JP2019095033A - 流体シリンダ及び、該流体シリンダを備えるアクチュエータ - Google Patents

Abstract

【課題】バルブの個数を削減する。【解決手段】外側シリンダ部３０と、内側シリンダ部４０と、内側シリンダ部４０内に第１作動圧室Ｐ１と第２作動圧室Ｐ２とを区画形成するピストン５０と、ピストン５０に接続されたロッド６０と、外側シリンダ部３０に設けられて作動流体を導入する導入流路３３と、外側シリンダ部３０に設けられて流体を排出可能な第１排出流路３４及び第２排出流路３５と、内側シリンダ部４０に設けられ、第１状態にて導入流路３３と第１作動圧室Ｐ１とを連通させると共に、第２状態にて第２排出流路３５と第１作動圧室Ｐ１とを連通させる第１給排流路４３と、内側シリンダ部４０に設けられ、第２状態にて導入流路３３と第２作動圧室Ｐ２とを連通させると共に、第１状態にて第１排出流路３４と第２作動圧室Ｐ２とを連通させる第２給排流路４４とを備えた。【選択図】図１

Description

本発明は、流体シリンダ及び、該流体シリンダを備えるアクチュエータに関する。

一般的に、変速機等においては、変速レンジや変速ギヤ段の切り替えに、流体圧により作動するアクチュエータを用いている。この種のアクチュエータの一例として、例えば、特許文献１，２には、流体シリンダ内の第１作動圧室及び第２作動圧室に対して、作動流体の給排を制御するＯＮ／ＯＦＦバルブをそれぞれ個別に備える構造が開示されている。

特開２０１７−１５２０９号公報 特開平１１−２８７３２１号公報

ところで、上記従来構造のアクチュエータにおいては、流体シリンダに対してＯＮ／ＯＦＦバルブを少なくとも二個設ける必要がある。このため、バルブ数の増加に伴い装置全体のコスト上昇を招くといった課題がある。

本開示の技術は、流体シリンダ及び、アクチュエータに関し、バルブの個数を効果的に削減することを目的とする。

本開示の流体シリンダは、筒状の外側シリンダ部と、前記外側シリンダ部内に筒軸方向に移動自在に収容された中空筒状の内側シリンダ部と、前記内側シリンダ部内に筒軸方向に移動自在に収容されると共に、前記内側シリンダ部内に第１作動圧室と第２作動圧室とを区画形成するピストンと、一端側を前記ピストンに接続されると共に、他端側を前記外側シリンダ部及び前記内側シリンダ部から突出させたロッドと、前記外側シリンダ部に設けられて流体供給源から作動流体を導入する導入流路と、前記外側シリンダ部に設けられて流体を排出可能な第１排出流路及び第２排出流路と、前記内側シリンダ部に設けられ、前記内側シリンダが前記外側シリンダ内の筒軸方向一端側に位置する第１状態にて前記導入流路と前記第１作動圧室とを連通させると共に、前記内側シリンダが前記外側シリンダ内の筒軸方向他端側に位置する第２状態にて前記第２排出流路と前記第１作動圧室とを連通させる第１給排流路と、前記内側シリンダ部に設けられ、前記第２状態にて前記導入流路と前記第２作動圧室とを連通させると共に、前記第１状態にて前記第１排出流路と前記第２作動圧室とを連通させる第２給排流路と、を備えることを特徴とする。

また、前記外側シリンダ部が中空筒状に形成されると共に、前記内側シリンダ部によって前記外側シリンダ部内に第１中空室と第２中空室とが区画形成されており、前記第１中空室が前記第１排出流路を介して外部と連通すると共に、前記第２中空室が前記第２排出流路を介して外部と連通することが好ましい。

また、前記ピストンが径方向外側に向かうに従い軸方向長さを短く形成されてもよい。

本開示のアクチュエータは、前記流体シリンダを備えるアクチュエータであって、作動流体を圧送するポンプと、前記ポンプと前記導入流路と接続する供給配管に設けられて、作動流体の供給を制御する１個のＯＮ／ＯＦＦバルブとを備えることを特徴とする。

