JP2019090059A - Thermosetting epoxy resin composition, adhesive film for forming insulating layer and multilayer printed wiring board - Google Patents

Thermosetting epoxy resin composition, adhesive film for forming insulating layer and multilayer printed wiring board Download PDF

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Abstract

To provide an epoxy resin composition which can form a roughened surface that has a low dielectric loss tangent and is excellent in adhesiveness with a conductor layer, and can form an insulating layer having well-balanced characteristics of an increase in multilayering of build-up layers and an increase in density of a multilayer printed wiring board.SOLUTION: There is provided a thermosetting epoxy resin composition, where when a nonvolatile component in a resin composition containing at least an epoxy resin (A) and an active ester compound (B) containing a naphthalene structure is 100 mass%, a content of the active ester compound (B) containing the naphthalene structure is 0.1-30 mass%.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、誘電正接が低数値であり、且つ低粗度、高ピールの粗化面を有する絶縁層の形成に適した熱硬化性エポキシ樹脂組成物とその硬化物、及び低粗度、高ピールの粗化面を有する硬化物層を絶縁層として有する多層プリント配線板に関する。   In the present invention, a thermosetting epoxy resin composition suitable for the formation of an insulating layer having a low dielectric loss tangent and a low roughness and a high peel roughened surface, a cured product thereof, and a low roughness and high roughness The present invention relates to a multilayer printed wiring board having a cured product layer having a roughened surface of peel as an insulating layer.

電子機器の小型化、高性能化に伴い、使用される多層プリント配線板のビルドアップ層の高複層化、高密度化に対応できる導体形成方法としては、絶縁層表面を粗化処理後、無電解メッキで導体層を形成するアディティブ法と、無電解メッキと電解メッキで導体層を形成するセミアディティブ法が知られており、これらの方法の場合、絶縁層表面とメッキ導体層間の密着性は、主として絶縁層表面を粗化処理してアンカー効果を発揮する微細な凹凸を有する面とすることによって確保されている。   As the conductor formation method that can cope with the increase in the number of layers and increase in density of the buildup layer of the multilayer printed wiring board used along with the miniaturization and high performance of electronic devices, after roughening the surface of the insulating layer, An additive method of forming a conductor layer by electroless plating and a semi-additive method of forming a conductor layer by electroless plating and electrolytic plating are known. In the case of these methods, adhesion between the surface of the insulating layer and the plated conductor layer Is secured mainly by roughening the surface of the insulating layer to form a surface having fine irregularities that exert an anchor effect.

絶縁層表面に形成された凹凸によるアンカー効果は、表面の粗度が大きいほど大きく、メッキ導体層との密着性は高まる。しかし、絶縁層表面の粗度が大きいと、粗化面に形成された薄膜導体層を所定の配線パターンが形成されるようにエッチングにより部分的に除去する際に、除去されるべき表面部位における凹部に入り込んだ導体層部分が除去され難い状態であるため、エッチング処理に長時間を要することとなり、その影響で、残されるべき配線パターン部分までが侵食されて微細配線が損傷したり、断線したりする危険性が高くなる。それ故、配線の微細化、高密度化に対応するためには、絶縁層の表面状態は、できるだけ微細な凹凸でしかもメッキにより形成されている薄膜導体層との密着性を十分に確保できる粗化面であることが要求される。   The anchor effect by the unevenness formed on the surface of the insulating layer is larger as the surface roughness is larger, and the adhesion to the plated conductor layer is enhanced. However, when the roughness of the surface of the insulating layer is large, when partially removing the thin film conductor layer formed on the roughened surface by etching so as to form a predetermined wiring pattern, the surface portion to be removed Since the conductor layer portion which has entered the concave portion is difficult to be removed, the etching process takes a long time, and the wiring pattern portion to be left is eroded by the influence, and the fine wiring is damaged or disconnected. Increase the risk of Therefore, in order to cope with the miniaturization and densification of the wiring, the surface state of the insulating layer is rough as much as possible with sufficient unevenness and adhesion with the thin film conductor layer formed by plating. It is required to be

また、絶縁層には、絶縁層表面に形成される配線パターンからなる導体層との間の線熱膨張率に差が生じないように線熱膨張率が低いことも要求される。絶縁層の線熱膨張率が高いと、導体層との間の線熱膨張率の差が大きくなり、絶縁層と導体層の間にクラックが発生する等の問題が生じやすくなる。   In addition, the insulating layer is also required to have a low coefficient of linear thermal expansion so that there is no difference in the coefficient of linear thermal expansion between the insulating layer and a conductor layer formed of a wiring pattern formed on the surface of the insulating layer. When the linear thermal expansion coefficient of the insulating layer is high, the difference in linear thermal expansion coefficient between the insulating layer and the conductor layer is large, and problems such as generation of cracks between the insulating layer and the conductive layer are likely to occur.

従来、上記のような多層プリント配線板の内層回路基板の絶縁層を形成する熱硬化性樹脂組成物に使用する硬化剤として「活性エステル化合物」が知られており、そのような「活性エステル化合物」として「ジシクロペンタジエニルジフェノール構造を含む活性エステル化合物」が主に使用されてきている。しかし、近年の多層プリント配線板のビルドアップ層の高複層化、高密度化の進展は著しく、対応できる絶縁層を形成できるエポキシ樹脂組成物の提案も多くなされてきている。   Heretofore, as a curing agent used for a thermosetting resin composition for forming the insulating layer of the inner layer circuit board of a multilayer printed wiring board as described above, an "active ester compound" is known, and such "active ester compound" As "," an "active ester compound containing a dicyclopentadienyl diphenol structure" has mainly been used. However, in recent years, with the progress in increasing the number of layers and increasing the density of build-up layers of multilayer printed wiring boards, there have been many proposals for epoxy resin compositions capable of forming insulating layers that can be handled.

特許文献1には、熱硬化性エポキシ樹脂組成物の硬化剤としてフェノールノボラック樹脂中のフェノール性水酸基をアリールエステル化して得られる活性エステル化合物を使用することにより、低い誘電特性を発現する絶縁層を形成する硬化体を得ることができることが記載されている。   Patent Document 1 discloses an insulating layer exhibiting low dielectric properties by using an active ester compound obtained by aryl esterification of a phenolic hydroxyl group in a phenol novolac resin as a curing agent for a thermosetting epoxy resin composition. It is described that a cured product can be obtained.

特許文献2には、硬化物表面を粗化処理した粗化面の粗度が比較的小さいにもかかわらず、該粗化面がメッキ導体に対して高い密着性を示し、かつ線熱膨張率が小さい絶縁層を形成し得るエポキシ樹脂組成物として、(A)エポキシ樹脂、(B)活性エステル化合物、(C)トリアジン構造を有するフェノール樹脂、(D)マレイミド化合物、及び(E)フェノキシ樹脂を含有するエポキシ樹脂組成物が記載されている。   In Patent Document 2, despite the relatively small roughness of the roughened surface obtained by roughening the surface of the cured product, the roughened surface exhibits high adhesion to the plated conductor, and the linear thermal expansion coefficient (A) epoxy resin, (B) active ester compound, (C) phenol resin having a triazine structure, (D) maleimide compound, and (E) phenoxy resin as an epoxy resin composition capable of forming an insulating layer having a small amount of An epoxy resin composition is described which it contains.

また、特許文献3には、低誘電率、低誘電正接を発現するとともに、優れた耐熱性と難燃性とを兼備した硬化物を与える熱硬化性エポキシ樹脂組成物として、ポリアリーレンオキシ構造を主骨格としており、該構造の芳香核にアリールカルボニル基を有する活性エステル樹脂を含有するエポキシ樹脂組成物が記載されている。   In addition, Patent Document 3 discloses a polyarylene oxy structure as a thermosetting epoxy resin composition which gives a cured product having both excellent heat resistance and flame retardancy while exhibiting a low dielectric constant and a low dielectric loss tangent. An epoxy resin composition is described which contains an active ester resin having an aryl carbonyl group in the aromatic nucleus of the structure as a main skeleton.

上記のように、内層回路基板の絶縁層の形成に適したエポキシ樹脂組成物の提案は多くなされてきているが、低誘電正接であるとともに、めっき層との密着性に優れた微細粗化面を形成することができるという、多層プリント配線板のビルドアップ層の高複層化、高密度化に対応できる特性をバランスよく備えた絶縁層を形成できるエポキシ樹脂組成物に対する要望はさらに高まってきている。   As described above, many proposals have been made for epoxy resin compositions suitable for the formation of the insulating layer of the inner layer circuit board, but a finely roughened surface having a low dielectric loss tangent and excellent adhesion to the plating layer The demand for an epoxy resin composition capable of forming an insulating layer having well-balanced properties of being able to cope with the increase in the number of layers and increase in density of buildup layers of multilayer printed wiring boards, that can be formed There is.

特開平07−082348号公報Japanese Patent Application Publication No. 07-082348 特開2010−090238号公報JP, 2010-090238, A 特開2012−012534号公報JP 2012-012534 A

本発明は、低誘電正接を示すとともに、めっき層との密着性、エッチング性に優れた微細凹凸を有する粗化面を形成することができるという多層プリント配線板のビルドアップ層の高複層化、高密度化に対応できる特性をバランスよく備えた絶縁層を形成できる熱硬化性エポキシ樹脂組成物と、その硬化物によって形成されている絶縁層を有するプリント配線板及び該プリント配線板によって構成されている多層プリント配線板を提供することを目的とするものである。
また、本発明は、上記の熱硬化性エポキシ樹脂組成物よりなる樹脂組成物層を支持フィルム上に形成した絶縁層形成用接着フィルム及び上記熱硬化性エポキシ樹脂組成物がシート状補強基材に含浸されている絶縁層形成用プリプレグを提供することを目的とするものである。
The present invention exhibits a low dielectric loss tangent, and can form a roughened surface having fine asperities excellent in adhesion with a plating layer and etching properties, and increasing the number of layers in a buildup layer of a multilayer printed wiring board A thermosetting epoxy resin composition capable of forming an insulating layer having well-balanced properties corresponding to high density, a printed wiring board having an insulating layer formed of a cured product thereof, and the printed wiring board It is an object of the present invention to provide a multilayer printed wiring board.
Further, according to the present invention, an adhesive film for forming an insulating layer, in which a resin composition layer comprising the above-mentioned thermosetting epoxy resin composition is formed on a supporting film, and the above-mentioned thermosetting epoxy resin composition form a sheet-like reinforcing substrate An object of the present invention is to provide a prepreg for forming an insulating layer, which is impregnated.

本発明者らは、熱硬化性エポキシ樹脂組成物に使用される硬化剤や配合樹脂類について鋭意検討した結果、エポキシ樹脂組成物に配合される樹脂成分として知られている各種樹脂のなかで、「ナフタレン構造を含む活性エステル化合物」が、その特定量を樹脂組成物中に配合する場合に上記課題を解決し得る手段となる樹脂成分であることを見いだし、以下の発明をなしたものである。   Among the various resins known as resin components to be compounded in the epoxy resin composition, the present inventors have intensively studied the curing agent and the compounding resins used in the thermosetting epoxy resin composition, It has been found that "an active ester compound containing a naphthalene structure" is a resin component which can be a means for solving the above problems when the specific amount thereof is blended in the resin composition, and the following invention has been made. .

