、人工的に地震波を発生させ、地下から跳ね返ってくる反射波を地表に設置した受振器により捉え、その結果を解析して地下構造を解明する方法である。
<本実施の形態の加速度センサの構造>
本実施の形態1による加速度センサの構造について、図1〜図8を参照しながら説明する。
以下に、比較例の加速度センサを示す図20と比較して、本実施の形態の加速度センサの効果について説明する。図20は、比較例である加速度センサを示す断面図であり、図3に対応する箇所の断面を示すものである。図20に示す比較例の加速度センサSAは、積層構造から成るメンブレン1を有している点で本実施の形態と同様であるが、ねじれバネ2T1Aが導電層1HL、絶縁層1ILおよび導電層1DLの積層膜により構成されている点で、本実施の形態と異なる。比較例では、図示していない他のねじれバネも、同様の積層膜により構成されている。つまり、全てのねじれバネ(梁)がメンブレン1と同じ厚さを有している。
図9に、本実施の形態1の変形例である加速度センサの断面図を示す。図9は、図3に対応する箇所の断面を示すものである。
本実施の形態2による加速度センサの構成について、前記実施の形態1による加速度センサと異なる点を中心に、図10〜図13を参照しながら説明する。図10および図11は、本実施の形態2である加速度センサの断面図である。図12および図13は、本実施の形態2である加速度センサの平面図である。図10は、図12および図13のH−H線における断面図である。図11は、図12および図13のI−I線における断面図である。図12は、図10および図11のJ−J線における平面図であり、メンブレン層の上面を示す平面図である。図13は、図10および図11のK−K線における平面図であり、メンブレン層の下面を示す平面図である。
前記実施の形態1による加速度センサS1と本実施の形態2による加速度センサS2は、z軸方向の加速度を高感度に検出することを目的にしている。その場合、検出軸をz軸に合せることが望ましい。
本実施の形態3による加速度センサの構成について、前述の実施の形態2による加速度センサと異なる点を中心に、図14〜図16を参照しながら説明する。図14および図15は、本実施の形態3である加速度センサの平面図である。図16は、本実施の形態3である加速度センサの断面図である。図14は、本実施の形態3である加速度センサのメンブレン層の上面を示す平面図である。図15は、本実施の形態3である加速度センサのメンブレン層の下面を示す平面図である。図16は、図15のL−L線における断面図である。
本実施の形態4による加速度センサの構成について、前述の実施の形態3による加速度センサと異なる点を中心に、図17および図18を参照しながら説明する。図17および図18は、本実施の形態4である加速度センサの平面図である。図17は、本実施の形態4である加速度センサのメンブレン層の上面を示す平面図である。図18は、本実施の形態4である加速度センサのメンブレン層の下面を示す平面図である。
1DL、1HL 導電層
1IL 絶縁層
2B3、2T1、2T2、2T3 ねじれバネ
2B4、2T4 バネ
3T1、3T2、3B1、3B2 固定部
12L、12R 固定電極
13 空洞
Claims (9)
- 上層および下層を含む積層構造を有し、複数の可動部を備えたメンブレンと、
固定部と、
前記固定部と前記メンブレンとを連結し、前記複数の可動部のそれぞれを検出方向に可動させるように捻れることが可能な複数の梁と、
を備えた容量検出型加速度センサを有し、
前記梁は、幅が厚さより小さく、かつ、長さが前記厚さより大きいねじれバネであり、前記複数の梁のうち、第1梁は、前記上層または前記下層の一方と同じ層で構成されており、第2梁は、前記上層または前記下層の一方と同じ層で構成されている、加速度センサ。 - 請求項1記載の加速度センサにおいて、
前記第1梁は、前記下層と同じ層で構成されており、前記第2梁は、前記上層と同じ層で構成されている、加速度センサ。 - 請求項1記載の加速度センサにおいて、
前記複数の可動部は、互いに電気的に分離され、絶縁されている、加速度センサ。 - 請求項3記載の加速度センサにおいて、
前記複数の梁のうち、前記第1梁および第4梁は、前記下層と同じ層で構成されており、前記第2梁および第3梁は、前記上層と同じ層で構成されている、加速度センサ。 - 請求項4記載の加速度センサにおいて、
前記下層が前記上層より厚く、平面視で、前記第1梁および前記第4梁が、前記第2梁および前記第3梁より外側に配置されている、加速度センサ。 - 請求項1記載の加速度センサにおいて、
前記複数の梁は、平面視で第1方向に並んで配置されており、
平面視で前記第1方向に直交する第2方向に並び、前記複数の梁を挟んで配置された2つの前記可動部の前記上層から成る第1電極および第2電極のそれぞれは、別々の可変容量素子を構成している、加速度センサ。 - 請求項6記載の加速度センサにおいて、
前記第1電極の前記第2方向の幅が、前記第1電極の直下の前記下層の前記第2方向の幅よりも小さい、加速度センサ。 - 請求項1記載の加速度センサにおいて、
前記上層と前記下層との間には、絶縁層が介在している、加速度センサ。 - 請求項1記載の加速度センサにおいて、
前記下層が前記上層より厚く、前記第1梁および前記第2梁は、いずれも前記下層で構成されている、加速度センサ。
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