本開示の技術によれば、バルブの個数を効果的に削減することができる。

（Ａ）は、本実施形態に係るアクチュエータの全体構成において流体シリンダを部分断面として示す模式図であり、（Ｂ）は、本実施形態の流体シリンダの外側シリンダ部を切り欠いて示す模式的な部分断面図である。 本実施形態に係る流体シリンダの動作を説明する模式図である。 本実施形態に係る流体シリンダの動作を説明する模式図である。 本実施形態に係る流体シリンダの動作を説明する模式図である。 本実施形態に係る流体シリンダの動作を説明する模式図である。 本実施形態に係る流体シリンダの動作を説明する模式図である。 本実施形態に係る流体シリンダの動作を説明する模式図である。 本実施形態に係る流体シリンダの動作を説明する模式図である。 本実施形態に係る流体シリンダの動作を説明する模式図である。 本実施形態に係る流体シリンダの動作を説明する模式図である。 本実施形態に係る流体シリンダの動作を説明する模式図である。 他の実施形態に係る流体シリンダを示す模式的な部分断面図である。

以下、添付図面に基づいて、本実施形態に係る流体シリンダ及び、該流体シリンダを備えるアクチュエータについて説明する。同一の部品には同一の符号を付してあり、それらの名称および機能も同じである。したがって、それらについての詳細な説明は繰返さない。

図１は、本実施形態に係るアクチュエータ１０を示す模式的な全体構成図である。本実施形態のアクチュエータ１０は、例えば、図示しない変速機のレンジ切替装置等のシンクロメッシュ機構を作動させるもので、ポンプ１１と、第１供給配管１２と、ＯＮ／ＯＦＦバルブ１３と、第２供給配管１４と、流体シリンダ２０と、コントロールユニット１００とを備えている。

なお、図中において、符号９０は図示しない運転室内に設けられたシフト操作装置、符号９１はシフト操作装置９０の操作位置を検出するシフトポジションセンサ、符号９２は後述する作動ロッド６０のストローク量を検出するストロークセンサをそれぞれ示している。

ポンプ１１は、例えば、不図示のエンジンの動力により駆動して作動流体を圧送する。本実施形態において、流体シリンダ２０に供給する作動流体は、気体又は液体（例えば、作動油）の何れであってもよい。

第１供給配管１２は、ポンプ１１の吐出ポートとＯＮ／ＯＦＦバルブ１３の入口ポートとを接続する。すなわち、ポンプ１１の駆動時は、ポンプ１１により圧送される作動流体が、第１供給配管１２を介してＯＮ／ＯＦＦバルブ１３に常時供給されるように構成されている。

ＯＮ／ＯＦＦバルブ１３の出口ポートは、第２供給配管１４を介して流体シリンダ２０の導入流路３３に接続されている。ＯＮ／ＯＦＦバルブ１３は、コントロールユニット１００から入力される指示信号に応じて、第２供給配管１４から流体シリンダ２０に作動流体を供給する開弁状態（ＯＮ）と、第２供給配管１４から流体シリンダ２０への作動流体の供給を停止する閉弁状態（ＯＦＦ）とに選択的に切り替えられるようになっている。

流体シリンダ２０は、流体シリンダ２０の外側をなす略円筒中空状の外側シリンダ部３０と、外側シリンダ部３０よりも小径に形成されて、外側シリンダ部３０内に摺動移動自在に収容された略円筒中空状の内側シリンダ部４０と、内側シリンダ部４０内に摺動移動自在に収容されたピストン５０と、一端側をピストン５０に固定されると共に、他端側を各シリンダ部３０，４０よりも外方に突出させて不図示のシンクロメッシュ機構に接続された作動ロッド６０とを備えている。