〔1〕 少なくともエポキシ樹脂(A)と、ナフタレン構造を含む活性エステル化合物(B)を含有する樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合の前記ナフタレン構造を含む活性エステル化合物(B)の含有量が0.1〜30質量%である、熱硬化性エポキシ樹脂組成物。
〔2〕 前記ナフタレン構造を含む活性エステル化合物(B)が、ポリナフチレンオキサイド構造とアリールカルボニルオキシ基を有する活性エステル化合物である、〔1〕に記載の熱硬化性エポキシ樹脂組成物。
〔3〕 前記ナフタレン構造を含む活性エステル化合物(B)が、ポリナフチレンオキサイド構造のナフタレン核にアリールカルボニルオキシ基が結合した活性エステル化合物である、〔1〕又は〔2〕に記載の熱硬化性エポキシ樹脂組成物。
〔4〕 前記エポキシ樹脂(A)が液状のエポキシ樹脂を含有する、〔1〕〜〔3〕のいずれかに記載の熱硬化性エポキシ樹脂組成物。
〔5〕 さらに無機充填材を含有する、〔1〕〜〔4〕のいずれかに記載の熱硬化性エポキシ樹脂組成物。
〔6〕 さらに熱可塑性樹脂を含有する、〔1〕〜〔5〕のいずれかに記載の熱硬化性エポキシ樹脂組成物。
〔7〕 メッキにより導体層を形成する多層プリント配線板の絶縁層用樹脂組成物である、〔1〕〜〔6〕のいずれかに記載の熱硬化性エポキシ樹脂組成物。
〔8〕 〔1〕〜〔7〕のいずれかに記載の熱硬化性エポキシ樹脂組成物からなる樹脂組成物層を支持フィルム上に有することを特徴とする、絶縁層形成用接着フィルム。
〔9〕 〔1〕〜〔7〕のいずれかに記載の熱硬化性エポキシ樹脂組成物がシート状繊維基材に含浸されていることを特徴とする、絶縁層形成用プリプレグ。
〔10〕 〔8〕に記載の絶縁層形成用接着フィルムの樹脂組成物層及び〔9〕に記載の絶縁層形成用プリプレグのいずれかの硬化物よりなるプリント配線板用絶縁体。
〔11〕 〔10〕に記載のプリント配線板用絶縁体からなる絶縁層上にパターン加工された導体層回路を有するプリント配線板用絶縁体。
〔12〕 前記絶縁層の表面粗さRaが10〜200nmであり、Rqが15〜250nmであり、前記絶縁層と導体層のピール強度が0.35kgf/cm以上であることを特徴とする、〔10〕又は〔11〕に記載のプリント配線板用絶縁体。
〔13〕 〔11〕又は〔12〕に記載のプリント配線板用絶縁体を多層積層して形成されてなる、多層プリント配線板。
〔14〕 〔13〕に記載の多層プリント配線板を用いることを特徴とする半導体装置。
[1] Active ester compound (B) containing naphthalene structure when the non-volatile component in the resin composition containing at least epoxy resin (A) and active ester compound (B) containing naphthalene structure is 100% by mass The thermosetting epoxy resin composition whose content of 0.1-30 mass%.
[2] The thermosetting epoxy resin composition according to [1], wherein the active ester compound (B) containing a naphthalene structure is an active ester compound having a polynaphthylene oxide structure and an arylcarbonyloxy group.
[3] The thermosetting according to [1] or [2], wherein the active ester compound (B) containing a naphthalene structure is an active ester compound in which an arylcarbonyloxy group is bonded to a naphthalene nucleus of a polynaphthylene oxide structure Epoxy resin composition.
[4] The thermosetting epoxy resin composition according to any one of [1] to [3], wherein the epoxy resin (A) contains a liquid epoxy resin.
[5] The thermosetting epoxy resin composition according to any one of [1] to [4], further containing an inorganic filler.
[6] The thermosetting epoxy resin composition according to any one of [1] to [5], which further contains a thermoplastic resin.
[7] The thermosetting epoxy resin composition according to any one of [1] to [6], which is a resin composition for an insulating layer of a multilayer printed wiring board in which a conductor layer is formed by plating.
[8] An adhesive film for forming an insulating layer, comprising a resin composition layer comprising the thermosetting epoxy resin composition according to any one of [1] to [7] on a support film.
[9] A prepreg for forming an insulating layer, wherein the thermosetting epoxy resin composition according to any one of [1] to [7] is impregnated in a sheet-like fiber substrate.
[10] An insulator for a printed wiring board, comprising the resin composition layer of the adhesive film for forming an insulating layer according to [8] and the cured product of any of the prepreg for forming an insulating layer according to [9].
[11] An insulator for a printed wiring board, having a conductor layer circuit patterned on an insulating layer consisting of the insulator for a printed wiring board according to [10].
[12] A surface roughness Ra of the insulating layer is 10 to 200 nm, Rq is 15 to 250 nm, and peel strengths of the insulating layer and the conductor layer are 0.35 kgf / cm or more. The insulator for printed wiring boards as described in [10] or [11].
[13] A multilayer printed wiring board, which is formed by laminating multiple layers of the printed wiring board insulator according to [11] or [12].
[14] A semiconductor device using the multilayer printed wiring board according to [13].

前記熱硬化性エポキシ樹脂組成物は、低誘電正接を示し、めっき層との密着性に優れた粗化面を形成することができ、多層プリント配線板のビルドアップ層の高複層化、高密度化に対応できる特性をバランスよく備えた絶縁層となる硬化物層を形成できる熱硬化性エポキシ樹脂組成物である。
また、上記熱硬化性エポキシ樹脂組成物を硬化してなる硬化物は、表面粗化処理によって、表面粗さRaが10〜200nmでRqが15〜250nmという微細な凹凸を形成した場合であっても、めっき層との密着性に優れた粗化面となるので、多層プリント配線板における絶縁層形成材料として特に有用である。
The thermosetting epoxy resin composition exhibits a low dielectric loss tangent, can form a roughened surface excellent in adhesion to the plating layer, and can increase the number of build-up layers of a multilayer printed wiring board, and increase the height. It is a thermosetting epoxy resin composition capable of forming a cured material layer to be an insulating layer having well-balanced properties capable of coping with density formation.
In addition, a cured product obtained by curing the above-mentioned thermosetting epoxy resin composition has a surface roughness Ra, when it has a surface roughness Ra of 10 to 200 nm and Rq of 15 to 250 nm. Since it also becomes a roughened surface excellent in adhesiveness with a plating layer, it is particularly useful as an insulating layer forming material in a multilayer printed wiring board.

以下、本発明の熱硬化性エポキシ樹脂組成物、絶縁層形成用接着フィルム、絶縁層形成用プリプレグ、プリント配線板用絶縁体及び多層プリント配線板のそれぞれについてさらに詳述する。   Hereinafter, each of the thermosetting epoxy resin composition, the adhesive film for forming an insulating layer, the prepreg for forming an insulating layer, the insulator for printed wiring board, and the multilayer printed wiring board of the present invention will be described in more detail.

本発明の熱硬化性エポキシ樹脂組成物は、必須成分としてエポキシ樹脂(A)と、ナフタレン構造を含む活性エステル化合物(B)を含有し、他に、無機充填材、熱可塑性樹脂、エポキシ樹脂用硬化剤、硬化促進剤、及び多層プリント配線板における絶縁層を形成する樹脂組成物に使用される添加物を必要に応じて含有することができる。   The thermosetting epoxy resin composition of the present invention contains, as essential components, an epoxy resin (A) and an active ester compound (B) containing a naphthalene structure, and in addition, for inorganic fillers, thermoplastic resins and epoxy resins The curing agent, the curing accelerator, and the additive used for the resin composition which forms the insulating layer in a multilayer printed wiring board can be contained as needed.

<エポキシ樹脂(A)>
本発明の熱硬化性エポキシ樹脂組成物に使用するエポキシ樹脂(A)は、多層プリント配線板における絶縁層を形成する樹脂組成物に通常使用されるエポキシ樹脂であり、以下に挙げるものから適宜選択して使用することができる。
<Epoxy resin (A)>
The epoxy resin (A) used for the thermosetting epoxy resin composition of the present invention is an epoxy resin generally used for a resin composition forming an insulating layer in a multilayer printed wiring board, and can be appropriately selected from the following: Can be used.

例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、tert-ブチル-カテコール型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、線状脂肪族エポキシ樹脂、ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、スピロ環含有エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、トリメチロール型エポキシ樹脂、ハロゲン化エポキシ樹脂等が挙げられる。   For example, bisphenol A epoxy resin, bisphenol F epoxy resin, bisphenol S epoxy resin, bisphenol AF epoxy resin, phenol novolac epoxy resin, tert-butyl-catechol epoxy resin, naphthol epoxy resin, naphthalene epoxy resin Naphthylene ether type epoxy resin, glycidyl amine type epoxy resin, glycidyl ester type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, anthracene type epoxy resin, linear aliphatic epoxy resin, epoxy resin having a butadiene structure, Alicyclic epoxy resin, heterocyclic epoxy resin, spiro ring containing epoxy resin, cyclohexane dimethanol type epoxy resin, trimethylol type epoxy resin, halogen Epoxy resins.

エポキシ樹脂(A)は2種以上を併用してもよい。エポキシ樹脂(A)の不揮発成分を100質量%とした場合に、少なくとも50質量%以上は1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂であるのが好ましい。またさらに、1分子中に2個以上のエポキシ基を有し、温度20℃で液状の芳香族系エポキシ樹脂(液状エポキシ樹脂)を含有する態様が好ましく、該液状エポキシ樹脂及び1分子中に3個以上のエポキシ基を有し、温度20℃で固体状の芳香族系エポキシ樹脂(固体状エポキシ樹脂)を含有する態様がより好ましい。
なお、本発明において、芳香族系エポキシ樹脂とは、その分子内に芳香環骨格を有するエポキシ樹脂を意味する。またエポキシ当量(g/eq)は、エポキシ基1個当たりの分子量のことである。エポキシ樹脂として、液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂を使用することで、エポキシ樹脂組成物を接着フィルムの形態で使用する場合に、十分な可撓性を示し、取扱い性に優れたフィルムを形成できると同時に、エポキシ樹脂組成物の硬化物の破断強度が向上し、多層プリント配線板の耐久性が向上する。
The epoxy resin (A) may be used in combination of two or more. When the nonvolatile component of the epoxy resin (A) is 100% by mass, it is preferable that at least 50% by mass or more is an epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule. Furthermore, an embodiment is preferable in which an aromatic epoxy resin (liquid epoxy resin) having two or more epoxy groups in one molecule and which is liquid at a temperature of 20 ° C. is contained. It is more preferable to use an embodiment containing an aromatic epoxy resin (solid epoxy resin) which has at least 20 epoxy groups and is solid at a temperature of 20 ° C.
In the present invention, the aromatic epoxy resin means an epoxy resin having an aromatic ring skeleton in its molecule. Moreover, an epoxy equivalent (g / eq) is a molecular weight per epoxy group. By using a liquid epoxy resin and a solid epoxy resin as the epoxy resin, when using the epoxy resin composition in the form of an adhesive film, it can exhibit sufficient flexibility and form a film excellent in handleability. At the same time, the breaking strength of the cured product of the epoxy resin composition is improved, and the durability of the multilayer printed wiring board is improved.

また、エポキシ樹脂として、液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂を併用する場合、配合割合(液状:固体状)は質量比で1:0.1〜1:2の範囲が好ましい。かかる範囲内で液状エポキシ樹脂を用いることで、接着フィルムの形態で使用する場合に、十分な可撓性が得られ、取り扱い性が向上し、ラミネートの際の十分な流動性を得ることもできるようになる。一方、かかる範囲内で固形エポキシ樹脂を用いることで、エポキシ樹脂組成物の粘着性を低下させ、接着フィルムの形態で使用する場合に、真空ラミネート時の脱気性を向上させることができる。また、真空ラミネート時に保護フィルムや支持フィルムの剥離性を良好にし、硬化後の耐熱性を向上させることもできる   When a liquid epoxy resin and a solid epoxy resin are used in combination as the epoxy resin, the blending ratio (liquid: solid) is preferably in the range of 1: 0.1 to 1: 2 in mass ratio. By using a liquid epoxy resin in such a range, sufficient flexibility can be obtained when used in the form of an adhesive film, and the handleability can be improved, and sufficient fluidity can be obtained in the case of lamination. It will be. On the other hand, by using a solid epoxy resin within such a range, the adhesiveness of the epoxy resin composition can be reduced, and when used in the form of an adhesive film, the degassing property at the time of vacuum lamination can be improved. Moreover, the peelability of a protective film or a support film can be made favorable at the time of vacuum lamination, and the heat resistance after hardening can also be improved.

本発明のエポキシ樹脂組成物において、エポキシ樹脂組成物の不揮発成分を100質量
%とした場合、エポキシ樹脂(A)の含有量は10〜50質量%であるのが好ましく、より好ましくは20〜40質量%であり、さらに好ましくは20〜35質量%である。エポキシ樹脂(A)の含有量をこの範囲内とすることで、エポキシ樹脂組成物の硬化性が向上する傾向にある。
In the epoxy resin composition of the present invention, when the nonvolatile component of the epoxy resin composition is 100% by mass, the content of the epoxy resin (A) is preferably 10 to 50% by mass, more preferably 20 to 40. It is mass%, More preferably, it is 20-35 mass%. By setting the content of the epoxy resin (A) in this range, the curability of the epoxy resin composition tends to be improved.

