JP2019090651A - 圧力センサ - Google Patents
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Abstract
Description
110、510、610 圧力導入部
111 継手
112 ロアカバー
113、513、613 圧力室
120、520、620 圧力検出部
121 半導体センサチップ
122 液封室
123 ダイヤフラム
124、524 ハウジング
130、230、330、430、530、630、730 信号送出部
131、231、631 接続基板
132、132A、332A、632、632A 電気コネクタ
133、233、633 ケーブル
134 スペーサ
135 ケース
136、336、536、636 インナーキャップ
137、737 封止接着剤
233a 半田接続部
438、439 樹脂コーティング
511、611 保護カバー
511a、611a 継手部
511b、611b 圧力室凹部
511c、611c ケース部
511d、611d、735a かしめ部
512、612 Oリング
621 センサエレメント
622 検出部スペーサ
735 かしめ板
735b フランジ部
Claims (10)
- 配管から流体が導入される流路、及び、圧力室が形成される継手部と、
前記圧力室に導入された前記流体の圧力を検出する圧力検出部と、
前記圧力検出部の前記圧力室に対向する側に配置された筒形状を有するケース部と、
前記ケース部の内部に配置され、前記圧力検出部から外部に圧力信号を送出するケーブルを含む導通部材によって外部に信号を送出する信号送出部と
を備える圧力センサにおいて、
前記ケース部の内部に配置されたインナーキャップを更に備え、
前記インナーキャップには、
前記圧力検出部側に形成された内部空洞と、
前記内部空洞と外部との間に設けられた少なくとも1つの開口部と
が形成され、
前記内部空洞には、前記導通部材が配置され、前記少なくとも1つの開口部には前記ケーブルが貫通配置され、
前記開口部の前記ケーブルの周囲、及び、前記インナーキャップの外周と前記ケース部の内周との間のそれぞれに、封止接着剤が封入される
ことを特徴とする圧力センサ。 - 前記インナーキャップは、前記ケース部のかしめ加工により固定され、前記かしめ加工された部分の全周に亘り封止接着剤が封入されることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記信号送出部は、
前記圧力検出部及び前記ケーブルを接続する接続基板を含むことを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。 - 前記ケーブルと前記接続基板が半田接続されることを特徴とする請求項3に記載の圧力センサ。
- 前記信号送出部は、
前記ケーブルと前記接続基板を接続する電気コネクタを更に含むことを特徴とする請求項3に記載の圧力センサ。 - 前記電気コネクタは、前記インナーキャップに一体として固定されることを特徴とする請求項5に記載の圧力センサ。
- 前記継手部と、前記ケース部が一体として形成されることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記接続基板が、樹脂コーティングにより保護されることを特徴とする請求項3に記載の圧力センサ。
- 前記圧力検出部は、オイル封入タイプであることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記圧力検出部は、静電容量検出タイプであることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
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