なお、以下の説明では、作動ロッド６０が各シリンダ部３０，４０から伸長する図中矢印Ａ方向をシフト方向とし、作動ロッド６０が各シリンダ部３０，４０内に収縮する図中矢印Ｂ方向を反シフト方向と規定する。また、内側シリンダ部４０の筒内軸方向長さＬ２とピストン５０の軸方向長さＬ１との差（＝Ｌ２−Ｌ１）を、ピストン５０の内側シリンダ部４０内における最大ストローク長Ｓ１と称し、外側シリンダ部３０の筒内軸方向長さＬ４と内側シリンダ部４０の筒外軸方向長さＬ３との差（＝Ｌ４−Ｌ３）を、内側シリンダ部４０の最大ストローク長Ｓ２と称する。

外側シリンダ部３０は、外側筒部３１Ａと外側筒底部３１Ｂとを含む有底円筒状の外側シリンダ本体部３１と、外側シリンダ本体部３１の開口を塞ぐ円板状の外側蓋部材３２とを備えている。また、外側シリンダ部３０の内部には、シフト方向Ａ側の第１中空室Ｈ１及び、反シフト方向Ｂ側の第２中空室Ｈ２が設けられている。これら第１及び第２中空室Ｈ１，Ｈ２は、外側シリンダ部３０内に摺動移動自在に収容された内側シリンダ部４０によって区画形成されている。

外側蓋部材３２は、例えば、不図示のボルト等により外側筒部３１Ａに固定されている。外側筒底部３１Ｂの略中心位置には、作動ロッド６０を進退自在に挿通させる外側貫通穴３１Ｃが形成されている。外側貫通穴３１Ｃには、好ましくは、作動ロッド６０との隙間を封鎖する略円環状の第１シール部材３９が設けられている。

外側シリンダ部３０の筒軸方向中間位置に対応する外側筒部３１Ａには、第２供給配管１４から作動流体が送り込まれる導入流路３３が径方向に貫通形成されている。また、外側筒部３１Ａには、導入流路３３を中心に筒軸方向に互いに離間して配置された第１排出流路３４及び、第２排出流路３５が設けられている。

第１排出流路３４は、導入流路３３よりもシフト方向Ａ側に、導入流路３３から内側シリンダ部４０の最大ストローク長Ｓ２の半分の長さだけオフセットした位置に設けられている。また、第１排出流路３４は、外側筒部３１Ａを径方向に貫通する第１径方向排出流路部３４Ａと、外側筒部３１Ａの内周に第１径方向排出流路３４Ａから外側筒底部３１Ｂに亘って凹設された第１筒軸方向排出流路３４Ｂとを有しており、第１中空室Ｈ１を外部と連通させる。なお、第１筒軸方向排出流路３４Ｂは、内側筒部４１Ａの外周に凹設されてもよい。

第２排出流路３５は、導入流路３３よりも反シフト方向Ｂ側に、導入流路３３から内側シリンダ部４０の最大ストローク長Ｓ２の半分の長さだけオフセットした位置に設けられている。また、第２排出流路３５は、外側筒部３１Ａを径方向に貫通する第２径方向排出流路部３５Ａと、外側筒部３１Ａの内周に第２径方向排出流路３５Ａから開口端（外側蓋部材３２の近傍）に亘って凹設された第２筒軸方向排出流路３５Ｂとを有しており、第２中空室Ｈ２を外部と連通させる。なお、第２筒軸方向排出流路３５Ｂは、内側筒部４１Ａの外周に凹設されてもよい
内側シリンダ部４０は、内側筒部４１Ａと内側筒底部４１Ｂとを含む有底円筒状の内側シリンダ本体部４１と、内側シリンダ本体部４１の開口を塞ぐ円板状の内側蓋部材４２とを備えている。また、内側シリンダ部４０の内部には、シフト方向Ａ側の第１作動圧室Ｐ１及び、反シフト方向Ｂ側の第２作動圧室Ｐ２が設けられている。これら第１及び第２作動圧室Ｐ１，Ｐ２は、内側シリンダ部４０内に摺動移動自在に収容されたピストン５０によって区画形成されている。