<ナフタレン構造を含む活性エステル化合物(B)>
本発明の熱硬化性エポキシ樹脂組成物における「ナフタレン構造を含む活性エステル化合物(B)」は、エポキシ樹脂の硬化剤としての機能を有しているとともに、樹脂硬化物面を粗化処理した際に、メッキ層との密着性がよい微細な凹凸が形成されることにも寄与しているものと考えられる。
<Active Ester Compound Containing Naphthalene Structure (B)>
When the "active ester compound (B) containing a naphthalene structure" in the thermosetting epoxy resin composition of the present invention has a function as a curing agent for an epoxy resin, the surface of the cured resin is roughened. In addition, it is thought that it also contributes to the formation of fine irregularities with good adhesion to the plating layer.

ナフタレン構造を含む活性エステル化合物(B)としては、ナフタレン構造とアリールカルボニルオキシ基を有しさえすれば特に限定されないが、ポリナフチレンオキサイド構造とアリールカルボニルオキシ基を有する活性エステル化合物が好ましく、ポリナフチレンオキサイド構造のナフタレン核にアリールカルボニルオキシ基が結合した活性エステル化合物がより好ましい。ポリナフチレンオキサイド構造としては、炭素数1〜4のアルキル基で置換されたポリナフチレンオキサイド構造でもよく、さらにはポリフェニレンオキサイド構造を有していても良い。上記のような活性エステル化合物は、核置換ヒドロキシル基を有するナフタレン構造の化合物と、ナフタレン核又はベンゼン核にカルボキシル基を有するカルボン酸化合物との縮合反応で製造することができる。このような活性エステル化合物は、たとえば、特許文献3に記載されている「ポリアリーレンオキシ構造を主骨格とし、アリールカルボン酸でエステル化されている活性エステル化合物」に包含される化合物である。   The active ester compound (B) containing a naphthalene structure is not particularly limited as long as it has a naphthalene structure and an arylcarbonyloxy group, but is preferably an active ester compound having a polynaphthylene oxide structure and an arylcarbonyloxy group, More preferred is an active ester compound in which an arylcarbonyloxy group is bonded to the naphthalene nucleus of the naphthylene oxide structure. The polynaphthylene oxide structure may be a polynaphthylene oxide structure substituted with an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and may further have a polyphenylene oxide structure. The active ester compound as described above can be produced by the condensation reaction of a compound having a naphthalene structure having a nucleus-substituted hydroxyl group and a carboxylic acid compound having a carboxyl group at a naphthalene nucleus or a benzene nucleus. Such an active ester compound is, for example, a compound which is included in "an active ester compound having a polyarylene oxy-based structure as a main skeleton and being esterified with an arylcarboxylic acid" described in Patent Document 3.

具体的には、下記一般式(1)のものが挙げられる。   Specifically, the thing of following General formula (1) is mentioned.

Figure 2019090059
〔式中、R1はそれぞれ独立に水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基となり、好ましくは水素原子である。R2はそれぞれ独立に水素原子又は下記一般式(2)が挙げられる。Xはそれぞれ独立に水素、ベンゾイル基又はナフチルカルボニル基となり、好ましくはベンゾイル基である。n及びmはそれぞれ0〜5の整数であって、n又はmのいずれか一方は1以上の整数である。〕
Figure 2019090059
[In formula, R1 becomes a hydrogen atom or a C1-C4 alkyl group each independently, Preferably it is a hydrogen atom. Each R 2 independently represents a hydrogen atom or the following general formula (2). X is each independently hydrogen, benzoyl group or naphthylcarbonyl group, preferably benzoyl group. n and m are each an integer of 0 to 5, and either n or m is an integer of 1 or more. ]

Figure 2019090059
〔式中、R1は上記と同様である。Xは上記と同様である。pは1又は2の整数である。なお、上記一般式(1)及び(2)のXの少なくとも一つはベンゾイル基又はナフチルカルボニル基となる。〕
Figure 2019090059
[Wherein, R 1 is as defined above. X is the same as above. p is an integer of 1 or 2. In addition, at least one of X in the above general formulas (1) and (2) is a benzoyl group or a naphthylcarbonyl group. ]

本発明のエポキシ樹脂組成物において、エポキシ樹脂組成物の不揮発成分を100質量
%とした場合、ナフタレン構造を含む活性エステル化合物(B)の含有量は0.1〜30質量%とする。これにより、低誘電正接を示すとともに、めっき層との密着性、エッチング性に優れた微細凹凸を有する粗化面を形成することができる。より好ましい範囲として3〜30質量%であり、さらに好ましくは5〜28質量%である。
In the epoxy resin composition of the present invention, when the nonvolatile component of the epoxy resin composition is 100% by mass, the content of the active ester compound (B) containing a naphthalene structure is 0.1 to 30% by mass. As a result, it is possible to form a roughened surface having fine asperities excellent in adhesion with the plating layer and in etching property as well as exhibiting a low dielectric loss tangent. A more preferable range is 3 to 30% by mass, and a further preferable range is 5 to 28% by mass.

<無機充填材>
本発明のエポキシ樹脂組成物は、さらに無機充填材を含有させることにより、線熱膨張率を低下させることや誘電正接を低下させることができる。無機充填材としては、例えば、シリカ、アルミナ、硫酸バリウム、タルク、クレー、雲母粉、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、酸化マグネシウム、窒化ホウ素、ホウ酸アルミニウム、チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、チタン酸マグネシウム、チタン酸ビスマス、酸化チタン、ジルコン酸バリウム、ジルコン酸カルシウムなどが挙げられる。なかでも、無定形シリカ、粉砕シリカ、溶融シリカ、結晶シリカ、合成シリカ、中空シリカ、球状シリカ等のシリカが好ましく、とくに絶縁層の表面粗さを低下させるという点で溶融シリカ、球状シリカがより好ましく、球状溶融シリカが更に好ましい。これらは1種または2種以上組み合わせて使用してもよい。市販されている球状溶融シリカとして、(株)アドマテックス製「SOC2」、「SOC1」等が挙げられる。
<Inorganic filler>
The epoxy resin composition of the present invention can reduce the linear thermal expansion coefficient and the dielectric loss tangent by further containing an inorganic filler. As the inorganic filler, for example, silica, alumina, barium sulfate, talc, clay, mica powder, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, calcium carbonate, magnesium carbonate, magnesium oxide, magnesium oxide, boron nitride, aluminum borate, barium titanate, Strontium titanate, calcium titanate, magnesium titanate, bismuth titanate, titanium oxide, barium zirconate, calcium zirconate and the like can be mentioned. Among them, silicas such as amorphous silica, crushed silica, fused silica, crystalline silica, synthetic silica, hollow silica, spherical silica and the like are preferable, and fused silica and spherical silica are more preferable in that they reduce the surface roughness of the insulating layer. Preferably, spherical fused silica is more preferred. These may be used alone or in combination of two or more. Examples of commercially available spherical fused silica include "SOC2" and "SOC1" manufactured by Admatechs Co., Ltd.

無機充填材の平均粒径は、特に限定されないが、絶縁層表面が低粗度となり、微細配線形成を行うことを可能にするという観点から、5μm以下が好ましく、3μm以下がより好ましく、2μm以下が更に好ましく、1μm以下が更に一層好ましく、0.8μm以下が殊更好ましく、0.6μm以下が特に好ましく、0.4μm以下がとりわけ好ましい。一方、樹脂組成物を樹脂ワニスとした場合に、ワニスの粘度が上昇し、取り扱い性が低下するのを防止するという観点から、0.01μm以上が好ましく、0.03μm以上がより好ましく、0.05μm以上が更に好ましく、0.07μm以上が更に一層好ましく、0.1μm以上が殊更好ましい。上記無機充填材の平均粒径はミー(Mie)散乱理論に基づくレーザー回折・散乱法により測定することができる。具体的にはレーザー回折散乱式粒度分布測定装置により、無機充填材の粒度分布を体積基準で作成し、そのメディアン径を平均粒径とすることで測定することができる。測定サンプルは、無機充填材を超音波により水中に分散させたものを好ましく使用することができる。レーザー回折散乱式粒度分布測定装置としては、(株)堀場製作所製 LA−950等を使用することができる。無機充填材は、アミノシラン系カップリング剤、ウレイドシラン系カップリング剤、エポキシシラン系カップリング剤、メルカプトシラン系カップリング剤、シラン系カップリング剤、ビニルシラン系カップリング剤、スチリルシラン系カップリング剤、アクリレートシラン系カップリング剤、イソシアネートシラン系カップリング剤、スルフィドシラン系カップリング剤、オルガノシラザン化合物、チタネート系カップリング剤等の表面処理剤で表面処理してその耐湿性、分散性を向上させたものが好ましい。これらは1種又は2種以上組み合わせて使用してもよい。   The average particle size of the inorganic filler is not particularly limited, but it is preferably 5 μm or less, more preferably 3 μm or less, and 2 μm or less from the viewpoint that the surface of the insulating layer has low roughness and enables fine wiring formation. Is more preferably 1 μm or less, particularly preferably 0.8 μm or less, particularly preferably 0.6 μm or less, and particularly preferably 0.4 μm or less. On the other hand, in the case where the resin composition is a resin varnish, the viscosity is preferably 0.01 μm or more, more preferably 0.03 μm or more, from the viewpoint of preventing the viscosity of the varnish from increasing and the handling property being reduced. The thickness is more preferably 05 μm or more, still more preferably 0.07 μm or more, and particularly preferably 0.1 μm or more. The average particle size of the inorganic filler can be measured by a laser diffraction / scattering method based on Mie scattering theory. Specifically, the particle size distribution of the inorganic filler can be prepared on a volume basis by a laser diffraction / scattering type particle size distribution measuring device, and the median diameter can be measured as an average particle size. As a measurement sample, one in which an inorganic filler is dispersed in water by ultrasonic waves can be preferably used. As a laser diffraction scattering type particle size distribution measuring apparatus, LA-950 or the like manufactured by Horiba, Ltd. can be used. The inorganic filler includes aminosilane type coupling agent, ureido silane type coupling agent, epoxy silane type coupling agent, mercaptosilane type coupling agent, silane type coupling agent, vinyl silane type coupling agent, styrylsilane type coupling agent Surface treatment with surface treatment agents such as acrylate silane coupling agents, isocyanate silane coupling agents, sulfide silane coupling agents, organosilazane compounds, titanate coupling agents, etc. to improve their moisture resistance and dispersibility. Are preferred. These may be used alone or in combination of two or more.

無機充填材を配合する場合には、樹脂組成物に要求される特性によっても異なるが、エポキシ樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、30〜90質量%であるのが好ましく、40〜80質量%であるのがより好ましく、50〜70質量%であるのが更に好ましい。無機充填材の含有量が少なすぎると、硬化物の線熱膨張率が高くなる傾向にあり、含有量が多すぎると接着フィルムを調製する際にフィルム化が困難となったり、硬化物が脆くなる傾向にある。   When an inorganic filler is blended, it varies depending on the characteristics required for the resin composition, but when the non-volatile component in the epoxy resin composition is 100% by mass, it is preferably 30 to 90% by mass, It is more preferable that it is 40-80 mass%, and it is still more preferable that it is 50-70 mass%. If the content of the inorganic filler is too small, the linear thermal expansion coefficient of the cured product tends to increase, and if the content is too large, film formation becomes difficult when preparing the adhesive film, or the cured product becomes brittle. Tend to

<熱可塑性樹脂>
本発明のエポキシ樹脂組成物は、さらに熱可塑性樹脂を含有させることにより、硬化物の機械強度を向上させることができ、更に接着フィルムの形態で使用する場合のフィルム成型能を向上させることもできる。熱可塑性樹脂としては、フェノキシ樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリエステル樹脂を挙げることができ、特にフェノキシ樹脂、ポリビニルアセタール樹脂が好ましい。これらの熱可塑性樹脂は各々単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。熱可塑性樹脂の重量平均分子量は8000〜200000の範囲であるのが好ましく、12000〜100000の範囲がより好ましい。なお本発明における重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法(ポリスチレンン換算)で測定される。GPC法による重量平均分子量は、具体的には、測定装置として(株)島津製作所製LC−9A/RID−6Aを、カラムとして昭和電工(株)社製Shodex K−800P/K−804L/K−804Lを、移動相としてクロロホルム等を用いて、カラム温度40℃にて測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて算出することができる。
<Thermoplastic resin>
The epoxy resin composition of the present invention can further improve the mechanical strength of the cured product by further containing a thermoplastic resin, and can also improve the film moldability when used in the form of an adhesive film. . Examples of the thermoplastic resin include phenoxy resin, polyvinyl acetal resin, polyimide resin, polyamide imide resin, polyether imide resin, polysulfone resin, polyether sulfone resin, polyphenylene ether resin, polycarbonate resin, polyether ether ketone resin and polyester resin. In particular, phenoxy resin and polyvinyl acetal resin are preferable. These thermoplastic resins may be used alone or in combination of two or more. The weight average molecular weight of the thermoplastic resin is preferably in the range of 8,000 to 200,000, and more preferably in the range of 1,200 to 100,000. The weight average molecular weight in the present invention is measured by gel permeation chromatography (GPC) method (in terms of polystyrene). Specifically, the weight average molecular weight by the GPC method is LC-9A / RID-6A manufactured by Shimadzu Corporation as a measuring device, and Shodex K-800P / K-804L / K manufactured by Showa Denko KK as a column. It can be measured at a column temperature of 40 ° C. using chloroform or the like as a mobile phase, and calculated using a calibration curve of standard polystyrene.

熱可塑性樹脂を配合する場合には、エポキシ樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、0.1〜10質量%が好ましく、0.5〜5質量%がより好ましい。この範囲内であると、フィルム成型能や機械強度向上の効果が発揮され、更に溶融粘度の上昇や湿式粗化工程後の絶縁層表面の粗度を低下させることができる。   In the case of blending a thermoplastic resin, when the non-volatile component in the epoxy resin composition is 100% by mass, 0.1 to 10% by mass is preferable, and 0.5 to 5% by mass is more preferable. Within this range, the effect of improving the film moldability and mechanical strength is exhibited, and the increase in the melt viscosity and the roughness of the surface of the insulating layer after the wet roughening step can be further reduced.

<エポキシ樹脂用硬化剤>
本発明のエポキシ樹脂組成物は、さらに一般的なエポキシ樹脂用硬化剤を使用することもできる。使用できるエポキシ樹脂用硬化剤としては、TD2090、TD2131〔DIC(株)、商品名〕、MEH−7600、MEH−7851、MEH−8000H〔明和化成(株)、商品名〕、NHN、CBN、GPH−65、GPH−103〔日本化薬(株)、商品名〕、SN170、SN180、SN190、SN475、SN485、SN495、SN375、SN395〔新日鐵化学(株)、商品名〕、LA7052、LA7054、LA3018,LA1356〔DIC(株)、商品名〕などのフェノール系硬化剤、F−a、P−d〔四国化成(株)、商品名〕、HFB2006M〔昭和高分子(株)、商品名〕などのベンゾオキサジン系硬化剤、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルナジック酸無水物、水素化メチルナジック酸無水物などの酸無水物系硬化剤、PT30、PT60、BA230S75〔ロンザジャパン(株)、商品名〕などのシアネートエステル系硬化剤等が挙げられる。
<Hardener for epoxy resin>
The epoxy resin composition of the present invention can also use a general epoxy resin curing agent. As curing agents for epoxy resin which can be used, TD 2090, TD 2131 (trade names of DIC Corporation), MEH-7600, MEH-7851, MEH-8000 H (trade names of Meiwa Kasei Co., Ltd.), NHN, CBN, GPH -65, GPH-103 (Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name), SN170, SN180, SN190, SN475, SN485, SN495, SN375, SN395 (trade name of Nippon Steel Chemical Co., Ltd.), LA7052, LA7054, Phenolic curing agents such as LA3018, LA1356 (DIC, Inc., trade names), Fa, Pd (Shikoku Kasei, trade names), HFB 2006 M (Showa Highpolymer, trade names), etc. Benzoxazine-based curing agent, methyl hexahydrophthalic anhydride, methyl nadic anhydride, hydrogenated methyl nadiz Acid anhydride curing agents such as acid anhydrides, PT30, PT60, BA230S75 [Lonza Japan Ltd., trade name] cyanate ester-based curing agent, such as and the like.

<硬化促進剤>
本発明のエポキシ樹脂組成物は、さらに硬化促進剤を含有させることにより、硬化時間及び硬化温度を効率的に調整することができる。硬化促進剤としては、例えば、TPP、TPP−K、TPP−S、TPTP−S〔北興化学工業(株)、商品名〕などの有機ホスフィン化合物、キュアゾール2MZ、2E4MZ、Cl1Z、Cl1Z−CN、Cl1Z−CNS、Cl1Z−A、2MZ−OK、2MA−OK、2PHZ〔四国化成工業(株)、商品名〕などのイミダゾール化合物、ノバキュア〔旭化成工業(株)、商品名〕、フジキュア〔富士化成工業(株)、商品名〕などのアミンアダクト化合物、1,8−ジアザビシクロ[5,4,0]ウンデセン−7,4−ジメチルアミノピリジン、ベンジルジメチルアミン、2,4,6−トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール、4−ジメチルアミノピリジンなどのアミン化合物、コバルト、銅、亜鉛、鉄、ニッケル、マンガン、スズ等の有機金属錯体又は有機金属塩、等が挙げられる。硬化促進剤は2種以上を併用してもよい。硬化促進剤を配合する場合には、エポキシ樹脂組成物中に含まれるエポキシ樹脂の総量を100質量%(不揮発成分)とした場合、0.05〜1質量%の範囲で使用するのが好ましい。
<Hardening accelerator>
The epoxy resin composition of the present invention can efficiently adjust the curing time and curing temperature by further incorporating a curing accelerator. As the curing accelerator, for example, organic phosphine compounds such as TPP, TPP-K, TPP-S, TPTP-S (trade name of Hokuko Chemical Industry Co., Ltd.), Cuazole 2MZ, 2E4MZ, Cl1Z, Cl1Z-CN, Cl1Z -Imidazole compounds such as CNS, Cl1Z-A, 2MZ-OK, 2MA-OK, 2PHZ (trade names of Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd., etc.), Novacua (Asahi Kasei Kogyo Co., Ltd., trade names), Fujicure (Fuji Kasei Kogyo Co., Ltd. Etc., brand names], 1,8-diazabicyclo [5,4,0] undecene-7,4-dimethylaminopyridine, benzyldimethylamine, 2,4,6-tris (dimethylaminomethyl) Phenol, amine compounds such as 4-dimethylaminopyridine, cobalt, copper, zinc, iron, nickel, manganese, tin, etc. Machine metal complex or organic metal salt, and the like. The curing accelerator may be used in combination of two or more. When mix | blending a hardening accelerator, when the total amount of the epoxy resin contained in an epoxy resin composition shall be 100 mass% (non-volatile component), it is preferable to use in 0.05-1 mass%.

本発明のエポキシ樹脂組成物は、本発明の効果が発揮される範囲で、上述した以外の他の各種樹脂添加物を任意で含有してもよい。樹脂添加物としては、例えばシリコンパウダー、ナイロンパウダー、フッ素パウダー、ゴム粒子等の有機充填剤、オルベン、ベントン等の増粘剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系の消泡剤又はレベリング剤、イミダゾール系、チアゾール系、トリアゾール系、シランカップリング剤等の密着性付与剤、フタロシアニンブルー、フタロシアニン・グリーン、アイオジン・グリーン、ジスアゾイエロー、カーボンブラック等の着色剤、水酸化金属物、リン含有化合物等の難燃剤等を挙げることができる。   The epoxy resin composition of the present invention may optionally contain various resin additives other than those described above as long as the effects of the present invention are exhibited. Examples of resin additives include organic fillers such as silicone powder, nylon powder, fluorine powder and rubber particles, thickeners such as olben and benton, silicone based, fluorine based, polymeric based antifoaming agents or leveling agents, Adhesion-imparting agents such as imidazole, thiazole, triazole, and silane coupling agents, phthalocyanine blue, phthalocyanine green, iodine green, disazo yellow, colorants such as carbon black, metal hydroxides, phosphorus-containing compounds, etc. Flame retardants and the like can be mentioned.

本発明のエポキシ樹脂組成物は、上記成分を適宜混合し、また、必要に応じて三本ロール、ボールミル、ビーズミル、サンドミル等の混練手段、あるいはスーパーミキサー、プラネタリーミキサー等の撹拌手段により混練または混合することにより調整することができる。また、さらに有機溶剤を加えることで樹脂ワニスとしても調整することができる。   The epoxy resin composition of the present invention can be suitably mixed by the above components, and if necessary, by mixing means such as a triple roll, ball mill, bead mill, sand mill or stirring means such as a super mixer or planetary mixer. It can be adjusted by mixing. Moreover, it can also be adjusted as a resin varnish by adding an organic solvent.

本発明のエポキシ樹脂組成物においては、低誘電正接を示し、めっき層との密着性に優れた粗化面を形成することができるので、メッキにより導体層を形成するための樹脂組成物(メッキにより導体層を形成する多層プリント配線板の絶縁層用樹脂組成物)として好適に使用することができ、更に多層プリント配線板のビルドアップ層用樹脂組成物として好適である。   The epoxy resin composition of the present invention exhibits a low dielectric loss tangent and can form a roughened surface excellent in adhesion to the plating layer, so that a resin composition for forming a conductor layer by plating (plating (plating) It can be used suitably as resin composition for insulating layers of the multilayer printed wiring board which forms a conductor layer by this, and is further suitable as a resin composition for buildup layers of a multilayer printed wiring board.

本発明の樹脂組成物は、多層プリント配線板の絶縁層形成材料として特に適した組成であるが、ソルダーレジスト、アンダ−フィル材、ダイボンディング材、半導体封止材、穴埋め樹脂、部品埋め込み樹脂等、樹脂組成物が必要とされる用途の広範囲に使用できる。また、本発明の樹脂組成物の形態としては、特に限定されないが、接着フィルム、プリプレグ等のシート状積層材料、回路基板(積層板用途、多層プリント配線板用途等)に適用することが出来る。本発明の樹脂組成物は、ワニス状態で回路基板に塗布して絶縁層を形成することもできるが、工業的には一般に、接着フィルム、プリプレグ等のシート状積層材料の形態として絶縁層形成に用いられる。   The resin composition of the present invention is a composition particularly suitable as an insulating layer forming material of a multilayer printed wiring board, but solder resist, underfill material, die bonding material, semiconductor sealing material, hole filling resin, component embedding resin, etc. It can be used in a wide range of applications where resin compositions are required. In addition, the form of the resin composition of the present invention is not particularly limited, but it can be applied to sheet-like laminate materials such as adhesive films and prepregs, and circuit boards (laminate board applications, multilayer printed wiring board applications, etc.). The resin composition of the present invention can be applied to a circuit board in the form of a varnish to form an insulating layer, but generally, industrially, the insulating layer is formed as a sheet-like laminate material such as an adhesive film or a prepreg. Used.

<シート状積層材料>
(絶縁層形成用接着フィルム)
本発明の絶縁層形成用接着フィルムは、熱硬化性エポキシ樹脂組成物からなる樹脂組成物層を支持フィルム上に有することを特徴としている。当業者に公知の方法、例えば、有機溶剤に樹脂組成物を溶解した樹脂ワニスを調製し、この樹脂ワニスを、ダイコーターなどを用いて、支持体に塗布し、更に加熱、あるいは熱風吹きつけ等により有機溶剤を乾燥させて樹脂組成物層を形成させることにより製造することができる。
<Sheet-like laminated material>
(Adhesive film for insulating layer formation)
The adhesive film for forming an insulating layer of the present invention is characterized by having a resin composition layer comprising a thermosetting epoxy resin composition on a support film. A method known to those skilled in the art, for example, a resin varnish prepared by dissolving a resin composition in an organic solvent is prepared, this resin varnish is applied to a support using a die coater or the like, and further heating or hot air blowing etc. It can manufacture by drying an organic solvent by this, and forming a resin composition layer.

有機溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類、酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、カルビトールアセテート等の酢酸エステル類、セロソルブ、ブチルカルビトール等のカルビトール類、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン等のアミド系溶媒等を挙げることができる。有機溶剤は2種以上を組みわせて用いてもよい。   Examples of organic solvents include ketones such as acetone, methyl ethyl ketone and cyclohexanone, ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, acetates such as propylene glycol monomethyl ether acetate and carbitol acetate, carbitols such as cellosolve and butyl carbitol And aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene; and amide solvents such as dimethylformamide, dimethylacetamide and N-methylpyrrolidone. Two or more organic solvents may be used in combination.