内側筒部４１Ａには、その外筒面から所定の深さで窪むと共に筒軸方向に延びるガイド溝４１Ｃが設けられている。ガイド溝４１Ｃは外側筒部３１Ａの内筒面から突出する突起（図示例では、外側筒部３１Ａに嵌め込まれたボルトＢ）と係合することにより、内側シリンダ部４０の外側シリンダ部３０に対する相対回転を規制する回転規制機構として機能する。

内側蓋部材４２は、例えば、不図示のボルト等により内側筒部４１Ａに固定されている。内側筒底部４１Ｂの略中心位置には、作動ロッド６０を進退自在に挿通させる内側貫通穴４０Ａが形成されている。内側貫通穴４０Ａには、好ましくは、作動ロッド６０との隙間を封鎖する略円環状の第２シール部材４９が設けられている。

内側筒部４１Ａには、第１給排流路４３及び、第２給排流路４４が設けられている。第１給排流路４３は、ピストン５０が内側シリンダ部４０内を反シフト方向Ｂに移動する際に、導入流路３３から第１作動圧室Ｐ１に作動流体を導入させ、ピストン５０が内側シリンダ部４０内をシフト方向Ａに移動する際に、第１作動圧室Ｐ１内から第２排出流路３５（第２径方向排出流路部３５Ａ）を経由して流体を外部に排出させる。第２給排流路４４は、ピストン５０が内側シリンダ部４０内をシフト方向Ａに移動する際に、導入流路３３から第２作動圧室Ｐ２に作動流体を導入させ、ピストン５０が内側シリンダ部４０内を反シフト方向Ｂに移動する際に、第２作動圧室Ｐ２内から第１排出流路３４（第１径方向排出流路部３４Ａ）を経由して流体を外部に排出させる。

具体的には、第１給排流路４３は、内側筒部４１Ａの外筒面のうち、内側シリンダ部４０の筒軸方向中間位置Ｃから反シフト方向Ｂ側に内側シリンダ部４０の最大ストローク長Ｓ２の半分の長さだけオフセットした位置に開口する。さらに、第１給排流路４３は、内側筒部４１Ａ内を第２給排流路４４と干渉しないようにシフト方向Ａに向かって略Ｌ字状に屈曲して延びると共に、内側筒部４１Ａの内筒面のうち、内側筒底部４１Ｂが隣接する部位に開口形成されている。

第２給排流路４４は、内側筒部４１Ａの外筒面のうち、内側シリンダ部４０の筒軸方向中間位置Ｃからシフト方向Ａ側に内側シリンダ部４０の最大ストローク長Ｓ２の半分の長さだけオフセットした位置に開口する。さらに、第２給排流路４４は、内側筒部４１Ａ内を第１給排流路４３と干渉しないように反シフト方向Ｂに向かって略Ｌ字状に屈曲して延びると共に、内側筒部４１Ａの内筒面のうち、内側蓋部材４２が隣接する部位に開口形成されている。

ピストン５０は、その外径を内側シリンダ部４０の筒内径と略同径に形成されている。また、ピストン５０の外周部には、内側シリンダ部４０の内筒面との隙間を封止する略円環状の第３シール部材５１が設けられている。ピストン５０は、好ましくは、その側面を内側筒底部４１Ｂの内側面又は内側蓋部材４２の内側面に当接させた際に、各給排流路４３，４４から各作動圧室Ｐ１，Ｐ２内に作動流体が確実に供給されるように、その軸方向長さＬ１が径方向外側に向かうに従い短くなるように形成されている。ピストン５０のシフト方向側の側面中心部には、作動ロッド６０が不図示のボルト等により一体移動可能に固定されている。