乾燥条件は特に限定されないが、樹脂組成物層への有機溶剤の含有量が10質量%以下、好ましくは5質量%以下となるように乾燥させる。ワニス中の有機溶剤量、有機溶剤の沸点によっても異なるが、例えば30〜60質量%の有機溶剤を含むワニスを50〜150℃で3〜10分程度乾燥させることにより、樹脂組成物層を形成することができる。   The drying conditions are not particularly limited, but the drying is performed so that the content of the organic solvent in the resin composition layer is 10% by mass or less, preferably 5% by mass or less. Depending on the amount of organic solvent in the varnish and the boiling point of the organic solvent, for example, a varnish containing 30 to 60% by mass of the organic solvent is dried at 50 to 150 ° C. for about 3 to 10 minutes to form a resin composition layer. can do.

接着フィルムにおいて形成される樹脂組成物層の厚さは、導体層の厚さ以上とするのが好ましい。回路基板が有する導体層の厚さは通常5〜70μmの範囲であるので、樹脂組成物層は10〜100μmの厚さを有するのが好ましい。薄膜化の観点から、15〜80μmがより好ましい。   The thickness of the resin composition layer formed in the adhesive film is preferably equal to or greater than the thickness of the conductor layer. Since the thickness of the conductor layer of the circuit board is usually in the range of 5 to 70 μm, the resin composition layer preferably has a thickness of 10 to 100 μm. From the viewpoint of thinning, 15 to 80 μm is more preferable.

支持体としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル等のポリオレフィンのフィルム、ポリエチレンテレフタレート(以下「PET」と略称することがある。)、ポリエチレンナフタレート等のポリエステルのフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリイミドフィルムなどの各種プラスチックフィルムが挙げられる。また離型紙や銅箔、アルミニウム箔等の金属箔などを使用してもよい。中でも、汎用性の点から、プラスチックフィルムが好ましく、ポリエチレンテレフタレートフィルムがより好ましい。支持体及び後述する保護フィルムには、マッド処理、コロナ処理等の表面処理が施してあってもよい。また、シリコーン樹脂系離型剤、アルキッド樹脂系離型剤、フッ素樹脂系離型剤等の離型剤で離型処理が施してあってもよい。   As the support, films of polyolefins such as polyethylene, polypropylene and polyvinyl chloride, films of polyethylene terephthalate (hereinafter sometimes abbreviated as "PET"), films of polyesters such as polyethylene naphthalate, polycarbonate films, polyimide films, etc. Various plastic films are mentioned. Further, release paper, copper foil, metal foil such as aluminum foil, or the like may be used. Among them, plastic films are preferable and polyethylene terephthalate films are more preferable from the viewpoint of versatility. The support and a protective film to be described later may be subjected to surface treatment such as mud treatment and corona treatment. Further, the release treatment may be performed with a release agent such as a silicone resin release agent, an alkyd resin release agent, or a fluorine resin release agent.

支持体の厚さは特に限定されないが、10〜150μmが好ましく、25〜50μmがより好ましい。   The thickness of the support is not particularly limited, but is preferably 10 to 150 μm, and more preferably 25 to 50 μm.

樹脂組成物層の支持体が密着していない面には、支持体に準じた保護フィルムをさらに積層することができる。保護フィルムの厚みは、特に限定されるものではないが、例えば、1〜40μmである。保護フィルムを積層することにより、樹脂組成物層の表面へのゴミ等の付着やキズを防止することができる。接着フィルムは、ロール状に巻きとって貯蔵することもできる。   The protective film according to the support can be further laminated on the surface of the resin composition layer to which the support is not adhered. Although the thickness of a protective film is not specifically limited, For example, it is 1-40 micrometers. By laminating the protective film, it is possible to prevent adhesion of dust and the like to the surface of the resin composition layer and scratches. The adhesive film can also be wound and stored in a roll.

(絶縁層形成用プリプレグ)
本発明の絶縁層形成用プリプレグは、熱硬化性エポキシ樹脂組成物がシート状繊維基材に含浸されていることを特徴とする。すなわち、本発明の樹脂組成物をシート状補強基材にホットメルト法又はソルベント法により含浸させ、加熱して半硬化させることにより製造することができる。シート状補強基材としては、例えば、ガラスクロスやアラミド繊維等のプリプレグ用繊維として常用されている繊維からなるものを用いることができる。そして支持体上にプリプレグが形成されたものが好適である。
(Pre-preg for insulating layer formation)
The prepreg for insulating layer formation of the present invention is characterized in that a thermosetting epoxy resin composition is impregnated into a sheet-like fiber substrate. That is, it can be manufactured by impregnating a sheet-like reinforcing substrate with the resin composition of the present invention by a hot melt method or a solvent method, heating and semi-curing it. As a sheet-like reinforcement base material, what consists of fibers usually used as fibers for prepregs, such as glass cloth and an aramid fiber, can be used, for example. And it is preferable that a prepreg is formed on a support.

ホットメルト法は、樹脂組成物を有機溶剤に溶解することなく、支持体上に一旦コーティングし、それをシート状補強基材にラミネートする、あるいはダイコーターによりシート状補強基材に直接塗工するなどして、プリプレグを製造する方法である。またソルベント法は、接着フィルムと同様にして樹脂を有機溶剤に溶解して樹脂ワニスを調製し、このワニスにシート状補強基材を浸漬し、樹脂ワニスをシート状補強基材に含浸させ、その後乾燥させる方法である。また、接着フィルムをシート状補強基材の両面から加熱、加圧条件下、連続的に熱ラミネートすることで調製することもできる。支持体や保護フィルム等も接着フィルムと同様に用いることができる。   In the hot melt method, the resin composition is once coated on a support without dissolving it in an organic solvent, and then it is laminated on a sheet-like reinforcing substrate, or directly coated on a sheet-like reinforcing substrate by a die coater. And so on, to produce a prepreg. In the solvent method, the resin is dissolved in an organic solvent to prepare a resin varnish in the same manner as in the adhesive film, and the sheet-like reinforcing substrate is immersed in the varnish to impregnate the resin varnish into the sheet-like reinforcing substrate. It is a method of drying. The adhesive film can also be prepared by continuously heat laminating from both sides of the sheet-like reinforcing substrate under heating and pressure conditions. A support, a protective film and the like can also be used in the same manner as the adhesive film.

上述したように、前記絶縁層形成用接着フィルムの樹脂組成物層及び前記絶縁層形成用プリプレグのいずれかの硬化物よりなるプリント配線板用絶縁体が、多層プリント配線板用の絶縁層として好適である。また、該プリント配線板用絶縁体からなる絶縁層上にパターン加工された導体層回路を有することがより好適である。また、該導体層回路を有するプリント配線板用絶縁体を多層積層して形成されてなる多層プリント配線板が好適である。   As described above, an insulator for a printed wiring board comprising the resin composition layer of the adhesive film for forming an insulating layer and the cured product of any of the prepregs for forming the insulating layer is suitable as an insulating layer for a multilayer printed wiring board It is. Further, it is more preferable to have a conductor layer circuit patterned on an insulating layer made of the printed wiring board insulator. In addition, a multilayer printed wiring board formed by laminating a plurality of printed wiring board insulators having the conductor layer circuit is preferable.

<シート状積層材料を用いた多層プリント配線板>
次に、上記のようにして製造したシート状積層材料を用いて多層プリント配線板を製造する方法の一例を説明する。
<Multilayer Printed Wiring Board Using Sheet-like Laminated Material>
Next, an example of a method for producing a multilayer printed wiring board using the sheet-like laminate material produced as described above will be described.

まず、シート状積層材料を、真空ラミネーターを用いて回路基板の片面又は両面にラミネート(積層)する。回路基板に用いられる基板としては、例えば、ガラスエポキシ基板、金属基板、ポリエステル基板、ポリイミド基板、BTレジン基板、熱硬化型ポリフェニレンエーテル基板等が挙げられる。なお、ここで回路基板とは、上記のような基板の片面又は両面にパターン加工された導体層(回路)が形成されたものをいう。また導体層と絶縁層とを交互に積層してなる多層プリント配線板において、該多層プリント配線板の最外層の片面又は両面がパターン加工された導体層(回路)となっているものも、ここでいう回路基板に含まれる。なお導体層表面には、黒化処理、銅エッチング等により予め粗化処理が施されていてもよい。   First, a sheet-like laminate material is laminated (laminated) on one side or both sides of a circuit board using a vacuum laminator. Examples of the substrate used for the circuit substrate include a glass epoxy substrate, a metal substrate, a polyester substrate, a polyimide substrate, a BT resin substrate, a thermosetting polyphenylene ether substrate, and the like. In addition, a circuit board means that by which the conductor layer (circuit) by which pattern processing was carried out was carried out on the single side | surface or both surfaces of the above board | substrates here. In addition, in a multilayer printed wiring board in which conductor layers and insulating layers are alternately stacked, a conductor layer (circuit) in which one or both surfaces of the outermost layer of the multilayer printed wiring board are patterned is also used here. Included in the circuit board. The surface of the conductor layer may be roughened in advance by blackening treatment, copper etching or the like.

上記ラミネートにおいて、シート状積層材料が保護フィルムを有している場合には該保護フィルムを除去した後、必要に応じてシート状積層材料及び回路基板をプレヒートし、シート状積層材料を加圧及び加熱しながら回路基板にラミネートする。本発明のシート状積層材料においては、真空ラミネート法により減圧下で回路基板にラミネートする方法が好適に用いられる。ラミネートの条件は、特に限定されるものではないが、例えば、圧着温度(ラミネート温度)を好ましくは70〜140℃、圧着圧力(ラミネート圧力)を好ましくは1〜11kgf/cm(9.8×10〜107.9×10N/m)とし、圧着時間(ラミネート時間)を好ましくは5〜180秒とし、空気圧20mmHg(26.7hPa)以下の減圧下でラミネートするのが好ましい。また、ラミネートの方法は、バッチ式であってもロールでの連続式であってもよい。真空ラミネートは、市販の真空ラミネーターを使用して行うことができる。市販の真空ラミネーターとしては、例えば、ニチゴー・モートン(株)製バキュームアップリケーター、(株)名機製作所製真空加圧式ラミネーター、(株)日立インダストリイズ製ロール式ドライコータ、日立エーアイーシー(株)製真空ラミネーター等を挙げることができる。 In the above laminate, when the sheet-like laminate material has a protective film, after removing the protective film, the sheet-like laminate material and the circuit board are preheated if necessary, and the sheet-like laminate material is pressurized and Laminate on a circuit board while heating. In the sheet-like laminate material of the present invention, a method of laminating on a circuit board under reduced pressure by vacuum lamination is suitably used. The conditions of the laminate are not particularly limited, but, for example, the pressing temperature (laminating temperature) is preferably 70 to 140 ° C., and the pressing pressure (laminating pressure) is preferably 1 to 11 kgf / cm 2 (9.8 × It is preferable to use 10 4 to 107.9 × 10 4 N / m 2 ), a pressure bonding time (lamination time) of preferably 5 to 180 seconds, and laminating under a reduced pressure of 20 mm Hg (26.7 hPa) or less. In addition, the method of laminating may be a batch system or a continuous system with a roll. Vacuum lamination can be performed using a commercially available vacuum laminator. Commercially available vacuum laminators include, for example, Vacuum Applicator manufactured by Nichigo Morton Co., Ltd., vacuum pressure type laminator manufactured by Meiki Co., Ltd., roll type dry coater manufactured by Hitachi Industries, Ltd., Hitachi AC Co., Ltd. A vacuum laminator etc. can be mentioned.

シート状積層材料を回路基板にラミネートした後、室温付近に冷却してから、支持体を剥離する場合は剥離し、樹脂組成物を熱硬化して硬化物を形成することで、回路基板上に絶縁層を形成することができる。熱硬化の条件は、樹脂組成物中の樹脂成分の種類、含有量などに応じて適宜選択すればよいが、好ましくは150℃〜220℃で20分〜180分、より好ましくは160℃〜210℃で30〜120分の範囲で選択される。絶縁層を形成した後、硬化前に支持体を剥離しなかった場合は、必要によりここで剥離することもできる。   After laminating the sheet-like laminate material on the circuit board, it is cooled to around room temperature, and then the support is peeled off if peeled off, and the resin composition is thermally cured to form a cured product on the circuit board. An insulating layer can be formed. The conditions for heat curing may be appropriately selected according to the type, content, etc. of the resin component in the resin composition, but preferably 20 minutes to 180 minutes at 150 ° C. to 220 ° C., more preferably 160 ° C. to 210 ° C. The temperature is selected in the range of 30 to 120 minutes. After the formation of the insulating layer, if the support is not peeled off before curing, it can be peeled off here if necessary.

また、シート状積層材料を、真空プレス機を用いて回路基板の片面又は両面に積層することもできる。減圧下、加熱及び加圧を行う積層工程は、一般の真空ホットプレス機を用いて行うことが可能である。例えば、加熱されたSUS板等の金属板を支持体層側からプレスすることにより行うことができる。プレス条件は、減圧度を通常1×10−2MPa以下、好ましくは1×10−3MPa以下の減圧下とする。加熱及び加圧は、1段階で行うことも出来るが、樹脂のしみだしを制御する観点から2段階以上に条件を分けて行うのが好ましい。例えば、1段階目のプレスを、温度が70〜150℃、圧力が1〜15kgf/cm2の範囲、2段階目のプレスを、温度が150〜200℃、圧力が1〜40kgf/cm2の範囲で行うのが好ましい。各段階の時間は30〜120分で行うのが好ましい。このように樹脂組成物層を熱硬化することにより回路基板上に絶縁層を形成することができる。市販されている真空ホットプレス機としては、例えば、MNPC−V−750−5−200(株)名機製作所製)、VH1−1603(北川精機(株)製)等が挙げられる。 The sheet-like laminate material can also be laminated on one side or both sides of the circuit board using a vacuum press. The lamination process of heating and pressurizing under reduced pressure can be performed using a general vacuum hot press. For example, it can be carried out by pressing a heated metal plate such as a SUS plate from the support layer side. The pressing conditions are such that the degree of reduced pressure is usually 1 × 10 −2 MPa or less, preferably 1 × 10 −3 MPa or less. Although heating and pressurization can be performed in one step, it is preferable to divide the conditions into two or more steps in order to control the bleeding of the resin. For example, the temperature of the first stage press is 70 to 150 ° C., the pressure is 1 to 15 kgf / cm 2, and the second stage press is 150 to 200 ° C., the pressure is 1 to 40 kgf / cm 2 It is preferred to do. The time of each step is preferably 30 to 120 minutes. By thermally curing the resin composition layer in this manner, an insulating layer can be formed on the circuit board. As a vacuum hot press marketed commercially, MNPC-V-750-5-200 (made by Meiki Seisakusho KK), VH1-1603 (made by Kitagawa Seiki Co., Ltd.) etc. are mentioned, for example.

絶縁層の誘電正接としては、0.009以下が好ましく、0.006以下がより好ましい。誘電正接は低いほどよく、特に下限値は無いが、0.001以上、0.003以上などとなる。   The dielectric loss tangent of the insulating layer is preferably 0.009 or less, more preferably 0.006 or less. The lower the dielectric loss tangent, the better. There is no lower limit, but it is 0.001 or more, 0.003 or more.

次いで、回路基板上に形成された絶縁層に穴開け加工を行ってビアホール、スルーホールを形成する。穴あけ加工は、例えば、ドリル、レーザー、プラズマ等の公知の方法により、また必要によりこれらの方法を組み合わせて行うことができるが、炭酸ガスレーザー、YAGレーザー等のレーザーによる穴あけ加工が最も一般的な方法である。穴あけ加工前に支持体を剥離しなかった場合は、ここで剥離することになる。   Next, the insulating layer formed on the circuit board is subjected to a drilling process to form a via hole and a through hole. For example, drilling can be performed by a known method such as a drill, laser, plasma or the like and, if necessary, a combination of these methods, but laser drilling such as a carbon dioxide gas laser or a YAG laser is most common. It is a method. If the support is not peeled off before drilling, it will be peeled off here.

次いで、絶縁層表面に粗化処理を行う。乾式の粗化処理の場合はプラズマ処理等が挙げられ、湿式の粗化処理の場合は膨潤液による膨潤処理、酸化剤による粗化処理及び中和液による中和処理をこの順に行う方法が挙げられる。湿式の粗化処理の方が、絶縁層表面に凸凹のアンカーを形成しながら、ビアホール内のスミアを除去することができる点で好ましい。膨潤液による膨潤処理は、絶縁層を50〜80℃で5〜20分間(好ましくは55〜70℃で8〜15分間)、膨潤液に浸漬させることで行われる。膨潤液としてはアルカリ溶液、界面活性剤溶液等が挙げられ、好ましくはアルカリ溶液であり、該アルカリ溶液としては、例えば、水酸化ナトリウム溶液、水酸化カリウム溶液等が挙げられる。市販されている膨潤液としては、例えば、アトテックジャパン(株)製のスウェリング・ディップ・セキュリガンスP(Swelling Dip Securiganth P)、スウェリング・ディップ・セキュリガンスSBU(Swelling Dip Securiganth SBU)等を挙げることができる。酸化剤による粗化処理は、絶縁層を60〜80℃で10〜30分間(好ましくは70〜80℃で15〜25分間)、酸化剤溶液に浸漬させることで行われる。酸化剤としては、例えば、水酸化ナトリウムの水溶液に過マンガン酸カリウムや過マンガン酸ナトリウムを溶解したアルカリ性過マンガン酸溶液、重クロム酸塩、オゾン、過酸化水素/硫酸、硝酸等を挙げることができる。また、アルカリ性過マンガン酸溶液における過マンガン酸塩の濃度は5〜10重量%とするのが好ましい。市販されている酸化剤としては、例えば、アトテックジャパン(株)製のコンセントレート・コンパクト CP、ドージングソリューション セキュリガンスP等のアルカリ性過マンガン酸溶液が挙げられる。中和液による中和処理は、30〜50℃で3〜10分間(好ましくは35〜45℃で3〜8分間)、中和液に浸漬させることで行われる。中和液としては、酸性の水溶液が好ましく、市販品としては、アトテックジャパン(株)製のリダクションソリューシン・セキュリガントPが挙げられる。   Next, the surface of the insulating layer is roughened. In the case of dry roughening treatment, plasma treatment etc. may be mentioned, and in the case of wet roughening treatment, swelling treatment by swelling liquid, roughening treatment by oxidizing agent and neutralization treatment by neutralization solution may be mentioned in this order Be The wet roughening treatment is preferable in that the smear in the via hole can be removed while forming an uneven anchor on the surface of the insulating layer. The swelling treatment with the swelling solution is performed by immersing the insulating layer in the swelling solution at 50 to 80 ° C. for 5 to 20 minutes (preferably 8 to 15 minutes at 55 to 70 ° C.). The swelling solution includes an alkaline solution, a surfactant solution and the like, preferably an alkaline solution, and examples of the alkaline solution include sodium hydroxide solution, potassium hydroxide solution and the like. Examples of commercially available swelling solutions include Swelling Dip Securiganth P manufactured by Atotech Japan Co., Ltd., Swelling Dip Securiganth SBU, and the like. be able to. The roughening treatment with an oxidizing agent is performed by immersing the insulating layer at 60 to 80 ° C. for 10 to 30 minutes (preferably, at 70 to 80 ° C. for 15 to 25 minutes) in an oxidizing agent solution. As the oxidizing agent, for example, alkaline permanganate solution in which potassium permanganate or sodium permanganate is dissolved in an aqueous solution of sodium hydroxide, dichromate, ozone, hydrogen peroxide / sulfuric acid, nitric acid, etc. may be mentioned. it can. The concentration of permanganate in the alkaline permanganate solution is preferably 5 to 10% by weight. Examples of commercially available oxidizing agents include alkaline permanganic acid solutions such as concentrate compact CP manufactured by Atotech Japan Co., Ltd. and dosing solution Security G. The neutralization treatment with the neutralization solution is carried out by immersing in the neutralization solution for 3 to 10 minutes at 30 to 50 ° C. (preferably 3 to 8 minutes at 35 to 45 ° C.). As the neutralization solution, an acidic aqueous solution is preferable, and as a commercial product, reduction solution thin security G made by Atotech Japan Co., Ltd. can be mentioned.

絶縁層表面を粗化処理した粗化面の粗さは、微細配線を形成する上で、Ra値で200nm以下であるのが好ましく、150nm以下がより好ましく、100nm以下が更に好ましい。また粗化面のアンカー効果を確保するためには10nm以上であることが好ましい。なお、Ra値とは、表面粗さを表す数値の一種であり、算術平均粗さと呼ばれるものであって、具体的には測定領域内で変化する高さの絶対値を平均ラインである表面から測定して算術平均したものである。例えば、ビーコインスツルメンツ社製WYKONT3300を用いて、VSIコンタクトモード、50倍レンズにより測定範囲を121μm×92μmとして得られる数値により求めることができる。   The roughness of the roughened surface obtained by roughening the surface of the insulating layer is preferably 200 nm or less in Ra value, more preferably 150 nm or less, and still more preferably 100 nm or less, in order to form fine wiring. Moreover, in order to ensure the anchor effect of a roughening surface, it is preferable that it is 10 nm or more. The Ra value is a kind of numerical value representing surface roughness, and is called arithmetic average roughness, and specifically, from the surface which is an average line, the absolute value of the height changing in the measurement area Measured and arithmetically averaged. For example, using WYKONT 3300 manufactured by Becoin Instruments, it can be determined by numerical values obtained with a measurement range of 121 μm × 92 μm with a VSI contact mode, 50 × lens.

また、二乗平均平方根粗さ(Rq値)は絶縁層表面の局所的な状態が反映されるため、Rq値の把握により緻密で平滑な絶縁層表面になっていることが確認でき、ピール強度が安定化することを見出した。Rq値は、緻密で平滑な絶縁層表面とするために、250nm以下が好ましく、200nm以下がより好ましく、150nm以下が更に好ましく、100nm以下が更に一層好ましい。またピール強度を安定化させるという観点からは、15nm以上が好ましく、30nm以上がより好ましい。なお、Rq値とは、表面粗さを表す数値の一種であり、二乗平均平方根粗さと呼ばれるものであって、具体的には測定領域内で変化する高さの絶対値を平均ラインである表面から測定して二乗平均平方根を表したものである。     Further, since the root mean square roughness (Rq value) reflects the local state of the surface of the insulating layer, it is possible to confirm that the insulating layer surface is dense and smooth by grasping the Rq value, and the peel strength is I found it to stabilize. The Rq value is preferably 250 nm or less, more preferably 200 nm or less, still more preferably 150 nm or less, and still more preferably 100 nm or less, in order to obtain a dense and smooth insulating layer surface. From the viewpoint of stabilizing the peel strength, 15 nm or more is preferable, and 30 nm or more is more preferable. The Rq value is a kind of numerical value representing surface roughness, and is called root mean square roughness, and more specifically, a surface whose average line is the absolute value of the height changing in the measurement area. And the root mean square is represented.

次いで、乾式メッキ又は湿式メッキにより絶縁層上に導体層を形成する。乾式メッキとしては、蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング等の公知の方法を使用することができる。湿式メッキとしては、無電解メッキと電解メッキとを組み合わせて導体層を形成する方法、導体層とは逆パターンのメッキレジストを形成し、無電解メッキのみで導体層を形成する方法、等が挙げられる。その後のパターン形成の方法として、例えば、当業者に公知のサブトラクティブ法、セミアディティブ法などを用いることができ、上述の一連の工程を複数回繰り返すことで、ビルドアップ層を多段に積層した多層プリント配線板となる。   Then, a conductor layer is formed on the insulating layer by dry plating or wet plating. As dry plating, known methods such as vapor deposition, sputtering, ion plating and the like can be used. As wet plating, a method of forming a conductor layer by combining electroless plating and electrolytic plating, a method of forming a plating resist having a pattern reverse to that of the conductor layer, and forming a conductor layer only by electroless plating, etc. may be mentioned. Be As a subsequent pattern formation method, for example, a subtractive method, a semi-additive method or the like known to those skilled in the art can be used, and a multilayer formed by stacking buildup layers in multiple stages by repeating the above-described series of steps multiple times It becomes a printed wiring board.