作動ロッド６０には、ディテント機構７０が設けられている。ディテント機構７０は、付勢手段としてのスプリング７１と、ロックボール７２と、作動ロッド６０の外周に凹設された複数（図示例では２個）のディテント溝７３，７４とを備えている。スプリング７１は、一端を変速機ケース７５等に固定され、他端をロックボール７２に接続されている。ロックボール７２は、スプリング７１の付勢力によって作動ロッド６０の外周に常時押し付けられるようになっている。

以上のように構成された本実施形態に係る流体シリンダ２０の動作を、図２〜１２に基づいて説明する。なお、以下の説明では、作動ロッド６０がシフト方向Ａに最大にストロークし、ロックボール７２がディテント溝７３と係合した状態において、不図示のレンジ切替装置が「ロー」となり、作動ロッド６０が反シフト方向Ｂに最大に収縮し、ロックボール７２がディテント溝７４と係合した状態において、不図示のレンジ切替装置が「ハイ」に切り替わるものとする。なお、当然ながら、これらロー／ハイの関係は入れ替えて構成することもできる。

図２は、内側シリンダ部４０及びピストン５０が最もシフト方向Ａ側に位置し、ロックボール７２がディテント溝７３と係合し、さらに、不図示のレンジ切替装置が「ロー」の状態を示している。この状態で、シフトポジションセンサ９１がシフト操作装置９０の「ロー」から「ハイ」への切り替え操作を検出すると、コントロールユニット１００からＯＮ／ＯＦＦバルブ１３に開弁指示信号が出力される。ＯＮ／ＯＦＦバルブ１３が開弁（ＯＮ）すると、図中矢印Ｘに示すように、第２供給配管１４から導入流路３３及び、第１給排流路４３を介して第１作動圧室Ｐ１に作動流体が供給される。第１作動圧室Ｐ１内に作動流体が供給されると、これに伴いピストン５０が作動ロッド６０と一体に反シフト方向Ｂに向けてストローク移動を開始する。

図３に示すように、第１作動圧室Ｐ１内への作動流体の供給によりピストン５０が反シフト方向Ｂに向けてストローク移動する間、第２作動圧室Ｐ２内の流体は、図中矢印Ｙに示すように、第２給排流路４４から第１排出流路３４を介して外部に排出される。

図４に示すように、ピストン５０が内側蓋部材４２の内側面に到達すると、コントロールユニット１００からＯＮ／ＯＦＦバルブ１３に閉弁指示信号が出力され、第１作動圧室Ｐ１内への作動流体の供給は停止される。ピストン５０が内側蓋部材４２の内側面に到達したか否かは、ストロークセンサ９２のセンサ値に基づいて判別することができる。すなわち、ストロークセンサ９２により検出される作動ロッド６０の反シフト方向への移動開始からのストローク量が、ピストン５０の内側シリンダ部４０内における最大ストローク長Ｓ１に達した時に、ピストン５０が内側蓋部材４２の内側面に到達したと判定すればよい。

その後、図５に示すように、内側シリンダ部４０は、ピストン５０の反シフト方向Ｂへの慣性力（惰性力）によって、ピストン５０と一体に反シフト方向Ｂに向けてストローク移動する。この間、第２中空室Ｈ２内の流体は第２排出流路３５を経由して外部に排出される。

その後、図６に示すように、内側シリンダ部４０が外側蓋部材３２の内側面に到達し、ロックボール７２がディテント溝７４と係合すると、不図示のレンジ切替装置が「ハイ」に切り替えられるようになっている。