絶縁層と導体層のピール強度は、絶縁層と導体層とを十分に密着させておくために0.35kgf/cm以上が好ましく、0.4kgf/cm以上がより好ましい。ピール強度の上限値は高いほどよく、特に制限は無いが、一般的に1.5kgf/cm以下、1.2kgf/cm以下、1.0kgf/cm以下、0.8kgf/cm以下などとなる。本発明においては、低粗度、高ピールであるため、多層プリント配線板のビルドアップ層として好適に使用することができる。   The peel strength of the insulating layer and the conductor layer is preferably 0.35 kgf / cm or more, more preferably 0.4 kgf / cm or more, in order to keep the insulating layer and the conductor layer in close contact with each other. The upper limit of the peel strength is preferably as high as possible, and is not particularly limited, but generally 1.5 kgf / cm or less, 1.2 kgf / cm or less, 1.0 kgf / cm or less, 0.8 kgf / cm or less, and the like. In the present invention, since it has low roughness and high peel, it can be suitably used as a buildup layer of a multilayer printed wiring board.

<半導体装置>
本発明の多層プリント配線板を用いることで半導体装置を製造することができる。本発明の多層プリント配線板の導通箇所に、半導体チップを実装することにより半導体装置を製造することができる。「導通箇所」とは、「多層プリント配線板における電気信号を伝える箇所」であって、その場所は表面であっても、埋め込まれた箇所であってもいずれでも構わない。また、半導体チップは半導体を材料とする電気回路素子であれば特に限定されない。
<Semiconductor device>
A semiconductor device can be manufactured by using the multilayer printed wiring board of the present invention. A semiconductor device can be manufactured by mounting a semiconductor chip in the conduction part of the multilayer printed wiring board of the present invention. The "conductive location" is a "location for transmitting an electrical signal in a multilayer printed wiring board", and the location may be a surface or an embedded location. The semiconductor chip is not particularly limited as long as it is an electric circuit element made of a semiconductor.

本発明の半導体装置を製造する際の半導体チップの実装方法は、半導体チップが有効に機能しさえすれば、特に限定されないが、具体的には、ワイヤボンディング実装方法、フリップチップ実装方法、バンプなしビルドアップ層(BBUL)による実装方法、異方性導電フィルム(ACF)による実装方法、非導電性フィルム(NCF)による実装方法、などが挙げられる。     The semiconductor chip mounting method in the present invention is not particularly limited as long as the semiconductor chip functions effectively, but specifically, the wire bonding mounting method, flip chip mounting method, no bump A mounting method using a buildup layer (BBUL), a mounting method using an anisotropic conductive film (ACF), a mounting method using a nonconductive film (NCF), and the like can be given.

以下、実施例及び比較例を用いて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例等によって制限されるものではない。なお、以下の記載において、「部」及び「%」は「質量部」及び「質量%」を意味する。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail using Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited by these Examples and the like. In the following description, "parts" and "%" mean "parts by mass" and "% by mass".

測定方法・評価方法
<メッキ導体層の引き剥がし強さ(ピール強度)の測定、算術平均粗さ(Ra)、二乗平均平方根粗さ(Rq)の測定>
Measurement method / Evaluation method <Measurement of peel strength (peel strength) of plated conductor layer, measurement of arithmetic mean roughness (Ra), root mean square roughness (Rq)>

(1)積層板の下地処理
内層回路の形成されたガラス布基材エポキシ樹脂両面銅張積層板(銅箔の厚さ18μm、残銅率60%、基板厚み0.3mm、松下電工(株)製R5715ES)の両面をメック(株)製CZ8100に浸漬して銅表面の粗化処理を行った。
(1) Underlayer treatment of laminated board Glass cloth base epoxy resin double-sided copper-clad laminated board with inner layer circuit formed (copper foil thickness 18 μm, residual copper rate 60%, substrate thickness 0.3 mm, Matsushita Electric Works Co., Ltd.) Both surfaces of R5715 ES) manufactured by Meck Co., Ltd. were immersed in CZ 8100 manufactured by Mec Co., Ltd. to roughen the copper surface.

(2)接着フィルムのラミネート
各実施例及び各比較例で作成した接着フィルムを、バッチ式真空加圧ラミネーターMVLP-500〔(株)名機製作所製、商品名〕を用いて、積層板の両面にラミネートした。ラミネートは、30秒間減圧して気圧を13hPa以下とし、その後30秒間、100℃、圧力0.74MPaで圧着させることにより行った。
(2) Lamination of adhesive film The adhesive film prepared in each Example and each Comparative Example was used as a batch type vacuum pressure laminator MVLP-500 (trade name, manufactured by Meishin Machinery Co., Ltd.) to make a double-sided laminate. Laminated to Lamination was performed by reducing the pressure for 30 seconds to make the air pressure 13 hPa or less, and then press-bonding at 100 ° C. under a pressure of 0.74 MPa for 30 seconds.

(3)樹脂組成物の硬化
ラミネートされた接着フィルムからPETフィルムを剥離し、170℃、30分の硬化条件で樹脂組成物を硬化した。
(3) Curing of Resin Composition The PET film was peeled off from the laminated adhesive film, and the resin composition was cured under the curing conditions of 170 ° C. for 30 minutes.

(4)粗化処理
積層板を、膨潤液である、アトテックジャパン(株)のジエチレングリコールモノブチルエーテル含有のスエリングディップ・セキュリガンドPに60℃で10分間浸漬し、次に粗化液として、アトテックジャパン(株)のコンセントレート・コンパクトP(KMnO:60g/L、NaOH:40g/Lの水溶液)に80℃で20分間浸漬、最後に中和液として、アトテックジャパン(株)のリダクションショリューシン・セキュリガントPに40℃で5分間浸漬した。この粗化処理後の積層板をサンプルAとした。
(4) Coarsening treatment The laminate is immersed in a swelling solution, a swelling dip-cure ligand P containing diethylene glycol monobutyl ether of Atotech Japan Co., Ltd. for 10 minutes at 60 ° C., and then as a roughening solution, Atotech Japan Co., Ltd. Immersed in Concentrated compact P (KMnO 4 : 60 g / L, NaOH: 40 g / L aqueous solution) for 20 minutes at 80 ° C., and finally, as a neutralization solution, reduction choleucine of Atotech Japan Co., Ltd. Immersed in Security G at 5O 0 C for 5 minutes. The laminated board after this roughening treatment was taken as sample A.

(5)セミアディティブ工法によるメッキ形成
絶縁層表面に回路を形成するために、積層板を、PdClを含む無電解メッキ用溶液に浸漬し、次に無電解銅メッキ液に浸漬した。150℃にて30分間加熱してアニール処理を行った後に、エッチングレジストを形成し、エッチングによるパターン形成の後に、硫酸銅電解メッキを行い、30μmの厚さで導体層を形成した。次に、アニール処理を180℃にて60分間行った。この積層板をサンプルBとした。
(5) Plating Formation by Semi-Additive Method In order to form a circuit on the surface of the insulating layer, the laminate was immersed in a solution for electroless plating containing PdCl 2 and then immersed in an electroless copper plating solution. After annealing for heating at 150 ° C. for 30 minutes, an etching resist was formed, and after forming a pattern by etching, copper sulfate electrolytic plating was performed to form a conductor layer with a thickness of 30 μm. Next, annealing was performed at 180 ° C. for 60 minutes. This laminated board was used as sample B.

(6)算術平均粗さ(Ra値)、二乗平均平方根粗さ(Rq値)の測定
サンプルAについて、非接触型表面粗さ計(ビーコインスツルメンツ社製WYKO NT3300)を用いて、VSIコンタクトモード、50倍レンズにより測定範囲を121μm×92μmとして得られる数値によりRa、Rq値を求めた。そして、それぞれ10点の平均値を求めることにより測定値とした。
(6) Measurement of Arithmetic Average Roughness (Ra Value) and Root-Mean-Square Roughness (Rq Value) For sample A, VSI contact mode, using a non-contact surface roughness meter (WYKO NT3300 manufactured by Becoin Instruments, Inc.) Ra and Rq values were determined by numerical values obtained with a 50 × lens as a measurement range of 121 μm × 92 μm. And it was set as the measured value by calculating | requiring the average value of 10 points | pieces, respectively.

(7)メッキ導体層の引き剥がし強さ(ピール強度)の測定
サンプルBの導体層に、幅10mm、長さ100mmの部分の切込みをいれ、この一端を剥がしてつかみ具(株式会社ティー・エス・イー、オートコム型試験機 AC−50C−SL)で掴み、室温中にて、50mm/分の速度で垂直方向に35mmを引き剥がした時の荷重(kgf/cm)を測定した。
(7) Measurement of peel strength (peel strength) of the plated conductor layer The conductor layer of sample B was cut into a portion with a width of 10 mm and a length of 100 mm, and one end of this was peeled off to hold E. Grasp with an autocom type tester AC-50C-SL) and measure the load (kgf / cm) when 35 mm was peeled off vertically at a speed of 50 mm / min in room temperature.

<誘電正接の測定>
各実施例及び各比較例で得られた接着フィルムを190℃で90分熱硬化させて、PETフィルムを剥離してシート状の硬化物を得た。その硬化物を、幅2mm、長さ80mmの試験片に切断し、関東応用電子開発(株)製空洞共振器摂動法誘電率測定装置CP521およびアジレントテクノロジー(株)製ネットワークアナライザーE8362Bを使用して、空洞共振法で測定周波数5.8GHzにて誘電正接(tanδ)の測定を行った。2本の試験片について測定を行い、平均値を算出した。
<Measurement of dielectric loss tangent>
The adhesive film obtained in each Example and each Comparative Example was thermally cured at 190 ° C. for 90 minutes to peel off the PET film to obtain a sheet-like cured product. The cured product is cut into test pieces of 2 mm in width and 80 mm in length, and using a cavity resonator perturbation method dielectric constant measuring device CP521 manufactured by Kanto Applied Electronics Development Co., Ltd. and a network analyzer E8362 B manufactured by Agilent Technologies Co., Ltd. The dielectric loss tangent (tan δ) was measured at a measurement frequency of 5.8 GHz by the cavity resonance method. The measurement was performed on two test pieces, and the average value was calculated.

実施例1
液状ビスフェノールA型エポキシ樹脂(エポキシ当量180、三菱化学(株)製「828US」)15部と、ビフェニル型エポキシ樹脂(エポキシ当量291、日本化薬(株)製「NC3000H」)15部とをメチルエチルケトン(以下「MEK」と略称する。)15部、シクロヘキサノン15部に攪拌しながら加熱溶解させた。そこへ、ナフタレン型活性エステル化合物〔DIC(株)製「EXB9411−65BK」、活性エステル当量272、固形分65%のトルエン溶液〕43部、硬化促進剤〔広栄化学工業(株)製、「4−ジメチルアミノピリジン」〕0.15部、球形シリカ〔平均粒径0.5μm、フェニルアミノシラン処理付「SO−C2」、(株)アドマテックス製、単位質量あたりのカーボン量0.18%〕100部、フェノキシ樹脂(YL6954BH30、固形分30質量%のMEK溶液、重量平均分子量40000)15部を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散して、樹脂ワニスを作製した。次に、かかる樹脂ワニスをポリエチレンテレフタレート(厚さ38μm、以下「PET」と略称する。)上に、乾燥後の樹脂厚みが40μmとなるようにダイコーターにて塗布し、80〜120℃(平均100℃)で6分間乾燥させて、シート状の接着フィルムを得た。
Example 1
15 parts of liquid bisphenol A-type epoxy resin (epoxy equivalent 180, Mitsubishi Chemical Co., Ltd. “828US”) and 15 parts of biphenyl type epoxy resin (epoxy equivalent 291; Nippon Kayaku Co., Ltd. “NC3000H”) and methyl ethyl ketone The solution was heated and dissolved in 15 parts of cyclohexanone and 15 parts of cyclohexanone while stirring. Thereto, 43 parts of a naphthalene type active ester compound ("EXB 9411-65BK" manufactured by DIC Corporation, active ester equivalent weight 272, 65% solid content in toluene), curing accelerator (manufactured by Hiroei Kagaku Kogyo Co., Ltd., "4 -Dimethylaminopyridine]] 0.15 parts, spherical silica [average particle size 0.5 μm, with phenylaminosilane treatment "SO-C2", manufactured by Admatechs Co., Ltd., carbon amount per unit mass: 0.18%] 100 A resin varnish was prepared by mixing 15 parts of phenoxy resin (YL 6954 BH30, MEK solution with a solid content of 30% by mass, weight average molecular weight 40000) and dispersing uniformly using a high-speed rotary mixer. Next, the resin varnish is applied onto polyethylene terephthalate (thickness 38 μm, hereinafter abbreviated as “PET”) by a die coater so that the thickness of the resin after drying is 40 μm, and the temperature is 80 to 120 ° C. (average The film was dried at 100 ° C. for 6 minutes to obtain a sheet-like adhesive film.