次に、不図示のレンジ切替装置の「ハイ」から「ロー」への切り替え動作を説明する。図７は、内側シリンダ部４０及びピストン５０が最も反シフト方向Ｂ側に位置し、ロックボール７２がディテント溝７４と係合し、さらに、不図示のレンジ切替装置が「ハイ」の状態を示している。この状態で、シフトポジションセンサ９１がシフト操作装置９０の「ハイ」から「ロー」への切り替え操作を検出すると、コントロールユニット１００からＯＮ／ＯＦＦバルブ１３に開弁指示信号が出力される。ＯＮ／ＯＦＦバルブ１３が開弁（ＯＮ）すると、図中矢印Ｘに示すように、第２供給配管１４から導入流路３３及び、第２給排流路４４を介して第２作動圧室Ｐ２に作動流体が供給される。第２作動圧室Ｐ２内に作動流体が供給されると、これに伴いピストン５０が作動ロッド６０と一体にシフト方向Ａに向けてストローク移動を開始する。

図８に示すように、第２作動圧室Ｐ２内への作動流体の供給によりピストン５０がシフト方向Ａに向けてストローク移動する間、第１作動圧室Ｐ１内の流体は、図中矢印Ｙに示すように、第１給排流路４３から第２排出流路３５を介して外部に排出される。

図９に示すように、ピストン５０が内側筒底部４１Ｂの内側面に到達すると、コントロールユニット１００からＯＮ／ＯＦＦバルブ１３に閉弁指示信号が出力され、第２作動圧室Ｐ２内への作動流体の供給は停止される。ピストン５０が内側筒底部４１Ｂの内側面に到達したか否かは、ストロークセンサ９２のセンサ値に基づいて判別すればよい。

その後、図１０に示すように、内側シリンダ部４０は、ピストン５０のシフト方向Ａへの慣性力（惰性力）によって、ピストン５０と一体にシフト方向Ａに向けてストローク移動する。この間、第１中空室Ｈ１内の流体は第１排出流路３４を経由して外部に排出される。

その後、図１１に示すように、内側シリンダ部４０が外側筒底部３１Ｂの内側面に到達し、ロックボール７２がディテント溝７３と係合すると、不図示のレンジ切替装置が「ロー」に切り替えられるようになっている。

以上詳述した本実施形態の流体シリンダ２０においては、外側シリンダ部３０内に内側シリンダ部４０が筒軸方向に摺動移動自在に収容されると共に、該内側シリンダ部４０によって外側シリンダ部３０内に第１及び第２中空室Ｈ１，Ｈ２が区画形成されている。また、内側シリンダ部４０内にピストン５０が筒軸方向に摺動移動自在に収容されると共に、該ピストン５０によって内側シリンダ部４０内に第１及び第２作動圧室Ｐ１，Ｐ２が区画形成されている。

また、ピストン５０を反シフト方向に移動させる際には、第１作動圧室Ｐ１に対して外側シリンダ部３０の導入流路３３から内側シリンダ部４０の第１給排流路４３を介して作動流体が供給され、ピストン５０をシフト方向に移動させる際には、第２作動圧室Ｐ２に対して外側シリンダ部３０の導入流路３３から内側シリンダ部４０の第２給排流路４４を介して作動流体が供給されるようになっている。

また、ピストン５０を反シフト方向に移動させる際には、内側シリンダ部４０の第２給排流路４４が外側シリンダ部３０の第１排出流路３４を介して第２作動圧室Ｐ２から流体を外部に排出する排出流路として機能し、ピストン５０をシフト方向に移動させる際には、内側シリンダ部４０の第１給排流路４３が外側シリンダ部３０の第２排出流路３５を介して第１作動圧室Ｐ１から流体を外部に排出する排出流路として機能するようになっている。

さらに、外側シリンダ部３０の第１及び、第２排出流路３４，３５は、ピストン５０の移動時に第１及び第２中空室Ｈ１，Ｈ２から流体を外部に排出する排出流路としても機能するようになっている。

すなわち、本実施形態の流体シリンダ２０によれば、外側シリンダ部３０の導入流路３３から作動流体を供給するのみで、ピストン５０を作動ロッド６０と一体にシフト方向及び／又は反シフト方向にストローク移動できるように構成されている。これにより、１個のＯＮ／ＯＦＦバルブ１３のみにより流体シリンダ２０の作動を制御することが可能となり、ＯＮ／ＯＦＦバルブを２個以上必要とする従前構造に比べ、コストを確実に削減することができる。また、バルブ個数を削減することにより、アクチュエータ１０の小型化を図ることも可能になる。