実施例2
実施例1のナフタレン型活性エステル化合物〔DIC(株)製「EXB9411−65BK」、活性エステル当量272、固形分65%のトルエン溶液〕43部を、80部に変更したこと以外は、実施例1と全く同様にして樹脂ワニスを作製した。次に実施例1と同様にして接着フィルムを得た。
Example 2
Example 1 except that the naphthalene type active ester compound [EXB 9411-65BK made by DIC Corporation, active ester equivalent 272, toluene solution with a solid content of 65%] of Example 1 was changed to 80 parts A resin varnish was prepared in exactly the same manner as in. Next, in the same manner as in Example 1, an adhesive film was obtained.

実施例3
実施例1のナフタレン型活性エステル化合物〔DIC(株)製「EXB9411−65BK」、活性エステル当量272、固形分65%のトルエン溶液〕43部を、20部に変更したこと以外は、実施例1と全く同様にして樹脂ワニスを作製した。次に実施例1と同様にして接着フィルムを得た。
Example 3
Example 1 except that the naphthalene type active ester compound [EXB 9411-65BK made by DIC Corporation, active ester equivalent 272, toluene solution with 65% solid content] of Example 1 was changed to 20 parts A resin varnish was prepared in exactly the same manner as in. Next, in the same manner as in Example 1, an adhesive film was obtained.

実施例4
実施例1のビフェニル型エポキシ樹脂〔エポキシ当量291、日本化薬(株)製「NC3000H」〕15部を、ナフトール型エポキシ樹脂〔エポキシ当量332、新日鐵化学(株)製「ESN475V」〕15部に変更し、シアネートエステル樹脂(ロンザ社製「BA230S75」、固形分75%のメチルエチルケトン溶液)15部と硬化触媒〔ナフテン酸亜鉛ミネラルスピリット溶液(金属含有量8%)の3%シクロヘキサノン希釈液〕0.03部を添加したこと以外は、実施例3と全く同様にして樹脂ワニスを作製した。次に実施例1と同様にして接着フィルムを得た。
Example 4
15 parts of the biphenyl type epoxy resin [epoxy equivalent 291 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. "NC3000H"] of Example 1 and naphthol type epoxy resin [epoxy equivalent 332 manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd. "ESN 475V"] 15 Change to part and 15 parts of cyanate ester resin ("BA230S75" manufactured by Lonza, 75% solid content in methyl ethyl ketone solution) and curing catalyst (3% cyclohexanone diluted solution of zinc naphthenate mineral spirit solution (metal content 8%)) A resin varnish was produced in exactly the same manner as in Example 3 except that 0.03 part was added. Next, in the same manner as in Example 1, an adhesive film was obtained.

比較例1
実施例1のナフタレン型活性エステル化合物〔DIC(株)製「EXB9411−65BK」、活性エステル当量272、固形分65%のトルエン溶液〕43部を活性エステル化合物〔DIC(株)製「HPC8000−65T」、活性エステル当量223、固形分65%のトルエン溶液〕35部に変更し、球形シリカ〔平均粒径0.5μm、フェニルアミノシラン処理付「SO−C2」、(株)アドマテックス製、単位質量あたりのカーボン量0.18%〕100部を90部に変更し、硬化促進剤〔広栄化学工業(株)製、「4−ジメチルアミノピリジン」〕0.15部を0.1部に変更したこと以外は、実施例1と全く同様にして樹脂ワニスを作製した。次に実施例1と同様にして接着フィルムを得た。
Comparative Example 1
43 parts of a naphthalene type active ester compound ("EXB9411-65BK" manufactured by DIC Corporation, active ester equivalent weight 272, a solid content of 65% solid content), an active ester compound [HPC8000-65T manufactured by DIC Corporation] "Active ester equivalent 223, toluene solution with solid content 65%" Change to spherical silica [average particle size 0.5 μm, with phenylaminosilane treatment "SO-C2", manufactured by Admatex Co., Ltd., unit mass The amount of carbon per 0.18%] was changed to 90 parts of 100 parts, and 0.15 parts of a hardening accelerator ("4-dimethylaminopyridine" manufactured by Koei Chemical Industry Co., Ltd.) was changed to 0.1 parts A resin varnish was produced in exactly the same manner as in Example 1 except for the above. Next, in the same manner as in Example 1, an adhesive film was obtained.

比較例2
実施例1のナフタレン型活性エステル化合物〔DIC(株)製「EXB9411−65BK」、活性エステル当量272、固形分65%のトルエン溶液〕43部を、95部に変更したこと以外は、実施例1と全く同様にして樹脂ワニスを作製した。次に実施例1と同様にして接着フィルムを得た。
Comparative example 2
Example 1 except that the naphthalene type active ester compound [EXB 9411-65BK made by DIC Corporation, active ester equivalent 272, toluene solution of 65% solid content] of Example 1 was changed to 95 parts A resin varnish was prepared in exactly the same manner as in. Next, in the same manner as in Example 1, an adhesive film was obtained.

実施例及び比較例で製造した接着フィルムを使用した評価サンプルのメッキ導体層のピール強度、粗化処理後の表面粗さ(Ra値)及び(Rq値)、評価サンプルの誘電正接の各測定結果、柔軟性の評価結果を表1に示す。   The peel strength of the plating conductor layer of the evaluation sample using the adhesive film manufactured in the example and the comparative example, the surface roughness (Ra value) and (Rq value) after the roughening treatment, and the measurement results of the dielectric loss tangent of the evaluation sample The evaluation results of flexibility are shown in Table 1.

Figure 2019090059
Figure 2019090059

表1に示されるように、実施例1のエポキシ樹脂組成物におけるナフタレン構造を含む活性エステル化合物を、本発明の範囲外の活性エステル化合物に変更した比較例1のエポキシ樹脂組成物の硬化物は、粗化処理後のRa,Rqの数値が実施例1のエポキシ樹脂組成物の硬化物の表面に形成される粗化面のRa,Rqの数値よりも遥かに大きい数値を示しているにも拘らず、メッキ層との密着性(ピール強度)は実施例1のものよりも小さく、誘電正接の数値は大きくなっている。
また、比較例2のエポキシ樹脂組成物は、ナフタレン構造を含む活性エステル化合物の配合量が本発明の範囲を超えて多くなっていることにより、メッキ層との密着性(ピール強度)は実施例1のものよりも小さくなっている。
以上の実施例及び比較例の結果から明らかなように、本発明のエポキシ樹脂組成物は、多層プリント配線板のビルドアップ層の高複層化、高密度化に対応できる特性をバランスよく備えた硬化物からなる絶縁層を形成できるエポキシ樹脂組成物である。
As shown in Table 1, a cured product of the epoxy resin composition of Comparative Example 1 in which the active ester compound containing a naphthalene structure in the epoxy resin composition of Example 1 was changed to an active ester compound outside the scope of the present invention Also, the numerical values of Ra and Rq after the roughening treatment are far greater than the numerical values of Ra and Rq of the roughened surface formed on the surface of the cured product of the epoxy resin composition of Example 1 Regardless, the adhesion (peel strength) with the plating layer is smaller than that of Example 1, and the value of the dielectric loss tangent is larger.
In addition, in the epoxy resin composition of Comparative Example 2, the compounding amount of the active ester compound containing a naphthalene structure is larger than the range of the present invention, so the adhesion (peel strength) with the plating layer is an example. It is smaller than one.
As is clear from the results of the above-described Examples and Comparative Examples, the epoxy resin composition of the present invention has well-balanced characteristics capable of coping with the formation of a multilayer and the increase in density of buildup layers of multilayer printed wiring boards. It is the epoxy resin composition which can form the insulating layer which consists of hardened | cured material.

Claims (14)

少なくともエポキシ樹脂(A)と、ナフタレン構造を含む活性エステル化合物(B)を含有する樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合の前記ナフタレン構造を含む活性エステル化合物(B)の含有量が0.1〜30質量%である、熱硬化性エポキシ樹脂組成物。   Content of the active ester compound (B) containing the naphthalene structure when the non-volatile component in the resin composition containing at least the epoxy resin (A) and the active ester compound (B) containing a naphthalene structure is 100% by mass The thermosetting epoxy resin composition whose is 0.1-30 mass%. 前記ナフタレン構造を含む活性エステル化合物(B)が、ポリナフチレンオキサイド構造とアリールカルボニルオキシ基を有する活性エステル化合物である、請求項1に記載の熱硬化性エポキシ樹脂組成物。   The thermosetting epoxy resin composition according to claim 1, wherein the active ester compound (B) containing a naphthalene structure is an active ester compound having a polynaphthylene oxide structure and an arylcarbonyloxy group. 前記ナフタレン構造を含む活性エステル化合物(B)が、ポリナフチレンオキサイド構造のナフタレン核にアリールカルボニルオキシ基が結合した活性エステル化合物である、請求項1又は2に記載の熱硬化性エポキシ樹脂組成物。   The thermosetting epoxy resin composition according to claim 1 or 2, wherein the active ester compound (B) containing a naphthalene structure is an active ester compound in which an arylcarbonyloxy group is bonded to a naphthalene nucleus of a polynaphthylene oxide structure. . 前記エポキシ樹脂(A)が液状のエポキシ樹脂を含有する、請求項1〜3のいずれか1項に記載の熱硬化性エポキシ樹脂組成物。   The thermosetting epoxy resin composition according to any one of claims 1 to 3, wherein the epoxy resin (A) contains a liquid epoxy resin. さらに無機充填材を含有する、請求項1〜4のいずれか1項に記載の熱硬化性エポキシ樹脂組成物。   The thermosetting epoxy resin composition according to any one of claims 1 to 4, further comprising an inorganic filler. さらに熱可塑性樹脂を含有する、請求項1〜5のいずれか1項に記載の熱硬化性エポキシ樹脂組成物。   The thermosetting epoxy resin composition according to any one of claims 1 to 5, further comprising a thermoplastic resin. メッキにより導体層を形成する多層プリント配線板の絶縁層用樹脂組成物である、請求項1〜6のいずれか1項に記載の熱硬化性エポキシ樹脂組成物。   The thermosetting epoxy resin composition according to any one of claims 1 to 6, which is a resin composition for an insulating layer of a multilayer printed wiring board which forms a conductor layer by plating. 請求項1〜7のいずれか1項に記載の熱硬化性エポキシ樹脂組成物からなる樹脂組成物層を支持フィルム上に有することを特徴とする、絶縁層形成用接着フィルム。   An adhesive film for forming an insulating layer, comprising a resin composition layer comprising the thermosetting epoxy resin composition according to any one of claims 1 to 7 on a support film. 請求項1〜7のいずれか1項に記載の熱硬化性エポキシ樹脂組成物がシート状繊維基材に含浸されていることを特徴とする、絶縁層形成用プリプレグ。   The prepreg for insulating layer formation characterized by the sheet-like fiber base material being impregnated with the thermosetting epoxy resin composition of any one of Claims 1-7. 請求項8に記載の絶縁層形成用接着フィルムの樹脂組成物層及び請求項9に記載の絶縁層形成用プリプレグのいずれかの硬化物よりなるプリント配線板用絶縁体。   The insulator for printed wiring boards which consists of hardened | cured material of the resin composition layer of the adhesive film for insulating layer formation of Claim 8, and the prepreg for insulating layer formation of Claim 9. 請求項10に記載のプリント配線板用絶縁体からなる絶縁層上にパターン加工された導体層回路を有するプリント配線板用絶縁体。   The insulator for printed wiring boards which has a conductor layer circuit patterned on the insulating layer which consists of an insulator for printed wiring boards of Claim 10. 前記絶縁層の表面粗さRaが10〜200nmであり、Rqが15〜250nmであり、前記絶縁層と導体層のピール強度が0.35kgf/cm以上であることを特徴とする、請求項10又は11に記載のプリント配線板用絶縁体。   The surface roughness Ra of the insulating layer is 10 to 200 nm, Rq is 15 to 250 nm, and the peel strength of the insulating layer and the conductor layer is 0.35 kgf / cm or more. Or the insulator for printed wiring boards as described in 11. 請求項11又は12に記載のプリント配線板用絶縁体を多層積層して形成されてなる、多層プリント配線板。   A multilayer printed wiring board formed by multilayer-stacking the printed wiring board insulator according to claim 11 or 12. 請求項13に記載の多層プリント配線板を用いることを特徴とする半導体装置。   A semiconductor device comprising the multilayer printed wiring board according to claim 13.
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