なお、本開示は、上述の実施形態に限定されるものではなく、本開示の趣旨を逸脱しない範囲で、適宜に変形して実施することが可能である。

例えば、図１２に示すように、外側シリンダ部３０を両端にフランジ３７，３８を有する略円筒体に形成し、第１及び第２筒軸方向排出流路３４Ｂ，３５Ｂ（図１参照）を省略して構成してもよい。この場合も上記実施形態と同様の作用効果を奏することができる。

また、上記実施形態において、アクチュエータ１０は、レンジ切替装置に適用されるものとして説明したが、変速ギヤをシャフトと同期結合させるシンクロメッシュ機構等、レンジ切替装置以外の他の装置にも広く適用することが可能である。

１０ アクチュエータ
１１ ポンプ
１２ 第１供給配管
１３ ＯＮ／ＯＦＦバルブ
１４ 第２供給配管
２０ 流体シリンダ
３０ 外側シリンダ部
３１ 外側シリンダ本体部
３２ 外側蓋部材
３３ 導入流路
３４ 第１排出流路
３５ 第２排出流路
４０ 内側シリンダ部
４１ 内側シリンダ本体部
４２ 内側蓋部材
４３ 第１給排流路
４４ 第２給排流路
５０ ピストン
６０ 作動ロッド
Ｈ１ 第１中空室
Ｈ２ 第２中空室
Ｐ１ 第１作動圧室
Ｐ２ 第２作動圧室

Claims (4)

1. 筒状の外側シリンダ部と、
   前記外側シリンダ部内に筒軸方向に移動自在に収容された中空筒状の内側シリンダ部と、
   前記内側シリンダ部内に筒軸方向に移動自在に収容されると共に、前記内側シリンダ部内に第１作動圧室と第２作動圧室とを区画形成するピストンと、
   一端側を前記ピストンに接続されると共に、他端側を前記外側シリンダ部及び前記内側シリンダ部から突出させたロッドと、
   前記外側シリンダ部に設けられて流体供給源から作動流体を導入する導入流路と、
   前記外側シリンダ部に設けられて流体を排出可能な第１排出流路及び第２排出流路と、
   前記内側シリンダ部に設けられ、前記内側シリンダが前記外側シリンダ内の筒軸方向一端側に位置する第１状態にて前記導入流路と前記第１作動圧室とを連通させると共に、前記内側シリンダが前記外側シリンダ内の筒軸方向他端側に位置する第２状態にて前記第２排出流路と前記第１作動圧室とを連通させる第１給排流路と、
   前記内側シリンダ部に設けられ、前記第２状態にて前記導入流路と前記第２作動圧室とを連通させると共に、前記第１状態にて前記第１排出流路と前記第２作動圧室とを連通させる第２給排流路と、を備える
   ことを特徴とする流体シリンダ。
2. 前記外側シリンダ部が中空筒状に形成されると共に、前記内側シリンダ部によって前記外側シリンダ部内に第１中空室と第２中空室とが区画形成されており、前記第１中空室が前記第１排出流路を介して外部と連通すると共に、前記第２中空室が前記第２排出流路を介して外部と連通する
   請求項１に記載の流体シリンダ。
3. 前記ピストンが径方向外側に向かうに従い軸方向長さを短く形成された
   請求項１又は２に記載の流体シリンダ。
4. 請求項１から３の何れか一項に記載の流体シリンダを備えるアクチュエータであって、
   作動流体を圧送するポンプと、
   前記ポンプと前記導入流路と接続する供給配管に設けられて、作動流体の供給を制御する１個のＯＮ／ＯＦＦバルブと、を備える
   ことを特徴とするアクチュエータ。

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